JP2001194106A - 干渉計用アライメント光学系およびこれを用いた装置 - Google Patents
干渉計用アライメント光学系およびこれを用いた装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 斜入射干渉計装置において、被検面と基準平
面で各１回反射した光束と、基準平面を透過した光束と
が入射する結像レンズの焦点面にスクリーンを配置し、
スクリーン上に形成される２つのスポットが互いに一致
するよう被検面の傾きを調整することで、被検面のアラ
イメントを随時かつ簡易に行なう。 【構成】被検面２ａにおいて反射し、基準平面１６ａに
おいて再反射した光束２１ａと、平行基準板１６に入射
し、基準平面１６ａをそのまま透過した光束２２ａとを
結像レンズ２２に入射せしめ、この結像レンズの焦点面
と一致するように配されたスクリーン１８上にこれら光
束による２つのスポットを形成し、この２つのスポット
の位置関係によって被検面のアライメント調整を行う。
面で各１回反射した光束と、基準平面を透過した光束と
が入射する結像レンズの焦点面にスクリーンを配置し、
スクリーン上に形成される２つのスポットが互いに一致
するよう被検面の傾きを調整することで、被検面のアラ
イメントを随時かつ簡易に行なう。 【構成】被検面２ａにおいて反射し、基準平面１６ａに
おいて再反射した光束２１ａと、平行基準板１６に入射
し、基準平面１６ａをそのまま透過した光束２２ａとを
結像レンズ２２に入射せしめ、この結像レンズの焦点面
と一致するように配されたスクリーン１８上にこれら光
束による２つのスポットを形成し、この２つのスポット
の位置関係によって被検面のアライメント調整を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、斜入射干渉計にお
いて被検面のアライメントを調整し得る干渉計用アライ
メント光学系およびこれを用いた装置に関するものであ
る。
いて被検面のアライメントを調整し得る干渉計用アライ
メント光学系およびこれを用いた装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、加工物表面の平面度を測定す
るための種々の干渉計装置が知られている。その中でも
凹凸差の大きい被検面の平面度を測定し得る装置とし
て、斜入射干渉計装置が知られている。
るための種々の干渉計装置が知られている。その中でも
凹凸差の大きい被検面の平面度を測定し得る装置とし
て、斜入射干渉計装置が知られている。
【０００３】斜入射干渉計装置においては、被検面に対
し可干渉光線束を斜めから入射させることにより測定感
度を低くすることができるため、非接触での粗面等の平
面度測定に用いられている。ここで、測定に使用される
光の波長をλ、基準原器の入射面に入射する光の入射角
をθとすれば、被検面の凹凸量、すなわち測定感度Δｈ
は下式で表わされる。 Δｈ＝λ／（２ cosθ）
し可干渉光線束を斜めから入射させることにより測定感
度を低くすることができるため、非接触での粗面等の平
面度測定に用いられている。ここで、測定に使用される
光の波長をλ、基準原器の入射面に入射する光の入射角
をθとすれば、被検面の凹凸量、すなわち測定感度Δｈ
は下式で表わされる。 Δｈ＝λ／（２ cosθ）
【０００４】すなわち、入射角θが大きくなり斜め入射
の程度が大きくなる程、縞間隔が大きくなり測定感度が
低くなるので、平面精度が悪い平面を測定することが可
能となる。
の程度が大きくなる程、縞間隔が大きくなり測定感度が
低くなるので、平面精度が悪い平面を測定することが可
能となる。
【０００５】例えば図５は、基準原器として平面基準板
を用いた従来構成例である。この斜入射干渉計装置は、
平行基準板１１６の基準平面１１６ａと被検体２の被検
面２ａとを対向配置し、基準平面１１６ａに斜め方向か
ら、レーザ光源１１１から発せられコリメータレンズ１
１４により平行光とされた可干渉光を照射し、この基準
平面１１６ａと被検面２ａの距離に基づく光路差に応じ
た干渉縞をスクリーン１１８に投影し、観察者１１９が
観察するようになっている。
を用いた従来構成例である。この斜入射干渉計装置は、
平行基準板１１６の基準平面１１６ａと被検体２の被検
面２ａとを対向配置し、基準平面１１６ａに斜め方向か
ら、レーザ光源１１１から発せられコリメータレンズ１
１４により平行光とされた可干渉光を照射し、この基準
平面１１６ａと被検面２ａの距離に基づく光路差に応じ
た干渉縞をスクリーン１１８に投影し、観察者１１９が
観察するようになっている。
【０００６】また、例えば図６は、基準原器として直角
二等辺三角形プリズムを用いた、アブラムソン型と呼ば
れる従来構成例である。図６において、図５に示す斜入
射干渉計装置と同様の部材には下二桁を一致させた符号
を付している。この装置では、スクリーン２１８に投影
された干渉縞をＴＶカメラ２１９により撮影し観察する
ように構成されている。
二等辺三角形プリズムを用いた、アブラムソン型と呼ば
れる従来構成例である。図６において、図５に示す斜入
射干渉計装置と同様の部材には下二桁を一致させた符号
を付している。この装置では、スクリーン２１８に投影
された干渉縞をＴＶカメラ２１９により撮影し観察する
ように構成されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、正確な干渉
縞画像を得るためには、被検面２ａを所定位置にかつ基
準面に対して平行に位置決めすることが重要であるが、
微妙な角度変化によって観察面から干渉縞がはずれてし
まい、その調整を行うことは容易ではない。特に観察対
象が種々のサイズに亘る場合には、被検体の移動台に目
印を設けておくというような手法によることは困難であ
る。このため、上述した斜入射干渉計においても干渉縞
観察の直前あるいは途中において、随時被検面のアライ
メントを簡易に行えるように構成することが好ましい。
縞画像を得るためには、被検面２ａを所定位置にかつ基
準面に対して平行に位置決めすることが重要であるが、
微妙な角度変化によって観察面から干渉縞がはずれてし
まい、その調整を行うことは容易ではない。特に観察対
象が種々のサイズに亘る場合には、被検体の移動台に目
印を設けておくというような手法によることは困難であ
る。このため、上述した斜入射干渉計においても干渉縞
観察の直前あるいは途中において、随時被検面のアライ
メントを簡易に行えるように構成することが好ましい。
【０００８】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、斜入射干渉計において、随時被検面の
アライメントを簡易に行ない得る干渉計用アライメント
光学系およびこれを用いた装置を提供することを目的と
するものである。
たものであって、斜入射干渉計において、随時被検面の
アライメントを簡易に行ない得る干渉計用アライメント
光学系およびこれを用いた装置を提供することを目的と
するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の干渉計用アライ
メント光学系は、コリメートされた可干渉性の光を基準
面を介して被検面に斜入射させ、該基準面および該被検
面からの各反射光を干渉させ、生成された干渉縞を観察
する斜入射干渉計において、該被検面で１回反射し、こ
の後、該基準面で１回反射した第１の光束と、該基準面
をそのまま透過した第２の光束とが入射し得る位置に結
像レンズを配置し、該結像レンズの焦点面にアライメン
ト用のスクリーンを配置したことを特徴とするものであ
る。
メント光学系は、コリメートされた可干渉性の光を基準
面を介して被検面に斜入射させ、該基準面および該被検
面からの各反射光を干渉させ、生成された干渉縞を観察
する斜入射干渉計において、該被検面で１回反射し、こ
の後、該基準面で１回反射した第１の光束と、該基準面
をそのまま透過した第２の光束とが入射し得る位置に結
像レンズを配置し、該結像レンズの焦点面にアライメン
ト用のスクリーンを配置したことを特徴とするものであ
る。
【００１０】また、前記スクリーンが、干渉縞を観察す
るスクリーンを兼用するように構成することが好まし
い。このためには、例えば前記結像レンズの前段または
後段に少なくとも１つのミラーを配置することが好まし
い。
るスクリーンを兼用するように構成することが好まし
い。このためには、例えば前記結像レンズの前段または
後段に少なくとも１つのミラーを配置することが好まし
い。
【００１１】また、前記第１の光束および前記第２の光
束の共通光路中に、これらの光束を干渉縞観察時におい
て遮断するシャッタを挿入することが好ましい。さら
に、本発明の装置は、上記干渉計用アライメント光学系
を備えたことを特徴とするものである。
束の共通光路中に、これらの光束を干渉縞観察時におい
て遮断するシャッタを挿入することが好ましい。さら
に、本発明の装置は、上記干渉計用アライメント光学系
を備えたことを特徴とするものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１の
実施形態に係る干渉計用アライメント光学系およびこれ
を用いた斜入射干渉計装置１０を示す側面図である。
図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１の
実施形態に係る干渉計用アライメント光学系およびこれ
を用いた斜入射干渉計装置１０を示す側面図である。
【００１３】この斜入射干渉計装置１０は、平行基準板
１６の基準平面１６ａと被検体２の被検面２ａとを対向
配置し、基準平面１６ａに斜め方向から、レーザ光源１
１から発せられコリメータレンズ１４により平行光とさ
れた可干渉光を照射し、この基準平面１６ａと被検面２
ａの距離に基づく光路差に応じた干渉縞をスクリーン１
８に投影し、観察者１９が観察するようになっている。
１６の基準平面１６ａと被検体２の被検面２ａとを対向
配置し、基準平面１６ａに斜め方向から、レーザ光源１
１から発せられコリメータレンズ１４により平行光とさ
れた可干渉光を照射し、この基準平面１６ａと被検面２
ａの距離に基づく光路差に応じた干渉縞をスクリーン１
８に投影し、観察者１９が観察するようになっている。
【００１４】ところで、このような斜入射干渉計装置１
０においても、正確な干渉縞画像を得るためには、被検
面２ａを所定位置にかつ基準面に対して平行に位置決め
することが重要であるが、微妙な角度変化によって観察
面から干渉縞がはずれてしまい、その位置決めを行うこ
とは容易ではない。
０においても、正確な干渉縞画像を得るためには、被検
面２ａを所定位置にかつ基準面に対して平行に位置決め
することが重要であるが、微妙な角度変化によって観察
面から干渉縞がはずれてしまい、その位置決めを行うこ
とは容易ではない。
【００１５】そこで、本実施形態においては、被検面２
ａにおいて反射し、基準平面１６ａ（点Ｐ）において再
反射した光束２１ａと、平行基準板１６に入射し、基準
平面１６ａ（点Ｐ）をそのまま透過した光束２２ａとを
結像レンズ２２に入射せしめ、この結像レンズの焦点面
と一致するように配されたスクリーン１８上にこれら光
束による２つのスポットを形成し、この２つのスポット
の位置関係によって被検面のアライメント調整を行うこ
とができるようにしている。
ａにおいて反射し、基準平面１６ａ（点Ｐ）において再
反射した光束２１ａと、平行基準板１６に入射し、基準
平面１６ａ（点Ｐ）をそのまま透過した光束２２ａとを
結像レンズ２２に入射せしめ、この結像レンズの焦点面
と一致するように配されたスクリーン１８上にこれら光
束による２つのスポットを形成し、この２つのスポット
の位置関係によって被検面のアライメント調整を行うこ
とができるようにしている。
【００１６】すなわち、被検面２ａが基準平面１６ａと
平行とされている場合において、点Ｐで反射された上記
光束２１ａと、点Ｐを透過した上記光束２２ａとは互い
に平行な光束となって結像レンズ２２に入射する。この
ためスクリーン１８上に形成された２つのスポットは丁
度重なり合うような位置関係に形成される。したがっ
て、スクリーン１８上を観察しながら被検面２ａの傾き
を調整し、上記光束２１ａにより形成されるスポット
が、上記光束２２ａにより形成されるスポットに重なり
合う状態とすることにより被検面のアライメント調整を
行うことができる。
平行とされている場合において、点Ｐで反射された上記
光束２１ａと、点Ｐを透過した上記光束２２ａとは互い
に平行な光束となって結像レンズ２２に入射する。この
ためスクリーン１８上に形成された２つのスポットは丁
度重なり合うような位置関係に形成される。したがっ
て、スクリーン１８上を観察しながら被検面２ａの傾き
を調整し、上記光束２１ａにより形成されるスポット
が、上記光束２２ａにより形成されるスポットに重なり
合う状態とすることにより被検面のアライメント調整を
行うことができる。
【００１７】なお、本実施形態においては光路中に光路
折曲用の反射ミラー２３が配されており、これにより上
記２つのスポットを、干渉縞観察用のスクリーン１８上
に形成することができるようにしている。
折曲用の反射ミラー２３が配されており、これにより上
記２つのスポットを、干渉縞観察用のスクリーン１８上
に形成することができるようにしている。
【００１８】このようにして被検面２ａのアライメント
が完了した際には、上記重なり合うスポットとともに被
検面２ａの表面形状を表す干渉縞が上記スクリーン１８
上に観察される。
が完了した際には、上記重なり合うスポットとともに被
検面２ａの表面形状を表す干渉縞が上記スクリーン１８
上に観察される。
【００１９】この後、結像レンズ２２と反射ミラー２３
の間において、光路中に挿脱自在とされた遮光シャッタ
２４を光路中に挿入し、スクリーン１８上に上記スポッ
トが形成されないようにし、良好に干渉縞観察が行える
ようにする。
の間において、光路中に挿脱自在とされた遮光シャッタ
２４を光路中に挿入し、スクリーン１８上に上記スポッ
トが形成されないようにし、良好に干渉縞観察が行える
ようにする。
【００２０】図２は、本発明の第２の実施形態を示す概
略図である。この実施形態装置３０は、基準原器として
直角二等辺三角形プリズム３６を用いた、アブラムソン
型と称されるものである。図２において、図１に示す斜
入射干渉計装置と同様の部材にはその符号に２０を加え
た符号を付している。なお、本実施形態のものでは、結
像レンズ４２が反射ミラー４３の後段に配されている点
で上記実施形態のものと異なっているが、要はスクリー
ン３８上に２つのスポットを形成することができれば、
光路中における結像レンズをいずれの配設位置におくこ
とも可能である。
略図である。この実施形態装置３０は、基準原器として
直角二等辺三角形プリズム３６を用いた、アブラムソン
型と称されるものである。図２において、図１に示す斜
入射干渉計装置と同様の部材にはその符号に２０を加え
た符号を付している。なお、本実施形態のものでは、結
像レンズ４２が反射ミラー４３の後段に配されている点
で上記実施形態のものと異なっているが、要はスクリー
ン３８上に２つのスポットを形成することができれば、
光路中における結像レンズをいずれの配設位置におくこ
とも可能である。
【００２１】この第２の実施形態によっても上記第１の
実施形態のものと同様に被検面２ａのアライメントを容
易に行うことができる。なお、この装置３０では、スク
リーン３８に投影された干渉縞をＴＶカメラ３９により
撮影し観察するように構成されている。
実施形態のものと同様に被検面２ａのアライメントを容
易に行うことができる。なお、この装置３０では、スク
リーン３８に投影された干渉縞をＴＶカメラ３９により
撮影し観察するように構成されている。
【００２２】図３は、本発明の第３の実施形態を示す概
略図である。図３において、図１に示す斜入射干渉計装
置と同様の部材にはその符号に４０を加えた符号を付し
ている。この実施形態装置５０は、基準原器として台形
状の変形プリズム５６を用いており、スクリーン５８が
プリズム５６の上面を粗面加工して形成されている点で
上記２つの実施形態のものとは異なっている。また、結
像レンズ６２はプリズム５８の下面に接着されており、
結像レンズ６２の光学調整が不要とされている。さら
に、上述した実施形態における遮光シャッタ２４、４４
の代わりに、反射ミラー６３が光路中に挿脱自在とされ
ており、被検面２ａのアライメント調整後においては、
この反射ミラー６３が光路中から退避可能とされてい
る。
略図である。図３において、図１に示す斜入射干渉計装
置と同様の部材にはその符号に４０を加えた符号を付し
ている。この実施形態装置５０は、基準原器として台形
状の変形プリズム５６を用いており、スクリーン５８が
プリズム５６の上面を粗面加工して形成されている点で
上記２つの実施形態のものとは異なっている。また、結
像レンズ６２はプリズム５８の下面に接着されており、
結像レンズ６２の光学調整が不要とされている。さら
に、上述した実施形態における遮光シャッタ２４、４４
の代わりに、反射ミラー６３が光路中に挿脱自在とされ
ており、被検面２ａのアライメント調整後においては、
この反射ミラー６３が光路中から退避可能とされてい
る。
【００２３】なお、本実施形態のものでは、結像レンズ
６２に対して光束が軸外から入射するようになっている
が、収差が大きくなければ実用上の問題はない。この第
３の実施形態によっても上記各実施形態のものと同様に
被検面２ａのアライメントを容易に行うことができる。
６２に対して光束が軸外から入射するようになっている
が、収差が大きくなければ実用上の問題はない。この第
３の実施形態によっても上記各実施形態のものと同様に
被検面２ａのアライメントを容易に行うことができる。
【００２４】図４は、本発明の第４の実施形態を示す概
略図である。図４において、図１に示す斜入射干渉計装
置と同様の部材にはその符号に６０を加えた符号を付し
ている。
略図である。図４において、図１に示す斜入射干渉計装
置と同様の部材にはその符号に６０を加えた符号を付し
ている。
【００２５】この実施形態装置７０は、上記第３の実施
形態装置５０と同様に基準原器として台形状の変形プリ
ズム７６を用いているが、アライメント用スクリーン８
４が干渉縞観察用スクリーン７８と別体とされている点
で上記第３の各実施形態のものとは異なっている。この
ように両スクリーン７８、８４を互いに別体とすれば、
必ずしもアライメント用光路中に反射ミラー８３を配設
する必要はないが、アライメント用のスポットを干渉縞
と同時にＴＶカメラによって観察する場合には該反射ミ
ラー８３を設けておくことが有効である。
形態装置５０と同様に基準原器として台形状の変形プリ
ズム７６を用いているが、アライメント用スクリーン８
４が干渉縞観察用スクリーン７８と別体とされている点
で上記第３の各実施形態のものとは異なっている。この
ように両スクリーン７８、８４を互いに別体とすれば、
必ずしもアライメント用光路中に反射ミラー８３を配設
する必要はないが、アライメント用のスポットを干渉縞
と同時にＴＶカメラによって観察する場合には該反射ミ
ラー８３を設けておくことが有効である。
【００２６】また、この装置７０には、コリメータレン
ズ７４と基準原器７６との間にミラー７５が配されてい
る。ミラー７５は、入射面７６ｂに入射する光線束の入
射角を変化させるように反射面をその下端を支点として
所定角度に亘り回動可能とすることが好ましい。このよ
うに入射角を変化させることにより、干渉縞の感度を可
変とすることができ、被検面に適した感度により干渉縞
を観察することが可能となる。また、図４には、必要な
平行光線束を得るために、光源１１とコリメータレンズ
１４との間に集光レンズ１２およびピンホール１３が示
されている。
ズ７４と基準原器７６との間にミラー７５が配されてい
る。ミラー７５は、入射面７６ｂに入射する光線束の入
射角を変化させるように反射面をその下端を支点として
所定角度に亘り回動可能とすることが好ましい。このよ
うに入射角を変化させることにより、干渉縞の感度を可
変とすることができ、被検面に適した感度により干渉縞
を観察することが可能となる。また、図４には、必要な
平行光線束を得るために、光源１１とコリメータレンズ
１４との間に集光レンズ１２およびピンホール１３が示
されている。
【００２７】この第４の実施形態によっても上記各実施
形態のものと同様に被検面２ａのアライメントを容易に
行うことができる。さらに、上記アライメント用スポッ
トをＴＶ画面の端に見えるようにして干渉縞と同時観察
するようにしてもよい。
形態のものと同様に被検面２ａのアライメントを容易に
行うことができる。さらに、上記アライメント用スポッ
トをＴＶ画面の端に見えるようにして干渉縞と同時観察
するようにしてもよい。
【００２８】なお、上記結像レンズの光軸上を利用する
場合は、実用上は単レンズであってもよく、また干渉縞
と一緒に観察する場合はスポット像の方が干渉縞よりも
かなり明るくなるので、概略同じレベルとなるように、
光束を制限する（例えば絞りを入れる、レンズ口径を小
さくする等）あるいはミラーの反射率を低くしたり、光
量調整フィルタを入れたりするように構成するのが好ま
しい。
場合は、実用上は単レンズであってもよく、また干渉縞
と一緒に観察する場合はスポット像の方が干渉縞よりも
かなり明るくなるので、概略同じレベルとなるように、
光束を制限する（例えば絞りを入れる、レンズ口径を小
さくする等）あるいはミラーの反射率を低くしたり、光
量調整フィルタを入れたりするように構成するのが好ま
しい。
【００２９】また、上記第３の実施形態では反射ミラー
６３により反射された光束がプリズム５６に入射する位
置においてＮＤコーティングを施すようにすることも有
用である。
６３により反射された光束がプリズム５６に入射する位
置においてＮＤコーティングを施すようにすることも有
用である。
【００３０】なお、本実施形態においては種々の態様の
変更が可能である。例えば、上述した第３および第４の
実施形態においては、プリズム５８、７８の光射出面
に、砂ずり処理を施すことによりスクリーン１８を形成
するように構成されているが、それ以外の手法によって
粗面加工を施すことによりスクリーン１８を形成するよ
うにしてもよい。
変更が可能である。例えば、上述した第３および第４の
実施形態においては、プリズム５８、７８の光射出面
に、砂ずり処理を施すことによりスクリーン１８を形成
するように構成されているが、それ以外の手法によって
粗面加工を施すことによりスクリーン１８を形成するよ
うにしてもよい。
【００３１】また、本実施形態においては、光源１１と
して半導体レーザ光源を用いているが、この光源１１と
しては適度に干渉性のある光線束を射出する光源であれ
ばよく、例えば水銀灯やＬＥＤ等を用いるようにしても
よい。
して半導体レーザ光源を用いているが、この光源１１と
しては適度に干渉性のある光線束を射出する光源であれ
ばよく、例えば水銀灯やＬＥＤ等を用いるようにしても
よい。
【００３２】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明の干渉計
用アライメント光学系およびこれを用いた装置によれ
ば、被検面で１回反射し、この後、基準面で１回反射し
た第１の光束と、基準面をそのまま透過した第２の光束
とが入射し得る位置に結像レンズを配置し、該結像レン
ズの焦点面にアライメント用のスクリーンを配置してお
り、このスクリーン上に形成される上記２つの光束によ
る２つのスポットの位置関係を観察し、これら２つのス
ポット位置が互いに一致するように被検面の傾きを調整
することで被検面を基準平面と平行の位置関係とするこ
とができるので、被検面のアライメントを随時、かつ簡
易に行なうことができる。
用アライメント光学系およびこれを用いた装置によれ
ば、被検面で１回反射し、この後、基準面で１回反射し
た第１の光束と、基準面をそのまま透過した第２の光束
とが入射し得る位置に結像レンズを配置し、該結像レン
ズの焦点面にアライメント用のスクリーンを配置してお
り、このスクリーン上に形成される上記２つの光束によ
る２つのスポットの位置関係を観察し、これら２つのス
ポット位置が互いに一致するように被検面の傾きを調整
することで被検面を基準平面と平行の位置関係とするこ
とができるので、被検面のアライメントを随時、かつ簡
易に行なうことができる。
【図１】本発明の第１の実施形態に係る干渉計用アライ
メント光学系を用いた装置
メント光学系を用いた装置
【図２】本発明の第２の実施形態に係る干渉計用アライ
メント光学系を用いた装置
メント光学系を用いた装置
【図３】本発明の第３の実施形態に係る干渉計用アライ
メント光学系を用いた装置
メント光学系を用いた装置
【図４】本発明の第４の実施形態に係る干渉計用アライ
メント光学系を用いた装置
メント光学系を用いた装置
【図５】斜入射干渉計装置の一例を説明するための図
【図６】斜入射干渉計装置の他の例を説明するための図
２ 被検体 ２ａ 被検面 １０、３０、５０、７０ 斜入射干渉計装置 １１、３１，５１，７１、１１１、２１１ 半導体レー
ザ光源（光源） １２、７２ 集光レンズ １３、７３ ピンホール １４、３４、５４、７４、１１４、２１４ コリメータ
レンズ １５、７５、１１５ ミラー １６、１１６ 平行基準板 ６ａ、１６ａ、３６ａ、５６ａ、７６ａ、１１６ａ、２
１６ａ 基準平面 １８、３８、５８、７８、８４、１１８、２１８ スク
リーン １９、１１９ 観察者 ２２、４２、６２、８２ 結像レンズ ２３、４３、６３、８３ 反射ミラー ２４、４４ シャッタ ３６、２１６ 直角二等辺三角形プリズム ３９、５９、７９、２１９ ＴＶカメラ ５６、７６ 変形プリズム ７６ｂ 入射面
ザ光源（光源） １２、７２ 集光レンズ １３、７３ ピンホール １４、３４、５４、７４、１１４、２１４ コリメータ
レンズ １５、７５、１１５ ミラー １６、１１６ 平行基準板 ６ａ、１６ａ、３６ａ、５６ａ、７６ａ、１１６ａ、２
１６ａ 基準平面 １８、３８、５８、７８、８４、１１８、２１８ スク
リーン １９、１１９ 観察者 ２２、４２、６２、８２ 結像レンズ ２３、４３、６３、８３ 反射ミラー ２４、４４ シャッタ ３６、２１６ 直角二等辺三角形プリズム ３９、５９、７９、２１９ ＴＶカメラ ５６、７６ 変形プリズム ７６ｂ 入射面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 富美男 埼玉県大宮市植竹町１丁目324番地 富士 写真光機株式会社内 Ｆターム(参考） 2F064 AA09 BB07 CC10 EE10 FF01 GG12 GG13 GG41 HH03 HH08 HH09 JJ01 2F065 AA47 AA49 BB01 FF01 FF52 GG04 HH12 JJ03 JJ19 JJ26 LL12 LL24 LL30 LL46 LL49 TT02
Claims (5)
- 【請求項１】コリメートされた可干渉性の光を基準面を
介して被検面に斜入射させ、該基準面および該被検面か
らの各反射光を干渉させ、生成された干渉縞を観察する
斜入射干渉計において、該被検面で１回反射し、この
後、該基準面で１回反射した第１の光束と、該基準面を
そのまま透過した第２の光束とが入射し得る位置に結像
レンズを配置し、該結像レンズの焦点面にアライメント
用のスクリーンを配置したことを特徴とする干渉計用ア
ライメント光学系。 - 【請求項２】前記スクリーンが、干渉縞を観察するスク
リーンを兼用するようになしたことを特徴とする請求項
１記載の干渉計用アライメント光学系。 - 【請求項３】前記結像レンズの前段または後段に少なく
とも１つのミラーを配置したことを特徴とする請求項１
または２記載の干渉計用アライメント光学系。 - 【請求項４】前記第１の光束および前記第２の光束の共
通光路中に、これらの光束を干渉縞観察時において遮断
するシャッタを挿入したことを特徴とする請求項１〜３
のうちいずれか１項記載の干渉計用アライメント光学
系。 - 【請求項５】請求項１〜４のうちいずれか１項記載の干
渉計用アライメント光学系を備えたことを特徴とする装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000002627A JP2001194106A (ja) | 2000-01-11 | 2000-01-11 | 干渉計用アライメント光学系およびこれを用いた装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000002627A JP2001194106A (ja) | 2000-01-11 | 2000-01-11 | 干渉計用アライメント光学系およびこれを用いた装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001194106A true JP2001194106A (ja) | 2001-07-19 |
Family
ID=18531712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000002627A Withdrawn JP2001194106A (ja) | 2000-01-11 | 2000-01-11 | 干渉計用アライメント光学系およびこれを用いた装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001194106A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016022885A (ja) * | 2014-07-23 | 2016-02-08 | マツダ株式会社 | 四輪駆動車の駆動トルク配分制御装置 |
-
2000
- 2000-01-11 JP JP2000002627A patent/JP2001194106A/ja not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016022885A (ja) * | 2014-07-23 | 2016-02-08 | マツダ株式会社 | 四輪駆動車の駆動トルク配分制御装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070403 |