JP2000147248A - 多層膜ローパスフィルタおよびこれを用いた光学部品 - Google Patents
多層膜ローパスフィルタおよびこれを用いた光学部品Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 リップルのないすぐれた透過率分光特性を有
するローパスフィルタを実現する。 【解決手段】 基板１０に所定層数の高屈折率膜Ｈａと
低屈折率膜Ｌａからなる調整層２１を積層し、その上に
高屈折率膜Ｈ1 と低屈折率膜Ｌ1 からなる固定層２２を
設けて、全体でローパスフィルタとして必要な光学特性
を有する誘電体多層膜２０を構成する。調整層２１の高
屈折率膜Ｈａと低屈折率膜Ｌａの屈折率差は、固定層２
２の高屈折率膜Ｈ1 と低屈折率膜Ｌ1 の屈折率差より小
さくて、全体の膜構成の周期性を乱すことで、透過率分
光特性のリップルを除去することができる。
するローパスフィルタを実現する。 【解決手段】 基板１０に所定層数の高屈折率膜Ｈａと
低屈折率膜Ｌａからなる調整層２１を積層し、その上に
高屈折率膜Ｈ1 と低屈折率膜Ｌ1 からなる固定層２２を
設けて、全体でローパスフィルタとして必要な光学特性
を有する誘電体多層膜２０を構成する。調整層２１の高
屈折率膜Ｈａと低屈折率膜Ｌａの屈折率差は、固定層２
２の高屈折率膜Ｈ1 と低屈折率膜Ｌ1 の屈折率差より小
さくて、全体の膜構成の周期性を乱すことで、透過率分
光特性のリップルを除去することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カメラ、複写機、
プリンタ、各種計測器等の光学機器や光通信分野の経路
および装置等に用いられる多層膜ローパスフィルタに関
するものである。
プリンタ、各種計測器等の光学機器や光通信分野の経路
および装置等に用いられる多層膜ローパスフィルタに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】光通信分野や各種光学機器に用いられる
光学系では、所定の波長の光を透過させたり、または反
射させたりする目的で光学フィルタが随所で使われてい
る。なかでもローパスフィルタは、熱源となってしまう
赤外域の光や、光源からの２次光といった特定波長帯域
の光をカットする目的で使われている。
光学系では、所定の波長の光を透過させたり、または反
射させたりする目的で光学フィルタが随所で使われてい
る。なかでもローパスフィルタは、熱源となってしまう
赤外域の光や、光源からの２次光といった特定波長帯域
の光をカットする目的で使われている。
【０００３】図９の（ａ）は、一従来例によるローパス
フィルタの膜構成を示すものである。一般的にこのよう
な光フィルタは、基板１１０上に、屈折率の異なる誘電
体膜Ｈ，Ｌを交互に積層した誘電体多層膜１２０によっ
て構成されている。具体的には、それぞれ高屈折率と低
屈折率の誘電体材料からなる高屈折率膜Ｈと低屈折率膜
Ｌを、反射帯域の設計中心波長λの１／４の光学的膜厚
ｎｄ（屈折率ｎ×膜厚ｄ）で交互に積層して形成され
る。
フィルタの膜構成を示すものである。一般的にこのよう
な光フィルタは、基板１１０上に、屈折率の異なる誘電
体膜Ｈ，Ｌを交互に積層した誘電体多層膜１２０によっ
て構成されている。具体的には、それぞれ高屈折率と低
屈折率の誘電体材料からなる高屈折率膜Ｈと低屈折率膜
Ｌを、反射帯域の設計中心波長λの１／４の光学的膜厚
ｎｄ（屈折率ｎ×膜厚ｄ）で交互に積層して形成され
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、屈折率差の大きい誘電体からなる高屈
折率膜と低屈折率膜を交互に積層して形成する多層膜ロ
ーパスフィルタでは、図９の（ｂ）に示すように、光の
透過帯域と反射帯域との境界域近傍において透過帯域側
で透過率が波長によってばらつく、いわゆる透過損失う
ねりが発生してしまう。これは、通称リップルと呼ばれ
るもので、ローパスフィルタの透過率分光特性の向上や
安定性を確保するうえでの大きな障害となっている。
の技術によれば、屈折率差の大きい誘電体からなる高屈
折率膜と低屈折率膜を交互に積層して形成する多層膜ロ
ーパスフィルタでは、図９の（ｂ）に示すように、光の
透過帯域と反射帯域との境界域近傍において透過帯域側
で透過率が波長によってばらつく、いわゆる透過損失う
ねりが発生してしまう。これは、通称リップルと呼ばれ
るもので、ローパスフィルタの透過率分光特性の向上や
安定性を確保するうえでの大きな障害となっている。
【０００５】本発明は上記従来の技術の有する未解決の
課題に鑑みてなされたものであり、透過帯域における透
過損失うねりを除去して、透過帯域の全域にわたって安
定した透過率を確保することのできる高性能な多層膜ロ
ーパスフィルタおよびこれを用いた光学部品を提供する
ことを目的とするものである。
課題に鑑みてなされたものであり、透過帯域における透
過損失うねりを除去して、透過帯域の全域にわたって安
定した透過率を確保することのできる高性能な多層膜ロ
ーパスフィルタおよびこれを用いた光学部品を提供する
ことを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明の多層膜ローパスフィルタは、基板上に高屈
折率膜と低屈折率膜を交互に積層した誘電体多層膜を有
し、該誘電体多層膜の前記基板側の下部層を構成する前
記高屈折率膜と前記低屈折率膜の屈折率差が、残りの上
部層を構成する前記高屈折率膜と前記低屈折率膜の屈折
率差より小さいことを特徴とする。
めに本発明の多層膜ローパスフィルタは、基板上に高屈
折率膜と低屈折率膜を交互に積層した誘電体多層膜を有
し、該誘電体多層膜の前記基板側の下部層を構成する前
記高屈折率膜と前記低屈折率膜の屈折率差が、残りの上
部層を構成する前記高屈折率膜と前記低屈折率膜の屈折
率差より小さいことを特徴とする。
【０００７】誘電体多層膜の下部層の高屈折率膜と低屈
折率膜が、多層膜ローパスフィルタの透過帯域と反射帯
域の境界部分近傍の前記反射帯域の波長の１／４または
１／８を基準値として最適化された光学的膜厚を有する
とよい。
折率膜が、多層膜ローパスフィルタの透過帯域と反射帯
域の境界部分近傍の前記反射帯域の波長の１／４または
１／８を基準値として最適化された光学的膜厚を有する
とよい。
【０００８】下部層が、合計で４層ないし７層の高屈折
率膜と低屈折率膜を有するとよい。
率膜と低屈折率膜を有するとよい。
【０００９】
【作用】誘電体多層膜を構成する高屈折率膜と低屈折率
膜のうちで、基板側の下部層を構成する高屈折率膜と低
屈折率膜の屈折率差が、上部層を構成する高屈折率膜と
低屈折率膜の屈折率差より小さくなるように、各膜の材
料となる誘電体を選定する。
膜のうちで、基板側の下部層を構成する高屈折率膜と低
屈折率膜の屈折率差が、上部層を構成する高屈折率膜と
低屈折率膜の屈折率差より小さくなるように、各膜の材
料となる誘電体を選定する。
【００１０】全体の膜構造の周期性を乱すことで、該周
期性に起因する透過損失うねりを除去することができ
る。
期性に起因する透過損失うねりを除去することができ
る。
【００１１】ローパスフィルタの透過帯域と反射帯域の
境界領域において透過率がばらつくことなく、透過率分
光特性の向上と安定化に大きく貢献できる。
境界領域において透過率がばらつくことなく、透過率分
光特性の向上と安定化に大きく貢献できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【００１３】図１は一実施の形態による多層膜ローパス
フィルタの膜構成を示すもので、基板１０上に積層され
た誘電体多層膜２０を有する。誘電体多層膜２０は、屈
折率差の小さい高屈折率膜Ｈａと低屈折率膜Ｌａを交互
に積層した下部層である調整層２１と、屈折率差が大で
あり、ローパスフィルタとして所定の光学特性を達成す
るための主要部を構成する高屈折率膜Ｈ1 と低屈折率膜
Ｌ1 が交互に積層された残りの上部層である固定層２２
から構成される。換言すれば、固定層２２の高屈折率膜
Ｈ1 と低屈折率膜Ｌ1 の屈折率差より、調整層２１の高
屈折率膜Ｈａと低屈折率膜Ｌａの屈折率差が小さくなる
ように、各膜の材料である誘電体が選定されている。
フィルタの膜構成を示すもので、基板１０上に積層され
た誘電体多層膜２０を有する。誘電体多層膜２０は、屈
折率差の小さい高屈折率膜Ｈａと低屈折率膜Ｌａを交互
に積層した下部層である調整層２１と、屈折率差が大で
あり、ローパスフィルタとして所定の光学特性を達成す
るための主要部を構成する高屈折率膜Ｈ1 と低屈折率膜
Ｌ1 が交互に積層された残りの上部層である固定層２２
から構成される。換言すれば、固定層２２の高屈折率膜
Ｈ1 と低屈折率膜Ｌ1 の屈折率差より、調整層２１の高
屈折率膜Ｈａと低屈折率膜Ｌａの屈折率差が小さくなる
ように、各膜の材料である誘電体が選定されている。
【００１４】このように、基板１０側の調整層２１は、
固定層２２を構成する高屈折率膜Ｈ1 と低屈折率膜Ｌ1
に比べて屈折率差の小さい高屈折率膜Ｈａと低屈折率膜
Ｌａを交互に積層したものである。すなわち、同じ高屈
折率誘電体膜であっても、屈折率が固定層２２の高屈折
率膜Ｈ1 より低いものを高屈折率膜Ｈ2 とし、中屈折率
誘電体膜を中屈折率膜Ｍとし、同じ低屈折率誘電体膜で
あっても、屈折率が固定層２２の低屈折率膜Ｌ1 より高
いものを低屈折率膜Ｌ2 としたときに、調整層２１の高
屈折率膜Ｈａ／低屈折率膜Ｌａを例えば以下の組み合わ
せに設定する。
固定層２２を構成する高屈折率膜Ｈ1 と低屈折率膜Ｌ1
に比べて屈折率差の小さい高屈折率膜Ｈａと低屈折率膜
Ｌａを交互に積層したものである。すなわち、同じ高屈
折率誘電体膜であっても、屈折率が固定層２２の高屈折
率膜Ｈ1 より低いものを高屈折率膜Ｈ2 とし、中屈折率
誘電体膜を中屈折率膜Ｍとし、同じ低屈折率誘電体膜で
あっても、屈折率が固定層２２の低屈折率膜Ｌ1 より高
いものを低屈折率膜Ｌ2 としたときに、調整層２１の高
屈折率膜Ｈａ／低屈折率膜Ｌａを例えば以下の組み合わ
せに設定する。
【００１５】 Ｈ1 ／Ｍ，Ｈ2 ／Ｍ，Ｈ2 ／Ｌ2 ，Ｈ2 ／Ｌ1 高屈折率膜Ｈ1 ，Ｈ2 を得るための高屈折率誘電体膜と
しては、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2 ）、酸化チタン
（ＴｉＯ2 ）、酸化タンタル（Ｔａ2 Ｏ5 ）、酸化ニオ
ブ（Ｎｂ2 Ｏ5 ）、酸化ハフニウム（ＨｆＯ2 ）、酸化
セリウム（ＣｅＯ2 ）等のいずれかまたはこれらの混合
物が挙げられる。中屈折率膜Ｍを得るための中屈折率誘
電体膜としては、酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）、酸
化ゲルマニウム（ＧｅＯ2 ）、酸化イットリウム（Ｙ2
Ｏ3 ）等のいずれかまたはこれらの混合物が挙げられ
る。また、低屈折率膜Ｌ1 ，Ｌ2 を得るための低屈折率
誘電体膜としては、酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）、フッ化
マグネシウム（ＭｇＦ2 ）、フッ化アルミニウム（Ａｌ
Ｆ3 ）等のいずれかまたはこれらの混合物が挙げられ
る。
しては、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2 ）、酸化チタン
（ＴｉＯ2 ）、酸化タンタル（Ｔａ2 Ｏ5 ）、酸化ニオ
ブ（Ｎｂ2 Ｏ5 ）、酸化ハフニウム（ＨｆＯ2 ）、酸化
セリウム（ＣｅＯ2 ）等のいずれかまたはこれらの混合
物が挙げられる。中屈折率膜Ｍを得るための中屈折率誘
電体膜としては、酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）、酸
化ゲルマニウム（ＧｅＯ2 ）、酸化イットリウム（Ｙ2
Ｏ3 ）等のいずれかまたはこれらの混合物が挙げられ
る。また、低屈折率膜Ｌ1 ，Ｌ2 を得るための低屈折率
誘電体膜としては、酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）、フッ化
マグネシウム（ＭｇＦ2 ）、フッ化アルミニウム（Ａｌ
Ｆ3 ）等のいずれかまたはこれらの混合物が挙げられ
る。
【００１６】誘電体多層膜２０を積層する基板１０は、
低屈折率基板としては、例えば石英基板、ＢＫ７基板、
中屈折率基板としては、例えばＳＫ材、ＳＦ材等の基
板、高屈折率基板としては、ＬａＳＦ材、結晶のＬｉＮ
ｂＯ3 等の基板で、屈折率が略１．４〜２．４の基板が
適用できる。
低屈折率基板としては、例えば石英基板、ＢＫ７基板、
中屈折率基板としては、例えばＳＫ材、ＳＦ材等の基
板、高屈折率基板としては、ＬａＳＦ材、結晶のＬｉＮ
ｂＯ3 等の基板で、屈折率が略１．４〜２．４の基板が
適用できる。
【００１７】このように屈折率の異なる基板に対して、
反射帯域として必要な範囲の反射率を満たす膜厚、層数
を有する固定層２２を除く調整層２１の膜厚を、基板等
に合わせて微調整あるいは最適化することによって、図
１の（ｂ）に示すようにリップルの無い透過率分光特性
を有する高性能な多層膜ローパスフィルタを設計でき
る。その際の基準値となる光学的膜厚は、透過帯域と反
射帯域との境界部分近傍（長波長側）の反射帯域、換言
すれば、反射帯域の短波長域波長の１／４または１／８
とする。
反射帯域として必要な範囲の反射率を満たす膜厚、層数
を有する固定層２２を除く調整層２１の膜厚を、基板等
に合わせて微調整あるいは最適化することによって、図
１の（ｂ）に示すようにリップルの無い透過率分光特性
を有する高性能な多層膜ローパスフィルタを設計でき
る。その際の基準値となる光学的膜厚は、透過帯域と反
射帯域との境界部分近傍（長波長側）の反射帯域、換言
すれば、反射帯域の短波長域波長の１／４または１／８
とする。
【００１８】具体的には、例えば、反射帯域が８００ｎ
ｍから１０００ｎｍである場合は、その短波長側８００
〜９００ｎｍの１／４に当たる２００〜２２５ｎｍと、
１／８に当たる１００〜１１３ｎｍを基準の光学的膜厚
として、要求特性を満足するよう最適化計算をして、調
整層２１の各層の膜厚を設定する。
ｍから１０００ｎｍである場合は、その短波長側８００
〜９００ｎｍの１／４に当たる２００〜２２５ｎｍと、
１／８に当たる１００〜１１３ｎｍを基準の光学的膜厚
として、要求特性を満足するよう最適化計算をして、調
整層２１の各層の膜厚を設定する。
【００１９】本実施の形態によれば、ローパスフィルタ
を構成する誘電体多層膜全体の膜構造の周期性を屈折率
差の小さい調整層によって乱すことで、前記周期性に起
因するリップルを除去し、透過率分光特性を大幅に向
上、安定化させることができる。
を構成する誘電体多層膜全体の膜構造の周期性を屈折率
差の小さい調整層によって乱すことで、前記周期性に起
因するリップルを除去し、透過率分光特性を大幅に向
上、安定化させることができる。
【００２０】次に実施例を説明する。
【００２１】（第１実施例）図２は第１実施例の膜構成
を示す。これは合計３７層構成で、各層の光学的膜厚ｎ
ｄは図示の通りであり、高屈折率膜Ｈ1 ，Ｈａの材料と
して酸化チタン（ＴｉＯ2 ）、低屈折率膜Ｌａを構成す
る中屈折率膜Ｍの材料として酸化アルミニウム（Ａｌ2
Ｏ3 ）、低屈折率膜Ｌ1 の材料として酸化シリコン（Ｓ
ｉＯ2 ）を用い、高屈折率膜Ｈａと中屈折率膜Ｍで構成
される屈折率差の小さい調整層の層数を４層とした構成
である。基板は、高屈折率基板ＬｉＮｂＯ3 を用いた。
を示す。これは合計３７層構成で、各層の光学的膜厚ｎ
ｄは図示の通りであり、高屈折率膜Ｈ1 ，Ｈａの材料と
して酸化チタン（ＴｉＯ2 ）、低屈折率膜Ｌａを構成す
る中屈折率膜Ｍの材料として酸化アルミニウム（Ａｌ2
Ｏ3 ）、低屈折率膜Ｌ1 の材料として酸化シリコン（Ｓ
ｉＯ2 ）を用い、高屈折率膜Ｈａと中屈折率膜Ｍで構成
される屈折率差の小さい調整層の層数を４層とした構成
である。基板は、高屈折率基板ＬｉＮｂＯ3 を用いた。
【００２２】図３は、本実施例の膜構成での透過率分光
特性Ａを、図９に示した従来例の高屈折率膜と低屈折率
膜の固定層のみの膜構成からなる多層膜ローパスフィル
タの透過率分光特性Ｂと比較したグラフである。透過率
分光特性ＡとＢは、それぞれの構成において、同一の計
算方法で、最も透過率精度を高めることのできる条件に
最適化されるように計算されたシミュレーショングラフ
である。透過率分光特性Ｂには透過率９２％程度まで減
少するリップルが見られるが、透過率分光特性Ａにはそ
ういったリップルは見られず、透過率として９８％程度
が得られていることが判る。
特性Ａを、図９に示した従来例の高屈折率膜と低屈折率
膜の固定層のみの膜構成からなる多層膜ローパスフィル
タの透過率分光特性Ｂと比較したグラフである。透過率
分光特性ＡとＢは、それぞれの構成において、同一の計
算方法で、最も透過率精度を高めることのできる条件に
最適化されるように計算されたシミュレーショングラフ
である。透過率分光特性Ｂには透過率９２％程度まで減
少するリップルが見られるが、透過率分光特性Ａにはそ
ういったリップルは見られず、透過率として９８％程度
が得られていることが判る。
【００２３】（第２実施例）図４は第２実施例の膜構成
を示す。この場合も合計３７層構成で、各層の光学的膜
厚ｎｄは図示の通りであり、高屈折率膜Ｈ1 ，Ｈａの材
料として酸化チタン（ＴｉＯ2 ）、低屈折率膜Ｌａを構
成する中屈折率膜Ｍの材料として酸化アルミニウム（Ａ
ｌ2 Ｏ3 ）、低屈折率膜Ｌ1 の材料として酸化シリコン
（ＳｉＯ2 ）を用い、高屈折率膜Ｈａと中屈折率膜Ｍで
構成される屈折率差の小さい調整層の層数を６層とした
構成である。
を示す。この場合も合計３７層構成で、各層の光学的膜
厚ｎｄは図示の通りであり、高屈折率膜Ｈ1 ，Ｈａの材
料として酸化チタン（ＴｉＯ2 ）、低屈折率膜Ｌａを構
成する中屈折率膜Ｍの材料として酸化アルミニウム（Ａ
ｌ2 Ｏ3 ）、低屈折率膜Ｌ1 の材料として酸化シリコン
（ＳｉＯ2 ）を用い、高屈折率膜Ｈａと中屈折率膜Ｍで
構成される屈折率差の小さい調整層の層数を６層とした
構成である。
【００２４】図５に本実施例の膜構成での透過率分光特
性Ｃと、第１実施例の透過率分光特性Ａを示す。透過率
分光特性ＡとＣは、それぞれの構成において、同一の計
算方法で、最も透過率精度を高めることのできる条件に
最適化されるように計算されたシミュレーショングラフ
である。透過率分光特性ＣもＡと同様にリップルは見ら
れず、透過率として９８％程度が得られていることが判
る。
性Ｃと、第１実施例の透過率分光特性Ａを示す。透過率
分光特性ＡとＣは、それぞれの構成において、同一の計
算方法で、最も透過率精度を高めることのできる条件に
最適化されるように計算されたシミュレーショングラフ
である。透過率分光特性ＣもＡと同様にリップルは見ら
れず、透過率として９８％程度が得られていることが判
る。
【００２５】（第３実施例）図６は第３実施例の膜構成
を示す。この場合も合計３７層構成で、各層の光学的膜
厚ｎｄは図示の通りであり、高屈折率膜Ｈ1 の材料とし
て酸化チタン（ＴｉＯ2 ）、屈折率の低い高屈折率膜Ｈ
2 の材料として酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2）、低屈折
率膜Ｌ1 の材料として酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）を用
い、高屈折率膜Ｈ2 と低屈折率膜Ｌ1 で構成される屈折
率差の小さい調整層の層数を５層とした構成である。図
７は本実施例の透過率分光特性Ｄを示す。透過率分光特
性Ｄは、他の実施例の分光特性と同一の計算方法で、最
も透過率精度を高めることのできる条件に最適化される
ように計算されたシミュレーショングラフである。透過
率分光特性ＤもＡと同様にリップルは見られず、透過率
として９７％程度が得られていることが判る。
を示す。この場合も合計３７層構成で、各層の光学的膜
厚ｎｄは図示の通りであり、高屈折率膜Ｈ1 の材料とし
て酸化チタン（ＴｉＯ2 ）、屈折率の低い高屈折率膜Ｈ
2 の材料として酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2）、低屈折
率膜Ｌ1 の材料として酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）を用
い、高屈折率膜Ｈ2 と低屈折率膜Ｌ1 で構成される屈折
率差の小さい調整層の層数を５層とした構成である。図
７は本実施例の透過率分光特性Ｄを示す。透過率分光特
性Ｄは、他の実施例の分光特性と同一の計算方法で、最
も透過率精度を高めることのできる条件に最適化される
ように計算されたシミュレーショングラフである。透過
率分光特性ＤもＡと同様にリップルは見られず、透過率
として９７％程度が得られていることが判る。
【００２６】（第４実施例）第１実施例をもとに、屈折
率略１．４〜２．４の基板のなかで基板の種類を変えた
ときの調整層の各層の最適膜厚値を表１に示し、基板が
ＬａＳＦＯ3 であるサンプルの設計シミュレーショング
ラフを図８に示した。残りの基板についても図８と同様
のシミュレーショングラフが得られることが判明してい
る。
率略１．４〜２．４の基板のなかで基板の種類を変えた
ときの調整層の各層の最適膜厚値を表１に示し、基板が
ＬａＳＦＯ3 であるサンプルの設計シミュレーショング
ラフを図８に示した。残りの基板についても図８と同様
のシミュレーショングラフが得られることが判明してい
る。
【００２７】
【表１】
【００２８】
【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、以下に記載するような効果を奏する。
で、以下に記載するような効果を奏する。
【００２９】多層膜ローパスフィルタの透過帯域におけ
る透過損失うねりを除去して、透過率分光特性を大幅に
改善できる。
る透過損失うねりを除去して、透過率分光特性を大幅に
改善できる。
【００３０】このような多層膜ローパスフィルタを各種
光学部品の表面等に設けることで、光学機器の光学性能
を大幅に向上させることができる。
光学部品の表面等に設けることで、光学機器の光学性能
を大幅に向上させることができる。
【図１】一実施の形態による多層膜ローパスフィルタを
示すもので、（ａ）はその膜構成を示す模式断面図、
（ｂ）は（ａ）の透過率分光特性を示す図である。
示すもので、（ａ）はその膜構成を示す模式断面図、
（ｂ）は（ａ）の透過率分光特性を示す図である。
【図２】第１実施例の膜構成を示す図である。
【図３】第１実施例の透過率分光特性のシミュレーショ
ングラフである。
ングラフである。
【図４】第２実施例の膜構成を示す図である。
【図５】第２実施例の透過率分光特性のシミュレーショ
ングラフである。
ングラフである。
【図６】第３実施例の膜構成を示す図である。
【図７】第３実施例の透過率分光特性のシミュレーショ
ングラフである。
ングラフである。
【図８】第４実施例の透過率分光特性のシミュレーショ
ングラフである。
ングラフである。
【図９】一従来例による多層膜ローパスフィルタを示す
もので、（ａ）はその膜構成を示す模式断面図、（ｂ）
は（ａ）の透過率分光特性を示す図である。
もので、（ａ）はその膜構成を示す模式断面図、（ｂ）
は（ａ）の透過率分光特性を示す図である。
１０ 基板 ２０ 誘電体多層膜 ２１ 調整層 ２２ 固定層
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H048 GA04 GA09 GA12 GA46 GA56 GA62 4F100 AA05B AA06B AA17A AA17B AA19B AA20B AA21A AA26B AA27A AR00A AR00B AT00C BA05 BA07 BA08 BA10A BA10B BA10C BA13 BA26A BA26B GB90 JA20A JA20B JG05A JG05B JN18A JN18B JN18C JN30 YY00A YY00B YY00C
Claims (6)
- 【請求項１】 基板上に高屈折率膜と低屈折率膜を交互
に積層した誘電体多層膜を有し、該誘電体多層膜の前記
基板側の下部層を構成する前記高屈折率膜と前記低屈折
率膜の屈折率差が、残りの上部層を構成する前記高屈折
率膜と前記低屈折率膜の屈折率差より小さいことを特徴
とする多層膜ローパスフィルタ。 - 【請求項２】 誘電体多層膜の下部層の高屈折率膜と低
屈折率膜が、多層膜ローパスフィルタの透過帯域と反射
帯域の境界部分近傍の前記反射帯域の波長の１／４また
は１／８を基準値として最適化された光学的膜厚を有す
ることを特徴とする請求項１記載の多層膜ローパスフィ
ルタ。 - 【請求項３】 屈折率略１．４〜２．４の基板に対して
下部層の高屈折率膜と低屈折率膜の光学的膜厚を最適化
することで、透過損失うねりを除去したことを特徴とす
る請求項２記載の多層膜ローパスフィルタ。 - 【請求項４】 下部層が、合計で４層ないし７層の高屈
折率膜と低屈折率膜を有することを特徴とする請求項１
ないし３いずれか１項記載の多層膜ローパスフィルタ。 - 【請求項５】 高屈折率膜としてＺｒＯ2 ，ＴｉＯ2 ，
Ｔａ2 Ｏ3 ，Ｎｂ2Ｏ5 ，ＨｆＯ2 ，ＣｅＯ2 のいずれ
かまたはこれらの混合物からなる高屈折率誘電体膜、低
屈折率膜としてＡｌ2 Ｏ3 ，ＧｅＯ2 ，Ｙ2 Ｏ3 のいず
れかまたはこれらの混合物からなる中屈折率誘電体膜、
またはＳｉＯ2 ，ＭｇＦ2 ，ＡｌＦ3のいずれかまたは
これらの混合物からなる低屈折率誘電体膜を用いること
を特徴とする請求項１ないし４いずれか１項記載の多層
膜ローパスフィルタ。 - 【請求項６】 請求項１ないし５いずれか１項記載の多
層膜ローパスフィルタを有することを特徴とする光学部
品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10342387A JP2000147248A (ja) | 1998-11-16 | 1998-11-16 | 多層膜ローパスフィルタおよびこれを用いた光学部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10342387A JP2000147248A (ja) | 1998-11-16 | 1998-11-16 | 多層膜ローパスフィルタおよびこれを用いた光学部品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000147248A true JP2000147248A (ja) | 2000-05-26 |
Family
ID=18353343
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10342387A Pending JP2000147248A (ja) | 1998-11-16 | 1998-11-16 | 多層膜ローパスフィルタおよびこれを用いた光学部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000147248A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004086515A1 (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-07 | Osaka Gas Co., Ltd. | フィルタ機能付き光センサ及び火炎センサ |
| WO2013183557A1 (ja) * | 2012-06-04 | 2013-12-12 | 旭硝子株式会社 | 近赤外線カットフィルタ |
-
1998
- 1998-11-16 JP JP10342387A patent/JP2000147248A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004086515A1 (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-07 | Osaka Gas Co., Ltd. | フィルタ機能付き光センサ及び火炎センサ |
| US7361948B2 (en) | 2003-03-25 | 2008-04-22 | Uv Craftory Co., Ltd. | Filter function-equipped optical sensor and flame sensor |
| WO2013183557A1 (ja) * | 2012-06-04 | 2013-12-12 | 旭硝子株式会社 | 近赤外線カットフィルタ |
| CN104204873A (zh) * | 2012-06-04 | 2014-12-10 | 旭硝子株式会社 | 近红外线截止滤波器 |
| JPWO2013183557A1 (ja) * | 2012-06-04 | 2016-01-28 | 旭硝子株式会社 | 近赤外線カットフィルタ |
| US9726797B2 (en) | 2012-06-04 | 2017-08-08 | Asahi Glass Company, Limited | Near-infrared cut filter |
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