JP2000105271A - フィンガ―・テスタ―・プロ―ブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、フィンガー・テスター・プローブ
に用いる。 【解決手段】 本発明は、試験中の回路基板の接点に電
気的に接触するためのプローブ素子と、永久に予め磁化
されたコアとソレノイド素子とを含むアクチュエータと
を備えるフィンガー・テスター・プローブに関し、上記
ソレノイド素子が励起された場合にソレノイド素子が、
上記プローブ素子と一緒に運動するように、ソレノイド
素子が、永久に予め磁化されたコアの上に移動できるよ
うに配置され、上記プローブ素子に機械的に接続してい
る。本発明の場合には、移動できる部材は、固定部分に
機械的に接続していないので、試験プローブは、高速で
回路基板の接点にプローブ素子を接触することができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、フィンガー・テス
ター・プローブに関する。

【０００２】

【従来の技術、及び、発明が解決しようとする課題】回
路基板テスターは、基本的に、二つのグループ、すなわ
ち、フィンガー・テスターおよび並列テスターに分類す
ることができる。並列テスターは、アダプタにより試験
中の回路基板の全部または少なくとも大部分の接点に、
同時に接触する試験装置である。フィンガー・テスター
は、二つまたはそれ以上の試験フィンガーで、個々の接
点を順次サンプルするコンポーネントから構成されてい
ない、またはコンポーネントから構成されている回路基
板を試験するための試験装置である。

【０００３】通常、試験フィンガーは、クロスバー上を
移動するスライドに固定されていて、上記スライドはガ
イド・レール上を移動する。それ故、スライドは、通
常、長方形をしている試験領域の任意の場所に位置させ
ることができる。試験中の回路基板上の接点に接触する
ために、試験フィンガーは、上または下から回路基板の
接点上に位置することができるように、スライドはクロ
スバー上を垂直に移動することができる。

【０００４】ＥＰ０ ４６８ １５３ Ａ１がフィンガ
ー・テスターを開示しているし、ＥＰ０ ８５３ ２４
２ Ａ１がフィンガー・テスターによる回路基板の試験
方法を開示している。

【０００５】米国特許第５，１１３，１３３号は、リー
フ・スプリングが、直線状の空洞内を案内されるプロー
ブ素子としての働きをする試験プローブを開示してい
る。試験対象物の表面に接触するために、プローブ素子
はこの直線状の空洞内を下方に移動することができ、そ
れにより、試験対象物の接点パッドに接触するために、
先端部と共に直線状の空洞から延びる。リーフ・スプリ
ングの先端に対向する接点スプリングの端部により、接
点スプリングは回転ディスクに固定され、このディスク
が回転すると、リーフ・スプリングが突出したり、引っ
込んだりして、ディスクの回転によりリーフ・スプリン
グが直線状の空洞内で上下運動をする。

【０００６】直線状の空洞は側部空洞を備え、その内部
でリーフ・スプリングが弛緩することができ、その結
果、試験対象物の表面上に「接触」した場合に発生する
反動力が吸収される。

【０００７】このプローブは、プローブ素子と試験対象
物の接点パッドとの間を迅速に接触させるためのもので
あって、一方、試験対象物の表面上に対するプローブ素
子の接触衝撃が、試験対象物の表面に損傷を与えないよ
うに設計されている。

【０００８】米国特許第５，８０４，９８２号は、マイ
クロチップ・テスター用の試験プローブを開示してい
る。試験プローブは、プローブ先端を垂直に移動させる
ためのアクチュエータを備える。アクチュエータは、水
平方向に配置されている二つのソレノイドと、その側面
に配置されている二つのマグネットからなる。このアク
チュエータは、一方の端部に固定状態で配置されている
二つの弾性レバー・アームを、装着用素子が固定されて
いるその他方の端部に移動させる。この固定用素子上に
は、接点素子が配置されている。この周知の試験プロー
ブの場合、プローブ先端部は、装着用素子と一緒に、弾
性レバー・アームのスプリング力に打ち勝って移動す
る。

【０００９】フィンガー・テスターが市場で成功するた
めに重要な要因は、試験対象物の接点に接触することが
できる速度である。従来のフィンガー・テスターの場合
には、試験フィンガーを垂直に移動するのに約１２０ミ
リ秒掛かった。米国特許第５，１１３，１３３号は、移
動速度がもっと速く、垂直に移動するのに１０ミリ秒し
か掛からない試験プローブを開示している。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、構成が
簡単で、試験対象物の接点に接触させるために、プロー
ブ素子を高速で移動させることができるフィンガー・テ
スター・プローブを提供することである。

【００１１】この目的は、試験中の回路基板の接点と電
気的に接触するためのプローブ素子と、永久に予め磁化
したコアと、それぞれが相互に移動できる接点素子とを
含むアクチュエータと備え、それにより、二つの部材の
中の一つが固定され、他方が移動することができ、電圧
が加わった場合に、移動できる部材がプローブ素子と一
緒に移動し、移動できる部材が固定部材に対して、自由
に移動できるように配置されているフィンガー・テスタ
ー・プローブにより達成される。＜下位請求項記載の利
点＞本発明の場合、試験プローブは、永久的に予め磁化
されたコアと相互に移動できる接点素子とを含むアクチ
ュエータを備え、それにより、二つの部材の中の一方が
固定され、他方が移動することができ、移動できる部材
が電圧が掛けられているプローブ素子と一緒に移動する
ように、移動できる部材が、プローブ素子に機械的に接
続している。

【００１２】本発明は、固定部材に対して自由に移動で
きるように配置されている移動できる部材を特徴とす
る。すなわち、移動できる部材と固定部材との間に機械
的接続が存在しないことを特徴とする。固定部材と移動
部材との間には、プローブ素子をテスターに電気的に接
続するための一つの電気導体だけが存在し、この電気導
体は、移動部材と固定部材との間に、力を伝達しない
か、無視できる力を伝達することができるように構成さ
れ、その結果、機械的抵抗に打ち勝たなくても、移動部
材は迅速に移動することができる。

【００１３】本発明のある好適な実施形態の場合には、
永久に予め磁化したコアが固定され、ソレノイド素子が
プローブ素子に機械的に接続している移動部材を形成す
る。本発明の場合には、コアではなく、ソレノイド素子
が移動するので、移動部材の質量、すなわち、アクチュ
エータの慣性が低く維持され、その結果、プローブが非
常に迅速に移動する。

【００１４】さらに、アクチュエータが作動すると、請
求項１１に記載した通り、励起電流の極性を予め定める
ことにより、それぞれの場合、ソレノイド素子は、ゼロ
位置および接触位置をとる。極性の変化は迅速に行われ
る。それは、ソレノイド素子が、それに従って急速に作
動するからである。さらに、従来のソレノイド作動アク
チュエータとは異なり、ソレノイド素子をゼロ位置に維
持するために、スプリング素子等を必要としない。上記
スプリング素子は、アクチュエータの慣性を増大する。
これが保持電流によるゼロ位置の維持が、応答を改善す
る理由である。

【００１５】プローブ素子が、いくつかの空洞を持つ案
内通路を案内される弾性ワイヤである請求項１２は、試
験プローブの特定の有利な実施形態を開示している。経
験により、このような試験プローブを使用すると、接点
にワイヤが加える力は、最初作動距離に比例して増大す
るが、予め定めた作動距離を移動するとそれ以上ほとん
ど増大しないことが分かっている。試験中の回路基板上
に加わる最大の力が制限されるのはこのためである。

【００１６】このような効果は下記の理由により生じ
る。

【００１７】第一の空洞内でワイヤを湾曲させるため
に、アクチュエータにより移動した場合、ワイヤの作動
距離に比例し、ワイヤの硬度および空洞の幾何学的形状
により決まる予め定めた力が必要になる。ワイヤが第一
の空洞内で湾曲すると、アクチュエータがさらに作動し
た場合、第二および第三の空洞内でワイヤが湾曲し、そ
れにより、この場合、アクチュエータが加える力は、ま
たは接点の対抗力は、第一の空洞内における必要な力に
対応する。上記力のそれ以上の非常に小さな増大は、ワ
イヤと案内通路との間の追加の摩擦によるものである。
試験プローブがこのような構成になっているので、回路
基板の接点上に、プローブ素子が加える最大の力は、予
め定めた数値に制限される。このように上記最大の力が
制限されるのは、構造によるものであり、これが、従来
のフィンガー・テスターの場合周知のように、接点に接
触するためプローブ素子を作動する場合、送り速度を制
限する必要がない理由である。

【００１８】試験中の回路基板上にプローブ素子が加え
る力が、構造的に制限されるという原理が、本発明の利
点である。

【００１９】請求項２０記載の本発明のもう一つの重要
な原理は、試験プローブの垂直な位置を調整するための
手段を備えるフィンガー・テスターと、回路基板の接点
に接触するために、試験プローブの垂直位置を調整する
ための手段から独立しているプローブ素子を作動するこ
とができるアクチュエータを備えることである。

【００２０】試験プローブの垂直位置を調整するための
手段により、試験中の回路基板に対する試験プローブの
おおまかな設定が行われ、それにより、回路基板と試験
プローブとの間の隙間が調整されるが、好適には、上記
隙間は、例えば、２ミリ以下、または１ミリ以下のよう
な小さな数値であることが好ましい。その結果、アクチ
ュエータは、回路基板と試験プローブの間のこの短い距
離だけプローブ素子を作動すればよくなり、試験フィン
ガーの最初の位置と回路基板との間の、通常の数ミリの
隙間を作動しなければならない場合と比較すると、遥か
に簡単に、迅速に実行することができる。

【００２１】本発明の試験プローブが、非常に多数の回
路基板の試験点を試験しなければならないコンポーネン
トから構成されていない回路基板を試験するのに特に適
しているのは、接点にこのような高速で接触することが
できるからである。しかし、本発明の試験プローブは、
またコンポーネントから構成された回路基板を試験する
のにも適している。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下において、添付の図面を参照
しながら本発明をより詳細に説明するが、これは単に例
示としてのものに過ぎない。

【００２３】図１について説明すると、この図は、スラ
イド２を備えるフィンガー・テスター用の、本発明の試
験プローブ１である。スライド２は、周知であり、垂直
方向移動手段（両端部に矢尻を持つ矢印３の方向）を備
える方法および手段により、試験領域（ＸおよびＹ方
向）に平行に移動することができる。

【００２４】スライド２は、試験プローブ１を固定する
ためのマウント４を備える。試験プローブは、スライド
２のマウント４に、サポート５により取り外することが
できるように固定され、例示としての実施形態の試験プ
ローブは、図に示すように、スライド２にネジ・ファス
ナーにより固定される。

【００２５】この例示としての実施形態の場合には、図
１に示すように、試験プローブ１は、スライド２から下
方に延びる。この装置は、電気的回路基板に上から接触
するために使用されるが、可能な場合には、もちろん、
回路基板に下から接触するために使用される。その場合
には、スライド２および試験プローブ１は倒置して使用
される。回路基板を両側から試験することができるフィ
ンガー・テスターもある。このフィンガー・テスターの
場合には、回路基板の上下両方に試験プローブを備え
る。以下の説明においては、「頂部」および「底部」と
いう用語は、図１の装置に従って使用される。

【００２６】サポート５は、マウント４の下に延びる脚
部７を持つ、側面がほぼＬ字形の垂直壁部６を備える。
この脚部７は、そこを通してプローブ・ケーブル９が案
内される水平方向の狭い貫通孔部８を内蔵する。垂直壁
部６の底部の縁部には、水平方向の装着プレート１０が
設置される。好適には、この装着プレート１０は、軟ら
かい磁気材料から作ることが好ましく、それにより、サ
ポート５全体を容易にこの材料と一体にすることがで
き、製造が容易になる。

【００２７】下からプローブ・ハウジング１１に水平方
向の装着プレート１０が装着される。プローブ・ハウジ
ング１１は、底壁部１２、二つの側壁部１３、１４、お
よび端壁部１５、１６を備える。側壁部１３、１４は、
端壁部１５、１５より高く、そのため、端壁部１５、１
６の上部縁部と、装着プレート１０の間に、それぞれの
場合、連絡ギャップ１８、１９が形成される。

【００２８】側壁部１３、１４に平行にプレートの形の
鉄心１７が設けられるが、この鉄心は、底壁部１２およ
び装着プレート１０のように、軟らかい磁気材料から作
られる。鉄心１７は、二本のネジＳ１、Ｓ２により底壁
部１２に固定される。

【００２９】ハウジング１１が、装着プレート１０に固
定された場合、鉄心を後者に対して接触するように押し
つけるために、好適には、鉄心１７の上縁部は、側壁部
１３、１４の上縁部と同じレベルの高さにあることが好
ましい。

【００３０】側壁部１３、１４は、永久磁石として形成
される。これら永久磁石は、例えば、そのＮ極が上を向
くように配置される。二つの磁石１３、１４は、底部１
２および装着プレート１０により鉄心１７に磁気的に接
続され、その結果、鉄心１７は、永久に磁化される。そ
れは、磁石１３、１４の磁極配置と対向するような磁極
配置に配置される。図１の例示としての実施形態の場合
には、鉄心は、その上部縁部内に南極Ｓを持ち、その下
部縁部に北極Ｎを持つ。

【００３１】鉄心１７は、鉄心１７と二つの端壁部１
５、１６、および二つの側壁部１３、１４との間に、そ
れぞれの場合に、スペースが形成されるように、壁部１
２−１６により形成される空洞内部にほぼ中心を持つよ
うに配置される。

【００３２】鉄心１７と後者を囲む壁部１３−１６との
間の空洞内には、ソレノイド素子２０が挿入される。こ
のソレノイド素子２０は、鉄心１７上に自由に動けるよ
うに位置している。すなわち、鉄心１７とソレノイド素
子２０との間には、機械的接続は全然ない。ソレノイド
素子２０は、その周囲にソレノイドが巻かれている、管
状支持本体からなる。管状支持本体はプロファイルが低
いので、狭い隙間を間に介在させて鉄心を囲んでいる。
支持本体は、それぞれが、対応する連絡ギャップ１８、
１９内に突出している舌状体２１、２２を持つその上部
縁部のところの側面の領域内に形成される。支持本体
は、アルミニウムの薄いシートから作られているので、
軽量であり、ソレノイドが発生する磁界に対してほとん
ど影響を与えない。

【００３３】その内部に案内ピン２３、２４が下向きに
固定される孔部が、二つの各舌状体内に形成される。案
内ピン２３、２４は、ハウジング１１の端壁部１５、１
６に形成される垂直な案内孔部に挿入され、そのため、
ソレノイド素子２０は垂直に案内される。

【００３４】舌状体２１のところには、二つの電気的ケ
ーブルＫ１、Ｋ２が配置され、これらのケーブルは、ソ
レノイドを選択手段により信号が供給される電源に接続
している。ケーブルＫ１、Ｋ２は、ソレノイド素子２０
からハウジングの外部に、ギャップ１８を通して案内さ
れる。

【００３５】端壁部１５、１６の上縁部は、ソレノイド
素子の舌状体２１、２２のストップを形成し、試験プロ
ーブが作動した場合（図１）、すなわち、ソレノイド素
子が、対応する電極の電流により励起された場合、舌状
体はストップと接触する。図１に示すこの位置は、プロ
ーブ素子２６が、試験中の回路基板３７の接点と接触す
る接点位置と呼ばれる。

【００３６】ソレノイド素子２０を、接点位置の電極と
反対の電極の電流で励起することにより、プローブ素子
２７が、試験中の回路基板の接点の中の一つと接触しな
いゼロ位置をとるように、ソレノイド素子２０は、装着
プレート１０に対して上に移動する。

【００３７】それ故、連絡ギャップ１８、１９の高さ
は、ソレノイド素子２０の最大ストロークを決定する。

【００３８】支持本体の舌状体２１のところで、ソレノ
イドの電気的ケーブルが、連絡ギャップ１８を通してハ
ウジング１１から引き出される。対向舌状体２２は、テ
ーパ状に形成され、上面に接点パッド２５を持つ。案内
ピン２４が、接点パッド２５を通して延びる。案内ピン
２４、接点パッド２５および舌状体２２は、相互に半田
付けされる。貫通孔部８から半田点へ曲線を描いて案内
されたプローブ・ケーブル９が、接点パッド２５および
案内ピン２４にそれぞれ機械的および電気的に接続され
るのは、この半田点においてである。

【００３９】接点パッド２５は、舌状体を越えて外部
に、すなわち、ハウジングから遠ざかる方向に突出す
る。ハウジング１１から遠い縁部において、接点パッド
２５は、固定手段２６を備え、この固定手段のところ
で、ワイヤ２５は正しい場所に交換できるように固定さ
れる。ワイヤ２７は、一方の端部により接点パッド２５
に固定され、接点パッド２５から案内通路２８を通して
下方に延びる。

【００４０】案内通路２８は、プラスチック本体２９お
よび二つのセラミック・パッド３０、３１により形成さ
れる。

【００４１】プラスチック本体２９は、ほぼ三角形の断
面を持ち、一方の平らな側面によりハウジング１１の端
壁部１６に固定され、上記端壁部１６から遠いプラスチ
ック本体２９は、狭い案内平面３２を形成する。

【００４２】セラミック・パッド３０、３１は、それら
が鋭角で交わるように、例えば、ネジ・ファスナーによ
り、案内平面３２に隣接するプラスチック本体２９の、
二つの側面領域に固定される。これらは、例えば、その
端縁部３４により、ワイヤ２７の太さより細いギャップ
３３を形成する。セラミック・パッドは、その自由端縁
部３４の方向にテーパ状になっている。

【００４３】案内平面３２は、案内通路２８が、一定の
中心スペース上に配置されている空洞３５を含むように
側面に波形に形成される。その機能については後で説明
する。

【００４４】プラスチック本体２９およびセラミック・
パッド３０、３１は、ハウジング１１の端壁部１６の上
部縁部と同じ高さのレベルに、プローブ・ヘッド３６を
形成し、一部がハウジングの底壁部１２の外表面領域を
越えて下方に突出する。硬質のセラミック・パッド３
０、３１は、回路基板から上に突出している半田パッド
等と衝突しないように、プローブ・ヘッドをしっかりと
保護する。その他に、セラミック・パッド３０、３１
が、プローブ・ヘッドの領域に間違って接触するのを防
止するために、これらセラミック・パッドは絶縁され
る。

【００４５】本発明の試験プローブの機能を、フィンガ
ー・テスターを例にとって説明する。

【００４６】始動位置において、ソレノイドは、特定の
保持電流により励起され、その結果、ソレノイド素子２
０は、特定の高さｈだけ上昇し、そのため、ワイヤ２７
は案内通路２８内に引っ込む。ソレノイド素子の垂直運
動のための隙間の全長は、例えば、１ミリである。

【００４７】試験プローブを作動するために、ソレノイ
ド素子は、舌状体２１、２２が端壁部１５、１６の上縁
部と接触するまで、鉄心１７の磁界による下向きの力が
ソレノイド素子に急激に加わるように、保持電流の極性
とは反対に偏向された電流を受け取る。

【００４８】移動対象の質量（ソレノイド素子、接点パ
ッド、案内ピン、およびワイヤ）は低く、その上、ゼロ
位置から接点位置に移動する時に、例えば、スプリング
の力等のような、機械的な力に打ち勝って運動しなくて
もすむ。何故なら、ソレノイド素子２０が自由に運動す
ることができるからである。これが、５ミリ秒の間に
０．５ミリの作動ストロークを行うことができる理由で
ある。移動させる全質量が３グラム以下である場合に
は、作動ストロークは２ミリ秒以内で行うことができ
る。

【００４９】試験対象の回路基板３７をフィンガー・テ
スターに挿入した後で、スライド２を移動させることに
より、回路基板に対して試験プローブ１を垂直方向に向
け、プローブ・ヘッド２６と回路基板３７との間のスペ
ースは、例えば、０．５ミリまたはそれ以下に設定され
る。

【００５０】その後で、試験プローブ１は、試験中の回
路基板の表面に平行に移動し、接点およびプローブ素子
に到着した時点で、試験プローブが作動し、ワイヤ２７
が接点と電気的接触するために垂直に移動する。

【００５１】ある接点から他の接点への水平方向の移動
は、通常、約５０ミリ秒の移動で行われる。本発明の試
験プローブの場合には、垂直方向の移動は５ミリ秒以下
ですむので、垂直移動するのに、全体の移動に必要な時
間の中のほんの短い時間、すなわち、１０％以下の時間
で垂直運動を行うことができる。従来のフィンガー・テ
スターは、垂直運動に約１２０ミリ秒を必要とする。

【００５２】試験プローブが作動すると、ワイヤ１７が
試験中の回路基板の面に接触するまで、上記ワイヤが案
内通路２８内を前進する。ソレノイド素子２０は、その
舌状体が、ハウジングの端壁部１５、１６の上縁部に押
しつけられるまで、回路基板の方向に引続き移動する。
その結果、ワイヤ２７は案内通路２８内にさらに押し込
まれる。ワイヤは最初第一の空洞３５内に押し込まれて
湾曲する。ワイヤを湾曲させるには、湾曲中の作動距離
にほぼ比例する力を必要とする。第一の空洞３５内に押
し込まれて湾曲した後で、ワイヤ２７は、第二の空洞内
で湾曲することができ、必要な場合には、第三の空洞内
で湾曲することができる。ソレノイド素子がこの目的の
ために加える力は、ほぼ同じであり、案内通路２８とワ
イヤ２７との間の摩擦力の増大により少しだけ増大す
る。

【００５３】対応する対抗力は、試験中の回路基板の面
に接触しているので、この力はワイヤを空洞の中の一つ
内に湾曲させるための力に制限される。図１の例示とし
ての実施形態の場合には、太さが４０μｍのばね鋼また
は、例えば、ＣｕＢｅ２のような銅／ベリリウム合金が
使用される。試験中の回路基板上にワイヤ２７が加える
最大の力は、約１２〜１５グラム（０．１２Ｎ〜０．１
５Ｎ）の質量にほぼ対応する。この力の大きさは、空洞
３５の形を変化させることにより、すなわち、空洞３５
の垂直方向の長さを長くすることにより、設定すること
ができる。その結果、ワイヤ２７を湾曲させるのに必要
な力が小さくなり、そのため、力の制限を小さくするこ
とができる。

【００５４】強い「衝撃」力による、試験中の回路基板
の接点の損傷をしっかりと防止してくれるのは、回路基
板３７上のワイヤ２７による力に対するこの制限であ
る。従来のフィンガー・テスターの場合には、制限を受
けるのは、接点の方向へ試験フィンガーが前進する速度
であった。それ故、前進時間が、例えば、約１２０ミリ
秒のように長く掛かった。

【００５５】さらに、本発明の試験プローブは非常に小
型にできている。すなわち、上記試験プローブは、長さ
約２．５センチ、深さ０．８センチである。試験プロー
ブがこのように小型であるので、例えば、３センチの長
さの縦方向の中央のスペース、および例えば、１センチ
の横方向の中央のスペース上のマトリックスに、複数の
試験プローブを配置することができ、それにより、各試
験プローブを個々の作動することができる。ほぼ試験領
域の大きさの上記マトリックスは、回路基板上の任意の
接点を接触させるために、縦方向に３センチ程度、横方
向に１センチ程度移動させる必要がある。それ故、水平
方向の移動に必要な時間を徹底的に短縮し、試験に必要
な時間をさらに短縮することができる。

【００５６】上記マトリックス・アレーは、また相互に
移動できるいくつかの部分に分割することができ、その
結果、試験中の回路基板のサブマトリックスの、パター
ンに配置されていない接点にも接触することができる。

【００５７】サブマトリックスは、例えば、並列に設置
された二つの長方形のサブマトリックスに分割すること
もでき、それにより、両方のサブマトリックス、または
片方のサブ・マトリックスが、試験中の回路基板上で移
動できるように配置される。ある好適な実施形態の場合
には、サブマトリックスは、チェッカー盤のパターンの
ように入れ子状にすることができ、その後で、一つのマ
トリックスの試験点が白い部分に配置され、他のマトリ
ックスの試験点がチェッカー盤のパターンの黒い部分上
に配置される。それぞれの場合、隣接する試験点の間に
自由なスペースが形成され、二つのマトリックスを相互
に移動させることができる。

【００５８】上記マトリックス・アレーの場合には、い
くつかのプローブ素子も、一つのアクチュエータで作動
することができ、図４ａ−図４ｃは、複数の作動を行う
ための上記一つのアクチュエータの他の実施形態を示
す。

【００５９】この実施形態の場合には、ワイヤ１７は、
上部および下部案内チューブ部分４０ａ、４０ｂを案内
される。案内チューブ部分４０ａ、４０ｂは一列に配置
されていて、相互の間にスペースがあり、ワイヤ１７は
中間の部分を越えて延びる。ワイヤは、上部案内チュー
ブ部分４０ａの上縁部に固定される。

【００６０】ソレノイド作動アクチュエータ４１は、ワ
イヤ１７を湾曲するために、作動ピストン４２が、案内
チューブ部分４０ａ、４０ｂの間の中間部分に前進する
ことができるように、ワイヤ１７に隣接するその作動ピ
ストンと一緒に配置される（図４ｂ）。ワイヤ１７がこ
のように湾曲されるので、その下部リップは、下部案内
チューブ部分４０ｂに引っ込み、そのため、試験中の回
路基板３７から引っ込む。作動ピストン４２が、案内チ
ューブ部分４０ａ、４０ｂの間の中間部分から引っ込む
と、その結果、ワイヤ１７は、再びその延びた状態に並
進し（図４ａ）、そのため、試験中の回路基板３７は、
ワイヤ１７により引っ込む。

【００６１】いくつかの試験プローブ、またはいくつか
のワイヤ１７を同時に作動させるために、いくつかの作
動ピストン４２が、この作動ピストン４２に隣接して配
置されている、ワイヤ１７を湾曲させ、再度延ばすため
に、両端に矢尻を持つ矢印４４の方向に、一つのアクチ
ュエータ（図示せず）により作動されるロッド４３に固
定される。上記アクチュエータにより、マトリックス・
アレーの全部の列を同時に作動させることができ、それ
により、時間を大幅に短縮し、機構を簡単にすることが
できる。

【００６２】しかし、一本だけのワイヤ用のこの種のア
クチュエータを供給することは、基本的には、可能であ
る。

【００６３】例示としての実施形態により本発明を説明
してきたが、本発明はこのような具体的な実施形態に制
限されるものではなく、本発明の範囲から逸脱すること
なしに、固定用手段２６の代わりに、挿入素子および対
応する対の相手方の挿入素子を使用することができるが
できることを理解することができるだろう。さらに、ハ
ウジング１１の磁気部材１２、１３、１４、１７をもう
一つの薄い壁の保護ハウジング内に収容することもでき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の試験プローブの垂直断面図であり、上
記試験プローブが固定されるフィンガー・テスターのス
ライドの一部の断面図である。

【図２】Ａ−Ａ線に沿って切断し、矢印の方向に見た、
図１の試験プローブの断面図である。

【図３】図２のワイヤのための案内通路の拡大図であ
る。

【図４ａ】一台のアクチュエータにより、数台の試験プ
ローブを作動するための他の実施形態の略図である。

【図４ｂ】一台のアクチュエータにより、数台の試験プ
ローブを作動するための他の実施形態の略図である。

【図４ｃ】一台のアクチュエータにより、数台の試験プ
ローブを作動するための他の実施形態の略図である。

Claims (24)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フィンガー・テスター・プローブであっ
   て、試験中の回路基板の接点に電気的に接触するための
   プローブ素子と、それぞれが相互に運動することができ
   る、永久に予め磁化されたコアとソレノイド素子とを含
   むアクチュエータとを備え、前記二つの部材の一方が固
   定され、他方の部材が移動でき、励起された場合に、前
   記移動できる部材が、前記プローブ素子と一緒に運動す
   るように、前記の移動できる部材が機械的にプローブ素
   子に接続していて、前記移動できる部材が前記固定部材
   に対して自由に移動できるように配置されているテスタ
   ー・プローブ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の試験プローブにおい
   て、前記永久に予め磁化したコアが固定され、前記ソレ
   ノイド素子が移動することができる前記プローブ素子に
   機械的に接続している試験プローブ。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の試験プ
   ローブにおいて、前記ソレノイド素子および前記プロー
   ブ素子が、前記試験プローブの移動できるユニットのコ
   ンポーネントであり、その質量が１０グラムより軽く、
   好適には、５グラムより軽いことが好ましい試験プロー
   ブ。
4. 【請求項４】 請求項１−請求項３の何れかに記載の試
   験プローブにおいて、前記ソレノイド素子が、前記コア
   上に垂直方向に移動できるように配置されている試験プ
   ローブ。
5. 【請求項５】 請求項１−請求項４の何れかに記載の試
   験プローブにおいて、前記コアが永久磁石である試験プ
   ローブ。
6. 【請求項６】 請求項１−請求項４の何れかに記載の試
   験プローブにおいて、前記コアが軟らかい磁気材料から
   形成されていて、前記コアが永久に予め磁化されるよう
   に、前記コアに磁気的に接続している少なくとも一つの
   磁石を備える試験プローブ。
7. 【請求項７】 請求項６に記載の試験プローブにおい
   て、前記コアが二つのプレート状の永久磁石の間に配置
   されていて、前記コアおよび前記永久磁石が、ヨークを
   通してその上部および下部縁部のところで相互に磁気的
   に接続している試験プローブ。
8. 【請求項８】 請求項７に記載の試験プローブにおい
   て、前記プレート状永久磁石が側壁部および前記二つの
   ヨークの一方を形成し、ハウジングの底壁部と他方のヨ
   ークが、スライドに固定できるサポートの水平方向の装
   着プレートを形成する試験プローブ。
9. 【請求項９】 請求項１−請求項８の何れかに記載の試
   験プローブにおいて、アルミニウムの薄いしートからで
   きている前記ソレノイド素子と、前記支持本体の周囲に
   巻かれたソレノイドを備える試験プローブ。
10. 【請求項１０】 請求項１−請求項９の何れかに記載の
    試験プローブにおいて、前記プローブ素子を試験中の回
    路基板の接点と接触させるために、前記ソレノイド素子
    が移動した場合に、前記ソレノイド素子がストップに対
    して移動するように、前記ソレノイド素子の移動距離を
    制限するために、ストップが設置されている試験プロー
    ブ。
11. 【請求項１１】 ストップにより形成された前記ソレノ
    イド素子の接点位置に対して、予め定めたストロークだ
    け前記ソレノイド素子が移動するように、ゼロ位置にお
    いて前記ソレノイド素子に一定の保持電流を供給するス
    テップと、前記ソレノイド素子が、回路基板の接点に接
    触するために前記ストップに対して移動するように、前
    記保持電流の極性とは反対の電流を供給するステップと
    を備える、請求項１−請求項１０の何れかに記載のよう
    に形成された試験プローブを作動するための方法。
12. 【請求項１２】 請求項１−請求項１０の何れかに記載
    の試験プローブにおいて、前記プローブ素子が案内通路
    を案内される弾性ワイヤであって、前記案内通路が導入
    された時、前記ワイヤが湾曲することができる少なくと
    も一つの空洞を備える試験プローブ。
13. 【請求項１３】 請求項１２に記載の試験プローブにお
    いて、前記ワイヤの太さが５０ミクロン以下である試験
    プローブ。
14. 【請求項１４】 請求項１２または請求項１３に記載の
    試験プローブにおいて、前記案内通路が、一定の中心間
    隔で配置されている、少なくとも三つの空洞を内蔵する
    試験プローブ。
15. 【請求項１５】 請求項１２−請求項１４の何れかに記
    載の試験プローブにおいて、前記案内通路がプローブ・
    ヘッドに形成され、前記プローブ・ヘッドが、プラスチ
    ック本体および二つのセラミック・パッドを備える試験
    プローブ。
16. 【請求項１６】 請求項１５に記載の試験プローブにお
    いて、前記プラスチック本体が、上から見た場合、ほぼ
    三角形の断面を持ち、前記プラスチック本体の一方の垂
    直方向を向いている縁部が、狭い案内平面を形成し、前
    記セラミック・パッドが前記案内平面に隣接し、そこか
    ら突出している側面に固定されていて、それらが、前記
    案内平面および前記セラミック・パッドが前記案内通路
    を形成するように相互に鋭角で交わっている試験プロー
    ブ。
17. 【請求項１７】 請求項１６に記載の試験プローブにお
    いて、前記案内通路が前記空洞を備えるように、前記案
    内平面の側面が波形に形成される試験プローブ。
18. 【請求項１８】 フィンガー・テスター・プローブであ
    って、 試験中の回路基板の接点に電気的に接触するためのプロ
    ーブ素子と、 前記ワイヤが前記作動ピストンにより湾曲し、前記回路
    基板に接触するために延びるように、前記プローブ素子
    を作動させる作動ピストンが割り当てられる前記プロー
    ブ素子としてのワイヤとを備えるテスター・プローブ。
19. 【請求項１９】 請求項１８に記載の試験プローブにお
    いて、前記ワイヤが上部および下部案内チューブ部分を
    案内され、前記案内チューブ部分が、一列にまた相互間
    に間隔を置いて配置され、前記ワイヤが、前記作動ピス
    トンが前記ワイヤを湾曲させるために往復運動をする、
    前記中央部分上を延びる試験プローブ。
20. 【請求項２０】 回路基板を試験するためのフィンガー
    ・テスターであって、 請求項１−請求項１９の何れかに記載のように、さらに
    詳細に説明した試験プローブと、 試験領域上を、水平方向に移動することができる少なく
    とも二つのスライドと、 各スライドに固定できる試験プローブと、 前記試験プローブの垂直位置を調整するための手段とを
    含み、 前記試験プローブが、回路基板の接点に接触するため
    に、前記試験プローブの垂直位置を、垂直方向に調整す
    るための前記手段とは独立して、プローブ素子を作動す
    ることができるアクチュエータを備えるフィンガー・テ
    スター。
21. 【請求項２１】 請求項２０に記載のフィンガー・テス
    ターにおいて、接点に接触するための前記アクチュエー
    タの作動ストロークが、２ミリ以下、好適には、１ミリ
    以下であるフィンガー・テスター。
22. 【請求項２２】 請求項２０または請求項２１により詳
    細に記載したフィンガー・テスターにおいて、複数の試
    験プローブがマトリックス・アレーに設置され、前記完
    全なマトリックス・アレーが、試験中の回路基板上を水
    平方向に移動し、各試験プローブが、垂直方向に一つの
    プローブ素子をそれぞれ作動するために、アクチュエー
    タにより作動することができ、前記試験プローブが相互
    に独立して作動することができる、請求項１−請求項１
    ９の何れかに記載のように形成される試験プローブ。
23. 【請求項２３】 請求項２０に記載のフィンガー・テス
    ターにおいて、前記マトリックス・アレーがいくつかの
    サブマトリックスに分割され、前記サブマトリックスが
    相互に移動できるように形成されるフィンガー・テスタ
    ー。
24. 【請求項２４】 請求項２０−請求項２２に記載のフィ
    ンガー・テスターにおいて、いくつかのプローブ素子を
    一つのアクチュエータにより作動することができるフィ
    ンガー・テスター。