JPS62106310A - 平行平面板の平行度測定装置 - Google Patents
平行平面板の平行度測定装置Info
- Publication number
- JPS62106310A JPS62106310A JP24662485A JP24662485A JPS62106310A JP S62106310 A JPS62106310 A JP S62106310A JP 24662485 A JP24662485 A JP 24662485A JP 24662485 A JP24662485 A JP 24662485A JP S62106310 A JPS62106310 A JP S62106310A
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- JP
- Japan
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- measured
- parallelism
- plane
- degree
- plate
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、フィゾータイプ干渉装置を改良し。
不透明な平行平面板であってもその平行度を正確に測定
できるようにした平行平面板の平行度測定装置に関する
ものである。
できるようにした平行平面板の平行度測定装置に関する
ものである。
（従来の技術）
フィゾータイプ干渉装置は、第２図に示すように構成さ
れていることは良く知られている。すなわち、同図にお
いて、符号１は、コヒーレント光を発するレーザー光源
であって、このレーザー光源１よりのコヒーレント光は
、全反射ミラー２゜ビームエキスパンダ３．ハーフプリ
ズム４．コリメータレンズ５をもって光軸りに関して垂
直に配された参照基準板６に照射され、その参照基準板
６で一部の光は１反射される（参照光という）。
れていることは良く知られている。すなわち、同図にお
いて、符号１は、コヒーレント光を発するレーザー光源
であって、このレーザー光源１よりのコヒーレント光は
、全反射ミラー２゜ビームエキスパンダ３．ハーフプリ
ズム４．コリメータレンズ５をもって光軸りに関して垂
直に配された参照基準板６に照射され、その参照基準板
６で一部の光は１反射される（参照光という）。
他方、そのまま透過した光は、被測定物体９に照射され
被測定物体９の表面で一部分が反射し戻ってくる（物体
光という）。この物体光は、上記参照光との間で干渉を
し干渉縞を形成する。その干渉縞は、コリーメータレン
ズ５．ハーフプリズム４、及び結像レンズ７を以てＴ、
Ｖ、カメラ８によって撮像され、その撮像信号を入力と
する画像解析装置（図示せず）により解析されるように
構成されている。
被測定物体９の表面で一部分が反射し戻ってくる（物体
光という）。この物体光は、上記参照光との間で干渉を
し干渉縞を形成する。その干渉縞は、コリーメータレン
ズ５．ハーフプリズム４、及び結像レンズ７を以てＴ、
Ｖ、カメラ８によって撮像され、その撮像信号を入力と
する画像解析装置（図示せず）により解析されるように
構成されている。
そして、この装置により平行平面板の平行度を測定する
場合、被測定物体が透明材製である場合には、基準にな
る参照基準板６を設けずにも被測定物体の表面及び裏面
からの各々の反射光による干渉作屏でよ−り発生する干
渉縞によって、容易に平行度を測定できるといえる。
場合、被測定物体が透明材製である場合には、基準にな
る参照基準板６を設けずにも被測定物体の表面及び裏面
からの各々の反射光による干渉作屏でよ−り発生する干
渉縞によって、容易に平行度を測定できるといえる。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、被測定物体が不透明材製である場合には
、被測定物体の表面と裏面とを別々に測定しなければ平
行度を測定することができないと言える。すなわち、不
透明な被測定物体の平行平面板の平行度をフィゾータイ
プ干渉計を用いて測定するには１表面と平行な基準面Ａ
を求めてこの基準面Ａに対して平行平面板９を裏返して
セットし、基準面Ａとの間に生ずる傾斜角度θを求めて
測定する。この測定装置に用いられる被測定物体の支持
台は、一般的に良く知られた三点支持台が用いられる。
、被測定物体の表面と裏面とを別々に測定しなければ平
行度を測定することができないと言える。すなわち、不
透明な被測定物体の平行平面板の平行度をフィゾータイ
プ干渉計を用いて測定するには１表面と平行な基準面Ａ
を求めてこの基準面Ａに対して平行平面板９を裏返して
セットし、基準面Ａとの間に生ずる傾斜角度θを求めて
測定する。この測定装置に用いられる被測定物体の支持
台は、一般的に良く知られた三点支持台が用いられる。
従って、当然ながら測定中に支持台に対して被測定物体
は、二度置かれることとなるので置き換え途中に支持台
と被測定物体との間にゴミ等が挟まる可能性があり、仮
に挟まった場合には２ミクロン単位の精度を要求される
測定装置としては失格であると言わざるを得ない。
は、二度置かれることとなるので置き換え途中に支持台
と被測定物体との間にゴミ等が挟まる可能性があり、仮
に挟まった場合には２ミクロン単位の精度を要求される
測定装置としては失格であると言わざるを得ない。
（問題点を解決するための手段）
そこで、この発明は、上述したところに鑑みて。
フィゾータイプ干渉計を改良して被測定物体の表面と裏
面との両面を被測定物体を裏返さずして同時に測定でき
るようにした装置を提供するものである。そのための手
段として１本装置では、フィゾータイプ干渉計を被測定
物体の表裏側に相互に対向配設し構成したものである。
面との両面を被測定物体を裏返さずして同時に測定でき
るようにした装置を提供するものである。そのための手
段として１本装置では、フィゾータイプ干渉計を被測定
物体の表裏側に相互に対向配設し構成したものである。
（実施例）
以下、この発明による不透明な平行平面板の平行度測定
装置を、添付図面に示した一実施例に基づいて詳細に説
明する。
装置を、添付図面に示した一実施例に基づいて詳細に説
明する。
第１図は、この発明の一実施例を示すものであって、同
図に於いて、１０は、第１のフィゾータイプ干渉針、及
び２０は、第２のフィゾータイプ干渉計を示し、これら
両フィゾータイプ干渉計１０及び２０をもって不透明な
平行平面板の平行度測定装置を構成している。すなわち
、これら第１および第２のフィゾータイプ干渉計１０及
び２０のそれぞれは、第２図にて説明しましたようにコ
ヒーレント光源１１及び２１．全反射ミラー１２及び２
２．ビームエキスパンダ１３及び２３゜ハーフプリズム
１４及び２４．コリーメータレンズ１５及び２５．参照
基準板１６及び２６．結像レンズ１７及び２７並びにＴ
、Ｖ、カメラ１８及び２８から構成されている。そして
、このように構成された第１及び第２のフィゾータイプ
干渉計１０及び２０は、被測定物体である不透明な平行
平面板３０の設置位置に藺して、相互に相対向して配設
されている。
図に於いて、１０は、第１のフィゾータイプ干渉針、及
び２０は、第２のフィゾータイプ干渉計を示し、これら
両フィゾータイプ干渉計１０及び２０をもって不透明な
平行平面板の平行度測定装置を構成している。すなわち
、これら第１および第２のフィゾータイプ干渉計１０及
び２０のそれぞれは、第２図にて説明しましたようにコ
ヒーレント光源１１及び２１．全反射ミラー１２及び２
２．ビームエキスパンダ１３及び２３゜ハーフプリズム
１４及び２４．コリーメータレンズ１５及び２５．参照
基準板１６及び２６．結像レンズ１７及び２７並びにＴ
、Ｖ、カメラ１８及び２８から構成されている。そして
、このように構成された第１及び第２のフィゾータイプ
干渉計１０及び２０は、被測定物体である不透明な平行
平面板３０の設置位置に藺して、相互に相対向して配設
されている。
このように構成された本測定装置は、以下のような測定
手順により使用され、正確に不透明な平行平面板の平行
度を測定することができる。
手順により使用され、正確に不透明な平行平面板の平行
度を測定することができる。
先ず、この装置の使用にあたっては、第１段階として、
対向する参照基準板１６及び２６間の平行度が零になる
ように干渉縞を観てセットする（この場合、当然ながら
参照板１６及び２６は。
対向する参照基準板１６及び２６間の平行度が零になる
ように干渉縞を観てセットする（この場合、当然ながら
参照板１６及び２６は。
精度高い平行平面板であり、それらの間に生じる干渉縞
数は、零となるものと考えられる。）。
数は、零となるものと考えられる。）。
次ぎに、被測定物体である平行平面板３０を所定位置に
セットする。尚、このセットにあたっては、平行平面板
３０を第１及び第２のフィゾータイプ干渉計の共通の光
軸上で三次元的に動かし得るような支持機構により支持
されることは言うまでもない。
セットする。尚、このセットにあたっては、平行平面板
３０を第１及び第２のフィゾータイプ干渉計の共通の光
軸上で三次元的に動かし得るような支持機構により支持
されることは言うまでもない。
そして、どちらが先であってもよいが、ここでは、平行
平面板３０の図面において左側の面（以下５表面という
。）３１と上記参照基準板１６との間の平行度が零にな
るように干渉縞を観ながら平行平面板３０を調整する。
平面板３０の図面において左側の面（以下５表面という
。）３１と上記参照基準板１６との間の平行度が零にな
るように干渉縞を観ながら平行平面板３０を調整する。
その後に、平行平面Ｆｉ３０をそのままにした状態で第
２のフィゾータイプ干渉計２０を用いて、その参照板２
６と平行平面板３０の図面にて右側の面（以下、裏面と
いう。）３２との間の平行度を求める。
２のフィゾータイプ干渉計２０を用いて、その参照板２
６と平行平面板３０の図面にて右側の面（以下、裏面と
いう。）３２との間の平行度を求める。
以上の測定手順により、この装置により平行平面板３０
の表面３１と裏面３２との平行度は、容易に測定するこ
とができる。
の表面３１と裏面３２との平行度は、容易に測定するこ
とができる。
なお、上記実施例においては、レーザー光源を２台使用
しているが、光学系の工夫により１台にすることもでき
ることは言うまでもない。
しているが、光学系の工夫により１台にすることもでき
ることは言うまでもない。
（発明の効果）
以上に述べたように、この平行平面板の平行度測定装置
によれば、被測定物体である不透明な平行平面板を裏返
したりしてセットを仕直すことがなく測定できるのでゴ
ミ等の影響を受けず正確に測定できるものと言える。ま
た、このように略同時に表裏両面が測定できるので時間
的にも有利である。
によれば、被測定物体である不透明な平行平面板を裏返
したりしてセットを仕直すことがなく測定できるのでゴ
ミ等の影響を受けず正確に測定できるものと言える。ま
た、このように略同時に表裏両面が測定できるので時間
的にも有利である。
第１図は、この発明による平行平面板の平行度測定装置
の一実施例を示す説明図であり、第２図は、従来の装置
を説明するための説明図である。 １、 １１． ２１ −レーザー光源 ２．１２．２２ −全反射ミラー ３．１３．２３・−ビームエキスパンダ４．１４．２４
−−ハーフプリズム ５．１５．２５−・−コリーメータレンズ６、 １６．
２６−−参照基準板 ７．１７．２７・−結像レンズ ８．１８，２ Ｌ−Ｔ、Ｖ、カメラ ９．３０−一不透明平行平面板 １〇−第１のフィゾータイプ干渉計 ２０−・第２のフィゾータイプ干渉計 ３１−表面 ３２・−裏面
の一実施例を示す説明図であり、第２図は、従来の装置
を説明するための説明図である。 １、 １１． ２１ −レーザー光源 ２．１２．２２ −全反射ミラー ３．１３．２３・−ビームエキスパンダ４．１４．２４
−−ハーフプリズム ５．１５．２５−・−コリーメータレンズ６、 １６．
２６−−参照基準板 ７．１７．２７・−結像レンズ ８．１８，２ Ｌ−Ｔ、Ｖ、カメラ ９．３０−一不透明平行平面板 １〇−第１のフィゾータイプ干渉計 ２０−・第２のフィゾータイプ干渉計 ３１−表面 ３２・−裏面
Claims (1)
- （１）被測定平面に対して垂直方向から入射するコヒー
レントな参照光と、上記被測定平面で反射した物体光と
によって生ずる光干渉によって上記被測定平面の度合を
測定するフィゾータイプ干渉計を測定すべき平行平面板
に関して相互に対抗配設し構成したことを特徴とする平
行平面板の平行度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24662485A JPS62106310A (ja) | 1985-11-02 | 1985-11-02 | 平行平面板の平行度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24662485A JPS62106310A (ja) | 1985-11-02 | 1985-11-02 | 平行平面板の平行度測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62106310A true JPS62106310A (ja) | 1987-05-16 |
Family
ID=17151169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24662485A Pending JPS62106310A (ja) | 1985-11-02 | 1985-11-02 | 平行平面板の平行度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62106310A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS643534A (en) * | 1987-06-26 | 1989-01-09 | Topcon Corp | Instrument for measuring central thickness of lens |
| US6885459B2 (en) | 1996-01-24 | 2005-04-26 | Nanopro Luftlager-Produktions-Und Messtechnik Gmbh | Apparatus and method for measuring two opposite surfaces of a body |
| JP2008525801A (ja) * | 2004-12-23 | 2008-07-17 | コーニング インコーポレイテッド | ２面測定用の重複する共通光路干渉計 |
| CN102706462A (zh) * | 2012-06-12 | 2012-10-03 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 光纤型多楔块费索波长计 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5252661A (en) * | 1975-10-24 | 1977-04-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Measurement of parallelism |
-
1985
- 1985-11-02 JP JP24662485A patent/JPS62106310A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5252661A (en) * | 1975-10-24 | 1977-04-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Measurement of parallelism |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS643534A (en) * | 1987-06-26 | 1989-01-09 | Topcon Corp | Instrument for measuring central thickness of lens |
| US6885459B2 (en) | 1996-01-24 | 2005-04-26 | Nanopro Luftlager-Produktions-Und Messtechnik Gmbh | Apparatus and method for measuring two opposite surfaces of a body |
| JP2008525801A (ja) * | 2004-12-23 | 2008-07-17 | コーニング インコーポレイテッド | ２面測定用の重複する共通光路干渉計 |
| CN102706462A (zh) * | 2012-06-12 | 2012-10-03 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 光纤型多楔块费索波长计 |
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