JP2000230908A - ディスク基板表面欠陥検査方法及び装置 - Google Patents

ディスク基板表面欠陥検査方法及び装置

Info

Publication number
JP2000230908A
JP2000230908A JP11032058A JP3205899A JP2000230908A JP 2000230908 A JP2000230908 A JP 2000230908A JP 11032058 A JP11032058 A JP 11032058A JP 3205899 A JP3205899 A JP 3205899A JP 2000230908 A JP2000230908 A JP 2000230908A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
disk substrate
light beam
light
light receiving
substrate surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP11032058A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2000230908A5 (enExample
Inventor
Masaki Fuse
正樹 布施
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Chemical Corp
Original Assignee
Mitsubishi Rayon Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Rayon Co Ltd filed Critical Mitsubishi Rayon Co Ltd
Priority to JP11032058A priority Critical patent/JP2000230908A/ja
Publication of JP2000230908A publication Critical patent/JP2000230908A/ja
Publication of JP2000230908A5 publication Critical patent/JP2000230908A5/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
JP11032058A 1999-02-09 1999-02-09 ディスク基板表面欠陥検査方法及び装置 Withdrawn JP2000230908A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11032058A JP2000230908A (ja) 1999-02-09 1999-02-09 ディスク基板表面欠陥検査方法及び装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11032058A JP2000230908A (ja) 1999-02-09 1999-02-09 ディスク基板表面欠陥検査方法及び装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000230908A true JP2000230908A (ja) 2000-08-22
JP2000230908A5 JP2000230908A5 (enExample) 2004-12-09

Family

ID=12348288

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11032058A Withdrawn JP2000230908A (ja) 1999-02-09 1999-02-09 ディスク基板表面欠陥検査方法及び装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000230908A (enExample)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019181925A1 (ja) * 2018-03-23 2019-09-26 古河電気工業株式会社 磁気ディスク用アルミニウム合金基板、ディスク駆動装置、磁気ディスク用アルミニウム合金基板の製造方法、及び磁気ディスク用アルミニウム合金基板の測定方法
JP2024083981A (ja) * 2022-12-12 2024-06-24 株式会社神戸製鋼所 円環状基板の検査装置及び検査方法
JP2024083982A (ja) * 2022-12-12 2024-06-24 株式会社神戸製鋼所 円環状基板の矯正焼鈍の前処理装置及び前処理方法
WO2025222225A1 (de) * 2024-04-22 2025-10-30 Berndorf Band Gmbh Verfahren zur berührungslosen überprüfung einer oberflächengüte einer polierten oberfläche

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019181925A1 (ja) * 2018-03-23 2019-09-26 古河電気工業株式会社 磁気ディスク用アルミニウム合金基板、ディスク駆動装置、磁気ディスク用アルミニウム合金基板の製造方法、及び磁気ディスク用アルミニウム合金基板の測定方法
JP2019169223A (ja) * 2018-03-23 2019-10-03 古河電気工業株式会社 磁気ディスク用アルミニウム合金基板、ディスク駆動装置、磁気ディスク用アルミニウム合金基板の製造方法、及び磁気ディスク用アルミニウム合金基板の測定方法
US11335367B2 (en) 2018-03-23 2022-05-17 Furukawa Electric Co., Ltd. Aluminum alloy substrate for magnetic disk, disk drive device, method for manufacturing aluminum alloy substrate for magnetic disk, and method for measuring aluminum alloy substrate for magnetic disk
JP2024083981A (ja) * 2022-12-12 2024-06-24 株式会社神戸製鋼所 円環状基板の検査装置及び検査方法
JP2024083982A (ja) * 2022-12-12 2024-06-24 株式会社神戸製鋼所 円環状基板の矯正焼鈍の前処理装置及び前処理方法
WO2025222225A1 (de) * 2024-04-22 2025-10-30 Berndorf Band Gmbh Verfahren zur berührungslosen überprüfung einer oberflächengüte einer polierten oberfläche

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5355213A (en) Inspection system for detecting surface flaws
JP4147682B2 (ja) 被検物の欠点検査方法および検査装置
US7864310B2 (en) Surface inspection method and surface inspection apparatus
JPH01313741A (ja) ディスク表面検査方法及び装置
EP0670997A1 (en) Surface pit and mound detection and discrimination system and method
JP2008216054A (ja) 被検査物の検査装置及び被検査物の検査方法
JP4158227B2 (ja) 微小凹凸の検査方法および検査装置
JPH06294749A (ja) 板ガラスの欠点検査方法
US20100246356A1 (en) Disk surface defect inspection method and apparatus
JP2006138830A (ja) 表面欠陥検査装置
JP2003065966A (ja) フィルムに対する異物検査方法およびその装置
JP2008286791A (ja) 表面欠陥検査方法及び装置
US20140043603A1 (en) Surface inspecting apparatus having double recipe processing function
JP2000230908A (ja) ディスク基板表面欠陥検査方法及び装置
US8547547B2 (en) Optical surface defect inspection apparatus and optical surface defect inspection method
JP2007218889A (ja) 表面欠陥検出方法および表面欠陥検出装置
JP5100371B2 (ja) ウェハ周縁端の異物検査方法、及び異物検査装置
JPH07128240A (ja) 電子写真感光体欠陥検査装置
JP2013210232A (ja) 磁気メディアの光学式検査方法及びその装置
JP2013210231A (ja) ディスク表面検査方法及びその装置
JP2009047517A (ja) 検査装置
JPS63298035A (ja) 欠陥検査装置
JP3078784B2 (ja) 欠陥検査装置
JPH11281586A (ja) ディスクチャンファー部の欠陥検査装置及び欠陥検査方法
JP3144632B2 (ja) 欠陥検出方法

Legal Events

Date Code Title Description
A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20040713