JP2000105139A - 流体振動形流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 下流側流路の形状を寸法的に最適化すること
によって、測定範囲が広く、かつ計測精度の優れた流体
振動形流量計を提供することにある。 【解決手段】 拡大流路部２２１の半径をＲ、第２の縮
流部２２３の半径をＲ２、排出口部２２４の幅をＷｏ、
ノズル流路２１０の出口から中心線Ｃに沿って下流側に
延在しＷｏの幅の終点位置までの寸法をＸｔ、排出口部
２２４の上流側の端部から中心線Ｃに沿って下流側に延
在しＷｏの幅の終点位置までの寸法をΔＸ、厚さ方向の
寸法をＨとした場合、Ｈ／Ｒ＝０．３４８６〜０．７２
８３、Ｒ２／Ｒ＝０．３４１５〜０．３７３２、Ｗｏ／
Ｒ＝１．３２３９〜１．３９１３、Ｘｔ／Ｒ＝２．４５
０７〜４．１５２２、ΔＸ／Ｒ＝０．２００７〜１．８
２６１の関係を有することを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、２次元流路のノ
ズル流路出口部より噴射されるジェット流に生じる流体
振動から流量を検出する流体振動形流量計に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】この種の流体振動形流量計としては、例
えば図８に示すものが知られている。この図に示す流体
振動形流量計ＦＭは、カバー５で閉じられるハウジング
１内に一対のノズル部材２、２を設けることにより、同
ハウジング１内にノズル流路２１０を構成するととも
に、このノズル流路２１０の上流側及び下流側にそれぞ
れ上流側流路２００及び下流側流路２２０を構成する。
下流側流路２２０には、ノズル流路２１０の延長線上に
ターゲット３が設けられている。そして、ノズル流路２
１０を通って噴出するガス（流体）がターゲット３に衝
突することによって流体振動が生じ、この流体振動に基
づいて流量を検出する方式である。

【０００３】上記ハウジング１は、凹状に形成された矩
形状の溝１ａによって構成されている。そして、溝１ａ
の表面をカバー５で覆うことによって、上流側流路２０
０、ノズル流路２１０及び下流側流路２２０からなる２
次元流路を構成する。すなわち、上流側流路２００、ノ
ズル流路２１０及び下流側流路２２０は、深さ（厚さ方
向の寸法）が一定で、中心線Ｃを介して左右対称の２次
元流路によって連続的に形成されている。

【０００４】さらに、ハウジング１は、流入口１ｂ及び
流出口１ｃを介して他の流路に接続できるように構成さ
れている。また、ハウジング１には、下流側流路２２０
におけるノズル流路２１０の出口近傍に圧力取出し口４
が２つ設けられている。これらの圧力取出し口４は、ノ
ズル流路２１０から噴出する噴流の流体振動を検出する
センサー（図示せず）に接続されている。

【０００５】また、ハウジング１には、カバー５を固定
するためのねじ穴１ｅが形成されているとともに、ノズ
ル部材２を固定するためのねじ穴（図示せず）が形成さ
れている。ねじ穴１ｅには、カバー５を固定するための
ボルト６がねじ込まれるようになっている。また、ノズ
ル部材２には、上記ボルト６の通る貫通孔２ａが形成さ
れているとともに、ノズル部材２をハウジング１に固定
するためのボルト７の貫通孔２ｂが形成されている。

【０００６】そして、流体振動形流量計ＦＭは、流体振
動の周波数と、ガス（流体）の流量あるいは流速が比例
関係にあることから、上記圧力取出し口４を介して圧力
センサにて流体振動の周波数を検出することによって、
流量を測定する構成となっている。なお、上記流体振動
形流量計ＦＭは、例えば都市ガスやＬＰガスの流量を測
定するものであるが、液体（ニュートン流体）の流量測
定も可能である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うな流体振動形流量計ＦＭにおいては、測定範囲が広
く、かつ計測精度の優れたものを得ることが重要であ
る。そして、測定範囲の増大や計測精度の向上を図るた
めに、従来においてはノズル流路２１０の幅Ｗや長さＬ
ｎ、ノズル流路２１０の出口からターゲット３までの距
離Ｌｊ、ターゲット３の形状等の最適化などを図ること
が行われてきた。しかしながら、下流側流路２２０の形
状についてはあまり重要視されておらず、この下流側流
路２２０の形状を最適化することによって、測定範囲が
広く、かつ計測精度の優れたものを得るような試みが行
われていなかった。

【０００８】この発明は上記事情に鑑みて考案されたも
のであり、その目的は下流側流路の形状を寸法的に最適
化することによって、測定範囲が広く、かつ計測精度の
優れた流体振動形流量計を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、厚さ方向の寸法が一定に形成され、か
つ中心線（Ｃ）を介して左右対称に形成された２次元流
路としての上流側流路（２００）、ノズル流路（２１
０）及び下流側流路（２２０）を有し、前記ノズル流路
（２１０）から下流側流路（２２０）に噴出する噴流の
流体振動に基づいて流量を検出するように構成された流
体振動形流量計であって、前記下流側流路（２２０）
は、前記ノズル流路（２１０）の出口に対して円弧状に
凹なる面で幅が広がるように形成された拡大流路部（２
２１）と、この拡大流路部（２２１）の下流側に位置
し、円弧状に凸なる面で幅が狭まるように形成された第
２の縮流部（２２３）と、この第２の縮流部（２２３）
の下流側に連続して形成された所定の幅の排出口部（２
２４）を有しており、前記拡大流路部（２２１）の半径
をＲ、第２の縮流部（２２３）の半径をＲ２、排出口部
（２２４）の幅をＷｏ、ノズル流路（２１０）の出口か
ら中心線（Ｃ）に沿って下流側に延在しＷｏの幅の終点
位置までの寸法をＸｔ、排出口部（２２４）の上流側の
端部から中心線（Ｃ）に沿って下流側に延在しＷｏの幅
の終点位置までの寸法をΔＸ、厚さ方向の寸法をＨとし
た場合、Ｈ／Ｒ＝０．３４８６〜０．７２８３、Ｒ２／
Ｒ＝０．３４１５〜０．３７３２、Ｗｏ／Ｒ＝１．３２
３９〜１．３９１３、Ｘｔ／Ｒ＝２．４５０７〜４．１
５２２、ΔＸ／Ｒ＝０．２００７〜１．８２６１の関係
を有することを特徴としている。

【００１０】そして、上記のように構成された発明にお
いては、拡大流路部（２２１）の半径Ｒを分母とし、他
の各寸法Ｈ、Ｒ２、Ｗｏ、Ｘｔ、ΔＸを分子とする無次
元数をパラメータとして、このパラメータをＨ／Ｒ＝
０．３４８６〜０．７２８３、Ｒ２／Ｒ＝０．３４１５
〜０．３７３２、Ｗｏ／Ｒ＝１．３２３９〜１．３９１
３、Ｘｔ／Ｒ＝２．４５０７〜４．１５２２、ΔＸ／Ｒ
＝０．２００７〜１．８２６１のような値に設定するこ
とによって、測定範囲が広くかつ計測精度のよい流体振
動形流量計の素子を開発することができる。ただし、Ｒ
＝１４ｍｍに設定することが好ましい。また、ノズル幅
Ｗが３．１ｍｍ以下のものに適用することが好ましい。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を実
施例に基づき図１〜図７（図２〜図７は実験結果例）を
参照して説明する。ただし、図８に示す従来例の構成要
素と共通する要素には同一の符号を付し、説明を省略す
る。

【００１２】この実施例で示す流体振動形流量計ＦＭ
は、厚さ方向の寸法が一定に形成され、かつ中心線Ｃを
介して左右対称に形成された２次元流路としての上流側
流路２００、ノズル流路２１０及び下流側流路２２０を
有し、前記ノズル流路２１０から下流側流路２２０に噴
出する噴流の流体振動に基づいて流量を検出するように
構成されたものである。

【００１３】ノズル流路２１０は、上流側流路２００に
面し、円弧状に凸なる面で幅が狭まるように形成された
ノズル縮流部２１１と、このノズル縮流部２１１の下流
側に連続して形成された所定の幅のノズル助走部２１２
を有している。

【００１４】下流側流路２２０は、ノズル助走部２１２
の出口（ノズル流路２１０の出口）に対して円弧状に凹
なる面で幅が広がるように形成された拡大流路部２２１
と、この拡大流路部２２１の下流側に位置し、円弧状に
凹なる面で幅が狭まるように形成された第１の縮流部２
２２と、この第１の縮流部２２２の下流側に位置し、円
弧状に凸なる面で幅が狭まるように形成された第２の縮
流部２２３と、この第２の縮流部２２３の下流側に連続
して形成された所定の幅の排出口部２２４を有してい
る。そして、拡大流路部２２１と第１の縮流部２２２、
あるいは第１の縮流部２２２と第２の縮流部２２３は、
平面を介して接続されている。ただし、平面を介さずに
直接接続するように構成してもよい。

【００１５】また、ノズル縮流部２１１の半径をＲｎ、
拡大流路部２２１の半径をＲ、第１の縮流部２２２の半
径をＲ１、第２の縮流部２２３の半径をＲ２、第１の縮
流部２２２の半径の中心点から前記中心線Ｃに垂線をお
ろし、その交点からノズル助走部２１２の出口までの距
離をＸ、同交点から第１の縮流部２２２の半径の中心点
までの距離をＹ、排出口部２２４の幅をＷｏ、排出口部
２２４の上流側の端部から中心線Ｃに沿って下流側に延
在しＷｏの幅の終点位置までの距離をΔＸ、ノズル助走
部２１２の出口（ノズル流路２１０の出口）から中心線
Ｃに沿って下流側に延在しＷｏの幅の終点位置までの距
離をＸｔ、ノズル助走部２１２の中心線Ｃに沿う方向の
距離をＬｎ、ノズル助走部２１２の幅（ノズル流路２１
０の幅）をＷ、厚さ方向の寸法（紙面に直交する方向の
２次元流路の深さ）Ｈ（図示せず）として示す。

【００１６】さらに、図１にはターゲット３及び圧力取
出し口４について示していないが、これらのターゲット
３及び圧力取出し口４についても図８に示すものと同様
にハウジング１に設けられている。そして、ノズル助走
部２１２の出口からターゲット３までの距離はＬｊ（図
８参照）になっている。また、ハウジング１の流出口１
ｃの幅も排出口部２２４の幅と同じ寸法Ｗｏに形成され
ている。

【００１７】そして、図１に示す流体振動形流量計ＦＭ
は、Ｒ＝１３．８〜１４．２ｍｍ、Ｒ２＝４．８５〜
５．１５ｍｍ、Ｗｏ＝１８．８〜１９．２ｍｍ、ΔＸ＝
２．８５〜２５．２ｍｍ、Ｘｔ＝３４．８〜５７．３ｍ
ｍ、Ｈ＝４．９５〜１０．０５ｍｍに形成されたもので
あることが好ましい。この寸法のものは、測定範囲が広
くかつ精度が良いものとして許容される。

【００１８】Ｒ＝１３．８〜１４．２ｍｍに設定する
と、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、Ｒが
１３．８ｍｍ未満であると、ノズル流路２１０の出口部
へ戻る帰還流がノズル流路２１０の出口より噴射される
噴流と衝突する角度が鋭くなるからであり、Ｒが１４．
２ｍｍを超えると、帰還流のノズル流路２１０の出口へ
戻る流速が低下するからである。そして、好ましくは、
Ｒ＝１４ｍｍに設定することがよい。

【００１９】Ｒ２＝４．８５〜５．１５ｍｍに設定する
と、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、Ｒ２
が４．８５ｍｍ未満であると、排出口部２２４へ流れる
流れに渦等が発生しやすくなり、流れが乱れるからであ
る。Ｒ２が５．１５ｍｍを超えると、排出口部２２４へ
流れる流体抵抗が小さくなるため、帰還流が低下するか
らである。そして、好ましくは、Ｒ２＝５ｍｍに設定す
ることがよい。

【００２０】Ｗｏ＝１８．８〜１９．２ｍｍに設定する
と、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、Ｗｏ
が１８．８ｍｍ未満であると、排出口部２２４の圧力損
失が大となるため流れが安定しなくなるとともに、排出
口部２２４に縮流に伴なう渦等の発生があるからであ
り、Ｗｏが１９．２ｍｍを超えると、排出口部２２４の
圧力損失が小さくなりすぎるため、排出口部２２４内の
流れが安定しなくなるからである。そして、好ましく
は、Ｗｏ＝１９ｍｍに設定することがよい。

【００２１】ΔＸ＝２．８５〜２５．２ｍｍに設定する
と、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、ΔＸ
が２．８５ｍｍ未満であると、流れが安定しなくなり、
流体振動が不安定になるからであり、ΔＸが２５．２ｍ
ｍを超えると、圧損が大きくなるとともに大型となるか
らであるからである。そして、好ましくは、ΔＸ＝２５
ｍｍに設定することがよい。

【００２２】Ｘｔ＝３４．８〜５７．３ｍｍに設定する
と、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、Ｘｔ
が３４．８ｍｍ未満であると、排出口部２２４における
流動状態が不安定となり、流体振動が安定しなくなるか
らである。Ｘｔが５７．３ｍｍを超えると、圧力損失が
増大するとともに、素子の寸法が大きくなりすぎるから
である。そして、好ましくは、Ｘｔ＝５７ｍｍに設定す
ることがよい。

【００２３】Ｈ＝４．９５〜１０．０５ｍｍに設定する
と、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、Ｈが
４．９５ｍｍ未満であると、圧力損失が大きくなるため
計測範囲を広くすることができなくなるからであり、Ｈ
が１０．０５ｍｍを超えると、流路内の二次元流れが三
次元流れに変るからである。そして、好ましくは、Ｈ＝
５〜１０ｍｍに設定することがよい。

【００２４】そして、特に、拡大流路部２２１の半径Ｒ
を分母とし、他の各寸法、Ｈ、Ｒ２、Ｗｏ、Ｘｔ、ΔＸ
を分子とする無次元数をパラメータとして設定すること
が好ましく、その各パラメータは、Ｈ／Ｒ＝０．３４８
６〜０．７２８３、好ましくはＨ／Ｒ＝０．３５７１〜
０．７１４３、Ｒ２／Ｒ＝０．３４１５〜０．３７３
２、好ましくはＲ２／Ｒ＝０．３５７１、Ｗｏ／Ｒ＝
１．３２３９〜１．３９１３、好ましくはＷｏ／Ｒ＝
１．３５７１、Ｘｔ／Ｒ＝２．４５０７〜４．１５２
２、好ましくはＸｔ／Ｒ＝４．０７１、ΔＸ／Ｒ＝０．
２００７〜１．８２６１、好ましくはΔＸ／Ｒ＝１．７
８５７となる。

【００２５】すなわち、上記各パラメータの数値を用い
た設計を行なうことにより、測定範囲が広くかつ計測精
度のよい流体振動形流量計の素子を開発することができ
る。

【００２６】また、拡大流路部２２１の半径Ｒを上記の
ように分母に選んだ理由は、拡大流路部２２１の半径が
下流側流路２２０の形状決定に重要な寸法であるからで
ある。

【００２７】さらに、上記各寸法Ｈ、Ｒ２、Ｗｏ、Ｘ
ｔ、ΔＸを分子に選んだ理由は、次の通りである。すな
わち、Ｈを選んだ理由は二次元流路の決定に重要となる
因子であるからであり、Ｒ２を選んだ理由は排出口部２
２４からの流出流量決定に重要な要素であり、流体振動
の安定性の決定に関するからであり、Ｗｏを選んだ理由
は排出口部２２４の流動状態決定に関する項目であり、
流体振動の安定性に重要な要素となるからであり、Ｘｔ
を選んだ理由は流体振動の安定性及び素子の大きさを決
定する寸法であるからであり、ΔＸを選んだ理由は排出
口部２２４の流動状態の安定性に重要となるからであ
る。

【００２８】次に、図２〜図７を参照して実験結果例を
説明する。これらの図は、実測によって得られたストロ
ーハル数（ＳＴ）と、レイノルズ数（ＲＥ）の関係を示
したものである。ストローハル数（ＳＴ）が一定である
範囲が広いほど、流量を精度良く測定できる範囲が大き
くなる。ストローハル数（ＳＴ）及びレイノルズ数（Ｒ
Ｅ）を数式で表すと次の通りである。

【００２９】ＳＴ＝Ｆ×ｄ／Ｕ…（１） ＲＥ＝Ｕ×ｄ／ν…（２） ただし、Ｆは流体振動周波数［Ｈｚ］、ｄはノズル流路
の相当直径［ｍ］、Ｕはジエット流の平均流速［ｍ／
ｓ］、νはガスの運動粘度［ｍ²／ｓ］である。

【００３０】図２に示すものは、Ｒｎ＝５ｍｍ、Ｒ＝１
４ｍｍ、Ｒ１＝７ｍｍ、Ｒ２＝５ｍｍ、Ｘ＝２０．５ｍ
ｍ、Ｙ＝１０．５ｍｍ、Ｗｏ＝１９ｍｍ、ΔＸ＝２５ｍ
ｍ、Ｘｔ＝５７ｍｍ、Ｌｎ＝３０ｍｍ、Ｗ＝２．５ｍ
ｍ、Ｈ＝５ｍｍ、Ｌｊ＝１３．７ｍｍ、Ｄｂ＝１５ｍｍ
の素子で実験した結果である。また、Ｄｂは、素子の上
流側に取付けるガス供給路内に設置する半円柱の直径で
ある。また、図において、Ｒｅ１は、ストローハル数
（ＳＴ）が一定である範囲の下限値を示すレイノルズ数
であり、Ｒｅ２は、同範囲の上限値を示すレイノルズ数
である。したがって、Ｒｅ１とＲｅ２との間隔が広いほ
ど、流量を計測精度良く測定できる範囲が大きくなる。
さらに、図において、Ｒｅｃは本形状の素子で流量測定
できる上限値を示すものである。

【００３１】そして、図２においては、Ｒｅ１とＲｅ２
との間隔が広く、流量を計測精度良く測定できる範囲が
大きいといえる。すなわち、図２の実験に用いた流体振
動形流量計は、測定範囲が広く、かつ計測精度の良いも
のである。

【００３２】図３に示すものは、Ｒｎ＝５ｍｍ、Ｒ＝１
４ｍｍ、Ｒ１＝７ｍｍ、Ｒ２＝５ｍｍ、Ｘ＝２０．５ｍ
ｍ、Ｙ＝１０．５ｍｍ、Ｗｏ＝１９ｍｍ、ΔＸ＝２５ｍ
ｍ、Ｘｔ＝５７ｍｍ、Ｌｎ＝２０ｍｍ、Ｗ＝２．５ｍ
ｍ、Ｈ＝６ｍｍ、Ｌｊ＝１３．５ｍｍ、Ｄｂ＝１５ｍｍ
の素子で実験した結果である。この場合には、Ｒｅ１と
Ｒｅ２との間隔がさらに広がっており、計測精度良く測
定できる範囲がさらに大きくなっている。

【００３３】図４に示すものは、Ｒｎ＝５ｍｍ、Ｒ＝１
４ｍｍ、Ｒ１＝７ｍｍ、Ｒ２＝５ｍｍ、Ｘ＝２０．５ｍ
ｍ、Ｙ＝１０．５ｍｍ、Ｗｏ＝１９ｍｍ、ΔＸ＝２５ｍ
ｍ、Ｘｔ＝５７ｍｍ、Ｌｎ＝２０ｍｍ、Ｗ＝２．５ｍ
ｍ、Ｈ＝６ｍｍ、Ｌｊ＝１３．８ｍｍ、Ｄｂ＝１５ｍｍ
の素子で実験した結果である。この場合にも、Ｒｅ１と
Ｒｅ２との間隔が広く、流量を計測精度良く測定できる
範囲が大きいといえる。

【００３４】図５に示すものは、Ｒｎ＝５ｍｍ、Ｒ＝１
４ｍｍ、Ｒ１＝７ｍｍ、Ｒ２＝５ｍｍ、Ｘ＝２０．５ｍ
ｍ、Ｙ＝１０．５ｍｍ、Ｗｏ＝１９ｍｍ、ΔＸ＝２５ｍ
ｍ、Ｘｔ＝５７ｍｍ、Ｌｎ＝１５ｍｍ、Ｗ＝２．５ｍ
ｍ、Ｈ＝７．５ｍｍ、Ｌｊ＝１４ｍｍ、Ｄｂ＝１５ｍｍ
の素子で実験した結果である。この場合にも、Ｒｅ１と
Ｒｅ２との間隔が広く、流量を計測精度良く測定できる
範囲が大きいといえる。

【００３５】図６に示すものは、Ｒｎ＝５ｍｍ、Ｒ＝１
４ｍｍ、Ｒ１＝７ｍｍ、Ｒ２＝５ｍｍ、Ｘ＝２０．５ｍ
ｍ、Ｙ＝１０．５ｍｍ、Ｗｏ＝１９ｍｍ、ΔＸ＝２５ｍ
ｍ、Ｘｔ＝５７ｍｍ、Ｌｎ＝１５ｍｍ、Ｗ＝２．５ｍ
ｍ、Ｈ＝９ｍｍ、Ｌｊ＝１４ｍｍ、Ｄｂ＝１５ｍｍの素
子で実験した結果である。この場合にも、Ｒｅ１とＲｅ
２との間隔が広く、流量を計測精度良く測定できる範囲
が大きいといえる。

【００３６】図７に示すものは、Ｒｎ＝５ｍｍ、Ｒ＝１
４ｍｍ、Ｒ１＝７ｍｍ、Ｒ２＝５ｍｍ、Ｘ＝２０．５ｍ
ｍ、Ｙ＝１０．５ｍｍ、Ｗｏ＝１９ｍｍ、ΔＸ＝２５ｍ
ｍ、Ｘｔ＝５７ｍｍ、Ｌｎ＝１５ｍｍ、Ｗ＝２．５ｍ
ｍ、Ｈ＝１０ｍｍ、Ｌｊ＝１４．４ｍｍ、Ｄｂ＝１５ｍ
ｍの素子で実験した結果である。この場合にも、Ｒｅ１
とＲｅ２との間隔が広く、流量を計測精度良く測定でき
る範囲が大きいといえる。

【００３７】そして、上記実験結果によって、Ｒについ
ては、Ｒ＝１３．８〜１４．２ｍｍの範囲で良好な流量
計測が行なえることが、図２〜図７から明らかになっ
た。

【００３８】Ｒ２については、Ｒ２＝４．８５〜５．１
５ｍｍの範囲で良好な流量計測が行なえることが明らか
になった。

【００３９】Ｗｏについては、Ｗｏ＝１８．８〜１９．
２ｍｍの範囲で良好な流量計測が行なえることが、図２
〜図７より分る。

【００４０】ΔＸについては、ΔＸ＝２．８５〜２５．
２ｍｍの範囲で良好な流量計測が行なえることが、また
Ｘｔについては、Ｘｔ＝３４．８〜５７．３ｍｍの範囲
で良好な流量計測が行なえることが明らかになった。

【００４１】Ｈについては、Ｈ＝４．９５〜１０．０５
ｍｍの範囲で良好な流量計測が行なえることが、図２〜
図７を比較して分る。

【００４２】また、以上の実験から、Ｗ＝２．５ｍｍ、
Ｈ＝１０ｍｍ、Ｌｎ＝１５ｍｍ、Ｌｊ＝１４．４ｍｍ、
Ｄｂ＝１５ｍｍ、Ｘｔ＝５７ｍｍ、ΔＸ＝２５ｍｍに設
定することによって、最大計測流量を約７ｍ³／ｈに増
大させることができる結果が得られた。

【００４３】

【発明の効果】この発明においては、拡大流路部の半径
Ｒを分母とし、他の各寸法Ｈ、Ｒ２、Ｗｏ、Ｘｔ、ΔＸ
を分子とする無次元数をパラメータとして、このパラメ
ータをＨ／Ｒ＝０．３４８６〜０．７２８３、Ｒ２／Ｒ
＝０．３４１５〜０．３７３２、Ｗｏ／Ｒ＝１．３２３
９〜１．３９１３、Ｘｔ／Ｒ＝２．４５０７〜４．１５
２２、ΔＸ／Ｒ＝０．２００７〜１．８２６１のような
値に設定することによって、測定範囲が広くかつ計測精
度のよい流体振動形流量計の素子を開発することができ
る。ただし、Ｒ＝１４ｍｍに設定することが好ましい。
また、ノズル幅Ｗが３．１ｍｍ以下のものに適用するこ
とが好ましい。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例として示した流体振動形流
量計の要部平面図である。

【図２】同流体振動形流量計の実験結果を示す図であ
る。

【図３】同流体振動形流量計の実験結果を示す図であ
る。

【図４】同流体振動形流量計の実験結果を示す図であ
る。

【図５】同流体振動形流量計の実験結果を示す図であ
る。

【図６】同流体振動形流量計の実験結果を示す図であ
る。

【図７】同流体振動形流量計の実験結果を示す図であ
る。

【図８】従来例として示した流体振動形流量計の断面図
である。

【符号の説明】

２ ノズル部材 ２００ 上流側流路 ２１０ ノズル流路 ２１１ ノズル縮流部 ２１２ ノズル助走部 ２２０ 下流側流路 ２２１ 拡大流路部 ２２２ 第１の縮流部 ２２３ 第２の縮流部 ２２４ 排出口部 Ｃ 中心線 ＦＭ 流体振動形流量計

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 厚さ方向の寸法が一定に形成され、かつ
   中心線を介して左右対称に形成された２次元流路として
   の上流側流路、ノズル流路及び下流側流路を有し、前記
   ノズル流路から下流側流路に噴出する噴流の流体振動に
   基づいて流量を検出するように構成された流体振動形流
   量計であって、 前記下流側流路は、前記ノズル流路の出口に対して円弧
   状に凹なる面で幅が広がるように形成された拡大流路部
   と、この拡大流路部の下流側に位置し、円弧状に凸なる
   面で幅が狭まるように形成された第２の縮流部と、この
   第２の縮流部の下流側に連続して形成された所定の幅の
   排出口部を有しており、 前記拡大流路部の半径をＲ、第２の縮流部の半径をＲ
   ２、排出口部の幅をＷｏ、ノズル流路の出口から中心線
   に沿って下流側に延在しＷｏの幅の終点位置までの寸法
   をＸｔ、排出口部の上流側の端部から中心線に沿って下
   流側に延在しＷｏの幅の終点位置までの寸法をΔＸ、厚
   さ方向の寸法をＨとした場合、 Ｈ／Ｒ＝０．３４８６〜０．７２８３ Ｒ２／Ｒ＝０．３４１５〜０．３７３２ Ｗｏ／Ｒ＝１．３２３９〜１．３９１３ Ｘｔ／Ｒ＝２．４５０７〜４．１５２２ ΔＸ／Ｒ＝０．２００７〜１．８２６１ の関係を有することを特徴とする流体振動形流量計。