JP2000237964A - 内周刃式ソー、並びに内周刃式ソーのソー刃の緊締縁部を保護し、かつソー刃を洗浄するための方法 - Google Patents
内周刃式ソー、並びに内周刃式ソーのソー刃の緊締縁部を保護し、かつソー刃を洗浄するための方法Info
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- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
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- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークから薄板を切断するための内周刃式ソ
ーであって、緊締リングの緊締縁部を介して緊締された
ソー刃を有している形式のものにおいて、ソー刃を洗浄
するための面倒な操作を避けることができ、それと同時
に、緊締縁部を遠心切断されたワーク残余物に対して良
好に保護できるようにする。 【解決手段】 緊締縁部を部分的に遮蔽する遮蔽部材２
が、緊締縁部１及びソー刃３の近くに配置されていて、
該遮蔽部材２に向き合う、緊締縁部１の外側の材料層４
が、この材料層の後ろに存在する緊締縁部の材料よりも
著しく硬く構成されている。
ーであって、緊締リングの緊締縁部を介して緊締された
ソー刃を有している形式のものにおいて、ソー刃を洗浄
するための面倒な操作を避けることができ、それと同時
に、緊締縁部を遠心切断されたワーク残余物に対して良
好に保護できるようにする。 【解決手段】 緊締縁部を部分的に遮蔽する遮蔽部材２
が、緊締縁部１及びソー刃３の近くに配置されていて、
該遮蔽部材２に向き合う、緊締縁部１の外側の材料層４
が、この材料層の後ろに存在する緊締縁部の材料よりも
著しく硬く構成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワークから薄板を
切断するための内周刃式ソーであって、緊締リングの緊
締縁部を介して緊締されたソー刃を有している形式のも
のに関する。また本発明は、ワークから薄板を切断する
作業中に内周刃式ソーのソー刃の緊締縁部を保護し、か
つソー刃を洗浄するための方法に関する。
切断するための内周刃式ソーであって、緊締リングの緊
締縁部を介して緊締されたソー刃を有している形式のも
のに関する。また本発明は、ワークから薄板を切断する
作業中に内周刃式ソーのソー刃の緊締縁部を保護し、か
つソー刃を洗浄するための方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】内周刃式ソーの原理的な構造、機能形式
及び拡大する使用領域は、例えばヨーロッパ特許公開第
４６４６６８号明細書に記載されている。
及び拡大する使用領域は、例えばヨーロッパ特許公開第
４６４６６８号明細書に記載されている。
【０００３】内周刃式ソーを用いてワークから薄板を切
断する際に、薄板又は薄板残余物は、ソー刃緊締機構の
緊締縁部に向かって半径方向で遠心力によって投げ飛ば
されるようになっている。これによって、続いて切断し
ようとする薄板は、ソー刃に付着した薄板又は薄板残余
物によって損傷を受けたり又は破壊されることがある。
断する際に、薄板又は薄板残余物は、ソー刃緊締機構の
緊締縁部に向かって半径方向で遠心力によって投げ飛ば
されるようになっている。これによって、続いて切断し
ようとする薄板は、ソー刃に付着した薄板又は薄板残余
物によって損傷を受けたり又は破壊されることがある。
【０００４】従って、切断過程時に薄板が形成される側
のソー刃の側面を、薄板又は薄板残余物に対して自由に
保っておけばが有利である。このようにすれば、ソー刃
の駆動中に、洗浄剤の液体噴流を半径方向でソー刃の側
面上に往復運動させることができる。これがうまくいか
ない場合には、例えば柄の長い刷毛を用いて、水洗浄を
作動させると同時に刷毛の毛をソー刃に押しつけること
によって、作業員の視界外でソー刃を洗浄することがで
きる。しかしながらこの場合、薄板又は薄板残余物（以
下ではワーク残余物と呼ぶ）が水膜によってソー刃に吸
い寄せられることがある。その付着力は、次いでソーの
作動軸をスイッチオフしてワーク残余物を手で取り除か
なければならない程度に強いものである。
のソー刃の側面を、薄板又は薄板残余物に対して自由に
保っておけばが有利である。このようにすれば、ソー刃
の駆動中に、洗浄剤の液体噴流を半径方向でソー刃の側
面上に往復運動させることができる。これがうまくいか
ない場合には、例えば柄の長い刷毛を用いて、水洗浄を
作動させると同時に刷毛の毛をソー刃に押しつけること
によって、作業員の視界外でソー刃を洗浄することがで
きる。しかしながらこの場合、薄板又は薄板残余物（以
下ではワーク残余物と呼ぶ）が水膜によってソー刃に吸
い寄せられることがある。その付着力は、次いでソーの
作動軸をスイッチオフしてワーク残余物を手で取り除か
なければならない程度に強いものである。
【０００５】緊締縁部に損傷を与えないことが、ソー刃
を最適に緊締するため必要であって、また薄板を切断す
る際にソー刃の緊締を維持し、ソー刃の不都合な軸方向
変位運動（切断方向に対して直角に向けられた）をでき
るだけ小さく保つために必要である。
を最適に緊締するため必要であって、また薄板を切断す
る際にソー刃の緊締を維持し、ソー刃の不都合な軸方向
変位運動（切断方向に対して直角に向けられた）をでき
るだけ小さく保つために必要である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明の課題
は、ソー刃を洗浄するための面倒な操作を避けることが
でき、それと同時に、緊締縁部を遠心切断されたワーク
残余物に対して良好に保護できるようにすることであ
る。
は、ソー刃を洗浄するための面倒な操作を避けることが
でき、それと同時に、緊締縁部を遠心切断されたワーク
残余物に対して良好に保護できるようにすることであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この課題を解決した本発
明によれば、緊締縁部を部分的に遮蔽する遮蔽部材が、
緊締縁部及びソー刃の近くに配置されていて、該遮蔽部
材に向き合う、緊締縁部の外側の材料層が、この材料層
の背後に存在する緊締縁部の材料よりも著しく硬く構成
されている。
明によれば、緊締縁部を部分的に遮蔽する遮蔽部材が、
緊締縁部及びソー刃の近くに配置されていて、該遮蔽部
材に向き合う、緊締縁部の外側の材料層が、この材料層
の背後に存在する緊締縁部の材料よりも著しく硬く構成
されている。
【０００８】また前記課題を解決した本発明の方法つま
り、ワークから薄板を切断する作業中に内周刃式ソーの
ソー刃の縁部を保護し、かつソー刃を洗浄するための方
法によれば、緊締縁部を部分的に遮蔽する遮蔽部材を緊
締縁部及びソー刃の近くに設けることによって、緊締縁
部に向かって遠心力で投げ飛ばされたワーク残余物を緊
締縁部に衝突する際に粉砕し、遮蔽部材に向き合う、緊
締縁部の外側の材料層を、この材料層の背後に存在する
材料よりも著しく硬い材料より製造することによって、
緊締縁部に高い強度を与えるようにした。
り、ワークから薄板を切断する作業中に内周刃式ソーの
ソー刃の縁部を保護し、かつソー刃を洗浄するための方
法によれば、緊締縁部を部分的に遮蔽する遮蔽部材を緊
締縁部及びソー刃の近くに設けることによって、緊締縁
部に向かって遠心力で投げ飛ばされたワーク残余物を緊
締縁部に衝突する際に粉砕し、遮蔽部材に向き合う、緊
締縁部の外側の材料層を、この材料層の背後に存在する
材料よりも著しく硬い材料より製造することによって、
緊締縁部に高い強度を与えるようにした。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態につい
て説明する。
て説明する。
【００１０】遮蔽部材は、ボルト(Stift)又はピン(Zapf
en)として構成されている。
en)として構成されている。
【００１１】遮蔽部材と緊締縁部との間の間隔が０．１
ｍｍ乃至０．５ｍｍである。
ｍｍ乃至０．５ｍｍである。
【００１２】遮蔽部材と緊締縁部との間の間隔が、切断
しようとする薄板の厚さよりも小さい。
しようとする薄板の厚さよりも小さい。
【００１３】外側の材料層が、その背後に存在する材料
上に溶接されている。
上に溶接されている。
【００１４】液体噴流をピンに沿って緊締縁部まで変向
させるノズルが設けられている。
させるノズルが設けられている。
【００１５】ピンとノズルとを、規定された位置で固定
保持するブロックが設けられている。
保持するブロックが設けられている。
【００１６】外側の材料層を、その背後に存在する材料
に溶接するようにする。
に溶接するようにする。
【００１７】ワーク残余物を、緊締縁部に洗浄液をぶつ
けた後で緊締縁部から遠ざけるようにする。
けた後で緊締縁部から遠ざけるようにする。
【００１８】
【実施例】次に本発明を図示の実施例を用いて具体的に
説明する。
説明する。
【００１９】緊締縁部１は、緊締リングの一部である。
この緊締リングは、公知技術で一般的であって、ヨーロ
ッパ特許公開第４６４６６８号明細書に記載されている
緊締機構に属するものである。本発明の特徴は、緊締縁
部を部分的に遮蔽する遮蔽部材２が緊締縁部１の近くに
配置されていて、この遮蔽部材２がソー刃３に対して小
さい間隔だけを保っている、という点である。緊締縁部
に対する遮蔽部材２の間隔は有利には０．１ｍｍ乃至
０．５ｍｍ、特に０．１ｍｍ乃至０．２ｍｍである。ソ
ー刃３に対する遮蔽部材２の間隔は有利には、切断しよ
うとする薄板の厚さよりも小さく、特に有利には０．１
ｍｍ乃至０．２ｍｍである。遮蔽部材２は有利にはボル
ト又はピンとして構成されていて、硬質材料より成って
いるか又は硬質材料によって被覆されており、この場
合、材料としては硬質合金（ＨＷ／Ｋ１０／ＤＩＮ５１
３）が有利である。図面で符号８によって硬質合金外周
部が示されている。
この緊締リングは、公知技術で一般的であって、ヨーロ
ッパ特許公開第４６４６６８号明細書に記載されている
緊締機構に属するものである。本発明の特徴は、緊締縁
部を部分的に遮蔽する遮蔽部材２が緊締縁部１の近くに
配置されていて、この遮蔽部材２がソー刃３に対して小
さい間隔だけを保っている、という点である。緊締縁部
に対する遮蔽部材２の間隔は有利には０．１ｍｍ乃至
０．５ｍｍ、特に０．１ｍｍ乃至０．２ｍｍである。ソ
ー刃３に対する遮蔽部材２の間隔は有利には、切断しよ
うとする薄板の厚さよりも小さく、特に有利には０．１
ｍｍ乃至０．２ｍｍである。遮蔽部材２は有利にはボル
ト又はピンとして構成されていて、硬質材料より成って
いるか又は硬質材料によって被覆されており、この場
合、材料としては硬質合金（ＨＷ／Ｋ１０／ＤＩＮ５１
３）が有利である。図面で符号８によって硬質合金外周
部が示されている。
【００２０】本発明のその他の特徴は、緊締縁部１の外
側の材料層４に関するものであって、この材料層４は遮
蔽部材２に向き合っている。材料層４は、例えばＶＡｘ
鋼（ステンレスのオーステナイト鋼）等の一般に使用さ
れている緊締縁部材料よりも著しく硬い特性を有してい
る。特に適しているのは、ステライト６（材料番号２．
３１７７又はＤＩＮ８５５５：２０−４０−ＣＺＴ又は
ＡＳＴＭ／ＡＷＳ：ＥＣｏ Ｃｒ−Ａ）より成る材料層
であることが分かった。この材料層は、一般的な緊締リ
ング−材料に結合され、有利には緊締リング材料に溶接
されている。緊締縁部を材料層で補強することによっ
て、緊締縁部の幾何学形状は、非常に強い応力にも拘わ
らず、非常に長く維持される。
側の材料層４に関するものであって、この材料層４は遮
蔽部材２に向き合っている。材料層４は、例えばＶＡｘ
鋼（ステンレスのオーステナイト鋼）等の一般に使用さ
れている緊締縁部材料よりも著しく硬い特性を有してい
る。特に適しているのは、ステライト６（材料番号２．
３１７７又はＤＩＮ８５５５：２０−４０−ＣＺＴ又は
ＡＳＴＭ／ＡＷＳ：ＥＣｏ Ｃｒ−Ａ）より成る材料層
であることが分かった。この材料層は、一般的な緊締リ
ング−材料に結合され、有利には緊締リング材料に溶接
されている。緊締縁部を材料層で補強することによっ
て、緊締縁部の幾何学形状は、非常に強い応力にも拘わ
らず、非常に長く維持される。
【００２１】前記特徴を有する内周刃式ソー歯の運転中
に、ワーク残余物は遠心力によって緊締縁部１に押しつ
けられ、この際に緊締縁部が特に硬い材料層４によって
摩耗に対して保護される。さらにまた、ワーク残余物
は、緊締縁部にぶつかる際に遮蔽部材２によって粉砕さ
れ、この際にソー刃３がワーク残余物によって洗浄され
る。ソー刃の洗浄を補助するために、ソー刃に向けられ
ていて液体噴流を噴射する一般的な洗浄ノズルが使用さ
れる。
に、ワーク残余物は遠心力によって緊締縁部１に押しつ
けられ、この際に緊締縁部が特に硬い材料層４によって
摩耗に対して保護される。さらにまた、ワーク残余物
は、緊締縁部にぶつかる際に遮蔽部材２によって粉砕さ
れ、この際にソー刃３がワーク残余物によって洗浄され
る。ソー刃の洗浄を補助するために、ソー刃に向けられ
ていて液体噴流を噴射する一般的な洗浄ノズルが使用さ
れる。
【００２２】本発明の変化実施例では、粉砕されたワー
ク残余物は連続的又は周期的に緊締縁部１によって洗浄
され、このような形式で緊締縁部も洗浄されるようにな
っている。このために有利にはスプレーノズル５が設け
られており、このスプレーノズル５は、液体噴流を遮蔽
部材２に沿って供給し、緊締縁部に向かって変向させる
ようになっている。次のようなブロック６を設ければ特
に有利である。つまり、内周刃式ソー刃の不動の機械部
分例えば軸受固定子又は機械フレームに固定部材７によ
って固定されていて、受容部を備えており、この受容部
が遮蔽部材２及びスプレーノズル５を所定の位置で保持
するようになっているブロック６を設ければ特に有利で
ある。またスプレーノズル５によって噴射された水の噴
流が、遮蔽部材２の直接手前でしかもソー刃の下約１５
ｍｍで緊締縁部にぶつかるようになっていれば最適であ
ることが分かった。この場合、ソー刃と緊締縁部には、
薄板の切断中にほとんど汚れが付くことはない。
ク残余物は連続的又は周期的に緊締縁部１によって洗浄
され、このような形式で緊締縁部も洗浄されるようにな
っている。このために有利にはスプレーノズル５が設け
られており、このスプレーノズル５は、液体噴流を遮蔽
部材２に沿って供給し、緊締縁部に向かって変向させる
ようになっている。次のようなブロック６を設ければ特
に有利である。つまり、内周刃式ソー刃の不動の機械部
分例えば軸受固定子又は機械フレームに固定部材７によ
って固定されていて、受容部を備えており、この受容部
が遮蔽部材２及びスプレーノズル５を所定の位置で保持
するようになっているブロック６を設ければ特に有利で
ある。またスプレーノズル５によって噴射された水の噴
流が、遮蔽部材２の直接手前でしかもソー刃の下約１５
ｍｍで緊締縁部にぶつかるようになっていれば最適であ
ることが分かった。この場合、ソー刃と緊締縁部には、
薄板の切断中にほとんど汚れが付くことはない。
【００２３】本発明は、特に、次第に増大する汚れによ
る機械の騒々しい運転（アンバランス）が避けられ、ひ
いては作業員による面倒な介入作業が避けられ、さらに
またこのような介入作業に伴う怪我の危険性が避けら
れ、強制的な機械停止時間が非常に希になるという特徴
を有している。
る機械の騒々しい運転（アンバランス）が避けられ、ひ
いては作業員による面倒な介入作業が避けられ、さらに
またこのような介入作業に伴う怪我の危険性が避けら
れ、強制的な機械停止時間が非常に希になるという特徴
を有している。
【図１】本発明の１実施例による装置の概略図である。
２ 遮蔽部材、 ３ ソー刃、 ４ 材料層、 ５ ス
プレーノズル、 ６ステライト、 ７ 固定部材、 ８
硬質合金・外周部
プレーノズル、 ６ステライト、 ７ 固定部材、 ８
硬質合金・外周部
フロントページの続き (72)発明者 レオポルト ノイスル オーストリア国 ノイキルヒェン コッテ ィンガウアーバッハ ５ (72)発明者 ペーター レーフェルト ドイツ連邦共和国 ブルクハウゼン エリ ザベートシュトラーセ 36
Claims (2)
- 【請求項１】 ワークから薄板を切断するための内周刃
式ソーであって、緊締リングの緊締縁部を介して緊締さ
れたソー刃を有している形式のものにおいて、 緊締縁部を部分的に遮蔽する遮蔽部材が、緊締縁部及び
ソー刃の近くに配置されていて、該遮蔽部材に向き合
う、緊締縁部の外側の材料層が、この材料層の背後に存
在する緊締縁部の材料よりも著しく硬く構成されている
ことを特徴とする、ワークから薄板を切断するための内
周刃式ソー。 - 【請求項２】 ワークから薄板を切断する作業中に内周
刃式ソーのソー刃の縁部を保護し、かつソー刃を洗浄す
るための方法において、 緊締縁部を部分的に遮蔽する遮蔽部材を緊締縁部及びソ
ー刃の近くに設けることによって、緊締縁部に向かって
投げ飛ばされたワーク残余物を緊締縁部に衝突する際に
粉砕し、遮蔽部材に向き合う、緊締縁部の外側の材料層
を、この材料層の背後に存在する材料よりも著しく硬い
材料より製造することによって、緊締縁部に高い強度を
与えることを特徴とする、ワークから薄板を切断する作
業中に内周刃式ソーのソー刃の縁部を保護し、かつソー
刃を洗浄するための方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19905750A DE19905750B4 (de) | 1999-02-11 | 1999-02-11 | Innenlochsäge und Verfahren zum Schutz der Spannkante und zur Reinigung des Sägeblatts einer Innenlochsäge |
| DE19905750.8 | 1999-02-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000237964A true JP2000237964A (ja) | 2000-09-05 |
| JP3479021B2 JP3479021B2 (ja) | 2003-12-15 |
Family
ID=7897203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000030869A Expired - Fee Related JP3479021B2 (ja) | 1999-02-11 | 2000-02-08 | 内周刃式ソー、並びに内周刃式ソーのソー刃の緊締縁部を保護し、かつソー刃を洗浄するための方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6360737B1 (ja) |
| JP (1) | JP3479021B2 (ja) |
| KR (1) | KR100370858B1 (ja) |
| DE (1) | DE19905750B4 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7096255B2 (en) * | 2002-05-21 | 2006-08-22 | Bellsouth Intellectual Property Corp. | System and method for providing a roster list of temporary contacts having expiration periods designated by a user in an instant messaging environment |
| DE102010026352A1 (de) * | 2010-05-05 | 2011-11-10 | Siltronic Ag | Verfahren zur gleichzeitigen beidseitigen Material abtragenden Bearbeitung einer Halbleiterscheibe |
| DE102014105130A1 (de) * | 2014-04-10 | 2015-10-15 | Weber Maschinenbau Gmbh Breidenbach | Messer und Messeraufnahme für eine Schneidemaschine |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3556074A (en) * | 1968-11-21 | 1971-01-19 | Motorola Inc | Hydraulically tensioned saw assembly |
| US3827421A (en) * | 1973-06-29 | 1974-08-06 | Silicon Technology | Hydraulic blade mount |
| US3955551A (en) * | 1974-08-27 | 1976-05-11 | General Diode Corporation | Diamond wheel mounting assembly |
| US4135499A (en) * | 1976-10-20 | 1979-01-23 | Silicon Technology Corporation | Sealing piston |
| FR2412385A1 (fr) * | 1977-12-22 | 1979-07-20 | Crouzet Sa | Machine a scier des barreaux de silicium |
| EP0242489B1 (de) * | 1986-04-17 | 1991-07-10 | Maschinenfabrik Meyer & Burger AG | Verfahren zum Trennen eines Stabes in Teilstücke, Trennschleifmaschine zur Durchführung dieses Verfahrens und Verwendung dieser Trennschleifmaschine |
| US5111622A (en) * | 1989-05-18 | 1992-05-12 | Silicon Technology Corporation | Slicing and grinding system for a wafer slicing machine |
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