JP2000117990A - インクジェット記録ヘッド及びその製造方法及びプリンタ装置 - Google Patents

インクジェット記録ヘッド及びその製造方法及びプリンタ装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は圧力室の一壁部として設けられた振動
板をインク吐出エネルギー発生部を用いて振動させるこ
とによりインクを吐出させるインクジェット記録ヘッド
及びその製造方法及びプリンタ装置に関し、高信頼性を
維持しつつ消費電力の低減を図ることを課題とする。 【解決手段】インクを吐出するノズル３１に対応して設
けられ複数の圧力室２９（インク室）が形成されてなる
本体部２８と、この本体部２８に配設されることにより
圧力室２９の一の壁面を構成する振動板２３と、圧力室
２９の形成位置と対応する振動板２３上に配設されて該
振動板２３を変形付勢することにより圧力室２９内のイ
ンクをノズル３１から吐出させるエネルギー発生部３２
Ａとを有するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記
振動板２３及びインク吐出エネルギー発生部３２Ａを薄
膜形成技術を用いて形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はインクジェット記録
ヘッド及びその製造方法及びプリンタ装置に係り、特に
圧力室の一壁部として設けられた振動板をインク吐出エ
ネルギー発生部を用いて振動させることによりインクを
吐出させるインクジェット記録ヘッド及びその製造方法
及びプリンタ装置に関する。
【０００２】近年、パーソナルコンピュータの外部出力
装置として、プリンタ装置が汎用されている。このプリ
ンタ装置は、ワイヤ駆動方式のものと、インクジェット
方式のものが一般的である。インクジェット方式のプリ
ンタ装置に用いるインクジェット記録ヘッドは、ワイヤ
を磁気駆動してインクリボン及び用紙を介してプラテン
に押圧することで印字を行うヘッドに比べ、騒音が発生
せずオフィス内での使用に適しているとして注目されて
いる。
【０００３】
【従来の技術】従来のインクジェット記録ヘッドは、ノ
ズル、インク室、インク供給系、インクタンク、トラン
スジューサを備え、トランスジューサで発生した変位・
圧力をインク室に伝達することによってノズルからイン
ク粒子を噴射させ、紙等の記録媒体上に文字や画像を記
録する。
【０００４】一般に良く知られている方式は、トランス
ジューサとしてインク室の外壁に片面全体が接着された
薄板状の圧電素子を用いる。この圧電素子にパルス状の
電圧を加え、圧電素子とインク室外壁からなる複合板を
撓ませ、撓みによって生じた変位・圧力をインク室の外
壁を介してインク室内に伝達するものである。図１は、
インクジェット記録ヘッド２を設けたプリンタ装置（イ
ンクジェット記録装置）の側面図である。図中、１は記
録媒体であり、プリンタ装置によって印字等の処理が施
される。２はインクジェット記録ヘッドであり記録媒体
１にインクを噴射する。３はインクタンクであり、イン
クジェット記録ヘッド２にインクを供給する。４はキャ
リッジであり、インクジェット記録ヘッド２とインクタ
ンク３を搭載している。
【０００５】５は送りローラ、６はピンチローラであ
り、記録媒体１を挟持してインクジェット記録ヘッド２
へと搬送する。７は排出ローラ、８はピンチローラであ
り、記録媒体１を挟持して排出方向へと搬送する。９は
スタッカであり、排出された記録媒体１を収納する。１
０はプラテンであり、記録媒体１を押さえる。インクジ
ェット記録ヘッド２は、電圧を印加して圧電素子を伸縮
させることにより生じた圧力によってインクを噴射し、
これにより記録媒体１に印字等の処理を行なう構成とさ
れている。
【０００６】このインクジェット記録ヘッド２の斜視断
面図を図２に示す。同図に示すように、インクジェット
記録ヘッド２は、複数の圧電体１１と、この圧電体１１
上に形成した個別電極１２と、ノズル１７が設けられた
ノズル板１３と、振動板１５と、各ノズル１７に対応し
て形成されたインク室１４（圧力室）を有する金属また
は樹脂からなる本体部１６等にから構成されている。
【０００７】ノズル１３および振動板１５はインク室１
４に対し対向するよう配設されており、また本体部１６
のインク室１４の周辺と振動板１５とは強固に固定され
ている。また、圧電体１１に電圧印加され駆動すること
により、振動板１５は図中点線にて示す様に変形する構
成となっている。また、個々の圧電体１１への電圧印加
は、印字装置本体（図示せず）からの電気信号に基づき
行なわれる構成となっている。
【０００８】上記した従来構成のインクジェット記録ヘ
ッド２では、圧電体１１を振動板１５上に形成するの
に、板状の圧電体１１を振動板１５のインク室形成位置
と対応する位置に貼り付けるか、又は、予め振動板１５
の上面全面に圧電体部材を形成しておき、その後にイン
ク室形成位置と対応する位置を除き圧電体部材を除去す
ることにより、圧電体１１を形成することが行なわれて
いた。
【０００９】尚、図２に示す例では、振動板１５を変位
させる手段として圧電体１１を用いたが、圧電体１１に
代えて発熱体を用いたインクジェット記録ヘッドも提供
されている。この発熱体を用いたインクジェット記録ヘ
ッドは、発熱体を加熱させることにより発生する熱膨張
により振動板１５を変位させ、これによりインクを吐出
させる構成とされている。以下、上記した圧電体１１及
び発熱体を含め、振動板１５を変位させるエネルギーを
発生させるものをインク吐出エネルギー発生部というも
のとする。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年ではパ
ーソナルコンピュータの低消費電力化が要望されてお
り、これに伴い周辺機器であるプリンタ装置においても
低消費電力化（半導体駆動電圧化：〜２０Ｖ）が要求さ
れるようになってきている。また、一方においてプリン
タ装置には高い解像度が要求されており、これに伴いイ
ンクジェット記録ヘッド２の微細化が急速に進められて
いる。
【００１１】具体的には、これらの要求を実現化するた
めには次の事項が必要となる。即ち、インク吐出エネル
ギー発生部に圧電体を用いる場合には、 ａ）圧電体の薄膜化（内部印加電界は同じ） ｂ）振動板の薄膜化（圧電体の微小変位伝達） ｃ）圧電体と振動板の密着安定性（圧電体の変形ロス低
減） ｄ）振動板の平坦性向上（振動板の曲がり易さ） ｅ）圧電体および振動板の微細加工 が必要となる。
【００１２】また、インク吐出エネルギー発生部に発熱
体を用いる場合には、 ｆ）発熱体までの配線の微細化 ｇ）放熱時間の短縮化 ｈ）発熱素子保護膜の薄膜化 等が必要となる。
【００１３】しかるに、図２を用いて説明した従来のイ
ンクジェット記録ヘッド２では、以下に示す問題があ
る。即ち、圧電体を振動板に張り付ける構成では、 圧電体を振動板に張り付ける際、薄い圧電体は壊れ易
い。 圧電体を振動板に張り付ける構成では、接着剤層の厚
さが不均一となり振動板を平坦とすることが困難で、よ
って駆動させた際に適正に変形しない場合が生じる。
【００１４】圧電体に電圧印加した際、接着剤が圧電
体の変位を吸収してしまう。 圧電体を振動板に張り付ける構成では、微細化に対応
できない。 という問題点がある。また、振動板全面に配設された圧
電体部材を機械加工で分割する構成では、上記した〜
の問題点が同様に発生する。更に、機械加工では加工
時間が長く要し、製造効率が悪いという問題点もある。
【００１５】更に、インク吐出エネルギー発生部に発熱
体を用いた場合には、発熱体を形成した基板が必ずしも
放熱特性に優れているとは限らないという問題点があ
る。本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、高
信頼性を維持しつつ消費電力の低減を図りうるインクジ
ェット記録ヘッド及びその製造方法及びプリンタ装置を
提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴と
するものである。請求項１記載の発明は、インクを吐出
するノズルに対応して設けられており、内部にインクが
充填される複数の圧力室が形成されてなる本体部と、振
動可能な材料により形成されており、前記圧力室の一の
壁面を構成する振動板と、前記圧力室と対応する前記振
動板上に配設されており、前記振動板を変形付勢するこ
とにより前記圧力室内のインクを前記ノズルから吐出さ
せるインク吐出エネルギー発生部とを有するインクジェ
ット記録ヘッドにおいて、少なくとも前記インク吐出エ
ネルギー発生部を薄膜形成技術を用いて形成したことを
特徴とするものである。
【００１７】また、請求項２記載の発明に係るインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法は、基板上に薄膜形成技術
を用いて個別電極層，エネルギー発生層，振動層を順次
形成することによりインク吐出エネルギー発生部を形成
するエネルギー発生部形成工程と、前記基板の少なくと
も前記インク吐出エネルギー発生部の変形領域に対応す
る領域を除去して開口部を形成することにより、前記基
板から前記インク吐出エネルギー発生部を露出させる除
去工程と、予めインクを吐出するための圧力室が形成さ
れてなる本体部材を前記振動板に接合する接合工程と前
記圧力室と対応する位置にインクを吐出するノズル孔が
形成されると共に、前記本体部材にノズル板を配設する
ノズル板配設工程とを有することを特徴とするものであ
る。
【００１８】また、請求項３記載の発明は、前記請求項
２記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法におい
て、前記接合工程が、前記エネルギー発生部形成工程と
前記除去工程との間に実施され、前記振動層上に、予め
インクを吐出するための第１の圧力室半体が形成されて
なる第１の本体部材半体を接合する第１の接合工程と、
前記除去工程の終了後、予めインクを吐出するための第
２の圧力室半体が形成されてなる第２の本体部材半体を
前記第１の本体部材半体に接合する第２の接合工程とよ
りなることを特徴とするものである。
【００１９】また、請求項４記載の発明は、前記請求項
１または２記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法
において、前記エネルギー発生部形成工程が、前記個別
電極層を形成した後で、かつ前記エネルギー発生層を形
成する前に、前記インク吐出エネルギー発生部の形成位
置で前記個別電極層を分割し、個別電極を形成する分割
工程を有することを特徴とするものである。
【００２０】また、請求項５記載の発明は、前記請求項
１または２記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法
において、前記エネルギー発生部形成工程が、前記除去
工程を終了した後に、前記開口部に露出した前記個別電
極層と前記エネルギー発生層とを前記インク吐出エネル
ギー発生部の形成位置において共に分割し、個別電極を
形成する分割工程を有することを特徴とするものであ
る。
【００２１】また、請求項６記載の発明は、前記請求項
１または２記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法
において、前記エネルギー発生部形成工程が、前記除去
工程を終了した後に、前記開口部に露出した前記個別電
極層のみを前記インク吐出エネルギー発生部の形成位置
において分割し、個別電極を形成する分割工程を有する
ことを特徴とするものである。
【００２２】また、請求項７記載の発明は、前記請求項
６記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法におい
て、前記エネルギー発生部形成工程で、複数の前記圧力
室にまたがるよう前記インク吐出エネルギー発生部を形
成することを特徴とするものである。また、請求項８記
載の発明に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法
は、基板上に薄膜形成技術を用いてインク吐出エネルギ
ー発生部となるエネルギー発生層及び振動層を順次形成
するエネルギー発生部形成工程と、前記基板の少なくと
も前記インク吐出エネルギー発生部の変形領域に対応す
る領域を除去して開口部を形成することにより、前記基
板から前記インク吐出エネルギー発生部を露出させる除
去工程と、該除去工程の終了後、前記開口部を介して前
記インク吐出エネルギー発生部と対応する位置に個別電
極を形成する個別電極形成工程と、予めインクを吐出す
るための圧力室が形成されてなる本体部材を前記振動板
に接合する接合工程とを有することを特徴とするもので
ある。
【００２３】また、請求項９記載の発明は、前記請求項
４乃至７のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド
の製造方法において、前記分割工程で前記分割処理を行
なう分割位置を、隣り合う前記圧力室の間位置に設定し
たことを特徴とするものである。
【００２４】また、請求項１０記載の発明に係るインク
ジェット記録ヘッドの製造方法は、基板上に薄膜形成技
術を用いて個別電極層を形成する個別電極形成工程と、
少なくとも前記個別電極層上に個別エネルギー発生層を
形成する個別エネルギー発生層形成工程と、前記個別エ
ネルギー発生層形成工程で形成された前記個別エネルギ
ー発生層間の空隙部分に充填材を配設する充填工程と、
前記充填工程終了後に、前記個別エネルギー発生層及び
前記充填材の上部に振動層を形成する振動層形成工程と
を実施することによりインク吐出エネルギー発生部を形
成するエネルギー発生部形成工程と、前記基板の少なく
とも前記インク吐出エネルギー発生部の変形領域に対応
する領域を除去して開口部を形成することにより、前記
基板から前記インク吐出エネルギー発生部を露出させる
除去工程と、予めインクを吐出するための圧力室が形成
されてなる本体部材を前記振動板に接合する接合工程と
を有することを特徴とするものである。
【００２５】また、請求項１１記載の発明は、前記請求
項１０記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法にお
いて、前記充填材として前記基板と同一材料を用いたこ
とを特徴とするものである。また、請求項１２記載の発
明は、前記請求項１０記載のインクジェット記録ヘッド
の製造方法において、前記充填材として、ヤング率が前
記エネルギー発生層の材料よりも小さく、９０ＧＰａ以
下であるものを用いたことを特徴とするものである。
【００２６】また、請求項１３記載の発明は、前記請求
項１０乃至１２のいずれかに記載のインクジェット記録
ヘッドの製造方法において、前記充填材として、弾性及
び耐インク性のある材料を用いたことを特徴とするもの
である。
【００２７】また、請求項１４記載の発明は、前記請求
項１記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法におい
て、前記接合工程を実施した後に、前記除去工程を実施
することを特徴とするものである。また、請求項１５記
載の発明は、前記請求項２乃至１４のいずれかに記載の
インクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記ノ
ズル板配設工程を前記接合工程の前に実施することを特
徴とするものである。
【００２８】また、請求項１６記載の発明は、前記請求
項２乃至１４のいずれかに記載のインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法において、前記ノズル板配設工程を前記
接合工程の後に実施することを特徴とするものである。
【００２９】また、請求項１７記載の発明は、前記請求
項２乃至１６のいずれかに記載のインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法において、更に、前記除去工程を実施し
た後に、前記基板に形成した開口部に熱伝達性の高い材
料を配設する放熱部形成工程を実施することを特徴とす
るものである。
【００３０】また、請求項１８記載の発明は、圧力室と
圧電体からなり、電気信号により前記圧電体を変形させ
て、前記圧力室内部のインクを吐出させるインクジェッ
ト記録ヘッドにおいて、前記圧電体を基板上に薄膜形成
技術を用いて成長させる成長工程と、前記圧電体の変形
する部分の周囲の基板を残し、前記圧電体の変形する部
分の基板を除去する除去工程とにより形成された圧電体
を用いたことを特徴とするものである。
【００３１】また、請求項１９記載の発明は、圧力室と
圧電体からなり、電気信号により前記圧電体を変形させ
て、前記圧力室内部のインクを吐出させるインクジェッ
ト記録ヘッドを用いたプリンタ装置において、前記圧電
体を基板上に薄膜形成技術を用いて成長させる成長工程
と、前記圧電体の変形する部分の周囲の基板を残し、前
記圧電体の変形する部分の基板を除去する除去工程とに
より形成された圧電体を用いたインクジェット記録ヘッ
ドを有することを特徴とするものである。
【００３２】上記した各手段は、次のように作用する。
請求項１記載の発明によれば、振動板及びインク吐出エ
ネルギー発生部の内、少なくともインク吐出エネルギー
発生部を薄膜形成技術を用いて形成したことにより、薄
くかつ微細化されたインク吐出エネルギー発生部を高精
度にかつ高信頼性をもって形成することができる。よっ
て、低消費電力化を図ることができると共に、高解像度
の印刷を可能とすることができる。
【００３３】また、請求項２及び請求項１８記載の発明
によれば、エネルギー発生部形成工程において、基板上
に薄膜形成技術を用いて個別電極層，エネルギー発生
層，振動層を順次形成しインク吐出エネルギー発生部を
形成するため、薄いインク吐出エネルギー発生部を高精
度にかつ高信頼性をもって形成することができる。
【００３４】また、各層間には接着材等の他の接合部材
は介在しないため、高い平坦性を有したインク吐出エネ
ルギー発生部を形成することが可能となり、従来のよう
に接着材が圧電体の変位を吸収するようなこともない。
よって、低消費電力化及び印刷の高解像度化を図りうる
インクジェット記録ヘッドを実現することができる。ま
た、除去工程において、基板の所定領域を除去して開口
部を形成し基板からインク吐出エネルギー発生部を露出
させるため、この露出部分以外は基板に保護された状態
を維持される。よって、インク吐出エネルギー発生部が
薄型化されても、この保護を確実に行なうことができ
る。
【００３５】続いて接合工程及びノズル板配設工程実施
することにより、上記のインク吐出エネルギー発生部
は、圧力室が形成された本体部に接合される。よって、
圧力室に平坦な振動板を配設することができ、圧電体と
振動板との密着性が良好で、かつ、ばらつきの無い効率
良い駆動を行いうるインクジェット記録ヘッドを製造す
ることができる。
【００３６】また、請求項３記載の発明によれば、エネ
ルギー発生部形成工程と除去工程との間、即ち除去工程
を実施する前に第１の接合工程を実施し、振動層上に第
１の圧力室半体が形成されてなる第１の本体部材半体を
接合することにより、基板は第１の本体部材半体により
補強された構成となる。
【００３７】よって、除去工程において開口部を形成す
る際、開口部形成位置の背面側には第１の本体部材半体
が存在するため、インク吐出エネルギー発生部が開口形
成時に損傷することを防止することができる。また、開
口部が形成されることにより、この開口部から露出した
インク吐出エネルギー発生部の機械的強度は低下する
が、開口部形成位置の背面側に補強材として機能する第
１の本体部材半体が存在するため、開口部の形成後にお
いてもインク吐出エネルギー発生部が損傷することを防
止することができる。
【００３８】また、除去工程の終了後に第２の接合工程
を実施し、第２の圧力室半体が形成された第２の本体部
材半体を第１の本体部材半体に接合することにより、第
１及び第２の圧力室半体は協働して圧力室を形成し、よ
って本体部が形成される。また、請求項４記載の発明に
よれば、個別電極層を形成した後、かつエネルギー発生
層を形成する前に分割工程を実施し、インク吐出エネル
ギー発生部の形成位置で個別電極層を分割して個別電極
を形成することにより、開口部を形成する前において個
別電極が形成されているため、開口部を介して個別電極
層を分割する方法に比べ、容易に個別電極を形成するこ
とができる。
【００３９】また、請求項５記載の発明によれば、除去
工程を終了した後に分割工程を実施し、開口部に露出し
た個別電極層とエネルギー発生層とをインク吐出エネル
ギー発生部の形成位置において共に分割して個別電極を
形成することにより、隣接するインク吐出エネルギー発
生部は完全に独立した構成となる。よって、電圧印加し
た際にインク吐出エネルギー発生部の変形性（駆動性）
は向上し、これにより確実で応答性のよいインク吐出を
行なうことができる。
【００４０】また、請求項６記載の発明によれば、除去
工程を終了した後に分割工程を実施し、開口部に露出し
た個別電極層のみをインク吐出エネルギー発生部の形成
位置において分割して個別電極を形成することにより、
内部歪みの少ないインク吐出エネルギー発生部を形成す
ることができる。
【００４１】即ち、分割工程をエネルギー発生層を配設
する前に分割し個別電極を形成する方法では、エネルギ
ー発生層を形成する際、基板上に直接エネルギー発生層
が積層される部分と、個別電極上にエネルギー発生層が
積層される部分とが発生してしまう。これにより、エネ
ルギー発生層には、格子定数の違い等からくる内部歪み
が発生し易くなる。この状態のままで、基板に開口部を
形成すると、除去後の薄膜部分で内部歪みからくる損傷
（ヒビや変形）が発生する可能性がある。
【００４２】しかるに、基板上の全面に個別電極層を形
成すると共にその上にエネルギー発生層を形成し、除去
工程を終了した後に分割工程を実施して開口部を介して
個別電極層を分割することにより、内部歪みの少ないイ
ンク吐出エネルギー発生部を形成することができ、製造
されるインクジェット記録ヘッドの信頼性を向上させる
ことができる。
【００４３】また、請求項７記載の発明によれば、エネ
ルギー発生部形成工程で、複数の圧力室にまたがるよう
インク吐出エネルギー発生部を形成することにより、イ
ンク吐出エネルギー発生部の強度を向上させることがで
きる。即ち、圧力室の形成領域内にインク吐出エネルギ
ー発生部を形成すると、圧力室は空間部であるためイン
ク吐出エネルギー発生部は薄い振動板にのみ保持された
構成となり強度が低下する。しかるに、複数の圧力室に
またがるようインク吐出エネルギー発生部を形成するこ
とにより、インク吐出エネルギー発生部は圧力室外周部
の基板により保持されることとなり、インク吐出エネル
ギー発生部の強度を向上させることができる。
【００４４】また、請求項８記載の発明によれば、エネ
ルギー発生部形成工程において、基板上に薄膜形成技術
を用いてインク吐出エネルギー発生部となるエネルギー
発生層及び振動層を順次形成することにより、エネルギ
ー発生層を基板の格子定数に従い単結晶状態で成長させ
ることができる（格子定数は同じでなく、内部歪みを有
している）。
【００４５】いま、基板とエネルギー発生層との間に結
晶格子を持たない金属電極層（個別電極層）が介在する
と、エネルギー発生層の形成時にその格子が変形し、良
好な吐出エネルギーを得られない場合がある。しかる
に、除去工程において基板に開口部を形成した後、開口
部から露出したエネルギー発生層の表面に個別電極形成
工程を実施し、個別電極を形成することにより、必要と
する格子定数を有したインク吐出エネルギー発生部を形
成することができ、良好な吐出エネルギーを得ることが
できる。よって、信頼性の高い印字処理を行なうことが
可能となる。
【００４６】また、請求項９記載の発明によれば、分割
工程で個別電極層を分割処理する分割位置を、隣り合う
圧力室の間位置に設定したことにより、振動板の保護を
確実に図ることができる。即ち、圧力室は空間部である
ため、インク吐出エネルギー発生部（個別電極層を含
む）は薄い振動板にのみ保持された構成となっている。
よって、この圧力室の形成領域内において個別電極層の
分割処理を行なうと、振動板に亀裂等の損傷が発生する
可能性がある。
【００４７】しかるに、個別電極層の分割位置を隣り合
う圧力室の間位置に設定することにより、この分割位置
は圧力室ではなく基板上の位置となるため、インク吐出
エネルギー発生部は圧力室を跨いで形成される構成とな
り、振動板の保護を確実に行なうことができる。また、
請求項１０記載の発明によれば、インク吐出エネルギー
発生部間の空隙部分に充填材を配設することにより、平
坦でかつ曲げに対して拘束しない構成が得られ、円滑な
インク吐出を行なうことが可能となる。
【００４８】即ち、充填材が存在しない凹凸を有したイ
ンク吐出エネルギー発生部上に振動板を形成すると、凹
凸の段差部分において振動板の曲がりが発生し、この部
分がインク吐出エネルギー発生部の変形を拘束しインク
吐出に支障をきたすおそれがある。しかるに、充填工程
においてインク吐出エネルギー発生部間の空隙部分に充
填材を配設することによりその上面は平坦化し、この平
坦面上に振動板を形成することで、平坦でかつ曲げに対
して拘束しない構成が得られる。このように曲げに対す
る拘束が無い構成とすることにより、円滑なインク吐出
を行なうことが可能となる。
【００４９】また、請求項１１記載の発明によれば、充
填材として基板と同一材料を用いたことにより、後に実
施される除去工程において開口部を形成する際、インク
吐出エネルギー発生部間の充填材も同時に除去される。
このため、各インク吐出エネルギー発生部は独立した構
成となり、インク吐出エネルギー発生部の駆動性を向上
させることができる。
【００５０】また、請求項１２記載の発明によれば、充
填材として低ヤング率の材料を用いたことにより、イン
ク吐出エネルギー発生部間の空隙部分に充填材を配設し
ても、この充填材によりインク吐出エネルギー発生部の
変形（変位）が妨げられるようなことはなく、確実なイ
ンク吐出を行なうことができる。
【００５１】また、請求項１３記載の発明によれば、充
填材として弾性及び耐インク性のある材料を用いたこと
により、充填材により圧力室からのインク漏れを防止す
ることができる。即ち、稀ではあるが除去工程を実施す
ることにより、開口部から露出した振動板にピンホール
等が形成されてしまう場合がある。この場合、圧力室内
のインクがピンホールから外に染み出し、インク吐出エ
ネルギー発生部（圧電体）の電気部分でショート等の不
良が発生するおそれがある。しかるに、振動板にピンホ
ールがあっても機能的には問題なく、よってインクの染
み出しさえ予防できれば良い。
【００５２】よって、開口部内のインク吐出エネルギー
発生部間に弾性及び耐インク性を有する充填材を配設す
ることにより、インク吐出エネルギー発生部の駆動（変
形，変位）を損なわず、かつインクの染み出しを防止す
ることができる。また、請求項１４記載の発明によれ
ば、接合工程を実施した後に除去工程を実施することに
より、除去工程において開口部を形成する際、基板の背
面側には本体部が接合された状態となっている。このた
め、開口部を形成する際に基板に形成されているインク
吐出エネルギー発生部が損傷することを防止でき、歩留
り及び信頼性の向上を図ることができる。
【００５３】また、請求項１５及び請求項１６記載の発
明のように、ノズル板配設工程は接合工程の前に実施し
ても、また後に実施してもよい。また、請求項１７記載
の発明によれば、除去工程を実施した後に放熱部形成工
程を実施し、基板に形成した開口部に熱伝達性の高い材
料を配設することにより、インク吐出エネルギー発生部
で発生する熱を効率よく放熱することが可能となり、高
速印字が可能となる。
【００５４】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面と共に説明する。図３は本発明の第１実施例であ
るインクジェット記録ヘッド４０Ａを示す図であり、ま
た図４及び図５は本発明の第１実施例であるインクジェ
ット記録ヘッドの製造方法を説明するための図であり、
本実施例では図１に示すインクジェット記録ヘッド４０
Ａの製造方法を示している。尚、以下説明する各実施例
においては、インク吐出を行なうエネルギー発生手段と
して圧電体を用いた例について説明するが、圧電体に代
えて発熱体を用いることも可能である。
【００５５】まず、図１を用いてインクジェット記録ヘ
ッド４０Ａの構成について説明する。インクジェット記
録ヘッド４０Ａは、大略すると基板２０，振動板２３，
本体部２８，ノズル板３０，及びインク吐出エネルギー
発生部３２Ａ（以下、エネルギー発生部という）等によ
り構成されている。本体部２８は後述するようにドライ
フィルムを積層した構造を有しており、その内部に複数
の圧力室２９（インク室）と、インクの供給路となるイ
ンク通路３３とが形成されている。また、この圧力室２
９の図中上部は開放部とされると共に、下面にはインク
吐出孔４１が形成されている。
【００５６】また、本体部２８の図中下面にはノズル板
３０が配設されると共に、上面には振動板２３が配設さ
れている。ノズル板３０は例えばステンレスによりな
り、インク吐出孔４１と対向する位置にノズル３１が形
成されている。また、振動板２３は例えばクロム（Ｃ
ｒ）により形成された可撓性を有する板状材であり、そ
の上部には基板２０及びエネルギー発生部３２Ａが配設
されている。基板２０は例えば酸化マグネシウム（Ｍｇ
Ｏ）により形成されており、その中央位置には開口部２
４が形成されている。エネルギー発生部３２Ａは、この
開口部２４により露出された振動板２３上に形成されて
いる。
【００５７】エネルギー発生部３２Ａは、前記した振動
板２３（共通電極としても機能する），個別電極２６，
及び圧電体２７により構成されている。このエネルギー
発生部３２Ａは、本体部２８に複数形成されている圧力
室２９の形成位置と対応する位置に形成されている。個
別電極２６は例えば白金（Ｐｔ）よりなり、圧電体２７
の上面に形成されている。また、圧電体２７は圧電気を
生じる結晶体であり、本実施例では各圧力室２９の形成
位置にそれぞれ独立して形成された構成となっている
（即ち、隣接するエネルギー発生部３２Ａは連続してい
ない）。
【００５８】上記構成とされたインクジェット記録ヘッ
ド４０Ａにおいて、共通電極としても機能する振動板２
３と個別電極２６との間に電圧印加をすると、圧電体２
７は圧電気現象により歪みを発生する。このように圧電
体２７に歪みが発生すると、これに伴い振動板２３も変
形する。この時に圧電体２７に発生する歪みは、振動板
２３が図中破線で示すような変形となるよう、即ち圧力
室２９に向け凸となる形状に変形するよう構成されてい
る。よって、圧電体２７の歪みに伴う振動板２３の変形
により、圧力室２９内のインクは加圧され、インク吐出
孔４１及びノズル３１を介して外部に吐出され、これに
より記録媒体に印刷が行なわれる構成となっている。
【００５９】上記構成において、本実施例に係るインク
ジェット記録ヘッド４０Ａは、振動板２３及びエネルギ
ー発生部３２（個別電極２６，圧電体２７）を薄膜形成
技術を用いて形成したことを特徴としている（詳細な製
造方法については、後述する）。このように、振動板２
３及びエネルギー発生部３２を薄膜形成技術を用いて形
成するにより、薄くかつ微細化されたエネルギー発生部
３２を高精度にかつ高信頼性をもって形成することがで
きる。よって、インクジェット記録ヘッド４０Ａの低消
費電力化を図ることができると共に、高解像度の印刷を
可能とすることができる。
【００６０】また、本実施例では各エネルギー発生部３
２毎に圧電体２７が分割された構成とされている。即
ち、各エネルギー発生部３２は、隣接するエネルギー発
生部３２に拘束されることなく変位することができる。
よって、インク吐出に必要とされる印加電圧を低くする
こができ、これによってもインクジェット記録ヘッド４
０Ａの低消費電力化を図ることができる。
【００６１】続いて、上記構成とされたインクジェット
記録ヘッド４０Ａの製造方法について図４及び図５を用
いて説明する。インクジェット記録ヘッド４０Ａを製造
するには、先ず図４（Ａ）に示されるように、基板２０
を用意する。本実施例では、基板２０として厚さが0.3m
m の酸化マグネシウム（ＭｇＯ）単結晶体を用いてい
る。
【００６２】この基板２０上には、薄膜形成技術である
スパッタリング法を用い、個別電極層２１（以下、単に
電極層という），エネルギー発生層２２（本実施例では
圧電体を用いているため、以下圧電体層という），振動
板２３を順次形成する（エネルギー発生部形成工程の一
部を成す）。具体的には、先ず図４（Ｂ）に示すように
基板２０上に電極層２１を形成し、続いて図４（Ｃ）に
示すように電極層２１上に圧電体層２２を形成し、更に
圧電体層２２上に振動体２３を形成する。尚、本実施例
では、電極層２１の材質として白金（Ｐｔ）を、また振
動板２３の材質としてＮｉ−Ｃｒ，Ｃｒ等を用いてい
る。
【００６３】上記のように、薄膜形成技術を用いた各層
２１〜２３の形成処理が終了すると、続いて図５（Ｅ）
に示すように、各層２１〜２３が下側になるよう基板２
０を上下反転すると共に、この基板２０の略中央部分を
エッチングにより除去することにより開口部２４を形成
する（除去工程）。この開口部２４の形成位置は、少な
くともエネルギー発生部３２Ａ（図３参照）により振動
板２３が変形する変形領域と対応するよう選定されてい
る。このように基板２０を除去して開口部２４を形成す
ることにより、図５（Ｆ）に示すように、電極層２１は
開口部２４を介し基板２０から露出した構成となる。
【００６４】上記のように除去工程を実施することによ
り開口部２４が形成されると、続いて開口部２４に露出
した電極層２１と圧電体層２２を所定位置（圧力室２９
の形成位置と対応する位置）において共に分割し、エネ
ルギー発生部３２Ａを形成する（分割工程。この分割工
程はエネルギー発生部形成工程の一部を成す）。このエ
ネルギー発生部３２Ａの幅寸法は、後に実施される接合
工程において本体部２８を基板２０に接合した際、エネ
ルギー発生部３２Ａが複数の圧力室２９をまたがるよう
設定されている。
【００６５】上記の分離工程を行なうことにより電極層
２１は分割されて個別電極となり、よって各圧力室２９
毎にインクの吐出制御を行なうことが可能となる。ま
た、圧電体層２２は分割処理されることにより、個々独
立した圧電体２７を形成する。一方、圧力室２９を有し
た本体部２８及びノズル板３０は、上記した工程と別工
程を実施することにより形成される。圧力室２９を有し
た本体部２８は、ノズル板３０（アライメントマーク
付）にドライフィルム（東京応化製溶剤型ドライフィル
ムＰＲシリーズ）をラミネート・露光を必要回数だけ現
像することにより形成される（ノズル板配設工程）。
【００６６】具体的な本体部２８の形成方法は、次の通
りである。即ち、ノズル板３０（厚さ２０μm ）上にノ
ズル３１（２０μm 径、ストレート穴）まで圧力室２９
からのインクを誘導し、且つインクの流れを一方向に揃
えるためのインク通路３３（６０μm 径；深さ６０μm
）のパターンをノズル板３０のアライメントマークを
用いて露光し、続いて圧力室２９（幅１００μm ，長さ
１７００μm ，厚さ６０μm ）をインク通路３３と同様
にノズル板３０のアライメントマークを用いて露光し、
その後１０分の自然放置（室温）と加熱硬化（６０℃，
１０分）を行い、溶剤現像によりドライフィルムの不要
部分を除去する。
【００６７】上記のように形成されたノズル板３０が設
けられた本体部２８は、図５（Ｇ）に示すように、振動
板２３に接合される（接合固定）。この際、圧力室２９
とエネルギー発生部３２Ａとが精度よく対向するよう接
合処理される。上記のように本実施例によれば、基板２
０上にスパッタリング法等の薄膜形成技術を用いて電極
層２１，圧電体層２２，振動板２３を順次形成しエネル
ギー発生部３２Ａを形成するため、従来に比べて薄いエ
ネルギー発生部３２Ａを高精度にかつ高信頼性をもって
形成することができる。
【００６８】また、各層２１〜２３の間には接着材等の
他の接合部材は介在しないため、高い平坦性を有したエ
ネルギー発生部３２Ａを形成することが可能となり、従
来のように接着材が圧電体の変位を吸収するようなこと
もない。よって、低消費電力化及び印刷の高解像度化を
図りうるインクジェット記録ヘッド４０Ａを実現するこ
とができる。また、振動板２３が平坦化することによ
り、圧電体２７と振動板２３との密着性が良好となり、
ばらつきの無い効率良い駆動を行いうるインクジェット
記録ヘッド４０Ａを実現することができる。
【００６９】また、上記した除去工程においては、基板
２０の所定領域を除去して開口部２４を形成することに
より基板２０からエネルギー発生部３２Ａを露出させる
ため、従来のように圧電体１１等が単に露出した構成
（図２参照）に比べ、エネルギー発生部３２Ａの保護を
行なうことができる。よって、エネルギー発生部３２Ａ
が薄型化されても損傷するようなことはなく、インクジ
ェット記録ヘッド４０Ａの信頼性を向上させることがで
きる。
【００７０】また、本実施例では除去工程を終了した後
に分割工程を実施し、開口部２４に露出した電極層２１
と圧電体層２２を共に分割して個別電極２６，圧電体２
７を形成することにより、隣接するエネルギー発生部３
２Ａは完全に独立した構成となる。よって、電圧印加し
た際にエネルギー発生部３２Ａの変形性（駆動性）は向
上し、応答性のよいインク吐出を行なうことが可能とな
る。
【００７１】更に、上記したように本実施例では、エネ
ルギー発生部３２Ａが複数の圧力室２９にまたがるよう
形成されているため、エネルギー発生部３２Ａは圧力室
２９の外周部の基板２０により保持されることとなる。
よって、エネルギー発生部３２Ａの強度を向上させるこ
とができ、インクジェット記録ヘッド４０Ａの信頼性を
向上させることができる。
【００７２】続いて、図６乃至図８を用い、本発明の第
２実施例であるインクジェット記録ヘッド４０Ｂ及びそ
の製造方法について説明する。図６は本発明の第２実施
例であるインクジェット記録ヘッド４０Ｂを示す図であ
り、また図７及び図８は本発明の第２実施例であるイン
クジェット記録ヘッド４０Ｂの製造方法を説明するため
の図である。
【００７３】尚、以下説明する各実施例において、図３
を用いて説明した第１実施例に係るインクジェット記録
ヘッド４０Ａの構成と同一構成については、同一符号を
付してその説明を省略する。また同様に、以下説明する
各実施例において、図４及び図５を用いて説明した第１
実施例に係る製造工程と同一工程についても、その説明
を省略するものとする。
【００７４】図６に示されるように、本実施例に係るイ
ンクジェット記録ヘッド４０Ｂは、圧電体２７は分割さ
れておらず、個別電極２６のみが圧力室２９に対応して
分割形成された構成となっている。従って、隣接する個
別電極２６の間には圧電体２７が存在した構成となって
いる。また、後に詳述するように、個別電極２６は開口
部２４を形成した後に形成される構成となっている。
【００７５】続いて、上記構成とされたインクジェット
記録ヘッド４０Ｂの製造方法について説明する。前記し
た第１実施例に係る製造方法では、基板２０の上面に先
ず電極層２１を形成したが（図４（Ｂ）参照）、本実施
例では基板２０の上面に先ずスパッタリング法を用いて
圧電体層２２を形成することを特徴としている（図７
（Ｂ））。即ち、本実施例では電極層２１を形成するこ
となく、基板２０の上面に直接圧電体層２２を形成する
構成としている。この際、基板２０の上面が〔１００〕
面となるよう設定されいてる。
【００７６】また本実施例では、個別電極２６を形成す
る個別電極形成工程は、図８（Ｅ），（Ｆ）に示される
ように、除去工程が終了した後（即ち、開口部２４が形
成された後）に実施することを特徴としている。上記の
ように、電極層２１を形成することなく基板２０の上面
に直接圧電体層２２を形成することにより、開口部２４
を形成した際、図８（Ｄ）に示されるように、開口部２
４には圧電体２７（圧電体層２２）が露出した状態とな
る。個別電極２６は、この開口部２４を介して圧電体２
７（圧電体層２２）の上面に薄膜形成技術を用いて形成
される。この際、個別電極２６の形成位置は、エネルギ
ー発生部３２Ｂの所定形成位置と対応する位置に設定さ
れている。
【００７７】本実施例のように、基板２０上に薄膜形成
技術を用いて圧電体２７（圧電体層２２）及び振動板２
３を順次形成することにより、圧電体２７（圧電体層２
２）を基板２０の格子定数に従い単結晶状態で成長させ
ることができる（格子定数は同じでなく、内部歪みを有
している）。第１実施例のように、基板２０と圧電体２
７（圧電体層２２）との間に結晶格子を持たない金属電
極層（電極層２１）が介在すると、圧電体２７（圧電体
層２２）の形成時にその格子が変形し、良好な吐出エネ
ルギーを得られない場合がある。
【００７８】しかるに、除去工程において基板２０に開
口部２４を形成した後、開口部２４から露出した圧電体
２７（圧電体層２２）の表面に個別電極２６を形成する
ことにより、必要とする格子定数を有した圧電体２７
（圧電体層２２）を形成することがでる。これにより、
良好な吐出エネルギーを得ることができ、よって信頼性
の高い印字処理を行なうことが可能となる。
【００７９】続いて、図９乃至図１１を用い、本発明の
第３実施例であるインクジェット記録ヘッド４０Ｃ及び
その製造方法について説明する。図９は本発明の第３実
施例であるインクジェット記録ヘッド４０Ｃを示す図で
あり、また図１０及び図１１は本発明の第３実施例であ
るインクジェット記録ヘッド４０Ｃの製造方法を説明す
るための図である。
【００８０】図９に示されるように、本実施例に係るイ
ンクジェット記録ヘッド４０Ｃは、第２実施例であるイ
ンクジェット記録ヘッド４０Ｂと同様に、圧電体２７
（圧電体層２２）は分割されておらず、個別電極２６の
みが圧力室２９に対応して分割形成された構成となって
いる。続いて、上記構成とされたインクジェット記録ヘ
ッド４０Ｃの製造方法について説明する。図１０（Ａ）
〜図１１（Ｄ）までの製造工程は、第１実施例と同様で
ある。よって、除去工程を実施することにより形成され
た開口部２４には、電極層２１が露出した状態となって
いる。
【００８１】本実施例に係る製造方法では、除去工程を
終了した後に分割工程を実施し、開口部２４に露出した
電極層２１のみをエネルギー発生部３２Ｃの形成位置
（図９及び図１１（Ｅ）参照）において分割し、個別電
極２６を形成することを特徴とするものである。また、
個別電極２６を形成する際、電極層２１の分割位置を、
隣り合う圧力室２９の間位置に設定したことを特徴とし
ている。
【００８２】本実施例のように、除去工程を終了した後
に分割工程を実施し、開口部２４に露出した電極層２１
のみを分割し個別電極２６を形成することにより、内部
歪みの少ないエネルギー発生部３２Ｃを形成することが
できる。即ち、分割工程を圧電体層２２を配設する前に
分割し個別電極２６を形成する方法では、圧電体層２２
を形成する際、基板２０上に直接圧電体層２２が積層さ
れる部分と、個別電極２６上に圧電体層２２が積層され
る部分とが発生してしまう。
【００８３】この構成では、圧電体層２２に格子定数の
違い等からくる内部歪みが発生し易くなる。そして、内
部歪みが発生したままの状態で基板２０に開口部２４を
形成すると、除去後の薄膜部分で内部歪みからくる損傷
（ヒビや変形）が発生するおそれがある。しかるに、本
実施例のように、基板２０の上面全面に電極層２１を形
成すると共にその上に圧電体層２２を形成し、除去工程
が終了した後に電極層２１を分割することにより、内部
歪みの少ない圧電体層２２を形成することができ、製造
されるインクジェット記録ヘッド４０Ｃの信頼性を向上
させることができる。
【００８４】また、分割工程で電極層２１を分割処理す
る分割位置を、隣り合う圧力室２９の間位置に設定した
ことにより、分割処理を確実に行なうことができる。即
ち、圧力室２９は空間部であるため、電極層２１及び圧
電体層２２は薄い振動板２３にのみ保持された構成とな
っている。よって、空間部である圧力室２９の形成領域
上において電極層２１の分割処理を行なうと、振動板２
３に亀裂等の損傷が発生する可能性がある。
【００８５】しかるに、本実施例のように、電極層２１
の分割位置を隣り合う圧力室２９の間位置に設定するこ
とにより、この分割位置は圧力室２９ではなく本体部２
８上の位置となる。即ち、エネルギー発生部３２Ｃは圧
力室２９をまたがるように形成された構成となり、よっ
て振動板２３に損傷を与えることを防止することができ
る。
【００８６】続いて、図１２乃至図１４を用い、本発明
の第４実施例であるインクジェット記録ヘッド４０Ｄ及
びその製造方法について説明する。図１２は本発明の第
４実施例であるインクジェット記録ヘッド４０Ｄを示す
図であり、また図１３及び図１４は本発明の第４実施例
であるインクジェット記録ヘッド４０Ｄの製造方法を説
明するための図である。
【００８７】図１２に示すように、本実施例に係るイン
クジェット記録ヘッド４０Ｄは、本体部２８が第１の本
体部半体２８Ａと第２の本体部半体２８Ｂを接合した構
成としたことを特徴とするものである。この構成のイン
クジェット記録ヘッド４０Ｄを製造するには、先ず図１
３（Ａ）に示すように、上面が［１００］面とされると
共に厚さ約３００μm のＭｇＯ製の基板２０を用意す
る。そして、この基板２０の上面には、スパッタリング
法を用いてＰｔよりなる電極層２１が約0.2 μm の厚さ
で形成される。
【００８８】続いて本実施例では、圧電体層２２を形成
する前に分割工程を実施し、図１３（Ｂ）に示すよう
に、エネルギー発生部３２Ｃの形成位置（図１２参照）
で電極層２１を分割して個別電極２６（サイズ：８０μ
m ×１９００μm 、ピッチ：１６９μm ）を形成する。
この個別電極２６を形成はフォトエッチングを用いて行
い、また個別電極２６の形成と共に後述する接合工程で
用いるアライメントマーク（図示せず）も形成する。そ
して、基板２０上に個別電極２６を形成した上で、図１
３（Ｃ），（Ｄ）に示すように圧電体層２２（厚さ３μ
ｍ），振動板２３（厚さ２μｍ）を順次薄膜形成技術を
用いて形成する。
【００８９】続いて、図１４（Ｅ）に示されるように、
先ほど電極層２１に形成したアライメントマークを利用
し、振動板２３の上部に第１の本体部半体２８Ａを形成
する（第１の接合工程）。この第１の本体部半体２８Ａ
は、ドライフィルム（東京応化製溶剤型ドライフィルム
ＰＲシリーズ）をラミネート・露光を必要回数行い現像
することにより形成される。この際、第１の圧力室半体
２９Ａ及びインク通路３３の半体も合わせて形成され
る。
【００９０】続いて、第１の本体部半体２８Ａが下に位
置するよう基板２０を反転させ、基板１０側から電極層
２１のアライメントマークを用いて圧力室２９に対応す
る部分のみが露出するようにマスキング処理を行う。こ
の際、ＭｇＯよりなる基板１０は無色透明であるので、
マスキング処理を容易に行なうことができる。このマス
キング処理が終了すると、続いて酸性のエッチング液
（例えば、５０％りん酸溶液）にて基板１０をエッチン
グし、図１４（Ｆ）に示すように、開口部２４を形成す
る（除去工程）。前記したように、本実施例では電極層
２１を基板に形成した直後に分割処理を行い個別電極２
６を形成しているため、開口部２４を形成することによ
り個別電極２６が露出する構成となる。よって、先に述
べた開口部２４を介して個別電極層２６を分割する方法
に比べ、個別電極２６を容易に形成することができる。
【００９１】続いて、図１４（Ｈ）に示されるように、
第１の本体部半体２８Ａにノズル板３０が配設された第
２の本体部半体２８Ｂが接合される（第２の接合工
程）。この第２の本体部半体２８Ｂは、上記した工程と
別工程において形成される。即ち、第２の本体部半体２
８Ｂを形成するには、ノズル板３０（アライメントマー
ク付）にドライフィルム（東京応化製溶剤型ドライフィ
ルムＰＲシリーズ）をラミネート・露光を必要回数行い
現像することにより形成される。この際、第２の圧力室
半体２９Ｂ及びインク通路３３の半体も合わせて形成さ
れる。
【００９２】上記のように、第１の本体部半体２８Ａに
第２の本体部半体２８Ｂを接合する際、各本体部半体２
８Ａ，２８Ｂに設けられたアライメントマークを用いて
位置決めし接合する。これにより、各本体部半体２８
Ａ，２８Ｂを位置決め精度よく接合することができる。
尚、ドライフィルム製の第１及び第２の本体部半体２８
Ａ，２８Ｂの接合は、例えば１５kgf/cm2 の圧力印加状
態で１５０℃・１４時間の加熱硬化条件下で行った。
【００９３】上記のように第１及び第２の本体部半体２
８Ａ，２８Ｂが接合することにより、第１及び第２の本
体部半体２８Ａ，２８Ｂは協働して本体部２８を形成
し、また第１及び第２の圧力室半体２９Ａ，２９Ｂも接
合して圧力室２９を形成し、これにより図１２に示すイ
ンクジェット記録ヘッド４０Ｄが製造される。上記した
ように本実施例では、除去工程を実施する前に第１の接
合工程を実施し、振動板２３上に第１の本体部材半体２
８Ａを接合するため、除去工程時には基板１０は第１の
本体部材半体２８Ａにより補強された構成となる。よっ
て、除去工程において開口部２４を形成する際、開口部
形成位置の背面側には第１の本体部材半体２８Ａが補強
材として存在するため、振動板２３，個別電極２６，及
び圧電体２７等が開口形成時に損傷することを防止する
ことができる。
【００９４】また、開口部２４が形成されることによ
り、この開口部２４から露出したエネルギー発生部３２
Ｃの機械的強度は低下するが、開口部形成位置の背面側
に補強材として機能する第１の本体部材半体２８Ａが存
在するため、開口部形成時ばかりでなく、開口部２４の
形成が終了した後においても、エネルギー発生部３２Ｃ
の損傷を防止することができる。
【００９５】続いて、図１５及び図１６を用い、本発明
の第５実施例であるインクジェット記録ヘッドの製造方
法について説明する。尚、本実施例の説明において、前
記した第４実施例に係るインクジェット記録ヘッドの製
造方法と同一工程についてはその説明を省略するものと
する。本実施例においても、先ずＭｇＯよりなる基板２
０（［１００］面，厚さ３００μm ）上にスパッタリン
グ法にてＰｔよりなる電極層２１（厚さ0.2 μm ）を形
成する。そして、形成された電極層２１にフォトエッチ
ングにより、アライメントマークと個別電極２６を形成
する（個別電極形成工程）。アライメントマークは、後
に圧力室２９の形成及び接合工程で位置決めに用いるも
のであり、また複数の個別電極部２６（サイズ；８０μ
m ×１９００μm ）は１６９μm ピッチで形成される
（図１５（Ａ），（Ｂ））。
【００９６】続いて、個別電極部２６が形成された電極
層２１上に、圧電体材料をスパッタリング法にて約３μ
m の厚さで積層し、その後エッチングすることにより個
別圧電体３４及び枠体３５を形成する（個別エネルギー
発生層形成工程）。個別圧電体３４は、個別電極部２６
と同サイズとなるよう形成され、また枠体３５は基板２
０の外周を囲繞するよう形成される。
【００９７】尚、この状態では、図１５（Ｃ）に示すよ
うに、隣接する個別圧電体３４の間には間隙部が形成さ
れており、よって基板２０の上面は複数の凹凸（段差）
が形成された状態となっている。続いて、ＭｇＯをター
ゲットとするスパッタリングを行い、隣接する個別圧電
体３４の間に充填材３６を形成する（充填工程）。この
際、個別圧電体３４及び枠体３５にはマスキングを行な
い、個別圧電体３４の間にのみ充填材３６となるＭｇＯ
を配設する。
【００９８】上記のように、本実施例では充填材３６の
材質として、基板２０の材質と同材質が選定されてい
る。また、充填材３６の厚さは、前記した個別圧電体３
４及び枠体３５と同一厚さとなるようスパッタリング制
御が行なわれている。よって、充填材３６が形成された
状態において、個別圧電体３４，枠体３５，及び充填材
３６が協働して形成する面の表面は平坦化された面とな
る。
【００９９】上記のように充填工程が終了すると、続い
て個別圧電体３４，枠体３５，及び充填材３６を覆うよ
うにＣｒよりなる振動体２３が２μm の厚さでスパッタ
リングされる。これにより、基板２０上にエネルギー発
生部３２Ｄ（図１６（Ｄ）参照）が形成される。本実施
例のように、充填工程を実施し隣接する個別圧電体３４
の間に充填材３６を形成することにより、円滑なインク
吐出を行なうことが可能となる。即ち、充填材が存在し
ない凹凸を有した個別圧電体３４上に振動板２３を形成
すると、凹凸の段差部分において振動板２３の曲がりが
発生し、この部分がエネルギー発生部３２Ｄの変形を拘
束しインク吐出に支障をきたすおそれがある。
【０１００】しかるに、充填工程において充填材３６を
配設することにより、個別圧電体３４，枠体３５，及び
充填材３６が協働して形成する面の表面は平坦化し、こ
の平坦面上に振動板２３を形成することで、平坦でかつ
曲げに対して拘束しない構成が得られる。このように曲
げに対する拘束が無い構成とすることにより、円滑なイ
ンク吐出を行なうことが可能となる。
【０１０１】上記のように振動板３が形成されると、続
いて先に述べた第４実施例と同様に第１の本体部半体２
８Ａが振動板２３の上部に配設され（図１６（Ｆ））、
その後に除去工程が実施されて基板２０に対して開口部
２４が形成される。この際、前記したように充填材３６
は基板２０の材質と同材質が選定されているため、除去
工程において開口部２４を形成する際、開口部２４と対
応する位置における充填材３６は基板２０と共に除去さ
れる。即ち、開口部２４から露出した各エネルギー発生
部３２Ｄは夫々独立した状態となる。
【０１０２】このように、各エネルギー発生部３２Ｄが
独立した構成となることにより、各エネルギー発生部３
２Ｄの駆動性を向上させることができ、よって低消費電
力化を図ることができる。続いて、前記した第４実施例
と同様にノズル板３０が配設された第２の本体部半体２
８Ｂを第１の本体部半体２８Ａに接合するこにとより本
体部２８を形成し、これによりインクジェット記録ヘッ
ドが形成される。
【０１０３】ところで、上記した実施例では、充填材３
６として基板２０の材質と同一材質とした構成とした
が、他の材料を用いることも可能である。例えば、充填
材３６として低ヤング率の材料を用いることにより、隣
接するエネルギー発生部３２Ｄ間の空隙部分に充填材３
６を配設しても、この充填材３６によりエネルギー発生
部３２Ｄの変形（変位）が妨げられるようなことはな
い。よって、充填材３６として低ヤング率の材料を用い
ることにより、低消費電力化を図ることができると共に
確実なインク吐出を行なうことができる。
【０１０４】更に、充填材３６として弾性及び耐インク
性のある材料を用いることにより、圧力室２９からイン
クが漏れ出すことを防止することができる。即ち、稀で
はあるが除去工程を実施することにより、開口部２４か
ら露出した振動板２３にピンホール等が形成されてしま
う場合がある。この場合、圧力室２９内のインクがピン
ホールから外に染み出し、エネルギー発生部３２Ｄ（特
に個別圧電体３４）の電気部分でショート等の不良が発
生するおそれがある。しかるに、振動板２３にピンホー
ルがあっても機能的には問題なく、よってインクの染み
出しさえ予防できればインクジェット記録ヘッドとして
その駆動に問題が発生するようなことはない。よって、
エネルギー発生部３２Ｄの駆動（変形，変位）を損なわ
ず、即ち低消費電力化を図りつつインクの染み出しを防
止することができる。
【０１０５】続いて、図１７及び図１８を用い、本発明
の第６実施例であるインクジェット記録ヘッドの製造方
法について説明する。尚、本実施例の説明において、前
記した第４及び第５実施例に係るインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法と同一工程についてはその説明を省略す
るものとする。また、以下説明する各実施例の説明にお
いても同様とする。
【０１０６】本実施例においても、先ずＭｇＯよりなる
基板２０上にスパッタリング法により電極層２１を形成
し、フォトエッチングによりアライメントマーク及び複
数の個別電極部２６を形成する（図１７（Ａ），
（Ｂ））。続いて、個別電極部２６が形成された電極層
２１上に、圧電体材料をスパッタリング法にて約３μm
の厚さで積層し、その後エッチングすることにより個別
圧電体３４及び枠体３５を形成する（図１７（Ｃ））。
【０１０７】前記した第５実施例では、個別圧電体３４
及び枠体３５を形成した後に充填材３６を配設する構成
としたが、本実施例では個別圧電体３４及び枠体３５を
形成した後に充填材３６を配設することなく、直接個別
圧電体３４及び枠体３５上に振動板３７を形成したこと
を特徴とする（図１７（Ｄ））。このように、充填材３
６を配設することなく振動板３７を形成することによ
り、振動板３７は個別圧電体３４の凹凸に従い、あたか
も波板のごとき断面形状を有した構成となる。尚、以降
の工程（図１８（Ｅ）〜（Ｈ））は第５実施例と同様で
あるため説明を省略する。
【０１０８】本実施例により製造されるインクジェット
記録ヘッドは、隣接されるエネルギー発生部３２Ｅの間
に振動板３７が介在した構成となる。よって、前記した
第５実施例により製造されるインクジェット記録ヘッド
に比べ、各エネルギー発生部３２Ｅの駆動は不良とな
る。しかるに、先に図９及び図１２に示したインクジェ
ット記録ヘッド４０Ｃ，４０Ｄのように圧電体２７が連
続した構成に比べると、良好な駆動を実現できる。
【０１０９】続いて、図１９及び図２０を用い、本発明
の第７及び第８実施例であるインクジェット記録ヘッド
の製造方法について説明する。第７及び第８実施例にお
いて、図１９（Ａ）〜（Ｆ）及び図２０（Ａ）〜（Ｆ）
に示す各工程は、前記した第５実施例の図１５（Ａ）〜
図１６（Ｆ）の工程と同一であるため、その説明は省略
する。
【０１１０】前記した各実施例（例えば、第５実施例）
では、除去工程を実施し基板２０に開口部２４を形成し
た後に第２の本体部半体２８Ｂを配設する構成としてい
た。これに対し、本実施例では接合工程を実施すること
により第１の本体部半体２８Ａに第２の本体部半体２８
Ｂを接合し本体部２８を形成した後に、除去工程を実施
し開口部２４を形成したことを特徴とするものである。
【０１１１】このように、接合工程を実施した後に除去
工程を実施することにより、除去工程において開口部２
４を形成する際、基板２０の背面側には本体部２８（第
１及び第２の本体部半体２８Ａ，２８Ｂ）が接合された
状態となっている。このため、開口部２４を形成する際
に基板２０に形成されているエネルギー発生部３２Ｄが
損傷することを防止でき、歩留り及び信頼性の向上を図
ることができる。
【０１１２】また、第７実施例では、ノズル板３０を第
２の本体部半体２８Ｂに予め配設した後に第１の圧力室
半体２８Ａに接合した構成とされており（図１９（Ｇ）
参照）、また第８実施例では、第２の本体部半体２８Ｂ
に第１の圧力室半体２８Ａを接合した後にノズル板３０
を第２の本体部半体２８Ｂに配設することとしている
（図２０（Ｇ），（Ｈ）参照）。このように、ノズル板
３０を本体部２８に配設する配設工程は、第１及び第２
の本体部半体２８Ａ，２８Ｂを接合する接合工程の前に
実施しても、また後に実施してもよい。
【０１１３】図２１は、本発明のた第５実施例であるイ
ンクジェット記録ヘッド４０Ｅを示している。尚、図２
において、先に図６を用いて説明した第２実施例に係る
インクジェット記録ヘッド４０Ｂと同一構成については
同一符号を付してその説明を省略する。前記した第２実
施例に係るインクジェット記録ヘッド４０Ｂは、本体部
２８がドライフィルムを積層することにより形成されて
いたが、本実施例に係るインクジェット記録ヘッド４０
Ｅは、本体部４２がノズル板３８上に積層した圧力室で
はなくシリコン基板等の板材にドライフィルムを積層す
ることにより本体部４２を形成することとしている。
【０１１４】そして、第２実施例で説明したと同様の条
件でドライフィルムを板材に接合・硬化した後、ノズル
板３８との接合面となるエッジをダイシングソーにて切
断する。本実施例では、基板２０の開口部２４の上面エ
ッジより0.1mm の距離をおいて切断した。尚、圧力室２
９とノズル３９を繋ぐインク吐出孔４１は、ドライフィ
ルムの形成時に既に形成しておく構成とした。
【０１１５】そして、この切断面にノズル板３８をアラ
イメントして接合することにより、図２１に示すインク
ジェット記録ヘッド４０Ｅを形成した。本実施例のよう
に、サイドシュート型のインクジェット記録ヘッド４０
Ｅであっても、低消費電力でかつ歩留りの高いヘッドを
容易に製造することができる。
【０１１６】
【発明の効果】上述の如く本発明によれば、次に述べる
種々の効果を実現することができる。請求項１記載の発
明によれば、薄くかつ微細化されたインク吐出エネルギ
ー発生部を高精度にかつ高信頼性をもって形成すること
ができるため、低消費電力化を図ることができると共
に、高解像度の印刷を可能とすることができる。
【０１１７】また、請求項２及び請求項１８記載の発明
によれば、薄いインク吐出エネルギー発生部を高精度に
かつ高信頼性をもって形成することができ、低消費電力
化及び印刷の高解像度化を図ることができる。また、イ
ンク吐出エネルギー発生部の開口部から露出した部分以
外は、基板に保護された状態が維持されるため、インク
吐出エネルギー発生部が薄型化されても、この保護を確
実に行なうことができる。
【０１１８】また、圧力室に平坦な振動板を配設するこ
とができるため、圧電体と振動板との密着性が良好で、
かつ、ばらつきの無い効率良い駆動を行いうるインクジ
ェット記録ヘッドを製造することができる。また、請求
項３記載の発明によれば、基板は第１の本体部材半体に
より補強された構成となるため、除去工程において開口
部を形成する際、開口部形成位置の背面側には第１の本
体部材半体が存在するため、インク吐出エネルギー発生
部が開口形成時に損傷することを防止することができ
る。
【０１１９】また、開口部形成位置の背面側に補強材と
して機能する第１の本体部材半体が存在するため、開口
部の形成後においてもインク吐出エネルギー発生部が損
傷することを防止することができる。また、請求項４記
載の発明によれば、開口部を形成する前において個別電
極が形成されているため、開口部を介して個別電極層を
分割する方法に比べて容易に個別電極を形成することが
できる。
【０１２０】また、請求項５記載の発明によれば、隣接
するインク吐出エネルギー発生部は完全に独立した構成
となるため、電圧印加した際にインク吐出エネルギー発
生部の変形性（駆動性）は向上し、これにより確実で応
答性のよいインク吐出を行なうことができる。また、請
求項６記載の発明によれば、内部歪みの少ないインク吐
出エネルギー発生部を形成することができ、製造される
インクジェット記録ヘッドの信頼性を向上させることが
できる。
【０１２１】また、請求項７記載の発明によれば、イン
ク吐出エネルギー発生部は圧力室外周部の基板により保
持されるため、インク吐出エネルギー発生部の強度を向
上させることができる。また、請求項８記載の発明によ
れば、必要とする格子定数を有したインク吐出エネルギ
ー発生部を形成することができ、良好な吐出エネルギー
を得ることができる。よって、信頼性の高い印字処理を
行なうことが可能となる。
【０１２２】また、請求項９記載の発明によれば、個別
電極層の分割位置を隣り合う圧力室の間位置に設定する
ことにより、この分割位置は圧力室ではなく基板上の位
置となるため、振動板に損傷を与えることを確実に防止
することができる。また、請求項１０記載の発明によれ
ば、インク吐出エネルギー発生部間の空隙部分に充填材
を配設し、平坦となった面上に振動板を形成すること
で、平坦でかつ曲げに対して拘束しない構成をえること
ができ、よって円滑なインク吐出を行なうことが可能と
なる。
【０１２３】また、請求項１１記載の発明によれば、除
去工程において開口部を形成する際、インク吐出エネル
ギー発生部間の充填材も同時に除去されるため、各イン
ク吐出エネルギー発生部は独立した構成となり、インク
吐出エネルギー発生部の駆動性の向上を図ることができ
る。また、請求項１２記載の発明によれば、充填材とし
て低ヤング率の材料を用いたことにより、インク吐出エ
ネルギー発生部間の空隙部分に充填材を配設しても、こ
の充填材によりインク吐出エネルギー発生部の変形（変
位）が妨げられるようなことはなく、確実なインク吐出
を行なうことができる。
【０１２４】また、請求項１３記載の発明によれば、充
填材として弾性及び耐インク性のある材料を用いたこと
により、充填材により圧力室からのインク漏れを防止す
ることができる。また、請求項１４記載の発明によれ
ば、除去工程において開口部を形成する際、基板の背面
側には本体部が接合された状態となっているため、開口
部を形成する際に基板に形成されているインク吐出エネ
ルギー発生部が損傷することを防止でき、歩留り及び信
頼性の向上を図ることができる。
【０１２５】また、請求項１７記載の発明によれば、イ
ンク吐出エネルギー発生部で発生する熱を効率よく放熱
することが可能となり、高速印字が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】プリンタ装置の一例の要部構成図である。
【図２】従来の一例であるインクジェット記録ヘッドの
部分切截した斜視図である。
【図３】本発明の第１実施例であるインクジェット記録
ヘッドの部分切截した斜視図である。
【図４】本発明の第１実施例であるインクジェット記録
ヘッドの製造方法を説明するための図である（その
１）。
【図５】本発明の第１実施例であるインクジェット記録
ヘッドの製造方法を説明するための図である（その
２）。
【図６】本発明の第２実施例であるインクジェット記録
ヘッドの部分切截した斜視図である。
【図７】本発明の第２実施例であるインクジェット記録
ヘッドの製造方法を説明するための図である（その
１）。
【図８】本発明の第２実施例であるインクジェット記録
ヘッドの製造方法を説明するための図である（その
２）。
【図９】本発明の第３実施例であるインクジェット記録
ヘッドの部分切截した斜視図である。
【図１０】本発明の第３実施例であるインクジェット記
録ヘッドの製造方法を説明するための図である（その
１）。
【図１１】本発明の第３実施例であるインクジェット記
録ヘッドの製造方法を説明するための図である（その
２）。
【図１２】本発明の第４実施例であるインクジェット記
録ヘッドの部分切截した斜視図である。
【図１３】本発明の第４実施例であるインクジェット記
録ヘッドの製造方法を説明するための図である（その
１）。
【図１４】本発明の第４実施例であるインクジェット記
録ヘッドの製造方法を説明するための図である（その
２）。
【図１５】本発明の第５実施例であるインクジェット記
録ヘッドの製造方法を説明するための図である（その
１）。
【図１６】本発明の第５実施例であるインクジェット記
録ヘッドの製造方法を説明するための図である（その
２）。
【図１７】本発明の第６実施例であるインクジェット記
録ヘッドの製造方法を説明するための図である（その
１）。
【図１８】本発明の第６実施例であるインクジェット記
録ヘッドの製造方法を説明するための図である（その
２）。
【図１９】本発明の第７実施例であるインクジェット記
録ヘッドの製造方法を説明するための図である。
【図２０】本発明の第８実施例であるインクジェット記
録ヘッドの製造方法を説明するための図である。
【図２１】本発明の第５実施例であるインクジェット記
録ヘッドの部分切截した斜視図である。
【符号の説明】
２０ 基板 ２１ 電極層 ２２ 圧電体層 ２３ 振動板 ２４ 開口部 ２５ 圧力室位置 ２６ 個別電極 ２７ 圧電体 ２８ 本体部 ２８Ａ 第１の本体部半体 ２８Ｂ 第２の本体部半体 ２９ 圧力室 ２９Ａ 第１の圧力室半体 ２９Ｂ 第２の圧力室半体 ３０，３８ ノズル板 ３１，３９ ノズル ３２Ａ〜３２Ｅ エネルギー発生部 ３４ 個別圧電体 ３５ 枠体 ３６ 充填材 ３７ 振動板膜 ４０Ａ〜４０Ｅ インクジェット記録ヘッド
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１０年１１月１３日（１９９８．１１．
１３）
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１７】
【図１６】
【図１８】
【図２１】
【図１９】
【図２０】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三上 知久 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF52 AF54 AF93 AG12 AG44 AG57 AG93 AP02 AP24 BA03 BA14

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 インクを吐出するノズルに対応して設け
    られており、内部にインクが充填される複数の圧力室が
    形成されてなる本体部と、 振動可能な材料により形成されており、前記圧力室の一
    の壁面を構成する振動板と、 前記圧力室と対応する前記振動板上に配設されており、
    前記振動板を変形することにより前記圧力室内のインク
    を前記ノズルから吐出させるインク吐出エネルギー発生
    部とを有するインクジェット記録ヘッドにおいて、 少なくとも前記インク吐出エネルギー発生部を薄膜形成
    技術を用いて形成したことを特徴とするインクジェット
    記録ヘッド。
  2. 【請求項２】 基板上に薄膜形成技術を用いて個別電極
    層，エネルギー発生層，振動層を順次形成することによ
    りインク吐出エネルギー発生部を形成するエネルギー発
    生部形成工程と、 前記基板の少なくとも前記インク吐出エネルギー発生部
    の変形領域に対応する領域を除去して開口部を形成する
    ことにより、前記基板から前記インク吐出エネルギー発
    生部を露出させる除去工程と、 予めインクを吐出するための圧力室が形成されてなる本
    体部材を前記振動層に接合する接合工程と前記圧力室と
    対応する位置にインクを吐出するノズル孔が形成される
    と共に、前記本体部材にノズル板を配設するノズル板配
    設工程と、 を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの
    製造方法。
  3. 【請求項３】 請求項２記載のインクジェット記録ヘッ
    ドの製造方法において、 前記接合工程は、 前記エネルギー発生部形成工程と前記除去工程との間に
    実施され、前記振動層上に、予めインクを吐出するため
    の第１の圧力室半体が形成されてなる第１の本体部材半
    体を接合する第１の接合工程と、 前記除去工程の終了後、予めインクを吐出するための第
    ２の圧力室半体が形成されてなる第２の本体部材半体を
    前記第１の本体部材半体に接合する第２の接合工程とよ
    りなることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製
    造方法。
  4. 【請求項４】 請求項１または２記載のインクジェット
    記録ヘッドの製造方法において、 前記エネルギー発生部形成工程は、 前記個別電極層を形成した後で、かつ前記エネルギー発
    生層を形成する前に、前記インク吐出エネルギー発生部
    の形成位置で前記個別電極層を分割し、個別電極を形成
    する分割工程を有することを特徴とするインクジェット
    記録ヘッドの製造方法。
  5. 【請求項５】 請求項１または２記載のインクジェット
    記録ヘッドの製造方法において、 前記エネルギー発生部形成工程は、 前記除去工程を終了した後に、前記開口部に露出した前
    記個別電極層と前記エネルギー発生層とを前記インク吐
    出エネルギー発生部の形成位置において共に分割し、個
    別電極を形成する分割工程を有することを特徴とするイ
    ンクジェット記録ヘッドの製造方法。
  6. 【請求項６】 請求項１または２記載のインクジェット
    記録ヘッドの製造方法において、 前記エネルギー発生部形成工程は、 前記除去工程を終了した後に、前記開口部に露出した前
    記個別電極層のみを前記インク吐出エネルギー発生部の
    形成位置において分割し、個別電極を形成する分割工程
    を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの
    製造方法。
  7. 【請求項７】 請求項６記載のインクジェット記録ヘッ
    ドの製造方法において、 前記エネルギー発生部形成工程で、 複数の前記圧力室にまたがるよう前記インク吐出エネル
    ギー発生部を形成することを特徴とするインクジェット
    記録ヘッド。
  8. 【請求項８】 基板上に薄膜形成技術を用いてインク吐
    出エネルギー発生部となるエネルギー発生層及び振動層
    を順次形成するエネルギー発生部形成工程と、 前記基板の少なくとも前記インク吐出エネルギー発生部
    の変形領域に対応する領域を除去して開口部を形成する
    ことにより、前記基板から前記インク吐出エネルギー発
    生部を露出させる除去工程と、 該除去工程の終了後、前記開口部を介して前記インク吐
    出エネルギー発生部と対応する位置に個別電極を形成す
    る個別電極形成工程と、 予めインクを吐出するための圧力室が形成されてなる本
    体部材を前記振動板に接合する接合工程とを有すること
    を特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  9. 【請求項９】 請求項４乃至７のいずれかに記載のイン
    クジェット記録ヘッドの製造方法において、 前記分割工程で前記分割処理を行なう分割位置を、隣り
    合う前記圧力室の間位置に設定したことを特徴とするイ
    ンクジェット記録ヘッドの製造方法。
  10. 【請求項１０】 基板上に薄膜形成技術を用いて個別電
    極層を形成する個別電極形成工程と、少なくとも前記個
    別電極層上に個別エネルギー発生層を形成する個別エネ
    ルギー発生層形成工程と、前記個別エネルギー発生層形
    成工程で形成された前記個別エネルギー発生層間の空隙
    部分に充填材を配設する充填工程と、前記充填工程終了
    後に、前記個別エネルギー発生層及び前記充填材の上部
    に振動層を形成する振動層形成工程とを実施することに
    よりインク吐出エネルギー発生部を形成するエネルギー
    発生部形成工程と、 前記基板の少なくとも前記インク吐出エネルギー発生部
    の変形領域に対応する領域を除去して開口部を形成する
    ことにより、前記基板から前記インク吐出エネルギー発
    生部を露出させる除去工程と、 予めインクを吐出するための圧力室が形成されてなる本
    体部材を前記振動板に接合する接合工程とを有すること
    を特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  11. 【請求項１１】 請求項１０記載のインクジェット記録
    ヘッドの製造方法において、 前記充填材として、前記基板と同一材料を用いたことを
    特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  12. 【請求項１２】 請求項１０記載のインクジェット記録
    ヘッドの製造方法において、 前記充填材として、ヤング率が前記エネルギー発生層の
    材料よりも小さく、９０ＧＰａ以下であるものを用いた
    ことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方
    法。
  13. 【請求項１３】 請求項１０乃至１２のいずれかに記載
    のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、 前記充填材として、弾性及び耐インク性のある材料を用
    いたことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造
    方法。
  14. 【請求項１４】 請求項１記載のインクジェット記録ヘ
    ッドの製造方法において、 前記接合工程を実施した後に、前記除去工程を実施する
    ことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方
    法。
  15. 【請求項１５】 請求項２乃至１４のいずれかに記載の
    インクジェット記録ヘッドの製造方法において、 前記ノズル板配設工程を前記接合工程の前に実施するこ
    とを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  16. 【請求項１６】 請求項２乃至１４のいずれかに記載の
    インクジェット記録ヘッドの製造方法において、 前記ノズル板配設工程を前記接合工程の後に実施するこ
    とを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  17. 【請求項１７】 請求項２乃至１６のいずれかに記載の
    インクジェット記録ヘッドの製造方法において、 更に、前記除去工程を実施した後に、前記基板に形成し
    た開口部に熱伝達性の高い材料を配設する放熱部形成工
    程を実施することを特徴とするインクジェット記録ヘッ
    ドの製造方法。
  18. 【請求項１８】 圧力室と圧電体からなり、電気信号に
    より前記圧電体を変形させて、前記圧力室内部のインク
    を吐出させるインクジェット記録ヘッドにおいて、 前記圧電体を基板上に薄膜形成技術を用いて成長させる
    成長工程と、 前記圧電体の変形する部分の周囲の基板を残し、前記圧
    電体の変形する部分の基板を除去する除去工程とにより
    形成された圧電体を用いたことを特徴とするインクジェ
    ット記録ヘッド。
  19. 【請求項１９】 圧力室と圧電体からなり、電気信号に
    より前記圧電体を変形させて、前記圧力室内部のインク
    を吐出させるインクジェット記録ヘッドを用いたプリン
    タ装置において、 前記圧電体を基板上に薄膜形成技術を用いて成長させる
    成長工程と、 前記圧電体の変形する部分の周囲の基板を残し、前記圧
    電体の変形する部分の基板を除去する除去工程とにより
    形成された圧電体を用いたインクジェット記録ヘッドを
    有することを特徴とするプリンタ装置。
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