JP2000120913A - 圧力補償弁付き比例電磁方向流量制御弁 - Google Patents

圧力補償弁付き比例電磁方向流量制御弁

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JP2000120913A
JP2000120913A JP10294076A JP29407698A JP2000120913A JP 2000120913 A JP2000120913 A JP 2000120913A JP 10294076 A JP10294076 A JP 10294076A JP 29407698 A JP29407698 A JP 29407698A JP 2000120913 A JP2000120913 A JP 2000120913A
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pressure
spool
external connection
sensing
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Nobuyuki Kakutatsu
信之 角龍
Kunikazu Hyodo
訓一 兵藤
Kazuyuki Kihara
和幸 木原
Kiyoshi Hayashi
喜與志 林
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Tokimec Inc
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 弁全体の構成を簡単にして小型化と生産コス
ト低減を図る。 【解決手段】 比例電磁アクチュエータ14aを励磁す
ると、電流の大きさに比例して第1のスプール11が左
行し、ポートP−A,B−Sb,B−Cb間の流路が開
き、ポートAに連通する液圧シリンダの一方のエンドに
圧液が流入するとともに、他方のエンドからの排出液は
ポートBの右端側の小円部とスプールランド11dとで
形成される流量制御部を通ってポートCbからポートT
へ還流する。このとき、ポートBの圧力はポートSbを
介して圧力補償弁20のセンシング圧力室20aに、ポ
ートCbの圧力はスプリング室20bにそれぞれ連通し
ているので、第2のスプール21は右方向に移動して両
ポートの差圧を常に一定に保つ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、液圧システムに
おける流量の連続制御あるいは多段制御を電気信号によ
って比例制御する圧力補償弁付き比例電磁方向流量制御
弁に関する。
【0002】
【従来の技術】この種の比例電磁方向流量制御弁として
は、従来例えば図5乃至図7に示すようなものがある。
図5は、従来の比例電磁方向流量制御弁100の一例を
示す断面図であり、比例電磁アクチュエータ101及び
102のいずれもが非励磁状態にあるときには、スプー
ル103は両端部に設けたセンタリングワッシャ10
4,105を介して復帰スプリング106,107の付
勢力を受けて中立位置に保持され、液圧供給ポートP、
液圧シリンダ108(図7参照)への第1,第2の外部
接続ポートA,B、液圧タンク(図示しない)への戻り
ポートT間はいずれも閉ざされて圧液の流通は阻止され
ている。
【0003】この状態で比例電磁アクチュエータ101
に電流を流して励磁状態にすると、その電流の大きさに
比例して可動鉄心101aを図5で左方向へ吸引する力
が生じ、その吸引力が復帰スプリング106の付勢力と
釣り合う位置までスプール103が左行して図6に示す
状態となる。これにより、液圧供給ポートPと第1の外
部接続ポートAとの間及び第2の外部接続ポートBと戻
りポートTとの間の流路が形成され、その流路の開口面
積と各ポート間の差圧力に応じて流量が制御される。
【0004】逆に、比例電磁アクチュエータ102に電
流を流して励磁状態にすると、可動鉄心102aを図5
で右方向へ吸引する力が生じ、その吸引力が復帰スプリ
ング107の付勢力と釣り合う位置までスプール103
が右行する。これにより、液圧供給ポートPと第2の外
部接続ポートBとの間及び第1の外部接続ポートAと戻
りポートTとの間の流路が形成され、その流路の開口面
積と各ポート間の差圧力に応じて流量が制御される。
【0005】図7は、このような従来の比例電磁方向流
量制御弁100に、液圧シリンダ108の負荷変動に影
響されることなくその排出液量を制御可能な第1,第2
の圧力補償弁111,112を付加した圧力補償弁付き
比例電磁方向流量制御弁の液圧回路の一例を示すもので
ある。これらの第1,第2の圧力補償弁111,112
にはそれぞれ第1,第2の外部接続ポートA,Bから液
圧シリンダ108のヘッドエンド108a及びロッドエ
ンド108bへ自然流れの第1,第2の逆止弁113,
114を並列に設けている。
【0006】このような構成で、比例電磁アクチュエー
タ101を励磁した場合、液圧供給ポートPから流入し
て第1の外部接続ポートAから流出した圧液は、第1の
逆止弁113を通り液圧シリンダ108のヘッドエンド
108a側に供給され、ロッド108cを図で右方へ伸
長させる。これにより、ロッドエンド108b側から排
出された排出液は、第2の圧力補償弁112を通って第
2の外部接続ポートBから戻りポートTへと流出して図
示しないタンクへ還流する。
【0007】このとき、第2の圧力補償弁112は、比
例電磁方向流量制御弁100のスプール103が比例電
磁アクチュエータ101に流れる電流によって生じた吸
引力に応じて移動して形成する第2の外部接続ポートB
と戻りポートT間の開口部の前後の圧力差を一定に保
ち、負荷の変動に影響されることなく、液圧シリンダ1
08からの排出液の流量を一定に制御する所謂メータア
ウト制御を行う。
【0008】逆に、比例電磁アクチュエータ102に電
流を流して励磁したときは、液圧供給ポートPから流入
して第2の外部接続ポートBから流出した圧液は、第2
の逆止弁114を通り液圧シリンダ108のロッドエン
ド108b側に供給され、ロッド108cを図で左方へ
収縮させる。これにより、ヘッドエンド108a側から
排出された排出液は第1の圧力補償弁111を通って第
1の外部接続ポートAから戻りポートTへと流出して図
示しないタンクへ還流する。
【0009】このときも、第1の圧力補償弁111は、
比例電磁方向流量制御弁100のスプール103が比例
電磁アクチュエータ102に流れる電流によって生じた
吸引力に応じて移動して形成する第1の外部接続ポート
Aと戻りポートT間の開口部の前後の圧力差を一定に保
ち、負荷の変動に影響されることなく、液圧シリンダ1
08からの排出液の流量を一定に制御する。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の圧力補償弁付き比例電磁方向流量制御弁にあ
っては、1個の液圧シリンダを制御するためには、その
ヘッドエンド側及びロッドエンド側にそれぞれ圧力補償
弁と逆止弁を必要とし、部品点数が増大して構成が複雑
化し、製造コストが上昇するという問題点があった。
【0011】また、上記の各弁を内蔵するための別設の
大形のマニホールドブロックが必要になり、弁全体の形
状が大きくなるという点にも問題があった。この発明は
上記の点に鑑みてなされたものであり、構成が簡単で弁
全体の形状を小型化し得る圧力補償弁付き比例電磁方向
流量制御弁を安価に提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】この発明は上記の目的を
達成するため、圧力源に連通する液圧供給ポートと、外
部の液圧アクチュエータに連通する第1の外部接続ポー
ト及び第2の外部接続ポートと、液圧タンクへの戻りポ
ートと、第1のスプール孔内を移動して上記各ポート間
の流路を制御する第1のスプールと、この第1のスプー
ルを中立位置に保持するセンタリング手段と、このセン
タリング手段に抗して上記第1のスプールを駆動する一
対の比例電磁アクチュエータとを有する比例電磁方向流
量制御弁と、第2のスプール孔内を移動する第2のスプ
ールとこのスプールを一方向に付勢するスプリングとを
有し、上記液圧アクチュエータからの排出液の圧力補償
をする圧力補償弁とを同一ボディ内に内蔵し、以下のよ
うな構成からなる圧力補償弁付き比例電磁方向流量制御
弁を提供するものである。
【0013】すなわち、上記液圧アクチュエータから上
記第1,第2の外部接続ポートへの排出液の流量を制御
して上記戻りポートへ導く第1の還流ポート及び第2の
還流ポートと、上記第1のスプール孔の軸線上のほぼ同
一位置で上記第1,第2の外部接続ポートの軸線にそれ
ぞれ交差する軸線を有する第1のセンシングポート及び
第2のセンシングポートとを設け、上記第1,第2の還
流ポートの圧力を共に上記圧力補償弁のスプリング室側
に、上記第1,第2のセンシングポートの圧力を共に上
記圧力補償弁のセンシング圧力室側にそれぞれ連通させ
るようにした。
【0014】そして、上記の制御弁において、第1の外
部接続ポートの軸線と第1のセンシングポートの軸線及
び第2の外部接続ポートの軸線と第2のセンシングポー
トの軸線を、それぞれ直交させるようにするのが好まし
い。
【0015】また、上記の制御弁において、第1の外部
接続ポート及び第2の外部接続ポートは、その断面形状
を、第1のスプールの中立位置からの移動による液圧ア
クチュエータからの排出流路の開口面積変化を緩やかに
するように形成するのがよい。
【0016】さらに、上記の制御弁において、第1のス
プールは、圧液が液圧供給ポートから第1の外部接続ポ
ートに、第2の外部接続ポートから第2の還流ポートに
流れる方向に切り換えられたときには、上記第2の外部
接続ポートの圧力のみを第2のセンシングポートへ導い
て第1のセンシングポートを閉ざし、圧液が液圧供給ポ
ートから第2の外部接続ポートに、第1の外部接続ポー
トから第1の還流ポートに流れる方向に切り換えられた
ときには、上記第1の外部接続ポートの圧力のみを上記
第1のセンシングポートへ導いて上記第2のセンシング
ポートを閉ざすようにするスプールランドを有するよう
にする。
【0017】なお、上記の制御弁において、液圧供給ポ
ート、第1,第2の外部接続ポート、第1,第2の還流
ポート、第1,第2のセンシングポートを、すべて孔加
工により形成するのが好ましい。
【0018】この発明による圧力補償弁付き比例電磁方
向流量制御弁は上記のように構成することにより、第1
のスプールのストロークに比例して第1又は第2の外部
接続ポートと第1又は第2の還流ポートへの流路が開く
と、第1又は第2のセンシングポートの圧力が第1又は
第2の還流ポートの圧力よりも圧力補償弁のスプリング
の付勢力分だけ高くなるように第2のスプールが移動
し、負荷変動に影響されることなく液圧アクチュエータ
からの排出液の流量を一定に制御することができる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態を図面
に基づいて具体的に説明する。図1は、この発明の一実
施形態を示す正断面図、図2は、図1のX−X線に沿う
平断面図、図3は、その液圧回路図である。なお、図面
を簡略化するため、図1及び図2において必ずしも同一
平面上にない部分も同一図面上に示してある。
【0020】この圧力補償弁付き比例電磁方向流量制御
弁は、図1に示すように、ボディ1内に互いに軸線を平
行して形成した第1のスプール孔1a及び第2のスプー
ル孔1b内に第1のスプール11及び第2のスプール2
1をそれぞれ摺動自在に装着している。第1のスプール
11は、両端部にセンタリングワッシャ12a,12b
を介して復帰スプリング13a,13bを係着し、常時
図1に示す中立位置に保持され、第2のスプール21
は、図1で右端部に調整スプリング22を係着して左行
端に偏倚している。
【0021】第1のスプール孔1aの両端側には一対の
比例電磁アクチュエータ14a,14bがボディ1に固
設してあり、その励磁状態ではそれぞれの可動鉄心15
a,15bがプッシュロッド16a,16bを介して第
1のスプール11を復帰スプリング13a,13bの付
勢力に抗して図1及び図2で左右方向へ駆動することが
できる。
【0022】そして、第1のスプール11、センタリン
グワッシャ12a,12b、復帰スプリング13a,1
3b、比例電磁アクチュエータ14a,14b等によっ
て比例電磁方向流量制御弁10が、第2のスプール2
1、調整スプリング22等によって圧力補償弁が、セン
タリングワッシャ12a,12b、復帰スプリング13
a,13bによってセンタリング手段がそれぞれ構成さ
れる。
【0023】また、ボディ1には、図示しない圧力源に
連通する液圧供給ポートP(以下「ポートP」と略称す
る)、外部の液圧アクチュエータである液圧シリンダ3
0(図3参照)のヘッドポート30a及びロッドポート
30bにそれぞれ連通する第1の外部接続ポートA(以
下「ポートA」と略称する)及び第2の外部接続ポート
B(以下「ポートB」と略称する)、図示しない液圧タ
ンクへの戻りポートT(以下「ポートT」と略称する)
が形成してある。
【0024】ポートA及びポートBの断面形状は、図4
に図1の一部を拡大して示すように、第1のスプール孔
1aの軸線X上の点a1,a1′及び点b1,b1′を
それぞれ中心とする大径の長円部A1,B1と、点a
2,a2′及び点b2,b2′をそれぞれ中心とする小
径の長円部A2,B2とを合体させた例えばダルマ状に
形成し、互いに近接する側に大径の長円部A1,B1を
配設している。
【0025】そして、ポートA及びポートBのそれぞれ
の長円部A1,B1のほぼ中央を通って上記軸線Xに直
交する軸線Y1,Y2を有する第1のセンシングポート
Sa(以下「ポートSa」と略称する)及び第2のセン
シングポートSb(以下「ポートSb」と略称する)を
形成し、これらを1本のポートSに合流させて圧力補償
弁20のセンシング圧力室20aに連通させる。
【0026】さらに、液圧シリンダ30からポートA,
Bへの排出液をポートTへ導く第1の還流ポートCa
(以下「ポートCa」と略称する)及び第2の還流ポー
トCb(以下「ポートCb」と略称する)をポートPに
平行に形成し、これらを1本のポートCに合流させ、図
示しない流路を介して図1に示すポートCTに導いてポ
ートTに連通させるとともに、その圧力を圧力補償弁2
0のスプリング室20bに連通させる。
【0027】ボディ1に形成したこれらのポートP,
A,B,Ca,Cb,Sa,Sb,C,Sはすべて加工
の容易な孔加工により形成し、ポートCa,Cb,S
a,Sb,C,Sの外部への開口端はそれぞれ密閉して
いる。特に、ポートSa,Sbは、圧力的平衡をとって
第1のスプール11の動きを円滑にするため、図1に明
示したように、第1のスプール孔1aに直交する上下両
方向の流路部分を連結するようにしてある。したがっ
て、各ポートの加工に通常用いられている加工の面倒な
リセッシング加工は必要としない。
【0028】一方、第1のスプール11には、ポートP
とポートA,B間及びポートSa,Sb間の流量を制御
するための制御ランド11a,11bに加えて、それら
より両端寄りに、ポートA,Bの小径の長円部A2,B
2とポートCa,Cb間の流量を制御するための制御ラ
ンド11c,11dを設けてある。
【0029】このような構成により、第1のスプール1
1が図1及び図2で左方に移動して圧液がポートPから
ポートAに、ポートBからポートCbにそれぞれ流れる
ときには、ポートBの圧力のみをポートSbへ導いてポ
ートSaを閉ざすことができる。逆に第1のスプール1
1が右方に移動して圧液がポートPからポートBに、ポ
ートAからポートCaにそれぞれ流れるときは、ポート
Aの圧力のみをポートSaに導いてポートSbを閉ざす
ことができる。
【0030】次に、上記のような構成からなる実施形態
の作用を説明する。比例電磁アクチュエータ14a,1
4bが共に非励磁状態にある図1及び図2に示す状態で
は、第1のスプール11は一対の復帰スプリング13
a,13bの付勢力を両端から受けて中立位置に保持さ
れ、各ポート間はすべて閉ざされて圧液の流れは発生し
ない。
【0031】この状態から右側の比例電磁アクチュエー
タ14aに通電して励磁状態にすると、その電流の大き
さに比例した左方向の吸引力が発生し、可動鉄心15a
が左行してプッシュロット16aにより第1のスプール
11を、上記の吸引力が復帰スプリング13aの付勢力
に釣り合う位置まで左方に移動させる。
【0032】第1のスプール11の左方への移動によ
り、ポートBがポートSbに、ポートPがポートAに、
ポートBがポートCbに順次連通し、それぞれの流路の
開口面積が漸次増大する。このとき、ポートBの小径の
長円部B2と第1のスプール11のスプールランド11
dが流量制御部となり、ポートBからポートCbへの流
れが徐々に増加するようにして電流に比例した開口面積
を形成し、ポートBとポートCb間の圧力差を圧力補償
弁20によって一定に保つことと合わせて結果的に電流
に比例した流量制御を行う。また、それぞれの流路の流
量は流路の開口面積と各ポート間の差圧力に応じて制御
される。
【0033】また、ポートSbはポートBへの戻り側の
圧力を圧力補償弁20のセンシング圧力室20aに、ポ
ートCbはスプリング室20bに接続されているので、
この圧力補償弁20はポートBへの戻り側の圧力とポー
トCbの圧力差を一定に保ち、負荷の変化に影響されず
に図3に示す液圧シリンダ30からの排出液の流量を一
定に制御することができる。
【0034】ここで、図3を参照してこの発明の作用を
液圧回路によって説明する。比例電磁アクチュエータ1
4aに電流を流すと、ポートPから流入した圧液はポー
トAを通って液圧シリンダ30のヘッドエンド30aに
流入し、ロッド30cを図で右方に伸長させる。これに
より、液圧シリンダ30のロッドエンド30bからの排
出液は、ポートBを通ってポートCb及びポートSbへ
とつながり、圧力補償弁20の働きによりポートBとポ
ートCbとの圧力差を一定に保ちながらポートTへ還流
する。
【0035】逆に、比例電磁アクチュエータ14bに電
流を流すと、ポートPから流入した圧液はポートBを通
って液圧シリンダ30のロッドエンド30bに流入し、
ロッド30cを図で左方に収縮させる。これにより、液
圧シリンダ30のヘッドエンド30aからの排出液は、
ポートAを通ってポートCa及びSaへとつながり、圧
力補償弁20の働きによりポートAとポートCaとの圧
力差を一定に保ちながらポートTへ還流する。
【0036】なお、上記の実施形態では、ポートA及び
ポートBの断面形状をダルマ状に形成したが、台形状あ
るいは三角形状等、第1のスプール11が中立位置から
移動するときの液圧シリンダ30からの排出流路の開口
面積変化を緩やかにするような形状であればいかなる形
状であっても差支えない。
【0037】また、ポートSa及びSbあるいはポート
Ca及びCbの軸線は、孔加工を容易にするために、ポ
ートA及びBの軸線に直交させるようにしたが、これら
は必ずしも直交させる必要はなく、適当な角度で斜交さ
せることも可能である。
【0038】
【発明の効果】以上述べたように、この発明による圧力
補償弁付き比例電磁方向流量制御弁によれば以下に述べ
るような優れた効果を有する。請求項1に係る発明によ
れば、従来は液圧アクチュエータのヘッドエンド側とロ
ッドエンド側にそれぞれ必要とした圧力補償弁及び逆止
弁がただ1個の圧力補償弁のみでよく、構成を著しく簡
略化し得て生産コストの低減と弁全体の形状の小型化と
が可能になる。
【0039】請求項2に係る発明によれば、第1,第2
のセンシングポートの軸線と第1,第2の外部接続ポー
トの軸線とをそれぞれ直交させることにより、ボディの
加工を容易にすることができる。
【0040】請求項3に係る発明によれば、液圧アクチ
ュエータからの排出流路の開口面積変化が緩やかになる
ように第1,第2の外部接続ポートの断面形状を形成す
ることにより、液圧アクチュエータ作動時流量を比例電
磁アクチュエータに流れる電流に比例して制御できる。
【0041】請求項4に係る発明によれば、第1のスプ
ールに設けた制御ランドにより、液圧アクチュエータか
らの排出液のみを圧力補償弁に導き、流入側の圧液は閉
ざすようにしたので、簡単な構成で排出液量を制御する
メータアウト制御が可能になる。
【0042】請求項5に係る発明によれば、ボディに形
成する各ポートをすべて加工の容易な孔加工により形成
するようにしたので、従来のように加工の面倒なリセッ
シング加工が不要になり、ボディの加工に要する時間と
手間を大幅に減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態を示す正断面図である。
【図2】同じく図1のX−X線に沿う平断面図である。
【図3】同じくその液圧回路図である。
【図4】同じく図1の要部を拡大して示す部分断面図で
ある。
【図5】従来の比例電磁方向流量制御弁の一例を示す断
面図である。
【図6】同じくその作動状態を示す断面図である。
【図7】同じくその液圧回路図である。
【符号の説明】
1:ボディ 10:比例電磁方向流量制御弁 11:第1のスプール 13a,13b:復帰スプリング 14a,14b:比例電磁アクチュエータ 20:圧力補償弁 21:第2のスプール 22:調整スプリング 30:液圧シリンダ(液圧アクチュエータ) A:第1の外部接続ポート B:第2の外部接続ポート Ca:第1の還流ポート Cb:第2の還流ポート Sa:第1のセンシングポート Sb:第2のセンシングポート P:液圧供給ポート T:戻りポート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木原 和幸 東京都大田区南蒲田2丁目16番46号 株式 会社トキメック内 (72)発明者 林 喜與志 東京都大田区南蒲田2丁目16番46号 株式 会社トキメック内 Fターム(参考) 3H053 AA03 AA25 AA26 AA35 BA04 BB03 CA04 CA06 DA11 3H067 AA17 AA32 AA38 BB02 BB04 BB08 BB14 CC10 CC32 CC33 DD05 DD32 DD49 FF22 GG15 GG22 3H106 DA05 DA08 DA13 DA25 DA33 DB02 DB12 DB23 DB32 DC09 DC19 DD05 EE34 HH01 KK03

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧力源に連通する液圧供給ポートと、外
    部の液圧アクチュエータに連通する第1の外部接続ポー
    ト及び第2の外部接続ポートと、液圧タンクへの戻りポ
    ートと、第1のスプール孔内を移動して前記各ポート間
    の流路を制御する第1のスプールと、該第1のスプール
    を中立位置に保持するセンタリング手段と、該センタリ
    ング手段に抗して前記第1のスプールを駆動する一対の
    比例電磁アクチュエータとを有する比例電磁方向流量制
    御弁と、第2のスプール孔内を移動する第2のスプール
    と該スプールを一方向に付勢するスプリングとを有し、
    前記液圧アクチュエータからの排出液の圧力補償をする
    圧力補償弁とを同一ボディ内に内蔵した圧力補償弁付き
    比例電磁方向流量制御弁において、 前記液圧アクチュエータから前記第1,第2の外部接続
    ポートへの排出液の流量を制御して前記戻りポートへ導
    く第1の還流ポート及び第2の還流ポートと、前記第1
    のスプール孔の軸線上のほぼ同一位置で前記第1,第2
    の外部接続ポートの軸線にそれぞれ交差する軸線を有す
    る第1のセンシングポート及び第2のセンシングポート
    とを設け、前記第1,第2の還流ポートの圧力を共に前
    記圧力補償弁のスプリング室側に、前記第1,第2のセ
    ンシングポートの圧力を共に前記圧力補償弁のセンシン
    グ圧力室側にそれぞれ連通させたことを特徴とする圧力
    補償弁付き比例電磁方向流量制御弁。
  2. 【請求項2】 第1の外部接続ポートの軸線と第1のセ
    ンシングポートの軸線及び第2の外部接続ポートの軸線
    と第2のセンシングポートの軸線を、それぞれ直交させ
    るようにしたことを特徴とする請求項1記載の圧力補償
    弁付き比例電磁方向流量制御弁。
  3. 【請求項3】 第1の外部接続ポート及び第2の外部接
    続ポートは、その断面形状を、第1のスプールの中立位
    置からの移動による液圧アクチュエータからの排出流路
    の開口面積変化を緩やかにするように形成したことを特
    徴とする請求項1又は2記載の圧力補償弁付き比例電磁
    方向流量制御弁。
  4. 【請求項4】 第1のスプールは、圧液が液圧供給ポー
    トから第1の外部接続ポートに、第2の外部接続ポート
    から第2の還流ポートに流れる方向に切り換えられたと
    きには、前記第2の外部接続ポートの圧力のみを第2の
    センシングポートへ導いて第1のセンシングポートを閉
    ざし、圧液が液圧供給ポートから第2の外部接続ポート
    に、第1の外部接続ポートから第1の還流ポートに流れ
    る方向に切り換えられたときには、前記第1の外部接続
    ポートの圧力のみを前記第1のセンシングポートへ導い
    て前記第2のセンシングポートを閉ざすようにするスプ
    ールランドを有することを特徴とする請求項1乃至3の
    いずれか1項記載の圧力補償弁付き比例電磁方向流量制
    御弁。
  5. 【請求項5】 液圧供給ポート、第1,第2の外部接続
    ポート、第1,第2の還流ポート、第1,第2のセンシ
    ングポートを、すべて孔加工により形成したことを特徴
    とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の圧力補償弁
    付き比例電磁方向流量制御弁。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2267570A2 (en) 2009-06-22 2010-12-29 Kabushiki Kaisha Kawasaki Precision Machinery Pressure compensated electromagnetic proportional directional flow control valve
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