JP2000203036A - インクジェットヘッド製造方法及びその製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、ピエゾアクチュエータの各々の高
さのバラツキを吸収した状態で複数個のピエゾアクチュ
エータを一括して同時に流路板と接合できるインクジェ
ットヘッド製造方法及びその製造装置を提供することを
課題とする。 【解決手段】 流路板にピエゾアクチュエータとの位置
関係を定める位置決め手段を有し、インクを吐出させる
ための複数個のピエゾアクチュエータが流路板上に配設
されているインクジェットプリンタ用のインクジェット
ヘッドの製造装置であって、ピエゾアクチュエータを位
置決め固定するステージとベース基体の間にピエゾアク
チュエータの高さを調整する高さ調整手段を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッド製造技術に係り、特にピエゾアクチュエータの各々
の高さのバラツキを吸収した状態で複数個のピエゾアク
チュエータを一括して同時に流路板と接合できるインク
ジェットヘッド製造方法及びその製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、インクジェット記録方式に適用さ
れるインクジェット記録ヘッドは、一般的に微細なイン
ク吐出口（オリフィス）、インク流路及びこのインク流
路の一部に設けられるインク吐出圧発生部を備えてい
る。このようなインクジェットヘッドにおける製造で
は、電鋳技術あるいはプレス技術により板材を加工後、
接着剤による接合技術を用いて積層することで流路板を
作製して、その後、インクを吐出する駆動力を伝達する
ために流路板に形成されたダイヤフラム部にピエゾアク
チュエータを接着剤を用いた接合技術により接合してい
る。この流路板にピエゾアクチュエータを接合する工程
では、１枚の流路板に複数個のピエゾアクチュエータを
接合する必要がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術では、接合部材であるピエゾアクチュエータには各々
に高さのバラツキがあるため、ピエゾアクチュエータを
流路板に１個ずつ接合していた。このため、複数個のピ
エゾアクチュエータを流路板に接合する製造工程はイン
クジェットヘッド製造工程内の製造時間を大きく占め、
量産化、高効率化、低価格化などの妨げとなっている。
そこで、複数個のピエゾアクチュエータを流路板に接合
する製造工程の工程数の削減、時間短縮は大きな問題点
となっている。

【０００４】本発明は斯かる問題点を鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、インクジェットヘ
ッド製造工程内の量産化、高効率化の妨げとなっている
複数個のピエゾアクチュエータを流路板に接合する工程
において、ピエゾアクチュエータの各々の高さのバラツ
キを吸収した状態で複数個のピエゾアクチュエータを一
括して同時に流路板と接合できるようすることにより、
工程数を削減し製造時間の短縮を図るインクジェットヘ
ッド製造方法、及びその製造装置を提供する点にある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の要旨は、インクを吐出させるための複数個のピエゾア
クチュエータがピエゾアクチュエータの圧力を用いてノ
ズルにインクを導くための流路板上に配設されているイ
ンクジェットプリンタのインクジェットヘッドの製造方
法であって、前記ピエゾアクチュエータとの位置関係を
定める位置決め手段を用いて、前記ピエゾアクチュエー
タの圧力を用いてノズルにインクを導くための前記流路
板に前記複数個のピエゾアクチュエータを接着する際
に、前記流路板との接着面に熱硬化型接着剤を転写した
前記複数個のピエゾアクチュエータを、吸着固定手段の
所望の位置に搭載して真空吸着固定するピエゾアクチュ
エータ固定工程と、前記位置決め手段を用いて前記ピエ
ゾアクチュエータに対して所望の前記位置関係に前記流
路板を固定する流路板固定工程と、前記ピエゾアクチュ
エータに転写された前記熱硬化型着剤を、所望の圧力で
前記流路板と当該ピエゾアクチュエータ間に加圧した状
態で所望の温度で加熱硬化して当該ピエゾアクチュエー
タと当該流路板とを接着する接着工程とを有することを
特徴とするインクジェットヘッドの製造方法に存する。
また本発明の請求項２に記載の要旨は、流路板にピエゾ
アクチュエータとの位置関係を定める位置決め手段を有
し、インクを吐出させるための複数個のピエゾアクチュ
エータが流路板上に配設されているインクジェットプリ
ンタ用のインクジェットヘッド製造装置であって、前記
ピエゾアクチュエータを位置決め固定するステージとベ
ース基板の間に前記ピエゾアクチュエータの高さを調整
する高さ調整手段を有することを特徴とするインクジェ
ットヘッド製造装置に存する。また本発明の請求項３に
記載の要旨は、流路板にピエゾアクチュエータとの位置
関係を定める位置決め手段を有し、インクを吐出させる
ための複数個のピエゾアクチュエータが流路板上に配設
されているインクジェットプリンタ用のインクジェット
ヘッド製造装置であって、前記流路板との位置関係を決
めて前記複数のピエゾアクチュエータを固定して流路板
に接着するためのベース基板と、前記ベース基板上に配
設され、当該ベース基板上における前記ピエゾアクチュ
エータの位置を決めるピエゾアクチュエータ位置決め手
段と、前記ベース基板上に配設され、前記流路板と前記
ピエゾアクチュエータとの位置関係を定める流路板位置
決め手段と、前記ベース基板上に配設され、前記ピエゾ
アクチュエータを真空吸着固定するための真空吸着溝を
有する吸着固定手段と、前記ピエゾアクチュエータの高
さを調整する高さ調整手段と、前記流路板との位置関係
を決めて前記複数のピエゾアクチュエータを固定した状
態で、前記ベース基板との間で流路板とピエゾアクチュ
エータとを加圧加熱する加熱手段とを有することを特徴
とするインクジェットヘッド製造装置に存する。また本
発明の請求項４に記載の要旨は、前記高さ調整手段がシ
リコンゴムを主構成材料とする弾性シートであることを
特徴とする請求項２または３に記載のインクジェットヘ
ッド製造装置に存する。また本発明の請求項５に記載の
要旨は、前記弾性シートの膜厚が、０．６乃至１．２ｍ
ｍであることを特徴とする請求項４に記載のインクジェ
ットヘッド製造装置に存する。また本発明の請求項６に
記載の要旨は、前記高さ調整手段が、前記ピエゾアクチ
ュエータの高さを調整するための複数個の圧縮ばねを有
することを特徴とする請求項４または５に記載のインク
ジェットヘッド製造装置に存する。また本発明の請求項
７に記載の要旨は、前記高さ調整手段が、前記ピエゾア
クチュエータの高さを調整するための複数個のスプリン
グプランジャーを有することを特徴とする請求項４乃至
６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド製造装
置に存する。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を参照して詳細に説明する。

【０００７】（第１実施形態）インクジェットヘッド
は、微細なインク吐出口（オリフィス）、インク流路及
びこのインク流路の一部に設けられるインク吐出圧発生
部を備えている。本実施形態は、インクをオリフィスに
導くための流路が形成された流路板２と吐出圧を発生さ
せるためのピエゾアクチュエータ１を接着するためのイ
ンクジェットヘッド製造装置である。図１は本発明にか
かる製造装置の第１実施形態を説明するための装置斜視
図であり、図２は図１の製造装置のＡ−Ａ矢視図であ
り、図３はピエゾアクチュエータ１と流路板２を位置決
めした状態で搭載して加熱手段８を下降させた加圧状態
を説明するための、図１の製造装置のＢ−Ｂ線に沿った
断面図である。図１を参照すると、ピエゾアクチュエー
タ１と位置決め手段２Ａを有する流路板２を接合するた
めのインクジェットヘッド製造装置は、ピエゾアクチュ
エータ１を真空吸着固定するための真空吸着溝を有する
吸着固定手段３と、真空吸着固定された際のピエゾアク
チュエータ１の高さのバラツキを吸収する高さ調整手段
４を有する。以下、本実施形態では高さ調整手段４にシ
リコンゴムを主構成材料とする弾性シート（以下、シリ
コンゴムシート４）を用いた場合について説明する。

【０００８】吸着固定手段３とシリコンゴムシート（高
さ調整手段）４はベース基板５上に配置される。ベース
基板５上には、ピエゾアクチュエータ１を位置決めする
ピエゾアクチュエータ位置決め手段６（本実施形態で
は、ピエゾアクチュエータ位置決め手段６として、所望
の位置に固定したピエゾアクチュエータ位置決めピン６
を用いて具体例としている）と、流路板２を位置決めす
る流路板位置決め手段７（本実施形態では、流路板位置
決め手段７として、所望の位置に固定した流路板位置決
めピン７を用いて具体例としている）があり、各々の部
品の位置決めを行う。またベース基板５の下には、図示
されていないヒータを配置し、ベース基板５、シリコン
ゴムシート（高さ調整手段）４、吸着固定手段３（本実
施形態では、具体的にステージ３とする）を通してピエ
ゾアクチュエータ１を加熱する。また図示されていない
駆動部を用いて図示されていないヒータを内蔵した加熱
手段８（本実施形態では、具体的に加熱ブロック８とす
る）を上下させることで、ピエゾアクチュエータ１に対
して位置関係を定めた状態で流路板２を加圧、加熱して
接着固定する。

【０００９】次に、インクジェットヘッド製造装置各部
の詳細について説明する。ベース基板５には、ステージ
（吸着固定手段）３がシリコンゴムシート（高さ調整手
段）４を介して配設され、またピエゾアクチュエータ位
置決めピン（ピエゾアクチュエータ位置決め手段）６、
流路板位置決めピン（流路板位置決め手段）７が配設さ
れている。ベース基板５は各部品の位置関係を定めると
もに、ピエゾアクチュエータ１と流路板を加圧加熱によ
って接着する際の加熱ブロック（加熱手段）８による圧
力を受けている。

【００１０】高さ調整手段４（弾性シート）は、加圧時
に変形してピエゾアクチュエータ１の高さ調整を可能と
する弾性を有し、加熱によって変質することなく繰り返
し使用可能である。従って、前記条件を満たす材質なら
ば弾性シートとして適用可能である。好適には、シリコ
ンゴムを主構成材料としているシリコンゴムシート（高
さ調整手段）４が挙げられる。このような弾性シートを
用いることによって、ベース基板５上に配設された複数
のピエゾアクチュエータ１を流路板２に歪みなく押圧す
ることができ、一度に加熱して接着固定できる。なお、
弾性シートの形状は、本実施形態に図示した形状に限ら
れるものではなく、ステージ（吸着固定手段）３とベー
ス基板５との間に設置されて、加圧時に変形してピエゾ
アクチュエータ１の高さ調整を可能とする形状であれば
良い。具体的には、ベース基板表面全体を覆う形状やス
テージ（吸着固定手段）３の一部に敷かれる形状でも構
わない。

【００１１】シリコンを主構成材料とする弾性シート４
（シリコンゴムシート４）の厚さは、加圧時に変形して
ピエゾアクチュエータ１の高さ調整を可能とする膜厚に
基づいて決定されている。具体的には０．６乃至１．２
ｍｍ程度の厚さであって、好適には０．９ｍｍが好まし
い。これは、薄くなるとシリコンゴムシート（高さ調整
手段）４の縮み代がなくなり、ピエゾアクチュエータ１
の高さのバラツキを十分に吸収しきれず、また厚くなる
とシリコンゴムシート（高さ調整手段）４のベース基板
５に対して平行（ベース面内）方向の剛性が不足し、ピ
エゾアクチュエータ１と流路板２の位置ズレの要因とな
るためである。また同様の理由により、シリコンゴムシ
ート（高さ調整手段）４の硬度はＪＩＳ Ａ基準で８５
程度が好適である。

【００１２】ベース基板５とシリコンゴムシート（高さ
調整手段）４、シリコンゴムシート（高さ調整手段）４
とステージ（吸着固定手段）３は、接着剤を、転写技術
の応用で転写後に接合される。接着剤の材質としては、
具体的にはエポキシ系接着剤、アクリル系接着剤など一
般的な接着剤を用いることが可能であるが、耐熱性及び
耐久性に優れるシリコン系接着剤が好ましい。ピエゾア
クチュエータ１と流路板２を接合するために、熱硬化性
接着剤を用いており、１４０〜１６０℃程度の加熱を行
う。このため耐熱性が必要である。またピエゾアクチュ
エータ１と流路板２を接合する度に、シリコンゴムシー
ト（高さ調整手段）４は圧縮と解放が繰り返されるた
め、シリコンゴムシート（高さ調整手段）４と各部材の
接合部にもある程度の弾性が必要となるからである。

【００１３】ピエゾアクチュエータ位置決め手段６と流
路板位置決め手段７は、それぞれベース基板５に対する
ピエゾアクチュエータ１の位置関係、及びベース基板５
に対する流路板２の位置関係を定め、ピエゾアクチュエ
ータ１と流路板２を所望の位置関係に設置している。従
って、加熱によって変形しない材質が好ましく、具体的
には鉄、ステンレス、真鍮等の耐熱性及び耐久性に優れ
る金属が挙げられる。また、形状は本実施形態では円柱
状のピンとしているが、これに限られるものではない。

【００１４】インクジェットヘッドの部材である流路板
２は位置決め手段２Ａを有している。この位置決め手段
２Ａと製造装置のベース基板５上に配設された流路板位
置決め手段７とによって、ベース基板５上の所望の位置
に配設された複数個のピエゾアクチュエータ１と流路板
との位置関係を一度に決定できる。前述した弾性シート
（シリコンゴムシート（高さ調整手段）４）を用いる製
造装置と併用して用いることによって、ベース基板５上
に配設された複数個のピエゾアクチュエータ１と流路板
との位置関係を決定した状態で、複数のピエゾアクチュ
エータ１を流路板２に一度に加熱して接着固定できる。

【００１５】次に、本発明のインクジェットヘッド製造
方法及び製造装置の動作について、図を参照して説明す
る。本発明のインクジェットヘッド製造方法は、インク
を導くための流路板２に複数個のピエゾアクチュエータ
１を接着する際に、流路板２との接着面に熱硬化型接着
剤を転写した複数個のピエゾアクチュエータ１をステー
ジ（吸着固定手段）３の所望の位置に搭載して真空吸着
固定するピエゾアクチュエータ固定工程と、流路板位置
決め手段７を用いて前記ピエゾアクチュエータ１に対し
て所望の位置関係に流路板２を固定する流路板固定工程
と、ピエゾアクチュエータ１に転写された熱硬化型着剤
を所望の圧力で流路板２とピエゾアクチュエータ１との
間に加圧した状態で所望の温度で加熱硬化してピエゾア
クチュエータ１と流路板２とを接着する接着工程とから
構成されている。

【００１６】実際の動作の具体例として、５個のピエゾ
アクチュエータ１が流路板２に接合される場合について
説明する。

【００１７】予め熱硬化型接着剤を５乃至１０μｍ程度
の膜厚で転写した５個のピエゾアクチュエータ１を、ピ
エゾアクチュエータ位置決めピン（ピエゾアクチュエー
タ位置決め手段）６に突き当てることでステージ（吸着
固定手段）３上の所望の位置に位置決めした状態で搭載
し、真空吸着固定する（ピエゾアクチュエータ固定工
程）。次に、流路板２の位置決め手段２Ａ（本実施形態
では、位置決め穴２Ａとした）をベース基板５上の流路
板位置決めピン（流路板位置決め手段）７に通すこと
で、５個のピエゾアクチュエータ１に対して所望の位置
関係に流路板２の位置決めを行う（流路板固定工程）。
次に、加熱ブロック（加熱手段）８を下降させて流路板
２上から加圧して、流路板２とピエゾアクチュエータ１
間に所望の圧力がかけられた状態で加熱する。この時、
ステージ（吸着固定手段）３下のシリコンゴムシート
（高さ調整手段）４が各々ピエゾアクチュエータ１の高
さのバラツキに合わせて撓むことで、接合面の高さを一
定に調整している。この状態で、ピエゾアクチュエータ
１と流路板２を接合する接着剤が硬化するまで加圧と加
熱を保持する（接着工程）。

【００１８】加熱温度は接着部における熱硬化型接着剤
が硬化するのに十分な温度が必要であり、一般的な熱硬
化型接着剤の硬化温度である１２５℃程度までの加熱が
必要とされる。ピエゾアクチュエータ１、流路板２、ス
テージ（吸着固定手段）３、シリコンゴムシート（高さ
調整手段）４、ベース基板５、ピエゾアクチュエータ位
置決めピン（ピエゾアクチュエータ位置決め手段）６、
流路板位置決めピン（流路板位置決め手段）７、加熱ブ
ロック（加熱手段）８等による放熱を考慮し、マージン
として５℃を確保するため、ピエゾアクチュエータ１と
流路板２の接合面の本実施形態における加熱温度は、好
適には１３０℃程度である。この加熱適正温度は装置サ
イズ、装置構成、装置素材によって変動し、この温度に
限定されるものではない。

【００１９】また加熱時間は、ピエゾアクチュエータ
１、流路板２、ステージ（吸着固定手段）３等各部材の
熱容量を考慮して、昇温２分程度、保持１分程度、ヒー
タへの通電を遮断した状態で強制空冷することで、除冷
５分程度とする。なお、この加熱適正時間は装置サイ
ズ、装置構成、装置素材によって変動し、この時間に限
定されるものではない。また、本実施形態ではピエゾア
クチュエータ１を５個としたが、この個数に限られるも
のではない。インクジェットヘッドのノズル数の増加に
よるピエゾアクチュエータ１の接合個数の増加に対して
も、ステージ（吸着固定手段）３の個数をＮ個に拡張す
ることで対応が可能である。

【００２０】以上説明したように、第１実施形態によれ
ば、ステージ（吸着固定手段）３下のシリコンゴムシー
ト（高さ調整手段）４が、ピエゾアクチュエータ１の各
々の高さのバラツキを吸収し、複数個のピエゾアクチュ
エータ１を一括して同時に流路板２と接合することが可
能となる。その結果、従来個々にピエゾアクチュエータ
１を流路板２に固定していた場合に比べて、大幅に製造
時間の短縮が可能となり、インクジェットヘッドの量産
にも対応できるといった効果を奏する。また、ステージ
（吸着固定手段）３下の弾性シート（シリコンゴムシー
ト（高さ調整手段）４）が撓み、ピエゾアクチュエータ
１と流路板２の接合面の平面が各々ならいながら加圧さ
れ密着することで、接着剤層が均一化され接合強度、密
着性が向上する。その結果、接合状態が向上して、使用
耐久性に優れ、かつ製造の歩留まりが向上するといった
効果を奏する。

【００２１】（第２実施形態）次に、本発明の他の実施
例について、図面を参照して詳細に説明する。図４は本
発明にかかる製造装置の第２実施形態を説明するための
装置断面図である。なお、第１実施形態において既に記
述したものと同一の部分については、同一符号を付し、
重複した説明は省略する。図４を参照すると、ベース基
板５に掘り込み９を設け、シリコンゴムシート（高さ調
整手段）４とステージ（吸着固定手段）３を挿入する。
ベース基板５とシリコンゴムシート（高さ調整手段）
４、シリコンゴムシート（高さ調整手段）４とステージ
（吸着固定手段）３との間は接着固定されていない。ス
テージ（吸着固定手段）３と掘り込み９の関係ははめあ
いとして位置ズレを規制している。このような構造とす
ることより第１実施形態と同等の効果を得ることができ
る。さらに加えて、加熱等によってシリコンゴムシート
（高さ調整手段）４に劣化が生じた場合、それぞれの部
材間を接着した場合に比べて、簡単に交換ができるとい
った効果を奏する。

【００２２】（第３実施形態）次に、本発明の他の実施
例について、図面を参照して詳細に説明する。図５は本
発明にかかる製造装置の第３実施形態を説明するための
装置断面図である。なお、第１，第２実施形態において
既に記述したものと同一の部分については、同一符号を
付し、重複した説明は省略する。図５を参照すると、ベ
ース基板５のステージ（吸着固定手段）３上面に掘り込
み１０を設け、その中にシリコンゴムシート（高さ調整
手段）４を設置する。シリコンゴムシート（高さ調整手
段）４とステージ（吸着固定手段）３は固定しない。シ
リコンゴムシート（高さ調整手段）４にはピエゾアクチ
ュエータ１と吸着用の穴１１が設けられ、ステージ（吸
着固定手段）３とピエゾアクチュエータ１をシリコンゴ
ムシート（高さ調整手段）４を介した状態でも真空吸着
で固定可能としている。このような構造とすることより
第１実施形態と同等の効果を得ることができる。さらに
加えて、加熱等によってシリコンゴムシート（高さ調整
手段）４に劣化が生じた場合、それぞれの部材間を接着
した場合に比べて、簡単に交換ができるといった効果も
奏する。

【００２３】（第４実施形態）次に、本発明の他の実施
例について、図面を参照して詳細に説明する。図６は本
発明にかかる製造装置の第４実施形態を説明するための
装置断面図である。なお、第１乃至第３実施形態におい
て既に記述したものと同一の部分については、同一符号
を付し、重複した説明は省略する。図６を参照すると、
第５実施形態では、高さ調節手段を第１実施形態のシリ
コンゴムシート（高さ調整手段）４に代えて、圧縮バネ
１２をベース基板５とステージ（吸着固定手段）３の間
に複数本配設する。圧縮バネ１２の本数は、ピエゾアク
チュエータ１を流路板２に均一に押さえるために１つの
ピエゾアクチュエータ１当たり８本程度用いることが望
ましいが、この本数に限定されず、部材構造とサイズに
よって適正な個数に変更される。この圧縮バネ１２でス
テージ（吸着固定手段）３を支える。ステージ（吸着固
定手段）３の裏には、圧縮バネ１２先端がそれぞれ入る
穴１３を形成する。また、ベース基板５上には、圧縮バ
ネ１２を固定するための突起１４を形成する。接合面の
傾きに合わせて圧縮バネ１２が伸び縮みすることでステ
ージ（吸着固定手段）３が傾き、ピエゾアクチュエータ
１の高さのバラツキを吸収することで、ピエゾアクチュ
エータ１が接合面の傾きにならうことができる。このよ
うな構造とすることより第１実施形態と同等の効果を得
ることができる。

【００２４】（第５実施形態）次に、本発明の他の実施
例について、図面を参照して詳細に説明する。図７は本
発明にかかる製造装置の第５実施形態を説明するための
装置断面図である。なお、第１乃至第４実施形態におい
て既に記述したものと同一の部分については、同一符号
を付し、重複した説明は省略する。図７を参照すると、
第５実施形態では、高さ調節手段を第１実施形態のシリ
コンゴムシート（高さ調整手段）４に代えて、スプリン
グプランジャー１５をベース基板５に複数本配設する。
スプリングプランジャー１５の本数は、ピエゾアクチュ
エータ１を流路板２に均一に押さえるために１つのピエ
ゾアクチュエータ１当たり６０本程度用いることが望ま
しいが、この本数に限定されず、部材構造やサイズによ
って適正な個数に変更される。このスプリングプランジ
ャー１５でステージ（吸着固定手段）３を支える。ステ
ージ（吸着固定手段）３の裏には、スプリングプランジ
ャー１５の先端がそれぞれ入るディンプル状の穴１６を
形成する。ステージ（吸着固定手段）３とスプリングプ
ランジャー１５の先端は、固定しない。接合面の傾きに
合わせてステージ（吸着固定手段）３が傾き、それに合
わせてスプリングプランジャー１５が伸び縮みすること
で、ピエゾアクチュエータ１の高さのバラツキを吸収
し、ピエゾアクチュエータ１が接合面の傾きにならうこ
とができる。スプリングプランジャー１５のストローク
は、フルストローク４ｍｍ程度のものを使用するが、必
要荷重を確保するためと接合時の位置ズレを避けるため
に、ストローク量１．５ｍｍ程度が好ましい。適正スト
ローク量はこれに限定されず、部材構造やサイズ、加熱
ブロック（加熱手段）８の押し付け圧力等の要因によっ
て変更される。このような構造とすることより第１実施
形態と同等の効果を得ることができる。

【００２５】なお、本発明が上記各実施形態に限定され
ず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施形態は
適宜変更され得ることは明らかである。また上記構成部
材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定されず、
本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等にするこ
とができる。また、各図において、同一構成要素には同
一符号を付している。

【００２６】

【発明の効果】本発明は以上のように構成されているの
で、ステージ下のシリコンゴムシートが、ピエゾアクチ
ュエータの各々の高さのバラツキを吸収し、複数個のピ
エゾアクチュエータを一括して同時に流路板と接合可能
となる。その結果、従来個々にピエゾアクチュエータを
流路板に固定していた場合に比べて、工数を削減して大
幅に製造時間の短縮が可能となり、インクジェットヘッ
ドの量産にも対応できるといった効果を奏する。また、
ステージ下の弾性シート（シリコンゴムシート）が撓
み、ピエゾアクチュエータと流路板の接合面の平面が各
々ならいながら加圧され密着することで、接着剤層が均
一化され接合強度、密着性が向上する。その結果、接合
状態が向上して、使用耐久性に優れ、かつ製造の歩留ま
りが向上するといった効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかるインクジェットヘッド製造装置
の第１実施形態を説明するための装置斜視図である。

【図２】図１のインクジェットヘッド製造装置のＡ−Ａ
矢視図である。

【図３】ピエゾアクチュエータと流路板を位置決め搭載
して加熱ブロックを下降させた加圧状態を説明するため
の、図１のインクジェットヘッド製造装置のＢ−Ｂ線に
沿った断面図である。

【図４】本発明にかかるインクジェットヘッド製造装置
の第２実施形態を説明するための装置断面図である。

【図５】本発明にかかるインクジェットヘッド製造装置
の第３実施形態を説明するための装置断面図である。

【図６】本発明にかかるインクジェットヘッド製造装置
の第４実施形態を説明するための装置断面図である。

【図７】本発明にかかるインクジェットヘッド製造装置
の第５実施形態を説明するための装置断面図である。

【符号の説明】

１…ピエゾアクチュエータ ２…流路板 ２Ａ…位置決め手段（位置決め穴） ３…吸着固定手段（ステージ） ４…高さ調整手段（弾性シート、シリコンゴムシート） ５…ベース基板 ６…ピエゾアクチュエータ位置決め手段（ピエゾアクチ
ュエータ位置決めピン） ７…流路板位置決め手段（流路板位置決めピン） ８…加熱手段（加熱ブロック） ９…掘り込み １０…掘り込み １１…吸着用の穴 １２…圧縮バネ １３…穴 １４…突起 １５…スプリングプランジャー １６…穴

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクを吐出させるための複数個のピエ
   ゾアクチュエータがピエゾアクチュエータの圧力を用い
   てノズルにインクを導くための流路板上に配設されてい
   るインクジェットプリンタのインクジェットヘッドの製
   造方法であって、 前記ピエゾアクチュエータとの位置関係を定める位置決
   め手段を用いて、前記ピエゾアクチュエータの圧力を用
   いてノズルにインクを導くための前記流路板に前記複数
   個のピエゾアクチュエータを接着する際に、 前記流路板との接着面に熱硬化型接着剤を転写した前記
   複数個のピエゾアクチュエータを、吸着固定手段の所望
   の位置に搭載して真空吸着固定するピエゾアクチュエー
   タ固定工程と、 前記位置決め手段を用いて前記ピエゾアクチュエータに
   対して所望の前記位置関係に前記流路板を固定する流路
   板固定工程と、 前記ピエゾアクチュエータに転写された前記熱硬化型着
   剤を、所望の圧力で前記流路板と当該ピエゾアクチュエ
   ータ間に加圧した状態で所望の温度で加熱硬化して当該
   ピエゾアクチュエータと当該流路板とを接着する接着工
   程とを有することを特徴とするインクジェットヘッドの
   製造方法。
2. 【請求項２】 流路板にピエゾアクチュエータとの位置
   関係を定める位置決め手段を有し、インクを吐出させる
   ための複数個のピエゾアクチュエータが流路板上に配設
   されているインクジェットプリンタ用のインクジェット
   ヘッド製造装置であって、 前記ピエゾアクチュエータを位置決め固定するステージ
   とベース基板の間に前記ピエゾアクチュエータの高さを
   調整する高さ調整手段を有することを特徴とするインク
   ジェットヘッド製造装置。
3. 【請求項３】 流路板にピエゾアクチュエータとの位置
   関係を定める位置決め手段を有し、インクを吐出させる
   ための複数個のピエゾアクチュエータが流路板上に配設
   されているインクジェットプリンタ用のインクジェット
   ヘッド製造装置であって、 前記流路板との位置関係を決めて前記複数のピエゾアク
   チュエータを固定して流路板に接着するためのベース基
   板と、 前記ベース基板上に配設され、当該ベース基板上におけ
   る前記ピエゾアクチュエータの位置を決めるピエゾアク
   チュエータ位置決め手段と、 前記ベース基板上に配設され、前記流路板と前記ピエゾ
   アクチュエータとの位置関係を定める流路板位置決め手
   段と、 前記ベース基板上に配設され、前記ピエゾアクチュエー
   タを真空吸着固定するための真空吸着溝を有する吸着固
   定手段と、 前記ピエゾアクチュエータの高さを調整する高さ調整手
   段と、 前記流路板との位置関係を決めて前記複数のピエゾアク
   チュエータを固定した状態で、前記ベース基板との間で
   流路板とピエゾアクチュエータとを加圧加熱する加熱手
   段とを有することを特徴とするインクジェットヘッド製
   造装置。
4. 【請求項４】 前記高さ調整手段がシリコンゴムを主構
   成材料とする弾性シートであることを特徴とする請求項
   ２または３に記載のインクジェットヘッド製造装置。
5. 【請求項５】 前記弾性シートの膜厚が、０．６乃至
   １．２ｍｍであることを特徴とする請求項４に記載のイ
   ンクジェットヘッド製造装置。
6. 【請求項６】 前記高さ調整手段が、前記ピエゾアクチ
   ュエータの高さを調整するための複数個の圧縮ばねを有
   することを特徴とする請求項４または５に記載のインク
   ジェットヘッド製造装置。
7. 【請求項７】 前記高さ調整手段が、前記ピエゾアクチ
   ュエータの高さを調整するための複数個のスプリングプ
   ランジャーを有することを特徴とする請求項４乃至６の
   いずれか一項に記載のインクジェットヘッド製造装置。