JP2000131042A - 被検査物体の欠陥判定用カメラおよびこれを用いた欠陥判定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 製品上におけるより微細な欠陥についても精
度よく検出することを可能とすること。 【解決手段】 被検査物体としての海苔４１には、波長
の異なる投射光が当てられ、一次元走査カメラによる透
過光の撮像出力として（ロ）および（ハ）に示す波形が
得られる。（ロ）に示す信号波形は所定量増幅され、ま
た（ハ）に示す信号はレベルシフトされて（ホ）に示す
ように両者が比較される。その比較結果として（ヘ）に
示す異物４２に対応するパルス状出力が得られ、この出
力によって製品の良否が判定される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被検査物体の欠陥
検査において、被検査物体の光波長による透過率または
反射率の違いを利用して欠陥の有無を精度よく判定する
ことができる被検査物体の欠陥判定用カメラおよびこれ
を用いた欠陥判定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ベルトコンベアー等により搬送される生
産過程の製品について、欠陥の検査を行う品質管理がな
されており、これに用いる検査装置の代表的なものとし
て、例えばＣＣＤカメラを用いる欠陥検査装置が知られ
ている。一般に前記したＣＣＤカメラによる製品の欠陥
検査は、製品を透過する透過光の具合、または製品から
の反射光の具合を前記カメラにより撮像することによ
り、異物もしくは傷などの存在を検査するようになされ
ている。そして、透過光または反射光のいずれを利用す
る場合であっても、欠陥のない部分の光信号出力に対
し、欠陥部分の光信号出力が高いレベルになるか、低い
レベルになるかの変化を捕らえ、この信号をもとに欠陥
であるか否かの判定を行うようにされている。

【０００３】製品の欠陥の無い部分における検出信号が
安定できれいな場合には、標準的な良品部品の信号に対
して一定のスライスレベルを設け、このスライスレベル
より高い（または低い）信号部分を欠陥の基礎データと
して取り込み、その大きさや連続性等の条件を付けて判
定を行うようにしている。この場合、無欠陥部分の検出
信号が安定的できれいであるか、または欠陥部分に対応
する検出信号が非常に大きい場合に有効に機能する。ま
た、製品の良品部分でも、表面に起状や厚みの変化があ
り、良品部分に対応する検出信号そのものが、多くの変
化部分を有している場合には、信号の変化部分の急峻度
をみて、良品製品の変化分か欠陥による変化分かを区分
けする方法も提案されている。しかしながら、この方法
を利用するには良品粗面の変化分は比較的なだらかで、
欠陥部分の変化は急峻である等の一定の条件が必要とな
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前者および
後者のいずれの方法においても、予め決められた基準値
に対する差異に基づいて良品または欠陥品を判定するた
め、検査用光源の時間的な変化や、製品のロットの違い
による許容範囲を考えると微妙な判定基準をとることが
困難であり、微細な欠陥の有無を精度よく検出すること
は不可能である。そこで、周囲光の変化や光源の変動、
また製品の凹凸などの影響を受け難い方法として、製品
の流れ方向で、今取り込んでいるデータの少し前のデー
タや、良品部分の平均的なデータを一定時間で更新し、
この値を基準に今取り込んでいるデータを比較し、変化
分を抽出する方法が知られている。この手段はシート
状、板状の製品検査に多く利用されるが、製品の流れ方
向に良品部分でも変化を持っている場合には有効ではな
い。

【０００５】以上のように、前記した既存技術によって
有効な検査を実行できる対象製品はあるものの、例えば
良品部分の表面に凹凸がある製品や、製品の厚さ等にむ
らがあり、良品部分の検査波形が大きく変化する製品に
ついては、どの方法も有効ではない。本発明は前記した
従来の技術的課題を解決しようとするものであり、前記
したように製品の表面に凹凸がある場合、また製品の厚
さ等にむらがある場合においても、微細な欠陥部分を精
度よく検出することができる被検査物体の欠陥判定用カ
メラおよびこれを用いた欠陥判定装置を提供することを
目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記した目的を達成する
ためになされた本発明にかかる被検査物体の欠陥判定用
カメラは、被検査物体の透過光または反射光を取り込む
対物レンズと、前記対物レンズによって取り込まれた透
過光または反射光を第１および第２の光波長域に応じて
分光する分光手段と、前記分光手段によって分光された
第１の光波長域の光量に応じた出力信号を生成する第１
光電変換素子と、前記分光手段によって分光された第２
の光波長域の光量に応じた出力信号を生成する第２光電
変換素子とが具備され、前記被検査物体の同一被写体部
分を、２つの異なる波長帯域による出力信号として同時
に得るように構成される。

【０００７】この場合、第１および第２の光波長域に応
じて分光する前記分光手段として、対物レンズの光軸に
対して所定の角度をもって配置された反射面を有し、前
記第１の光波長域を反射し、前記第２の光波長域を透過
させるホットミラーを用いることができる。また、第１
および第２の光波長域に応じて分光する前記分光手段
は、前記対物レンズの光軸に対して所定の角度をもって
配置された反射面を有するハーフミラーと、前記ハーフ
ミラーによる反射光のうち前記第１の光波長域を透過さ
せる第１光学フィルタと、前記ハーフミラーによる透過
光のうち前記第２の光波長域を透過させる第２光学フィ
ルタとにより構成される場合もある。そして、前記いず
れの構成においても好ましくは、前記第１光電変換素子
および第２光電変換素子として、それぞれＣＣＤを直線
状に配列してなる一次元撮像素子が用いられる。

【０００８】また、本発明にかかる被検査物体の欠陥判
定装置は、第１の光波長域および第２の光波長域の各波
長光を発生する光源を備え、被検査物体に対して前記各
波長光を投射する光発生ユニットと、前記光発生ユニッ
トにより被検査物体に投射された透過光または反射光を
取り込む対物レンズ、前記対物レンズによって取り込ま
れた透過光または反射光を第１および第２の光波長域に
応じて分光する分光手段、前記分光手段によって分光さ
れた第１および第２の光波長域の光量に応じた出力信号
をそれぞれ生成する第１光電変換素子および第２光電変
換素子を含むカメラとが具備され、前記被検査物体の同
一被写体部分を、２つの異なる波長帯域による出力信号
として同時に得るように構成される。

【０００９】そして、好ましくは前記第１光電変換素子
に基づく出力信号または前記第２光電変換素子に基づく
出力信号のいずれか一方を基準として、他の出力信号を
比較する比較手段がさらに具備され、前記比較手段の出
力に応じて欠陥部位を判定するように構成される。さら
に、好ましい実施の形態においては、前記第１光電変換
素子により得られる出力信号または前記第２光電変換素
子により得られる出力信号のうち、少なくとも一方の出
力信号のゲインを調整するゲイン調整手段と、前記ゲイ
ン調整手段による出力信号のレベルと、他の出力信号の
レベルとがほぼ均等となるようにオフセットさせるオフ
セット手段とを含み、前記ゲイン調整手段およびオフセ
ット手段により処理された２つの電気信号を前記比較手
段に供給するように構成される。

【００１０】そして、前記比較手段により得られるピー
ク出力の数をカウントアップするカウンタがさらに具備
され、前記カウンタによるカウントアップ値により、被
検査物体の良否を判定するように構成される。また、被
検査物体の搬送方向と直交する方向にスキャンすること
により、前記第１光電変換素子および第２光電変換素子
により出力信号を得るように構成した被検査物体の欠陥
判定装置であって、各スキャン動作ごとに前記比較手段
より得られるピーク出力の幅から換算される欠陥部位の
面積に応じて、被検査物体の良否を判定するように構成
される場合もある。

【００１１】以上のように構成された被検査物体の欠陥
判定用カメラおよびこれを用いた欠陥判定装置は、被検
査物体の透過光または反射光を、分光手段によって第１
および第２の光波長域に分光し、例えばＣＣＤを直線状
に配列してなる一次元撮像素子からなる第１および第２
の光電変換素子に対して与えるように作用する。これに
よって、第１および第２の光電変換素子からは、２つの
異なる波長帯域による出力信号が同時に出力される。

【００１２】本発明の基本構想は、例えば同一製品の同
一部分であっても、光の波長が異なれば、透過の程度や
反射の程度が異なることに着目してなされたものであ
り、前記した構成により同一の場所から得られる二つの
異なる信号を採取し、一方の信号を判定の基準として利
用し、他方の信号と比較する比較手段が採用される。こ
の場合、基準となる信号にはすでに製品自体が持つ変化
分（製品表面の凹凸、製品の厚さ等のむらによる変化
分）が内包されているので、前記比較手段においては、
製品自体が持つ変化分は相殺される。したがって、比較
手段においては、微妙な比較設定を行うことができ、製
品上におけるより微細な欠陥についても精度よく検出す
ることが可能となる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる被検査物体
の欠陥判定用カメラおよびこれを用いた欠陥判定装置に
ついて、図に示す実施の形態に基づいて説明する。図１
は欠陥判定用カメラの第１の実施の形態を断面図によっ
て示したものである。図１において符号１は後述する被
検査物体の透過光または反射光を取り込む対物レンズを
示しており、この対物レンズ１の光軸上には、分光手段
としてのホットミラー２が配置されている。このホット
ミラー２は、その反射面が前記対物レンズ１の光軸に対
して４５度の角度をもって配置されており、特定の波
長、例えば７００ｎｍ以上の波長光を４５度方向に反射
し、特定の波長以下の光は透過直進させるように作用す
る。

【００１４】前記ホットミラー２の反射面側には、前記
特定の波長域以上の波長光を受光して、その受光量に応
じて出力を発生する第１光電変換素子３が配置されてお
り、またホットミラー２の後方、すなわち透過直進側に
は、前記特定の波長域以下の波長光を受光して、その受
光量に応じて出力を発生する第２光電変換素子４が配置
されている。この第１光電変換素子３および第２光電変
換素子４は、それぞれ後述するように、ＣＣＤを直線状
に配列してなる一次元撮像素子を構成しており、第１光
電変換素子３を構成するＣＣＤには、ホットミラー２に
よる反射光が蓄積され、ドライバーアンプ５を介して出
力端子７に出力される。また第２光電変換素子４を構成
するＣＣＤには、ホットミラー２による透過光が蓄積さ
れ、ドライバーアンプ６を介して出力端子８に出力され
るように構成されている。したがって、前記出力端子
７，８からは被検査物体の同一被写体部分を、２つの異
なる波長帯域による出力信号として同時に出力される。

【００１５】次に図２は、欠陥判定用カメラの第２の実
施の形態を断面図によって示したものである。なお図２
において、図１に相当する部分は同一符号で示してお
り、したがって当該部分の説明は適宜省略する。この第
２の実施の形態においては、分光手段としてハーフミラ
ー９が用いられている。このハーフミラー９は、図１に
示すホットミラーと同様に、その反射面が前記対物レン
ズ１の光軸に対して４５度の角度をもって配置されてい
る。

【００１６】そして、このハーフミラー９による反射光
は、前記特定の波長域以上の光を透過させる第１光学フ
ィルタ１０を介してＣＣＤによる第１光電変換素子３に
投射されるように構成されており、またハーフミラー９
による透過光は、前記特定の波長域以下の光を透過させ
る第２光学フィルタ１０を介してＣＣＤによる第２光電
変換素子４に投射されるように構成されている。したが
って、結果として図１に示す実施の形態と同様に、出力
端子７，８からは被検査物体の同一被写体部分を、２つ
の異なる波長帯域による出力信号として同時に出力され
るようになされる。

【００１７】図３は、前記した一次元ＣＣＤカメラによ
って走査撮像される被検査物体の搬送方向と、カメラに
よる走査方向の関係を示したものである。この例におい
ては、被検査物体として、海苔４１を例にして示してお
り、この海苔４１は矢印Ａ方向に順次搬送されると共
に、前記カメラによってこの搬送方向と直交する方向、
すなわち矢印Ｂ方向に走査撮像（以下スキャン操作とも
いう）される。被検査物体としての海苔４１は、紫外域
に近い光は透過し難く、赤外域の光は透過し易い性質を
もっている。そして、海苔は生産の工程上、均一の厚さ
にはならず、厚さのばらつきも大きい。さらに、製造工
程において異物を取り去ることが難しく、しばしば異物
４２が付着した状態で製品化される。

【００１８】図４は、被検査物体としての海苔に対して
光発生ユニットによる光を投射し、その透過光を前記一
次元ＣＣＤカメラにより撮像する様子を示したものであ
る。すなわち、光発生ユニット２０には、８８０ｎｍの
投射光を発生する光源２１と、中間域である６５０ｎｍ
の投射光を発生する光源２２とが具備されており、これ
らの投射光は被検査物体としての海苔４１の一面に投射
される。その透過光は前記カメラによって矢印Ｂ方向に
走査撮像される。なお、図４においては撮像素子とし
て、図１に示すＣＣＤによる第１光電変換素子３を例に
して描いているが、第２光電変換素子４についても同様
である。第１光電変換素子３は前記したようにＣＣＤを
直線状に配列してなる一次元撮像素子を構成しており、
走査制御回路（図示せず）からの指令により直線状に配
列してなる各ＣＣＤに蓄積された電荷に対応する信号を
順次引き出し、ドライバーアンプ５を介して出力信号と
して発生させる。すなわち図４において、電気的にＢ′
方向に走査することにより、海苔４１をＢ方向に走査し
た信号を得ることができる。

【００１９】図５は、図４に示した構成によって海苔４
１の欠陥判定を実行するプロセスを示している。すなわ
ち、図５（イ）は前記カメラによってスキャン操作され
る部分の海苔４１の断面状態を模式的に示したものであ
り、この海苔４１はその厚さが不規則にばらついてい
る。そして比較的薄く仕上げられた部分に異物４２ａが
付着し、また比較的厚く仕上げられた部分に異物４２ｂ
が付着している状態を示している。図５（ロ）は、８８
０ｎｍの透過し易い投射光に対応する出力波形、すなわ
ち第１光電変換素子３による出力波形を示しており、厚
さのばらつきによる出力レベルの差「ａ」を含み、異物
の陰の部分が暗いレベルとして出力される。この波長域
では海苔は透過し易いために海苔の部分と、異物を含む
部分の出力信号の差は比較的大きく現れる。

【００２０】次に図５（ハ）は、６５０ｎｍの投射光に
対応する出力波形、すなわち第２光電変換素子４による
出力波形を示しており、海苔の厚さのばらつきが、８８
０ｎｍに対応する出力信号より大きく、すなわち「ｂ」
として示すように出力され、異物が存在する部分も海苔
の陰の影響の割合が大きいため、結果として変化分が小
さい。また出力レベルも全体的に暗い光信号のため、８
８０ｎｍに対応するレベルに対してレベル差「ｃ」に相
当する分低下した状態となる。図５（ニ）は、前記図５
（ロ）に示した信号を増幅したものである。その増幅度
は図５（ロ）に示す信号のレベル差「ａ」を図５（ハ）
に示す信号のレベル差「ｂ」と同等になる程度の倍率と
する。仮に、ｂ／ａ＝２とすると、異物が存在する部分
に対応する信号振幅も２倍となる。

【００２１】そして、図５（ホ）は、前記した図５
（ロ）と図５（ハ）の出力レベル差「ｃ」に対応したレ
ベル差、すなわちΔＶをＤＣオフセットした信号と、図
５（ニ）に示す信号とを示したものである。ここではＤ
Ｃオフセットした信号を基準信号（スライスレベル）と
して、図５（ニ）に示す信号と比較する状態を示してお
り、ＤＣオフセットした信号に対して図５（ニ）に示す
信号のレベルが小さい場合、すなわちハッチング部分の
タイミングにおいて、図５（ヘ）の出力を得るようにし
ている。この図５（ヘ）に示す出力は、異物の存在部分
に対応する検出波形であり、この検出波形を用いること
によって、後述するように海苔４１の欠陥判定を実行す
ることができる。

【００２２】図６は、前記した図５に示す作用を実現す
る基本構成と、これにより得られる検出波形を用いた欠
陥判定のプロセスを含む欠陥判定装置の基本ブロック図
を示している。符号３１はゲイン調整手段であり、この
ゲイン調整手段３１には前記した一次元ＣＣＤカメラの
出力端子７からの出力信号、すなわち８８０ｎｍに対応
する透過光の出力が供給される。また、符号３３はオフ
セット手段を示し、このオフセット手段３３には、一次
元ＣＣＤカメラの出力端子８からの出力信号、すなわち
６５０ｎｍに対応する透過光の出力が供給される。

【００２３】前記ゲイン調整手段３１には、ゲイン制御
回路３２からのゲイン制御信号が供給される。このゲイ
ン制御信号は、図５において説明した６５０ｎｍの投射
光に対応する海苔の厚さのばらつきによる出力レベルの
差「ｂ」と、８８０ｎｍの透過し易い投射光に対応する
海苔の厚さのばらつきによる出力レベルの差「ａ」の比
であるｂ／ａの増幅度を前記ゲイン調整手段３１に与え
るようになされる。これによりゲイン調整手段３１から
は図５（ニ）に示す信号が出力される。

【００２４】一方、前記オフセット手段３３には、オフ
セット信号生成回路３４からのオフセット信号が供給さ
れる。このオフセット信号は、図５において説明した波
形（ロ）と（ハ）の出力レベル差「ｃ」に対応したレベ
ル差、すなわちΔＶのＤＣオフセット分に相当する。し
たがって、オフセット手段３３からは図５（ホ）におい
て説明した比較基準信号が出力される。符号３５はコン
パレータ（比較器）であり、このコンパレータ３５にお
いて、ＤＣオフセットされた前記比較基準信号に対する
ゲイン調整手段３１の出力が比較される。そして、その
比較結果は、図５（ニ）に示す形態でコンパレータ３５
より出力される。

【００２５】図６における符号３６は、コンパレータ３
５の出力信号を受けてピーク出力の数をカウントアップ
するカウンタであり、例えばピーク出力の立上がりのタ
イミングでカウントするように作用する。そして、前記
カメラによる所定のスキャン回数、例えば被検査物体で
ある海苔一枚分のスキャン回数が終了した時点におい
て、カウンタ３６によるカウント値が判定回路３７に供
給される。判定回路３７は、予め定められた所定の数
と、前記カウンタ３６によるカウント値とを比較して、
カウント値が所定の数よりも小さい場合には、良品を示
す信号を出力し、またカウント値が所定の数よりも大き
い場合には、不良を示す信号を出力するようになされ
る。これにより海苔一枚の評価がなされる。

【００２６】なお、前記した判定手段においては、海苔
一枚における異物の数を対象として良否の判定を実行す
るようにしているが、例えば各スキャンごとに前記比較
手段より得られるピーク出力の幅から換算される異物の
面積（欠陥部分の面積）を求め、その面積に応じて被検
査物体の良否を判定するように構成するようにしてもよ
い。このような判定手段を構成するには、前記カウンタ
３６に代えて積分回路を配置し、判定回路３７において
前記積分回路による積分値の大小を比較するようになさ
れる。また以上の説明は、二つの異なる波長域の透過光
の光量に応じた出力に基づいて良否の判定を行うように
しているが、被検査物体の性質に応じて反射光を利用し
て同様の判定を行うことも可能である。

【００２７】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
かかる被検査物体の欠陥判定用カメラおよびこれを用い
た欠陥判定装置によると、対物レンズによって取り込ま
れた被検査物体の透過光または反射光を、第１および第
２の光波長域に応じて分光し、第１および第２の光電変
換素子により出力信号を得るようになされる。これによ
り、被検査物体の同一被写体部分を、２つの異なる波長
帯域による出力信号として同時に得ることができる。そ
して、一方の信号を判定の基準として利用し、他方の信
号と比較する比較手段を採用することで、製品表面の凹
凸、製品の厚さ等のむらによる変化分を相殺させた形で
比較することが可能となる。したがって前記比較手段に
おいては、それ程のアローワンスを持たせることなく微
妙な比較設定を行うことができ、製品上におけるより微
細な欠陥についても精度よく検出することが可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる欠陥判定用カメラの第１の実施
の形態を示した断面図である。

【図２】本発明にかかる欠陥判定用カメラの第２の実施
の形態を示した断面図である。

【図３】図１または図２に示したカメラによって走査撮
像される被検査物体の搬送方向と、カメラによる走査撮
像方向の関係を示した平面図である。

【図４】被検査物体に対して光発生ユニットによる光を
投射し、その透過光を前記カメラにより撮像する様子を
示した模式図である。

【図５】図４に示した構成によって被検査物体の欠陥判
定を実行するプロセスを示した波形図である。

【図６】図５に示す作用を実現する基本構成と、検出波
形を用いた欠陥判定のプロセスを含む欠陥判定装置の基
本ブロック図である。

【符号の説明】

１ 対物レンズ ２ ホットミラー ３ 第１光電変換素子 ４ 第２光電変換素子 ９ ハーフミラー １０ 第１光学フィルタ １１ 第２光学フィルタ ２０ 光発生ユニット ２１ 光源 ２２ 光源 ３１ ゲイン調整手段 ３３ オフセット手段 ３５ コンパレータ ３６ カウンタ ３７ 判定回路 ４１ 被検査物体（海苔） ４２ 異物（欠陥部位）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 和義 神奈川県川崎市川崎区元木２丁目４番５号 ダイアパレス川崎元木町１階 株式会社 テクニカルシステムズ内 Ｆターム(参考） 2F065 AA49 AA61 BB01 BB15 CC02 DD04 FF41 FF46 GG23 HH15 JJ02 JJ25 LL20 LL22 MM03 NN13 QQ25 QQ51 TT03 2G051 AA33 AB02 BA01 CA03 CA07 CB01 CB02 CC11 CC15 CD04 DA06 EA23 EA27 EB01 EB10

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査物体の透過光または反射光を取り
   込む対物レンズと、前記対物レンズによって取り込まれ
   た透過光または反射光を第１および第２の光波長域に応
   じて分光する分光手段と、前記分光手段によって分光さ
   れた第１の光波長域の光量に応じた出力信号を生成する
   第１光電変換素子と、前記分光手段によって分光された
   第２の光波長域の光量に応じた出力信号を生成する第２
   光電変換素子とが具備され、 前記被検査物体の同一被写体部分を、２つの異なる波長
   帯域による出力信号として同時に得るように構成した被
   検査物体の欠陥判定用カメラ。
2. 【請求項２】 第１および第２の光波長域に応じて分光
   する前記分光手段は、対物レンズの光軸に対して所定の
   角度をもって配置された反射面を有し、前記第１の光波
   長域を反射し、前記第２の光波長域を透過させるホット
   ミラーである請求項１に記載の被検査物体の欠陥判定用
   カメラ。
3. 【請求項３】 第１および第２の光波長域に応じて分光
   する前記分光手段は、前記対物レンズの光軸に対して所
   定の角度をもって配置された反射面を有するハーフミラ
   ーと、前記ハーフミラーによる反射光のうち前記第１の
   光波長域を透過させる第１光学フィルタと、前記ハーフ
   ミラーによる透過光のうち前記第２の光波長域を透過さ
   せる第２光学フィルタとにより構成される請求項１に記
   載の被検査物体の欠陥判定用カメラ。
4. 【請求項４】 前記第１光電変換素子および第２光電変
   換素子として、それぞれＣＣＤを直線状に配列してなる
   一次元撮像素子を用いた請求項１乃至請求項３のいずれ
   かに記載の被検査物体の欠陥判定用カメラ。
5. 【請求項５】 第１の光波長域および第２の光波長域の
   各波長光を発生する光源を備え、被検査物体に対して前
   記各波長光を投射する光発生ユニットと、 前記光発生ユニットにより被検査物体に投射された透過
   光または反射光を取り込む対物レンズ、前記対物レンズ
   によって取り込まれた透過光または反射光を第１および
   第２の光波長域に応じて分光する分光手段、前記分光手
   段によって分光された第１および第２の光波長域の光量
   に応じた出力信号をそれぞれ生成する第１光電変換素子
   および第２光電変換素子を含むカメラとが具備され、 前記被検査物体の同一被写体部分を、２つの異なる波長
   帯域による出力信号として同時に得るように構成した被
   検査物体の欠陥判定装置。
6. 【請求項６】 前記第１光電変換素子に基づく出力信号
   または前記第２光電変換素子に基づく出力信号のいずれ
   か一方を基準として、他の出力信号を比較する比較手段
   をさらに具備し、前記比較手段の出力に応じて欠陥部位
   を判定するように構成した請求項５に記載の被検査物体
   の欠陥判定装置。
7. 【請求項７】 前記第１光電変換素子により得られる出
   力信号または前記第２光電変換素子により得られる出力
   信号のうち、少なくとも一方の出力信号のゲインを調整
   するゲイン調整手段と、前記ゲイン調整手段による出力
   信号のレベルと、他の出力信号のレベルとがほぼ均等と
   なるようにオフセットさせるオフセット手段とを含み、
   前記ゲイン調整手段およびオフセット手段により処理さ
   れた２つの電気信号を前記比較手段に供給するように構
   成した請求項６に記載の被検査物体の欠陥判定装置。
8. 【請求項８】 前記比較手段により得られるピーク出力
   の数をカウントアップするカウンタがさらに具備され、
   前記カウンタによるカウントアップ値により、被検査物
   体の良否を判定するように構成した請求項６または請求
   項７に記載の被検査物体の欠陥判定装置。
9. 【請求項９】 被検査物体の搬送方向と直交する方向に
   スキャンすることにより、前記第１光電変換素子および
   第２光電変換素子により出力信号を得るように構成した
   被検査物体の欠陥判定装置であって、 各スキャン動作ごとに前記比較手段より得られるピーク
   出力の幅から換算される欠陥部位の面積に応じて、被検
   査物体の良否を判定するように構成した請求項６または
   請求項７に記載の被検査物体の欠陥判定装置。