JP2000128565A - 光ファイバ母材の製造方法及び装置 - Google Patents
光ファイバ母材の製造方法及び装置Info
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 良好な品質の光ファイバ母材を歩留りよく作
製することのできる光ファイバ母材の製造方法及びその
製造装置を提供すること。 【解決手段】 容器内に水平若しくは垂直に把持され軸
回りに回転する出発部材にガラス微粒子合成用バーナで
合成されるガラス微粒子を順次堆積させ、容器の周囲に
設けられたガス流通層内で容器の熱により予熱したガス
を排気促進用ガスとして容器内に供給し容器内に浮遊す
るガラス微粒子を排出させながら光ファイバ母材を製造
する方法において、上記ガス流通層を取り外し可能とし
清掃を行うことを特徴とする光ファイバ母材の製造方
法。
製することのできる光ファイバ母材の製造方法及びその
製造装置を提供すること。 【解決手段】 容器内に水平若しくは垂直に把持され軸
回りに回転する出発部材にガラス微粒子合成用バーナで
合成されるガラス微粒子を順次堆積させ、容器の周囲に
設けられたガス流通層内で容器の熱により予熱したガス
を排気促進用ガスとして容器内に供給し容器内に浮遊す
るガラス微粒子を排出させながら光ファイバ母材を製造
する方法において、上記ガス流通層を取り外し可能とし
清掃を行うことを特徴とする光ファイバ母材の製造方
法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、出発部材の周囲に
ガラス微粒子を堆積させる光ファイバ母材の製造方法及
び製造装置に関し、さらに詳しくはガラス微粒子の堆積
を行う反応容器内面に付着するガラス微粒子を効果的に
除去、清掃するための方法及びその装置を実施する装置
に関する。
ガラス微粒子を堆積させる光ファイバ母材の製造方法及
び製造装置に関し、さらに詳しくはガラス微粒子の堆積
を行う反応容器内面に付着するガラス微粒子を効果的に
除去、清掃するための方法及びその装置を実施する装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガラス微粒子合成用バーナを用いて合成
されるガラス微粒子を出発部材上に順次堆積させ排気促
進用ガスを供給して容器内に浮遊するガラス微粒子を排
出させながら光ファイバ母材を製造する方法は特開平１
０−７２２３１号公報に記載されている。この方法によ
り光ファイバ母材を製造する装置の一例を図４、図５に
模式的に示す。例えば、図５の装置では反応容器９内に
出発部材７がシード棒４を経て回転チャック３に把持さ
れて取り付けられており、この出発部材７は軸回りに回
転し昇降機１により上下方向に往復運動するようになっ
ている。容器９の下部に出発部材７に向けてバーナ６が
取り付けられており、ガラス微粒子を合成し出発部材７
上に堆積させる。ここで余分に生成し容器内に浮遊する
ガラス微粒子を排出する排気口１１と排気を促進する空
気取り入れ口１０が設けられている。すなわち、この従
来法は発生した余剰ガラス微粒子（スス）を効率良く排
気するために製造装置に沿わせたガス流通層８に清浄な
空気若しくは不活性ガスを流し、予熱してから供給し
て、ガラス微粒子堆積体の破損を防ごうとするものであ
る。
されるガラス微粒子を出発部材上に順次堆積させ排気促
進用ガスを供給して容器内に浮遊するガラス微粒子を排
出させながら光ファイバ母材を製造する方法は特開平１
０−７２２３１号公報に記載されている。この方法によ
り光ファイバ母材を製造する装置の一例を図４、図５に
模式的に示す。例えば、図５の装置では反応容器９内に
出発部材７がシード棒４を経て回転チャック３に把持さ
れて取り付けられており、この出発部材７は軸回りに回
転し昇降機１により上下方向に往復運動するようになっ
ている。容器９の下部に出発部材７に向けてバーナ６が
取り付けられており、ガラス微粒子を合成し出発部材７
上に堆積させる。ここで余分に生成し容器内に浮遊する
ガラス微粒子を排出する排気口１１と排気を促進する空
気取り入れ口１０が設けられている。すなわち、この従
来法は発生した余剰ガラス微粒子（スス）を効率良く排
気するために製造装置に沿わせたガス流通層８に清浄な
空気若しくは不活性ガスを流し、予熱してから供給し
て、ガラス微粒子堆積体の破損を防ごうとするものであ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の方
法で光ファイバ母材を作製する場合には、空気取り入れ
口の部分の清掃を行う際、その取り入れ口からガラス微
粒子などのかすが二重構造の部分に入り込みその内部が
汚染される。このガラス微粒子などのかすがガラス微粒
子堆積中に、排気促進用のガス供給口から吹き出し、ガ
ラス微粒子堆積中の光ファイバ母材上に付着し、その付
着したガラス微粒子はガラス微粒子合成用バーナの火炎
で加熱されることで局所的な温度上昇を起こし周辺の付
着したススとの不整、異物、気泡等が発生する。本発明
は上記のような従来技術における問題点を解決し、出発
部材上にガラス微粒子を堆積させる際に、排気促進用ガ
スの流路を効率よく清掃することで不整や異物、気泡の
ない良好な品質の光ファイバ母材を歩留りよく作製する
ことのできる光ファイバ母材の製造方法及び製造装置を
提供することを目的とする。
法で光ファイバ母材を作製する場合には、空気取り入れ
口の部分の清掃を行う際、その取り入れ口からガラス微
粒子などのかすが二重構造の部分に入り込みその内部が
汚染される。このガラス微粒子などのかすがガラス微粒
子堆積中に、排気促進用のガス供給口から吹き出し、ガ
ラス微粒子堆積中の光ファイバ母材上に付着し、その付
着したガラス微粒子はガラス微粒子合成用バーナの火炎
で加熱されることで局所的な温度上昇を起こし周辺の付
着したススとの不整、異物、気泡等が発生する。本発明
は上記のような従来技術における問題点を解決し、出発
部材上にガラス微粒子を堆積させる際に、排気促進用ガ
スの流路を効率よく清掃することで不整や異物、気泡の
ない良好な品質の光ファイバ母材を歩留りよく作製する
ことのできる光ファイバ母材の製造方法及び製造装置を
提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の目的は下記各発明
により達成される： （１）容器内に水平若しくは垂直に把持され軸回りに回
転する出発部材にガラス微粒子合成用バーナで合成され
るガラス微粒子を順次堆積させ、容器の周囲に設けられ
たガス流通層内で容器の熱により予熱したガスを排気促
進用ガスとして容器内に供給し容器内に浮遊するガラス
微粒子を排出させながら光ファイバ母材を製造する方法
において、上記ガス流通層を取り外し可能とし清掃を行
うことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 （２）上記ガス流通層をトラバース機構により取り外し
可能とする上記（１）に記載の光ファイバ母材の製造方
法。
により達成される： （１）容器内に水平若しくは垂直に把持され軸回りに回
転する出発部材にガラス微粒子合成用バーナで合成され
るガラス微粒子を順次堆積させ、容器の周囲に設けられ
たガス流通層内で容器の熱により予熱したガスを排気促
進用ガスとして容器内に供給し容器内に浮遊するガラス
微粒子を排出させながら光ファイバ母材を製造する方法
において、上記ガス流通層を取り外し可能とし清掃を行
うことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 （２）上記ガス流通層をトラバース機構により取り外し
可能とする上記（１）に記載の光ファイバ母材の製造方
法。
【０００５】（３）出発部材を把持し、それを軸回りに
回転させる機構とガラス微粒子を合成するバーナと該バ
ーナと前記出発部材を相対的に移動させるトラバース機
構と排気促進用ガスの取り入れ口とを備え、排気口を有
する容器からなり、該容器の周囲にガス流通層を設け、
排気促進用ガスを導入して容器の熱により予熱した後、
前記排気促進用ガスの取り入れ口から容器内に供給する
構造を有し、ガラス原料をバーナに供給してガラス微粒
子を合成しつつ出発部材に順次堆積させて光ファイバ母
材を製造する装置において、上記ガス流通層を取り外し
可能として清掃するようにした光ファイバ母材の製造装
置。 （４）上記ガス流通層をトラバース機構により取り外し
可能とした上記（３）に記載された光ファイバ母材の製
造装置。
回転させる機構とガラス微粒子を合成するバーナと該バ
ーナと前記出発部材を相対的に移動させるトラバース機
構と排気促進用ガスの取り入れ口とを備え、排気口を有
する容器からなり、該容器の周囲にガス流通層を設け、
排気促進用ガスを導入して容器の熱により予熱した後、
前記排気促進用ガスの取り入れ口から容器内に供給する
構造を有し、ガラス原料をバーナに供給してガラス微粒
子を合成しつつ出発部材に順次堆積させて光ファイバ母
材を製造する装置において、上記ガス流通層を取り外し
可能として清掃するようにした光ファイバ母材の製造装
置。 （４）上記ガス流通層をトラバース機構により取り外し
可能とした上記（３）に記載された光ファイバ母材の製
造装置。
【０００６】
【発明の実施の形態】上記本発明の方法（１）及び
（２）において、排気促進用ガスの予熱温度を１００℃
以上、好ましくは３００℃以上として予熱して容器内に
供給するのが好ましい。排気促進用ガスとしては窒素等
の不活性ガスや空気などのガラス合成に悪影響を及ぼさ
ないガスが使用できるが空気が好ましく、中でも浮遊ダ
ストの容器内への侵入を防ぐため、フィルタを通して清
浄化した空気を使用するのが好ましい。
（２）において、排気促進用ガスの予熱温度を１００℃
以上、好ましくは３００℃以上として予熱して容器内に
供給するのが好ましい。排気促進用ガスとしては窒素等
の不活性ガスや空気などのガラス合成に悪影響を及ぼさ
ないガスが使用できるが空気が好ましく、中でも浮遊ダ
ストの容器内への侵入を防ぐため、フィルタを通して清
浄化した空気を使用するのが好ましい。
【０００７】上記本発明の装置（３）及び（４）におい
て、製造装置内に供給するガスを流す部分を可動式と
し、その部分の清掃などのメンテナンスをやりやすくで
きるようにすることで、供給ガスへの異物の混入を低減
することができた。すなわち、本発明に係る装置は、ガ
ラス微粒子堆積用のガラスロッドを把持し、それを軸方
向に回転させる機構とガラス微粒子を合成するバーナと
排気促進用ガスの取り入れ口とを備え、ガラス微粒子を
合成しつつ出発部材に順次堆積させて光ファイバ母材を
製造する装置で、排気促進用ガスを導入して容器内の熱
により予熱した後、前記排気促進用ガス取り入れ口から
容器内に供給するように構成し、排気促進用ガス流通層
を必要に応じて移動できるようにするための移動装置を
具備することで、供給ガスへの異物の混入を低減するこ
とができる。この装置はガラス微粒子堆積用のガラスロ
ッドを順次引き上げてガラス微粒子を堆積させていくＶ
ＡＤ法や、ガラス微粒子堆積用バーナとガラスロッドを
相対的に往復運動させながら、順次外側にガラス微粒子
堆積層を積層させていくＯＶＤ法で適用することが可能
である。ＯＶＤ法においてはバーナとロッドのどちらを
動かしてもよく、向きも縦型、横型のどちらでも可能で
ある。さらに二重構造の部分については引き上げ機など
を利用して稼働させるようにしてもよいし、開閉式の構
造で必要に応じて中を清掃するようにしてもよい。
て、製造装置内に供給するガスを流す部分を可動式と
し、その部分の清掃などのメンテナンスをやりやすくで
きるようにすることで、供給ガスへの異物の混入を低減
することができた。すなわち、本発明に係る装置は、ガ
ラス微粒子堆積用のガラスロッドを把持し、それを軸方
向に回転させる機構とガラス微粒子を合成するバーナと
排気促進用ガスの取り入れ口とを備え、ガラス微粒子を
合成しつつ出発部材に順次堆積させて光ファイバ母材を
製造する装置で、排気促進用ガスを導入して容器内の熱
により予熱した後、前記排気促進用ガス取り入れ口から
容器内に供給するように構成し、排気促進用ガス流通層
を必要に応じて移動できるようにするための移動装置を
具備することで、供給ガスへの異物の混入を低減するこ
とができる。この装置はガラス微粒子堆積用のガラスロ
ッドを順次引き上げてガラス微粒子を堆積させていくＶ
ＡＤ法や、ガラス微粒子堆積用バーナとガラスロッドを
相対的に往復運動させながら、順次外側にガラス微粒子
堆積層を積層させていくＯＶＤ法で適用することが可能
である。ＯＶＤ法においてはバーナとロッドのどちらを
動かしてもよく、向きも縦型、横型のどちらでも可能で
ある。さらに二重構造の部分については引き上げ機など
を利用して稼働させるようにしてもよいし、開閉式の構
造で必要に応じて中を清掃するようにしてもよい。
【０００８】反応容器は特に上部に付着するガラス微粒
子が多いため、排気促進用ガスは反応容器上部から容器
内へ導入するのが好ましく、図３に示すように、上部の
上面、若しくは側面から若しくはその両方から導入する
ようにするとよい。また、排気促進用ガス流通層は光フ
ァイバ用母材を把持、回転する昇降機と異なる昇降機に
取り付けられ光ファイバ母材作成中は反応容器とは気密
性が保てて、その内側を清掃する際には昇降が可能な構
造で、内部の圧力が容器の内部、外気よりも高くなるよ
うに排気促進用ガスを供給する。昇降させて清掃するば
かりでなく、開閉して清掃できるようにしたものでもよ
い。
子が多いため、排気促進用ガスは反応容器上部から容器
内へ導入するのが好ましく、図３に示すように、上部の
上面、若しくは側面から若しくはその両方から導入する
ようにするとよい。また、排気促進用ガス流通層は光フ
ァイバ用母材を把持、回転する昇降機と異なる昇降機に
取り付けられ光ファイバ母材作成中は反応容器とは気密
性が保てて、その内側を清掃する際には昇降が可能な構
造で、内部の圧力が容器の内部、外気よりも高くなるよ
うに排気促進用ガスを供給する。昇降させて清掃するば
かりでなく、開閉して清掃できるようにしたものでもよ
い。
【０００９】以下図面を参照して本発明を詳細に説明す
る。図１及び図２はそれぞれ本発明に係る実施態様であ
るＶＡＤ法及びＯＶＤ法による光ファイバ母材の製造装
置の概略を示す模式図である。図１の装置では反応容器
９内に出発部材７がシード棒４に把持され垂直に取り付
けられており、軸回りに回転させられる。原料ガスをバ
ーナ６に供給してガラス微粒子を合成しながら出発部材
７に堆積させる。反応容器９の上部にはガス取り入れ口
１０が設けられており、窒素等の不活性ガスや空気等の
排気促進用ガスをガス流通層８を介して供給して反応容
器９内に導入し、容器内に浮遊するガラス微粒子を排気
とともにバーナ６の反対側に設けられた排気口１１から
排出するようになっている。
る。図１及び図２はそれぞれ本発明に係る実施態様であ
るＶＡＤ法及びＯＶＤ法による光ファイバ母材の製造装
置の概略を示す模式図である。図１の装置では反応容器
９内に出発部材７がシード棒４に把持され垂直に取り付
けられており、軸回りに回転させられる。原料ガスをバ
ーナ６に供給してガラス微粒子を合成しながら出発部材
７に堆積させる。反応容器９の上部にはガス取り入れ口
１０が設けられており、窒素等の不活性ガスや空気等の
排気促進用ガスをガス流通層８を介して供給して反応容
器９内に導入し、容器内に浮遊するガラス微粒子を排気
とともにバーナ６の反対側に設けられた排気口１１から
排出するようになっている。
【００１０】ここで光ファイバ母材はシード棒４を介し
て回転チャック３で把持して回転するとともに昇降機１
により引き上げられる。一方、排気促進用ガス流通層８
は上記の光ファイバ用母材を把持、回転する昇降機１と
は異なる昇降機２に取り付けられ、ガラス微粒子堆積中
には反応容器９とは気密性を保持する。昇降機２に取り
付けられたガス供給口５より排気促進用ガスを供給し、
反応容器９の熱で予熱して容器９の上部に設けられた取
り入れ口１０（図３）より容器中に導入する。上記ガス
流通層８は昇降機若しくはトラバース機構により取り外
し可能となっており、光ファイバ母材の作製終了時に昇
降機１，２を動かして母材を取り出し、光ファイバ母材
に堆積しなかったガラス微粒子が反応容器に付着してい
るのでこれを清掃する。また次回のガラスファイバ母材
の作製段階の前に流通層８の内側に付着した細い異物も
これを除去する。異物等の清掃若しくは除去操作は通常
は機械的に処理して行う。また清掃はガス流通層の部分
を昇降装置を利用して移動させた後清掃してもよいし、
昇降装置を用いずにガス流通層の部分を開閉式にしてお
き、必要に応じて開閉し、内部を清掃できるようにして
もよい。
て回転チャック３で把持して回転するとともに昇降機１
により引き上げられる。一方、排気促進用ガス流通層８
は上記の光ファイバ用母材を把持、回転する昇降機１と
は異なる昇降機２に取り付けられ、ガラス微粒子堆積中
には反応容器９とは気密性を保持する。昇降機２に取り
付けられたガス供給口５より排気促進用ガスを供給し、
反応容器９の熱で予熱して容器９の上部に設けられた取
り入れ口１０（図３）より容器中に導入する。上記ガス
流通層８は昇降機若しくはトラバース機構により取り外
し可能となっており、光ファイバ母材の作製終了時に昇
降機１，２を動かして母材を取り出し、光ファイバ母材
に堆積しなかったガラス微粒子が反応容器に付着してい
るのでこれを清掃する。また次回のガラスファイバ母材
の作製段階の前に流通層８の内側に付着した細い異物も
これを除去する。異物等の清掃若しくは除去操作は通常
は機械的に処理して行う。また清掃はガス流通層の部分
を昇降装置を利用して移動させた後清掃してもよいし、
昇降装置を用いずにガス流通層の部分を開閉式にしてお
き、必要に応じて開閉し、内部を清掃できるようにして
もよい。
【００１１】図４はＯＶＤ法を横型で行う場合の本発明
の方法を実施するための装置で、図２とほぼ同じ機能を
有するものは同一参照番号で示してある。ただしバーナ
６はバーナ用可動ステージ１３で水平方向にトラバース
するように構成され、排気促進用ガス流通層は取り外し
可能なカバー８により形成される。該ガスはガス取り込
み口１０より導入する。図５，６は、ガス流通層が固定
されている従来公知のガラスファイバ製造装置を示す。
同一符番の装置は同一機能を有するものである。従来の
構造では、マッフル内のスス等を除去する時、スス等が
ガス流通層へ逆流し、これがガラス微粒子堆積時に吹き
出してくる。本発明ではマッフル内のスス等を除去する
時にガス流通層を取り外せるようにしてこれを改善し
た。
の方法を実施するための装置で、図２とほぼ同じ機能を
有するものは同一参照番号で示してある。ただしバーナ
６はバーナ用可動ステージ１３で水平方向にトラバース
するように構成され、排気促進用ガス流通層は取り外し
可能なカバー８により形成される。該ガスはガス取り込
み口１０より導入する。図５，６は、ガス流通層が固定
されている従来公知のガラスファイバ製造装置を示す。
同一符番の装置は同一機能を有するものである。従来の
構造では、マッフル内のスス等を除去する時、スス等が
ガス流通層へ逆流し、これがガラス微粒子堆積時に吹き
出してくる。本発明ではマッフル内のスス等を除去する
時にガス流通層を取り外せるようにしてこれを改善し
た。
【００１２】
【実施例】以下本発明を実施例により更に詳細に説明す
るが限定を意図するものではない。 （実施例１）図１に示す構成の装置を用いてＶＡＤ法で
光ファイバ母材を作製した。バーナ６から四塩化珪素を
原料として供給し、長さ５００ｍｍ、直径２０ｍｍのＳ
ｉＯ 2 、ＧｅＯ2 からなるコアとＳｉＯ2 のクラッドか
らなる出発部材７にガラス微粒子を１５０ｍｍの外径に
なるように堆積させた。昇降機１，２を動かしてその得
られた光ファイバ母材１２を取り出した後、このとき反
応容器９の内面には光ファイバ母材１２に堆積しなかっ
たガラス微粒子が付着しており、次の光ファイバ母材を
作る前に清掃する必要があるため、清掃した。また、引
き上げた排気促進用ガス流通層８の内側に付着した細か
い異物を除去した。この後もう一度同様に光ファイバ母
材を作製した。このとき得られた光ファイバ母材を高温
に保った炉の中に保持して透明化したところ、不整や異
物、気泡のない良好な光ファイバ母材を得ることができ
た。
るが限定を意図するものではない。 （実施例１）図１に示す構成の装置を用いてＶＡＤ法で
光ファイバ母材を作製した。バーナ６から四塩化珪素を
原料として供給し、長さ５００ｍｍ、直径２０ｍｍのＳ
ｉＯ 2 、ＧｅＯ2 からなるコアとＳｉＯ2 のクラッドか
らなる出発部材７にガラス微粒子を１５０ｍｍの外径に
なるように堆積させた。昇降機１，２を動かしてその得
られた光ファイバ母材１２を取り出した後、このとき反
応容器９の内面には光ファイバ母材１２に堆積しなかっ
たガラス微粒子が付着しており、次の光ファイバ母材を
作る前に清掃する必要があるため、清掃した。また、引
き上げた排気促進用ガス流通層８の内側に付着した細か
い異物を除去した。この後もう一度同様に光ファイバ母
材を作製した。このとき得られた光ファイバ母材を高温
に保った炉の中に保持して透明化したところ、不整や異
物、気泡のない良好な光ファイバ母材を得ることができ
た。
【００１３】（実施例２）図２に示した構造の装置を用
い、昇降機１を上下に往復運動させながらＯＶＤ法で光
ファイバ母材１２を作製した。出発部材７は実施例１と
同じサイズのものを使用し、ガラス微粒子を１５０ｍｍ
になるように堆積させた。実施例１と同様に光ファイバ
母材１２を取り出し、反応容器９の内面を掃除し、付着
したガラス微粒子を除去した。さらに排気促進用ガス流
通層８内面を清掃して、もう一度同様にして光ファイバ
母材を作製した。このとき得られた光ファイバ母材を高
温に保った炉の中に保持して透明化したところ、不整や
異物、気泡のない良好な光ファイバ母材を得ることがで
きた。
い、昇降機１を上下に往復運動させながらＯＶＤ法で光
ファイバ母材１２を作製した。出発部材７は実施例１と
同じサイズのものを使用し、ガラス微粒子を１５０ｍｍ
になるように堆積させた。実施例１と同様に光ファイバ
母材１２を取り出し、反応容器９の内面を掃除し、付着
したガラス微粒子を除去した。さらに排気促進用ガス流
通層８内面を清掃して、もう一度同様にして光ファイバ
母材を作製した。このとき得られた光ファイバ母材を高
温に保った炉の中に保持して透明化したところ、不整や
異物、気泡のない良好な光ファイバ母材を得ることがで
きた。
【００１４】（実施例３）図４に示した構成の装置を用
い、バーナ６を左右に往復運動させながらＯＶＤ法で光
ファイバ母材を作製した。出発部材７は実施例１のもの
と同じサイズのものを用い、ガラス微粒子を１５０ｍｍ
になるように堆積させた。その母材１２を取り出した
後、反応容器９の内面を清掃し、付着したガラス微粒子
を除去した。さらに取り出し可能なカバー８を取り出し
内面を清掃した後、再びマッフル外周にセットして同様
にもう一度光ファイバ母材を作製した。このとき得られ
た光ファイバ母材を高温に保った炉の中に保持して透明
化したところ、不整や異物、気泡のない良好な光ファイ
バ母材を得ることができた。
い、バーナ６を左右に往復運動させながらＯＶＤ法で光
ファイバ母材を作製した。出発部材７は実施例１のもの
と同じサイズのものを用い、ガラス微粒子を１５０ｍｍ
になるように堆積させた。その母材１２を取り出した
後、反応容器９の内面を清掃し、付着したガラス微粒子
を除去した。さらに取り出し可能なカバー８を取り出し
内面を清掃した後、再びマッフル外周にセットして同様
にもう一度光ファイバ母材を作製した。このとき得られ
た光ファイバ母材を高温に保った炉の中に保持して透明
化したところ、不整や異物、気泡のない良好な光ファイ
バ母材を得ることができた。
【００１５】（比較例１）図５に示した構成の装置を用
いてＶＡＤ法により光ファイバ母材１２を作製した。バ
ーナ６から四塩化珪素を原料として供給し、長さ５００
ｍｍ、直径２０ｍｍのＳｉＯ2 、ＧｅＯ2 からなるコア
とＳｉＯ2 のクラッドからなる出発部材にガラス微粒子
を１５０ｍｍの外径になるように堆積させた。昇降機１
を動かしてその得られた母材１２を取り出した後、この
とき反応容器９の内面には光ファイバ母材に堆積しなか
ったガラス微粒子が付着しており、次の光ファイバ母材
を作る前に清掃する必要があるため、清掃した。この後
もう一度同様に光ファイバ母材を作製した。このとき得
られた光ファイバ母材を高温に保った炉の中に保持して
透明化したところ、ガラス中に不整や気泡、異物が発生
しており、製品として使用できなかった。また、この後
ガス流通層の内側にはガラス微粒子が付着しており、こ
れが光ファイバ母材作製時に表面に付着したため上記の
ような異常点が発生したものである。
いてＶＡＤ法により光ファイバ母材１２を作製した。バ
ーナ６から四塩化珪素を原料として供給し、長さ５００
ｍｍ、直径２０ｍｍのＳｉＯ2 、ＧｅＯ2 からなるコア
とＳｉＯ2 のクラッドからなる出発部材にガラス微粒子
を１５０ｍｍの外径になるように堆積させた。昇降機１
を動かしてその得られた母材１２を取り出した後、この
とき反応容器９の内面には光ファイバ母材に堆積しなか
ったガラス微粒子が付着しており、次の光ファイバ母材
を作る前に清掃する必要があるため、清掃した。この後
もう一度同様に光ファイバ母材を作製した。このとき得
られた光ファイバ母材を高温に保った炉の中に保持して
透明化したところ、ガラス中に不整や気泡、異物が発生
しており、製品として使用できなかった。また、この後
ガス流通層の内側にはガラス微粒子が付着しており、こ
れが光ファイバ母材作製時に表面に付着したため上記の
ような異常点が発生したものである。
【００１６】（比較例２）図６に示した構成の装置を用
いてＯＶＤ法により光ファイバ母材１２を作製した。実
施例２と同様ＯＶＤ法でバーナ６から四塩化珪素を原料
として供給し、長さ５００ｍｍ、直径２０ｍｍのＳｉＯ
2 、ＧｅＯ2 からなるコアとＳｉＯ2 のクラッドからな
る出発部材７にガラス微粒子を１５０ｍｍの外径になる
ように堆積させた。昇降機１を動かしてその得られた母
材１２を取り出した後、清掃し、さらにもう一度スス付
けを行った。その光ファイバ母材を高温に保った炉の中
に保持して透明化したところ、ガラス中に不整や気泡、
異物が発生しており、製品として使用できなかった。ま
た、この場合も比較例１と同様、ガス流通層の内側には
ガラス微粒子が付着しており、これが光ファイバ母材作
製時に表面に付着したため上記のような異常点が発生し
ている。
いてＯＶＤ法により光ファイバ母材１２を作製した。実
施例２と同様ＯＶＤ法でバーナ６から四塩化珪素を原料
として供給し、長さ５００ｍｍ、直径２０ｍｍのＳｉＯ
2 、ＧｅＯ2 からなるコアとＳｉＯ2 のクラッドからな
る出発部材７にガラス微粒子を１５０ｍｍの外径になる
ように堆積させた。昇降機１を動かしてその得られた母
材１２を取り出した後、清掃し、さらにもう一度スス付
けを行った。その光ファイバ母材を高温に保った炉の中
に保持して透明化したところ、ガラス中に不整や気泡、
異物が発生しており、製品として使用できなかった。ま
た、この場合も比較例１と同様、ガス流通層の内側には
ガラス微粒子が付着しており、これが光ファイバ母材作
製時に表面に付着したため上記のような異常点が発生し
ている。
【００１７】
【発明の効果】本発明によると、容器の周囲に設けられ
た排気促進用ガス流通層を独立したトラバース機構によ
り移動可能としたことで従来不可能であった排気促進用
ガスの流路の清掃が容易となり、またガス流通層の取り
外しができるので充分な清掃が可能となる。その結果以
後の光ファイバ母材の製造において不整や異物、気泡の
ない良質の光ファイバ母材の製造が可能である。同時に
排気促進用ガスは予め余熱された状態で反応容器に導入
されるのでガラス母材にクラックの発生することが抑制
される。
た排気促進用ガス流通層を独立したトラバース機構によ
り移動可能としたことで従来不可能であった排気促進用
ガスの流路の清掃が容易となり、またガス流通層の取り
外しができるので充分な清掃が可能となる。その結果以
後の光ファイバ母材の製造において不整や異物、気泡の
ない良質の光ファイバ母材の製造が可能である。同時に
排気促進用ガスは予め余熱された状態で反応容器に導入
されるのでガラス母材にクラックの発生することが抑制
される。
【図１】本発明によりＶＡＤ法で光ファイバ母材を製造
する縦型の装置の一具体例を示す模式図。
する縦型の装置の一具体例を示す模式図。
【図２】本発明によりＯＶＤ法で光ファイバ母材を製造
する縦型の装置の一具体例を示す模式図。
する縦型の装置の一具体例を示す模式図。
【図３】図１又は図２に示される光ファイバ母材の製造
装置において、ガス流通層より反応容器に排気促進用の
ガスを供給するための導入口を示す模式図。
装置において、ガス流通層より反応容器に排気促進用の
ガスを供給するための導入口を示す模式図。
【図４】本発明によりＯＶＤ法で光ファイバ母材を製造
する横型の装置の一具体例を示す模式図。
する横型の装置の一具体例を示す模式図。
【図５】従来法によりＶＡＤ法で示される光ファイバ母
材の製造装置において、ガス流通層より汎用容器に排気
促進用のガスを供給するための導入口を示す模式図。
材の製造装置において、ガス流通層より汎用容器に排気
促進用のガスを供給するための導入口を示す模式図。
【図６】従来法によりＯＶＤ法で示される光ファイバ母
材の製造装置において、ガス流通層より汎用容器に排気
促進用のガスを供給するための導入口を示す模式図。
材の製造装置において、ガス流通層より汎用容器に排気
促進用のガスを供給するための導入口を示す模式図。
１，２．昇降機 ３．回転チャック ４．シード棒
５．ガス供給口 ６．バーナ ７．出発部材 ８．ガス流通層 ９．反応
容器 １０．ガス取り入れ口 １１．排気口 １２．光ファイ
バ母材
５．ガス供給口 ６．バーナ ７．出発部材 ８．ガス流通層 ９．反応
容器 １０．ガス取り入れ口 １１．排気口 １２．光ファイ
バ母材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 齋藤 達彦 神奈川県横浜市栄区田谷町１番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内 (72)発明者 石原 朋浩 神奈川県横浜市栄区田谷町１番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内 Ｆターム(参考） 4G021 EA03 EB13 EB22
Claims (4)
- 【請求項１】 容器内に水平若しくは垂直に把持され軸
回りに回転する出発部材にガラス微粒子合成用バーナで
合成されるガラス微粒子を順次堆積させ、容器の周囲に
設けられたガス流通層内で容器の熱により予熱したガス
を排気促進用ガスとして容器内に供給し容器内に浮遊す
るガラス微粒子を排出させながら光ファイバ母材を製造
する方法において、上記ガス流通層を取り外し可能とし
清掃を行うことを特徴とする光ファイバ母材の製造方
法。 - 【請求項２】 上記ガス流通層をトラバース機構により
取り外し可能とする請求項１に記載の光ファイバ母材の
製造方法。 - 【請求項３】 出発部材を把持し、それを軸回りに回転
させる機構とガラス微粒子を合成するバーナと該バーナ
と前記出発部材を相対的に移動させるトラバース機構と
排気促進用ガスの取り入れ口とを備え、排気口を有する
容器からなり、該容器の周囲にガス流通層を設け、排気
促進用ガスを導入して容器の熱により予熱した後、前記
排気促進用ガスの取り入れ口から容器内に供給する構造
を有し、ガラス原料をバーナに供給してガラス微粒子を
合成しつつ出発部材に順次堆積させて光ファイバ母材を
製造する装置において、上記ガス流通層を取り外し可能
として清掃するようにした光ファイバ母材の製造装置。 - 【請求項４】 上記ガス流通層をトラバース機構により
取り外し可能とした請求項３に記載された光ファイバ母
材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30204898A JP2000128565A (ja) | 1998-10-23 | 1998-10-23 | 光ファイバ母材の製造方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30204898A JP2000128565A (ja) | 1998-10-23 | 1998-10-23 | 光ファイバ母材の製造方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000128565A true JP2000128565A (ja) | 2000-05-09 |
Family
ID=17904293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30204898A Pending JP2000128565A (ja) | 1998-10-23 | 1998-10-23 | 光ファイバ母材の製造方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000128565A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002102729A1 (en) * | 2001-06-14 | 2002-12-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Device and method for producing stack of fine glass particles |
| WO2003062159A1 (fr) * | 2002-01-24 | 2003-07-31 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Procede de fabrication d'un corps sedimentaire constitue de particules de verre et procede de fabrication de materiau a base de verre |
| JP2009280444A (ja) * | 2008-05-22 | 2009-12-03 | Fujikura Ltd | 光ファイバ用ガラス母材の製造装置及び製造方法 |
-
1998
- 1998-10-23 JP JP30204898A patent/JP2000128565A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002102729A1 (en) * | 2001-06-14 | 2002-12-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Device and method for producing stack of fine glass particles |
| WO2003062159A1 (fr) * | 2002-01-24 | 2003-07-31 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Procede de fabrication d'un corps sedimentaire constitue de particules de verre et procede de fabrication de materiau a base de verre |
| US7143612B2 (en) | 2002-01-24 | 2006-12-05 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of manufacturing glass particulate sedimentary body, and method of manufacturing glass base material |
| JP2009280444A (ja) * | 2008-05-22 | 2009-12-03 | Fujikura Ltd | 光ファイバ用ガラス母材の製造装置及び製造方法 |
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