JP2000103548A

JP2000103548A - 物品の搬送装置、搬送方法、長尺状物の処理装置、処理方法及び光起電力素子の製造方法

Info

Publication number: JP2000103548A
Application number: JP10277883A
Authority: JP
Inventors: Tomomasa Nakano; 智政中野; Toshio Tsuda; 俊男津田; Hitoshi Katsuyama; 均勝山
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1998-09-30
Filing date: 1998-09-30
Publication date: 2000-04-11

Abstract

(57)【要約】【課題】物品の搬送の際や待機時の制約を少なくし、
かつ、重量の重い物品を容易に搬送できるようにする。【解決手段】複数の車輪１２が取り付けられた車輪支
持枠１１の上には本体２が固定される。本体２には、水
平方向に延びる軸３が上下に移動可能に設けられてお
り、本体２の内部に、この軸３を上下動させるための駆
動手段が収容されている。軸３は、台車１の移動によ
り、電線ドラムやロール材のような物品の貫通穴に挿入
され、その後、軸３を上昇させることで物品を支持す
る。この状態で台車１を所定の位置まで移動させること
で物品が搬送される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ハーネスに使用さ
れる電線や、ロール・ツー・ロール法で製造される素子
の基板として用いられる長尺状のウェブなど、円筒状の
ボビンに巻き付けられた物品の搬送装置及び搬送方法に
関する。また、本発明は、ボビンに巻き付けられた長尺
状の基板を連続的に繰り出してこの基板に所定の処理を
行う処理装置及び処理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ハーネスに使用される電線や長尺状のウ
ェブなどは、円筒状のボビンに巻き付けられ、その状態
で取り扱われる。従来、この種の円筒状のボビンに巻き
付けられた物品を搬送するのには種々の方法が用いられ
ている。

【０００３】例えば、エレベータやエスカレータのハー
ネスに使用される工業用のビニルケーブル等の電線は、
図１８に示すように、電線ドラム１２０の形態で搬送さ
れる。電線ドラム１２０は、木材もしくは金属で作られ
中心に貫通穴１２１ａが設けられるとともに両端にフラ
ンジを有する枠１２１で構成され、この枠１２１に電線
１２２が巻き付けられる。通常、工業用のビニルケーブ
ル等の電線１２２は、外径が５〜２０ｍｍあり、電線１
２２が巻き付けられた電線ドラム１２０は、重量が全体
で２００ｋｇ以上になる場合が多い。そのため、電線ド
ラム１２０の搬送は、人手により電線ドラム１２０を転
がして行っていた。また、移動距離が長い場合には、図
１９に示すような電動のフォークリフト２００を用いる
こともある。フォークリフト２００は２本の保持腕２０
１を有し、この保持腕２０１を電線ドラム１２０の下部
の空間に侵入させ、保持腕２０１を上昇させることで、
電線ドラム１２０を保持して搬送することができる。

【０００４】搬送された電線ドラム１２０は、電線１２
２を必要に応じて繰り出して使用することができるよう
にするために電線繰り出し機に装着される。電線繰り出
し機としては、主に２つのタイプがある。

【０００５】１つ目は、図２０に示すように、軸芯２１
３を電線ドラム１２０の貫通穴１２１ａに通して支持す
るタイプである。このタイプの電線繰り出し機２１０
は、ベース板２１１に立設された２本の柱２１２にそれ
ぞれ上下方向に移動可能に設けられた支持部２１２ａを
有し、軸芯２１３はこれら支持部２１２ａに着脱可能に
支持される。軸芯２１３を電線ドラム１２０の貫通穴１
２１ａに貫通させ、その両端部を支持部２１２ａに支持
させた後、支持部２１２ａを上昇させることで、電線ド
ラム１２０は回転自在に支持される。

【０００６】２つ目は、図２１に示すように、電線ドラ
ム１２０の枠のフランジ部を支持するタイプである。こ
のタイプの電線繰り出し機２２０は、互いに平行に設け
られた２本の支持ローラ２２１を有し、この支持ローラ
２２１上に電線ドラム１２０が載せられる。支持ローラ
２２１は回転自在に支持されており、これにより電線ド
ラム１２０も回転自在に支持される。

【０００７】電線ドラム１２０は、このような電線ドラ
ム繰り出し機２１０，２２０に装着され、電線１２２の
先端を引き出すことにより電線ドラム１２０全体が回転
し、電線１２２が引き出される。電線ドラム１２０から
繰り出された電線１２２は、所定の長さに測定され、切
断される。

【０００８】ここで、図２２を参照して、電線１２２の
長さの測定及び切断について説明する。図２２におい
て、図２２において、電線繰り出し機２１０（２２０）
に装着された電線ドラム１２０は、電線１２２の先端を
電線測長切断機２３１に通して電線巻き取り機２３２に
セットされる。セットされた電線１２２は、不図示の駆
動手段により電線ドラム１２０から繰り出され、電線測
長切断機２３１により所定の長さに測長された時点で切
断される。切断された電線１２２は、不図示の駆動手段
により電線巻き取り機２３２に巻き取られる。電線巻取
り機２３２は、必要な本数だけ電線１２２が巻き取られ
たところで交換される。通常は、電線１２２が４〜５本
巻かれたものが１セットとされる。巻き取られた電線１
２２は、エレベータ等の作業現場等で、電線巻き取り機
２３２から引き出されて使用される。

【０００９】一方、長尺状のウェブである基板を連続的
に送り出しながらその表面に堆積膜を形成するロール・
ツー・ロール法においては、図２３に示すように、ウェ
ブ１３２は、貫通穴１３１ａを有する円筒型のボビン１
３１に巻き付けられたロール材１３０の形態で堆積膜形
成装置等の処理装置に供給される。

【００１０】このようなロール材１３０では、ウェブ１
３２に巻き癖がつかないように巻き径が大きくとられ、
そのためボビン１３１の外径は７００ｍｍ以上となって
いる。そのため、ロール材１３０の重量も５００ｋｇ以
上と、非常に重いものとなっている。

【００１１】従来、このロール材１３０を搬送するに
は、床上に置かれているロール材１３０を図２４に示す
ようにチェーンブロック３００等で吊り下げ、図２５に
示すような台車３１０に装着した後、この台車３１０で
ロール材１３０を所定の処理装置の近傍に搬送してい
た。そして、処理装置にセットするためには、再びチェ
ーンブロック３００等でロール材１３０を吊り下げてセ
ットしていた。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような、ボビンに巻かれた物品の搬送及びその使用に
関しては以下に示すような問題点があった。

【００１３】まず、搬送する際の問題点について述べ
る。まず、この種の物品の搬送手段としてフォークリフ
トを用いた場合、フォークリフトは物品の下部を支持す
るため安定感がなく、特に、フォークリフトを急停止、
急発進させると物品が落下するおそれがあった。また、
一般のフォークリフトは、その移動範囲、移動経路及び
待機位置等に大きな制約を受ける場合が多い。また、高
価であるため専用機として使用することは困難である。

【００１４】一方、台車で搬送する場合、台車に装着す
るにはチェーンブロックで釣り上げる必要があるので、
作業する場所が限られてしまう。また、台車に装着した
後、再び、次の装置に装着し直さなければならず、多く
の手間と時間を要する。特に、ロール・ツー・ロール法
によりウェブに所定の処理を行って製品を生産するに際
し、ボビンに巻かれたウェブを取り扱う場合には、この
ようにウェブの搬送や装置への装着に多くの手間と時間
がかかると、製品の生産性が大きく低下してしまうこと
になる。

【００１５】次に、物品をボビンから繰り出す際の問題
点について述べる。図２０に示したような繰り出し機の
場合、軸芯をドラムの中心穴に貫通させ、支持部に支持
させるといった工程は、軸芯を支持する２本の柱が邪魔
となりフォークリフトを使用することはできないため、
人手によらなければならない。従って、このような繰り
出し機に重量の重い電線ドラムを装着するには多くの手
間と時間が必要であった。図２１に示したような繰り出
し機の場合には、フォークリフトを使用して直接装着す
ることは可能である。しかし、このタイプの繰り出し機
は、ドラムを載置しているだけなので、ドラムの重量が
重い場合には安定して繰り出すことができるが、ある程
度電線が繰り出され重量が軽くなると、ドラムが非常に
不安定になってしまう。そのため、繰り出し機からドラ
ムが落下する事故が頻繁に起こってしまう。

【００１６】本発明の第１の目的は、物品を装着する場
所等の制約が少なく、かつ、重量の重い物品を容易に搬
送することができる物品搬送装置及び方法を提供するこ
とである。

【００１７】本発明の第２の目的は、搬送後の物品の取
り扱いを簡単なものとする物品搬送装置及び方法を提供
することである。

【００１８】本発明の第３の目的は、ボビンに巻かれた
長尺状のウェブに所定の処理を行う場合において、ウェ
ブの搬送を容易に行いかつ搬送後のウェブの処理を容易
にすることによって、製品を効率的に生産することがで
きる処理装置及び処理方法等を提供することである。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の搬送装置は、中心に貫通穴を有する物品を搬送
する搬送装置であって、車輪によって移動可能な本体
と、該本体に設けられ前記本体の移動により前記物品の
貫通穴に挿入されることで前記物品を支持する支持手段
とを有することを特徴とする。

【００２０】上記のとおり構成された本発明の搬送装置
では、支持手段を物品の貫通穴に挿入して物品を支持し
た状態で本体を移動させることによって物品を所定の位
置に搬送する。このように、搬送装置は極めて簡単に構
成されているので、移動の際や待機時の制約も少ないも
のとなる。また、物品の支持は、物品の貫通穴に支持手
段を挿入することによってなされるので、安定した支持
が可能となる。

【００２１】特に、支持手段を、一端部が支持されて水
平方向に延びた軸部材とした場合、物品の抜けを防止す
る抜け止めピンを軸部材の他端部に設けたり、物品の貫
通穴の内壁面を押圧することで物品を保持する保持機構
を軸部材に設けることで、物品の搬送中に物品が落下す
るのが防止される。また、軸部材を本体に対して着脱可
能に設けたり、軸部材を回転自在に支持することで、物
品が円筒部材に長尺状物を巻き付けたものである場合、
この長尺状物の送り出し機や巻き取り機として搬送装置
を利用することも可能である。この際は、外部駆動源か
ら軸部材に回転駆動力を与えるための駆動伝達手段を軸
部材に設けることが好ましい。さらに、上記支持手段を
本体に対して上下方向に移動可能に設け、この支持手段
を上下動させる軸駆動手段を有する構成とすれば、物品
の支持が容易に行える。

【００２２】また、本発明の搬送装置は、穴を有する物
品を搬送する搬送装置であって、本体と、一端のみが前
記本体に支持される軸部材と、前記物品の前記穴に前記
軸部材を挿入して係合して前記物品を支持する手段とを
有することを特徴とするものでもある。この発明におい
ては、本体に支持される軸部材は、回転可能であっても
よいし、本体から脱着可能であってもよいし、軸部材を
上下に移動させる軸駆動手段を有するものであってもよ
い。また、床面を自在に移動する移動手段を有していて
もよい。

【００２３】本発明の搬送方法は、中心に貫通穴を有す
る物品の搬送方法であって、車輪によって移動可能な本
体と、該本体に設けられ前記本体の移動により前記物品
の貫通穴に挿入されることで前記物品を支持する支持手
段とを有する搬送装置を用い、前記本体を前記物品に向
けて移動させ前記支持手段を前記貫通穴に挿入して前記
物品を支持し、前記車輪により前記本体を所定の位置ま
で移動させることを特徴とする。

【００２４】このように本発明の搬送方法では上記本発
明の搬送装置を用いているので、重量の重い物品でも容
易に搬送することが可能である。

【００２５】また、本発明の搬送方法は、穴を有する物
品を搬送する搬送方法であって、本体と、一端のみが前
記本体に支持される軸部材と、前記物品の前記穴に前記
軸部材を挿入して係合して前記物品を支持する手段とを
有する搬送装置を用い、前記軸部材に係合された前記物
品を搬送することを特徴とするものでもある。この発明
においても、本体に支持される軸部材は、回転可能であ
ってもよいし、本体から脱着可能であってもよいし、軸
部材を上下に移動させる軸駆動手段を有するものであっ
てもよい。また、床面を自在に移動する移動手段を有し
ていてもよい。

【００２６】本発明の処理装置は、円筒部材に巻き付け
られた長尺状物を送り出す送り出し手段と、該送り出し
手段から送り出された前記長尺状物の表面に所定の処理
を行う処理手段と、該処理手段により処理された前記長
尺状物を前記円筒部材とは別の円筒部材に巻き取る巻き
取り手段とを有する処理装置において、前記送り出し手
段及び前記巻き取り手段の少なくとも一方は、車輪によ
って移動可能な本体と、該本体に設けられ前記本体の移
動により前記円筒部材に挿入されることで前記円筒部材
を支持する軸部材とを有する搬送装置を備えていること
を特徴とする。

【００２７】また本発明の処理方法は、円筒部材に巻き
付けられた長尺状物を送り出しながら、該長尺状物の表
面に所定の処理を施し、前記所定の処理が施された前記
長尺状物を前記円筒部材とは別の円筒部材に巻き取って
いく処理方法において、前記長尺状物を送り出す位置及
び巻き取る位置の少なくとも一方に、車輪によって移動
可能な本体と、該本体に設けられ前記本体の移動により
前記円筒部材に挿入されることで前記円筒部材を支持す
る軸部材とを有する搬送装置を設置し、前記長尺状物の
送り出し及び巻き取りの少なくとも一方を前記搬送装置
によって行うことを特徴とする。

【００２８】上記の処理装置及び処理方法では、長尺状
物の送り出しや巻き取りに上記本発明の搬送装置を用い
ているので、長尺状物の送り出しや巻き取りのために専
用の装置を設置する必要がなくなり装置全体の構成が簡
略化される。しかも、搬送してきた長尺状物を送り出し
装置に移し替えたり、処理が終了した長尺状物を次の工
程へ搬送するために再び搬送装置へ移し替えるといった
手間が省かれる。

【００２９】また、本発明の処理装置は、円筒部材に巻
き付けられた帯状部材を送り出す送り出し手段と、該送
り出し手段から送り出された前記帯状部材の表面に所定
の処理を行う処理手段と、該処理手段により処理された
前記帯状部材を前記円筒部材とは別の円筒部材に巻き取
る巻き取り手段とを有する処理装置において、本体と、
一端のみが前記本体に支持される軸部材と、前記物品の
前記穴に前記軸部材を挿入して係合して前記物品を支持
する手段とを有する搬送装置の前記軸部材を、前記送り
出し手段あるいは前記巻き取り手段の少なくともいずれ
か一方に有することを特徴とするものでもよく、さら
に、本発明の処理方法も、円筒部材に巻き付けられた帯
状部材を送り出す送り出し工程と、送り出された前記帯
状部材の表面に所定の処理を施す処理工程と、前記所定
の処理が施された前記帯状部材を前記円筒部材とは別の
円筒部材に巻き取る巻き取り工程とを有する処理方法に
おいて、本体と、一端のみが前記本体に支持される軸部
材と、前記物品の前記穴に前記軸部材を挿入して係合し
て前記物品を支持する手段とを有する搬送装置の前記軸
部材を、前記送り出し工程あるいは前記巻き取り工程の
少なくともいずれか一方で使用することを特徴とするも
のでもよい。

【００３０】このような、長尺状物あるいは帯状部材を
扱う処理としては、例えば、ウェブの洗浄や、真空雰囲
気中でのウェブの表面への薄膜の形成が挙げられる。そ
の中でも特に、光起電力素子の製造に本発明は好ましく
適用される。

【００３１】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。

【００３２】（第１の実施形態）図１は、本発明の第１
の実施形態である物品搬送装置の斜視図である。図２
は、図１に示した物品搬送装置の側面図（ａ）、背面図
（ｂ）及び平面図（ｃ）である。なお、図２（ａ），
（ｂ）は本体の内部を透視した状態で示している。

【００３３】本実施形態の物品搬送装置は、図１８に示
した電線ドラム１２０を搬送するための台車１であり、
図１及び図２に示すように、主として、移動手段である
４つの車輪１２が取り付けられた車輪支持枠１１と、車
輪支持枠１１上に固定された本体２と、本体２に上下動
可能に設けられた軸３とを有する。

【００３４】本体２は、後述する軸３の駆動機構を内部
に収容するもので、電線ドラム１２０の重量に耐えられ
るように金属で構成されている。本実施形態では本体２
は板金加工によりカバー状に形成されているが、数本の
骨組み形状のものであってもよい。

【００３５】本体２の内部には、図２（ａ）及び図２
（ｂ）に示すように、鉛直方向に延びる２本のガイド６
が固定され、これらガイド６にテーブル５が上下方向に
移動自在に支持されている。また、本体２の内部には油
圧ジャッキ８が設けられている。油圧ジャッキ８のロッ
ドには金具９が取り付けられ、この金具９はテーブル５
に固定されている。油圧ジャッキ８には、ロッドを上昇
させるためのレバー８ａが設けられており、このレバー
８ａを上下動させることで、ロッドが上昇し、それに伴
ってテーブル５が上昇する。また、不図示の油圧を抜く
手段により、テーブル５を下降させることができる。

【００３６】テーブル５は、２つの軸受７ａが設けられ
た支持部７を有し、この支持部７に、水平方向に延びる
軸３が、水平軸回りに回転自在に支持される。軸３は、
電線ドラム１２０の貫通穴１２１ａを貫通する長さを有
し、この貫通穴１２１ａに挿入されることで電線ドラム
１２０を支持するものであり、本体２の前面から突出し
て設けられている。上述のようにテーブル５は上下方向
に移動されるものであり、このテーブル５の上下動に伴
って、軸３も上下動する。そのため、本体２の前面に
は、軸３の移動範囲にわたって長穴２ａが形成されてい
る。また、軸３は電線ドラムを支持するものであるの
で、軸３及び支持部７は、電線ドラム１２０の重量に十
分に耐え得る剛性を持った材料で構成される。

【００３７】軸３の先端部には、軸３が電線ドラム１２
０の貫通穴１２１ａに挿入された際、電線ドラム１２０
が軸３から抜け落ちないようにするための抜け止めピン
４が設けられている。抜け止めピン４は、軸３と別体で
構成しても良いが、軸３を電線ドラム１２０の貫通穴１
２１ａに挿入する作業上の手間を考えると、ばね等によ
り軸３に対して出入り可能に設けられている方が好まし
い。

【００３８】車輪支持枠１１は、電線ドラム１２０が立
てて置かれた状態で電線ドラム１２０の下部両側方に侵
入可能なように水平方向に互いに平行に延びた２つの腕
部を有し、各腕部にそれぞれ２つずつ車輪１２が取り付
けられている。また、各腕部には、車輪１２を固定させ
るためのロック機構１３が設けられている。一方、本体
２の上部には、この台車１を移動させる際に人が持つハ
ンドル１０が設けられており、このハンドル１０を操作
して台車１を任意の方向に床面２００上を自在に移動さ
せることができる。なお、車輪支持枠１１の各腕部に
は、後述する電線繰り出し時に台車１を固定するための
ピンが挿入される穴１１ａが形成されている。

【００３９】次に、この台車１による電線ドラム１２０
の搬送手順について、図３を参照して説明する。

【００４０】まず、図３（ａ）に示すように、予め立て
た状態で置かれている電線ドラム１２０の貫通穴１２１
ａに向かって、矢印Ａ方向に台車１を人手により移動さ
せる。この際、軸３の高さが、電線ドラム１２０の貫通
穴１２１ａの高さ、つまり電線ドラム１２０の半径と等
しい高さに位置するように、油圧ジャッキ８により調節
されている。また、抜け止めピン４が軸３に対して着脱
可能に設けられている場合には、抜け止めピン４は取り
外しておく。

【００４１】次いで、図３（ｂ）に示すように、台車１
の軸３を電線ドラム１２０の貫通穴１２１ａに挿入させ
る。軸３が貫通穴１２１ａに完全に挿入されると、抜け
止めピン４により、電線ドラム１２０が軸３から抜け落
ちるのが防止される。

【００４２】電線ドラム１２０が台車１に装着された
ら、図３（ｃ）に示すように、レバー８ａを上下動させ
て油圧ジャッキ８を駆動し、軸３を上昇させる。これに
伴って、電線ドラム１２０が上昇する。電線ドラム１２
０を上昇させる高さは、後述する電線繰り出し位置や、
搬送経路中に存在する障害物等を考慮して決める。電線
ドラム１２０を上昇させたら、ハンドル１０を操作して
所定の位置まで台車１を移動させる。

【００４３】以上説明したように、電線ドラム１２０は
台車１の軸３を貫通穴１２１ａに挿入させることによっ
て支持されているので、安定した状態で搬送される。し
かも、電線ドラム１２０の上昇及び下降動作も、台車１
に設けられた油圧ジャッキ８で行うので、多大な労力は
不要である。さらに、軸３には抜け止めピン４が設けら
れているので、台車１を急停止または急発進しても、電
線ドラム１２０が落下するおそれはない。そして、台車
１の構造についても、基本的には、移動用の車輪１２
と、電線ドラム１２０の貫通穴１２１ａに挿入可能な軸
３とを有すればよいので、簡単かつ小型に構成すること
ができる。軸３を上下動可能に構成した場合であって
も、油圧ジャッキ８のような簡単な機構を付加するだけ
で良いので、台車１が大型化することはない。

【００４４】電線ドラム１２０に巻き付けられた電線１
２２は、使用するときには所定の長さに切断される。そ
のために、従来は、搬送された電線ドラム１２０を電線
繰り出し機に装着し直していたが、本実施形態の台車１
は、上述したように軸３が回転自在に設けられているの
で、この電線繰り出し機を兼ねることもできる。

【００４５】すなわち、図２２に示した電線繰り出し機
２１０（２２０）の設置位置に、本実施形態の台車１が
固定される。図４に、台車１が電線繰り出し位置に固定
された状態の斜視図を示す。図４において、電線繰り出
し位置には、台車１の車輪支持枠１１の各腕部が挿入さ
れる２つのカバー１５が、床面にボルト等で固定されて
いる。そして、電線ドラム１２０を搬送してきた台車１
の車輪支持枠１１をそのままカバー１５に挿入させる。
車輪支持枠１１には、穴１１ａ（図１参照）が形成され
ており、カバー１５にもこの穴１１ａと対応する位置に
穴（不図示）が形成されている。これら穴同士を位置合
わせし、ピン１６を穴に挿入することで、台車１が固定
される。本来、電線繰り出し位置に台車１を固定する
際、台車１は電線ドラム１２０を保有しているが、図４
では省略している。

【００４６】固定された台車１は、電線ドラム１２０と
軸で係合し、電線ドラム１２０を係止しており、また回
転自在に支持しているので、従来の電線繰り出し機と同
様に機能する。このように、本実施形態の台車１は、そ
のまま電線繰り出し機として使用することができる。そ
の結果、電線を繰り出すために従来のように電線繰り出
し機を準備する必要がなく、また、電線ドラム１２０を
台車１から電線繰り出し機へ移し替える手間も必要なく
なるため、設備コスト及び作業労力を大幅に削減するこ
とができる。

【００４７】図５に、図１に示した台車１の変形例を示
す。

【００４８】図５において、油圧ジャッキ８によって上
下動されるテーブル５には、電線ドラムの側面に当接さ
れる支持部材１８が固定されている。支持部材１８に
は、電線ドラムの貫通穴の内壁に挿入可能な溝付フック
１８ａが軸３に一体的に設けられている。その他の構成
は図１及び図２に示したものと同様である。

【００４９】電線ドラムを搬送する手順は、図３に示し
た手順と同様であるが、図５に示した例では、電線ドラ
ムは、溝付フック１８ａが貫通穴に係合し、電線ドラム
の側面が支持部材１８の平面部１８ｂで支持される。こ
のように、溝付フック１８ａを電線ドラムの貫通穴に係
合させる構成としても、電線ドラムを安定して搬送する
ことができる。

【００５０】（第２の実施形態）図６は、本発明の第２
の実施形態である物品搬送装置の斜視図である。図７
は、図６に示した物品搬送装置の側面図（ａ）及び背面
図（ｂ）である。なお、図２は、本体の内部を透視した
状態で示している。

【００５１】本実施形態の搬送装置は、図２３に示した
ロール材１３０を搬送するための台車２１であり、第１
の実施形態と同様に、車輪支持枠３１と、ロール材１３
０の搬送時にロール材１３０のボビン１３１の貫通穴１
３１ａに挿入される軸２３と、軸２３を上下動させる駆
動機構を内部に収容し車輪支持枠３１上に固定された本
体２２とを有する。

【００５２】図６及び図７に示すように、軸２３がテー
ブル２５の支持部２７に回転自在に設けられている点、
テーブル２５が油圧シリンダ２８により上下動可能に設
けられている点、車輪支持枠３１には４つの車輪３２が
取り付けられている点、及び本体２２の上部にハンドル
３０が設けられている点は、第１の実施形態と同様であ
る。軸２３は、物品であるロール材１３０の穴に挿入さ
れ、ロール材１３０と係合して支持することができる。
言い換えれば、軸２３は、ロール材１３０を穴において
係止できる。本実施形態の台車２１は、軸２３の構造が
第１の実施形態と異なっている。

【００５３】以下に、軸２３の構造について詳細に説明
する。軸２３は、本体２２の前面から突出した大径部
と、テーブル２５の支持部２７に支持された小径部とを
有する２段円筒状の部材であり、大径部はロール材１３
０のボビン１３１の内径に合わせて径が設計されてい
る。軸２３の内部には、軸２３の前端部（図７（ａ）の
左端部）から後端部（図７（ａ）の右端部）まで延在す
る移動部材４１が、軸２３の長手方向には移動可能であ
るが回転は不能に設けられている。軸２３の前端の開口
には、中心に穴４３ａが形成された円板４３が固定され
ている。移動部材４１は、前端部がこの円板４３の穴に
挿入されるとともに、後端部が軸２３の小径部の内周面
で支持されている。

【００５４】また、軸２３の後端側には雄ねじ部が形成
されており、この雄ねじ部に螺合する雌ねじ部が形成さ
れた固定用ハンドル４４が、軸２３に回転自在に取り付
けられている。これにより、固定用ハンドル４４を回転
させると、移動部材４１が図７（ａ）の左右方向に移動
される構成となっている。

【００５５】軸２３の大径部において、その先端側と根
元側との２箇所にそれぞれ、移動部材４１にはフランジ
部４１ａが一体的に設けられている。フランジ部４１ａ
の外周面は、軸２３の先端側から根元側に向かうにつれ
て径が小さくなるテーパ面となっている。一方、軸２３
の周壁には、周方向に９０度間隔、かつ、軸２３の先端
側と根元側との合計８箇所に、長穴２３ａが形成されて
いる。

【００５６】各長穴２３ａにはそれぞれ、固定部材４２
が、フランジ部４１ａのテーパ面上に支持されて取り付
けられている。固定部材４２は、図８に示すように略凸
状の部材であり、その上面４２ａはボビン１３１の内周
面とほぼ等しい曲率を有するとともに、下面４２ｂは移
動部材４１のフランジ部４１ａのテーパ面と等しいテー
パ面となっている。また、上面４２ａの両端には面取り
部４２ｃが形成されている。

【００５７】上記構成に基づき、固定用ハンドル４４を
回転させて移動部材４１を軸２３の根元方向に後退させ
ると、固定部材４２は移動部材４１のフランジ部４１ａ
のテーパ面により押圧され、軸２３の長穴２３ａから軸
２３の外部に突出する。固定用ハンドル４４を逆方向に
回転させて移動部材４１を軸２３の先端方向に前進させ
ると、固定部材４２はフランジ部４１ａのテーパ面に沿
って下降し、軸２３内に引き込まれる。移動部材４１を
前進させたときに固定部材４２を確実に軸２３内に引き
込ませるために、固定部材４２をばね等の付勢手段（不
図示）によりフランジ部４１ａのテーパ面に付勢させる
ことが望ましい。

【００５８】なお、本実施形態では、移動部材４１にフ
ランジ部４１ａを設けた構成としたが、各固定部材４２
をテーパ面で支持することができるものであればフラン
ジ部４１ａに限られるものではなく、例えば、板部材を
移動部材４１に放射状に配置した構成としてもよい。

【００５９】次に、この台車２１によるロール材１３０
の搬送手順について、図９を参照して説明する。

【００６０】まず、図９（ａ）に示すように、予め立て
た状態で置かれているロール材１３０のボビン１３１の
貫通穴１３１ａに向かって、矢印Ａ方向に台車２１を人
手により移動させる。この際、軸２３の高さが、ロール
材１３０のボビン１３１の高さ、つまりロール材１３０
の半径と等しい高さに位置するように、油圧ジャッキ２
８により調節されている。またこのとき、各固定部材４
２の上面４２ａが軸２３の外周面から出ないように、固
定用ハンドル４４により移動部材４１の位置を調節して
おく。

【００６１】次いで、図９（ｂ）に示すように、台車２
１の軸２３をロール材１３０のボビン１３１の中に挿入
させる。軸２３が完全にボビン１３１の中に挿入された
ら、固定用ハンドル４４により移動部材４１を後退さ
せ、各固定部材４２をボビン１３１の内周面に押圧させ
る。これにより、ロール材は軸２３に固定される。

【００６２】ロール材１３０が台車２１に装着された
ら、図９（ｃ）に示すように、油圧ジャッキ２８を駆動
して軸２３を上昇させる。これに伴って、ロール材１３
０が上昇する。そして、台車２１を移動させて、ロール
材１３０を所定の位置まで搬送する。

【００６３】このようにしてロール材１３０を搬送する
ことで、第１の実施形態と同様に、人がハンドル３０を
握り、台車２１を人力で動かすことができるので、安全
かつ安定にロール材１３０を搬送することができる。ま
た、ロール材１３０の搬送中は、ボビン１３１が固定部
材４２によって軸２３に固定されているので、搬送途中
でロール材１３０が落下することもない。さらに、台車
２１についても、第１の実施形態と同様に極めて簡単
で、かつ小型に構成することができる。

【００６４】台車２１で搬送されたロール材１３０は、
ウェブに所定の処理を施すために、次工程の処理装置に
セットされる。例えば、光起電力素子いわゆる太陽電池
をロール・ツー・ロール法により連続して形成する場
合、帯状部材であるウェブ１３２としては導電性の基板
が用いられ、このウェブ１３２はまず洗浄装置にセット
されて洗浄され、その後、所定の成膜装置にセットされ
て種々の機能性膜が形成される。

【００６５】これらの処理装置には、ウェブ１３２を送
り出す送り出し機と、処理されたウェブ１３２を巻き取
る巻取り機とが設けられている。本実施形態の台車２１
も、軸２３が回転自在に設けられているので、これら送
り出し機や巻取り機として用いることができる。

【００６６】そのためには、台車２１を送り出し機が設
置される所定の位置あるいは巻取り機が設置される所定
の位置に固定し、しかも、ウェブ１３２を送り出したり
巻き取ったりするための、軸２３の回転駆動力を与える
必要がある。

【００６７】台車２１の固定に関しては、第１の実施形
態と同様にして固定することができる。すなわち、図１
０に示すように、台車２１が設置される位置に、台車２
１の車輪支持枠３１の各腕部が挿入される２つのカバー
３５を、ボルト等で予め固定しておく。そして、台車２
１の車輪支持枠３１をそのままカバー３５に挿入させ
る。車輪支持枠３１には、図６に示すように穴３１ａが
形成されており、カバー３５にもこの穴３１ａと対応す
る穴（不図示）が形成されている。これら穴同士を位置
合わせし、ピン３６を穴に挿入することで、台車２１が
固定される。このようにして、２つの台車２１を所定の
位置に固定する。

【００６８】また、軸２３の回転駆動に関しては、図１
１に示すような駆動装置５１を用いて台車２１の軸２３
に駆動力を与えることができる。本来、台車２１が固定
される際、台車２１はロール材１３０を保有している
が、図１０では省略している。

【００６９】駆動装置５１は、水平方向に延びて不図示
の駆動源により回転される駆動軸５５と、この駆動軸５
５の先端に取り付けられたフランジ５２とを有する。フ
ランジ５２の前面には、台車２１の円板４３の中心に形
成された穴４３ａ（図６参照）に嵌合する位置決めピン
５３と、円板４３に穴４３ａを中心として９０度間隔で
形成された４つの長穴４３ｂ（図６参照）に嵌合する駆
動力伝達ピン５４とが設けられている。このように、円
板４３の中心の穴４３ａは、台車２１の移動部材４１の
先端部を支持する他に、駆動装置５１の位置決めピン５
３の位置決め用の穴としても機能する。

【００７０】台車２１を所定の位置に固定する場合、駆
動装置５１の位置決めピン５３及び駆動力伝達ピン５４
をそれぞれ台車２１の穴４３ａ及び長穴４３ｂと位置合
わせしながら、車輪支持枠３１をカバー３５に挿入す
る。そして駆動装置５１は軸２３をクランプする。

【００７１】そして、駆動装置５１の駆動軸５５を回転
させると、その回転は駆動力伝達ピン５４を介して台車
２１の軸２３に伝達され、軸２３が回転する。

【００７２】このように、駆動装置５１で台車２１の軸
２３を駆動することで、台車２１には駆動源を設ける必
要がなく、長穴４３ａのような駆動力伝達手段を設ける
のみで、台車２１をそのまま送り出し機または巻取り機
として使用することができる。その結果、処理装置には
専用の送り出し機や巻取り機を設置する必要もなく、し
かもロール材を台車２１から処理装置あるいは処理装置
から台車２１に移し替える手間も必要なくなるので、設
備コスト及び作業労力を大幅に削減することができる。

【００７３】なお、駆動力伝達ピン５４は、キーのよう
なブロックであってもよいし、その数についても伝達ト
ルクによっては１つであっても複数であってもよい。ま
た、図１１には本実施形態の台車２１に適合した駆動装
置５１を示したが、図１〜図４に示した台車１に関して
も、軸３の先端部に外部駆動源からの駆動力を伝達する
ための手段を設けることによって、軸２に対して外部か
ら駆動力を与えることができる。

【００７４】さらに、上述のように駆動装置５１によっ
て軸２３に駆動力を与える場合、本体２２そのものはウ
ェブの送り出しや巻き取りには特に必要なものではない
ので、図１２に示すように、軸２３を本体２２から着脱
可能な構造とし、ウェブの送り出し動作中または巻き取
り動作中は、本体２２を軸２３から取り外して退避させ
ておくこともできる。この場合、ウェブへの処理が終了
したら、本体２２を軸２３に向けて移動させることによ
って本体２２に軸２３を装着し、所定の位置まで搬送す
ることができる。こうすることにより、台車２１を設置
する際に固定する手間を省くことができる。なお、ウェ
ブへの処理中に軸２３を本体２２から取り外しておく場
合には、フランジ５２は軸２３を確実に固定できる構造
とするとともに、フランジ５２及び駆動軸５５は、軸２
３及びロール材１３０の重量に十分に耐え得る剛性を持
った材料で構成される。

【００７５】（第３の実施形態）本実施形態では、上述
したロール材１３０からウェブ１３２を連続的に送り出
して太陽電池等の光起電力素子を形成するための種々の
処理装置、及びその工程について説明する。

【００７６】ボビン１３１に巻き付けられたウェブ１３
２は、まず、洗浄装置に供給されて洗浄され、その後、
所定の成膜装置に供給されて表面に機能性膜が形成さ
れ、最終的に光起電力素子が製造される。ここでは、ウ
ェブ１３２として、両面を鏡面研磨した長尺状ステンレ
スシートを用いている。

【００７７】図１３は、本発明の搬送装置を適用した洗
浄装置の概略構成図である。図１３に示すように、洗浄
装置６０は、洗浄液（界面活性剤水溶液）を収容するウ
ェブ洗浄槽６３と、純水を収容する純水接触槽６４と、
ウェブ洗浄槽６３にウェブ１３２を供給するための送り
出し機と、純水洗浄槽６４内を通ったウェブ１３２の両
面に高圧空気を吹き付けるエアノズル６５と、エアノズ
ル６５を通過したウェブ１３２を巻き取る巻取り機とを
有する。

【００７８】従来は、送り出し機及び巻取り機として専
用の装置を用いていたが、本実施形態では、それぞれ第
２の実施形態で説明した台車２１，２１’を用いてい
る。なお、送り出し側に配置される台車２１は、第２の
実施形態で説明したようにしてロール材を搬送してきた
ものが用いられるが、巻取り側に配置される台車２１’
は、これからウェブ１３２を巻き取るものであるので、
初期状態ではボビンのみを保持している。構成は各台車
２１，２１’とも同一である。また、各台車２１，２
１’は、第２の実施形態で説明したようにしてそれぞれ
所定の位置に固定され、さらに、軸２３には図１１に示
した駆動装置５１により駆動力が与えられる。駆動装置
５１は、送り出し側と巻取り側とに設けられ、送り出し
側はウェブ１３２に適当な張力を与え、巻取り側は一定
速度でウェブ１３２を巻き取るように、それぞれ駆動軸
５５の回転速度が制御される。

【００７９】次に、上述した洗浄装置６０によるウェブ
の洗浄処理について説明する。

【００８０】送り出し側の台車２１から送り出されたウ
ェブ１３２は、まず、ウェブ洗浄槽６３に搬送される。
ウェブ洗浄槽６３中の洗浄液でフェライト振動子よりな
る超音波発振器６６より発振された超音波（例えば周波
数６０ｋＨｚ、出力４００Ｗ）により、ウェブ１３２の
表面に付着している不純物の洗浄が行われる。

【００８１】次にウェブ１３２は純水接触槽６４へ搬送
され、２５℃の温度に保たれた抵抗率１５ＭΩ・ｃｍ、
０．２μｍ以上の微粒子が１ミリリットル中に１００個
以下の純水を純水ノズル６７から５０ｋｇ・ｆ／ｃｍ²
の圧力で吹き付けられる。なお、図１３に示した例で
は、ウェブ１３２は、上記の純水が一定量ためられた水
溶液に予備的に接触される構造となっている。

【００８２】純水接触工程の終了したウェブ１３２は乾
燥領域に搬送され、エアノズル６５から高温の高圧空気
等を吹き付けられ乾燥される。

【００８３】乾燥工程の終了したウェブ１３２は巻き取
り側の台車２１’により巻き取られ、その後、後述する
光反射層形成装置７０（図１４参照）に搬送されて金属
層及び反射増加層が形成される。ここで、洗浄装置６０
から光反射層形成装置７０までのウェブの搬送には、洗
浄装置６０に用いられていた巻取り側の台車２１’がそ
のまま使用される。

【００８４】図１４に、本発明の成膜装置の一例として
光反射層形成装置７０の概略構成を示す。図１４に示し
た光反射層形成装置７０は、ＤＣマグネトロンスパッタ
リング法による形成装置であり、ウェブ１３２を送り出
すための減圧可能な送り出し室７１と、金属層堆積室７
２と、反射増加層堆積室７５と、ウェブ１３２を巻き取
るための減圧可能な巻き取り室７８とを有する。

【００８５】送り出し室７１には送り出し機が設置さ
れ、巻き取り室７８には巻取り機が設置されるが、ここ
でも送り出し機及び巻取り機としてそれぞれ台車２
１’，２１”が用いられる。送り出し室７１に設置され
る台車２１’は、図１３に示した洗浄装置６０の巻き取
り側に設けられたものであり、洗浄装置６０からそのま
ま移動されて第２の実施形態と同様に送り出し室７１に
固定される。巻き取り室７８に設置される台車２１”
も、第２の実施形態で説明した台車２１と同じ構成のも
のが用いられ、第２の実施形態と同様に固定される。ま
た、送り出し室７１及び巻き取り室７８にはそれぞれ、
台車２１’，２１”の軸に駆動力を与えるための駆動装
置５１（図１１参照）が設置されている。

【００８６】また、送り出し室７１、金属層堆積室７
２、反射増加層堆積室７５及び巻き取り室７８は、互い
に通路で繋がっており、反射増加層堆積室７５に設けら
れた排気口７９を介してこれらの内部が減圧される。

【００８７】この光反射層形成装置７０による光反射層
の形成工程について以下に説明する。ウェブ１３２は、
まず金属層堆積室７２に送られ、ヒータ７３にて所望の
温度に加熱される。金属層堆積室７２のターゲット７４
は、例えば純度９９．９９％のＡｇで、ＤＣマグネトロ
ンスパッタリングによりウェブ１３２上に、金属層とし
てＡｇ層を減圧下で堆積する。次に、ウェブ１３２は反
射増加層堆積室７５に送られ、ヒータ７６にて所望の温
度に加熱される。反射増加層堆積室７５のターゲット７
７は、例えば純度９９．９９％のＺｎＯで、ＤＣマグネ
トロンスパッタリングにより引き続き、反射増加層とし
てＺｎＯ層を堆積する。図１４に示した例では、反射増
加層堆積室７５は、ＺｎＯ層の堆積速度、所望の膜厚の
関係から４枚のターゲット７７を備えている。そして、
ＺｎＯ層を堆積したウェブ１３２は、巻き取り室７８へ
送られ、台車２１”に巻き取られて次工程へ搬送され
る。

【００８８】以上のようにして洗浄工程及び純水接触工
程が終了したウェブ１３２上に、金属層及び反射層を連
続的に形成した後、図１５に示すプラズマＣＶＤによる
半導体光起電力層形成装置８０により、シリコン原子を
母体とする非単結晶材料で構成されたタンデム型の太陽
電池を製作する。

【００８９】図１５は、本発明の別の成膜装置である、
ロール・ツー・ロール法を用いた半導体光起電力層形成
装置８０の概略構成図である。この半導体光起電力層形
成装置８０は、減圧可能な送り出し室８１と、複数の堆
積室８２Ａ〜８２Ｉと、減圧可能な巻き取り室８３とを
順次配置し、それらの間を分離通路８４で接続したもの
で、帯状のウェブ１３２がこれらの中を通って、送り出
し室８１から巻き取り室８３に絶え間なく移動すること
ができ、かつ、ウェブ１３２の移動と同時に各堆積室８
２Ａ〜８２Ｉでそれぞれの半導体層を同時に形成するこ
とができる。

【００９０】送り出し室８１には送り出し機が設置さ
れ、巻き取り室８３には巻取り機が設置されるが、ここ
でも送り出し機及び巻取り機としてそれぞれ台車２
１”，２１'''が用いられる。送り出し室８１に設置さ
れる台車２１”は、図１４に示した光反射層形成装置７
０の巻き取り側に設けられたものであり、光反射層形成
装置７０からそのまま移動されて第２の実施形態と同様
に送り出し室８１に固定される。巻き取り室８３に設置
される台車２１'''も、第２の実施形態で説明した台車
２１と同じ構成のものが用いられ、第２の実施形態と同
様に固定される。また、送り出し室８１及び巻き取り室
８３にはそれぞれ、台車２１”，２１'''の軸に駆動力
を与えるための駆動装置５１（図１１参照）が設置され
ている。各駆動装置５１は、ウェブ１３２に適当な張力
を与え、かつ、ウェブ１３２を一定速度で送るように、
駆動力が制御される。

【００９１】各堆積室８２Ａ〜８２Ｉは、図１６に堆積
室８２Ｇ，８２Ｈで代表して示すように、原料ガス導入
口９１と原料ガスの排気口９２とを有する。原料ガス導
入口９１には原料ガス供給装置（不図示）が接続され、
排気口９２には油拡散ポンプ、メカニカルブースターポ
ンプ等の真空排気ポンプ（不図示）が接続されている。
また、各堆積室８２Ａ〜８２Ｉの内部にはそれぞれウェ
ブ１３２を加熱するハロゲンランプヒータ８５が設けら
れ、各堆積室８２Ａ〜８２Ｉのうち、堆積室８２Ａ，８
２Ｃ，８２Ｅ，８２Ｇには、マイクロ波発生用電源、つ
まりＭＷ電源（不図示）が接続されたマイクロ波アプリ
ケータ８７が設けられ、残りの堆積室８２Ｂ，８２Ｄ，
８２Ｆ，８２Ｆには、ラジオ周波数帯域の波長を発生さ
せるための電源、つまりＲＦ電源（不図示）が接続され
たＲＦ電極８６が設けられている。

【００９２】堆積室８２Ｃ，８２Ｇは、ｉ型層の堆積室
であり、これらにはバイアス電極８８とターゲット電極
８９とが配置されている。バイアス電極８８及びターゲ
ット電極８９には、それぞれの電源としてＲＦ電源（不
図示）が接続されている。

【００９３】各堆積室８２Ａ〜８２Ｉに接続された分離
通路８４には、掃気ガスを流入させる掃気ガス導入口９
０が設けられている。

【００９４】次に、上記の半導体光起電力層形成装置８
０による各層の形成工程について説明する。

【００９５】まず、図１４に示した光反射層形成装置７
０により金属層及び反射増加層が形成されたウェブ１３
２が巻き取られた台車２１”をそのまま光反射層形成装
置７０から外してこの半導体光起電力層形成装置８０へ
搬送し、送り出し室８１内に固定し、各堆積室８２Ａ〜
８２Ｉ内を通過させた後に、巻き取り室８３内に固定さ
れた台車'''の軸に保持されているボビンに巻き付け
る。装置全体を真空排気ポンプで真空排気し、各堆積室
８２Ａ〜８２Ｉのハロゲンランプヒータ８５を点灯さ
せ、各堆積室８２Ａ〜８２Ｉ内のウェブ１３２の温度が
所定の温度になるように設定する。装置全体の圧力が１
ｍＴｏｒｒ以下になったら掃気ガス導入口９０からＨｅ
ガスを流入させ、ウェブ１３２を図示左から右へ移動さ
せながら、台車２１'''で巻き取っていく。

【００９６】各堆積室８２Ａ〜８２Ｉにそれぞれの原料
ガスを流入させる。この際、各堆積室８２Ａ〜８２Ｉに
流入させる原料ガスが他の堆積室に拡散しないように、
各分離通路８４に流入させるＨｅガスの流量、あるいは
各堆積室８２Ａ〜８２Ｉの圧力を調整する。

【００９７】次に、ＲＦ電力またはＭＷ電力を導入して
グロー放電を生起し、図１７に示すように、金属層１０
２及び反射増加層１０３が形成された基板１０１（ウェ
ブ１３２）それぞれの半導体層を形成していく。すなわ
ち、堆積室８２Ａで第１のＭＷｎ型層１０４（μｃ−Ｓ
ｉ、層厚２０ｎｍ）を形成し、さらに堆積室８２Ｂで第
１のＲＦｎ型層１０５（ａ−Ｓｉ、層厚１０ｎｍ）、堆
積室８２Ｃで第１のｉ型層１０６（ａ−Ｓｉ、層厚２５
０ｎｍ）、堆積室８２Ｄで第１のＲＦｐ型層１０７（ａ
−Ｓｉ、層厚１０ｎｍ）、堆積室８２Ｅで第１のＭＷｐ
型層１０８（μｃ−Ｓｉ、層厚１０ｎｍ）、堆積室８２
Ｆで第２のＲＦｎ型層１０９（ａ−ＳｉＣ、層厚２０ｎ
ｍ）、堆積室８２Ｇで第２のｉ型層１１０（ａ−Ｓｉ
Ｃ、層厚２００ｎｍ）、堆積室８２Ｈで第２のＲＦｐ型
層１１１（ａ−ＳｉＣ、層厚１０ｎｍ）、堆積室８２Ｉ
で第２のＭＷｐ型層１１２（μｃ−ＳｉＣ、層厚１０ｎ
ｍ）を順次形成する。なお、以上の説明において、ｎ
（ｐ）型層の前につけられたＲＦ及びＭＷの記号は、プ
ラズマ生起用の電力がＲＦまたはＭＷであることを意味
する。

【００９８】ウェブ１３２をすべて巻き取ったところ
で、全てのＭＷ電源、ＲＦ電源を切り、グロー放電を止
め、原料ガス、掃気ガスの流入を止める。そして、装置
全体をリークし、台車２１'''に巻き取られたウェブ１
３２を台車２１'''ごと取り出し、さらに透明電極１１
３及び集電電極１１４を形成し、光電変換素子が完成す
る。以上説明したように、本実施形態では、洗浄装置
６０や光反射層形成装置７０や半導体光起電力層形成装
置８０によって、ウェブ１３２の表面を洗浄したり、種
々の機能性膜を形成して光電変換素子を作製している
が、これらの装置間でのウェブ１３２の移動には、ウェ
ブ１３２の送り出し機あるいは巻取り機として使用して
いる台車２１，２１’，２１”、２１'''をそのまま使
用しているので、ウェブ１３２の搬送を容易に行うこと
ができ、しかも、装置間でウェブ１３２を移し替える手
間も省くことができる。その結果、光電変換素子を効率
的に生産することができるようになる。

【００９９】本実施形態では、ウェブ１３２の送り出し
側及び巻取り側の両方に本発明の搬送装置の一例である
台車の軸を用いた場合について説明したが、上述した他
に、ウェブ１３２への処理工程の前後のつながりによっ
ては、送り出し側あるいは巻取り側のいずれか一方にの
み台車の軸を用い、他方は従来の送り出し機あるいは巻
取り機を用いてもよい。

【０１００】また、本実施形態では、各処理装置のウェ
ブ１３２の送り出し位置（送り出し室）、巻き取り位置
（巻き取り室）に台車をそのまま設置した例を示した
が、第２の実施形態で図１２を用いて説明したように、
軸２３を本体２２から着脱可能な構成とし、上述したよ
うにウェブ１３２の処理中は軸２３を本体２２から分離
させ、軸２３のみを送り出し室、巻き取り室に残すこと
が好ましい。その結果、本体２２を含む台車２１から無
機物や有機物が減圧雰囲気中で放出されることを防ぐこ
とができるだけでなく、１つの本体２２を複数の軸２３
に対して使い回しすることができるし、送り出し室や巻
き取り室の大きさを最小限の大きさにすることができ、
処理装置全体の設置スペースを小さくすることができ
る。

【０１０１】ここで、本実施形態で作製された光電変換
素子の構成について、図１７を参照して説明する。

【０１０２】（１）基板１０１基板１０１は、導電性材料そのものであっても、絶縁性
材料または導電性材料で支持体を形成し、その上に導電
性処理を施したものであっても良い。導電性支持体とし
ては、例えば、ＮｉＣｒ、ステンレス、Ａｌ、Ｃｒ、Ｍ
ｏ、Ａｕ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｖ、Ｔｉ、Ｐｔ、Ｐｂ、Ｓｎ等
の金属、またはこれらの合金が挙げられる。絶縁性支持
体としては、ポリエステル、ポリエチレン、ポリカーボ
ネート、セルロースアセテート、ポリプロピレン、ポリ
塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスチレン、ポリ
アミド等の合成樹脂のフィルムまたはシート、あるいは
ガラス、セラミックス等が挙げられる。これらの絶縁性
支持体は、好適には少なくともその一方の表面を導電処
理し、この導電処理された表面側に光起電力層を設ける
のが望ましい。

【０１０３】（２）金属層１０２光反射層としての金属層１０２は、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｕ、
ＡｌＳｉ等の可視光から近赤外線で反射率の高い金属が
適している。これらの金属は、抵抗加熱真空蒸着法、電
子ビーム真空蒸着法、共蒸着及びスパッタリング法等で
形成するのが適している。光反射層としてのこれらの金
属の層厚としては、１０ｎｍから５００ｎｍが適した層
厚として挙げられる。これらの金属をテクスチャー化す
るためにはこれらの金属の堆積時の基板温度を２００℃
以上とすれば良い。

【０１０４】（３）反射増加層１０３反射増加層１０３としては、ＺｎＯ、ＳｎＯ₂、Ｉｎ
Ｏ₃、ＩＴＯ、ＴｉＯ₂、ＣｄＯ、Ｃｄ₂ＳｎＯ₄、ＢｉＯ
₃、ＭｏＯ₃、Ｎａ_XＷＯ₃等が適している。特にプラズマ
耐性が強く、厳しい条件が可能であるＺｎＯがより適し
ている。

【０１０５】反射増加層１０３の堆積方法としては、真
空蒸着法、スパッタリング法、ＣＶＤ法、スプレー法、
スピンオン法、ディップ法等が適した方法として挙げら
れる。また、反射増加層１０３の層厚としては、その材
料の屈折率によって最適値が異なるが、好ましい層厚の
範囲として５０ｎｍ〜１０μｍが挙げられる。さらに、
反射増加層１０３をテクスチャー化するためには、反射
増加層１０３を堆積する場合の基板温度を３００℃以上
に上げるのが好ましい。

【０１０６】（４）半導体光起電力層（ａ）ｐまたはｎ型層ｐ型層またはｎ型層は、光起電力素子の特性を左右する
重要な層である。

【０１０７】ｐ型層またはｎ型層の非結晶材料（ａ−と
表示する）（微結晶材料（μｃ−と表示する）も非結晶
材料の範疇に含める）としては、例えば、ａ−Ｓｉ：
Ｈ、ａ−Ｓｉ：ＨＸ（Ｘはハロゲン原子）、ａ−Ｓｉ：
Ｃ：Ｈ、ａ−ＳｉＣ：ＨＸ、ａ−ＳｉＧｅ：Ｈ、ａ−Ｓ
ｉＧｅＣ：Ｈ、ａ−ＳｉＯ：Ｈ、ａ−ＳｉＮ：Ｈ、ａ−
ＳｉＯＮ：ＨＸ、ａ−ＳｉＯＣＮ：ＨＸ、μｃ−Ｓｉ：
Ｈ、μｃ−ＳｉＣ：Ｈ、μｃ−Ｓｉ：ＨＸ、μｃ−Ｓｉ
Ｃ：ＨＸ、μｃ−ＳｉＧｅ：Ｈ、μｃ−ＳｉＯ：Ｈ、μ
ｃ−ＳｉＧｅＣ：Ｈ、μｃ−ＳｉＮ：Ｈ、μｃ−ＳｉＯ
Ｎ：ＨＸ、μｃ−ＳｉＯＣＮ：ＨＸ等にｐ型の価電子制
御剤（周期律表第III族原子、Ｂ，Ａｌ，Ｇａ，Ｉｎ，
Ｔｌやｎ型の価電子制御剤（周期律表第Ｖ族原子、Ｐ，
Ａｓ，Ｓｂ，Ｂｉ）を高濃度に添加した材料が挙げられ
る。

【０１０８】多結晶材料（ｐｏｌｙ−と表示する）とし
ては、例えばｐｏｌｙ−Ｓｉ：Ｈ、ｐｏｌｙ−Ｓｉ：Ｈ
Ｘ、ｐｏｌｙ−ＳｉＣ：Ｈ、ｐｏｌｙ−ＳｉＣ：ＨＸ、
ｐｏｌｙ−ＳｉＧｅ：Ｈ、ｐｏｌｙ−Ｓｉ、ｐｏｌｙ−
ＳｉＣ、ｐｏｌｙ−ＳｉＧｅ等にｐ型の価電子制御剤
（周期律表第III族原子Ｂ，Ａｌ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｔｌ）
やｎ型の価電子制御剤（周期律表第Ｖ族原子Ｐ，Ａｓ，
Ｓｂ，Ｂｉ）を高濃度に添加した材料が挙げられる。

【０１０９】特に光入射側のｐ型層またはｎ型層には、
光吸収の少ない結晶性の半導体層かバンドギャップの広
い非結晶半導体が適している。ｐ型層への周期律表第II
I族原子の添加量及びn型層への周期律表第Ｖ族原子の添
加量は、０．１〜５０ａｔ％が最適量として挙げられ
る。

【０１１０】また、ｐ型層またはｎ型層に含有される水
素原子（Ｈ，Ｄ）またはハロゲン原子は、ｐ型層または
ｎ型層の未結合手を補償する働きをし、ｐ型層またはｎ
型層のドーピング効率を向上させるものである。ｐ型層
またはｎ型層へ添加される水素原子またはハロゲン原子
は０．１〜４０ａｔ％が最適量として挙げられる。特に
ｐ型層またはｎ型層が結晶性の場合、水素原子またはハ
ロゲン原子は０．１〜８ａｔ％が最適量として挙げられ
る。さらに、ｐ型層／ｉ型層、ｎ型層／ｉ型層の各界面
側で水素原子または／及びハロゲン原子の含有量が多く
分布しているものが好ましい分布形態として挙げられ、
該界面近傍での水素原子または／及びハロゲン原子の含
有量はバルク内の含有量の１．１〜２倍の範囲が好まし
い。このようにｐ型層／ｉ型層、ｎ型層／ｉ型層の各下
位面近傍で水素原子または／及びハロゲン原子の含有量
を多くすることによって、該界面近傍の欠陥準位や機械
的歪を減少させることができ、光起電力素子の光起電力
や光電流を増加させることができる。

【０１１１】光起電力素子のｐ型層及びｎ型層の電気特
性としては活性化エネルギーが０．２ｅＶ以下のものが
好ましく、０．１ｅＶ以下のものが最適である。また比
抵抗としては１００Ωｃｍ以下が好ましく、１Ωｃｍ以
下が最適である。さらにｐ型層及びｎ型層の層厚は１〜
５０ｎｍが好ましく、３〜１０ｎｍが最適である。

【０１１２】光起電力素子のｐ型層またはｎ型層の堆積
に適した原料ガスとしては、シリコン原子を含有したガ
ス化し得る化合物、ゲルマニウム原子を含有したガス化
し得る化合物、炭素原子を含有したガス化し得る化合物
等、及び該化合物の混合ガスを挙げることができる。

【０１１３】シリコン原子を含有するガス化し得る化合
物としては、例えばＳｉＨ₄、Ｓｉ₂Ｈ₆、ＳｉＦ₄、Ｓｉ
ＦＨ₃、ＳｉＦ₂Ｈ₂、ＳｉＦ₃Ｈ、Ｓｉ₃Ｈ₈、ＳｉＤ₄、
ＳｉＨＤ₃、ＳｉＨ₂Ｄ₂、ＳｉＨ₃Ｄ、ＳｉＦＤ₃、Ｓｉ
Ｆ₂Ｄ₂、ＳｉＤ₃Ｈ、ＳｉＤ₃Ｈ₃等が挙げられる。ゲル
マニウム原子を含有するガス化し得る化合物としては、
ＧｅＨ₄、ＧｅＤ₄、ＧｅＦ₄、ＧｅＦＨ₃、ＧｅＦ₂Ｈ₂、
ＧｅＦ₃Ｈ、ＧｅＨＤ₃、ＧｅＨ₂Ｄ₂、ＧｅＨ₃Ｄ、Ｇｅ₂
Ｈ₆、Ｇｅ₂Ｄ₆等が挙げられる。炭素原子を含有するガ
ス化し得る化合物としては、ＣＨ₄、ＣＤ₄、Ｃ_nＨ_2n+2
（ｎは整数）、Ｃ_nＨ_2n（ｎは整数）、Ｃ₂Ｈ₂、Ｃ
₆Ｈ₆、ＣＯ₂、ＣＯ等が挙げられる。

【０１１４】価電子制御するためにｐ型層またはｎ型層
に導入される物質としては、周期律表第III族原子及び
第Ｖ族原子が挙げられる。

【０１１５】第III族原子導入用の出発物質として有効
に使用されるもは、具体的にはホウ素原子導入用として
は、Ｂ₂Ｈ₆、Ｂ₄Ｈ₁₀、Ｂ₅Ｈ₉、Ｂ₅Ｈ₁₁、Ｂ₆Ｈ₁₀、Ｂ₆
Ｈ₁₂、Ｂ₆Ｈ₁₂等の水素化ホウ素、ＢＦ₃、ＢＣｌ₃等の
ハロゲン化ホウ素等を挙げることができる。このほかに
ＡｌＣｌ₃、ＧａＣｌ₃、ＩｎＣｌ₃、ＴｌＣｌ₃等も挙げ
ることができる。特に、Ｂ₂Ｈ₆、ＢＦ₃が適している。

【０１１６】第Ｖ族原子導入用の出発物質として有効に
使用されるものは、具体的にはリン原子導入用として
は、ＰＨ₃、Ｐ₂Ｈ₄、等の水素化リン、ＰＨ₄Ｉ、Ｐ
Ｆ₃、ＰＦ₅、ＰＣｌ₃、ＰＣｌ₅、ＰＢｒ₃、ＰＢｒ₅、Ｐ
ｌ₃等のハロゲン化リンが挙げられる。このほかＡｓ
Ｈ₃、ＡｓＦ₃、ＡｓＣｌ₃、ＡｓＢｒ₃、ＡｓＦ₅、Ｓｂ
Ｈ₃、ＳｂＨ₃、ＳｂＦ₃、ＳｂＦ₅、ＳｂＣｌ₃、ＳｂＣ
ｌ₅、ＢｉＨ₃、ＢｉＣｌ₃、ＢｉＢｒ₃等も挙げることが
できる。特にＰＨ₃、ＰＦ₃が適している。

【０１１７】また、前記ガス化し得る化合物をＨ₂、Ｈ
ｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｘｅ、Ｋｒ等のガスで適宜希釈して堆
積室に導入しても良い。

【０１１８】光起電力素子に適したｐ型層またはｎ型層
の堆積方法は、ＲＦプラズマＣＶＤ法とマイクロ波プラ
ズマＣＶＤ法である。特にＲＦプラズマＣＶＤ法で堆積
する場合、容量結合型のＲＦプラズマＣＶＤ法が適して
いる。ＲＦプラズマＣＶＤ法でｐ型層またはｎ型層を堆
積する場合、堆積室内の基板温度は１００〜３５０℃、
内圧は０．１〜１０Ｔｏｒｒ、ＲＦパワーは０．０１〜
５．０Ｗ／ｃｍ²、堆積速度は０．１〜３０Å／ｓｅｃ
が最適条件として挙げられる。

【０１１９】特に微結晶半導体やａ−ＳｉＣ：Ｈ等の光
吸収の少ない層かバンドギャップの広い層を堆積する場
合は水素ガスで２〜１００倍に原料ガスを希釈し、ＲＦ
パワーは比較的高いパワーを導入するのが好ましい。Ｒ
Ｆの周波数としては、１ＭＨｚ〜１００ＭＨｚが適した
範囲であり、特に１３．５６ＭＨｚ近傍の周波数が最適
である。

【０１２０】ｐ型層またはｎ型層をマイクロ波プラズマ
ＣＶＤ法で堆積する場合、マイクロ波プラズマＣＶＤ装
置は、堆積室に誘電体窓（アルミナセラミックス等）を
介して導波管でマイクロ波を導入する方法が適してい
る。また、堆積室内の基板温度は１００〜４５０℃、内
圧は０．５〜３０ｍＴｏｒｒ、マイクロ波パワーは０．
０１〜１Ｗ／ｃｍ³、マイクロ波の周波数は０．５〜１
０ＧＨｚが好ましい範囲として挙げられる。

【０１２１】特に微結晶半導体やａ−ＳｉＣ：Ｈ等の光
吸収の少ないかバンドギャップの広い層を堆積する場合
は水素ガスで２〜１００倍原料ガスを希釈し、マイクロ
波パワーは比較的高いパワーを導入するのが好ましい。

【０１２２】（ｂ）ｉ型層光起電力素子において、ｉ型層は照射光に対してキャリ
アを発生輸送する重要な層である。ｉ型層としては、僅
かｐ型、僅かｎ型の層も使用できるものである。

【０１２３】ｉ型層の非結晶材料（ａ−と表示する）
（微結晶材料（μｃ−と表示する）も非結晶材料の範疇
に含める）としては、例えば、ａ−Ｓｉ：Ｈ、ａ−Ｓ
ｉ：ＨＸ（Ｘはハロゲン原子）、ａ−Ｓｉ：Ｃ：Ｈ、ａ
−ＳｉＣ：ＨＸ、ａ−ＳｉＧｅ：Ｈ、ａ−ＳｉＧｅＣ：
Ｈ、ａ−ＳｉＯ：Ｈ、ａ−ＳｉＮ：Ｈ、ａ−ＳｉＯＮ：
ＨＸ、ａ−ＳｉＯＣＮ：ＨＸ、μｃ−Ｓｉ：Ｈ、μｃ−
ＳｉＣ：Ｈ、μｃ−Ｓｉ：ＨＸ、μｃ−ＳｉＣ：ＨＸ、
μｃ−ＳｉＧｅ：Ｈ、μｃ−ＳｉＯ：Ｈ、μｃ−ＳｉＧ
ｅＣ：Ｈ、μｃ−ＳｉＮ：Ｈ、μｃ−ＳｉＯＮ：ＨＸ、
μｃ−ＳｉＯＣＮ：ＨＸ等の材料が挙げられる。

【０１２４】多結晶材料（ｐｏｌｙ−と表示する）とし
ては、例えばｐｏｌｙ−Ｓｉ：Ｈ、ｐｏｌｙ−Ｓｉ：Ｈ
Ｘ、ｐｏｌｙ−ＳｉＣ：Ｈ、ｐｏｌｙ−ＳｉＣ：ＨＸ、
ｐｏｌｙ−ＳｉＧｅ：Ｈ、ｐｏｌｙ−Ｓｉ、ｐｏｌｙ−
ＳｉＣ、ｐｏｌｙ−ＳｉＧｅ等の材料が挙げられる。

【０１２５】ｉ型層に含有される水素原子（Ｈ，Ｄ）ま
たはハロゲン原子は、ｉ型層の未結合手を補償する働き
をし、ｉ型層でのキャリアの移動度と寿命の積を向上さ
せるものである。また、ｐ型層／ｉ型層、ｎ型層／ｉ型
層の各界面の界面準位を補償する働きをし、光起電力素
子の光起電力、光電流そして光応答性を向上させる効果
のあるものである。ｉ型層に含有される水素原子または
／及びハロゲン原子は１〜４０ａｔ％が最適量として挙
げられる。

【０１２６】特に、ｐ型層／ｉ型層、ｉ型層／ｎ型層の
各界面側で水素原子または／及びハロゲン原子の含有量
が多く分布しているものが好ましい分布形態として挙げ
られ、該界面近傍での水素原子または／及びハロゲン原
子の含有量はバルク内の含有量の１．１〜２倍の範囲が
好ましい。

【０１２７】ｉ型層の層厚は、光起電力素子の構造（例
えばシングルセル、タンデムセル、トリプルセル）及び
ｉ型層のバンドギャップに大きく依存するが、０．０５
〜１．０μｍが最適な層厚として挙げられる。

【０１２８】光起電力素子のｉ型層の堆積に適した原料
ガスとしては、シリコン原子を含有したガス化し得る化
合物、ゲルマニウム原子を含有したガス化し得る化合
物、炭素原子を含有したガス化し得る化合物等、及び該
化合物の混合ガスを挙げることができる。

【０１２９】シリコン原子を含有するガス化し得る化合
物としては、例えばＳｉＨ₄、Ｓｉ₂Ｈ₆、ＳｉＦ₄、Ｓｉ
ＦＨ₃、ＳｉＦ₂Ｈ₂、ＳｉＦ₃Ｈ、Ｓｉ₃Ｈ₈、ＳｉＤ₄、
ＳｉＨＤ₃、ＳｉＨ₂Ｄ₂、ＳｉＨ₃Ｄ、ＳｉＦＤ₃、Ｓｉ
Ｆ₂Ｄ₂、ＳｉＤ₃Ｈ、ＳｉＤ₃Ｈ₃等が挙げられる。ゲル
マニウム原子を含有するガス化し得る化合物としては、
ＧｅＨ₄、ＧｅＤ₄、ＧｅＦ₄、ＧｅＦＨ₃、ＧｅＦ₂Ｈ₂、
ＧｅＦ₃Ｈ、ＧｅＨＤ₃、ＧｅＨ₂Ｄ₂、ＧｅＨ₃Ｄ、Ｇｅ₂
Ｈ₆、Ｇｅ₂Ｄ₆等が挙げられる。炭素原子を含有するガ
ス化し得る化合物としては、ＣＨ₄、ＣＤ₄、Ｃ_nＨ_2n+2
（ｎは整数）、Ｃ_nＨ_2n（ｎは整数）、Ｃ₂Ｈ₂、Ｃ
₆Ｈ₆、ＣＯ₂、ＣＯ等が挙げられる。

【０１３０】また、前記ガス化し得る化合物をＨ₂、Ｈ
ｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｘｅ、Ｋｒ等のガスで適宜希釈して堆
積室に導入しても良い。

【０１３１】光起電力素子に適したｉ型層の堆積方法
は、ＲＦプラズマＣＶＤ法とマイクロ波プラズマＣＶＤ
法である。特にＲＦプラズマＣＶＤ法で堆積する場合、
容量結合型のＲＦプラズマＣＶＤ法が適している。ＲＦ
プラズマＣＶＤ法でｉ型層を堆積する場合、堆積室内の
基板温度は１００〜３５０℃、内圧は０．１〜１０Ｔｏ
ｒｒ、ＲＦパワーは０．０１〜５．０Ｗ／ｃｍ²、堆積
速度は０．１〜３０Å／ｓｅｃが最適条件として挙げら
れる。

【０１３２】特に微結晶半導体やａ−ＳｉＣ：Ｈ等の光
吸収の少ない層かバンドギャップの広い層を堆積する場
合は水素ガスで２〜１００倍に原料ガスを希釈し、ＲＦ
パワーは比較的高いパワーを導入するのが好ましい。Ｒ
Ｆの周波数としては、１ＭＨｚ〜１００ＭＨｚが適した
範囲であり、特に１３．５６ＭＨｚ近傍の周波数が最適
である。

【０１３３】ｉ型層をマイクロ波プラズマＣＶＤ法で堆
積する場合、マイクロ波プラズマＣＶＤ装置は、堆積室
に誘電体窓（アルミナセラミックス等）を介して導波管
でマイクロ波を導入する方法が適している。また、堆積
室内の基板温度は１００〜４５０℃、内圧は０．５〜３
０ｍＴｏｒｒ、マイクロ波パワーは０．０１〜１Ｗ／ｃ
ｍ³、マイクロ波の周波数は０．５〜１０ＧＨｚが好ま
しい範囲として挙げられる。

【０１３４】特に微結晶半導体やａ−ＳｉＣ：Ｈ等の光
吸収の少ないかバンドギャップの広い層を堆積する場合
は水素ガスで２〜１００倍原料ガスを希釈し、マイクロ
波パワーは比較的高いパワーを導入するのが好ましい。

【０１３５】以上、光起電力素子を製造する場合を例に
挙げて本実施形態を説明したが、本発明は光起電力素子
の製造に限定されるものではなく、ウェブを送り出しな
がらその表面に所定の処理を行っていくものであればど
のような素子の製造にも適用することができる。

【０１３６】

【発明の効果】以上説明したように本発明の物品の搬送
装置及び搬送方法によれば、移動可能な本体、及び物品
を支持するための支持手段、といった極めて簡単な構成
で搬送装置を構成し搬送時や待機時の制限を少なくしつ
つも、重量の重い物品でも安定して搬送することができ
る。また、支持手段を軸部材とし、この軸部材に、物品
の抜け防止のための抜け止めピンを設けたり、物品を保
持する保持機構を設けることによって、搬送中の物品の
落下を防止することができる。また、床からあまり高く
ない位置で物品を支持あるいは搬送できるので、作業場
の空間を有効に利用できる。

【０１３７】さらに、軸部材を本体に対して着脱可能に
設けたり、軸部材を回転自在に支持することで、物品が
円筒部材に長尺状物を巻き付けたものである場合、搬送
装置を長尺状物の送り出し機や巻き取り機としても利用
することができる。その結果、長尺状物を送り出したり
巻き取ったりする場合において、長尺状物を移し替える
手間を省くことができる。加えて、支持手段を上下方向
に移動可能に設け、この支持手段を上下動させる軸駆動
手段を有する構成とすることで、物品の支持を容易に行
うことができる。

【０１３８】本発明の長尺状物の処理装置及び処理方法
は、長尺状物を送り出す手段や巻き取る手段として本発
明の搬送装置を用いることで、装置全体の構成を簡略化
しつつ、長尺状物への処理を効率的に行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態である、電線ドラム搬
送用の台車の斜視図である。

【図２】図１に示した台車の側面図（ａ）、背面図
（ｂ）及び平面図（ｃ）である。

【図３】図１に示した台車による電線ドラムの搬送手順
を説明する図である。

【図４】図１に示した台車が電線繰り出し位置に固定さ
れた状態を示す斜視図である。

【図５】図１に示した台車の変形例の側面図（ａ）、背
面図（ｂ）及び平面図（ｃ）である。

【図６】本発明の第２の実施形態である、ロール材搬送
用の台車の斜視図である。

【図７】図６に示した台車の側面図（ａ）及び背面図
（ｂ）である。

【図８】図６及び図７に示した台車の固定部材の斜視図
である。

【図９】図６に示した台車によるロール材の搬送手順を
説明する図である。

【図１０】図６に示した台車を固定した状態を示す斜視
図である。

【図１１】図６に示した台車の軸に駆動力を与えるため
に台車に駆動装置が結合された状態を示す図である。

【図１２】軸と本体とを分離可能とした台車の一例を示
す図である。

【図１３】ボビンに巻かれたウェブの洗浄装置の概略構
成図である。

【図１４】ボビンに巻かれたウェブに光反射層を形成す
る光反射層形成装置の概略構成図である。

【図１５】ロール・ツー・ロール法を用いた半導体光起
電力層形成装置の概略構成図である。

【図１６】図１５に示した半導体光起電力形成装置の堆
積室を上から見た図である。

【図１７】タンデム型の光起電力素子の断面構成図であ
る。

【図１８】円筒状のボビンに巻き付けられた物品の一例
である電線ドラムの斜視図である。

【図１９】電線ドラムを搬送するフォークリフトの斜視
図である。

【図２０】従来の電線ドラム繰り出し機の一例の斜視図
である。

【図２１】従来の電線ドラム繰り出し機の他の例の斜視
図である。

【図２２】電線ドラムから繰り出された電線の測長及び
巻き取りを説明する図である。

【図２３】円筒状のボビンに巻き付けられた物品の他の
例であるロール材の斜視図である。

【図２４】図２３に示したロール材をチェーンブロック
で持ち上げている状態を示す斜視図である。

【図２５】図２３に示したロール材を搬送する従来の台
車の斜視図である。

【符号の説明】

１，２１，２１’，２１”，２１''' 台車２，２２本体３，２３軸４抜け止めピン５，２５テーブル６ガイド７，２７支持部８，２８油圧ジャッキ９金具１０，３０ハンドル１１，３１車輪支持枠１１ａ，３１ａ穴１２，３２車輪１３ロック機構１５，３５カバー１６，３６ピン１８支持部材１８ａ溝付フック１８ｂ平面部４１移動部材４２固定部材４３円板４４固定用ハンドル５１駆動装置５２フランジ５３位置決めピン５４駆動力伝達ピン５５駆動軸６０洗浄装置６３ウェブ洗浄槽６４純水接触槽６５エアノズル６６超音波発振器６７純水ノズル７０光反射層形成装置７１，８１送り出し室７２金属層堆積室７３，７６ヒータ７４，７７ターゲット７５反射増加層堆積室７８，８３巻き取り室７９排気口８０半導体光起電力層形成装置８２Ａ〜８２Ｉ堆積室８４分離通路８５ハロゲンランプヒータ８６ＲＦ電極８７マイクロ波アプリケータ８８バイアス電極８９ターゲット電極９０掃気ガス導入口９１原料ガス導入口９２排気口１２０電線ドラム１２１枠１２２電線１３０ロール材１３１ボビン１３２ウェブ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者勝山均東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内Ｆターム(参考） 3B116 AA08 AB13 BB02 BB24 BB33 BB84 CC03 3D050 AA11 BB06 BB23 DD01 DD03 EE08 EE15 HH04 3F064 AA06 EA04 EB08 5F051 BA14 BA15 CA22 CA24 DA17 GA02 GA05 GA14

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】中心に貫通穴を有する物品を搬送する搬
送装置であって、車輪によって移動可能な本体と、該本体に設けられ前記
本体の移動により前記物品の貫通穴に挿入されることで
前記物品を支持する支持手段とを有することを特徴とす
る搬送装置。
【請求項２】前記支持手段は一端部が支持されて水平
方向に延びた軸部材である請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】前記軸部材は前記貫通穴を貫通する長さ
を有し、前記軸部材の他端部には、前記軸部材からの前
記物品の抜けを防止する抜け止めピンが設けられている
請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】前記軸部材には、前記物品の貫通穴の内
壁面を押圧して前記物品を前記軸部材に固定する保持機
構が設けられている請求項２に記載の搬送装置。
【請求項５】前記軸部材は周壁に複数の穴が形成され
た筒状の部材であり、前記保持機構は、前記穴を介して
前記軸部材の内部から外部へ突出可能に設けられた固定
部材を有する請求項４に記載の搬送装置。
【請求項６】前記保持機構は、前記軸部材の内部に前
記軸部材の軸線方向に移動可能に設けられて前記固定部
材を支持する移動部材を有し、前記移動部材は、前記固
定部材の支持面が、前記移動部材の移動によって前記固
定部材を前記軸部材の径方向に移動させるテーパ面とな
っている請求項５に記載の搬送装置。
【請求項７】前記軸部材は前記本体に対して着脱可能
に設けられている請求項２ないし６のいずれか１項に記
載の搬送装置。
【請求項８】前記軸部材は回転自在に支持されている
請求項２ないし７のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項９】前記軸部材には、外部駆動源から前記軸
部材に回転駆動力を伝達させるための駆動伝達手段が設
けられている請求項７または８に記載の搬送装置。
【請求項１０】前記支持手段は前記本体に対して上下
方向に移動可能に設けられ、前記支持手段を上下動させ
る軸駆動手段を有する請求項１ないし９のいずれか１項
に記載の搬送装置。
【請求項１１】前記軸駆動手段は、油圧シリンダであ
る請求項１０に記載の搬送装置。
【請求項１２】中心に貫通穴を有する物品の搬送方法
であって、車輪によって移動可能な本体と、該本体に設けられ前記
本体の移動により前記物品の貫通穴に挿入されることで
前記物品を支持する支持手段とを有する搬送装置を用
い、前記本体を前記物品に向けて移動させ前記支持手段を前
記貫通穴に挿入して前記物品を支持し、前記車輪により
前記本体を所定の位置まで移動させることを特徴とする
搬送方法。
【請求項１３】前記支持手段を前記貫通穴に挿入し、
前記物品を前記支持手段に固定した後、前記本体を前記
所定の位置まで移動させる請求項１２に記載の搬送方
法。
【請求項１４】前記支持手段は前記本体に対して上下
方向に移動可能に設けられており、前記支持手段を前記
貫通穴に挿入し、前記支持手段を上昇させた後、前記本
体を前記所定の位置まで移動させる請求項１２または１
３に記載の搬送方法。
【請求項１５】円筒部材に巻き付けられた長尺状物を
送り出す送り出し手段と、該送り出し手段から送り出さ
れた前記長尺状物の表面に所定の処理を行う処理手段
と、該処理手段により処理された前記長尺状物を前記円
筒部材とは別の円筒部材に巻き取る巻き取り手段とを有
する処理装置において、前記送り出し手段及び前記巻き取り手段の少なくとも一
方は、車輪によって移動可能な本体と、該本体に設けら
れ前記本体の移動により前記円筒部材に挿入されること
で前記円筒部材を支持する軸部材とを有する搬送装置を
備えていることを特徴とする処理装置。
【請求項１６】前記搬送装置の設置位置を固定するた
めの固定手段を有する請求項１５に記載の処理装置。
【請求項１７】前記軸部材は前記本体に対して回転自
在に設けられ、前記軸部材には、前記物品の貫通穴の内
壁面を押圧して前記物品を前記軸部材に固定する保持機
構が設けられている請求項１５または１６に記載の処理
装置。
【請求項１８】前記軸部材に回転駆動力を与える外部
駆動源を有する請求項１７に記載の処理装置。
【請求項１９】前記軸部材は前記本体に対して着脱可
能に設けられ、前記本体から取り外された軸部材を回転
可能に支持する回転支持手段を有する請求項１５に記載
の処理装置。
【請求項２０】前記回転支持手段は、前記軸部材に回
転駆動力を与える外部駆動源と連結されている請求項１
９に記載の処理装置。
【請求項２１】前記長尺状物はウェブであり、前記処
理手段は、前記ウェブの表面を洗浄する洗浄装置である
請求項１５ないし２０のいずれか１項に記載の処理装
置。
【請求項２２】前記長尺状物はウェブであり、前記処
理手段は、前記ウェブの表面に薄膜を形成する成膜装置
である請求項１５ないし２０のいずれか１項に記載の処
理装置。
【請求項２３】円筒部材に巻き付けられた長尺状物を
送り出しながら、該長尺状物の表面に所定の処理を施
し、前記所定の処理が施された前記長尺状物を前記円筒
部材とは別の円筒部材に巻き取っていく処理方法におい
て、前記長尺状物を送り出す位置及び巻き取る位置の少なく
とも一方に、車輪によって移動可能な本体と、該本体に
設けられ前記本体の移動により前記円筒部材に挿入され
ることで前記円筒部材を支持する軸部材とを有する搬送
装置を設置し、前記長尺状物の送り出し及び巻き取りの
少なくとも一方を前記搬送装置によって行うことを特徴
とする処理方法。
【請求項２４】前記搬送装置として前記軸部材が前記
本体に着脱可能に設けられた搬送装置を用い、前記搬送装置を設置した後、前記軸部材を前記軸部材に
回転駆動力を与える外部駆動源と連結し、前記本体を前
記軸部材から取り外して前記外部駆動源により前記軸部
材に回転駆動力を与える請求項２３に記載の処理方法。
【請求項２５】ウェブを送り出しながら前記ウェブの
表面を洗浄し、洗浄の終了した前記ウェブを巻き取る洗
浄方法において、請求項２１に記載の処理装置を用いて前記ウェブの送り
出し、洗浄及び巻き取りを行うことを特徴とする洗浄方
法。
【請求項２６】ウェブを送り出しながら前記ウェブの
表面に薄膜を形成し、薄膜の形成が終了した前記ウェブ
を巻き取る成膜方法において、請求項２２に記載の処理装置を用いて前記ウェブの送り
出し、薄膜の形成及び巻き取りを行うことを特徴とする
成膜方法。
【請求項２７】ウェブ状の導電性基板を送り出しなが
ら前記導電性基板の表面に機能性膜を形成してなる光起
電力素子の製造方法において、請求項２２に記載の処理装置を用いて前記導電性基板の
表面に前記機能成膜を形成することを特徴とする光起電
力素子の製造方法。
【請求項２８】穴を有する物品を搬送する搬送装置で
あって、本体と、一端のみが前記本体に支持される軸部材と、前記物品の前記穴に前記軸部材を挿入して係合して前記
物品を支持する手段とを有することを特徴とする搬送装
置。
【請求項２９】前記本体に支持される前記軸部材は回
転可能である請求項２８に記載の搬送装置。
【請求項３０】前記本体に支持される前記軸部材は前
記本体から脱着可能である請求項２８に記載の搬送装
置。
【請求項３１】前記本体に支持される前記軸部材を上
下に移動させる軸駆動手段を有する請求項２８に記載の
搬送装置。
【請求項３２】前記搬送装置は床面を自在に移動する
移動手段を有する請求項２８に記載の搬送装置。
【請求項３３】穴を有する物品を搬送する搬送方法で
あって、本体と、一端のみが前記本体に支持される軸部材と、前記物品の前記穴に前記軸部材を挿入して係合して前記
物品を支持する手段とを有する搬送装置を用い、前記軸部材に係合された前記物品を搬送することを特徴
とする搬送方法。
【請求項３４】前記本体に支持される前記軸部材は回
転可能である請求項３３に記載の搬送方法。
【請求項３５】前記本体に支持される前記軸部材は前
記本体から脱着可能である請求項３３に記載の搬送方
法。
【請求項３６】前記本体に支持される前記軸部材は上
下方向に移動可能である請求項３３に記載の搬送方法。
【請求項３７】前記搬送装置は床面を自在に移動可能
である請求項３３に記載の搬送方法。
【請求項３８】円筒部材に巻き付けられた帯状部材を
送り出す送り出し工程と、送り出された前記帯状部材の
表面に所定の処理を施す処理工程と、前記所定の処理が
施された前記帯状部材を前記円筒部材とは別の円筒部材
に巻き取る巻き取り工程とを有する処理方法において、本体と、一端のみが前記本体に支持される軸部材と、前記物品の前記穴に前記軸部材を挿入して係合して前記
物品を支持する手段と、を有する搬送装置の前記軸部材を、前記送り出し工程あるいは前記巻き取り工程の少なくと
もいずれか一方で使用することを特徴とする処理方法。
【請求項３９】前記処理工程は洗浄工程である請求項
３８に記載の処理方法。
【請求項４０】前記処理工程は真空処理工程である請
求項３８に記載の処理方法。
【請求項４１】前記処理工程は成膜工程である請求項
３８に記載の処理方法。
【請求項４２】円筒部材に巻き付けられた帯状部材を
送り出す送り出し手段と、該送り出し手段から送り出さ
れた前記帯状部材の表面に所定の処理を行う処理手段
と、該処理手段により処理された前記帯状部材を前記円
筒部材とは別の円筒部材に巻き取る巻き取り手段とを有
する処理装置において、本体と、一端のみが前記本体に支持される軸部材と、前記物品の前記穴に前記軸部材を挿入して係合して前記
物品を支持する手段と、を有する搬送装置の前記軸部材を、前記送り出し手段あるいは前記巻き取り手段の少なくと
もいずれか一方に有することを特徴とする処理装置。
【請求項４３】前記処理手段は洗浄手段である請求項
４２に記載の処理装置。
【請求項４４】前記処理手段は真空処理手段である請
求項４２に記載の書理装置。
【請求項４５】前記処理手段は成膜手段である請求項
４２に記載の処理装置。