JPH10132627A

JPH10132627A - 流体振動形流量計

Info

Publication number: JPH10132627A
Application number: JP28868596A
Authority: JP
Inventors: Minoru Kumagai; 稔熊谷
Original assignee: Yazaki Corp
Current assignee: Yazaki Corp
Priority date: 1996-10-30
Filing date: 1996-10-30
Publication date: 1998-05-22

Abstract

(57)【要約】【課題】流量測定範囲の異なる流体振動形流量計を開
発するにあたって、その開発に要する費用や時間等を低
減することのできる流体振動形流量計を提供することに
ある。【解決手段】ノズル助走部２１２の幅をＷ、ノズル縮
流部２１１の半径をＲｎ、厚さ方向の寸法をＨ、ノズル
助走部２１２の中心線に沿う方向の寸法をＬｎ、拡大流
部２２１の半径をＲ、排出口部２２４の幅をＷｏ、第１
の縮流部２２２の半径をＲ１、第２の縮流部２２３の半
径をＲ２とした場合、Ｗ＝１．５〜３ｍｍ、Ｒｎ／Ｗ＝
１．６７〜３．３３、Ｈ／Ｗ＝１．６７〜３．３３、Ｌ
ｎ／Ｗ＝０〜２０．０、Ｒ／Ｗ＝４．６７〜９．３３、
Ｗｏ／Ｗ＝６．３３〜１２．６７、Ｒ１／Ｗ＝２．３３
〜４．６７、Ｒ２／Ｗ＝１．６７〜３．３３の関係を有
することを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、２次元流路のノ
ズルより噴出される噴流に生じる流体振動から流量を検
出する流体振動形流量計に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の流体振動形流量計としては、例
えば図６に示すものが知られている。この図に示す流体
振動形流量計ＦＭは、カバー５で閉じられるハウジング
１内に一対のノズル部材２、２を設けることにより、同
ハウジング１内にノズル流路２１０を構成するととも
に、このノズル流路２１０の上流側及び下流側にぞれぞ
れ上流側流路２００及び下流側流路２２０を構成する構
造になっている。下流側流路２２０には、ノズル流路２
１０の延長線上（中心線Ｃ上）にターゲット３が設けら
れている。そして、ノズル流路２１０を通って噴出する
ガス（流体）がターゲット３に衝突することによって流
体振動が発生し、この流体振動に基づいて流量を検出す
る原理になっている。

【０００３】上記ハウジング１は、凹状に形成された箱
型矩形状の溝１ａによって構成されている。そして、溝
１ａの正面をカバー５で覆うことによって、上流側流路
２００、ノズル流路２１０及び下流側流路２２０からな
る２次元流路を構成する。すなわち、上流側流路２０
０、ノズル流路２１０及び下流側流路２２０は、深さ
（厚さ方向の寸法）が一定で、中心線Ｃを介して左右対
称の２次元流路によって連続的に形成されている。

【０００４】さらに、ハウジング１は、流入口１ｂ及び
流出口１ｃを介して他の流路に接続できるように構成さ
れている。また、ハウジング１には、下流側流路２２０
におけるノズル流路２１０の近傍に圧力取出し口４が２
つ設けられている。これらの圧力取出し口４には圧力セ
ンサが接続されており、この圧力センサによってノズル
流路２１０から噴出する噴流の流体振動を検出する。

【０００５】また、ハウジング１には、カバー５を固定
するためのねじ穴１ｅが形成されているとともに、ノズ
ル部材２を固定するためのねじ穴（図示せず）が形成さ
れている。ねじ穴１ｅには、カバー５を固定するための
ボルト６がねじ込まれるようになっている。また、ノズ
ル部材２には、上記ボルト６の通る貫通孔２ａが形成さ
れているとともに、ノズル部材２をハウジング１に固定
するためのボルト７の貫通孔２ｂが形成されている。

【０００６】そして、流体振動形流量計ＦＭは、流体振
動の周波数と、ガス（流体）の流量あるいは流速が比例
関係にあることから、上記圧力センサを介して流体振動
の周波数を検出することによって、流量を測定する方式
になっている。なお、上記流体振動形流量計ＦＭは、Ｌ
Ｐガスの流量を測定するものであり、ＬＰガスの流体振
動を測定することになる。ただし、上記構造の流体振動
形流量計ＦＭにあっては、ＬＰガス以外の他の気体や、
液体の流量を測定することも可能である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】そして、上述したよう
な流体振動形流量計ＦＭにおいては、測定範囲が広く、
かつ計測精度の優れたものを得ることが重要である。し
かし、測定範囲や計測精度がノズル流路２１０の幅Ｗや
長さ（助走距離）Ｌｎ、下流側流路２２０の形状等の影
響を受けるため、実際にノズル流路２１０の幅Ｗを変え
て流量測定範囲の異なる流体振動形流量計ＦＭを開発す
るにあたっては、試作と実験を繰り返すことによって、
上記ノズル流路２１０の幅Ｗ、長さＬｎ等の寸法につい
て最適なものを見出ださなければならない。このため、
一つの流体振動形流量計ＦＭを開発するためには、多く
の費用や時間等がかかるという問題があった。

【０００８】この発明は上述した問題を解消するために
なされたもので、流量測定範囲の異なる流体振動形流量
計を開発するにあたって、その開発に要する費用や時間
等を低減することのできる流体振動形流量計を提供する
ことを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、厚さ方向の寸法が一定に形成され、か
つ中心線を介して左右対称に形成された２次元流路とし
ての上流側流路、ノズル流路及び下流側流路を有し、前
記ノズル流路から下流側流路に噴出する噴流の流体振動
に基づいて流量を検出するように構成された流体振動形
流量計であって、前記ノズル流路は、前記上流側流路に
面し、円弧状に凸なる面で幅が狭まるように形成された
ノズル縮流部と、このノズル縮流部の下流側に連続して
形成された所定の幅のノズル助走部を有しており、前記
下流側流路は、前記ノズル助走部の出口に対して円弧状
に凹なる面で幅が広がるように形成された拡大流部と、
この拡大流部の下流側に位置し、円弧状に凹なる面で幅
が狭まるように形成された第１の縮流部と、この第１の
縮流部の下流側に位置し、円弧状に凸なる面で幅が狭ま
るように形成された第２の縮流部と、この第２の縮流部
の下流側に連続して形成された所定の幅の排出口部を有
しており、前記ノズル助走部の幅をＷ、ノズル縮流部の
半径をＲｎ、厚さ方向の寸法をＨ、ノズル助走部の中心
線に沿う方向の寸法をＬｎ、拡大流部の半径をＲ、排出
口部の幅をＷｏ、第１の縮流部の半径をＲ１、第２の縮
流部の半径をＲ２とした場合、Ｗ＝１．５〜３ｍｍ、Ｒ
ｎ／Ｗ＝１．６７〜３．３３、Ｈ／Ｗ＝１．６７〜３．
３３、Ｌｎ／Ｗ＝０〜２０．０、Ｒ／Ｗ＝４．６７〜
９．３３、Ｗｏ／Ｗ＝６．３３〜１２．６７、Ｒ１／Ｗ
＝２．３３〜４．６７、Ｒ２／Ｗ＝１．６７〜３．３３
の関係を有することを特徴としている。

【００１０】そして、上記のように構成された発明にお
いては、ノズル助走部の幅Ｗを１．５〜３ｍｍに設定
し、このノズル助走部の幅Ｗを分母とし、他の各寸法Ｒ
ｎ、Ｈ、Ｌｎ、Ｒ、Ｗｏ、Ｒ１、Ｒ２、を分子とする無
次元数をパラメータとして、このパラメータを上記の範
囲のものに標準化することよって、測定範囲が広くかつ
計測精度の良好なものが得られる。したがって、上記各
パラメータの数値を用いることによって、流量測定範囲
の異なるものを開発する際の費用や時間等を低減するこ
とができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図１〜図５（図２〜図５は実験例）を参照して説明す
る。ただし、図６に示す従来例の構成要素と共通する要
素には同一の符号を付して説明を省略する。

【００１２】この実施の形態で示す流体振動形流量計Ｆ
Ｍは、図１に示すように、厚さ方向の寸法が一定に形成
され、かつ中心線Ｃを介して左右対称に形成された２次
元流路としての上流側流路２００、ノズル流路２１０及
び下流側流路２２０を有し、前記ノズル流路２１０から
下流側流路２２０に噴出する噴流の流体振動に基づいて
流量を検出するように構成されたものである。

【００１３】ノズル流路２１０は、上流側流路２００に
面し、円弧状に凸なる面で幅が狭まるように形成された
ノズル縮流部２１１と、このノズル縮流部２１１の下流
側に連続して形成された所定の幅のノズル助走部２１２
を有している。

【００１４】下流側流路２２０は、ノズル助走部２１２
の出口に対して円弧状に凹なる面で幅が広がるように形
成された拡大流部２２１と、この拡大流部２２１の下流
側に位置し、円弧状に凹なる面で幅が狭まるように形成
された第１の縮流部２２２と、この第１の縮流部２２２
の下流側に位置し、円弧状に凸なる面で幅が狭まるよう
に形成された第２の縮流部２２３と、この第２の縮流部
２２３の下流側に連続して形成された所定の幅の排出口
部２２４を有している。そして、拡大流部２２１と第１
の縮流部２２２、あるいは第１の縮流部２２２と第２の
縮流部２２３は、平面を介して接続されている。ただ
し、平面を介さずに直接接続するように構成してもよ
い。

【００１５】また、ノズル縮流部２１１の半径をＲｎ、
拡大流部２２１の半径をＲ、第１の縮流部２２２の半径
をＲ１、第２の縮流部２２３の半径をＲ２、第１の縮流
部２２２の半径Ｒ１の中心点から前記中心線Ｃに垂線を
おろし、その交点からノズル助走部２１２の出口までの
距離をＸ、同交点から第１の縮流部２２２の半径Ｒ１の
中心点までの距離をＹ、排出口部２２４の幅をＷｏ、ノ
ズル助走部２１２の中心線Ｃに沿う方向の寸法をＬｎ、
ノズル助走部２１２の幅をＷ、２次元流路としての各流
路２００、２１０、２２０の厚さ方向の寸法（紙面に直
交する方向の寸法）をＨ（図示せず）として示す。

【００１６】さらに、図１にはターゲット３及び圧力取
出し口４について示していないが、これらのターゲット
３及び圧力センサ４についても図６に示すものと同様に
ハウジング１に設けられている。そして、ノズル助走部
２１２の出口からターゲット３までの距離はＬｊになっ
ている。

【００１７】また、ハウジング１の流出口１ｃの幅も排
出口部２２４の幅と同じ寸法Ｗｏに形成されている。

【００１８】そして、図１においては、Ｗ＝２．５ｍ
ｍ、Ｒｎ＝５ｍｍ、Ｈ＝５ｍｍ（Ｈの符号は図示せ
ず）、Ｌｎ＝２０ｍｍ、Ｒ＝１４ｍｍ、Ｗｏ＝１９ｍ
ｍ、Ｒ１＝７ｍｍ、Ｒ２＝５ｍｍＸ＝２０．５ｍｍ、Ｙ
＝１０．５ｍｍに形成されたものが示されている。この
寸法のものは、測定範囲が広くかつ計測精度が良いもの
として許容される。

【００１９】しかも、Ｗ＝１．５〜３ｍｍ、Ｒｎ／Ｗ＝
１．６７〜３．３３、Ｈ／Ｗ＝１．６７〜３．３３、Ｌ
ｎ／Ｗ＝０〜２０．０、Ｒ／Ｗ＝４．６７〜９．３３、
Ｗｏ／Ｗ＝６．３３〜１２．６７、Ｒ１／Ｗ＝２．３３
〜４．６７、Ｒ２／Ｗ＝１．６７〜３．３３のように設
定したものも、測定範囲が広くかつ計測精度が良いもの
として許容される。

【００２０】そして、Ｗ＝１．５〜３ｍｍに設定するこ
とによって、測定範囲が広くかつ計測精度が良いものと
なることは、後述する実験結果（図２〜図５参照）によ
って証明されている。そして、好ましくは、Ｗ＝２．５
ｍｍに設定することがよい。

【００２１】また、Ｒｎ／Ｗ＝１．６７〜３．３３に設
定すると、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるの
は、Ｒｎ／Ｗが１．６７未満であると、ノズル流路入口
部近傍で縮流が生じて流れが乱れ、噴出する噴流の二次
元性が保たれなくなるからであり、Ｒｎ／Ｗが３．３３
を超えると、ノズル縮流部の寸法が大きくなり過ぎると
ともに、流入ガスの衝突する角度が小さくなるからであ
る。そして、好ましくは、Ｒｎ／Ｗ＝２に設定すること
がよい。また、Ｒｎ／Ｗ＝１．６７〜３．３３に設定す
ると、Ｒｎ＝４．９９５〜５．０１ｍｍになる。

【００２２】Ｈ／Ｗ＝１．６７〜３．３３に設定する
と、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、Ｈ／
Ｗが１．６７未満であると、二次元流路の上・下の壁面
の影響を受けて、噴流の流速分布を一様に保つことがで
きなくなるからであり、Ｈ／Ｗが３．３３を超えると、
最小計測流量を十分に低い流量まで低下させることがで
きなくなるからである。そして、好ましくは、Ｈ／Ｗ＝
２に設定することがよい。また、Ｈ／Ｗ＝１．６７〜
３．３３に設定すると、Ｈ＝４．９９５〜５．０１ｍｍ
になる。

【００２３】Ｌｎ／Ｗ＝０〜２０．０に設定すると、測
定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、Ｌｎ／Ｗが
０未満であると、ノズル流路の幅を所定の寸法に設定す
ることができなくなるからであり、Ｌｎ／Ｗが２０．０
を超えると、ノズル流路による圧力損失が大きくなり過
ぎるからである。そして、好ましくは、Ｌｎ／Ｗ＝８に
設定することがよい。また、Ｌｎ／Ｗ＝０〜２０．０に
設定すると、Ｌｎ＝０〜３０ｍｍになる。

【００２４】Ｒ／Ｗ＝４．６７〜９．３３に設定する
と、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、Ｒ／
Ｗが４．６７未満であると、帰還流がノズル流路より噴
射される噴流を、側面から打つ角度が鋭くなり過ぎ、流
体振動が安定しなくなるからであり、Ｒ／Ｗが９．３３
を超えると、帰還流が噴流を側面から打つ角度が大きく
なり過ぎ、流体振動が起こりにくくなるからである。そ
して、好ましくは、Ｒ／Ｗ＝５．６に設定することがよ
い。また、Ｒ／Ｗ＝４．６７〜９．３３に設定すると、
Ｒ＝１３．９９５〜１４．０１ｍｍになる。

【００２５】Ｗｏ／Ｗ＝６．３３〜１２．６７に設定す
ると、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、Ｗ
ｏ／Ｗが６．３３未満であると、排出口へガスが流入し
づらくなるとともに、圧力損失が増加するため流体振動
が安定しなくなるからであり、Ｗｏ／Ｗが１２．６７を
超えると、排出口の内部における流動状態が安定しなく
なるため、流体振動が不安定となるからである。そし
て、好ましくは、Ｗｏ／Ｗ＝７．６に設定することがよ
い。また、Ｗｏ／Ｗ＝６．３３〜１２．６７に設定する
と、Ｗｏ＝１８．９９〜１９．００５ｍｍになる。

【００２６】Ｒ１／Ｗ＝２．３３〜４．６７に設定する
と、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、Ｒ１
／Ｗが２．３３未満であると、帰還流の流量が少なくな
り、よって、流体振動が起こりにくくなるからであり、
Ｒ１／Ｗが４．６７を超えると、ターゲットを通過した
後の噴流が下流側流路の底に衝突した後、排出口へ流出
する流量が多くなるからである。そして、好ましくは、
Ｒ１／Ｗ＝２．８に設定することがよい。また、Ｒ１／
Ｗ＝２．３３〜４．６７に設定すると、Ｒ１＝６．９９
〜７．００５ｍｍになる。

【００２７】Ｒ２／Ｗ＝１．６７〜３．３３に設定する
と、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、Ｒ２
／Ｗが１．６７未満であると、排出口へ流出する流れが
安定しなくなり、噴流の流体振動が不安定となるからで
あり、Ｒ２／Ｗが３．３３を超えると、排出口へのガス
の流出が起こりやすくなるため、帰還流の流量が少なく
なるからである。そして、好ましくは、Ｒ２／Ｗ＝２に
設定することがよい。また、Ｒ２／Ｗ＝１．６７〜３．
３３に設定すると、Ｒ２＝４．９９５〜５．０１ｍｍに
なる。

【００２８】さらに、上記寸法Ｗを分母とし、各寸法Ｒ
ｎ、Ｈ、Ｌｎ、Ｒ、Ｗｏ、Ｒ１、Ｒ２を分子とする無次
元数をパラメータに選んだ理由は、次の通りである。

【００２９】すなわち、Ｗを選んだ理由はノズル流路よ
り噴射される噴流の形状あるいは流動状態を決定する最
も重要な寸法だからである。

【００３０】Ｒｎを選んだ理由は、ノズル流路へ流入す
るガスのノズル流路内における縮流状態を決定する項目
であるからである。

【００３１】Ｈを選んだ理由は、最大計測流量あるいは
最小計測流量を決定する上で重要となる項目であるから
である。

【００３２】Ｌｎを選んだ理由は、ノズル流路内部にお
ける整流効果あるいは二次元性を決定する上で重要とな
るからである。

【００３３】Ｒを選んだ理由は、帰還流が噴流を打つ角
度を規定する寸法だからである。

【００３４】Ｗｏを選んだ理由は、排出口の流動状態及
び圧力損失を決定する寸法だからである。

【００３５】Ｒ１を選んだ理由は、帰還流の流量を制御
する重要な寸法だからである。

【００３６】Ｒ２を選んだ理由は、排出口への流量を制
御する寸法であるからである。

【００３７】以上のように、各パラメータの数値を用い
た設計を行なうことにより、測定範囲が広くかつ計測精
度のよい流体振動形流量計を開発することができる。

【００３８】次に、図２〜図５を参照して実験例を説明
する。これらの図は、実測によって得られたストローハ
ル数（ＳＴ）と、レイノルズ数（ＲＥ）の関係を示した
ものである。ストローハル数（ＳＴ）が一定である範囲
が広いほど、流量を計測精度良く測定できる範囲が大き
くなる。ストローハル数（ＳＴ）及びレイノルズ数（Ｒ
Ｅ）を数式で表すと次の通りである。

【００３９】

【数１】ｆは流体振動周波数［Ｈ_Z］Ｕはジェット流の平均速度［ｍ／ｓ］Ｄはノズルの相当直径［ｍ］ νは流体の運動粘度［ｍ²／ｓ］である図２に示すものは、Ｗ＝１．５ｍｍ、Ｒｎ＝５ｍｍ、Ｈ
＝５ｍｍ、Ｌｎ＝２０ｍｍ、Ｗｏ＝１９ｍｍ、Ｒ１＝７
ｍｍ、Ｒ２＝５ｍｍ、Ｘ＝２０．５ｍｍ、Ｙ＝１０．５
ｍｍのもので実験した結果である。

【００４０】また、図２において、Ｄｂは、ガス供給路
（図示せず）に設ける半円柱の直径であり、１５ｍｍに
設定されている。

【００４１】さらに、図２において、Ｒｅ１は、ストロ
ーハル数（ＳＴ）が一定となる範囲の下限値を示すレイ
ノルズ数であり、Ｒｅ２は、同範囲の上限値を示すレイ
ノルズ数である。したがって、Ｒｅ１とＲｅ２との間隔
が広いほど、流量を計測精度良く測定できる範囲が大き
くなる。さらに、図２において、Ｒｅｃは流量計測可能
な流量の上限である。

【００４２】そして、図２においては、Ｒｅ１とＲｅ２
との間隔が広く、流量を計測精度良く測定できる範囲が
大きいといえる。すなわち、図２の実験に用いた流体振
動形流量計は、測定範囲が広く、かつ計測精度の良いも
のである。

【００４３】図３に示すものは、図２に示すもの対し
て、Ｗのみを２ｍｍに変更した時の実験結果である。こ
の場合には、Ｒｅ１とＲｅ２との間隔がさらに広がって
おり、計測精度良く測定できる範囲がさらに大きくなっ
ている。

【００４４】図４に示すものは、図２に示すもの対し
て、Ｗのみを２．５ｍｍに変更した場合の実験結果であ
る。この場合には、図３に示す実験結果より、Ｒｅ１と
Ｒｅ２との間隔がさらに広がっており、計測精度良く測
定できる範囲がさらに大きくなっている。

【００４５】図５に示すものは、図２に示すもの対し
て、Ｗのみを３ｍｍに変更した場合の実験結果である。
この場合には、図４に示す実験結果より、Ｒｅ１とＲｅ
２との間隔がやや狭まっているが、精度良く測定できる
範囲が大きい。

【００４６】以上の実験結果より、ノズル助走部２１２
の幅Ｗ＝１．５〜３ｍｍでストローハル数一定の領域が
大きくなり、良好な流量計測が可能となることが明らか
になった。

【００４７】そして、上記各パラメータの数値を用いる
ことによって、Ｗ＝１．５〜３ｍｍの範囲における流量
測定範囲の異なる流体振動形流量計を、短時間で、かつ
低コストで開発することができる。

【００４８】

【発明の効果】請求項１に係る発明においては、ノズル
助走部の幅Ｗを１．５〜３ｍｍに設定し、このノズル助
走部の幅Ｗを分母とし、他の各寸法Ｒｎ、Ｈ、Ｌｎ、
Ｒ、Ｗｏ、Ｒ１、Ｒ２を分子とする無次元数をパラメー
タとして、このパラメータを、Ｒｎ／Ｗ＝１．６７〜
３．３３、Ｈ／Ｗ＝１．６７〜３．３３、Ｌｎ／Ｗ＝０
〜２０．０、Ｒ／Ｗ＝４．６７〜９．３３、Ｗｏ／Ｗ＝
６．３３〜１２．６７、Ｒ１／Ｗ＝２．３３〜４．６
７、Ｒ２／Ｗ＝１．６７〜３．３３の範囲のものに標準
化することよって、測定範囲が広くかつ計測精度の良好
なものが得られる。したがって、上記各パラメータの数
値を用いることによって、流量測定範囲の異なるものを
開発する際の費用や時間等を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施の形態として示した流体振動
形流量計の要部平面図。

【図２】同流体振動形流量計の実験結果を示す図。

【図３】同流体振動形流量計の実験結果を示す図。

【図４】同流体振動形流量計の実験結果を示す図。

【図５】同流体振動形流量計の実験結果を示す図。

【図６】従来例として示した流体振動形流量計の平面
図。

【符号の説明】

２ノズル部材２００上流側流路２１０ノズル流路２１１ノズル縮流部２１２ノズル助走部２２０下流側流路２２１拡大流部２２２第１の縮流部２２３第２の縮流部２２４排出口部ＦＭ流体振動形流量計

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】厚さ方向の寸法が一定に形成され、かつ
中心線を介して左右対称に形成された２次元流路として
の上流側流路、ノズル流路及び下流側流路を有し、前記
ノズル流路から下流側流路に噴出する流体の流体振動に
基づいて流量を検出するように構成された流体振動形流
量計であって、前記ノズル流路は、前記上流側流路に面し、円弧状に凸
なる面で幅が狭まるように形成されたノズル縮流部と、
このノズル縮流部の下流側に連続して形成された所定の
幅のノズル助走部を有しており、前記下流側流路は、前記ノズル助走部の出口に対して円
弧状に凹なる面で幅が広がるように形成された拡大流部
と、この拡大流部の下流側に位置し、円弧状に凹なる面
で幅が狭まるように形成された第１の縮流部と、この第
１の縮流部の下流側に位置し、円弧状に凸なる面で幅が
狭まるように形成された第２の縮流部と、この第２の縮
流部の下流側に連続して形成された所定の幅の排出口部
を有しており、前記ノズル助走部の幅をＷ、ノズル縮流部の半径をＲ
ｎ、厚さ方向の寸法をＨ、ノズル助走部の中心線に沿う
方向の寸法をＬｎ、拡大流部の半径をＲ、排出口部の幅
をＷｏ、第１の縮流部の半径をＲ１、第２の縮流部の半
径をＲ２とした場合、Ｗ＝１．５〜３ｍｍＲｎ／Ｗ＝１．６７〜３．３３Ｈ／Ｗ＝１．６７〜３．３３Ｌｎ／Ｗ＝０〜２０．０Ｒ／Ｗ＝４．６７〜９．３３Ｗｏ／Ｗ＝６．３３〜１２．６７Ｒ１／Ｗ＝２．３３〜４．６７Ｒ２／Ｗ＝１．６７〜３．３３の関係を有することを特徴とする流体振動形流量計。