JP3354698B2 - 平面度測定装置 - Google Patents
平面度測定装置Info
- Publication number
- JP3354698B2 JP3354698B2 JP06089494A JP6089494A JP3354698B2 JP 3354698 B2 JP3354698 B2 JP 3354698B2 JP 06089494 A JP06089494 A JP 06089494A JP 6089494 A JP6089494 A JP 6089494A JP 3354698 B2 JP3354698 B2 JP 3354698B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- screen
- light
- prototype
- flatness measuring
- flatness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
形成される干渉縞を利用して被検面の平面度を測定する
平面度測定装置に関し、詳しくは基準面および被検面に
対し斜め方向から光を照射する斜入射干渉法を用いた平
面度測定装置の改良に関するものである。
るための種々の干渉計装置が知られている。その中でも
凹凸差の大きい被検体表面の平面度を測定し得る装置と
して斜入射干渉計装置が知られている。
平面と被検体の被検面とを対向させ、この基準原器の基
準平面に斜め方向から可干渉光を照射し、この基準平面
と被検面の距離に基づく光路差に応じた干渉縞をスクリ
ーン上に形成せしめるようにしたものであって、その詳
細な内容は、例えば本出願人が既に開示した特開昭63-1
22909 号公報に示されている。
示された装置においては、干渉縞を形成するための紙や
ガラス等からなるスクリーンを、透過性のある試料(被
検体)の測定面とは反対の面もしくは基準原器の参照面
とは反対の面に近接または密接させた状態で配設してい
る。
準原器や被検体の所定の面に近接し、もしくは密接した
所定の位置に正確に配設する場合には面倒な位置合せが
必要となる。
位置に保持するための部材も必要となり製造コストの低
廉化が図れない。
のであり、装置の組立て時にスクリーンを所定位置に配
設するための位置合せが不要であって、そのスクリーン
位置調整のための労力およびスクリーンを配設保持せし
めるためのコストを軽減し得る平面度測定装置を提供す
ることを目的とするものである。
測定装置は、可干渉性を有する光を射出する光源と、該
可干渉性を有する光が斜入射される、基準平面を有する
透明な基準原器と、この基準平面と、この基準平面に対
向して配された被測定面との距離に応じた前記光の光路
差に基づく干渉縞が投影されるスクリーンとを備えた平
面度測定装置において、前記スクリーンが前記基準原器
の表面に該基準原器と一体的に形成された干渉縞投影面
であることを特徴とするものである。
は、上記第1の平面度測定装置のスクリーンが前記基準
原器の表面に蒸着法もしくはスパッタリング法を用いて
形成された薄膜であることを特徴とするものである。
は、上記第1の平面度測定装置のスクリーンが前記基準
原器の表面を直接加工することにより形成されたもので
あることを特徴とするものである。
は、上記第1の平面度測定装置のスクリーンが光を散乱
し得る粗面で形成されてなることを特徴とするものであ
る。
面に該基準原器と一体的に形成されており、装置を組立
てる際には、基準原器とスクリーンが別体で形成されて
いた従来技術のようにこのスクリーンを配設するために
位置合せをする必要がなくなり、またこのスクリーンを
保持等するための部材が不要となる。したがって、スク
リーン位置を調整するための労力およびスクリーン配設
のためのコストの低減を図ることが可能となる。
面に、蒸着法もしくはスパッタリング法を用いた薄層に
より、またはその表面を直接加工することにより容易に
形成することが可能である。
を光を散乱し得る粗面とすれば、結像レンズ等の他の光
学系を必要とせずに目視でスクリーン上の干渉縞を観察
することが可能となる。
ながら説明する。
度測定装置を示す側面図である。この装置は、可干渉光
を射出する半導体レーザ光源1と、この半導体レーザ光
源1からの光を平行光3とするコリメータレンズ2と、
この平行光3を斜め方向から入射され、これを透過せし
める、平面度の高い基準平面4aを有する透明ガラス製の
基準原器4を備えている。
ずり処理により光を乱反射せしめるようにしたスクリー
ン5が形成されている。
4aと被検体6の被検面6aとがわずかな空気間隔を隔てて
対向するような位置に配されている。なお、この被検体
6は図示されない被検体ホルダー上に確実に固定保持さ
れている。
おいて、平行光3は基準原器4の上表面4b(基準表面4a
と平行であってこの基準表面4aと同程度の平面度を有す
るのが望ましい)に入射角αで斜入射する。この入射光
の大部分は、上表面4bで屈折する。この入射屈折光のう
ち光線Aの一部は基準原器4の基準平面4aで外部に射出
され、被検面6aで反射され、基準平面4aに再入射する。
一方、上記上表面4bへの入射屈折光のうち光線Bの一部
は基準平面4aで反射する。これら光線Aの一部と光線B
の一部は互いに干渉してこれら光線A,Bの光路差に応
じた干渉縞がスクリーン5上に投影される。
この基準原器4の上方の観察者7に観察され、この干渉
縞の縞間隔等に基づき上記被検面6aの平面度が測定され
る。
を砂ずり加工等の粗面加工を施すことによって形成す
る。このように粗面加工が施されたスクリーン5は透過
光を散乱光に変えるため観察者7はスクリーン5上の干
渉縞全体を見ることが可能となる。
等の撮像手段を配設すれば上記干渉縞を記録することが
可能となる。
た後、もしくはこの上表面4bの平面度を高く維持したま
ま、蒸着法(あるいはスパッタリング法)によりAl等
の金属薄膜を半透明状態となる程度の厚さに形成しても
よい。なお、基準原器4の上表面4bの平面度が高い状態
で蒸着膜等の薄層を形成する場合にはこのスクリーン5
と観察者7との間に結像光学系を配設するのが実用上好
ましい。
れば、光源1から射出される光の波長をλ、基準原器4
の入射面4bに入射する光の入射角をα°、干渉縞の縞次
数をnとすれば、被検面6aの凹凸量、すなわち測定感度
hNは下式で表わされる。
きくなる程、縞間隔が大きくなり測定感度値が大きくな
るので、平面精度が悪い平面を測定することが可能とな
る。
に係る平面度測定装置を説明する。この第2の実施例装
置はスクリーン5を基準原器14の第1基準平面14a (被
検面6aと対向する面)上に設けたこと以外は上記第1の
実施例装置と略同様に構成されている。したがって両実
施例装置において共通もしくは対応する部分もしくは部
材については、第1の実施例装置の各部分に付す数字に
10を加えた数字を第2の実施例装置の対応する部分に付
す数字とし、さらにこの第2の実施例装置の各部分につ
いて、第1の実施例装置の各部分と共通する部分につい
ての説明は省略する。
16a から反射した後、第1基準平面14a から基準原器14
に再入射した光線Aの一部と、この第1基準平面14a に
おいて反射した光線Bの一部とが一旦基準原器14の第2
基準平面14b の内面で反射せしめられた後、第1基準平
面14a 上のスクリーン15に投影されるようになってい
る。
このスクリーン15が反射面として機能するため、この基
準原器14を通して、第2基準平面14b の上方の観察者17
により観察されることとなる。
14a と略同程度の平面性を有しており、これによりスク
リーン15上の干渉縞に基づいて被検面16a の平面度測定
を高精度で行なうことができる。
散乱面として形成されている。すなわち、基準原器14の
第1基準平面14a の一部を砂ずり加工等によって光散乱
面となるように粗面加工した後、蒸着法(あるいはスパ
ッタリング法)によりAl等の金属薄膜を反射鏡として
機能する程度の厚さに形成する。
14の第1基準表面14a を粗面加工することのみによって
形成することも可能である。また、粗面加工等を施すこ
となく、平面度の高い第1基準表面14a に蒸着法もしく
はスパッタリング法等により金属薄膜を直接形成するこ
とも可能であるが、この場合には干渉光が散乱しないの
で上記第1の実施例装置と同様に基準原器14と観察者17
との間に結像光学系を配設することが必要となる。
者17の位置にテレビカメラ等の撮像装置を配設すること
も可能である。
記実施例のものに限られるものではなく、その他種々の
態様の変更が可能である。
源として半導体レーザ光源を用いているが、この光源と
しては適度に干渉性のある可視光を射出する光源であれ
ばよく、例えば水銀灯やLED等であってもよい。
渉性の良い光を射出する光源を用いる場合にはスクリー
ン上に極めて多数の干渉縞が生じて所望の干渉縞を判別
することが困難となるので、このような場合には光路中
に拡散板を配して干渉性を劣化させることが望ましい。
波長を有する場合、光源の前方の光路中に波長選択性の
あるバンドパスフィルタ等を配置してこの光を狭帯域の
光とすることにより、コントラストの良い干渉縞を得る
ことができる。
度測定装置においては、斜入射干渉法を用いて被検面の
平面度を測定する場合に、干渉縞を投影するスクリーン
を基準原器の表面に直接形成している。
倒であった基準原器とスクリーンの位置合わせが不要と
なり、その位置合わせに生じる手間や、スクリーンを配
設保持するためコストを低減することが可能となる。
粗面加工するおよび/または蒸着等により薄層を形成す
ることにより簡単に作製することができる。
ことにより、結像光学系等を用いることなくスクリーン
上の干渉縞を容易に目視観察することができる。
置を示す概略図
置を示す概略図
Claims (4)
- 【請求項1】 可干渉性を有する光を射出する光源と、 該可干渉性を有する光が斜入射される、基準平面を有す
る透明な基準原器と、 この基準平面と、この基準平面に対向して配された被測
定面との距離に応じた前記光の光路差に基づく干渉縞が
投影されるスクリーンとを備えた平面度測定装置におい
て、 前記スクリーンが前記基準原器の表面に該基準原器と一
体的に形成された干渉縞投影面であることを特徴とする
平面度測定装置。 - 【請求項2】 前記スクリーンが、前記基準原器の表面
に蒸着法もしくはスパッタリング法を用いて形成された
薄膜であることを特徴とする請求項1記載の平面度測定
装置。 - 【請求項3】 前記スクリーンが、前記基準原器の表面
を直接加工することにより形成されたものであることを
特徴とする請求項1記載の平面度測定装置。 - 【請求項4】 前記スクリーンが光を散乱し得る粗面で
形成されてなることを特徴とする請求項1〜3のうちい
ずれか1項記載の平面度測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06089494A JP3354698B2 (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 平面度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06089494A JP3354698B2 (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 平面度測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07270145A JPH07270145A (ja) | 1995-10-20 |
JP3354698B2 true JP3354698B2 (ja) | 2002-12-09 |
Family
ID=13155527
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP06089494A Expired - Lifetime JP3354698B2 (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 平面度測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3354698B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4779155B2 (ja) * | 2007-03-09 | 2011-09-28 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 平面度測定装置 |
CN102519405A (zh) * | 2011-12-20 | 2012-06-27 | 昆明理工大学 | 平面镜反射面平整度的检测装置及其使用方法 |
CN107727009B (zh) * | 2017-11-06 | 2023-11-24 | 深圳精创视觉科技有限公司 | 手机盖板玻璃质量检测装置 |
-
1994
- 1994-03-30 JP JP06089494A patent/JP3354698B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07270145A (ja) | 1995-10-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
AU2014202103B2 (en) | Apparatus For Detecting A 3D Structure Of An Object | |
EP0647827B1 (en) | Film thickness measurement of structures containing a scattering surface | |
JP3392145B2 (ja) | 半導体ウエファの厚さ誤差測定用干渉計 | |
JPH03175327A (ja) | 電磁線、特に光線を直接位相測定するための方法及びその方法を行なうための装置 | |
JP3593375B2 (ja) | 微小欠陥検出方法及びその装置 | |
JP4181119B2 (ja) | 斜入射干渉計用干渉縞パターン弁別器 | |
US20070146724A1 (en) | Vibration-resistant interferometer apparatus | |
US4072423A (en) | Light interference device with low degree of spacial coherence | |
JP3354698B2 (ja) | 平面度測定装置 | |
US6570661B2 (en) | Optical system for oblique incidence interferometer and apparatus using the same | |
JP3041205B2 (ja) | 干渉計用基準板 | |
JP2000105101A (ja) | 斜入射干渉計装置 | |
JP5009709B2 (ja) | 厚み測定用光干渉測定装置 | |
JPS61140802A (ja) | 裏面反射光を防止した光波干渉装置 | |
JPH05500853A (ja) | ガラス管壁の厚さを決定するための方法及び装置 | |
JP2000258144A (ja) | ウェーハの平坦度および厚み測定装置 | |
JPH0619261B2 (ja) | 平面度測定装置 | |
JP3164127B2 (ja) | ホログラム干渉計 | |
JPS62106310A (ja) | 平行平面板の平行度測定装置 | |
JPH08114434A (ja) | 平面度測定装置 | |
JPH0344504A (ja) | 表面三次元形状測定方法及びその装置 | |
JP3298241B2 (ja) | ホログラム干渉計装置用ホログラムカセット | |
JP2001194106A (ja) | 干渉計用アライメント光学系およびこれを用いた装置 | |
CN118742786A (zh) | 用于分析具有平行面的基底的表面质量的系统和方法 | |
JP2671479B2 (ja) | 面形状測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020912 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080927 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080927 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090927 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090927 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100927 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100927 Year of fee payment: 8 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100927 Year of fee payment: 8 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100927 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110927 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120927 Year of fee payment: 10 |