JP2000171228A5 - - Google Patents
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Description
偏向板２１とモータ２２は、移動機構２３により一体的にコリメーティングレンズ５の光軸方向に移動され、半導体レーザ光源２０と偏向板２１の間隔が調節される。移動機構２３は、モータ２２を保持するラック２４と、ラック２４に噛み合うピニオン２５、ピニオン２５を回転するモータ２６等から構成することができる。
高次干渉縞の消去は、コントロールパネル１４のノブを操作することによりモータ２６を回転させ、半導体レーザ光源２０と偏向板２１の間隔を調整することで行う。オペレータ（調整者）は半導体レーザ光源２０と偏向板２１の間隔を調整することで偏向板２１を通過するレーザ光の干渉性の落し具合を調節でき、モニタ１２に映し出される干渉縞を確認しながら、高次干渉（主に２次干渉）が消え、かつ１次干渉縞が薄くならないように調節する。
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34965198A JP4213800B2 (ja) | 1998-12-09 | 1998-12-09 | 斜入射干渉計 |
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| Publication Number | Publication Date |
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| JP4213800B2 JP4213800B2 (ja) | 2009-01-21 |
Family
ID=18405186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP (1) | JP4213800B2 (ja) |
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