JP3501118B2 - インクジェットヘッド製造装置およびインクジェットヘッド製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッド製造装置およびインクジェットヘッド製造方法Info
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- JP3501118B2 JP3501118B2 JP2000342437A JP2000342437A JP3501118B2 JP 3501118 B2 JP3501118 B2 JP 3501118B2 JP 2000342437 A JP2000342437 A JP 2000342437A JP 2000342437 A JP2000342437 A JP 2000342437A JP 3501118 B2 JP3501118 B2 JP 3501118B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッド製造装置およびインクジェットヘッド製造方法に関
し、特に電気機械変換器に駆動電圧を印加し、当該電気
機械変換器を変形させて、インクが充填された圧力発生
室内に圧力変化を生じさせることで、圧力発生室に連通
されるノズルからインク滴を吐出させるインクジェット
ヘッドを製造するためのインクジェットヘッド製造装置
およびインクジェットヘッド製造方法に関する。
ッド製造装置およびインクジェットヘッド製造方法に関
し、特に電気機械変換器に駆動電圧を印加し、当該電気
機械変換器を変形させて、インクが充填された圧力発生
室内に圧力変化を生じさせることで、圧力発生室に連通
されるノズルからインク滴を吐出させるインクジェット
ヘッドを製造するためのインクジェットヘッド製造装置
およびインクジェットヘッド製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電アクチュエータ等の電気機械変換器
を用いて、インクが充填された圧力発生室内に圧力波
(音響波)を発生させ、その圧力波によって圧力発生室に
連結されたノズルからインク滴を吐出するドロップオン
デマンド型インクジェットヘッドは、特公昭５３−１２
１３８号公報、特開平１０−１９３５８７号公報等に開
示されているように、一般によく知られている。
を用いて、インクが充填された圧力発生室内に圧力波
(音響波)を発生させ、その圧力波によって圧力発生室に
連結されたノズルからインク滴を吐出するドロップオン
デマンド型インクジェットヘッドは、特公昭５３−１２
１３８号公報、特開平１０−１９３５８７号公報等に開
示されているように、一般によく知られている。
【０００３】従来、ドロップオンデマンド型インクジェ
ットヘッドの製造工程において、エッチング技術を用い
ることでインク流路を形成する流路板と、インクを吐出
する駆動力を伝達するために流路板に形成されたダイヤ
フラム部を駆動する圧電素子のピエゾアクチュエータ
と、極薄板とを接着剤により接合する接合工程があり、
インク流路を形成した流路板に予め極薄板を接合後、後
工程でピエゾアクチュエータを接合している。
ットヘッドの製造工程において、エッチング技術を用い
ることでインク流路を形成する流路板と、インクを吐出
する駆動力を伝達するために流路板に形成されたダイヤ
フラム部を駆動する圧電素子のピエゾアクチュエータ
と、極薄板とを接着剤により接合する接合工程があり、
インク流路を形成した流路板に予め極薄板を接合後、後
工程でピエゾアクチュエータを接合している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術では、流路板に極薄板を貼り付け後、ピエゾアクチュ
エータを極薄板上に接合しているため、インク漏れを防
ぐ密着は確保できるが、ダイヤフラム部の空間は接合時
の加圧力を受けることができないため、接合状態が悪く
なり、インクを吐出する駆動力を効率よく伝達するため
の接合強度および密着を確保できないという問題点があ
った。
術では、流路板に極薄板を貼り付け後、ピエゾアクチュ
エータを極薄板上に接合しているため、インク漏れを防
ぐ密着は確保できるが、ダイヤフラム部の空間は接合時
の加圧力を受けることができないため、接合状態が悪く
なり、インクを吐出する駆動力を効率よく伝達するため
の接合強度および密着を確保できないという問題点があ
った。
【０００５】本発明は斯かる問題点を鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、ピエゾアクチュエ
ータが貼り付けられた極薄板と流路板との接合強度、密
着性等の接合状態を向上することができ、インクジェッ
トヘッドの寿命の延長およびインクのリークを防止する
ことができるインクジェットヘッド製造装置およびイン
クジェットヘッド製造方法を提供する点にある。
のであり、その目的とするところは、ピエゾアクチュエ
ータが貼り付けられた極薄板と流路板との接合強度、密
着性等の接合状態を向上することができ、インクジェッ
トヘッドの寿命の延長およびインクのリークを防止する
ことができるインクジェットヘッド製造装置およびイン
クジェットヘッド製造方法を提供する点にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
すべく、以下に掲げる構成とした。請求項１記載の発明
の要旨は、複数のピエゾアクチュエータと極薄板と流路
板とを接合するインクジェットヘッド製造装置であっ
て、前記流路板を固定するステージと、前記極薄板に貼
り付けられた前記ピエゾアクチュエータが入る開口部を
有するダミープレートと、前記流路板と前記極薄板と前
記ダミープレートとを位置決めする位置決め手段と、積
層された前記流路板と前記極薄板と前記ダミープレート
とを加圧する加圧手段と、該加圧手段による加圧に際
し、前記極薄板に貼り付けられた前記ピエゾアクチュエ
ータの高さと前記ダミープレートの厚さとの違いを吸収
する高さ吸収手段とを具備することを特徴とするインク
ジェットヘッド製造装置に存する。また請求項２記載の
発明の要旨は、前記高さ吸収手段は、シリコンゴム製の
シート部材であることを特徴とする請求項１記載のイン
クジェットヘッド製造装置に存する。また請求項３記載
の発明の要旨は、前記高さ吸収手段は、前記加圧手段に
埋め込まれたスプリングプランジャーであることを特徴
とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッド製造
装置に存する。また請求項４記載の発明の要旨は、前記
ダミープレートの開口部は、前記ピエゾアクチュエータ
毎に形成させることを特徴とする請求項１乃至３のいず
れかに記載のインクジェットヘッド製造装置に存する。
また請求項５記載の発明の要旨は、複数のピエゾアクチ
ュエータと極薄板と流路板とを接合するインクジェット
ヘッド製造方法であって、ステージ上に前記流路板を固
定し、該流路板上に前記ピエゾアクチュエータが貼り付
けられた前記極薄板を積層し、該極薄板上に前記極薄板
に貼り付けられた前記ピエゾアクチュエータが入る開口
部を有するダミープレートを積層し、該ダミープレート
上から接合面全面を加圧することを特徴とするインクジ
ェットヘッド製造方法に存する。また請求項６記載の発
明の要旨は、前記ダミープレート上にシリコンゴム製の
シート部材を積層し、該シート部材上から加圧すること
を特徴とする請求項５記載のインクジェットヘッド製造
方法に存する。また請求項７記載の発明の要旨は、前記
ダミープレート上からスプリングプランジャーが埋め込
まれたブロックにより加圧することを特徴とする請求項
５又は６記載のインクジェットヘッド製造方法に存す
る。また請求項８記載の発明の要旨は、前記ピエゾアク
チュエータ毎に形成された開口部を有する前記ダミープ
レートを前記極薄板上に積層することを特徴とする請求
項５乃至７のいずれかに記載のインクジェットヘッド製
造方法に存する。
すべく、以下に掲げる構成とした。請求項１記載の発明
の要旨は、複数のピエゾアクチュエータと極薄板と流路
板とを接合するインクジェットヘッド製造装置であっ
て、前記流路板を固定するステージと、前記極薄板に貼
り付けられた前記ピエゾアクチュエータが入る開口部を
有するダミープレートと、前記流路板と前記極薄板と前
記ダミープレートとを位置決めする位置決め手段と、積
層された前記流路板と前記極薄板と前記ダミープレート
とを加圧する加圧手段と、該加圧手段による加圧に際
し、前記極薄板に貼り付けられた前記ピエゾアクチュエ
ータの高さと前記ダミープレートの厚さとの違いを吸収
する高さ吸収手段とを具備することを特徴とするインク
ジェットヘッド製造装置に存する。また請求項２記載の
発明の要旨は、前記高さ吸収手段は、シリコンゴム製の
シート部材であることを特徴とする請求項１記載のイン
クジェットヘッド製造装置に存する。また請求項３記載
の発明の要旨は、前記高さ吸収手段は、前記加圧手段に
埋め込まれたスプリングプランジャーであることを特徴
とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッド製造
装置に存する。また請求項４記載の発明の要旨は、前記
ダミープレートの開口部は、前記ピエゾアクチュエータ
毎に形成させることを特徴とする請求項１乃至３のいず
れかに記載のインクジェットヘッド製造装置に存する。
また請求項５記載の発明の要旨は、複数のピエゾアクチ
ュエータと極薄板と流路板とを接合するインクジェット
ヘッド製造方法であって、ステージ上に前記流路板を固
定し、該流路板上に前記ピエゾアクチュエータが貼り付
けられた前記極薄板を積層し、該極薄板上に前記極薄板
に貼り付けられた前記ピエゾアクチュエータが入る開口
部を有するダミープレートを積層し、該ダミープレート
上から接合面全面を加圧することを特徴とするインクジ
ェットヘッド製造方法に存する。また請求項６記載の発
明の要旨は、前記ダミープレート上にシリコンゴム製の
シート部材を積層し、該シート部材上から加圧すること
を特徴とする請求項５記載のインクジェットヘッド製造
方法に存する。また請求項７記載の発明の要旨は、前記
ダミープレート上からスプリングプランジャーが埋め込
まれたブロックにより加圧することを特徴とする請求項
５又は６記載のインクジェットヘッド製造方法に存す
る。また請求項８記載の発明の要旨は、前記ピエゾアク
チュエータ毎に形成された開口部を有する前記ダミープ
レートを前記極薄板上に積層することを特徴とする請求
項５乃至７のいずれかに記載のインクジェットヘッド製
造方法に存する。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
に基づいて詳細に説明する。
【０００８】（第１の実施の形態）図１は、本発明に係
るインクジェットヘッド製造装置の第１の実施の形態の
構成を示す構成図である。
るインクジェットヘッド製造装置の第１の実施の形態の
構成を示す構成図である。
【０００９】第１の実施の形態は、図１に示すように、
ステージ４と、ダミープレート５と、シリコンゴムシー
ト６と、ブロック１０とからなり、ピエゾアクチュエー
タ１が貼り付けられた極薄板２と流路板３とを接合す
る。極薄板２には、予めピエゾアクチュエータ１が貼り
付けられているため、インクを吐出する駆動力を効率よ
く伝達するための密着が確保されている。
ステージ４と、ダミープレート５と、シリコンゴムシー
ト６と、ブロック１０とからなり、ピエゾアクチュエー
タ１が貼り付けられた極薄板２と流路板３とを接合す
る。極薄板２には、予めピエゾアクチュエータ１が貼り
付けられているため、インクを吐出する駆動力を効率よ
く伝達するための密着が確保されている。
【００１０】ステージ４は、真空吸着穴を有し、流路板
３を真空吸着して固定する。
３を真空吸着して固定する。
【００１１】ダミープレート５は、極薄板２に貼り付け
られているピエゾアクチュエータ１が入る開口部を有
し、ピエゾアクチュエータ１の接合エリア以外、すなわ
ちピエゾアクチュエータ１が貼り付けられていないエリ
アを押さえる板部材であり、ダミープレート５の厚さ
は、０．０３〜０．０５ｍｍ程度で、ピエゾアクチュエ
ータ１の高さに合わせて準備し、ピエゾアクチュエータ
１の高さ±０．００５〜０．０１５ｍｍ程度、特に０．
０１ｍｍの差を設けることが好ましい。これは、高さの
差が大きくなるとシリコンゴムシート６の縮み代が足り
ずにピエゾアクチュエータ１に加圧力を伝えられず、極
薄板２の全面を加圧できなくなるためである。
られているピエゾアクチュエータ１が入る開口部を有
し、ピエゾアクチュエータ１の接合エリア以外、すなわ
ちピエゾアクチュエータ１が貼り付けられていないエリ
アを押さえる板部材であり、ダミープレート５の厚さ
は、０．０３〜０．０５ｍｍ程度で、ピエゾアクチュエ
ータ１の高さに合わせて準備し、ピエゾアクチュエータ
１の高さ±０．００５〜０．０１５ｍｍ程度、特に０．
０１ｍｍの差を設けることが好ましい。これは、高さの
差が大きくなるとシリコンゴムシート６の縮み代が足り
ずにピエゾアクチュエータ１に加圧力を伝えられず、極
薄板２の全面を加圧できなくなるためである。
【００１２】ダミープレート５の開口部は、極薄板２に
貼り付けられているピエゾアクチュエータ１の接合エリ
アによって、個数、形状および寸法が決められ、例えば
インクジェットヘッドのノズル数の増加によるピエゾア
クチュエータ１の接合エリアが増加した場合には、ダミ
ープレート５の開口部の個数を増やすか、寸法を変更す
ることにより対応が可能である。
貼り付けられているピエゾアクチュエータ１の接合エリ
アによって、個数、形状および寸法が決められ、例えば
インクジェットヘッドのノズル数の増加によるピエゾア
クチュエータ１の接合エリアが増加した場合には、ダミ
ープレート５の開口部の個数を増やすか、寸法を変更す
ることにより対応が可能である。
【００１３】シリコンゴムシート６は、シリコンゴム製
のシート部材であり、極薄板２に貼り付けられたピエゾ
アクチュエータ１の高さとダミープレート５の高さとの
違いを吸収する。
のシート部材であり、極薄板２に貼り付けられたピエゾ
アクチュエータ１の高さとダミープレート５の高さとの
違いを吸収する。
【００１４】シリコンゴムシート６の厚さは、０．６〜
１．０ｍｍ程度、特に０．８５ｍｍが好ましい。これ
は、薄くなるとシリコンゴムシート６の縮み代がなくな
り、ピエゾアクチュエータ１の高さとダミープレート５
の高さの違いを吸収しきれず、厚くなるとシリコンゴム
シート６の縦方向の剛性がなくなり、極薄板２と流路板
３の位置ズレ要因となるためである。また同様の理由に
より、シリコンゴムシート６の硬度は、８５（ＪＩＳ
Ａ）とする。
１．０ｍｍ程度、特に０．８５ｍｍが好ましい。これ
は、薄くなるとシリコンゴムシート６の縮み代がなくな
り、ピエゾアクチュエータ１の高さとダミープレート５
の高さの違いを吸収しきれず、厚くなるとシリコンゴム
シート６の縦方向の剛性がなくなり、極薄板２と流路板
３の位置ズレ要因となるためである。また同様の理由に
より、シリコンゴムシート６の硬度は、８５（ＪＩＳ
Ａ）とする。
【００１５】ブロック１０は、積層した流路板３、極薄
板２、ピエゾアクチュエータ１、ダミープレート５およ
びシリコンゴムシート６を加圧する部材であり、図示し
ない駆動部により上下に移動する。
板２、ピエゾアクチュエータ１、ダミープレート５およ
びシリコンゴムシート６を加圧する部材であり、図示し
ない駆動部により上下に移動する。
【００１６】極薄板２と流路板３とダミープレート５と
には、それぞれ位置決め用のアライメントマーク７、
８、９が設けられており、位置決め用のアライメントマ
ーク７、８、９を用いて、図示しないＸＹθＺ駆動機構
を備えた吸着ハンドおよびＣＣＤカメラを用いた光学系
位置決め手段により極薄板２と流路板３とダミープレー
ト５とを位置決めする。
には、それぞれ位置決め用のアライメントマーク７、
８、９が設けられており、位置決め用のアライメントマ
ーク７、８、９を用いて、図示しないＸＹθＺ駆動機構
を備えた吸着ハンドおよびＣＣＤカメラを用いた光学系
位置決め手段により極薄板２と流路板３とダミープレー
ト５とを位置決めする。
【００１７】次に第１の実施の形態によるインクジェッ
トヘッド製造方法の行程について図２を参照して詳細に
説明する。図２は、本発明に係るインクジェットヘッド
製造装置の第１の実施の形態の加圧状態を示す図であ
る。
トヘッド製造方法の行程について図２を参照して詳細に
説明する。図２は、本発明に係るインクジェットヘッド
製造装置の第１の実施の形態の加圧状態を示す図であ
る。
【００１８】まず、予め常温硬化型接着剤を１．４〜
１．５μm程度の膜厚で転写した流路板３を、ステージ
４上に真空吸着固定する。
１．５μm程度の膜厚で転写した流路板３を、ステージ
４上に真空吸着固定する。
【００１９】次に、流路板３の位置決め用のアライメン
トマーク８に対して、図示されていないＸＹθＺ駆動機
構を備えた吸着ハンドおよびＣＣＤカメラを用いた光学
系位置決め手段により極薄板２の位置決め用のアライメ
ントマーク７を用いて位置決め積層を行う。
トマーク８に対して、図示されていないＸＹθＺ駆動機
構を備えた吸着ハンドおよびＣＣＤカメラを用いた光学
系位置決め手段により極薄板２の位置決め用のアライメ
ントマーク７を用いて位置決め積層を行う。
【００２０】同様に、極薄板２の位置決め用のアライメ
ントマーク７に対して、ダミープレート５の位置決め用
のアライメントマーク９を用いて位置決めし、ピエゾア
クチュエータ１の全てがダミープレート５の開口部に入
るように積層を行う。
ントマーク７に対して、ダミープレート５の位置決め用
のアライメントマーク９を用いて位置決めし、ピエゾア
クチュエータ１の全てがダミープレート５の開口部に入
るように積層を行う。
【００２１】次に、シリコンゴムシート６をダミープレ
ート５上に搭載後、ブロック１０を図示しない駆動部を
用いて下降させてピエゾアクチュエータ１が貼り付けら
れた極薄板２上から加圧する。当該加圧は、図２に示す
ように、ブロック１０下のシリコンゴムシート６がピエ
ゾアクチュエータ１の高さとダミープレート５の高さの
違いに合わせて撓むことで、接合面全面が加圧される。
ート５上に搭載後、ブロック１０を図示しない駆動部を
用いて下降させてピエゾアクチュエータ１が貼り付けら
れた極薄板２上から加圧する。当該加圧は、図２に示す
ように、ブロック１０下のシリコンゴムシート６がピエ
ゾアクチュエータ１の高さとダミープレート５の高さの
違いに合わせて撓むことで、接合面全面が加圧される。
【００２２】次に、加圧後の積層部品を、図示しない加
圧・加熱治具を用いて接着剤を硬化させる。
圧・加熱治具を用いて接着剤を硬化させる。
【００２３】以上説明したように、第１の実施の形態に
よれば、ダミープレートおよびシリコンゴムシートで加
圧することにより、ピエゾアクチュエータが貼り付けら
れた極薄板全面で流路板との接合面を加圧することがで
きるため、ピエゾアクチュエータが貼り付けられた極薄
板と流路板との接合強度、密着性等の接合状態を向上す
ることができ、インクジェットヘッドの寿命の延長およ
びインクのリークを防止することができるという効果を
奏する。
よれば、ダミープレートおよびシリコンゴムシートで加
圧することにより、ピエゾアクチュエータが貼り付けら
れた極薄板全面で流路板との接合面を加圧することがで
きるため、ピエゾアクチュエータが貼り付けられた極薄
板と流路板との接合強度、密着性等の接合状態を向上す
ることができ、インクジェットヘッドの寿命の延長およ
びインクのリークを防止することができるという効果を
奏する。
【００２４】（第２の実施の形態）図３は、本発明に係
るインクジェットヘッド製造装置の第２の実施の形態の
構成を示す構成図である。
るインクジェットヘッド製造装置の第２の実施の形態の
構成を示す構成図である。
【００２５】第２の実施の形態では、図３に示すよう
に、ピエゾアクチュエータ１が、各々のノズルに対応す
るように１個１個ダイシング技術を用いて分離されて極
薄板２に貼り付けられており、ダミープレート５には、
個々のピエゾアクチュエータ１にそれぞれ対応した開口
部が設けられている。なお、個々のピエゾアクチュエー
タ１の間隔は、０．１〜０．７ｍｍ程度である。
に、ピエゾアクチュエータ１が、各々のノズルに対応す
るように１個１個ダイシング技術を用いて分離されて極
薄板２に貼り付けられており、ダミープレート５には、
個々のピエゾアクチュエータ１にそれぞれ対応した開口
部が設けられている。なお、個々のピエゾアクチュエー
タ１の間隔は、０．１〜０．７ｍｍ程度である。
【００２６】以上説明したように、第２の実施の形態に
よれば、第１の実施の形態の効果に加えて、個々のピエ
ゾアクチュエータにそれぞれ対応した開口部が設けられ
たダミープレートを用いることにより、個々のピエゾア
クチュエータ間の密着を確保できるため、インクのリー
クをより確実に防止することができるという効果を奏す
る。
よれば、第１の実施の形態の効果に加えて、個々のピエ
ゾアクチュエータにそれぞれ対応した開口部が設けられ
たダミープレートを用いることにより、個々のピエゾア
クチュエータ間の密着を確保できるため、インクのリー
クをより確実に防止することができるという効果を奏す
る。
【００２７】（第３の実施の形態）図４は、本発明に係
るインクジェットヘッド製造装置の第３の実施の形態の
構成を示す構成図である。
るインクジェットヘッド製造装置の第３の実施の形態の
構成を示す構成図である。
【００２８】第３の実施の形態は、図４に示すように、
シリコンゴムシート６に代えてスプリングプランジャー
１１がブロック１０に複数本埋め込まれている。スプリ
ングプランジャー１１の本数は、極薄板２をカバーする
範囲で且つ、ピエゾアクチュエータ１当たり１本以上用
いることが望ましい。
シリコンゴムシート６に代えてスプリングプランジャー
１１がブロック１０に複数本埋め込まれている。スプリ
ングプランジャー１１の本数は、極薄板２をカバーする
範囲で且つ、ピエゾアクチュエータ１当たり１本以上用
いることが望ましい。
【００２９】また、ピエゾアクチュエータ１の欠損を防
ぐため、スプリングプランジャー１１が個々のピエゾア
クチュエータ１の端部に接触しない様にピッチ０．３〜
０．５ｍｍ程度で配置する。ブロック１０を上下して加
圧する時に、スプリングプランジャー１１が伸び縮みす
ることでピエゾアクチュエータ１とダミープレート５の
高さの違いを吸収し、ピエゾアクチュエータ１が貼り付
けられた極薄板２全面で流路板３と接合する。
ぐため、スプリングプランジャー１１が個々のピエゾア
クチュエータ１の端部に接触しない様にピッチ０．３〜
０．５ｍｍ程度で配置する。ブロック１０を上下して加
圧する時に、スプリングプランジャー１１が伸び縮みす
ることでピエゾアクチュエータ１とダミープレート５の
高さの違いを吸収し、ピエゾアクチュエータ１が貼り付
けられた極薄板２全面で流路板３と接合する。
【００３０】スプリングプランジャー１１のストローク
は、フルストローク２ｍｍ程度のものを使用するが、必
要荷重を確保するのと接合時の位置ズレを避けるため
に、ストローク量１ｍｍ程度が好ましい。
は、フルストローク２ｍｍ程度のものを使用するが、必
要荷重を確保するのと接合時の位置ズレを避けるため
に、ストローク量１ｍｍ程度が好ましい。
【００３１】以上説明したように、第３の実施の形態に
よれば、ブロックに埋め込まれたスプリングプランジャ
ーを用いることにより、シリコンゴムシートを割愛する
ことで必要部材の削減によるコストダウンを図ることが
できるとともに、シリコンゴムシート搭載時間をなくす
ことで製造時間を短縮することができるという効果を奏
する。
よれば、ブロックに埋め込まれたスプリングプランジャ
ーを用いることにより、シリコンゴムシートを割愛する
ことで必要部材の削減によるコストダウンを図ることが
できるとともに、シリコンゴムシート搭載時間をなくす
ことで製造時間を短縮することができるという効果を奏
する。
【００３２】なお、本発明が上記各実施形態に限定され
ず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施形態は
適宜変更され得ることは明らかである。また、上記構成
部材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定され
ず、本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等にす
ることができる。なお、各図において、同一構成要素に
は同一符号を付している。
ず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施形態は
適宜変更され得ることは明らかである。また、上記構成
部材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定され
ず、本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等にす
ることができる。なお、各図において、同一構成要素に
は同一符号を付している。
【００３３】
【発明の効果】本発明のインクジェットヘッド製造装置
およびインクジェットヘッド製造方法は、ダミープレー
トおよびシリコンゴムシートで加圧することにより、ピ
エゾアクチュエータが貼り付けられた極薄板全面で流路
板との接合面を加圧することができるため、ピエゾアク
チュエータが貼り付けられた極薄板と流路板との接合強
度、密着性等の接合状態を向上することができ、インク
ジェットヘッドの寿命の延長およびインクのリークを防
止することができるという効果を奏する。
およびインクジェットヘッド製造方法は、ダミープレー
トおよびシリコンゴムシートで加圧することにより、ピ
エゾアクチュエータが貼り付けられた極薄板全面で流路
板との接合面を加圧することができるため、ピエゾアク
チュエータが貼り付けられた極薄板と流路板との接合強
度、密着性等の接合状態を向上することができ、インク
ジェットヘッドの寿命の延長およびインクのリークを防
止することができるという効果を奏する。
【００３４】さらに、本発明のインクジェットヘッド製
造装置およびインクジェットヘッド製造方法は、個々の
ピエゾアクチュエータにそれぞれ対応した開口部が設け
られたダミープレートを用いることにより、個々のピエ
ゾアクチュエータ間の密着を確保できるため、インクの
リークをより確実に防止することができるという効果を
奏する。
造装置およびインクジェットヘッド製造方法は、個々の
ピエゾアクチュエータにそれぞれ対応した開口部が設け
られたダミープレートを用いることにより、個々のピエ
ゾアクチュエータ間の密着を確保できるため、インクの
リークをより確実に防止することができるという効果を
奏する。
【００３５】さらに、本発明のインクジェットヘッド製
造装置およびインクジェットヘッド製造方法は、ブロッ
クに埋め込まれたスプリングプランジャーを用いること
により、シリコンゴムシートを割愛することで必要部材
の削減によるコストダウンを図ることができるととも
に、シリコンゴムシート搭載時間をなくすことで製造時
間を短縮することができるという効果を奏する。
造装置およびインクジェットヘッド製造方法は、ブロッ
クに埋め込まれたスプリングプランジャーを用いること
により、シリコンゴムシートを割愛することで必要部材
の削減によるコストダウンを図ることができるととも
に、シリコンゴムシート搭載時間をなくすことで製造時
間を短縮することができるという効果を奏する。
【図１】本発明に係るインクジェットヘッド製造装置の
第１の実施の形態の構成を示す構成図である。
第１の実施の形態の構成を示す構成図である。
【図２】本発明に係るインクジェットヘッド製造装置の
第１の実施の形態の加圧状態を示す図である。
第１の実施の形態の加圧状態を示す図である。
【図３】本発明に係るインクジェットヘッド製造装置の
第２の実施の形態の構成を示す構成図である。
第２の実施の形態の構成を示す構成図である。
【図４】本発明に係るインクジェットヘッド製造装置の
第３の実施の形態の構成を示す構成図である。
第３の実施の形態の構成を示す構成図である。
１ ピエゾアクチュエータ
２ 極薄板
３ 流路板
４ ステージ
５ ダミープレート
６ シリコンゴムシート
７、８、９ アライメントマーク
１０ ブロック
１１ スプリングプランジャー
Claims (8)
- 【請求項１】 複数のピエゾアクチュエータと極薄板と
流路板とを接合するインクジェットヘッド製造装置であ
って、 前記流路板を固定するステージと、 前記極薄板に貼り付けられた前記ピエゾアクチュエータ
が入る開口部を有するダミープレートと、 前記流路板と前記極薄板と前記ダミープレートとを位置
決めする位置決め手段と、 積層された前記流路板と前記極薄板と前記ダミープレー
トとを加圧する加圧手段と、 該加圧手段による加圧に際し、前記極薄板に貼り付けら
れた前記ピエゾアクチュエータの高さと前記ダミープレ
ートの厚さとの違いを吸収する高さ吸収手段とを具備す
ることを特徴とするインクジェットヘッド製造装置。 - 【請求項２】 前記高さ吸収手段は、シリコンゴム製の
シート部材であることを特徴とする請求項１記載のイン
クジェットヘッド製造装置。 - 【請求項３】 前記高さ吸収手段は、前記加圧手段に埋
め込まれたスプリングプランジャーであることを特徴と
する請求項１又は２記載のインクジェットヘッド製造装
置。 - 【請求項４】 前記ダミープレートの開口部は、前記ピ
エゾアクチュエータ毎に形成させることを特徴とする請
求項１乃至３のいずれかに記載のインクジェットヘッド
製造装置。 - 【請求項５】 複数のピエゾアクチュエータと極薄板と
流路板とを接合するインクジェットヘッド製造方法であ
って、 ステージ上に前記流路板を固定し、 該流路板上に前記ピエゾアクチュエータが貼り付けられ
た前記極薄板を積層し、 該極薄板上に前記極薄板に貼り付けられた前記ピエゾア
クチュエータが入る開口部を有するダミープレートを積
層し、 該ダミープレート上から接合面全面を加圧することを特
徴とするインクジェットヘッド製造方法。 - 【請求項６】 前記ダミープレート上にシリコンゴム製
のシート部材を積層し、 該シート部材上から加圧することを特徴とする請求項５
記載のインクジェットヘッド製造方法。 - 【請求項７】 前記ダミープレート上からスプリングプ
ランジャーが埋め込まれたブロックにより加圧すること
を特徴とする請求項５又は６記載のインクジェットヘッ
ド製造方法。 - 【請求項８】 前記ピエゾアクチュエータ毎に形成され
た開口部を有する前記ダミープレートを前記極薄板上に
積層することを特徴とする請求項５乃至７のいずれかに
記載のインクジェットヘッド製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000342437A JP3501118B2 (ja) | 2000-11-09 | 2000-11-09 | インクジェットヘッド製造装置およびインクジェットヘッド製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000342437A JP3501118B2 (ja) | 2000-11-09 | 2000-11-09 | インクジェットヘッド製造装置およびインクジェットヘッド製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002144587A JP2002144587A (ja) | 2002-05-21 |
| JP3501118B2 true JP3501118B2 (ja) | 2004-03-02 |
Family
ID=18816996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000342437A Expired - Fee Related JP3501118B2 (ja) | 2000-11-09 | 2000-11-09 | インクジェットヘッド製造装置およびインクジェットヘッド製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3501118B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7455730B2 (en) | 2003-06-16 | 2008-11-25 | Showa Denko K.K. | Method for growth of silicon carbide single crystal, silicon carbide seed crystal, and silicon carbide single crystal |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5067946B2 (ja) * | 2008-09-02 | 2012-11-07 | 富士フイルム株式会社 | 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
| JP2014004713A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Canon Inc | 液体吐出ジェットヘッドの製造方法 |
-
2000
- 2000-11-09 JP JP2000342437A patent/JP3501118B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2002144587A (ja) | 2002-05-21 |
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