JP2000223586A - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JP2000223586A
JP2000223586A JP11025092A JP2509299A JP2000223586A JP 2000223586 A JP2000223586 A JP 2000223586A JP 11025092 A JP11025092 A JP 11025092A JP 2509299 A JP2509299 A JP 2509299A JP 2000223586 A JP2000223586 A JP 2000223586A
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mos transistor
semiconductor substrate
type semiconductor
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Tetsuro Takenaka
哲朗 竹中
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Oki Micro Design Co Ltd
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Oki Electric Industry Co Ltd
Oki Micro Design Co Ltd
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    • G06G7/12Arrangements for performing computing operations, e.g. operational amplifiers
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の目的は、トランジスタのリーク電流
を低減すること及びインバータ等における貫通電流を低
減することである。 【解決手段】 本願発明の代表的な発明は、入力される
信号が有する電圧が線形的に変化し、その変化に応じて
内部に流れる電流量が変化するアナログ回路と、第1ま
たは第2電圧を有する入力信号が入力され、この入力信
号の電圧に応答して前記第1または第2の電圧を有する
出力信号を出力する論理回路とを備えた半導体集積回路
において、そのアナログ回路を構成するMOSトランジ
スタの閾値の絶対値は、その論理回路を構成するMOS
トランジスタの閾値の絶対値より小さく設定されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は低電圧で動作する半導体
集積回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、低電圧で動作する半導体集積回路
が開発されている。この種の回路では、低電圧動作を実
現するため、回路を構成するPチャンネル型MOSトラ
ンジスタ(以下PMOSという)の閾値及びNチャンネ
ル型MOSトランジスタ(以下NMOSという)の閾値
が調整される。
【0003】すなわち、高電圧で動作する半導体集積回
路を構成するPMOSの閾値に比較し、低電圧で動作す
る半導体集積回路を構成するPMOSの閾値は大きく設
定されている。PMOSの場合、閾値は負であるので、
言い換えると、低電圧で動作する半導体集積回路を構成
するPMOSの閾値の絶対値は、高電圧で動作する半導
体集積回路を構成するPMOSの閾値の絶対値より小さ
い。
【0004】また、高電圧で動作する半導体集積回路を
構成するNMOSの閾値に比較し、低電圧で動作する半
導体集積回路を構成するNMOSの閾値は小さく設定さ
れている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記のような低電圧で
動作する半導体集積回路では、PMOSの閾値は大き
く、NMOSの閾値は小さいので、トランジスタのリー
ク電流が増加し、また、インバータ等においては貫通電
流が増加する。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、トラン
ジスタのリーク電流を低減すること及びインバータ等に
おける貫通電流を低減することである。
【0007】上記目的を達成するため、本願発明の代表
的な発明は以下の構成より成る。
【0008】すなわち、入力される信号が有する電圧が
線形的に変化し、その変化に応じて内部に流れる電流量
が変化するアナログ回路と、第1または第2電圧を有す
る入力信号が入力され、この入力信号の電圧に応答して
前記第1または第2の電圧を有する出力信号を出力する
論理回路とを備えた半導体集積回路において、そのアナ
ログ回路を構成するMOSトランジスタの閾値の絶対値
は、その論理回路を構成するMOSトランジスタの閾値
の絶対値より小さく設定されている。
【0009】本発明によれば、半導体集積回路内のアナ
ログ回路では感度のよい動作が保証されると共に、論理
回路におけるリーク電流、貫通電流を低減することがで
きる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下に図面を参照しながら本発明
の実施の形態が説明される。以下の説明では、本発明に
直接係わる部分が中心に説明され、それ以外の部分につ
いては説明が省略される。図1には、半導体集積回路1
00、この半導体集積回路の所定領域に形成されたアナ
ログ回路200及び論理回路300が示されている。こ
のアナログ回路200と論理回路300は電気的に接続
されている。この半導体集積回路100は電源Vccか
ら与えられる電源電圧、接地GNDから与えられる接地
電圧により駆動される。
【0011】アナログ回路200では、入力される信号
が有する電圧が線形的に変化し、その変化に応じて内部
に流れる電流量が変化する。
【0012】論理回路300では、電源電圧または接地
電圧を有する入力信号が入力され、この入力信号の電圧
に応答して電源電圧または接地電圧を有する出力信号が
出力される。
【0013】このようなアナログ回路200及び論理回
路300の一部を構成する具体的な例が図2に示され
る。
【0014】図2には、アナログ回路200として差動
増幅回路210及び差動増幅回路210から出力される
信号に応答して出力信号を出力するアナログ出力回路2
20、アナログ出力回路220から出力信号を受け取
り、反転信号を出力するインバータ310、インバータ
310からの反転信号を受け取り、反転信号を出力する
インバータ320が示されている。
【0015】差動増幅回路210は、PMOS211,
PMOS212,NMOS213,NMOS214,N
MOS215から構成される。
【0016】PMOS211は電源VccとノードN1
との間に接続され、そのゲート電極はノードN1及びP
MOS212のゲート電極に接続される。PMOS21
2は電源VccとノードN2との間に接続される。
【0017】NMOS213はノードN1とノードN3
との間に接続され、そのゲート電極には入力信号INが
与えられる。この入力信号INは、電圧レベルが線形的
に変化するアナログ信号である。
【0018】NMOS214はノードN2とノードN3
との間に接続され、そのゲート電極には入力信号INの
反転信号/INが与えられる。
【0019】NMOS215はノードN3と接地GND
との間に接続され、そのゲート電極には制御信号ENが
与えられる。この制御信号ENがハイレベル(電源電圧
レベル)になり、 NMOS215がオン状態になる
と、差動増幅回路210の動作が開始される。
【0020】アナログ出力回路220はPMOS221
及びNMOS222から構成される。PMOS221は
電源Vccと出力ノードN4との間に接続され、NMO
S222は出力ノードN4と接地GNDとの間に接続さ
れる。 PMOS221及びNMOS222のゲート電
極はノードN2に接続される。
【0021】インバータ310はPMOS311及びN
MOS312から構成される。PMOS311は電源V
ccと出力ノードN5との間に接続され、NMOS22
2は出力ノードN4と接地GNDとの間に接続される。
PMOS311及びNMOS312のゲート電極はノ
ードN4に接続される。
【0022】インバータ320はPMOS321及びN
MOS322から構成される。PMOS321は電源V
ccと出力ノードN6との間に接続され、NMOS32
2は出力ノードN5と接地GNDとの間に接続される。
PMOS321及びNMOS322のゲート電極はノ
ードN5に接続される。ノードN6は論理回路300の
出力端子OUTに接続される。
【0023】ここで、これらの回路の動作が簡単に説明
される。
【0024】まず、制御信号ENが入力されるとNMO
S215が導通状態になり、入力信号IN及び反転信号
/INが入力されると、入力信号の電圧レベルに応じて
差動増幅回路210内に電流が流れる。この電流量に応
じてノードN2の電圧も変化する。
【0025】このノードN2の電圧が一定レベル以上に
なると、アナログ出力回路220からロウレベル(接地
電圧レベル)の信号が出力される。すなわち、ノードN
4の電圧が接地電圧レベルになる。一方、ノードN2の
電圧が一定レベル以下になると、アナログ出力回路22
0からハイレベル(電源電圧レベル)の信号が出力され
る。すなわち、ノードN4の電圧が電源電圧レベルにな
る。
【0026】アナログ出力回路220から出力されたハ
イレベル(電源電圧レベル)またはロウレベル(接地電
圧レベル)の信号は、論理回路300の初段のインバー
タ310に入力される。この入力された信号はインバー
タ310で反転され、ロウレベル(接地電圧レベル)ま
たはハイレベル(電源電圧レベル)の信号がノードN5
より出力される。
【0027】ノードN5より出力されたロウレベル(接
地電圧レベル)またはハイレベル(電源電圧レベル)の
信号は、インバータ320に入力される。この入力され
た信号はインバータ320で反転され、ハイレベル(電
源電圧レベル)またはロウレベル(接地電圧レベル)の
信号がノードN6より出力される。
【0028】以上の回路及びその動作の説明は、本発明
が適用される代表的なアナログ回路及び論理回路の例を
示したものである。説明に用いた回路は一般的なもので
あるので、その動作は容易に理解されるであろう。
【0029】以下に本発明の特徴部分が説明される。
【0030】本発明では、アナログ回路200を構成す
るMOSトランジスタの閾値の絶対値は、論理回路30
0を構成するMOSトランジスタの閾値の絶対値より小
さく設定されている。
【0031】すなわち、アナログ回路200を構成する
PMOSの閾値をVtp1、NMOSの閾値をVtn
1、論理回路300を構成するPMOSの閾値をVtp
2、NMOSの閾値をVtn2、電源電圧をVccとす
ると、以下の数式1の関係を満たすように各閾値が設定
される。
【0032】
【数1】 Vtn1<Vtn2,|Vtp1|<|Vtp2| すなわち、アナログ回路200を構成するNMOSの閾
値は、論理回路300を構成するNMOSの閾値より小
さく設定される。また、アナログ回路200を構成する
PMOSの閾値は、論理回路300を構成するPMOS
の閾値より大きく設定される。PMOSの場合、閾値は
負であるので、言い換えると、アナログ回路200を構
成するPMOSの閾値の絶対値は、論理回路回路を構成
するPMOSの閾値の絶対値より小さい。
【0033】さらに、電源電圧をVccとすると、アナ
ログ回路200では以下の数式2の関係も満たす。
【0034】
【数2】Vtn1+|Vtp1 |<Vcc すなわち、アナログ回路200では、NMOSの閾値と
PMOSの閾値の絶対値との和は、電源電圧Vccより
小さい。
【0035】さらに、論理回路300は以下の数式3の
関係を満たす。
【0036】
【数3】 2Vcc>Vtn2+|Vtp2|>Vcc Vtn2<Vcc、| Vtp2 |<Vcc すなわち、論理回路300では、NMOSの閾値とPM
OSの閾値の絶対値との和は、電源電圧Vccより大き
く、電源電圧の2倍2Vccより小さくなるように設定
される。また、NMOSの閾値とPMOSの閾値の絶対
値は電源電圧Vccよりそれぞれ小さい。
【0037】この実施の形態では、電源電圧Vccは
“1.8V”、接地電圧GNDは“0V”、アナログ回
路200を構成するPMOSの閾値Vtp1は“―0.
5V〜―0.7V”、NMOSの閾値Vtn1は“0.
5V〜0.7V”、論理回路300を構成するPMOS
の閾値をVtp2は“―0.7V〜1.5V”、NMO
Sの閾値Vtn2は“0.7V〜1.5V”の範囲で上
述の数式を満たすように設定される。
【0038】実際には、上述の数式と電源電圧との関係
及び回路動作のマージン等を考慮しながら、設計者が各
トランジスタの閾値を決定することができる。
【0039】以上のように各トランジスタの閾値を設定
することにより、アナログ回路では感度のよい動作が保
証されると共に、論理回路におけるリーク電流、貫通電
流を低減することができる。
【0040】すなわち、低電圧化が進むと入力信号の遷
移する範囲、すなわち、入力信号が取り得る電圧範囲が
狭まってくる。そこで、アナログ回路内で論理回路に比
べて各トランジスタの閾値の絶対値を小さく設定するこ
とにより、入力信号の微小な変化にも反応するような回
路構成が実現される。
【0041】一方、従前の回路のように閾値の小さいト
ランジスタを論理回路内のトランジスタにも適用してし
まうと、トランジスタのリーク電流が増加し、また、イ
ンバータ等においては貫通電流が増加してしまうので、
論理回路内ではアナログ回路に比べて各トランジスタの
閾値の絶対値が大きく設定されている。従って、論理回
路内ではトランジスタのリーク電や貫通電流を低減でき
る。
【0042】本発明は、感度の向上とリーク電流等の低
減という相反する課題を解決する為、従来、半導体集積
回路内で一律に設定されていたこれにより感度の向上と
リーク電流等の低減(すなわち消費電力の低減)という
相反する課題を解決できるのである。
【0043】低電圧動作の半導体集積回路はバッテリー
等の電池を電源として駆動される場合が多いので、消費
電力を低減することは非常に大きな意味がある。すなわ
ち、本発明により電池の寿命を延ばすことに繋がるので
ある。
【0044】上述の説明では、アナログ回路として差動
増幅器、論理回路としてインバータ回路を用いた例が説
明されたが、本発明が適用される回路は、これらの回路
に限定されるものではない。
【0045】アナログ回路としては、入力される信号が
有する電圧が線形的に変化し、その変化に応じて回路の
内部に流れる電流量が変化するような回路であれば具体
的な構成は問わない。例えば、ダイオード接続されたM
OSトランジスタ、チャージポンプ回路、バイアス電圧
発生回路、AD変換機等の種種の構成が考えられる。ま
た、各回路における具体的な構成は種々選択することが
できる。
【0046】図3(a)には、ダイオード接続されたN
MOSトランジスタの例が示され3(b)には、ダイオ
ード接続されたPMOSトランジスタの例が示されてい
る。この場合、入力信号INの電圧に応じてトランジス
タを流れる電流量が変化する。その変化に応じ出力OU
Tが与えられる。
【0047】図4には、チャージポンプ回路の構成例が
示されている。このチャージポンプ回路はNMOS40
1、402とキャパシタ403から構成されている。
【0048】NMOS401は一方の電極に入力信号が
与えられ、他方の電極に接地電圧が与えられる。その一
方の電極とゲート電極が接続されている。NMOS40
2は一方の電極に入力信号が与えられ、他方の電極にキ
ャパシタ403及び出力OUTが接続されている。その
他方の電極とゲート電極が接続されている。
【0049】この回路においても、入力信号INの電圧
に応じてトランジスタを流れる電流量が変化する。その
変化に応じ電圧をチャージして出力OUTが与えられ
る。
【0050】論理回路300では、電源電圧または接地
電圧を有する入力信号が入力され、この入力信号の電圧
に応答して電源電圧または接地電圧を有する出力信号が
出力されるような回路であれば具体的な構成は問わな
い。例えば、インバータ、NOR回路、NAND回路、
デコーダ回路(構成例が図5に示される)、フリップフ
ロップ回路(構成例が図6に示される)、カウンタ回
路、オシュレータ回路等の種種の構成が考えられる。ま
た、各回路における具体的な構成は種々選択することが
できる。
【0051】ここで上述のように閾値を設定する方法に
ついて簡単に説明する。すなわち、アナログ回路内で論
理回路に比べて各トランジスタの閾値の絶対値を小さく
設定する方法が説明される。
【0052】まず、図7に示すように、P型半導体基板
に2つのN型ウエル及び一方のN型ウエル内にP型ウエ
ルを形成する場合について説明する。この場合、ウエル
形成時にウエルの濃度を調整するために、各ウエルにイ
オンを注入する。
【0053】すなわち、P型半導体基板P1の濃度より
P型ウエルP2の濃度が高くなるようにP型ウエルP2
にボロンが所定濃度で注入される。これにより、その後
にP型ウエルP2内に形成されるNMOSの閾値が上が
ることとなる。すなわち、アナログ回路のNMOSはP
型半導体基板P1に形成され、論理回路のNMOSはP
型ウエルP2内に形成される。
【0054】また、N型ウエルN1の濃度よりN型ウエ
ルN2の濃度が高くなるようにN型ウエルN1、N2に
リンがそれぞれ所定濃度で注入される。これにより、そ
の後にN型ウエルN2内に形成されるPMOSの閾値が
上がることとなる。すなわち、アナログ回路のPMOS
はN型ウエルN1に形成され、論理回路のPMOSはN
型ウエルN2内に形成される。
【0055】また、図8に示すようにフィールド酸化膜
形成後、トランジスタが形成される予定のアクティブ領
域ACにイオンを注入する方法もある。
【0056】すなわち、フィールド酸化膜形成後、所定
のアクティブ領域以外をレジストにより被覆し、アクテ
ィブ領域ACにイオンを注入する。この場合、NMOS
が形成される予定の領域にリンを注入すれば、後に形成
されるNMOSの閾値は下がり、ボロンを注入するれ
ば、後に形成されるNMOSの閾値は上がる。また、P
MOSが形成される予定の領域にリンを注入すれば、後
に形成されるPMOSの閾値の絶対値は上がり、ボロン
を注入するれば、後に形成されるPMOSの閾値は下が
る。
【0057】同様に、図9に示すようにゲート電極を形
成後、ゲート電極の上方からイオンを注入することもで
きる。
【0058】注入するイオン及び濃度は、上述の数式と
電源電圧との関係及び回路動作のマージン等を考慮しな
がら、設計者が決定することができる。
【0059】次に、図10を用いて他の実施の形態を説
明する。図7を用いて説明された例では、ウエル形成時
にイオンを注入することにより閾値を調整することが示
されたが、ここではトランジスタが形成された基板また
はウエル(総称して基体と言われることもある)に与え
られるバイアス電圧により各MOSトランジスタの閾値
が調整される例が示される。ここでは上述のアナログ回
路200内のアナログ出力回路220及び論理回路30
0内のインバータ310を用いて説明する。図10はこ
れらの回路の断面図である。図中、“N+”、“P+”は
それぞれN型の濃度の高い領域、P型の濃度の高い領域
を表す。
【0060】アナログ出力回路220のNMOS222
はP型半導体基板P1中に、アナログ出力回路220の
PMOS221はN型ウエルN1中に形成される。
【0061】論理回路310のNMOS312はP型ウ
エルP2中に、論理回路310のPMOS3111はN
型ウエルN2中に形成される。
【0062】この例で特徴的なことは、P型ウエルP2
は接地電圧GNDより十分に低いバイアス電圧VBBに
バイアスされ、N型ウエルN2は電源電圧より十分高い
バイアス電圧VPPにバイアスされていることである。
【0063】P型半導体基板Pは接地電圧GNDにバイ
アスされ、N型ウエルN1は電源電圧Vccにバイアス
されているが、これに限定されるものではない。
【0064】すなわち、各基板またはウエルのバイアス
電圧は以下の式を満たすように設定されればよい。P型
半導体基板P1のバイアスされる電圧をVBB1、P型
ウエルP2のバイアスされる電圧をVBB2、N型ウエ
ルN1がバイアスされる電圧をVPP1、N型ウエルN
2がバイアスされる電圧をVPP2と定義するとこの実
施の形態では以下の数式を満足する。
【0065】
【数式4】VBB1≧GND、VPP1≦Vcc、VB
B2≦GND、VPP2≧Vcc このようにバイアス電圧を設定することにより、閾値の
制御が容易に実現できるという効果がある。すなわち、
各基体へのバイアス供給回路を設けるという回路上の工
夫により、上述の製造工程でのイオン注入工程が簡略化
できる。
【0066】このようなバイアス電圧VBB、VPPは
周知のバイアス供給回路により供給される。例えば、日
本国特許公開公報、特開平2−350号、特開昭62ー
178013号、特開昭61ー64148号にバイアス
供給回路が紹介されている。
【0067】このように各トランジスタの閾値を設定す
ることにより、アナログ回路では感度のよい動作が保証
されると共に、論理回路におけるリーク電流、貫通電流
を低減することができる。
【0068】本発明は、例証的な実施態様を用いて説明
されたが、この説明は限定的な意味に受け取られてはな
らない。この例証的実施態様の様々な変更、並びに本発
明のその他の実施態様が当業者にはこの説明を参考にす
ることによって明らかになるであろう。従って、特許請
求の範囲はそれらのすべての変更または実施態様を本発
明の真の範囲に含むものとしてカバーするであろうと考
えられている。
【0069】
【発明の効果】本発明によれば、アナログ回路では感度
のよい動作が保証されると共に論理回路におけるリーク
電流、貫通電流を低減することができる。バッテリー等
の電池を電源として駆動する低電圧動作の半導体集積回
路に適用すれば、電池の寿命を延ばすことに繋がる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態における半導体集積回路を
示すブロック図である。
【図2】本発明の実施の形態におけるアナログ回路及び
論理回路の具体構成例を示す部分回路図である。
【図3】本発明の実施の形態におけるアナログ回路の例
を示す部分回路図である。
【図4】本発明の実施の形態におけるアナログ回路の例
を示す部分回路図である。
【図5】本発明の実施の形態における論理回路の例を示
す部分回路図である。
【図6】本発明の実施の形態における論理回路の例を示
す部分回路図である。
【図7】各トランジスタの閾値の絶対値を小さく設定す
る第1の方法を説明する図である。
【図8】各トランジスタの閾値の絶対値を小さく設定す
る第2の方法を説明する図である。
【図9】各トランジスタの閾値の絶対値を小さく設定す
る第3の方法を説明する図である。
【図10】本発明の他の実施の形態を説明する部分断面
図である。
【符号の説明】
100 半導体集積回路 200 アナログ回路 300 論理回路 210 差動増幅回路 220 アナログ出力回路 310、320 インバータ
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/822 H01L 27/04 A H03K 19/0948 H03K 19/094 B H03M 1/34 // H03K 5/08 Fターム(参考) 5F038 AV06 BB02 BG05 BG09 BH07 CD04 DF12 EZ01 EZ13 EZ20 5F048 AA07 AB04 AB06 AB07 AB10 AC03 AC10 BB18 BD04 BE02 BE03 BE06 BE09 5J022 BA01 BA06 CD04 CF01 CG01 5J056 AA00 AA03 BB19 BB49 DD39 DD44 KK02

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入力される信号が有する電圧が線形的に
    変化し、その変化に応じて内部に流れる電流量が変化す
    るアナログ回路と、 第1または第2電圧を有する入力信号が入力され、この
    入力信号の電圧に応答して前記第1または第2の電圧を
    有する出力信号を出力する論理回路とを備えた半導体集
    積回路において、 前記アナログ回路を構成するMOSトランジスタの閾値
    の絶対値は、前記論理回路を構成するMOSトランジス
    タの閾値の絶対値より小さいことを特徴とする半導体集
    積回路。
  2. 【請求項2】 前記アナログ回路を構成するMOSトラ
    ンジスタは、第1のNチャンネル型MOSトランジスタ
    及び第1のPチャンネル型MOSトランジスタを有し、
    前記論理回路を構成するMOSトランジスタは、第2の
    Nチャンネル型MOSトランジスタ及び第2のPチャン
    ネル型MOSトランジスタを有し、 前記第1のNチャンネル型MOSトランジスタの閾値を
    Vtn1、第1のPチャンネル型MOSトランジスタの
    閾値をVtp1、前記第2のNチャンネル型MOSトラ
    ンジスタの閾値をVtn2、第2のPチャンネル型MO
    Sトランジスタの閾値をVtp2、前記第1の電圧をV
    cc、前記第2の電圧をGNDと定義するとVtn1+
    |Vtp1|<Vcc、 2Vcc>Vtn2+|Vt
    p2 |>Vcc、Vtn2<Vcc、|Vtp2|<
    Vccの関係を満たすことを特徴とする請求項1記載の
    半導体集積回路。
  3. 【請求項3】 前記各トランジスタの閾値は、各トラン
    ジスタが形成される半導体基板へのイオン注入の量を制
    御することにより設定されることを特徴とする請求項2
    記載の半導体集積回路。
  4. 【請求項4】 前記第1Nチャンネル型MOSトランジ
    スタは第1のP型半導体基体中に、前記第2Nチャンネ
    ル型MOSトランジスタは第2のP型半導体基体中に、
    前記第1のPチャンネル型MOSトランジスタは第1の
    N型半導体基体中に、前記第2のPチャンネル型MOS
    トランジスタは第2のN型半導体基体中にそれぞれ形成
    され、各半導体基体はそれぞれ所定電圧にバイアスさ
    れ、前記第1のP型半導体基体は前記第2のP型半導体
    基板より高い電圧にバイアスされ、前記第1のN型半導
    体基体がバイアスされる電圧の絶対値は前記第2のN型
    半導体基板がバイアスされる電圧の絶対値より低いこと
    を特徴とする請求項2記載の半導体集積回路。
  5. 【請求項5】 前記第1のP型半導体基体のバイアスさ
    れる電圧をVBB1、前記第2のP型半導体基板のバイ
    アスされる電圧をVBB2、前記第1のN型半導体基体
    がバイアスされる電圧をVPP1、前記第2のN型半導
    体基板がバイアスされる電圧をVPP2と定義すると、
    VBB1≧GND、VPP1≦Vcc、VBB2≦GN
    D、VPP2≧Vccの関係を満たすことを特徴とする
    請求項4記載の半導体集積回路。
  6. 【請求項6】 第1の電圧と第2の電圧により駆動する
    半導体集積回路において、 前記第1の電圧と前記第2の電圧との間で連続的に電圧
    レベルが変化するアナログ入力信号が入力され、そのア
    ナログ入力信号に応答してアナログ出力信号を出力する
    アナログ回路と、 前記第1の電圧を有する第1論理レベルまたは前記第2
    電圧を有する第2論理レベルの入力信号が入力され、こ
    の入力信号に応答して前記第1または第2論理レベルの
    出力信号を出力する論理回路とを備え、 前記アナログ回路を構成するMOSトランジスタの閾値
    の絶対値は、前記論理回路を構成するMOSトランジス
    タの閾値の絶対値より小さいことを特徴とする半導体集
    積回路。
  7. 【請求項7】 前記アナログ回路を構成するMOSトラ
    ンジスタは、第1のNチャンネル型MOSトランジスタ
    及び第1のPチャンネル型MOSトランジスタを有し、
    前記論理回路を構成するMOSトランジスタは、第2の
    Nチャンネル型MOSトランジスタ及び第2のPチャン
    ネル型MOSトランジスタを有し、 前記第1のNチャンネル型MOSトランジスタの閾値を
    Vtn1、第1のPチャンネル型MOSトランジスタの
    閾値をVtp1、前記第2のNチャンネル型MOSトラ
    ンジスタの閾値をVtn2、第2のPチャンネル型MO
    Sトランジスタの閾値をVtp2、前記第1の電圧をV
    cc、前記第2の電圧をGNDと定義すると、Vtn1
    + |Vtp1|<Vcc、2Vcc>Vtn2+|V
    tp2|>Vcc、Vtn2<Vcc、|Vtp2|<
    Vccの関係を満たすことを特徴とする請求項6記載の
    半導体集積回路。
  8. 【請求項8】 前記各トランジスタの閾値は、各トラン
    ジスタが形成される半導体基板へのイオン注入の量を制
    御することにより設定されることを特徴とする請求項7
    記載の半導体集積回路。
  9. 【請求項9】 前記第1Nチャンネル型MOSトランジ
    スタは第1のP型半導体基体中に、前記第2Nチャンネ
    ル型MOSトランジスタは第2のP型半導体基体中に、
    前記第1のPチャンネル型MOSトランジスタは第1の
    N型半導体基体中に、前記第2のPチャンネル型MOS
    トランジスタは第2のN型半導体基体中にそれぞれ形成
    され、各半導体基体はそれぞれ所定電圧にバイアスさ
    れ、前記第1のP型半導体基体は前記第2のP型半導体
    基板より高い電圧にバイアスされ、前記第1のN型半導
    体基体がバイアスされる電圧の絶対値は前記第2のN型
    半導体基板がバイアスされる電圧の絶対値より低いこと
    を特徴とする請求項7記載の半導体集積回路。
  10. 【請求項10】 前記第1のP型半導体基体のバイアス
    される電圧をVBB1、前記第2のP型半導体基板のバ
    イアスされる電圧をVBB2、前記第1のN型半導体基
    体がバイアスされる電圧をVPP1、前記第2のN型半
    導体基板がバイアスされる電圧をVPP2と定義する
    と、VBB1≧GND、VPP1≦Vcc、VBB2≦
    GND、VPP2≧Vccの関係を満たすことを特徴と
    する請求項9記載の半導体集積回路。
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