JP2000117477A - レーザ加工機 - Google Patents
レーザ加工機Info
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- JP2000117477A JP2000117477A JP10315412A JP31541298A JP2000117477A JP 2000117477 A JP2000117477 A JP 2000117477A JP 10315412 A JP10315412 A JP 10315412A JP 31541298 A JP31541298 A JP 31541298A JP 2000117477 A JP2000117477 A JP 2000117477A
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Abstract
1のレーザ光路RKの途中に、カートリッジ装着部30
を形成し、このカートリッジ装着部30に集光レンズ装
着用の開口部30bを形成し、前記カートリッジ装着部
30に、集光レンズ33を備えたレンズカートリッジ3
1を、開口部30bを介して着脱自在に設けて構成す
る。
Description
ークの切断加工を行うことのできるレーザ加工機に関す
る。
使用されており、このようなレーザ加工機に共通の課題
として更なる加工の高速化が望まれている。加工の高速
化は、加工ヘッドを動かして実際にワークの切断を行う
加工工程での高速化、或いは集光レンズなどを点検又は
交換するといったメンテナンス工程での高速化によって
実現されるものである。
加工の高速化が望まれており、本発明は加工の高速化を
実現するレーザ加工機を提供することを目的とする。
発明は、レーザ光(RZ)が通過自在なレーザ光路(R
K)が内部に形成された加工ヘッド本体(11)及び、
該加工ヘッド本体(11)に設けられ、前記レーザ光路
(RK)を通過したレーザ光(RZ)を外部に射出する
トーチ(26)を有したレーザ加工機(1)において、
前記加工ヘッド本体(11)の前記レーザ光路(RK)
の途中に、集光レンズ装着部(30)を形成し、前記集
光レンズ装着部(30)に集光レンズ装着口(30b)
を形成し、前記集光レンズ装着部(30)に、集光レン
ズ(33)を、前記集光レンズ装着口(30b)を介し
て着脱自在に設けて構成される。
明によるレーザ加工機において、前記加工ヘッド本体
(11)の前記レーザ光路(RK)は、少なくとも1箇
所の光路屈曲部(KP1、KP2)を有しており、前記
各光路屈曲部(KP1、KP2)は反射ミラー(13、
23)を、該光路屈曲部(KP1、KP2)に進入する
レーザ光(RZ)を所定の方向に反射させる形で有し、
少なくとも1箇所の前記光路屈曲部(KP2)は、前記
レーザ光路(RK)上において、前記集光レンズ装着部
(30)と前記トーチ(26)の間に配置した。
明によるレーザ加工機において、前記加工ヘッド本体
(11)は、第1ヘッド部(12)及び、一方の側で該
第1ヘッド部(12)に、所定の回転軸(CT2)を中
心に前記第1ヘッド部(12)に対して回転自在な形で
接続され、かつ他方の側で前記トーチ(26)と接続さ
れた第2ヘッド部(20)を有しており、前記少なくと
も1箇所の光路屈曲部(KP2)は、該光路屈曲部(K
P2)の前記反射ミラー(23)が前記所定の回転軸
(CT2)と交差する形で前記第2ヘッド部(20)に
配置した。
明によるレーザ加工機において、前記集光レンズ装着部
(30)は、前記第2ヘッド部(20)に形成されてい
る。
応する要素を示す便宜的なものであり、従って、本記述
は図面上の記載に限定拘束されるものではない。
レンズの集光レンズ装着部に対する着脱は集光レンズ装
着口を介して行えるので、集光レンズの点検や交換など
を行うメンテナンス時には、従来のようにトーチ(或い
は加工ヘッド本体)等を分解する必要なく、集光レンズ
の着脱が簡単に行える。これによりメンテナンス工程に
かかる時間が短縮され、加工の高速化が実現する。
発明による効果に加えて以下の効果を生む。即ち、トー
チから射出されたレーザ光がワークに当たって反射して
くる紫外線等は該トーチ中に戻ってくる。しかし、この
紫外線等は集光レンズ装着部の集光レンズに到達する前
に、集光レンズ装着部とトーチの間に少なくとも1箇所
配置された光路屈曲部の反射ミラーに照射され、この反
射ミラーで紫外線等のエネルギーが吸収されるので、こ
の紫外線等は集光レンズに極力到達せず(或いは到達し
ても集光レンズに極力エネルギーを与えず)、従って、
集光レンズにスパッタが付着することが防止される。こ
れにより集光レンズのメンテナンスサイクルを長くで
き、その分、メンテナンスに時間をとられないので更な
る加工の高速化が実現する。また、集光レンズにスパッ
タが付着することが防止されるため、加工性能の低下が
防止され好都合である。
発明による効果に加えて以下の効果を生む。即ち、集光
レンズから、トーチの前方に形成されるレーザ光の焦点
までの距離は、所定の焦点距離を確保する必要があるた
め短縮が困難であるが、本発明のように集光レンズ(集
光レンズ装着部)とレーザ光の焦点の間に反射ミラーを
設け、集光レンズ(集光レンズ装着部)と反射ミラーと
の間の距離を確保することで、該反射ミラーからレーザ
光の焦点までの距離を極力短縮できる。また、レーザ光
の焦点を所定の回転軸を中心にして回転移動させる場合
の回転半径は、前記所定の回転軸と交差する形で配置さ
れた反射ミラーから前記レーザ光の焦点までの、該所定
の回転軸に直角な方向の距離となるので、本発明の場合
にはこの回転半径を極力小さくできるようになってい
る。これにより、トーチ等の旋回移動において小回りが
きき、加工工程での高速化が実現し、高速な加工が実現
する。また通常では、加工ヘッド本体(第1ヘッド部
側)がワークに対して限られたストローク内でのみ移動
できることから、本発明では上述したようにトーチ等の
移動において小回りがきくので、その分、最大加工ワー
ク寸法が大きくなり、ワーク加工上のデッドゾーンが削
減されるという利点もある。
発明による効果に加えて、集光レンズ装着部の清掃や修
理は第2ヘッド部を第1ヘッド部より取り外して行うこ
とができるので作業がスムーズに行える。これによりメ
ンテナンスに時間をとられないので更なる加工の高速化
が実現する。
を従来のものと比較することにより、本発明をよりよく
理解するため、まず従来のレーザ加工機の一例を図を参
照して簡単に説明しておく。図6は従来のレーザ加工機
の一例を示した図であり、図6(a)はその加工ヘッド
本体付近を示した側面図、図6(b)は加工ヘッド本体
の移動量を説明する模式図、図6(c)は最大加工ワー
ク寸法を説明する模式図である。
ザ加工機の加工ヘッド本体は、例えば図6に示すレーザ
加工機50の加工ヘッド本体51のように構成されてい
る。即ち加工ヘッド本体51は、所定のY軸方向に移動
自在な図示しないサドル側に設けられた上下方向のスリ
ーブ部材52及び、該スリーブ部材52の先端に設けら
れた回転先端部材53及び、該回転先端部材53に設け
られたトーチ56で構成されている。スリーブ部材52
は図示しないサドルに対して該スリーブ部材52の中心
軸CT1(所定のZ軸に平行な軸)を中心に図の矢印
G、H方向に回転駆動自在となっており、回転先端部材
53はスリーブ部材52に対して、中心軸CT1に直角
な中心軸CT2を中心に図の矢印J、K方向に回転駆動
自在となっている。トーチ56は中心軸CT2に直角な
方向に伸びている。
心軸CT1に沿って矢印F方向に進み、該スリーブ部材
52中の第1ミラー52aで反射され中心軸CT2に沿
って進み回転先端部材53まで供給される。また回転先
端部材53に供給されたレーザ光RZは、該回転先端部
材53中の第2ミラー53aで反射され該中心軸CT2
に直角な方向にトーチ56に供給され、該トーチ56の
先端から外部に射出されるようになっている。集光レン
ズ57は回転先端部材53中で、第2ミラー53aより
トーチ56側の位置に設けられており、該集光レンズ5
7を通ったレーザ光RZはトーチ56の外部前方で焦点
FCを形成するようになっている。
な従来のレーザ加工機では以下に述べる(1)(2)
(3)(4)のような不都合があった。
を取り出すには、トーチ56等を分解・調整するなどの
複雑な作業が必要であった。そのためメンテナンスに多
大な手間と時間がかかっていた。これによりメンテナン
ス工程での時間がかかり、加工の高速化が妨げられてい
た。
されると紫外線等が該ワークから反射され、トーチ56
中の集光レンズ57に照射される。これにより集光レン
ズ57にスパッタが付着する。スパッタの付着により集
光レンズ57の点検や交換が頻繁に必要になると、その
分、メンテナンスに要する時間がかかり加工の高速化が
妨げられる。また、スパッタ付着により加工性能が低下
するといった不都合も生じる。
に、ポジションP1でワーク70の一方の側部70aを
加工した後、加工ヘッド本体51をポジションP2に水
平移動させて、この側部70aに背向(図6ではY軸方
向に背向)した他方の側部70bを加工するような場
合、図示しないサドル或いはテーブルを移動させること
により加工ヘッド本体51(スリーブ部材52)を移動
させる移動量のうち、側部70a、70bの背向方向
(図6ではY軸方向)における移動量M1は、側部70
a、70b間の距離W1に、第2ミラー53a(回転中
心)から焦点FCまでの距離L10の2倍を加えた量で
あることが知られている。従って、この移動量M1をな
るべく小さくして軸の高速化を実現し、高速な加工を実
現するには距離L10をなるべく小さくし、小回りのき
く構造としたい。しかし、この距離L10のうち集光レ
ンズ57から焦点FCまでの距離は焦点距離であり所定
の大きさを確保する必要があることから距離L10を短
縮することは困難であった。
る側部70a、70bを加工するのに加工ヘッド本体5
1を上述した移動量M1だけ移動させねばならないとい
うことは、図6(c)に示すように加工ヘッド本体51
がY軸方向に移動できる最大ストローク(図示しないサ
ドルの最大移動ストローク)が最大ストロークSTであ
るなら、側部70a、70bを加工可能なワーク70の
最大加工ワーク寸法(距離W1)は、最大ストロークS
Tから距離L10の2倍を減じた大きさとなる。従っ
て、この最大加工ワーク寸法をなるべく大きく、またデ
ッドゾーンの削減を実現するには距離L10をなるべく
小さくしたい。しかし、既に上述したようにこの距離L
10を短縮することは困難であった。
できる本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。図
1は本発明によるレーザ加工機の一例を示した全体斜視
図、図2は図1のレーザ加工機における加工ヘッド本体
付近を示した側断面図(一部側面図)、図3はレンズカ
ートリッジの着脱を説明した加工ヘッド本体付近の斜視
図、図4は加工ヘッド本体の移動量を説明する模式図、
図5は、最大加工ワーク寸法を説明する模式図である。
2を有しており、ベース2には、上面に水平なワーク設
置面3aが形成されたテーブル3が、水平方向である図
の矢印A、B方向(X軸方向)に移動駆動自在に設けら
れている。ベース2には、前記テーブル3を、上述した
矢印A、B方向とは直角な矢印C、D方向(Y軸方向)
に跨ぐ形でコラム5が設けられており、コラム5にはサ
ドル用レール5a、5a等を介してサドル6が、該サド
ル用レール5a、5aに沿って矢印C、D方向に移動駆
動自在に設けられている。またコラム5には、前記サド
ル6よりも図1の矢印B側(即ち図1の紙面奥側)の位
置において、図示しないレーザ発振器が設けられてお
り、このレーザ発振器とサドル6の間は、該サドル6の
動きに合わせて移動・伸縮等が自在になった公知の光路
管であるレーザ光路管7によって接続されている。
ル等を介して、該サドル6に対し、矢印A、B方向(X
軸方向)及び矢印C、D方向(Y軸方向)に直角で鉛直
な矢印E、F方向(Z軸方向)に移動駆動自在な形で加
工ヘッド本体11が設けられている。加工ヘッド本体1
1は、上述したサドル6に対して矢印E、F方向(Z軸
方向)に移動自在に設けられた形のスリーブ部材12を
有しており、スリーブ部材12は矢印E、F方向(Z軸
方向)に伸延した形になっている。なおサドル6に接続
されているレーザ光路管7とスリーブ部材12の間は、
サドル6に対する該スリーブ部材12の動きに合わせて
伸縮等が自在になった公知の光路管であるサドル側光路
管9によって接続されている。スリーブ部材12は、図
2に示すように、基本的に外スリーブ12aと内スリー
ブ12bとで構成されており、外スリーブ12aの内側
に円筒形の内スリーブ12bが入り子状に挿入されてい
る。この外スリーブ12aは、図示しないモータ及び適
宜な動力伝達機構により、サドル6に対して、Z軸に平
行な所定の中心軸CT1を中心に矢印G、H方向(A軸
方向)に軸回転駆動自在となっており、また内スリーブ
12bは、図示しないモータ及び適宜な動力伝達機構に
より、外スリーブ12aに対して前記中心軸CT1を中
心に矢印G、H方向(A軸方向)に軸回転駆動自在な形
で配置されている。
示すように、該スリーブ部材12の側部に配置された形
で回転先端部材20が設けられており、回転先端部材2
0のうち図2左端側は、前記中心軸CT1と直角な中心
軸CT2を中心とした基本的に円筒形に形成された円筒
部21となっている。円筒部21はスリーブ部材12の
外スリーブ12aに対して中心軸CT2を中心に図の矢
印J、K方向(B軸方向)に回転自在に軸支されてお
り、円筒部21の端部側(図2の紙面左側)は外スリー
ブ12a内に嵌入している。この円筒部21の端部側に
は傘歯車21aが設けられており、上述した内スリーブ
12bの下端(外スリーブ12a内に存在)にも傘歯車
12cが設けられている。これら円筒部21の傘歯車2
1aと内スリーブ12bの傘歯車12cは互いに噛合し
ている。即ち、内スリーブ12bの中心軸CT1を中心
とした矢印G、H方向における回転により、上述した傘
歯車12c、21aを介して回転先端部材20が中心軸
CT2を中心として矢印J、K方向に回転駆動されるよ
うになっている。なお、回転先端部材20は、中心軸C
T2に直角な図2の矢印T方向に向いた形でトーチ取付
部22を有しており、該トーチ取付部22には矢印T方
向に伸延した形のトーチ26が接続して設けられてい
る。
ザ発振器により発振されたレーザ光RZは、レーザ光路
管7及びサドル側光路管9を介して加工ヘッド本体11
内に形成されたレーザ光路RKに進入し、該レーザ光路
RK内を通過する。まずレーザ光RZは、スリーブ部材
12におけるレーザ光路RKである内スリーブ12b内
を中心軸CT1に沿って進み、該スリーブ部材12の先
端付近(図2では内スリーブ12bの下方外側で外スリ
ーブ12aの内部)に設けられている第1ミラー13で
反射されて中心軸CT2に沿って進み回転先端部材20
に供給される(即ち、第1ミラー13の部位ではレーザ
光路RKは直角に屈曲した光路屈曲部KP1となってい
る)。回転先端部材20に供給されたレーザ光RZは、
該転先端部材20内のレーザ光路RK、即ち円筒部21
内を中心軸CT2に沿って進み、回転先端部材20のう
ち該円筒部21の図2紙面右側に、中心軸CT2と交差
した形で設けられている第2ミラー23で反射されて中
心軸CT2に直角な矢印T方向に進みトーチ26に供給
される(即ち、第2ミラー23の部位ではレーザ光路R
Kは直角に屈曲した光路屈曲部KP2となっている)。
トーチ26に供給されたレーザ光RZは、該トーチ26
を介して矢印T方向外部に射出されるようになってい
る。
図3に示すように、円筒部21の図2紙面右側に隣接し
た形で、従って円筒部21と第2ミラー23との間の位
置にカートリッジ装着部30が形成されている。カート
リッジ装着部30内にはレンズ設置空間30aが形成さ
れており、該レンズ設置空間30aはレーザ光路RK上
に位置している。カートリッジ装着部30の側部には開
口部30bが形成されており、レンズ設置空間30aは
該開口部30bを介して前記中心軸CT2に直角な方向
(図3の矢印P方向)に外部に開口している。図2で
は、カートリッジ装着部30にはレンズカートリッジ3
1が着脱自在に装着されており、レンズカートリッジ3
1はレンズ設置空間30aに整合挿入された環状のレン
ズフレーム部32を有している。このレンズフレーム部
32はレンズ設置空間30aに対し図3の矢印P、Q方
向に抜き取り・挿入自在になっている。
が設置されており、レンズフレーム部32がレンズ設置
空間30aに挿入された状態で該集光レンズ33は、レ
ーザ光路RK上に配置されるようになっている。レンズ
フレーム部32の側部には蓋部35が設けられており、
レンズフレーム部32がレンズ設置空間30aに挿入さ
れた状態では、該蓋部35はレンズ設置空間30aの外
部に配置され、開口部30bを確実に塞いだ状態にな
る。即ち、この蓋部35によりレンズ設置空間30a内
への塵埃等の進入を防止できる。また、この蓋部35は
レンズカートリッジ31を着脱させる際のつまみとして
の役割も有している。
ーチ26等にアシストガスを供給するアシストガス供給
手段が設けられており、またトーチ26には、ワークま
での距離を検地する距離センサ等が設けられており、そ
の他、各種の部材が設けられているが、本発明とは直接
関係ないので図示及び説明は省略している。
ているので、該レーザ加工機1により三次元立体的なワ
ーク70を加工するには、図1に示すようにテーブル3
のワーク設置面3aにワーク70を設置しておき、テー
ブル3を矢印A、B方向(X軸方向)に移動駆動させ、
またサドル6を移動駆動手段を介して矢印C、D方向
(Y軸方向)に移動駆動させ、また加工ヘッド本体11
を矢印E、F方向(Z軸方向)に移動駆動させ、更に加
工ヘッド本体11のうちスリーブ部材12を矢印G、H
方向に回転駆動させ、また第1スリーブ部材12に対し
て回転先端部材20を矢印J、K方向に回転駆動させる
ことにより、トーチ26の先端とワーク70との相対位
置をX軸、Y軸、Z軸による三次元座標上で三次元的に
変化させると共に、ワーク70に対するトーチ26の先
端の角度を三次元的に変化させるようにする。
ク70との相対位置を三次元的に変化させると共に、ワ
ーク70に対するトーチ26の先端の角度を三次元的に
変化させながら、トーチ26の先端からレーザ光RZを
射出するようにしてワーク70への加工が施される。レ
ーザ光RZは、回転先端部材20中のカートリッジ装着
部30におけるレンズ設置空間30a内を通過する際
に、該カートリッジ装着部30に装着されたレンズカー
トリッジ31の、レンズ設置空間30a内に配置された
集光レンズ33を通過することにより集光され、トーチ
26の外部で焦点FCを形成する。この焦点FCをワー
ク70における加工位置に合わせる形で加工を行う。
Zの焦点FCまでのレーザ光路RK上の距離は、所定の
焦点距離を確保する必要があるため短縮が困難である
が、集光レンズ33と第2ミラー23との間の距離を確
保することで該第2ミラー23から焦点FCまでの距離
L1を極力短縮できる。レーザ光RZの焦点FCを中心
軸CT2を中心にして回転移動させる場合の回転半径は
上述した距離L1であるので、本実施例の場合には前記
回転半径を極力小さくできるようになっている。これに
より、トーチ26等の移動において小回りがきき、高速
な移動により加工工程での高速化が実現し、高速な加工
が実現する。また通常では、加工ヘッド本体11がワー
ク70に対して限られたストローク内でのみ移動できる
ことから、本実施例では上述したようにトーチ26等の
移動において小回りがきくので、その分、最大加工ワー
ク寸法が大きくなり、ワーク加工上のデッドゾーンが削
減されるという利点もある。
ポジションP1でトーチ26を水平方向(図4では矢印
D方向)に向けワーク70の一方の側部70aを加工し
た後、この側部70aに対して水平方向(図4ではY軸
方向)に背向した他方の側部70bを加工する場合に
は、まずスリーブ部材12を中心軸CT1を中心に矢印
G、H方向に180度回転させる(或いは、回転先端部
材20を中心軸CT2を中心に矢印J、K方向に180
度回転させてもよい)。これによりトーチ26の向き
は、側部70aを加工していた状態での向き(図4では
矢印D方向)と反対の向きになった。次いで、ワーク7
0に対して加工ヘッド本体11を水平方向に移動(即
ち、サドル6のY軸方向での移動或いはテーブル3のX
軸方向での移動により行う)させて所定のポジションP
2に位置決め配置する。これによりトーチ26がワーク
70の側部70bを向いた形で配置された。ところでポ
ジションP2に移動する際の加工ヘッド本体11の移動
量のうち、側部70a,70bの背向方向(図4ではY
軸方向)における移動量M2は、側部70a、70b間
の距離W1(図4ではY軸方向の距離)に、第2ミラー
23(具体的には回転中心である中心軸CT2との交点
位置K1)から焦点FCまでの距離L1の2倍を加えた
量となる。上述したように本実施例では距離L1を極力
小さくできるので、移動量M2をなるべく小さくし、軸
の高速化を実現し、高速な加工を実現することができ
る。
向)に背向する側部70a、70bを加工する際に、加
工ヘッド本体11をこの背向方向に上述した移動量M2
だけ移動させねばならないということは、図5に示すよ
うに加工ヘッド本体11がテーブル3に対してY軸方向
(或いはX軸方向)に相対移動できる最大ストロークが
最大ストロークSTであるなら、側部70a、70bを
加工可能なワーク70の最大加工ワーク寸法(距離W
1)は、該最大ストロークSTから距離L1の2倍を減
じた大きさとなる。上述したように本実施例のレーザ加
工機1では距離L1の短縮が簡単に実現するので、この
最大加工ワーク寸法を従来のもの(例えば図5の70
x)よりなるべく大きくし、またデッドゾーンの削減を
容易に実現することができる。
ク70にレーザ光RZが射出された際に紫外線等が該ワ
ーク70から反射され、トーチ26中に進入してくる
が、この紫外線等は第2ミラー23に照射吸収され、集
光レンズ33に照射されることは極力防止される。これ
により集光レンズ33にスパッタが付着することは防止
され、加工性能の低下がなく信頼性が高い。またミラー
等に比べて高価な集光レンズをすぐに破損させてしまわ
ずに済み好都合である。
テナンス時等に集光レンズ33を着脱する際には、回転
先端部材20のカートリッジ装着部30に対してレンズ
カートリッジ31を着脱させればよく(或いは別の例と
してレンズフレーム部32等を設けず集光レンズ33を
カートリッジ装着部30等に直接着脱させるような構成
としてもよい)、従来のようにトーチ等を分解・調整す
るなどの複雑な作業が不要である。これによりメンテナ
ンスに手間と時間をかけずに済み好都合である。
1は三次元レーザ加工機であったが、本発明の請求項1
及び2に係わる発明は、トーチの向きが下向等の一定な
向きに固定されている二次元レーザ加工機に採用するこ
ともできる。
た全体斜視図である。
本体付近を示した側断面図(一部側面図)である。
工ヘッド本体付近の斜視図である。
式図である。
である。
あり、図6(a)はその加工ヘッド本体付近を示した側
面図、図6(b)は加工ヘッド本体の移動量を説明する
模式図、図6(c)は最大加工ワーク寸法を説明する模
式図である。
Claims (4)
- 【請求項1】レーザ光が通過自在なレーザ光路が内部に
形成された加工ヘッド本体及び、該加工ヘッド本体に設
けられ、前記レーザ光路を通過したレーザ光を外部に射
出するトーチを有したレーザ加工機において、 前記加工ヘッド本体の前記レーザ光路の途中に、集光レ
ンズ装着部を形成し、 前記集光レンズ装着部に集光レンズ装着口を形成し、 前記集光レンズ装着部に、集光レンズを、前記集光レン
ズ装着口を介して着脱自在に設けて構成したレーザ加工
機。 - 【請求項2】前記加工ヘッド本体の前記レーザ光路は、
少なくとも1箇所の光路屈曲部を有しており、 前記各光路屈曲部は反射ミラーを、該光路屈曲部に進入
するレーザ光を所定の方向に反射させる形で有し、 少なくとも1箇所の前記光路屈曲部は、前記レーザ光路
上において、前記集光レンズ装着部と前記トーチの間に
配置したことを特徴とする請求項1記載のレーザ加工
機。 - 【請求項3】前記加工ヘッド本体は、第1ヘッド部及
び、一方の側で該第1ヘッド部に、 所定の回転軸を中心に前記第1ヘッド部に対して回転自
在な形で接続され、かつ他方の側で前記トーチと接続さ
れた第2ヘッド部を有しており、 前記少なくとも1箇所の光路屈曲部は、該光路屈曲部の
前記反射ミラーが前記所定の回転軸と交差する形で前記
第2ヘッド部に配置したことを特徴とする請求項2記載
のレーザ加工機。 - 【請求項4】前記集光レンズ装着部は、前記第2ヘッド
部に形成されていることを特徴とする請求項3記載のレ
ーザ加工機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31541298A JP3816248B2 (ja) | 1998-10-19 | 1998-10-19 | レーザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31541298A JP3816248B2 (ja) | 1998-10-19 | 1998-10-19 | レーザ加工機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2000117477A true JP2000117477A (ja) | 2000-04-25 |
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- 1998-10-19 JP JP31541298A patent/JP3816248B2/ja not_active Expired - Lifetime
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