JP2000114034A5 - - Google Patents

Description

本発明のステージ装置は、ステージ（３８）を所定の移動面に沿って移動させるステージ装置であって、前記ステージ（３８）を駆動する請求項１〜４のいずれかに記載の電磁アクチュエータ（２４、２６、３２、３４）を含む駆動装置（１０）と；前記電磁アクチュエータ（２４、２６、３２、３４）の前記冷却空間（８３Ａ）及び前記断熱空間（８３Ｂ）に、それぞれ冷媒を供給する冷媒供給装置（７１Ａ、７１Ｂ）とを備える。

これによれば、冷媒供給装置が、本発明の冷却空間及び断熱空間に、それぞれ冷媒を供給しつつ、駆動装置が本発明の電磁アクチュエータによってステージを移動させる駆動力を発生するので、電磁アクチュエータのコイルの冷却と断熱とが効率良く行われ、ステージの周囲の空気に熱による揺らぎやステージの熱膨張を抑制しつつステージを駆動することができる。したがって、ステージの位置制御を精度良く行うことができる。
この場合において、冷却空間に供給する冷媒と、断熱空間に供給する冷媒とは互いに異なる物性を有するものとすることができる。また、冷媒供給装置は、冷却空間と断熱空間とに、それぞれ異なる流速で冷媒を供給することもできる。また、本発明に係る第二の電磁アクチュエータは、電機子コイル（８４Ａ ₁ 、…、８４Ｂ ₁ 、…）と、その電機子コイルを内部空間に収納する収納部材（８０）とを備える電磁アクチュエータにおいて、その内部空間の少なくとも一部を、電機子コイルが配置される第一空間（８３Ａ）と、第一空間以外の第二空間（８３Ｂ）とに分割する仕切り部材（８１、８１ ₁ 、８１ ₂ ）を備えるものである。これによれば、内部空間が第一空間と第二空間とに分割されるので、電機子コイルの発熱が外部空間に伝達するのを効果的に抑制することができる。この場合において、第一空間は電機子コイルを包囲するよう形成され、第二空間は第一空間を包囲するよう形成されたものとすることができる。また、第一空間および第二空間にそれぞれ液体が導入されてもよい。また、本発明に係る第三の電磁アクチュエータは、電機子コイル（８４Ａ ₁ 、…、８４Ｂ ₁ 、…）と、その電機子コイルを内部空間に収納する収納部材（８０）とを備える電磁アクチュエータにおいて、その電機子コイルとその収納部材との間に内部空間を区画する仕切り部材（８１、８１ ₁ 、８１ ₂ ）を備えるものである。これによれば、内部空間が複数の空間に区画されるので、電機子コイルの発熱が外部空間に伝達するのを効果的に抑制することができる。この場合において、仕切り部材は、内部空間を、電機子コイルに沿って延在する空間（８３Ａ）と、収納部材に沿って延在する空間（８３Ｂ、８３Ｂ ₁ 、８３Ｂ ₂ 、…）とに区画するものとすることができる。また本発明の他のステージ装置は、ステージ（３８）を所定の移動面に沿って移動させるステージ装置であって、本発明に係る第二または第三の電磁アクチュエータ（２４、２６、３２、３４）を含み、ステージを駆動する駆動装置（１０）と、その電磁アクチュエータの内部空間に、冷媒を供給する冷媒供給装置（７１Ａ、７１Ｂ）とを備えるものである。これによれば、駆動装置から外部への放熱を効果的に抑制することができ、ステージの移動性能を高く維持することができる。

Claims (13)

1. 内部空間を有し、該内部空間に電機子コイルを収納する電機子ユニットを備える電磁アクチュエータにおいて、
   前記内部空間には、前記電機子コイルを収納し、少なくとも一部が冷却される冷却空間と、前記内部空間を外部空間と断熱する断熱空間とを形成する仕切り部材が配設されていることを特徴とする電磁アクチュエータ。
2. 前記冷却空間は所定方向に延びた空間であり、少なくとも前記所定方向に直交する任意の断面で見たときに、前記冷却空間は前記断熱空間によって取り囲まれていることを特徴とする請求項１に記載の電磁アクチュエータ。
3. 前記冷却空間には冷媒が供給され、前記仕切り部材の前記冷却空間側の壁面は、少なくともその壁面に沿った前記冷媒の流れが乱流となる表面粗さとされていることを特徴とする請求項１に記載の電磁アクチュエータ。
4. 前記仕切り部材の前記断熱空間側の壁面は、鏡面加工されていることを特徴とする請求項１に記載の電磁アクチュエータ。
5. ステージを所定の移動面に沿って移動させるステージ装置であって、
   請求項１〜４のいずれかに記載の電磁アクチュエータを含み、前記ステージを駆動する駆動装置と；
   前記電磁アクチュエータの前記冷却空間及び前記断熱空間に、それぞれ冷媒を供給する冷媒供給装置とを備えるステージ装置。
6. 前記冷却空間に供給する冷媒と、前記断熱空間に供給する冷媒とは互いに異なる物性を有することを特徴とする請求項５に記載のステージ装置。
7. 前記冷媒供給装置は、前記冷却空間と前記断熱空間とに、それぞれ異なる流速で冷媒を供給することを特徴とする請求項５又は６に記載のステージ装置。
8. 電機子コイルと、前記電機子コイルを内部空間に収納する収納部材とを備える電磁アクチュエータにおいて、
   前記内部空間の少なくとも一部を、前記電機子コイルが配置される第一空間と、前記第一空間以外の第二空間とに分割する仕切り部材を備える電磁アクチュエータ。
9. 前記第一空間は前記電機子コイルを包囲するよう形成され、前記第二空間は前記第一空間を包囲するよう形成される請求項８に記載の電磁アクチュエータ。
10. 前記第一空間および前記第二空間にそれぞれ液体が導入される請求項８又は９に記載の電磁アクチュエータ。
11. 電機子コイルと、前記電機子コイルを内部空間に収納する収納部材とを備える電磁アクチュエータにおいて、
    前記電機子コイルと前記収納部材との間に前記内部空間を区画する仕切り部材を備える電磁アクチュエータ。
12. 前記仕切り部材は、前記内部空間を、前記電機子コイルに沿って延在する空間と、前記収納部材に沿って延在する空間とに区画する請求項１１に記載の電磁アクチュエータ。
13. ステージを所定の移動面に沿って移動させるステージ装置であって、
    請求項８〜１２のいずれかに記載の電磁アクチュエータを含み、前記ステージを駆動する駆動装置と、
    前記電磁アクチュエータの前記内部空間に、冷媒を供給する冷媒供給装置とを備えるステージ装置。