JP2000208009A - 真空バルブ - Google Patents

真空バルブ

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JP2000208009A JP11005444A JP544499A JP2000208009A JP 2000208009 A JP2000208009 A JP 2000208009A JP 11005444 A JP11005444 A JP 11005444A JP 544499 A JP544499 A JP 544499A JP 2000208009 A JP2000208009 A JP 2000208009A
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邦夫 横倉
Yoshimitsu Niwa
芳充 丹羽
Takumi Funabashi
匠 船橋
Yoshimi Nitta
工美 仁田
Mitsutaka Honma
三孝 本間
Hiromichi Somei
宏通 染井
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Abstract

(57)【要約】 【課題】電極の単位面積当たりの遮断電流密度を向上さ
せて小形化すること。 【解決手段】銅体の円筒体の一方の端部が銅体底部で覆
われると共に、他方の端部がほぼ中央に穴の空いた円板
状の接点が接合され、円筒体あるいは当該円筒体から銅
体底部にかけて底部面に対して斜めの角度を有するスリ
ット316 が設けられ、さらに円筒体の内側に当該円筒体
と同軸状の銅体の内円筒体が銅体底部と接点間に配さ
れ、内円筒体には底部面に対して斜めの角度を有するス
リット316 が設けられた構造を有する第１の電極305
と、第１の電極305 とほぼ同様の構造を有し、底部面に
対して斜めに設けられたスリット2,4 の角度がほぼ１８
０゜から第１の電極305 のスリット316 の角度を減じた
構造を有する第２の電極304 とを、真空容器301 内に対
向して配設する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空中での接点の
接離によって、回路に流れる電流の開閉を行なう真空ス
イッチに用いられる真空バルブに係り、特に小形化を実
現し得るようにした真空バルブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、電気スイッチの一つとして、
真空スイッチが多く用いられてきている。この真空スイ
ッチとは、真空遮断器、真空開閉器、真空接触器、真空
タップチェンジャー、真空断路器、真空ヒューズ、真空
リレー等を総称したものである。
【０００３】図１５は、この種の真空スイッチに用いら
れる真空バルブの一例を示す断面図である。
【０００４】真空バルブは、図１５に示すように、円筒
状の絶縁容器３０１とその両端開口部に上蓋３０２、下
蓋３０３で覆われた気密構造となっており、これら絶縁
容器３０１、上蓋３０２、下蓋３０３で覆われた空間
は、高真空に維持されている。また、この空間に一対の
対向する電極３０４，３０５を配して、電極３０４を支
持する固定軸３０６を介して上蓋３０２外に導出し、電
極３０５を支持する可動軸３０７は、ベローズ３０８を
介して舌蓋０３外に導出されている。さらに、これらの
電極３０４，３０５は、真空バルブ外からの操作によっ
て可動軸３０７が図中上下方向に駆動され、電極端の接
点が接離することにより、回路に流れる電流の開閉を行
なう。
【０００５】ところで、このような真空バルブでは、大
電流を遮断するために種々の電極構造が採用されてい
る。
【０００６】図１６は、この電極構造の一例を示す図で
ある。
【０００７】図１６において、対向した電極３０４，３
０５は開極状態にあり、電極端部の接点３１１，３１２
間にアーク３１３が形成された状態を示している。
【０００８】接点３１１，３１２と固定軸３０６、可動
軸３０７との間は、カップ電極３１４，３１５が通電部
を構成している。このカップ電極３１４，３１５の断面
は凹形状を有し、開口部側に接点が接続され、閉口部側
に固定軸３０６、可動軸３０７が接続される。また、カ
ップ電極３１４，３１５の側面部には、スリット３１６
が勝手違いに設けられている。
【０００９】この状態で真空バルブに電流が流れ、接点
３１１，３１２間にアーク３１３が形成されると、カッ
プ電極３１４，３１５のスリット３１６に沿って流れる
電流によって、アーク３１３にはアーク柱と垂直でかつ
円周方向の力が作用し、アーク３１３は接点３１１，３
１２間を回転駆動され、アークの停滞が無くなる。これ
により、アーク３１３による接点３１１，３１２の局部
加熱が抑制されて、接点の損傷を抑制する。
【００１０】従って、このような電極構造とすること
で、より大きな電流のアーク発生に耐え、大電流遮断を
行なうことができる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような電極構造を有する従来の真空バルブにおいて
は、電極の単位面積当たりの遮断電流密度が比較的小さ
いことから、電極が大形となり、結果として真空バルブ
の外管径が大形となり、真空バルブの小形化という観点
で問題がある。
【００１２】本発明の目的は、電極の単位面積当たりの
遮断電流密度を向上させて電極の小形化を実現し、これ
により真空バルブ本体の外管径の小形化を実現して真空
バルブ本体を小形化することが可能な真空バルブを提供
することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１の発明の真空バルブは、銅体の円筒体の
一方の端部が銅体底部で覆われると共に、他方の端部が
ほぼ中央に穴の空いた円板状の接点が接合され、円筒体
あるいは当該円筒体から銅体底部にかけて底部面に対し
て斜めの角度を有するスリットが設けられ、さらに円筒
体の内側に当該円筒体と同軸状の銅体の内円筒体が銅体
底部と接点間に配され、内円筒体には底部面に対して斜
めの角度を有するスリットが設けられた構造を有する第
１の電極と、第１の電極とほぼ同様の構造を有し、底部
面に対して斜めに設けられたスリットの角度がほぼ１８
０゜から第１の電極のスリットの角度を減じた構造を有
する第２の電極とを、真空容器内に対向して配設して成
る。
【００１４】従って、請求項１の発明の真空バルブにお
いては、上記構造を有する第１の電極と第２の電極と
を、真空容器内に対向して配設することにより、アーク
の駆動力を高めて遮断性能を向上させることができる。
【００１５】また、請求項２の発明の真空バルブは、銅
体の円筒体の一方の端部が銅体底部で覆われると共に、
他方の端部がほぼ中央に穴の空いた円板状の接点が接合
され、円筒体あるいは当該円筒体から銅体底部にかけて
底部面に対して斜めの角度を有するスリットが設けら
れ、さらに円筒体の内側に円筒体と同軸状の銅体の内円
筒体とその一方の端部が内側銅体底部で覆われると共
に、他方の端部に接点が接合され、内円筒体あるいは当
該内円筒体から内側銅体底部にかけて底部面に対して斜
めの角度を有するスリットが設けられた構造を有する第
１の電極と、第１の電極とほぼ同様の構造を有し、底部
面に対して斜めに設けられたスリットの角度がほぼ１８
０゜から第１の電極のスリットの角度を減じた構造を有
する第２の電極とを、真空容器内に対向して配設して成
る。
【００１６】従って、請求項２の発明の真空バルブにお
いては、上記構造を有する第１の電極と第２の電極と
を、真空容器内に対向して配設することにより、アーク
の駆動力を高めて遮断性能を向上させることができる。
【００１７】一方、請求項３の発明の真空バルブは、上
記請求項１または請求項２の発明の真空バルブにおい
て、外側の円筒体に設けられたスリットと内側の円筒体
に設けられたスリットの本数を同数としている。
【００１８】従って、請求項３の発明の真空バルブにお
いては、外側の円筒体のスリットと内側の円筒体のスリ
ットの本数を同数とすることにより、アークの駆動力を
高めてより一層遮断性能を向上させることができる。
【００１９】また、請求項４の発明の真空バルブは、上
記請求項３の発明の真空バルブにおいて、外側の円筒体
に設けられたスリットと内側の円筒体に設けられたスリ
ットを同一平面上に配している。
【００２０】従って、請求項４の発明の真空バルブにお
いては、外側の円筒体のスリットと内側の円筒体のスリ
ットを同一平面上に配することにより、アークの駆動力
を高めてより一層遮断性能を向上させることができる。
【００２１】さらに、請求項５の発明の真空バルブは、
上記請求項１または請求項２の発明の真空バルブにおい
て、外側の円筒体に設けられたスリットの底部面に対す
る角度に対して、内側の円筒体に設けられたスリットの
底部面に対する角度を鋭角としている。
【００２２】従って、請求項５の発明の真空バルブにお
いては、外側の円筒体のスリットの底部面に対する角度
に対して、内側の円筒体のスリットの底部面に対する角
度を鋭角とすることにより、アークの駆動力を高めてよ
り一層遮断性能を向上させることができる。
【００２３】一方、請求項６の発明の真空バルブは、上
記請求項１、請求項２、請求項５のいずれか１項の発明
の真空バルブにおいて、外側の円筒体に設けられたスリ
ットの本数Ｎｏと内側の円筒体に設けられたスリットの
本数Ｎｉが、Ｎｏ＞Ｎｉなる関係を満たすようにしてい
る。
【００２４】従って、請求項６の発明の真空バルブにお
いては、外側の円筒体のスリット本数Ｎｏを、内側の円
筒体のスリット本数Ｎｉよりも多くすることにより、ア
ークの駆動力を高めてより一層遮断性能を向上させるこ
とができる。
【００２５】また、請求項７の発明の真空バルブは、上
記請求項６の発明の真空バルブにおいて、外側の円筒体
に設けられたスリットの本数Ｎｏと内側の円筒体に設け
られたスリットの本数Ｎｉが、Ｎｏ＝２×Ｎｉなる関係
を満たすようにしている。
【００２６】従って、請求項７の発明の真空バルブにお
いては、外側の円筒体のスリット本数Ｎｏを、内側の円
筒体のスリット本数Ｎｉの２倍とすることにより、アー
クの駆動力を高めてより一層遮断性能を向上させること
ができる。
【００２７】さらに、請求項８の発明の真空バルブは、
上記請求項７の発明の真空バルブにおいて、外側の円筒
体に設けられたスリットと内側の円筒体に設けられたス
リット１本間隔毎に同一平面上に配している。
【００２８】従って、請求項８の発明の真空バルブにお
いては、外側の円筒体のスリットと内側の円筒体のスリ
ット１本間隔毎に同一平面上に配することにより、アー
クの駆動力を高めてより一層遮断性能を向上させること
ができる。
【００２９】さらにまた、請求項９の発明の真空バルブ
は、上記請求項１乃至請求項８のいずれか１項の発明の
真空バルブにおいて、外側の円筒体の厚さｔ1 と内側の
円筒体の厚さｔ2 が、 ｔ1 ＞ｔ2 なる関係を満たす
ようにしている。
【００３０】従って、請求項９の発明の真空バルブにお
いては、外側の円筒体の厚さｔ1 を、内側の円筒体の厚
さｔ2 よりも厚くすることにより、アークの駆動力を高
めてより一層遮断性能を向上させることができる。
【００３１】一方、請求項１０の発明の真空バルブは、
銅体の円筒体の一方の端部が銅体底部で覆われると共
に、他方の端部の面に同心円状の溝が設けられ、さらに
ほぼ中央に穴の空いた円板状の接点が接合され、円筒体
あるいは当該円筒体から銅体底部にかけて底部面に対し
て斜めの角度を有するスリットが設けられた構造を有す
る第１の電極と、第１の電極とほぼ同様の構造を有し、
底部面に対して斜めに設けられたスリットの角度がほぼ
１８０゜から第１の電極のスリットの角度を減じた構造
を有する第２の電極とを、真空容器内に対向して配設し
て成る。
【００３２】従って、請求項１０の発明の真空バルブに
おいては、上記構造を有する第１の電極と第２の電極と
を、真空容器内に対向して配設することにより、アーク
の駆動力を高めて遮断性能を向上させることができる。
【００３３】また、請求項１１の発明の真空バルブは、
円錐台状の銅体の下底部から円錐状の穴が空き、上底部
に通電軸が接合されると共に、下底部にほぼ中央に穴の
空いた円板状の接点が接合され、さらに円錐台状の銅体
の側面に上底面に対して斜めの角度を有するスリットが
設けられた構造を有する第１の電極と、第１の電極とほ
ぼ同様の構造を有し、上底面に対して斜め設けられたス
リットの角度がほぼ１８０゜から第１の電極のスリット
の角度を減じた構造を有する第２の電極とを、真空容器
内に対向して配設して成る。
【００３４】従って、請求項１１の発明の真空バルブに
おいては、上記構造を有する第１の電極と第２の電極と
を、真空容器内に対向して配設することにより、アーク
の駆動力を高めて遮断性能を向上させることができる。
【００３５】一方、請求項１２の発明の真空バルブは、
上記請求項１乃至請求項１０のいずれか１項の発明の真
空バルブにおいて、内円筒体を、上記請求項１１の発明
の円錐台状の銅体電極で構成している。
【００３６】従って、請求項１２の発明の真空バルブに
おいては、内円筒体を、上記請求項１１の発明の構造を
有する円錐台状の銅体電極で構成することにより、アー
クの駆動力を高めてより一層遮断性能を向上させること
ができる。
【００３７】また、請求項１３の発明の真空バルブは、
上記請求項１乃至請求項１２のいずれか１項の発明の真
空バルブにおいて、ほぼ中央に穴の空いた円板状接点に
おける中央穴部から接点外周部に向けてスリットを設け
ている。
【００３８】従って、請求項１３の発明の真空バルブに
おいては、ほぼ中央に穴の空いた円板状接点における中
央穴部から接点外周部に向けてスリットを設けることに
より、アークの駆動力を高めてより一層遮断性能を向上
させることができる。
【００３９】さらに、請求項１４の発明の真空バルブ
は、上記請求項１乃至請求項１２のいずれか１項の発明
の真空バルブにおいて、接点に設けられたスリットの本
数と内円筒体に設けられたスリットの本数とを同数とし
ている。
【００４０】従って、請求項１４の発明の真空バルブに
おいては、接点のスリット本数を、内円筒体のスリット
本数と同数とすることにより、アークの駆動力を高めて
より一層遮断性能を向上させることができる。
【００４１】さらにまた、請求項１５の発明の真空バル
ブは、上記請求項１４の発明の真空バルブにおいて、接
点に設けられたスリットと内円筒体に設けられたスリッ
トの接点接合面状のスリットが互いに交差するようにし
ている。
【００４２】従って、請求項１５の発明の真空バルブに
おいては、接点のスリットと内円筒体のスリットの接点
接合面状のスリットを互いに交差させることにより、ア
ークの駆動力を高めてより一層遮断性能を向上させるこ
とができる。
【００４３】一方、請求項１６の発明の真空バルブは、
銅体の円筒体の一方の端部が銅体底部で覆われると共
に、他方の端部がほぼ中央に穴の空いた円板状の接点が
接合され、円筒体あるいは当該円筒体から銅体底部にか
けて底部面に対して斜めの角度を有するスリットが設け
られ、そのスリットの底部面となす角度が円筒体の中間
部で変化する構造を有する第１の電極と、第１の電極と
ほぼ同様の構造を有し、底部面に対して斜めに設けられ
た各々のスリットの角度がほぼ１８０゜から第１の電極
の対向するスリットの角度を減じた構造を有する第２の
電極とを、真空容器内に対向して配設して成る。
【００４４】従って、請求項１６の発明の真空バルブに
おいては、上記構造を有する第１の電極と第２の電極と
を、真空容器内に対向して配設することにより、アーク
の駆動力を高めてより一層遮断性能を向上させることが
できる。
【００４５】また、請求項１７の発明の真空バルブは、
上記請求項１６の発明の真空バルブにおいて、接点接合
側に位置するスリットの底面部となす角度α1 と銅体底
部側に位置するスリットの底面部となす角度α2 が、
α1 ＜α2 なる関係を満たすようにしている。
【００４６】従って、請求項１７の発明の真空バルブに
おいては、接点接合側のスリットの底面部となす角度α
1 を、銅体底部側のスリットの底面部となす角度α2 よ
りも小さくすることにより、アークの駆動力を高めてよ
り一層遮断性能を向上させることができる。
【００４７】さらに、請求項１８の発明の真空バルブ
は、上記請求項１乃至請求項１２、請求項１４、請求項
１５のいずれか１項の発明の真空バルブにおいて、外側
円筒体あるいは内側円筒体のうちの少なくともいずれか
一方の円筒体に設けられたスリットの形状が、上記請求
項１７の発明の関係を満たすようにしている。
【００４８】従って、請求項１８の発明の真空バルブに
おいては、外側円筒体あるいは内側円筒体のうちの少な
くともいずれか一方の円筒体のスリットの形状を、上記
請求項１７の発明の関係を満たすものとすることによ
り、アークの駆動力を高めてより一層遮断性能を向上さ
せることができる。
【００４９】一方、請求項１９の発明の真空バルブは、
銅体の円筒体の一方の端部が銅体底部で覆われると共
に、他方の端部がほぼ中央に穴の空いた円板状の接点が
接合され、円筒体あるいは当該円筒体から銅体底部にか
けて底部面に対して斜めの角度を有するスリットが設け
られ、さらに円筒体の内側に当該円筒体と同軸状の銅体
の内円筒体が銅体底部と接点間に配され、内円筒体には
底部面に対して斜めの角度を有するスリットが設けら
れ、外部円筒体の高さが内部の円筒体の高さよりも小さ
い構造を有する第１の電極と、第１の電極とほぼ同様の
構造を有し、底部面に対して斜め設けられたスリットの
角度がほぼ１８０゜から第１の電極のスリットの角度を
減じた構造を有する第２の電極とを、真空容器内に対向
して配設して成る。
【００５０】従って、請求項１９の発明の真空バルブに
おいては、上記構造を有する第１の電極と第２の電極と
を、真空容器内に対向して配設することにより、アーク
の駆動力を高めて遮断性能を向上させることができる。
【００５１】以上により、電極の単位面積当たりの遮断
電流密度を向上させて電極の小形化を実現し、これによ
り真空バルブ本体の外管径の小形化を実現して真空バル
ブ本体を小形化することが可能となる。
【００５２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
【００５３】なお、以下の各実施の形態において、図１
５および図１６と同一部分には同一符号を付してその説
明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【００５４】（第１の実施の形態：請求項１に対応）図
１は、本実施の形態による真空バルブにおける電極の構
成例を示す断面図であり、前記図１５の電極３０５に相
当するものである。
【００５５】また、対向する電極３０４は、前記図１５
のスリット２，４が勝手違いに設けられており、その他
の構成は電極３０５と同一である。
【００５６】一方、底部が覆われた周囲が円筒状のカッ
プ電極３１５の開放端側に、ほぼ中心部に穴の空いた概
ね平板状の接点３１２が接続されている。
【００５７】また、カップ電極３１５の円周側面さらに
は底部にかけて、複数のスリット３１６が設けられてい
る。
【００５８】さらに、カップ電極３１５の底部と接点間
には、カップ電極３１５側面部と同軸状に内銅体２が配
されている。
【００５９】さらにまた、内銅体１の側面さらには底部
にかけて、複数のスリット２が設けられている。
【００６０】以上のように構成した本実施の形態の電極
を備えた真空バルブにおいては、図１に示すように、対
向する接点３１２間に発生したアーク電流は、スリット
３１６に沿って流れる電流とスリット２に沿って流れる
電流で合成される。そして、これら各々の電流で発生し
た磁界によるアークに、アーク柱と垂直な方向に電磁力
が作用する。
【００６１】このことから、アークが接点３１２の中心
側に寄った時には、スリット２に沿って流れる電流によ
る駆動力がアークに作用し、接点３１２の外側に寄った
時には、スリット３１６に沿って流れる電流による駆動
力がアークに作用する。これにより、アークが接点３１
２の内側、外側に点弧しても、アークの駆動力が得ら
れ、アークの局部加熱が抑制されて、大電流域までの遮
断性能が確保される。
【００６２】上述したように、本実施の形態の真空バル
ブでは、前記構造を有する２つの電極３０４，３０５
を、真空容器内に対向して配設しているので、アークの
駆動力を高めて遮断性能を向上させることが可能とな
る。
【００６３】これにより、電極の単位面積当たりの遮断
電流密度を向上させて電極の小形化を実現し、もって真
空バルブの外管径の小形化を実現して真空バルブを小形
化することができる。
【００６４】（第２の実施の形態：請求項２に対応）図
２は、本実施の形態による真空バルブにおける電極の構
成例を示す断面図であり、前記図１５の電極３０５に相
当するものである。
【００６５】また、対向する電極３０４は、前記図１５
のスリット２，４が勝手違いに設けられており、その他
の構成は前述と同一である。
【００６６】一方、底部が覆われた周囲が円筒状のカッ
プ電極３１５の開放端側に、ほぼ中心部に穴の空いた概
ね平板状の接点３１２が接続されている。
【００６７】また、カップ電極３１５の円周側面さらに
は底部にかけて、複数のスリット３１６が設けられてい
る。
【００６８】以上のように構成した本実施の形態の電極
を備えた真空バルブにおいては、図１に示すように、対
向する接点３１２間に発生したアーク電流は、スリット
３１６に沿って流れる電流とスリット２に沿って流れる
電流で合成される。そして、これら各々の電流で発生し
た磁界によるアークに、アーク柱と垂直な方向に電磁力
が作用する。
【００６９】このことから、アークが接点３１２の中心
側に寄った時には、スリット２に沿って流れる電流によ
る駆動力がアークに作用し、接点３１２の外側に寄った
時には、スリット３１６に沿って流れる電流による駆動
力がアークに作用する。これにより、アークが接点３１
２の内側、外側に点弧しても、アークの駆動力が得ら
れ、アークの局部加熱が抑制されて、大電流域までの遮
断性能が確保される。
【００７０】また、本実施の形態では、内銅体１とカッ
プ電極３１５のスリット加工を別々に行なうことができ
る。
【００７１】上述したように、本実施の形態の真空バル
ブでは、前記構造を有する２つの電極３０４，３０５
を、真空容器内に対向して配設しているので、アークの
駆動力を高めて遮断性能を向上させることが可能とな
る。
【００７２】これにより、電極の単位面積当たりの遮断
電流密度を向上させて電極の小形化を実現し、もって真
空バルブの外管径の小形化を実現して真空バルブを小形
化することができる。
【００７３】（第３の実施の形態：請求項３に対応）本
実施の形態による真空バルブは、前述した第１の実施の
形態または第２の実施の形態（ここでは、図１の第１の
実施の形態で代用する）において、外部のカップ電極３
１５の側面に設けられたスリット３１６の本数と、内銅
体１に設けられたスリット２の本数を同数としている。
【００７４】以上のように構成した本実施の形態の電極
を備えた真空バルブにおいては、外部のカップ電極３１
５のスリット３１６と内銅体１のスリット２の本数を同
数としていることにより、アークの駆動力を高めてより
一層遮断性能を向上させることができる。
【００７５】また、本実施の形態では、内銅体１とカッ
プ電極３１５とを一体化した後に、スリットの加工を行
なうことができる。
【００７６】上述したように、本実施の形態の真空バル
ブでは、外部のカップ電極３１５のスリット３１６と内
銅体１のスリット２の本数を同数としているので、アー
クの駆動力を高めてより一層遮断性能を向上させること
が可能となる。
【００７７】（第４の実施の形態：請求項４に対応）図
３は、本実施の形態による真空バルブにおける電極の構
成例を示す断面図である。
【００７８】すなわち、本実施の形態による真空バルブ
は、前述した第３の実施の形態において、図３に示すよ
うに、外部のカップ電極３１５の側面に設けられたスリ
ット３１６と、内銅体１に設けられたスリット２とを、
重なって見えるように同一平面上に配している。
【００７９】以上のように構成した本実施の形態の電極
を備えた真空バルブにおいては、外部のカップ電極３１
５のスリット３１６と内銅体１のスリット２とを、同一
平面上に配していることにより、アークの駆動力を高め
てより一層遮断性能を向上させることができる。
【００８０】上述したように、本実施の形態の真空バル
ブでは、外部のカップ電極３１５のスリット３１６と内
銅体１のスリット２とを、同一平面上に配しているの
で、アークの駆動力を高めてより一層遮断性能を向上さ
せることが可能となる。
【００８１】（第５の実施の形態：請求項５に対応）図
４は、本実施の形態による真空バルブにおける電極の構
成例を示す断面図である。
【００８２】すなわち、本実施の形態による真空バルブ
は、前述した第１の実施の形態または第２の実施の形態
において、図４に示すように、カップ電極３１５に設け
られたスリット３１６が底面となす角度β、内銅体１に
設けられたスリット２が底面となす角度αが、 α＜β
なる関係を満たすようにしている、換言すれば、カッ
プ電極３１５に設けられたスリット３１６が底面となす
角度βに対して、内銅体１に設けられたスリット２が底
面となす角度αを鋭角としている。
【００８３】以上のように構成した本実施の形態の電極
を備えた真空バルブにおいては、カップ電極３１５のス
リット３１６が底面となす角度βに対して、内銅体１の
スリット２が底面となす角度αを鋭角としている（小さ
くしている）ことにより、内銅体１のスリット２に流れ
る電流によるアークへの駆動力をアップして、より一層
遮断性能を向上させることができる。
【００８４】上述したように、本実施の形態の真空バル
ブでは、カップ電極３１５のスリット３１６が底面とな
す角度βに対して、内銅体１のスリット２が底面となす
角度αを鋭角としているので、アークの駆動力を高めて
より一層遮断性能を向上させることが可能となる。
【００８５】（第６の実施の形態：請求項６に対応）図
５は、本実施の形態による真空バルブにおける電極の構
成例を示す断面図である。
【００８６】すなわち、本実施の形態による真空バルブ
は、前述した第１の実施の形態、または第２の実施の形
態、または第５の実施の形態において、図５に示すよう
に、外部のカップ電極３１５に設けられたスリット３１
６の本数Ｎｏと、内銅体１に設けられたスリット２の本
数Ｎｉが、 Ｎｏ＞Ｎｉ なる関係を満たすようにして
いる。
【００８７】以上のように構成した本実施の形態の電極
を備えた真空バルブにおいては、カップ電極３１５のス
リット３１６の本数Ｎｏを、内銅体１のスリット２の本
数Ｎｉよりも多くしていることにより、アークの駆動力
を高めてより一層遮断性能を向上させることができる。
【００８８】すなわち、本実施の形態では、カップ電極
３１５の径が大きくなるとスリット３１６の間隔が広が
り、その中間部にアークが点弧した時に駆動力が低下す
ることを、スリット３１６の本数を増加させることによ
り駆動力の低下を抑制することができる。
【００８９】上述したように、本実施の形態の真空バル
ブでは、カップ電極３１５のスリット３１６の本数Ｎｏ
を、内銅体１のスリット２の本数Ｎｉよりも多くしてい
るので、アークの駆動力を高めてより一層遮断性能を向
上させることが可能となる。
【００９０】（第７の実施の形態：請求項７に対応）本
実施の形態による真空バルブは、前述した第６の実施の
形態において、特に外部のカップ電極３１５の側面に設
けられたスリット３１６の本数Ｎｏと、内銅体１に設け
られたスリット２の本数Ｎｉが、 Ｎｏ＝２×Ｎｉ な
る関係を満たすようにしている。
【００９１】以上のように構成した本実施の形態の電極
を備えた真空バルブにおいては、カップ電極３１５のス
リット３１６の本数Ｎｏを、内銅体１のスリット２の本
数Ｎｉの２倍と多くしていることにより、アークの駆動
力を高めてより一層遮断性能を向上させることができ
る。
【００９２】すなわち、本実施の形態では、カップ電極
３１５の径が大きくなるとスリット３１６の間隔が広が
り、その中間部にアークが点弧したときに駆動力が低下
することを、スリット３１６の本数を増加させることに
より駆動力の低下を抑制することができる。
【００９３】上述したように、本実施の形態の真空バル
ブでは、カップ電極３１５のスリット３１６の本数Ｎｏ
を、内銅体１のスリット２の本数Ｎｉの２倍としている
ので、アークの駆動力を高めてより一層遮断性能を向上
させることが可能となる。
【００９４】（第８の実施の形態：請求項８に対応）図
６は、本実施の形態による真空バルブにおける電極の構
成例を示す断面図である。
【００９５】すなわち、本実施の形態による真空バルブ
は、前述した第７の実施の形態において、特に図６に示
すように、外部のカップ電極３１５に設けられたスリッ
ト３１６と内銅体１に設けられたスリット２の１本間隔
毎に、同一平面上に位置するように配している。
【００９６】以上のように構成した本実施の形態の電極
を備えた真空バルブにおいては、外部のカップ電極３１
５のスリット３１６と内銅体１のスリット２の１本間隔
毎に同一平面上に配していることにより、アークの駆動
力を高めてより一層遮断性能を向上させることができ
る。
【００９７】すなわち、本実施の形態では、カップ電極
３１５の径が大きくなるとスリット３１６の間隔が広が
り、その中間部にアークが点弧したときに駆動力が低下
することを、スリット３１６の本数を増加させることに
より駆動力の低下を抑制することができる。
【００９８】上述したように、本実施の形態の真空バル
ブでは、カップ電極３１５のスリット３１６と内銅体１
のスリット２の１本間隔毎に同一平面上に配しているの
で、アークの駆動力を高めてより一層遮断性能を向上さ
せることが可能となる。
【００９９】（第９の実施の形態：請求項９に対応）図
７は、本実施の形態による真空バルブにおける電極の構
成例を示す断面図である。
【０１００】すなわち、本実施の形態による真空バルブ
は、前述した第１の実施の形態乃至第８の実施の形態の
いずれかにおいて、図７に示すように、外部のカップ電
極３１５の側面を構成する銅体の厚さｔ1 と、内銅体１
の厚さｔ2 が、 ｔ1 ＞ｔ2なる関係を満たすようにし
ている。
【０１０１】以上のように構成した本実施の形態の電極
を備えた真空バルブにおいては、カップ電極３１５の銅
体の厚さｔ1 を、内銅体１の厚さｔ2 よりも厚くしてい
ることにより、アークの駆動力を高めてより一層遮断性
能を向上させることができる。
【０１０２】すなわち、図７に示すように、内銅体１の
底部から接点３１２までの抵抗と内銅体１の底部からカ
ップ電極３１５の接点３１２までの抵抗とが、ｔ2 とｔ
1 の厚さによって調整され、各々に流れる電流が制御で
きる。対向する接点３１２間に発生したアーク電流は、
スリット３１６に沿って流れる電流とスリット２に沿っ
て流れる電流で合成される。そして、これら各々の電流
で発生した磁界によるアークに、アーク柱と垂直な方向
に電磁力が作用する。
【０１０３】このことから、アークが接点３１２の中心
側に寄った時には、スリット２に沿って流れる電流によ
る駆動力がアークに作用し、接点３１２の外側に寄った
時には、スリット３１６に沿って流れる電流による駆動
力がアークに作用する。これにより、アークが接点３１
２の内側、外側に点弧しても、アークの駆動力が得ら
れ、アークの局部加熱が抑制されて、大電流域までの遮
断性能が確保される。
【０１０４】上述したように、本実施の形態の真空バル
ブでは、カップ電極３１５の銅体の厚さｔ1 を、内銅体
１の厚さｔ2 よりも厚くしているので、アークの駆動力
を高めてより一層遮断性能を向上させることが可能とな
る。
【０１０５】（第１０の実施の形態：請求項１０に対
応）図８は、本実施の形態による真空バルブにおける電
極の構成例を示す断面図である。
【０１０６】すなわち、本実施の形態による真空バルブ
は、図８に示すように、外部のカップ電極３１５の側面
を構成する銅体部に、図示の上方向から溝３を切削して
設けている。また、スリット３１６は、カップ電極３１
５全体を一括して設けている。
【０１０７】以上のように構成した本実施の形態の電極
を備えた真空バルブにおいては、図８に示すように、カ
ップ電極３１５の接点３１２接合面側から同軸状に溝３
を設けていることにより、内銅体１が形成され、一連の
機械加工で電極下部の通電部を形成することができる。
対向する接点３１２間に発生したアーク電流は、スリッ
ト３１６に沿って流れる電流とスリット２に沿って流れ
る電流で合成される。そして、これら各々の電流で発生
した磁界によるアークに、アーク柱と垂直な方向に電磁
力が作用する。
【０１０８】このことから、アークが接点３１２の中心
側に寄った時には、スリット２に沿って流れる電流によ
る駆動力がアークに作用し、接点３１２の外測に寄った
時には、スリット３１６に沿って流れる電流による駆動
力がアークに作用する。これにより、アークが接点３１
２の内側、外側に点弧しても、アークの駆動力が得ら
れ、アークの局部加熱が抑制されて、大電流域までの遮
断性能が確保される。
【０１０９】上述したように、本実施の形態の真空バル
ブでは、カップ電極３１５の銅体部に溝３を設け、スリ
ット３１６をカップ電極３１５全体に一括して設けてい
るので、アークの駆動力を高めて遮断性能を向上させる
ことが可能となる。
【０１１０】（第１１の実施の形態：請求項１１に対
応）図９は、本実施の形態による真空バルブにおける電
極の構成例を示す断面図である。
【０１１１】すなわち、本実施の形態による真空バルブ
は、図９に示すように、外部のカップ電極３１５の側面
を構成する銅体部を傾斜させて、全体でほぼ円錐台の形
状を有するものとし、この傾斜した銅体部にスリット３
１６を設けている。
【０１１２】以上のように構成した本実施の形態の電極
を備えた真空バルブにおいては、図９に示すように、円
錐台状に外部のカップ電極３１５を形成していることに
より、接点３１２に近いスリット３１６に沿って流れる
電流によるアークへの駆動力が大きくなる。
【０１１３】これにより、アークが接点３１２の内側、
外側に点弧しても、アークの駆動力が得られ、アークの
局部加熱が抑制されて、大電流域までの遮断性能が確保
される。
【０１１４】上述したように、本実施の形態の真空バル
ブでは、カップ電極３１５の銅体部を傾斜させて円錐台
状とし、この銅体部にスリット３１６を設けているの
で、アークの駆動力を高めて遮断性能を向上させること
が可能となる。
【０１１５】（第１２の実施の形態：請求項１２に対
応）図１０は、本実施の形態による真空バルブにおける
電極の構成例を示す断面図である。
【０１１６】すなわち、本実施の形態による真空バルブ
は、前述した第１の実施の形態乃至第１０の実施の形態
のいずれかにおいて、図１０に示すように、外部のカッ
プ電極３１５の内側に位置する内銅体１をほぼ円錐台の
形状とし、この内銅体１にスリット２を設けている。
【０１１７】以上のように構成した本実施の形態の電極
を備えた真空バルブにおいては、図１０に示すように、
円錐台状に外部のカップ電極３１５を形成していること
により、接点３１２に近いスリット３１６に沿って流れ
る電流によるアークへの駆動力が大きくなる。
【０１１８】これにより、アークが接点３１２の内側、
外側に点弧しても、アークの駆動力が得られ、アークの
局部加熱が抑制されて、大電流域までの遮断性能が確保
される。
【０１１９】上述したように、本実施の形態の真空バル
ブでは、カップ電極３１５の内銅体１を円錐台状とし、
この内銅体１にスリット２を設けているので、アークの
駆動力を高めてより一層遮断性能を向上させることが可
能となる。
【０１２０】（第１３の実施の形態：請求項１３、請求
項１４に対応）図１１は、本実施の形態による真空バル
ブにおける電極の構成例を示す断面図である。
【０１２１】すなわち、本実施の形態による真空バルブ
は、前述した第１の実施の形態乃至第１２の実施の形態
のいずれかにおいて、図１１に示すように、接点３１２
に半径方向に、すなわち中央穴部から接点外周部に向け
てスリット４を設け、外部のカップ電極３１５の内側に
達するようにしている。
【０１２２】また、接点３１２に設けられたスリット４
の本数とカップ電極３１５に設けられたスリット３１６
の本数とを同数としている。
【０１２３】以上のように構成した本実施の形態の電極
を備えた真空バルブにおいては、図１１に示すように、
接点３１２にスリット４を設け、また接点３１２のスリ
ット４の本数とカップ電極３１５のスリット３１６の本
数とを同数としていることにより、アークの点弧点を外
周側に移動させることができ、接点３１２表面に生じる
渦電流を低減することができる。
【０１２４】これにより、アークの駆動力が得られ、ア
ークの局部加熱が抑制されて、大電流域までの遮断性能
が確保される。
【０１２５】上述したように、本実施の形態の真空バル
ブでは、接点３１２にスリット４を設け、接点３１２の
スリット４の本数とカップ電極３１５のスリット３１６
の本数とを同数としているので、アークの駆動力を高め
てより一層遮断性能を向上させることが可能となる。
【０１２６】（第１４の実施の形態：請求項１５に対
応）図１２は、本実施の形態による真空バルブにおける
電極の構成例を示す断面図である。
【０１２７】すなわち、本実施の形態による真空バルブ
は、前述した第１３の実施の形態において、図１２に示
すように、接点３１２に設けられたスリット４と外部の
カップ電極３１５に設けられたスリット３１６の接点３
１６と接する部分で、両方のスリット４、スリット３１
６が互いに交差するようにしている。
【０１２８】以上のように構成した本実施の形態の電極
を備えた真空バルブにおいては、図１２に示すように、
接点３１２にスリット４を設け、また接点３１２のスリ
ット４の本数とカップ電極３１５のスリット３１６の本
数とを同数としていることにより、アークの点弧点を外
周側に移動させることができ、接点３１２表面に生じる
渦電流を低減することができる。
【０１２９】また、接点３１２のスリット４とカップ電
極３１５のスリット３１６の接点３１６と接する部分
で、スリット４、スリット３１６を互いに交差させてい
ることにより、アークの移動が速やかになり、ピンチ効
果によってアークが中心に寄ることを防ぐことができ
る。
【０１３０】これにより、アークの駆動力が得られ、ア
ークの局部加熱が抑制されて、大電流域までの遮断性能
が確保される。
【０１３１】上述したように、本実施の形態の真空バル
ブでは、接点３１２にスリット４を設け、接点３１２の
スリット４の本数とカップ電極３１５のスリット３１６
の本数とを同数とし、さらに接点３１２のスリット４と
カップ電極３１５のスリット３１６の接点３１６接合面
状のスリット４，３１６を互いに交差させているので、
アークの駆動力を高めてより一層遮断性能を向上させる
ことが可能となる。
【０１３２】（第１５の実施の形態：請求項１６乃至請
求項１８に対応）図１３は、本実施の形態による真空バ
ルブにおける電極の構成例を示す断面図である。
【０１３３】すなわち、本実施の形態による真空バルブ
は、図１３に示すように、外部のカップ電極３１５の側
面部に設けられたスリット３１６を、その側面部の中間
で傾きを変化させるようにしている。
【０１３４】また、接点３１２接合側に位置するスリッ
ト３１６の底面部となす角度α1 と銅体１底部側に位置
するスリット３１６の底面部となす角度α2 が、α1 ＜
α2なる関係を満たすようにしている。
【０１３５】以上のように構成した本実施の形態の電極
を備えた真空バルブにおいては、図１３に示すように、
スリット３１６の傾斜が、接点３１２に近い方で鋭角に
なっていることにより、アークに作用する駆動力が増す
る。
【０１３６】これにより、アークの駆動力が得られ、ア
ークの局部加熱が抑制されて、大電流域までの遮断性能
が確保される。
【０１３７】上述したように、本実施の形態の真空バル
ブでは、カップ電極３１５のスリット３１６における、
接点３１２接合側の底面部となす角度α1 を、銅体１底
部側の底面部となす角度α2 よりも小さくしているの
で、アークの駆動力を高めてより一層遮断性能を向上さ
せることが可能となる。
【０１３８】（第１６の実施の形態：請求項１９に対
応）図１４は、本実施の形態による真空バルブにおける
電極の構成例を示す断面図である。
【０１３９】すなわち、本実施の形態による真空バルブ
は、図１４に示すように、外部のカップ電極３１５の内
側に内銅体１１を配し、共に接点３１２に接するように
している。
【０１４０】また、カップ電極３１５にスリット３１６
を設けると共に、内銅体１１にスリット２を設けてい
る。
【０１４１】さらに、カップ電極３１５の高さｔ3 と内
銅体１１の高さｔ4 が、ｔ3 ＜ｔ4なる関係を満たすよ
うにしている。
【０１４２】以上のように構成した本実施の形態の電極
を備えた真空バルブにおいては、図１４に示すように、
カップ状の電極であるカップ電極３１５と内銅体１１と
から構成し、カップ電極３１５底部に設けられたスリッ
ト３１６に沿って流れる電流によって作用する駆動力
を、アークに有効に働かせることができる。
【０１４３】これにより、アークの駆動力が得られ、ア
ークの局部加熱が抑制されて、大電流域までの遮断性能
が確保される。
【０１４４】上述したように、本実施の形態の真空バル
ブでは、カップ電極３１５の内側に内銅体１１を設け
て、共に接点３１２に接するようにし、カップ電極３１
５にスリット３１６を設け、内銅体１１にスリット２を
設け、カップ電極３１５の高さｔ3 を内銅体１１の高さ
ｔ4 よりも小さくしているので、アークの駆動力を高め
てより一層遮断性能を向上させることが可能となる。
【０１４５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の真空バル
ブによれば、接点間の各部に生じたアークに、アーク柱
と垂直方向に作用する駆動力が働くため、アークが接点
間を高速に回転駆動することによって、アークの局部加
熱を抑制し、大電流域までの遮断性能を確保することが
できる。
【０１４６】以上により、電極の単位面積当たりの遮断
電流密度を向上させて電極の小形化を実現し、これによ
り真空バルブ本体の外管径の小形化を実現して真空バル
ブ本体を小形化することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による真空バルブにおける電極の第１の
実施の形態を示す断面図。
【図２】本発明による真空バルブにおける電極の第２の
実施の形態を示す断面図。
【図３】本発明による真空バルブにおける電極の第３お
よび第４の実施の形態を示す断面図。
【図４】本発明による真空バルブにおける電極の第５の
実施の形態を示す断面図。
【図５】本発明による真空バルブにおける電極の第６お
よび第７の実施の形態を示す断面図。
【図６】本発明による真空バルブにおける電極の第８の
実施の形態を示す断面図。
【図７】本発明による真空バルブにおける電極の第９の
実施の形態を示す断面図。
【図８】本発明による真空バルブにおける電極の第１０
の実施の形態を示す断面図。
【図９】本発明による真空バルブにおける電極の第１１
の実施の形態を示す断面図。
【図１０】本発明による真空バルブにおける電極の第１
２の実施の形態を示す断面図。
【図１１】本発明による真空バルブにおける電極の第１
３および第１４の実施の形態を示す断面図。
【図１２】本発明による真空バルブにおける電極の第１
５の実施の形態を示す断面図。
【図１３】本発明による真空バルブにおける電極の第１
６乃至第１８の実施の形態を示す断面図。
【図１４】本発明による真空バルブにおける電極の第１
９の実施の形態を示す断面図。
【図１５】真空スイッチに用いられる真空バルブの一例
を示す断面図。
【図１６】従来の真空バルブの電極構造の一例を示す
図。
【符号の説明】
１…内銅体、 ２…スリット、 ３…溝、 ４…スリット、 １１…内銅体、 ３０１…絶縁容器、 ３０２…上蓋、 ３０３…下蓋、 ３０４…電極、 ３０５…電極、 ３０６…固定軸、 ３０７…可動軸、 ３０８…べローズ、 ３１１…接点、 ３１２…接点、 ３１３…アーク、 ３１４…カップ電極、 ３１５…カップ電極、 ３１６…スリット。
フロントページの続き (72)発明者 船橋 匠 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中工場内 (72)発明者 仁田 工美 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中工場内 (72)発明者 本間 三孝 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中工場内 (72)発明者 染井 宏通 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中工場内 Ｆターム(参考） 5G026 CA01 CB05 5G051 AA14 AC07

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 銅体の円筒体の一方の端部が銅体底部で
    覆われると共に、他方の端部がほぼ中央に穴の空いた円
    板状の接点が接合され、前記円筒体あるいは当該円筒体
    から銅体底部にかけて底部面に対して斜めの角度を有す
    るスリットが設けられ、さらに前記円筒体の内側に当該
    円筒体と同軸状の銅体の内円筒体が銅体底部と接点間に
    配され、前記内円筒体には前記底部面に対して斜めの角
    度を有するスリットが設けられた構造を有する第１の電
    極と、 前記第１の電極とほぼ同様の構造を有し、前記底部面に
    対して斜めに設けられたスリットの角度がほぼ１８０゜
    から前記第１の電極のスリットの角度を減じた構造を有
    する第２の電極とを、 真空容器内に対向して配設して成ることを特徴とする真
    空バルブ。
  2. 【請求項２】 銅体の円筒体の一方の端部が銅体底部で
    覆われると共に、他方の端部がほぼ中央に穴の空いた円
    板状の接点が接合され、前記円筒体あるいは当該円筒体
    から銅体底部にかけて底部面に対して斜めの角度を有す
    るスリットが設けられ、さらに前記円筒体の内側に前記
    円筒体と同軸状の銅体の内円筒体とその一方の端部が内
    側銅体底部で覆われると共に、他方の端部に前記接点が
    接合され、前記内円筒体あるいは当該内円筒体から内側
    銅体底部にかけて底部面に対して斜めの角度を有するス
    リットが設けられた構造を有する第１の電極と、 前記第１の電極とほぼ同様の構造を有し、前記底部面に
    対して斜めに設けられたスリットの角度がほぼ１８０゜
    から前記第１の電極のスリットの角度を減じた構造を有
    する第２の電極とを、 真空容器内に対向して配設して成ることを特徴とする真
    空バルブ。
  3. 【請求項３】 前記請求項１または請求項２に記載の真
    空バルブにおいて、 前記外側の円筒体に設けられたスリットと内側の円筒体
    に設けられたスリットの本数を同数としたことを特徴と
    する真空バルブ。
  4. 【請求項４】 前記請求項３に記載の真空バルブにおい
    て、 前記外側の円筒体に設けられたスリットと内側の円筒体
    に設けられたスリットを同一平面上に配したことを特徴
    とする真空バルブ。
  5. 【請求項５】 前記請求項１または請求項２に記載の真
    空バルブにおいて、 前記外側の円筒体に設けられたスリットの底部面に対す
    る角度に対して、内側の円筒体に設けられたスリットの
    底部面に対する角度を鋭角としたことを特徴とする真空
    バルブ。
  6. 【請求項６】 前記請求項１、請求項２、請求項５のい
    ずれか１項に記載の真空バルブにおいて、 前記外側の円筒体に設けられたスリットの本数Ｎｏと内
    側の円筒体に設けられたスリットの本数Ｎｉが、 Ｎｏ
    ＞Ｎｉ なる関係を満たすようにしたことを特徴とする
    真空バルブ。
  7. 【請求項７】 前記請求項６に記載の真空バルブにおい
    て、 前記外側の円筒体に設けられたスリットの本数Ｎｏと内
    側の円筒体に設けられたスリットの本数Ｎｉが、 Ｎｏ
    ＝２×Ｎｉ なる関係を満たすようにしたことを特徴と
    する真空バルブ。
  8. 【請求項８】 前記請求項７に記載の真空バルブにおい
    て、 前記外側の円筒体に設けられたスリットと内側の円筒体
    に設けられたスリット１本間隔毎に同一平面上に配した
    ことを特徴とする真空バルブ。
  9. 【請求項９】 前記請求項１乃至請求項８のいずれか１
    項に記載の真空バルブにおいて、 前記外側の円筒体の厚さｔ1 と内側の円筒体の厚さｔ2
    が、 ｔ1 ＞ｔ2 なる関係を満たすようにしたことを
    特徴とする真空バルブ。
  10. 【請求項１０】 銅体の円筒体の一方の端部が銅体底部
    で覆われると共に、他方の端部の面に同心円状の溝が設
    けられ、さらにほぼ中央に穴の空いた円板状の接点が接
    合され、前記円筒体あるいは当該円筒体から銅体底部に
    かけて底部面に対して斜めの角度を有するスリットが設
    けられた構造を有する第１の電極と、 前記第１の電極とほぼ同様の構造を有し、前記底部面に
    対して斜めに設けられたスリットの角度がほぼ１８０゜
    から前記第１の電極のスリットの角度を減じた構造を有
    する第２の電極とを、 真空容器内に対向して配設して成ることを特徴とする真
    空バルブ。
  11. 【請求項１１】 円錐台状の銅体の下底部から円錐状の
    穴が空き、上底部に通電軸が接合されると共に、下底部
    にほぼ中央に穴の空いた円板状の接点が接合され、さら
    に前記円錐台状の銅体の側面に上底面に対して斜めの角
    度を有するスリットが設けられた構造を有する第１の電
    極と、 前記第１の電極とほぼ同様の構造を有し、前記上底面に
    対して斜め設けられたスリットの角度がほぼ１８０゜か
    ら前記第１の電極のスリットの角度を減じた構造を有す
    る第２の電極とを、 真空容器内に対向して配設して成ることを特徴とする真
    空バルブ。
  12. 【請求項１２】 前記請求項１乃至請求項１０のいずれ
    か１項に記載の真空バルブにおいて、 前記内円筒体を、前記請求項１１に記載の円錐台状の銅
    体電極で構成したことを特徴とする真空バルブ。
  13. 【請求項１３】 前記請求項１乃至請求項１２のいずれ
    か１項に記載の真空バルブにおいて、 前記ほぼ中央に穴の空いた円板状接点における前記中央
    穴部から接点外周部に向けてスリットを設けたことを特
    徴とする真空バルブ。
  14. 【請求項１４】 前記請求項１乃至請求項１２のいずれ
    か１項に記載の真空バルブにおいて、 前記接点に設けられたスリットの本数と内円筒体に設け
    られたスリットの本数とを同数としたことを特徴とする
    真空バルブ。
  15. 【請求項１５】 前記請求項１４に記載の真空バルブに
    おいて、 前記接点に設けられたスリットと内円筒体に設けられた
    スリットの接点接合面状のスリットが互いに交差するよ
    うにしたことを特徴とする真空バルブ。
  16. 【請求項１６】 銅体の円筒体の一方の端部が銅体底部
    で覆われると共に、他方の端部がほぼ中央に穴の空いた
    円板状の接点が接合され、前記円筒体あるいは当該円筒
    体から銅体底部にかけて底部面に対して斜めの角度を有
    するスリットが設けられ、そのスリットの底部面となす
    角度が前記円筒体の中間部で変化する構造を有する第１
    の電極と、 前記第１の電極とほぼ同様の構造を有し、前記底部面に
    対して斜めに設けられた各々のスリットの角度がほぼ１
    ８０゜から前記第１の電極の対向するスリットの角度を
    減じた構造を有する第２の電極とを、 真空容器内に対向して配設して成ることを特徴とする真
    空バルブ。
  17. 【請求項１７】 前記請求項１６に記載の真空バルブに
    おいて、 前記接点接合側に位置するスリットの底面部となす角度
    α1 と前記銅体底部側に位置するスリットの底面部とな
    す角度α2 が、 α1 ＜α2 なる関係を満たすように
    したことを特徴とする真空バルブ。
  18. 【請求項１８】 前記請求項１乃至請求項１２、請求項
    １４、請求項１５のいずれか１項に記載の真空バルブに
    おいて、 前記外側円筒体あるいは内側円筒体のうちの少なくとも
    いずれか一方の円筒体に設けられたスリットの形状が、
    前記請求項１７に記載の関係を満たすようにしたことを
    特徴とする真空バルブ。
  19. 【請求項１９】 銅体の円筒体の一方の端部が銅体底部
    で覆われると共に、他方の端部がほぼ中央に穴の空いた
    円板状の接点が接合され、前記円筒体あるいは当該円筒
    体から銅体底部にかけて底部面に対して斜めの角度を有
    するスリットが設けられ、さらに前記円筒体の内側に当
    該円筒体と同軸状の銅体の内円筒体が銅体底部と接点間
    に配され、前記内円筒体には前記底部面に対して斜めの
    角度を有するスリットが設けられ、前記外部円筒体の高
    さが内部の円筒体の高さよりも小さい構造を有する第１
    の電極と、 前記第１の電極とほぼ同様の構造を有し、前記底部面に
    対して斜め設けられたスリットの角度がほぼ１８０゜か
    ら前記第１の電極のスリットの角度を減じた構造を有す
    る第２の電極とを、 真空容器内に対向して配設して成ることを特徴とする真
    空バルブ。
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