JP2000105114A - 斜入射干渉計装置 - Google Patents
斜入射干渉計装置Info
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- JP2000105114A JP2000105114A JP10275320A JP27532098A JP2000105114A JP 2000105114 A JP2000105114 A JP 2000105114A JP 10275320 A JP10275320 A JP 10275320A JP 27532098 A JP27532098 A JP 27532098A JP 2000105114 A JP2000105114 A JP 2000105114A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 光分離部と光合成部の一方にパスマッチ手段
を、他方に回折格子を各々配し、該パスマッチ手段を、
互いに非平行とされた、２枚のミラーにより構成し、こ
の２つのミラー間の距離を調整することで参照光と物体
光との光路差を補正し、簡易な構成で上記両光のパスマ
ッチを行なう。 【構成】 光源１からの可干渉距離の短い光を分離して
参照光５と物体光７を生成するため、２つのハーフミラ
ー３、４からなるパスマッチ手段３０が設けられてい
る。第１のハーフミラ−３は、入射された平行光の一部
を被検面６ａ方向に反射する一方、その余を透過する。
第２のハーフミラ−４は、第１のハーフミラー３を透過
した平行光の一部を回折格子８方向に反射する。２つの
ハーフミラー３、４は互いに非平行とされており、その
距離を調整することにより各々からの反射光の間に所定
の光路差を持たせ、回折格子８に到達した状態で参照光
５と物体光７との光路差を減少させる。
を、他方に回折格子を各々配し、該パスマッチ手段を、
互いに非平行とされた、２枚のミラーにより構成し、こ
の２つのミラー間の距離を調整することで参照光と物体
光との光路差を補正し、簡易な構成で上記両光のパスマ
ッチを行なう。 【構成】 光源１からの可干渉距離の短い光を分離して
参照光５と物体光７を生成するため、２つのハーフミラ
ー３、４からなるパスマッチ手段３０が設けられてい
る。第１のハーフミラ−３は、入射された平行光の一部
を被検面６ａ方向に反射する一方、その余を透過する。
第２のハーフミラ−４は、第１のハーフミラー３を透過
した平行光の一部を回折格子８方向に反射する。２つの
ハーフミラー３、４は互いに非平行とされており、その
距離を調整することにより各々からの反射光の間に所定
の光路差を持たせ、回折格子８に到達した状態で参照光
５と物体光７との光路差を減少させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、比較的大きい凹凸
が形成されている面の表面形状測定にも適応し得る斜入
射干渉計装置に関し、詳しくは回折格子を用いて、参照
光と、被検面からの反射光である物体光との光干渉を行
なわしめる斜入射干渉計装置に関するものである。
が形成されている面の表面形状測定にも適応し得る斜入
射干渉計装置に関し、詳しくは回折格子を用いて、参照
光と、被検面からの反射光である物体光との光干渉を行
なわしめる斜入射干渉計装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、可干渉光を被検面に対して斜
めに入射し、測定感度を低下させることによってある程
度凹凸の大きい被検面の表面形状測定を可能とした斜入
射干渉計装置が知られている。
めに入射し、測定感度を低下させることによってある程
度凹凸の大きい被検面の表面形状測定を可能とした斜入
射干渉計装置が知られている。
【０００３】このような斜入射干渉計装置としては種々
のタイプのものが知られているが、図４に示す如きバー
チ型のものはその代表的なものである。すなわち、この
バーチ型の斜入射干渉計装置は、図４に示すように、光
源１０１から射出される光をコリメータレンズ１０２で
平行光とし、この光を第１回折格子１０３によって回折
し、その回折された回折光のうち例えば＋１次回折光を
被検体１０５の被検面１０５ａにより反射させて物体光
１０６となすとともに、その反射された物体光１０６と
上記第１回折格子１０３を透過した０次光よりなる参照
光１０４とを第２回折格子１０７によって重ね合せて干
渉させ、これによって生成された干渉縞像をテレビカメ
ラ１１０により撮像し、その干渉縞像によって被検体１
０５の被検面１０５ａの形状を測定するようになってい
る。
のタイプのものが知られているが、図４に示す如きバー
チ型のものはその代表的なものである。すなわち、この
バーチ型の斜入射干渉計装置は、図４に示すように、光
源１０１から射出される光をコリメータレンズ１０２で
平行光とし、この光を第１回折格子１０３によって回折
し、その回折された回折光のうち例えば＋１次回折光を
被検体１０５の被検面１０５ａにより反射させて物体光
１０６となすとともに、その反射された物体光１０６と
上記第１回折格子１０３を透過した０次光よりなる参照
光１０４とを第２回折格子１０７によって重ね合せて干
渉させ、これによって生成された干渉縞像をテレビカメ
ラ１１０により撮像し、その干渉縞像によって被検体１
０５の被検面１０５ａの形状を測定するようになってい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような干渉計装置においては、参照光１０４は２つの
回折格子１０３、１０７の間を直進し、一方物体光１０
６は第１回折格子１０３から斜めに射出され、第2回折
格子１０７に斜めに入射することから、両者の間には大
きな光路差が生じてしまう。したがって、光源からの光
が可干渉性の余り良好なものでない場合には干渉縞像の
生成が困難となってしまう。
たような干渉計装置においては、参照光１０４は２つの
回折格子１０３、１０７の間を直進し、一方物体光１０
６は第１回折格子１０３から斜めに射出され、第2回折
格子１０７に斜めに入射することから、両者の間には大
きな光路差が生じてしまう。したがって、光源からの光
が可干渉性の余り良好なものでない場合には干渉縞像の
生成が困難となってしまう。
【０００５】このため、可干渉距離の短い光を射出する
光源を使用することが難しくなり、製造コストの低減を
図ることが難しくなるとともに、被検面以外の界面情報
を含む干渉縞画像を排除して信頼性の高い干渉縞測定を
行うことが困難となる。
光源を使用することが難しくなり、製造コストの低減を
図ることが難しくなるとともに、被検面以外の界面情報
を含む干渉縞画像を排除して信頼性の高い干渉縞測定を
行うことが困難となる。
【０００６】本発明はこのような事情に鑑みなされたも
のであり、これら両光の光路差を減少せしめることによ
り可干渉距離の短い光を射出する光源の利用を可能と
し、製造コストの低廉化および干渉縞測定の高信頼性を
確保し得る構成簡易な斜入射干渉計装置を提供すること
を目的とするものである。
のであり、これら両光の光路差を減少せしめることによ
り可干渉距離の短い光を射出する光源の利用を可能と
し、製造コストの低廉化および干渉縞測定の高信頼性を
確保し得る構成簡易な斜入射干渉計装置を提供すること
を目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の斜入射干
渉計装置は、光源と、該光源から射出された光を反射光
と透過光とに分離するハーフミラーと、該透過光を反射
せしめる、該ハーフミラーに対して非平行とされたミラ
ーと、該ハーフミラーからの反射光よりなる参照光と、
該ミラーからの反射光が被検面に斜入射した後、この被
検面により正反射されてなる物体光とを入射され、これ
らの入射光各々に対して回折光を射出する回折格子と、
該回折格子から射出された、前記参照光の回折光と前記
物体光の回折光とにより生じる干渉光を照射され、干渉
縞像を形成する像形成手段とからなり、前記ハーフミラ
ーと前記ミラーとの距離が前記参照光と前記物体光との
光路差を補正するような値に設定されてなることを特徴
とするものである。
渉計装置は、光源と、該光源から射出された光を反射光
と透過光とに分離するハーフミラーと、該透過光を反射
せしめる、該ハーフミラーに対して非平行とされたミラ
ーと、該ハーフミラーからの反射光よりなる参照光と、
該ミラーからの反射光が被検面に斜入射した後、この被
検面により正反射されてなる物体光とを入射され、これ
らの入射光各々に対して回折光を射出する回折格子と、
該回折格子から射出された、前記参照光の回折光と前記
物体光の回折光とにより生じる干渉光を照射され、干渉
縞像を形成する像形成手段とからなり、前記ハーフミラ
ーと前記ミラーとの距離が前記参照光と前記物体光との
光路差を補正するような値に設定されてなることを特徴
とするものである。
【０００８】また、本発明の第２の斜入射干渉計装置
は、光源と、該光源から射出された光を複数の回折光に
波面分割して射出する回折格子と、該回折格子からの複
数の回折光のうちの１つよりなる参照光と、他の１つが
被検面に斜入射した後、この被検面により正反射されて
なる物体光とを入射され、これらの入射光各々を反射光
と透過光とに分離するハーフミラーと、該ハーフミラー
からの透過光を反射せしめる、該ハーフミラーに対して
非平行とされたミラーと、前記参照光の該ミラーからの
反射光と前記物体光の該ハーフミラーからの反射光とに
より生じる干渉光を照射され、干渉縞像を形成する像形
成手段とからなり、前記ハーフミラーと前記ミラーとの
距離が前記参照光と前記物体光との光路差を補正するよ
うな値に設定されてなることを特徴とするものである。
は、光源と、該光源から射出された光を複数の回折光に
波面分割して射出する回折格子と、該回折格子からの複
数の回折光のうちの１つよりなる参照光と、他の１つが
被検面に斜入射した後、この被検面により正反射されて
なる物体光とを入射され、これらの入射光各々を反射光
と透過光とに分離するハーフミラーと、該ハーフミラー
からの透過光を反射せしめる、該ハーフミラーに対して
非平行とされたミラーと、前記参照光の該ミラーからの
反射光と前記物体光の該ハーフミラーからの反射光とに
より生じる干渉光を照射され、干渉縞像を形成する像形
成手段とからなり、前記ハーフミラーと前記ミラーとの
距離が前記参照光と前記物体光との光路差を補正するよ
うな値に設定されてなることを特徴とするものである。
【０００９】なお、上記「ミラー」は全反射ミラーとハ
ーフミラーを含むものとする。
ーフミラーを含むものとする。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を参照しながら説明する。
図面を参照しながら説明する。
【００１１】図１は本実施形態の斜入射干渉計装置を示
す概略図である。
す概略図である。
【００１２】図示するように、本実施形態装置は、可干
渉距離の短い光を射出する光源１と、この光源１からの
光を平行光とするコリメータレンズ２と、この平行光を
分離して２つの反射光を形成する２つのハーフミラー
３、４からなるパスマッチ手段３０と、このパスマッチ
手段３０からの２つの反射光のうち一方が参照光５とし
て直接入射され、他方が被検体６の被検面６ａに斜入射
された後正反射せしめられてなる物体光７として入射さ
れ、これら２つの入射光５、７に対し、各々回折光を射
出する回折格子８と、この回折格子８から射出された参
照光５の回折光と物体光７の回折光との干渉光を収束せ
しめる収束レンズ９と、この干渉光により生成される干
渉縞を撮像する、ＣＣＤ撮像素子を有するテレビカメラ
１０を備えている。
渉距離の短い光を射出する光源１と、この光源１からの
光を平行光とするコリメータレンズ２と、この平行光を
分離して２つの反射光を形成する２つのハーフミラー
３、４からなるパスマッチ手段３０と、このパスマッチ
手段３０からの２つの反射光のうち一方が参照光５とし
て直接入射され、他方が被検体６の被検面６ａに斜入射
された後正反射せしめられてなる物体光７として入射さ
れ、これら２つの入射光５、７に対し、各々回折光を射
出する回折格子８と、この回折格子８から射出された参
照光５の回折光と物体光７の回折光との干渉光を収束せ
しめる収束レンズ９と、この干渉光により生成される干
渉縞を撮像する、ＣＣＤ撮像素子を有するテレビカメラ
１０を備えている。
【００１３】なお、上記干渉光は回折格子８において回
折された、参照光５の１次回折光と物体光７の０次光と
を重ね合わせたものである。これは、回折光のうち、０
次光は１次回折光に比して格段に光量が大きいことか
ら、参照光５に比して光量の小さい物体光７の０次光と
参照光５の１次回折光とを干渉させることで光量のバラ
ンスを図り、干渉縞像のコントラストを良好にしようと
するものである。
折された、参照光５の１次回折光と物体光７の０次光と
を重ね合わせたものである。これは、回折光のうち、０
次光は１次回折光に比して格段に光量が大きいことか
ら、参照光５に比して光量の小さい物体光７の０次光と
参照光５の１次回折光とを干渉させることで光量のバラ
ンスを図り、干渉縞像のコントラストを良好にしようと
するものである。
【００１４】また、上記パスマッチ手段３０を構成する
２つのハーフミラ−３、４のうち第１のハーフミラ−３
は、入射された平行光の一部を被検体６の被検面６ａ方
向に反射する一方、その余を透過する。第２のハーフミ
ラ−４は、この第１のハーフミラー３を透過した平行光
の一部を第１のハーフミラー３を介して回折格子８方向
に反射する。
２つのハーフミラ−３、４のうち第１のハーフミラ−３
は、入射された平行光の一部を被検体６の被検面６ａ方
向に反射する一方、その余を透過する。第２のハーフミ
ラ−４は、この第１のハーフミラー３を透過した平行光
の一部を第１のハーフミラー３を介して回折格子８方向
に反射する。
【００１５】これら２つのハーフミラー３、４は互いに
非平行とされており、これにより、一方の反射光を直接
回折格子８に入射せしめ、他方の反射光を被検体６を経
由して回折格子８に入射せしめることが可能となる。
非平行とされており、これにより、一方の反射光を直接
回折格子８に入射せしめ、他方の反射光を被検体６を経
由して回折格子８に入射せしめることが可能となる。
【００１６】また、これらの２つのハーフミラー３、４
は、両者の距離を調整することにより各々からの反射光
の間に所定の光路差を持たせ、回折格子８に到達した状
態で参照光５と物体光７との光路差を補償することがで
きるようになっている。これにより、可干渉距離の短い
参照光５と物体光７であっても干渉縞像を形成すること
ができる。
は、両者の距離を調整することにより各々からの反射光
の間に所定の光路差を持たせ、回折格子８に到達した状
態で参照光５と物体光７との光路差を補償することがで
きるようになっている。これにより、可干渉距離の短い
参照光５と物体光７であっても干渉縞像を形成すること
ができる。
【００１７】ところで、上述したような干渉計装置にお
いては、被検面６ａの凹凸表面において入射光の一部が
散乱されることから、干渉せしめられた際に、物体光7
の光量が参照光５の光量に比して小さなものとなり、こ
れら参照光５と物体光７との光量差は大きなものとなっ
て、コントラストの高い干渉縞像を得ることが困難とな
る。
いては、被検面６ａの凹凸表面において入射光の一部が
散乱されることから、干渉せしめられた際に、物体光7
の光量が参照光５の光量に比して小さなものとなり、こ
れら参照光５と物体光７との光量差は大きなものとなっ
て、コントラストの高い干渉縞像を得ることが困難とな
る。
【００１８】そこで、本実施形態の装置においては、第
１のハーフミラー３の光透過率を調整して、被検体６の
被検面６ａに向かう反射光の光量が、直接回折格子８に
向かう反射光の光量よりも大となるようにしている。ま
た、第２のハーフミラー４は、被検面６ａの反射率に応
じて適切な反射率を有するものに交換し得るよう、容易
に着脱可能となっている。
１のハーフミラー３の光透過率を調整して、被検体６の
被検面６ａに向かう反射光の光量が、直接回折格子８に
向かう反射光の光量よりも大となるようにしている。ま
た、第２のハーフミラー４は、被検面６ａの反射率に応
じて適切な反射率を有するものに交換し得るよう、容易
に着脱可能となっている。
【００１９】これにより、２つのハーフミラー３、４よ
りなる簡易な構成のパスマッチ手段３０を用いて、参照
光５と物体光７との光路長の合致（パスマッチ）のみな
らず光量の合致も行なうことができる。
りなる簡易な構成のパスマッチ手段３０を用いて、参照
光５と物体光７との光路長の合致（パスマッチ）のみな
らず光量の合致も行なうことができる。
【００２０】図２は、上記実施形態とは異なる実施形態
に係る斜入射干渉計装置を示すものである。上述した実
施形態装置が、パスマッチ手段３０により光を分離し、
回折格子８により参照光５と物体光７とを合成している
のに対し、本実施形態装置では、回折格子５８により光
を分離し、パスマッチ手段７０により参照光５５と物体
光５７とを合成しており、両実施形態装置は調度、光分
離部と光合成部が入れ替わった構成とされている。
に係る斜入射干渉計装置を示すものである。上述した実
施形態装置が、パスマッチ手段３０により光を分離し、
回折格子８により参照光５と物体光７とを合成している
のに対し、本実施形態装置では、回折格子５８により光
を分離し、パスマッチ手段７０により参照光５５と物体
光５７とを合成しており、両実施形態装置は調度、光分
離部と光合成部が入れ替わった構成とされている。
【００２１】両装置の奏する効果は同様であり、パスマ
ッチ手段３０、７０および回折格子８、５８としての機
能も略同様であるからその構成のみを簡単に説明し、詳
細な説明は省略する。
ッチ手段３０、７０および回折格子８、５８としての機
能も略同様であるからその構成のみを簡単に説明し、詳
細な説明は省略する。
【００２２】本実施形態装置は、図２に示すように、可
干渉距離の短い光を射出する光源５１と、この光源５１
からの光を平行光とするコリメータレンズ５２と、この
平行光を複数の回折光として射出する回折格子５８と、
この回折格子５８からの１次回折光よりなる参照光５５
と、この回折格子５８からの０次光が被検体５６の被検
面５６ａに斜入射され、この後正反射されてなる物体光
５７とが入射される、２つのハーフミラー５３、５４か
らなるパスマッチ手段７０と、第１のハーフミラー５３
による物体光５７の反射光と、第２のハーフミラー５４
による参照光５５の反射光との干渉光を収束せしめる収
束レンズ５９と、この干渉光により生成される干渉縞を
撮像する、ＣＣＤ撮像素子を有するテレビカメラ６０を
備えている。
干渉距離の短い光を射出する光源５１と、この光源５１
からの光を平行光とするコリメータレンズ５２と、この
平行光を複数の回折光として射出する回折格子５８と、
この回折格子５８からの１次回折光よりなる参照光５５
と、この回折格子５８からの０次光が被検体５６の被検
面５６ａに斜入射され、この後正反射されてなる物体光
５７とが入射される、２つのハーフミラー５３、５４か
らなるパスマッチ手段７０と、第１のハーフミラー５３
による物体光５７の反射光と、第２のハーフミラー５４
による参照光５５の反射光との干渉光を収束せしめる収
束レンズ５９と、この干渉光により生成される干渉縞を
撮像する、ＣＣＤ撮像素子を有するテレビカメラ６０を
備えている。
【００２３】なお、本実施形態においては、参照光５５
の光路中に、この参照光５５の光量を減衰せしめて、物
体光５７の光量とのバランスを図るＮＤフィルタ６１が
配設されている。本実施形態においても、上述した実施
形態と同様に、パスマッチ手段７０のハーフミラー５
３、５４の反射率を調整して参照光５５と物体光５７の
光量差を減少させるようにしてもよい。
の光路中に、この参照光５５の光量を減衰せしめて、物
体光５７の光量とのバランスを図るＮＤフィルタ６１が
配設されている。本実施形態においても、上述した実施
形態と同様に、パスマッチ手段７０のハーフミラー５
３、５４の反射率を調整して参照光５５と物体光５７の
光量差を減少させるようにしてもよい。
【００２４】また、上述した実施形態においても、本実
施形態と同様にしてＮＤフィルタを用いるようにしても
よい。
施形態と同様にしてＮＤフィルタを用いるようにしても
よい。
【００２５】また、このＮＤフィルタ６１を用いる場合
において、互いに異なる光量減衰率を有するＮＤフィル
タ６１を複数個用意し、例えば図３に示すように、これ
ら複数のＮＤフィルタ６１をターレット板２１に搭載
し、このターレット板２１を回転軸２０を中心として回
転せしめて所望のＮＤフィルタ６１を択一的に参照光光
路内に挿入するようにしてもよい。ＮＤフィルタ６１の
交換手法としてはこれに限られるものではなく、その他
着脱式、スライド式等の手法を採用し得る。
において、互いに異なる光量減衰率を有するＮＤフィル
タ６１を複数個用意し、例えば図３に示すように、これ
ら複数のＮＤフィルタ６１をターレット板２１に搭載
し、このターレット板２１を回転軸２０を中心として回
転せしめて所望のＮＤフィルタ６１を択一的に参照光光
路内に挿入するようにしてもよい。ＮＤフィルタ６１の
交換手法としてはこれに限られるものではなく、その他
着脱式、スライド式等の手法を採用し得る。
【００２６】なお、本発明の斜入射干渉計装置としては
上記実施形態のものに限られるものではなく、その他種
々の態様の変更が可能である。
上記実施形態のものに限られるものではなく、その他種
々の態様の変更が可能である。
【００２７】例えば、上記実施形態においては、パスマ
ッチ手段３０、７０を構成する２つのミラー３、４、５
３、５４のうち光源１から遠い方のミラー４、５４をハ
ーフミラーとしているが、被検面６ａ、５６ａの反射率
に応じて、さらにはＮＤフィルタ６１を挿入した場合に
は全反射ミラーとしてもよい。
ッチ手段３０、７０を構成する２つのミラー３、４、５
３、５４のうち光源１から遠い方のミラー４、５４をハ
ーフミラーとしているが、被検面６ａ、５６ａの反射率
に応じて、さらにはＮＤフィルタ６１を挿入した場合に
は全反射ミラーとしてもよい。
【００２８】また、上記実施形態においては、参照光
５、５５に対して１次回折光を、物体光７、５７に対し
て０次光を割り当てているが、例えば被検面６ａ、５６
ａの反射率が高い場合等には、参照光５、５５に対して
０次光を、物体光７、５７に対して１次回折光を割り当
てるようにしてもよい。
５、５５に対して１次回折光を、物体光７、５７に対し
て０次光を割り当てているが、例えば被検面６ａ、５６
ａの反射率が高い場合等には、参照光５、５５に対して
０次光を、物体光７、５７に対して１次回折光を割り当
てるようにしてもよい。
【００２９】また、被検体の被検面の上方にテレビカメ
ラを配し、該被検面の形状をこのテレビカメラによって
モニタすることにより、干渉縞像の解析結果と比較する
ための実際の表面状態データを容易に得ることができ
る。
ラを配し、該被検面の形状をこのテレビカメラによって
モニタすることにより、干渉縞像の解析結果と比較する
ための実際の表面状態データを容易に得ることができ
る。
【００３０】なお、上記実施例においては干渉縞を形成
するスクリーンとしてＣＣＤ受光面を用いているが、こ
れに代え、オペレータが目視し得る光学スクリーンを用
いることも可能である。
するスクリーンとしてＣＣＤ受光面を用いているが、こ
れに代え、オペレータが目視し得る光学スクリーンを用
いることも可能である。
【００３１】
【発明の効果】本発明の斜入射干渉計装置によれば、光
分離部と光合成部のいずれか一方にパスマッチ手段を、
いずれか他方に回折格子を各々配し、該パスマッチ手段
を、互いに非平行とされた、２枚のハーフミラーもしく
は１枚のハーフミラーと１枚の全反射ミラーにより構成
し、この２つのミラー間の距離を調整することで参照光
と物体光との光路差を補正するようにしており、極めて
簡易な構成で参照光と物体光のパスマッチを確実に行な
うことができる。
分離部と光合成部のいずれか一方にパスマッチ手段を、
いずれか他方に回折格子を各々配し、該パスマッチ手段
を、互いに非平行とされた、２枚のハーフミラーもしく
は１枚のハーフミラーと１枚の全反射ミラーにより構成
し、この２つのミラー間の距離を調整することで参照光
と物体光との光路差を補正するようにしており、極めて
簡易な構成で参照光と物体光のパスマッチを確実に行な
うことができる。
【００３２】参照光と物体光のパスマッチを行なうこと
ができることから、光源として可干渉距離の短い光を射
出するものも用いることができ、これにより製造コスト
の低廉化を図ることができ、さらには被検面以外の界面
情報を含む干渉縞画像の生成が排除されることで観察の
容易化および干渉縞測定の信頼性向上を図ることができ
る。
ができることから、光源として可干渉距離の短い光を射
出するものも用いることができ、これにより製造コスト
の低廉化を図ることができ、さらには被検面以外の界面
情報を含む干渉縞画像の生成が排除されることで観察の
容易化および干渉縞測定の信頼性向上を図ることができ
る。
【００３３】なお、上記パスマッチ手段を構成するハー
フミラーを、反射率が異なる他のハーフミラーと交換可
能としておけば、被検面が交換された場合に、参照光の
光量を、被検面の反射率に応じて変化する物体光の光量
に容易に合わせることができ、常にコントラストの良好
な干渉縞像を得ることができる。
フミラーを、反射率が異なる他のハーフミラーと交換可
能としておけば、被検面が交換された場合に、参照光の
光量を、被検面の反射率に応じて変化する物体光の光量
に容易に合わせることができ、常にコントラストの良好
な干渉縞像を得ることができる。
【図１】本発明の実施形態に係る斜入射干渉計装置の主
要部を示す概略図
要部を示す概略図
【図２】本発明の他の実施形態に係る斜入射干渉計装置
の主要部を示す概略図
の主要部を示す概略図
【図３】図２に示す斜入射干渉計装置の変更部分を示す
概略図
概略図
【図４】従来技術に係る斜入射干渉計装置を示す概略図
１、５１ 光源 ２、５２ コリメータレンズ ３、４、５３、５４ ハーフミラー ５、５５ 参照光 ６、５６ 被検体 ６ａ、５６ａ 被検面 ７、５７ 物体光 ８、５８ 回折格子 ９、５９ 収束レンズ １０、６０ テレビカメラ ２０ 回転軸 ２１ ターレット板 ３０、７０ パスマッチ手段 ６１ ＮＤフィルタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 肥塚 正敏 埼玉県大宮市植竹町１丁目324番地 富士 写真光機株式会社内 Ｆターム(参考） 2F064 AA09 CC04 EE09 GG22 GG64 HH01 HH08 HH09 JJ11 2F065 AA45 AA49 DD03 DD05 FF51 GG12 HH03 HH12 JJ03 JJ16 JJ19 JJ26 LL10 LL37 LL42
Claims (2)
- 【請求項１】光源と、該光源から射出された光を反射光
と透過光とに分離するハーフミラーと、 該透過光を反射せしめる、該ハーフミラーに対して非平
行とされたミラーと、 該ハーフミラーからの反射光よりなる参照光と、該ミラ
ーからの反射光が被検面に斜入射した後、この被検面に
より正反射されてなる物体光とを入射され、これらの入
射光各々に対して回折光を射出する回折格子と、 該回折格子から射出された、前記参照光の回折光と前記
物体光の回折光とにより生じる干渉光を照射され、干渉
縞像を形成する像形成手段とからなり、 前記ハーフミラーと前記ミラーとの距離が前記参照光と
前記物体光との光路差を補正するような値に設定されて
なることを特徴とする斜入射干渉計装置。 - 【請求項２】光源と、 該光源から射出された光を複数の回折光に波面分割して
射出する回折格子と、 該回折格子からの複数の回折光のうちの１つよりなる参
照光と、他の１つが被検面に斜入射した後、この被検面
により正反射されてなる物体光とを入射され、これらの
入射光各々を反射光と透過光とに分離するハーフミラー
と、 該ハーフミラーからの透過光を反射せしめる、該ハーフ
ミラーに対して非平行とされたミラーと、 前記参照光の該ミラーからの反射光と前記物体光の該ハ
ーフミラーからの反射光とにより生じる干渉光を照射さ
れ、干渉縞像を形成する像形成手段とからなり、 前記ハーフミラーと前記ミラーとの距離が前記参照光と
前記物体光との光路差を補正するような値に設定されて
なることを特徴とする斜入射干渉計装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10275320A JP2000105114A (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | 斜入射干渉計装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10275320A JP2000105114A (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | 斜入射干渉計装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000105114A true JP2000105114A (ja) | 2000-04-11 |
Family
ID=17553814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10275320A Withdrawn JP2000105114A (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | 斜入射干渉計装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000105114A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002206914A (ja) * | 2001-01-11 | 2002-07-26 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 斜入射干渉計装置 |
| US6885459B2 (en) | 1996-01-24 | 2005-04-26 | Nanopro Luftlager-Produktions-Und Messtechnik Gmbh | Apparatus and method for measuring two opposite surfaces of a body |
| JP2010032342A (ja) * | 2008-07-29 | 2010-02-12 | Mitsutoyo Corp | 斜入射干渉計 |
-
1998
- 1998-09-29 JP JP10275320A patent/JP2000105114A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6885459B2 (en) | 1996-01-24 | 2005-04-26 | Nanopro Luftlager-Produktions-Und Messtechnik Gmbh | Apparatus and method for measuring two opposite surfaces of a body |
| JP2002206914A (ja) * | 2001-01-11 | 2002-07-26 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 斜入射干渉計装置 |
| JP4583611B2 (ja) * | 2001-01-11 | 2010-11-17 | 富士フイルム株式会社 | 斜入射干渉計装置 |
| JP2010032342A (ja) * | 2008-07-29 | 2010-02-12 | Mitsutoyo Corp | 斜入射干渉計 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060110 |