JP2000221152A - ガス検出装置 - Google Patents

ガス検出装置

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JP2000221152A
JP2000221152A JP11022366A JP2236699A JP2000221152A JP 2000221152 A JP2000221152 A JP 2000221152A JP 11022366 A JP11022366 A JP 11022366A JP 2236699 A JP2236699 A JP 2236699A JP 2000221152 A JP2000221152 A JP 2000221152A
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Kazuo Okinaga
一夫 翁長
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Abstract

(57)【要約】 【課題】消費電力を低減したガス検出装置を提供する。 【解決手段】略球状の感ガス体20はSnO2を主成分
とし、SnO2にPdを担持して形成される。感ガス体
20内にはコイル状の白金よりなるヒータ兼用電極21
が埋設され、ヒータ兼用電極21のコイルの中心を貫く
ようにして貴金属線よりなる抵抗検出用電極22が感ガ
ス体20内に埋設される。ヒータ兼用電極21への通電
を制御することにより、ヒータ兼用電極21に間欠的に
通電する。すなわち、ヒータ兼用電極21に約200秒
毎に約0.8秒間通電し、ヒータ兼用電極21への通電
を停止した期間に、感ガス体20の抵抗値を検出するこ
とにより検出対象ガスを検出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般家庭や工業分
野において少ない電力消費量で可燃性ガスや不完全燃焼
ガスを検出するガス検出装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、都市ガスやプロパンガスなど
の可燃性ガスのガス漏れを検知するガス検出装置として
は、酸化錫(SnO2)を主成分とする感ガス体を用
い、感ガス体の表面に可燃性ガスが付着したことによる
感ガス体の抵抗変化から可燃性ガスを検出するものがあ
った。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】このようなガス検出装
置では、感ガス体を加熱するためのヒータを有してお
り、ヒータを間欠的に通電して感ガス体の温度を高温と
する高温期間を間欠的に設け、ヒータに電圧が印加され
ていない期間に感ガス体の抵抗値を測定して、感ガス体
の抵抗値から検出対象ガスを検出するのであるが、感ガ
ス体の熱容量が大きいため、感ガス体を高温に加熱する
のに大きな電力を必要としていた。そのため、ガス検出
装置を電池で駆動した場合、電池寿命が短くなり、電池
で数年間動作させることができないという問題があっ
た。
【0004】本発明は上記問題点に鑑みて為されたもの
であり、その目的とするところは、消費電力を低減した
ガス検出装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1の発明では、ガスを吸着することによって
抵抗値が変化する略球状の感ガス体と、感ガス体中に埋
設されたコイル状のヒータ兼用電極と、該ヒータ兼用電
極のコイルの中心を貫通するように感ガス体中に埋設さ
れた抵抗検出用電極と、ヒータ兼用電極への通電を制御
するとともに、感ガス体の抵抗値から検出対象ガスの濃
度を検出する制御部とを備え、上記感ガス体は、ヒータ
兼用電極への通電停止時に検出対象ガスに対するガス感
度を維持させるような触媒を金属酸化物半導体に担持し
て形成され、上記制御部はヒータ兼用電極に所定周期で
間欠的に通電するとともに、ヒータ兼用電極に電圧が印
加されていない期間に感ガス体の抵抗値を測定すること
により検出対象ガスを検出することを特徴とし、ヒータ
兼用電極のコイルの中心を貫通するように抵抗検出用電
極が埋設されており、ヒータ兼用電極および抵抗検出用
電極を感ガス体中に纏まりよく配置して、感ガス体を小
型化することができるから、感ガス体の熱容量を小さく
することができ、したがって感ガス体を加熱する期間を
短くして消費電力を低減できるから、制御部の電源を電
池とした場合でも長時間動作させることができ、さらに
金属酸化物半導体に検出対象のガスに対するガス濃度を
制御する触媒を担持して感ガス体を形成しているので、
雑ガスの影響を低減して検出対象のガスを正確に検出す
ることができる。
【0006】請求項2の発明では、請求項1の発明にお
いて、上記触媒はPbまたはSbの内のいずれかを少な
くとも含むことを特徴とし、所望のガス感度を得ること
ができる。
【0007】請求項3の発明では、請求項1の発明にお
いて、上記触媒はPbおよびSbを共に含むことを特徴
とし、請求項2の発明と同様に所望のガス感度を得るこ
とができる。
【0008】請求項4の発明では、請求項1乃至3の発
明において、ヒータ兼用電極に通電する時間が感ガス体
の熱時定数よりも長いことを特徴とし、感ガス体の熱時
定数よりも長い時間感ガス体を加熱することにより、素
子表面に付着する水酸基やガスを取り除くクリーニング
効果が十分に得られるので、再現性の良いガス感度を得
ることができる。
【0009】請求項5の発明では、請求項4の発明にお
いて、上記所定周期が約200秒であり、ヒータ兼用電
極に通電する時間が約0.8秒であることを特徴とし、
感ガス体の熱容量が小さいので、感ガス体を加熱する時
間を約0.8秒に短縮することができ、消費電力を低減
することができる。
【0010】請求項6の発明では、請求項1乃至3の発
明において、制御部は、一方のヒータ兼用電極と抵抗検
出用電極との間に負荷抵抗を介して所定電圧を印加し、
両電極間に発生する電圧から感ガス体の抵抗値を検出し
ており、前記感ガス体の抵抗値から検出対象ガスのガス
濃度をガス警報を発生すべき警報レベルと、上記警報レ
ベルよりも低い所定の予備検知レベルとの2段階で検出
し、ガス濃度が警報レベルよりも高くなるとガス警報を
発生する本検知状態と、ガス濃度が予備検知レベルより
も高くなると本検知状態へ移行する予備検知状態とで、
負荷抵抗の抵抗値を切り換えることを特徴とし、感ガス
体の抵抗値に応じて負荷抵抗の抵抗値を所望の値に設定
することができるので、A/D変換の精度を高めること
ができ、検出対象ガスのガス濃度を正確に検出すること
ができる。
【0011】請求項7の発明では、請求項1乃至3の発
明において、制御部は、検出対象ガスのガス濃度をガス
警報を発生すべき警報レベルと、上記警報レベルよりも
低い所定の予備検知レベルとの2段階で検出し、ガス濃
度が警報レベルよりも高くなるとガス警報を発生する本
検知状態と、ガス濃度が予備検知レベルよりも高くなる
と本検知状態へ移行する予備検知状態とで、ヒータ兼用
電極に印加する電圧値を制御して感ガス体の加熱温度を
複数段階に切り換えることを特徴とし、加熱温度を変化
させることによって経時変化による感ガス体の抵抗値の
変動を少なくすることができ、検知ガスの存在を確実に
検出して予備検知状態から本検知状態へと確実に移行さ
せることができる。
【0012】請求項8の発明では、請求項1乃至3の発
明において、制御部は、検出対象ガスのガス濃度をガス
警報を発生すべき警報レベルと、上記警報レベルよりも
低い所定の予備検知レベルとの2段階で検出し、ガス濃
度が警報レベルよりも高くなるとガス警報を発生する本
検知状態と、ガス濃度が予備検知レベルよりも高くなる
と本検知状態へ移行する予備検知状態とで動作し、予備
検知状態において、感ガス体の抵抗値が所定のしきい値
よりも低くなると本検知状態へ移行する絶対値判定と、
感ガス体の抵抗値の今回の測定値が過去の測定値よりも
所定の変動幅以上低下すると本検知状態へ移行する相対
値判定とを行うことを特徴とし、絶対値判定だけでな
く、過去の測定値との関係から検出対象ガスを検出して
いるので、経時変化によって感ガス体の抵抗値が増加し
たとしても、抵抗値の相対的な変化から検知ガスの存在
を確実に検出して予備検知状態から本検知状態へと確実
に移行させることができる。
【0013】請求項9の発明では、請求項1乃至3の発
明において、周囲温度を検出する温度センサを備え、該
温度センサの出力に基づいて上記制御部は感ガス体の抵
抗値の温度補償を行うことを特徴とし、温度変化による
誤検出を防止することができる。
【0014】請求項10の発明では、請求項1乃至3の
発明において、上記制御部はヒータ兼用電極にパルス電
圧を印加し、ヒータ兼用電極への通電時における電源電
圧に応じてパルス電圧のデューティ比を変化させること
を特徴とし、電源電圧の変動に関係無くヒータ兼用電極
に一定の電圧を印加させることができ、感ガス体の加熱
温度を略一定に制御することができる。
【0015】請求項11の発明では、請求項1乃至10
の発明において、外部より感ガス体に至るガス流路に、
感ガス体に接触する気体からアルコール蒸気やシリコン
蒸気を除去するフィルタを設けたことを特徴とし、請求
項12の発明では、請求項11の発明において、上記フ
ィルタが活性炭又はシリカゲルのいずれかからなること
を特徴とし、フィルタ層により感ガス体に接触する気体
からアルコール蒸気やシリコン蒸気を除去しているの
で、感ガス体のアルコール感度を低減でき、且つ、被毒
物質であるシリコン蒸気から感ガス体を保護することが
できる。
【0016】
【発明の実施の形態】本実施形態のガス検出装置に用い
るガス検出素子は、図1および図2(a)(b)に示す
ように、略円板状の樹脂製のベース11と、ベース11
を貫通してベース11の表面側および裏面側に突出する
3本の端子12a〜12cと、端子12a〜12cにそ
れぞれリード線13a〜13cを介して取り付けられた
センシング素子Aと、天井面14aを有する略円筒状に
形成され、センシング素子Aを覆うようにしてベース1
1に冠着されるカバー14と、カバー14の天井面14
aに形成された丸孔14bに取り付けられたガス導入用
のステンレス製の金網15とを備えている。
【0017】センシング素子Aは、図1に示すように酸
化錫(SnO2)などの金属酸化物半導体を主成分とし
楕円球状に形成された所謂焼結体型の感ガス体20を有
しており、この感ガス体20中にコイル状の白金よりな
るヒータ兼用電極21を埋設するとともに、ヒータ兼用
電極21のコイルの中心を貫通するようにして貴金属線
からなる抵抗検出用電極22を感ガス体20中に埋設し
て形成される。ここに、感ガス体20から突出するヒー
タ兼用電極21の両端部から上述したリード線13a,
13cが構成され、感ガス体20から突出する抵抗検出
用電極22の一端部からリード線13bが構成される。
なお、ヒータ兼用電極21のコイルの長手方向に対応す
る感ガス体20の外形寸法は約0.8mm以下に形成さ
れ、コイルの長手方向に直交する方向に対応する感ガス
体20の外形寸法は約0.7mm以下に形成されている
ので、感ガス体20を平板状に形成したり、円筒状に形
成して筒内にコイルを埋設した場合の外形寸法(約5m
m)に比べて感ガス体20を小型化することができ、そ
の熱容量を小さくすることができる。したがって、感ガ
ス体20を加熱する際にヒータ兼用電極21で消費され
る消費電力を大幅に低減することができ、電池を電源と
して動作させた場合でも長期間動作させることができ
る。例えば、このガス検出装置を4本の単3形アルカリ
乾電池で駆動する場合、約180秒毎に平均電力が約1
10mWのパルス電圧を約0.5秒間ヒータ兼用電極2
1に印加したとすると、ガス検出装置を約1000日間
駆動することができる。なお、本実施形態ではヒータ兼
用電極21の通電時間を約0.5秒間としており、感ガ
ス体20の熱時定数(約0.35秒)に比べて十分長い
ので、感ガス体20の加熱時に感熱体20の表面に付着
する水酸基やガスを取り除くクリーニング効果が十分に
得られるので、再現性の良いガス感度を得ることができ
る。
【0018】ここで、感ガス体20は、酸化錫(SnO
2)を主成分とし、SnO2に対して触媒としてのパラジ
ウム(Pd)を約2.0wt%担持して形成される。以
下にSnO2の調整について簡単に説明する。まず塩化
錫(SnCl4)の水溶液をアンモニア(NH3)で加水
分解して錫酸ゾルを得て、この得た錫酸ゾルを風乾燥後
に空気中において例えば500℃で1時間焼成し、Sn
2を得る。このSnO2に対してPdの王水溶液を含浸
させ、例えば500℃で空気中において1時間焼成し、
Pdを担持させている。Pdを担持させたSnO2に骨
材として例えば1000メッシュのアルミナを等量混合
し、更にテルピネオールを加えてペースト状にした後、
ヒータ兼用電極21および抵抗検出用電極22に塗布
し、例えば約500℃で空気中において1時間焼成する
ことにより感ガス体20が形成される。ここで、SnO
2に担持したPdは、各種ガスに対する応答速度を改善
する(速くする)触媒としての役割を果たしており、雑
ガスの影響を低減して検出対象のガスを正確に検出する
ことができる。なお、Pdに加えてSbを約2.0wt
%担持させても良いし、Sbのみを約2.0wt%担持
させても良い。
【0019】このセンシング素子Aのヒータ兼用電極2
1の加熱を制御するとともに、感ガス体20の抵抗値変
化から検出対象のガス(例えばCO)を検出する制御部
2の回路構成を図4に示す。この制御部2は電池30を
電源として駆動される。電池30の両端間にはダイオー
ドD1を介して平滑コンデンサC1が接続されており、
電池30の電圧を平滑コンデンサC1で平滑した電圧V
ccが、マイクロコンピュータ(以下、マイコンと称す)
3の電源端子Vddに供給される。なお制御部2は、検出
対象ガスの検出を行う通常モードにおいて、検出対象ガ
スのガス濃度が所定の予備検知レベル以上になるのを検
知する予備検知状態で動作しており、ガス濃度が予備検
知レベル以上になると予備検知状態から本検知状態へ移
行し、本検知状態ではガス濃度が予備検知レベルよりも
高いガス警報を発生すべき警報レベル以上になると、発
光ダイオードLEDを2秒に1回点滅させたり、ブザー
6を鳴動させたり、フォトカプラPCのフォトトランジ
スタPT1をオンさせたりしてガス警報を発生する。
【0020】センシング素子Aのヒータ兼用電極21は
PNP型のトランジスタQ1を介して電池30の出力端
子間に接続され、トランジスタQ1がオンしたときにヒ
ータ兼用電極21に通電され、ヒータ兼用電極21が発
熱するようになっている。また、センシング素子Aの抵
抗検出用電極22は、負荷抵抗R2とスイッチ素子Q2
との直列回路および負荷抵抗R3とスイッチ素子Q3と
の直列回路と、ダイオードD1とを介して電池30に接
続され、且つ、抵抗R4を介してマイコン3の入力ポー
トI1に接続されている。
【0021】マイコン3の出力ポートO1はトランジス
タQ1のベースに接続されており、トランジスタQ1の
エミッタ・ベース間にはプルアップ用抵抗R1を接続し
てある。また、マイコン3の出力ポートO2,O3はそ
れぞれスイッチ素子Q2,Q3の制御端子に接続されて
いる。マイコン3の出力ポートO4には限流抵抗を介し
て表示用の発光ダイオードLEDのカソードが接続さ
れ、出力ポートO5には限流抵抗を介してフォトカプラ
PCの発光ダイオードL1のカソードが接続されてい
る。これら発光ダイオードLED及びL1のアノードは
それぞれダイオードD1を介して電池30に接続されて
いる。
【0022】ここで、フォトカプラPCはガス検出信号
を外部に出力するためのスイッチ素子として用いられ
る。出力端子t1,t2間にはフォトカプラPCのフォ
トトランジスタPT1が接続され、フォトトランジスタ
PT1にはツェナダイオードZD1が逆並列に接続され
ており、フォトトランジスタPT1のオンオフによって
出力端子t1,t2間に発生する電圧が切り換えられる
ようになっている。なお、マイコン3は入力ポートI8
の信号レベルがローレベルに設定されると外部出力モー
ドとなり、出力ポートO5から外部に信号出力を行う。
【0023】マイコン3の出力ポートO6はブザー鳴動
用発振回路4に接続されており、出力ポートO6から出
力される信号によって、ブザー鳴動用発振回路4がブザ
ー5に印加する電圧の極性を交互に反転させ、警報音を
発振出力するようになっている。
【0024】またマイコン3の出力ポートO7はスイッ
チ素子Q4の制御端子に接続されている。スイッチ素子
Q4とグランドとの間には抵抗R10を介して定電圧I
C6が接続されており、抵抗R10と定電圧IC6との
接続点の電位がマイコン3の入力ポートI6に入力され
る。而して、マイコン3の出力ポートO7をローレベル
とすると、スイッチ素子Q4の出力がハイレベルとな
り、ツェナダイオード6の両端間に約2.5Vの基準電
圧が発生し、マイコン3はこの基準電圧を入力ポートI
6から読み込む。
【0025】一方、スイッチ素子Q2および負荷抵抗R
21の接続点とグランドとの間には、温度センサたる温
湿度補償用のサーミスタTH1と抵抗R5との直列回路
が接続されており、サーミスタTH1と抵抗R5の接続
点の電位がマイコン3の入力ポートI2に入力されてい
る。而して、マイコン3では、入力ポートI2からサー
ミスタTH1および抵抗R5の分圧電圧を取り込み、こ
の分圧電圧から温度を演算し、入力ポートI1から取り
込んだ感ガス体20の両端電圧の温度補償を行ってお
り、温度変化による誤検出を防止している。
【0026】スイッチ素子Q2および負荷抵抗R2の接
続点とグランドとの間には、抵抗R6、可変抵抗器VR
1および抵抗R7の直列回路と、抵抗R8、可変抵抗器
VR2および抵抗R9との直列回路が接続されており、
マイコン3の入力ポートI3,I4には、それぞれ、可
変抵抗器VR1,VR2により設定された設定電圧が入
力される。ここに、入力ポートI3に入力される電圧
は、予備検知状態から本検知状態へ移行すべき検出ガス
のガス濃度中での感ガス体20の両端電圧を温度補償し
た電圧値と略同じ電圧に可変抵抗器VR1を用いて設定
される。また、入力ポートI4に入力される電圧は、本
検知状態でガス警報を発生すべき検出ガスのガス濃度中
での感ガス体20の両端電圧を温度補償した電圧値と略
同じ電圧に可変抵抗器VR1を用いて設定される。
【0027】また、マイコン3の入力ポートI5にはヒ
ータ兼用電極22の両端間に発生する電圧が入力されて
いる。マイコン3では、トランジスタQ1のオン時に入
力ポートI5からヒータ兼用電極22の両端電圧を読み
込み、この両端電圧が所定のしきい値電圧よりも高けれ
ば、ヒータ兼用電極22が断線したと判断する。
【0028】マイコン3のジャンパ入力J1には抵抗R
11を介して電圧Vccが入力されている。抵抗R11と
ジャンパ入力J1との接続点はジャンパJP1の端子t
3に接続されており、ジャンパJP1の端子t4はグラ
ンドに接続されている。ここで、ジャンパJP1の端子
t3,t4間が開放されると、ジャンパ入力J1の電圧
レベルがハイレベルとなり、マイコン3は検出対象ガス
の検出を行う通常モードで動作する。一方、ジャンパJ
P1の端子t3,t4間が短絡されると、ジャンパ入力
J1の電圧レベルがローレベルとなり、マイコン3は本
検知移行時やガス警報発報時のガス濃度などを調整する
警報濃度調整モードで動作する。
【0029】尚、図4中の7はマイコン3に基準クロッ
クを与えるためのクロックICであり、8は電源投入時
にマイコン3をリセットするためのリセット回路であ
る。また、マイコン3の出力ポートSOはデバッグ時に
マイコン3内部のデータをシリアルデータとして出力す
るポートであり、出力ポートSCKは出力ポートSOか
ら出力するシリアルデータの同期用クロック信号を出力
するためのポートである。また、マイコン3の割込ポー
トHOLDには割込発生回路9からの割込信号が入力さ
れる。
【0030】次に本回路の動作を図5〜図7に示すフロ
ーチャートを参照して簡単に説明する。また、図8およ
び図9は各部の波形図であり、図10は各部のタイムチ
ャートである。
【0031】ガス検出装置に電源が投入されると、リセ
ット回路8のリセット信号によってマイコン3がリセッ
トされ(ステップ101)、マイコン3は内部データを
初期化する(ステップ102)。次にマイコン3はジャ
ンパ入力J1の信号レベルを読み込み、ジャンパ入力J
1の信号レベルがハイレベルであれば、マイコン3の動
作モードを検出対象ガスの検出を行う通常モードに設定
し、ローレベルであれば警報濃度調整モードに設定する
(ステップ103)。ここでは、マイコン3の動作モー
ドが通常モードに設定されている場合について以下に説
明を行う。
【0032】ステップ104においてマイコン3は各部
の動作点検を行い、出力ポートO7の信号レベルをロー
レベルとしてスイッチ素子Q4をオンし(ステップ10
5)、定電圧IC6の両端間に発生した基準電圧を入力
ポートI6から読み込み、電池30の電源電圧Vsを計
算する。この時、電池30の電源電圧Vsが約4.8V
よりも低ければ、マイコン3は電池電圧低下警報を発し
(ステップ106)、出力ポートO4の出力をハイ/ロ
ーに切り換え、発光ダイオードLEDを例えば60秒間
に13回点滅させて、電池電圧が所定の基準値よりも低
下したことを表示する(ステップ107)。一方、電池
30の電源電圧がVsが約4.4V以上であれば、検出
対象ガスの検出動作を行う通常モードに移行し(ステッ
プ108)、出力ポートO4の出力をハイ/ローに切り
換え、発光ダイオードLEDを例えば50秒に1回点滅
させて、通常モードで動作していることを表示する(ス
テップ109)。
【0033】次にマイコン3は予備検知状態へ移行し
(ステップ110)、図8に示すようにヒータ兼用電極
21に約200秒毎に平均電力が約100mWのパルス
電圧(電圧のピーク値が約0.8V)を約0.8秒間印
加して、ガス検知動作を行う。ここで、マイコン3はト
ランジスタQ1のオンオフを制御し、ヒータ兼用電極2
1に例えば数百μSecのパルス電圧を印加しており、
パルス電圧のデューティ比を制御することによって、電
源電圧の変動に関係無くヒータ兼用電極21に印加する
平均電力が略一定に制御され、感ガス体20の加熱温度
を略一定に制御することができる。なお、ヒータ兼用電
極21に印加するパルス電圧のデューティ制御は以下の
ようにして行われる。ヒータ兼用電極21に電圧を印加
する際に、先ずマイコン3は図9に示すように出力ポー
トO1から数十μ秒のパルス信号をトランジスタQ1に
出力し、トランジスタQ1をオンさせてヒータ兼用電極
21にパルス電圧を印加する。このとき同時にマイコン
3は、出力ポートO7をローレベルとしてスイッチ素子
Q4の出力をハイレベルとするとともに、入力ポートI
6から基準電圧を読み込み、基準電圧の電圧値から電池
30の電源電圧Vsを計算により求め、電源電圧Vsの
計算値からヒータ兼用電極21に印加するパルス電圧の
デューティ比を決定する。
【0034】ヒータ兼用電極21に電圧を印加してから
約1.8秒が経過すると、マイコン3は出力ポートO
2,O3を共にローレベルとして、スイッチQ2,Q3
をオンし、負荷抵抗R2およびR3の並列回路を介して
抵抗検出用電極22に検出電圧を印加するとともに、入
力ポートI2から電圧を読み込む。マイコン3は、この
電圧からサーミスタTH1の抵抗値を求めて周囲温度T
を演算し、周囲温度Tが−40℃から70℃までの温度
範囲であれば、以下の式により感ガス体20の抵抗値の
温度補償に用いる抵抗比Yを求める(ステップ11
1)。なお、周囲温度Tが−40℃よりも低ければ−4
0℃の値を用い、70℃よりも高ければ70℃の値を用
いる。
【0035】Y=3.6×exp(−0.06×T) ここで、マイコン3は入力ポートI1から感ガス体20
に発生した電圧を読み込み、この電圧から感ガス体20
の抵抗値を演算により求め、感ガス体20の抵抗値に上
述の抵抗比Yを乗じて温度補償を行い、ステップ112
において温度補償後の感ガス体20の抵抗値と、入力ポ
ートI3から読み込んだ可変抵抗器VR1の設定値によ
り設定された抵抗のしきい値とを比較する絶対値判定を
行う(図10の時刻)。感ガス体20の抵抗値がしき
い値以下になると、マイコン3はガス濃度が予備検知状
態から本検知状態に移行すべきガス濃度以上であると判
断して、予備検知状態から本検知状態へ移行する(ステ
ップ115へ)。
【0036】ステップ112において感ガス体20の抵
抗値が所定のしきい値よりも高ければ、マイコン3は、
ステップ110でヒータ兼用電極21に電圧を印加して
から約100秒後に、出力ポートO2のみをローレベル
として、スイッチ素子Q2をオンし、負荷抵抗R2を介
して抵抗検出用電極22に検出電圧を印加するととも
に、入力ポートI1から感ガス体20に発生した電圧を
読み込む。図10の時刻において、マイコン3はこの
電圧から感ガス体20の抵抗値を測定し、今回の測定値
を過去3回分の測定値の最大値および最小値を除いた中
央値と比較する相対値判定を行う(ステップ113)。
そして、今回の測定値が過去3回分の測定値の中央値の
略2分の1以下になると、マイコン3は予備検知状態か
ら本検知状態へ移行する(ステップ115へ)。
【0037】ステップ113において、今回の測定値が
過去3回分の測定値の中央値の略2分の1より高けれ
ば、マイコン3は、ステップ110でヒータ兼用電極2
1に電圧を印加してから約200秒後に、出力ポートO
2のみをローレベルとして、スイッチ素子Q2をオン
し、負荷抵抗R2を介して抵抗検出用電極22に検出電
圧を印加するとともに、入力ポートI1から感ガス体2
0に発生した電圧を読み込む。図10の時刻におい
て、マイコン3はこの電圧から感ガス体20の抵抗値を
測定し、今回の測定値を過去3回分の測定値の中央値と
比較する相対値判定を行う(ステップ114)。今回の
測定値が過去3回分の測定値の中央値の略2分の1以下
になると、マイコン3は予備検知状態から本検知状態へ
移行し(ステップ115へ)、今回の測定値が過去3回
分の測定値の中央値の略2分の1よりも高ければ、マイ
コン3はステップ105へ戻って上述の処理を繰り返し
実行する。
【0038】上述のように予備検知状態においてマイコ
ン3が絶対値判定および相対値判定を行った結果、マイ
コン3が予備検知状態から本検知状態へ移行すると、マ
イコン3は、出力ポートO1の出力レベルをハイ/ロー
に切り換えてトランジスタQ1をオンオフし、ヒータ兼
用電極21に平均電力が約118mWのパルス電圧(電
圧のピーク値が約0.9V)を約0.8秒間印加して、
ガス検知動作を行う(ステップ115)。このように、
予備検知状態において絶対値判定だけでなく相対値判定
を行い、過去の測定値との関係から検出対象ガスを検出
しているので、経時変化によって感ガス体20の抵抗値
が増加したとしても、抵抗値の相対的な変化から検知ガ
スの存在を確実に検出して予備検知状態から本検知状態
へと確実に移行させることができる。また、予備検知状
態と本検知状態とでヒータ兼用電極21に印加する電圧
値(平均電力)を切り換え、感ガス体20の加熱温度を
複数段階に変化させているので、経時変化による感ガス
体20の抵抗値の変動が少なくなり、検知ガスの存在を
確実に検出して予備検知状態から本検知状態へと確実に
移行させることができる。
【0039】ヒータ兼用電極21に電圧を印加してから
約1.8秒が経過すると、マイコン3は出力ポートO
2,O3を共にローレベルとして、スイッチQ2,Q3
をオンし、負荷抵抗R2およびR3の並列回路を介して
抵抗検出用電極22に検出電圧を印加するとともに、入
力ポートI2から電圧を読み込む。マイコン3は、この
電圧からサーミスタTH1の抵抗値を求めて周囲温度T
を演算し、周囲温度Tが−40℃から70℃までの温度
範囲であれば、以下の式により感ガス体20の抵抗値の
温度補償に用いる抵抗比Yを求める(ステップ11
6)。なお、周囲温度Tが−40℃よりも低ければ−4
0℃の値を用い、70℃よりも高ければ70℃の値を用
いる。
【0040】Y=2.6×exp(−0.05×T) ここで、マイコン3は入力ポートI1から感ガス体20
に発生した電圧を読み込み、この電圧から感ガス体20
の抵抗値を演算により求め、感ガス体20の抵抗値に上
述の抵抗比Yを乗じて温度補償を行い、ステップ117
において、温度補償後の感ガス体20の抵抗値と、入力
ポートI4から読み込んだ可変抵抗器VR2の設定値に
より設定された抵抗のしきい値とを比較する絶対値判定
を行う(図10の時刻)。感ガス体20の抵抗値がし
きい値以下になると、マイコン3はガス濃度がガス警報
を発報すべき警報レベル以上であると判断して、出力ポ
ートO4の出力レベルをハイ/ローに切り換え、発光ダ
イオードLEDを2秒間に1回点滅させると共に、出力
ポートO5をローレベルとしてフォトカプラPCのフォ
トトランジスタPT1をオン状態とし、ガス警報を発報
する(ステップ118)。一方、感ガス体20の抵抗値
が所定のしきい値よりも高ければ、マイコン3はステッ
プ105に戻って上述の処理を繰り返し実行する。
【0041】なお、ガス警報が解除されてから約100
秒が経過すると、マイコン3は感ガス体20を加熱し、
予備検知状態で絶対値判定を行い、検出対象のガスを検
出すると本検知状態へ移行し、絶対値判定を行う。ま
た、ガス警報が解除されてから約200秒が経過する
と、マイコン3は感ガス体20を加熱し、予備検知状態
で絶対値判定を行い、検出対象のガスを検出すると本検
知状態へ移行し、絶対値判定を行う。さらに、ガス警報
が解除されてから約300秒が経過すると、マイコン3
は感ガス体20の抵抗値を検出して相対値判定を行った
後、感ガス体20を加熱して絶対値判定を行う。この
時、検出対象のガスを検出するとマイコン3は本検知状
態へ移行し、絶対値判定を行う。さらに、ガス警報が解
除されてから約400秒が経過すると、マイコン3は感
ガス体20の抵抗値を検出して相対値判定を行い、ガス
警報が解除されてから約500秒が経過すると、マイコ
ン3は感ガス体20を加熱して絶対値判定を行う。この
時、検出対象のガスを検出するとマイコン3は本検知状
態へ移行し、絶対値判定を行う。これ以後、マイコン3
は上述した通常モードで検出対象ガスの検出動作を行
う。
【0042】ところで、マイコン3はヒータ兼用電極2
1に通電してから約0.4秒後、約1.8秒後、約10
秒後、約200秒後の各時点(図10の時刻)で入力
ポートI1から抵抗検出用電極22に発生する電圧を読
み込み、通電時から約200秒が経過した時点で4個の
電圧値の差が所定のしきい値以下であれば断線が発生し
たと判断して(ステップ120)、出力ポートO4の信
号レベルをハイ/ローに反転させ、発光ダイオードLE
Dを4秒間に1回点滅させて、センサ断線警報を発報す
る。
【0043】次に、図7のフローチャートを参照して警
報濃度調整モードについて説明する。マイコン3のリセ
ット時や電源投入時に、ジャンパ入力J1の信号レベル
がローレベルに設定されている場合、マイコン3はジャ
ンパ入力J1の信号レベルから、動作モードを警報濃度
調整モードに設定し(ステップ130)、発光ダイオー
ドLEDを2回点滅させるとともに、フォトカプラPC
を2回オンさせて、警報濃度調整モードに移行したこと
を表示する(ステップ131)。
【0044】その後、約200秒経過後にヒータ兼用コ
イル21に平均電力が約100mWのパルス電圧を約
0.8秒間印加して感ガス体20を加熱し、ヒータ兼用
コイル21に電圧を印加してから約1.8秒後に感ガス
体20の電圧を読み込み、読み込んだ電圧値をRAMに
書き込むとともに、約400秒経過後にヒータ兼用コイ
ル21に平均電力が約118mWのパルス電圧を約0.
8秒間印加して感ガス体20を加熱し、ヒータ兼用コイ
ル21に電圧を印加してから約1.8秒後に感ガス体2
0の電圧を読み込み、読み込んだ電圧値をRAMに書き
込む。そして、2つの電圧値のRAMへの書き込みが終
了すると、マイコン3は発光ダイオードLEDを3回点
滅させる(ステップ132)。
【0045】ここで、ステップ133においてジャンパ
入力J1がローレベルであれば、予備検知状態での絶対
値判定用の設定電圧を可変抵抗器VR1を用いて調整
し、設定値電圧が、ステップ132でRAM上に記憶さ
れた電圧値と一致すると、マイコン3は発光ダイオード
LEDを2回点滅させて、設定値が一致したことを表示
する(ステップ137)。その後、ステップ138にお
いてジャンパ入力J1がローレベルであれば、ステップ
139で上述と同様の調整を行い、ジャンパ入力J1が
ハイレベルであればステップ134で本検知状態での調
整を行う。
【0046】一方、ステップ133においてジャンパ入
力J1がハイレベルであれば、本検知状態での絶対値判
定用の設定電圧を可変抵抗器VR2を用いて調整し、設
定値電圧が、ステップ132でRAM上に記憶された電
圧値と一致すると、マイコン3は発光ダイオードLED
を2回点滅させて、設定値が一致したことを表示する
(ステップ134)。その後、ステップ135において
ジャンパ入力J1がハイレベルであれば、ステップ13
6で上述と同様の調整を行い、ジャンパ入力J1がロー
レベルであればステップ137で予備検知状態での調整
を行う。
【0047】このように本回路では、予備検知状態と本
検知状態とでセンシング素子Aに接続する負荷抵抗R
2,R3を切り換えており、感ガス体20の抵抗値に応
じて負荷抵抗R2,R3の抵抗値を適宜設定することに
よって、A/D変換の精度を高めることができ、検出対
象ガスを正確に検出することができる。
【0048】ところで、図3に示すように、内部に活性
炭よりなる外部フィルタ17が取り付けられた天井面を
有する円筒状のキャップ16をカバー14に冠着するこ
とにより、外部からセンシング素子Aへガスが流入する
径路に外部フィルタ17を配置し、雑ガスであるアルコ
ール蒸気や被毒ガスであるシリコン蒸気を外部フィルタ
17で除去して、センシング素子Aのアルコール感度を
低減するとともに、シリコン等の被毒物質からセンシン
グ素子Aを保護して、センシング素子Aがアルコール蒸
気やシリコン蒸気などの影響を受けにくくすることがで
きる。尚、本実施形態では活性炭からなる外部フィルタ
17を用いているが、外部フィルタ17の材質を活性炭
に限定する趣旨のものではなく、外部フィルタ17の材
質をシリカゲル(SiO2)としても良いし、活性炭お
よびシリカゲルの組み合わせとしても良い。
【0049】(実施例1,2)実施例1,2では、図1
および図2に示す構造の感ガス体20を有するセンシン
グ素子Aを形成した。ここで、感ガス体20はSnO2
に約2.0wt%のSbを担持して形成される。
【0050】(実施例3,4)実施例3,4では、図1
および図2に示す構造の感ガス体20を有するセンシン
グ素子Aを形成した。ここで、感ガス体20はSnO2
に約2.0wt%のPdを担持して形成される。
【0051】(実施例5,6)実施例5,6では、図1
および図2に示す構造の感ガス体20を有するセンシン
グ素子Aを形成した。ここで、感ガス体20はSnO2
に約2.0wt%のPdと、約2.0wt%のSbを担
持して形成される。
【0052】図11〜図16は、それぞれ、実施例1〜
6の感ガス体20に所定の平均電力のパルス電圧を約
0.8秒間印加した場合の各種ガスに対するガス感度
(すなわち感ガス体20の抵抗値Rs(Ω))の時間的
な変化を示しており、実施例1〜3,5,6の感ガス体
20では平均電力が約118mWのパルス電圧(電圧の
ピーク値が約0.9V)が印加され、実施例4の感ガス
体20では平均電力が約100mWのパルス電圧(電圧
のピーク値が約0.8V)が印加されている。ここで、
図12(a)〜図16(a)は電圧印加時から0.5秒
後、図12(b)〜図16(b)は電圧印加時から0.
9秒後、図12(c)〜図16(c)は電圧印加時から
1.2秒後、図12(d)〜図16(d)は電圧印加時
から1.8秒後、図12(e)〜図16(e)は電圧印
加時から200秒後の各時点における各種ガスに対する
ガス感度を示している。なお、図中の○はCH4中にお
ける感ガス体20の抵抗値Rs、図中の△はH2中にお
ける感ガス体20の抵抗値Rs、図中の◇はイソブタン
中における感ガス体20の抵抗値Rs、図中の■はC2
5OHに対する感ガス体20の抵抗値Rsをそれぞれ
示している。また、大気中における感ガス体20の抵抗
値を図中に●で示している。
【0053】また、図17〜図22は、それぞれ、実施
例1〜6の感ガス体20に所定の平均電力のパルス電圧
を約0.8秒間(すなわち横軸の0.8秒までの期間)
印加した場合の各種ガスに対するガス感度(すなわち感
ガス体20の抵抗値Rs(Ω))の時間的な変化を示し
ており、実施例1〜3,5,6の感ガス体20では平均
電力が約118mWのパルス電圧(電圧のピーク値が約
0.9V)が印加され、実施例4の感ガス体20では平
均電力が約100mWのパルス電圧(電圧のピーク値が
約0.8V)が印加されている。尚、図中の○は100
0ppmのCH 4中における感ガス体20の抵抗値R
s、図中の△は1000ppmのH2中における感ガス
体20の抵抗値Rs、図中の◇は1000ppmのイソ
ブタン中における感ガス体20の抵抗値Rs、図中の■
は1000ppmのC25OHに対する感ガス体20の
抵抗値Rsをそれぞれ示している。また、大気中におけ
る感ガス体20の抵抗値を図中に●で示している。
【0054】上述の測定結果より、SnO2に対してS
bを担持して感ガス体20を形成した実施例1,2で
は、感ガス体20への通電を停止した直後から各種ガス
に対するガス感度が発生しているが、その数秒後にはガ
ス感度が消滅しているが、ガス感度が発生する領域でH
2やC25OH等の雑ガスに対するガス感度を小さくす
ることができた。一方、SnO2に対してPdのみを担
持して感ガス体20を形成した実施例3,4、及び、S
nO2に対してPd及びSbを担持して感ガス体20を
形成した実施例5,6では、H2やC25OH等の雑ガ
スに対するガス感度が大きいものの、検出ガスに対する
ガス感度が発生する時点から約200秒間、ガス感度を
維持することができた。
【0055】
【発明の効果】上述のように請求項1の発明は、ガスを
吸着することによって抵抗値が変化する略球状の感ガス
体と、感ガス体中に埋設されたコイル状のヒータ兼用電
極と、該ヒータ兼用電極のコイルの中心を貫通するよう
に感ガス体中に埋設された抵抗検出用電極と、ヒータ兼
用電極への通電を制御するとともに、感ガス体の抵抗値
から検出対象ガスの濃度を検出する制御部とを備え、上
記感ガス体は、ヒータ兼用電極への通電停止時に検出対
象ガスに対するガス感度を維持させるような触媒を金属
酸化物半導体に担持して形成され、上記制御部はヒータ
兼用電極に所定周期で間欠的に通電するとともに、ヒー
タ兼用電極に電圧が印加されていない期間に感ガス体の
抵抗値を測定することにより検出対象ガスを検出するこ
とを特徴とし、ヒータ兼用電極のコイルの中心を貫通す
るように抵抗検出用電極が埋設されており、ヒータ兼用
電極および抵抗検出用電極を感ガス体中に纏まりよく配
置して、感ガス体を小型化することができるから、感ガ
ス体の熱容量を小さくすることができ、したがって感ガ
ス体を加熱する期間を短くして消費電力を低減できるか
ら、制御部の電源を電池とした場合でも長時間動作させ
ることができるという効果があり、さらに金属酸化物半
導体に検出対象のガスに対するガス濃度を制御する触媒
を担持して感ガス体を形成しているので、雑ガスの影響
を低減して検出対象のガスを正確に検出することができ
る。
【0056】請求項2の発明は、請求項1の発明におい
て、上記触媒はPbまたはSbの内のいずれかを少なく
とも含むことを特徴とし、所望のガス感度を得ることが
できるという効果もある。
【0057】請求項3の発明では、請求項1の発明にお
いて、上記触媒はPbおよびSbを共に含むことを特徴
とし、請求項2の発明と同様に所望のガス感度を得るこ
とができる。
【0058】請求項4の発明は、請求項1乃至3の発明
において、ヒータ兼用電極に通電する時間が感ガス体の
熱時定数よりも長いことを特徴とし、素子表面に付着す
る水酸基やガスを取り除くクリーニング効果が十分に得
られるので、再現性の良いガス感度を得ることができる
という効果がある。
【0059】請求項5の発明は、請求項4の発明におい
て、上記所定周期が約200秒であり、ヒータ兼用電極
に通電する時間が約0.8秒であることを特徴とし、感
ガス体の熱容量が小さいので、感ガス体を加熱する時間
を約0.8秒に短縮することができ、消費電力を低減で
きるという効果がある。
【0060】請求項6の発明は、請求項1乃至3の発明
において、制御部は、一方のヒータ兼用電極と抵抗検出
用電極との間に負荷抵抗を介して所定電圧を印加し、両
電極間に発生する電圧から感ガス体の抵抗値を検出して
おり、前記感ガス体の抵抗値から検出対象ガスのガス濃
度をガス警報を発生すべき警報レベルと、上記警報レベ
ルよりも低い所定の予備検知レベルとの2段階で検出
し、ガス濃度が警報レベルよりも高くなるとガス警報を
発生する本検知状態と、ガス濃度が予備検知レベルより
も高くなると本検知状態へ移行する予備検知状態とで、
負荷抵抗の抵抗値を切り換えることを特徴とし、感ガス
体の抵抗値に応じて負荷抵抗の抵抗値を所望の値に設定
することができるので、A/D変換の精度を高めること
ができ、検出対象ガスのガス濃度を正確に検出できると
いう効果がある。
【0061】請求項7の発明は、請求項1乃至3の発明
において、制御部は、検出対象ガスのガス濃度をガス警
報を発生すべき警報レベルと、上記警報レベルよりも低
い所定の予備検知レベルとの2段階で検出し、ガス濃度
が警報レベルよりも高くなるとガス警報を発生する本検
知状態と、ガス濃度が予備検知レベルよりも高くなると
本検知状態へ移行する予備検知状態とで、ヒータ兼用電
極に印加する電圧値を制御して感ガス体の加熱温度を複
数段階に切り換えることを特徴とし、加熱温度を変化さ
せることによって経時変化による感ガス体の抵抗値の変
動を少なくすることができ、検知ガスの存在を確実に検
出して予備検知状態から本検知状態へと確実に移行させ
ることができる。
【0062】請求項8の発明は、請求項1乃至3の発明
において、制御部は、検出対象ガスのガス濃度をガス警
報を発生すべき警報レベルと、上記警報レベルよりも低
い所定の予備検知レベルとの2段階で検出し、ガス濃度
が警報レベルよりも高くなるとガス警報を発生する本検
知状態と、ガス濃度が予備検知レベルよりも高くなると
本検知状態へ移行する予備検知状態とで動作し、予備検
知状態において、感ガス体の抵抗値が所定のしきい値よ
りも低くなると本検知状態へ移行する絶対値判定と、感
ガス体の抵抗値の今回の測定値が過去の測定値よりも所
定の変動幅以上低下すると本検知状態へ移行する相対値
判定とを行うことを特徴とし、絶対値判定だけでなく、
過去の測定値との関係から検出対象ガスを検出している
ので、経時変化によって感ガス体の抵抗値が増加したと
しても、抵抗値の相対的な変化から検知ガスの存在を確
実に検出して予備検知状態から本検知状態へと確実に移
行させることができる。
【0063】請求項9の発明は、請求項1乃至3の発明
において、周囲温度を検出する温度センサを備え、該温
度センサの出力に基づいて上記制御部は感ガス体の抵抗
値の温度補償を行うことを特徴とし、温度変化による誤
検出を防止することができるという効果がある。
【0064】請求項10の発明は、請求項1乃至3の発
明において、上記制御部はヒータ兼用電極にパルス電圧
を印加し、ヒータ兼用電極への通電時における電源電圧
に応じてパルス電圧のデューティ比を変化させることを
特徴とし、電源電圧の変動に関係無くヒータ兼用電極に
一定の電圧を印加させることができ、感ガス体の加熱温
度を略一定に制御することができるという効果がある。
【0065】請求項11の発明は、請求項1乃至10の
発明において、外部より感ガス体に至るガス流路に、感
ガス体に接触する気体からアルコール蒸気やシリコン蒸
気を除去するフィルタを設けたことを特徴とし、請求項
12の発明では、請求項11の発明において、上記フィ
ルタが活性炭又はシリカゲルのいずれかからなることを
特徴とし、フィルタ層により感ガス体に接触する気体か
らアルコール蒸気やシリコン蒸気を除去しているので、
感ガス体のアルコール感度を低減でき、且つ、被毒物質
であるシリコン蒸気から感ガス体を保護できるという効
果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態のガス検出装置に用いるガス検出素
子のカバーを外した状態を示す正面図である。
【図2】同上のガス検出素子を示し、(a)は一部破断
せる正面図、(b)は上面図である。
【図3】同上のガス検出装置に用いる別のガス検出素子
を示し、(a)は断面図、(b)は下面図である。
【図4】同上のガス検出装置に用いる制御部の回路図で
ある。
【図5】同上のガス検出装置に用いる制御部の動作を示
すフローチャートである。
【図6】同上のガス検出装置に用いる制御部の別の動作
を示すフローチャートである。
【図7】同上のガス検出装置に用いる制御部のまた別の
動作を示すフローチャートである。
【図8】同上のガス検出装置の感ガス体に印加する電圧
を示す図である。
【図9】同上のガス検出装置の感ガス体に印加する電圧
を示す図である。
【図10】同上のガス検出装置に用いる制御部の動作を
示すタイムチャートである。
【図11】実施例1の感ガス体の各種ガスに対するガス
感度の時間的な変化を示す図であり、(a)は電圧印加
時から0.5秒後、(b)は電圧印加時から0.9秒
後、(c)は電圧印加時から1.2秒後、(d)は電圧
印加時から1.8秒後、(e)は電圧印加時から20
0.0秒後における感ガス体の抵抗値を示す図である。
【図12】実施例2の感ガス体の各種ガスに対するガス
感度の時間的な変化を示す図であり、(a)は電圧印加
時から0.5秒後、(b)は電圧印加時から0.9秒
後、(c)は電圧印加時から1.2秒後、(d)は電圧
印加時から1.8秒後、(e)は電圧印加時から20
0.0秒後における感ガス体の抵抗値を示す図である。
【図13】実施例3の感ガス体の各種ガスに対するガス
感度の時間的な変化を示す図であり、(a)は電圧印加
時から0.5秒後、(b)は電圧印加時から0.9秒
後、(c)は電圧印加時から1.2秒後、(d)は電圧
印加時から1.8秒後、(e)は電圧印加時から20
0.0秒後における感ガス体の抵抗値を示す図である。
【図14】実施例4の感ガス体の各種ガスに対するガス
感度の時間的な変化を示す図であり、(a)は電圧印加
時から0.5秒後、(b)は電圧印加時から0.9秒
後、(c)は電圧印加時から1.2秒後、(d)は電圧
印加時から1.8秒後、(e)は電圧印加時から20
0.0秒後における感ガス体の抵抗値を示す図である。
【図15】実施例5の感ガス体の各種ガスに対するガス
感度の時間的な変化を示す図であり、(a)は電圧印加
時から0.5秒後、(b)は電圧印加時から0.9秒
後、(c)は電圧印加時から1.2秒後、(d)は電圧
印加時から1.8秒後、(e)は電圧印加時から20
0.0秒後における感ガス体の抵抗値を示す図である。
【図16】実施例6の感ガス体の各種ガスに対するガス
感度の時間的な変化を示す図であり、(a)は電圧印加
時から0.5秒後、(b)は電圧印加時から0.9秒
後、(c)は電圧印加時から1.2秒後、(d)は電圧
印加時から1.8秒後、(e)は電圧印加時から20
0.0秒後における感ガス体の抵抗値を示す図である。
【図17】実施例1の感ガス体の各種ガスに対するガス
感度の時間的な変化を示す図である。
【図18】実施例2の感ガス体の各種ガスに対するガス
感度の時間的な変化を示す図である。
【図19】実施例3の感ガス体の各種ガスに対するガス
感度の時間的な変化を示す図である。
【図20】実施例4の感ガス体の各種ガスに対するガス
感度の時間的な変化を示す図である。
【図21】実施例5の感ガス体の各種ガスに対するガス
感度の時間的な変化を示す図である。
【図22】実施例6の感ガス体の各種ガスに対するガス
感度の時間的な変化を示す図である。
【符号の説明】
20 感ガス体 21 ヒータ兼用電極 22 抵抗検出用電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 島袋 宗春 大阪府池田市鉢塚2丁目5番26号 エフア イエス株式会社内 Fターム(参考) 2G046 AA02 AA19 AA21 BA02 BA03 BA06 BC03 BD01 BD06 BE02 BF07 BJ02 DB02 DB04 DB05 DB07 DC02 DC09 DD03 EB06 FB02 FE29 FE36

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ガスを吸着することによって抵抗値が変化
    する略球状の感ガス体と、感ガス体中に埋設されたコイ
    ル状のヒータ兼用電極と、該ヒータ兼用電極のコイルの
    中心を貫通するように感ガス体中に埋設された抵抗検出
    用電極と、ヒータ兼用電極への通電を制御するととも
    に、感ガス体の抵抗値から検出対象ガスの濃度を検出す
    る制御部とを備え、上記感ガス体は、ヒータ兼用電極へ
    の通電停止時に検出対象ガスに対するガス感度を維持さ
    せるような触媒を金属酸化物半導体に担持して形成さ
    れ、上記制御部はヒータ兼用電極に所定周期で間欠的に
    通電するとともに、ヒータ兼用電極に電圧が印加されて
    いない期間に感ガス体の抵抗値を測定することにより検
    出対象ガスを検出することを特徴とするガス検出装置。
  2. 【請求項2】上記触媒はPbまたはSbの内のいずれか
    を少なくとも含むことを特徴とする請求項1記載のガス
    検出装置。
  3. 【請求項3】上記触媒はPbおよびSbを共に含むこと
    を特徴とする請求項1記載のガス検出装置。
  4. 【請求項4】ヒータ兼用電極に通電する時間が感ガス体
    の熱時定数よりも長いことを特徴とする請求項1乃至3
    記載のガス検出装置。
  5. 【請求項5】上記所定周期が約200秒であり、ヒータ
    兼用電極に通電する時間が約0.8秒であることを特徴
    とする請求項4記載のガス検出装置。
  6. 【請求項6】制御部は、一方のヒータ兼用電極と抵抗検
    出用電極との間に負荷抵抗を介して所定電圧を印加し、
    両電極間に発生する電圧から感ガス体の抵抗値を検出し
    ており、前記感ガス体の抵抗値から検出対象ガスのガス
    濃度をガス警報を発生すべき警報レベルと、上記警報レ
    ベルよりも低い所定の予備検知レベルとの2段階で検出
    し、ガス濃度が警報レベルよりも高くなるとガス警報を
    発生する本検知状態と、ガス濃度が予備検知レベルより
    も高くなると本検知状態へ移行する予備検知状態とで、
    負荷抵抗の抵抗値を切り換えることを特徴とする請求項
    1乃至3記載のガス検出装置。
  7. 【請求項7】制御部は、検出対象ガスのガス濃度をガス
    警報を発生すべき警報レベルと、上記警報レベルよりも
    低い所定の予備検知レベルとの2段階で検出し、ガス濃
    度が警報レベルよりも高くなるとガス警報を発生する本
    検知状態と、ガス濃度が予備検知レベルよりも高くなる
    と本検知状態へ移行する予備検知状態とで、ヒータ兼用
    電極に印加する電圧値を制御して感ガス体の加熱温度を
    複数段階に切り換えることを特徴とする請求項1乃至3
    記載のガス検出装置。
  8. 【請求項8】制御部は、検出対象ガスのガス濃度をガス
    警報を発生すべき警報レベルと、上記警報レベルよりも
    低い所定の予備検知レベルとの2段階で検出し、ガス濃
    度が警報レベルよりも高くなるとガス警報を発生する本
    検知状態と、ガス濃度が予備検知レベルよりも高くなる
    と本検知状態へ移行する予備検知状態とで動作し、予備
    検知状態において、感ガス体の抵抗値が所定のしきい値
    よりも低くなると本検知状態へ移行する絶対値判定と、
    感ガス体の抵抗値の今回の測定値が過去の測定値よりも
    所定の変動幅以上低下すると本検知状態へ移行する相対
    値判定とを行うことを特徴とする請求項1乃至3記載の
    ガス検出装置。
  9. 【請求項9】周囲温度を検出する温度センサを備え、該
    温度センサの出力に基づいて上記制御部は感ガス体の抵
    抗値の温度補償を行うことを特徴とする請求項1乃至3
    記載のガス検出装置。
  10. 【請求項10】上記制御部はヒータ兼用電極にパルス電
    圧を印加し、ヒータ兼用電極への通電時における電源電
    圧に応じてパルス電圧のデューティ比を変化させること
    を特徴とする請求項1乃至3記載のガス検出装置。
  11. 【請求項11】外部より感ガス体に至るガス流路に、感
    ガス体に接触する気体からアルコール蒸気やシリコン蒸
    気を除去するフィルタを設けたことを特徴とする請求項
    1乃至10記載のガス検出装置。
  12. 【請求項12】上記フィルタが活性炭又はシリカゲルの
    いずれかからなることを特徴とする請求項11記載のガ
    ス検出装置。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1505386A1 (en) * 2002-05-14 2005-02-09 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Heater-contained gas sensor operation starting method and operation stopping method, and operating method
JP2006145216A (ja) * 2004-11-16 2006-06-08 Ngk Spark Plug Co Ltd ガス検知装置及びオードベンチレーションシステム
JP2006209250A (ja) * 2005-01-25 2006-08-10 Kyocera Corp 情報記憶デバイス、無線通信デバイス
JP2007172665A (ja) * 2007-03-27 2007-07-05 Kyocera Corp 情報記憶デバイス、無線通信デバイス
US7269993B2 (en) 2004-06-29 2007-09-18 Honda Motor Co., Ltd. Gas detecting apparatus, gas detecting method and fuel cell vehicle
JP2007279061A (ja) * 2007-06-19 2007-10-25 Osaka Gas Co Ltd パルス駆動型薄膜ガスセンサおよびその製造方法
JP2010054213A (ja) * 2008-08-26 2010-03-11 Fuji Electric Systems Co Ltd 薄膜ガスセンサのガス検出方法およびガス検知装置
JP2014178199A (ja) * 2013-03-14 2014-09-25 Fuji Electric Co Ltd 薄膜式ガスセンサ及びその検査方法

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1505386A1 (en) * 2002-05-14 2005-02-09 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Heater-contained gas sensor operation starting method and operation stopping method, and operating method
EP1505386A4 (en) * 2002-05-14 2007-11-28 Honda Motor Co Ltd GAS SENSOR STARTING PROCEDURES AND OPERATING OPEN PROCEDURES IN A HEATER AND OPERATING METHOD
US7820949B2 (en) 2002-05-14 2010-10-26 Honda Motor Co., Ltd. Method of starting, stopping and operating gas sensor with built-in heater
US7269993B2 (en) 2004-06-29 2007-09-18 Honda Motor Co., Ltd. Gas detecting apparatus, gas detecting method and fuel cell vehicle
JP2006145216A (ja) * 2004-11-16 2006-06-08 Ngk Spark Plug Co Ltd ガス検知装置及びオードベンチレーションシステム
JP4659438B2 (ja) * 2004-11-16 2011-03-30 日本特殊陶業株式会社 ガス検知装置及びオードベンチレーションシステム
JP2006209250A (ja) * 2005-01-25 2006-08-10 Kyocera Corp 情報記憶デバイス、無線通信デバイス
JP2007172665A (ja) * 2007-03-27 2007-07-05 Kyocera Corp 情報記憶デバイス、無線通信デバイス
JP2007279061A (ja) * 2007-06-19 2007-10-25 Osaka Gas Co Ltd パルス駆動型薄膜ガスセンサおよびその製造方法
JP2010054213A (ja) * 2008-08-26 2010-03-11 Fuji Electric Systems Co Ltd 薄膜ガスセンサのガス検出方法およびガス検知装置
JP2014178199A (ja) * 2013-03-14 2014-09-25 Fuji Electric Co Ltd 薄膜式ガスセンサ及びその検査方法

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