JP2000097377A - 管継手 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 比較的低い回転トルクが作用しても、小径化
されたパイプがガスケットに対し摺動することがない管
継手を提供すること。 【解決手段】 第１実施の形態の管継手１０は、締付部
材１６に継手本体１５を螺合させることによって、継手
本体１５の内部を無転状態で移動するパイプ１１の流路
１２に対し締付部材１６の流路１７を連結させるもので
ある。そして、流路１２、１７の連結面からの漏れを防
止するために、流路１２、１７の連結面において、ガス
ケット１９を挟持している。このとき、流路１２、１７
の連結面の外周側においても、パイプ１１に握着された
インナーフェルール１３と締付部材１７で、ガスケット
１９を挟持している。従って、パイプ１１に回転トルク
が作用した場合には、流路１２、１７の連結面におい
て、パイプ１１とガスケット１９の間に生じる摩擦力
で、さらに、流路１２、１７の連結面の外周側におい
て、インナーフェルール１３を介してパイプ１１とガス
ケット１９の間に生じる摩擦力で、パイプ１１の回転を
防止することとなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体用ガスの配
管ラインに使用される管継手に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体製造装置における半導体用
ガスの配管ラインでは、例えば、図１０に示すような管
継手１００を使用していた。ここでは、図１０の管継手
１００について説明する。パイプ１０２には、スラスト
軸受であるアウターフェルール１０４が嵌通されてい
る。さらに、パイプ１０２には、楔部材であるインナー
フェルール１０３が装着されている。かかるインナーフ
ェルール１０３は、パイプ１０２の外周に形成された溝
に係合するとともに、パイプ１０２とアウターフェルー
ル１０４とをはめあわせている。

【０００３】従って、締付部材１０６に継手本体１０５
を螺合させて、継手本体１０５の内側がアウターフェル
ール１０４を押圧しても、パイプ１０２は継手本体１０
５の内部を無転状態で移動することができる。また、こ
のとき、インナーフェルール１０３がくさび形状である
ことから、パイプ１０２とアウターフェルール１０４と
のはめあいを確実にすることができる。

【０００４】そして、締付部材１０６に対して継手本体
１０５が締め付けられると、継手本体１０５の内部を無
転状態で移動するパイプ１０２が、ホルダー１０８を介
して締付部材１０６に取り付けられたガスケット１０９
を、押しつぶした状態にする。

【０００５】これにより、図１０の管継手１００は、パ
イプ１０１の流路１０２に対し締付部材１０６の流路１
０７を連結させることができる。また、流路１０２、１
０７の連結面においては、ガスケット１０９がパイプ１
０１と締付部材１０６によって挟持されているので、流
路１０２、１０７の連結面からの漏れを防止することが
できる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１０
の管継手１００においては、パイプ１０１とガスケット
１０９の摩擦力のみでパイプ１０１の回転を防止してい
るので、半導体製造装置のコンパクト化の要請に伴っ
て、管継手１００の小型化やパイプ１０１の小径化がさ
らに進むようになると（例えば、パイプ１０１の径を、
６．３５ｍｍから３．１７５ｍｍに小径化する要請があ
る）、比較的低い回転トルクがパイプ１０１に作用する
だけで、パイプ１０１が回転するおそれがあり、そのた
め、パイプ１０１がガスケット１０９に対し摺動し、流
路１０２、１０７の連結面から漏れが発生するおそれが
あった。

【０００７】そこで、本発明は、上述した問題点を解決
するためになされたものであり、比較的低い回転トルク
が作用しても、小径化されたパイプがガスケットに対し
摺動することがない管継手を提供することを目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に成された請求項１に係る管継手は、締付部材に継手本
体を螺合させることによって、前記継手本体の内部を無
転状態で移動するパイプの流路に対し前記締付部材の流
路を連結させるとともに、前記流路の連結面でガスケッ
トを挟持することによって、前記流路の連結面からの漏
れを防止する管継手であって、前記流路の連結面の外周
側で前記ガスケットを前記パイプと前記締付部材が挟持
することを特徴とする。

【０００９】また、請求項２に係る管継手は、請求項１
に記載する管継手であって、前記パイプの流路及び前記
締付部材の流路が他の流路と他の管継手により連結され
ることを特徴とする。また、請求項３に係る管継手は、
請求項２に記載する管継手であって、前記継手本体に内
在するスラスト軸受と前記パイプとを楔部材によりはめ
あわせることによって、前記継手本体の内部を前記パイ
プが無転状態で移動するとともに、前記楔部材によっ
て、前記流路の連結面の外周側で前記ガスケットを挟持
することを特徴とする。

【００１０】また、請求項４に係る管継手は、請求項１
に記載する管継手であって、前記パイプの流路及び前記
締付部材の流路が他の流路と溶接によって連結されるこ
とを特徴とする。また、請求項５に係る管継手は、請求
項４に記載する管継手であって、前記流路の連結面の外
周側で前記ガスケットを挟持する面を有する挟持部材
が、前記パイプと一体にあることを特徴とする。

【００１１】また、請求項６に係る管継手は、請求項１
乃至請求項５のいずれか一つに記載する管継手であっ
て、前記パイプ又は前記締付部材が接続ジョイントであ
ることを特徴とする。また、請求項７に係る管継手は、
請求項１乃至請求項６のいずれか一つに記載する管継手
であって、前記パイプ又は前記締付部材が流体機器の接
続ポートであることを特徴とする。

【００１２】また、請求項８に係る管継手は、締付部材
と継手本体を螺合させることによって、前記継手本体の
内部を無転状態で移動する２本のパイプの流路を連結さ
せるとともに、前記流路の連結面でガスケットを挟持す
ることによって、前記流路の連結面からの漏れを防止す
る管継手であって、前記流路の連結面の外周側で前記ガ
スケットを前記パイプ同士が挟持することを特徴とす
る。

【００１３】また、請求項９に係る管継手は、請求項８
に記載する管継手であって、前記パイプの流路が他の流
路と他の管継手によって連結されることを特徴とする。
また、請求項１０に係る管継手は、請求項９に記載する
管継手であって、前記継手本体に内在するスラスト軸受
と前記パイプとを楔部材によりはめあわせることによっ
て、前記継手本体の内部を前記パイプが無転状態で移動
するとともに、前記楔部材によって、前記流路の連結面
の外周側で前記ガスケットを挟持することを特徴とす
る。

【００１４】また、請求項１１に係る管継手は、請求項
８に記載する管継手であって、前記パイプの流路が他の
流路と溶接によって連結されることを特徴とする。ま
た、請求項１２に係る管継手は、請求項１１に記載する
管継手であって、前記流路の連結面の外周側で前記ガス
ケットを挟持する面を有する挟持部材が、前記パイプと
一体にあることを特徴とする。

【００１５】また、請求項１３に係る管継手は、請求項
８乃至請求項１２のいずれか一つに記載する管継手であ
って、前記パイプのいずれか一方が接続ジョイントであ
ることを特徴とする。また、請求項１４に係る管継手
は、請求項８乃至請求項１２のいずれか一つに記載する
管継手であって、前記パイプのいずれか一方が流体機器
の接続ポートであることを特徴とする。

【００１６】また、請求項１５に係る管継手は、請求項
１乃至請求項１４のいずれか一つに記載する管継手であ
って、前記流路の連結面でガスケットを挟持した後に、
前記流路の連結面の外周側で前記ガスケットを挟持する
ことを特徴とする。

【００１７】また、請求項１６に係る管継手は、請求項
１乃至請求項１５のいずれか一つに記載する管継手であ
って、前記流路の連結面の外周側で前記ガスケットを挟
持する表面が平面であることを特徴とする。

【００１８】また、請求項１７に係る管継手は、請求項
１乃至請求項１５のいずれか一つに記載する管継手であ
って、前記流路の連結面の外周側で前記ガスケットを挟
持する表面が凹凸面であることを特徴とする。また、請
求項１８に係る管継手は、請求項１７に記載する管継手
であって、前記凹凸面をスリットで形成したことを特徴
とする。また、請求項１９に係る管継手は、請求項１７
に記載する管継手であって、前記凹凸面を突起物で形成
したことを特徴とする。

【００１９】また、請求項２０に係る管継手は、請求項
１乃至請求項１９のいずれか一つに記載する管継手であ
って、半導体用ガスの配管ラインに使用されることを特
徴とする。

【００２０】このような特定事項を有する本発明の管継
手では、締付部材に継手本体を螺合させることによっ
て、継手本体の内部を無転状態で移動するパイプの流路
に対し締付部材の流路を連結させるものである。あるい
は、締付部材と継手本体を螺合させることによって、継
手本体の内部を無転状態で移動する２本のパイプの流路
を連結させるものである。これらにおいては、流路の連
結面からの漏れを防止するために、流路の連結面におい
て、ガスケットを挟持している。

【００２１】このとき、流路の連結面の外周側において
も、パイプと締付部材で、あるいは、２本のパイプ同士
で、ガスケットを挟持している。従って、パイプに回転
トルクが作用した場合には、流路の連結面において、さ
らに、流路の連結面の外周側において、パイプとガスケ
ットの間に生じる摩擦力で、パイプの回転を防止するこ
ととなる。

【００２２】一方、従来技術のものにおいては、流路の
連結面において、パイプとガスケットの間に生じる摩擦
力のみで、パイプの回転を防止している。よって、本発
明の管継手においては、従来技術のものと比べて、パイ
プの回転を防止できる限界値（回転させずにパイプに作
用させることができる回転トルクの最大値）を、流路の
連結面の外周側においてパイプとガスケットの間に生じ
る摩擦力に、パイプの回転中心までの距離を乗じること
によって得られる値だけ、増加させることができる。

【００２３】従って、パイプの回転を防止できる限界値
（回転させずにパイプに作用させることができる回転ト
ルクの最大値）の増加分は、流路の連結面の外周側にお
いてパイプとガスケットの間に生じる摩擦力の大きさに
も依存することになるので、流路の連結面の外周側でガ
スケットを挟持する表面を、平面にして接触面積を増加
させたり、凹凸面にしてガスケットに対し係り合いを生
じさせたりすることによって、パイプの回転を防止でき
る限界値（回転させずにパイプに作用させることができ
る回転トルクの最大値）の増加分を大きくさせることが
できる。

【００２４】すなわち、本発明の管継手では、流路の連
結面において、さらに、流路の連結面の外周側におい
て、パイプとガスケットの間に生じる摩擦力で、パイプ
の回転を防止しており、従来技術のものと比べた場合、
流路の連結面の外周側においてパイプとガスケットの間
に生じる摩擦力に、パイプの回転中心までの距離を乗じ
ることによって得られる値だけ、パイプの回転を防止で
きる限界値（回転させずにパイプに作用させることがで
きる回転トルクの最大値）を増加させることができるの
で、比較的低い回転トルク（従来技術において小型化さ
れたパイプが回転するおそれがある値のもの）が作用し
ても、小径化されたパイプがガスケットに対し摺動する
ことはない。

【００２５】また、流路の連結面でガスケットを挟持し
た後に、さらに、流路の連結面の外周側でガスケットを
挟持するようにすれば、締付部材と継手本体を締め付け
た際において、締付トルクの増加によって、流路の連結
面でガスケットを挟持した時点、さらに、流路の連結面
の外周側でガスケットを挟持した時点を判断することが
できるから、作業者に締め付け過ぎを知らせることがで
きる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照にして説明する。図３は、第１の実施の形態の管
継手１０の分解組立図である。第１の実施の形態の管継
手１０は、パイプ１１の流路１２（図１、図２参照）と
締付部材１６の流路１７（図１、図２参照）を連結する
ものであって、楔部材であるインナーフェルール１３、
スラスト軸受であるアウターフェルール１４、継手本体
１５、締付部材１６、ホルダー１８、金属製のガスケッ
ト１９などからなる。

【００２７】また、図２は、第１の実施の形態の管継手
１０の断面図である。第１の実施の形態の管継手１０で
は、パイプ１１に対し、アウターフェルール１４が嵌通
されている。さらに、パイプ１１には、インナーフェル
ール１３が装着されている。かかるインナーフェルール
１３は、パイプ１１の外周に形成された溝に係合すると
ともに、パイプ１１とアウターフェルール１４とをはめ
あわせている。

【００２８】従って、締付部材１６に継手本体１５を螺
合させて、継手本体１５の内側がアウターフェルール１
４を押圧しても、パイプ１１は継手本体１５の内部を無
転状態で移動することができる。また、このとき、イン
ナーフェルール１３がくさび形状であることから、パイ
プ１１とアウターフェルール１４とのはめあいを確実に
することができる。

【００２９】そして、締付部材１６に継手本体１５を螺
合させ続けると、図２に示すように、継手本体１５の内
部をパイプ１１が無転状態で移動し、ホルダー１８を介
してパイプ１１に取り付けられたガスケット１９が、締
付部材１６と当接する。尚、図３においては、ガスケッ
ト１９は、ホルダー１８を介して、締付部材１６に取り
付けられるが、どちらに取り付けてもかまわない。

【００３０】さらに、締付部材１６に継手本体１５を螺
合させ続けると、図１に示すように、パイプ１１と締付
部材１６で、ガスケット１９を押しつぶした状態にする
ことができるので（図１参照）、パイプ１１の流路１２
に対し締付部材１６の流路１７を連結させることができ
る。このとき、流路１２、１７の連結面においては、ガ
スケット１９がパイプ１１と締付部材１６によって挟持
されているので、流路１２、１７の連結面からの漏れを
防止することができる。また、さらに、締付部材１６に
継手本体１５を螺合させ続けると、流路１２、１７の連
結面の外周側で、ガスケット１９をインナーフェルール
１３と締付部材１６によって挟持する。

【００３１】インナーフェルール１３は、上述したよう
に、パイプ１１とアウターフェルール１４とのはめあい
を確実にするものであり、締付部材１６に継手本体１５
を締め付けた際には、パイプ１１を握りしめるように支
持することから、パイプ１１に固定化された状態にあ
る。従って、パイプ１１に大きな回転トルクが作用して
も、インナーフェルール１３は、パイプ１１に対して摺
動することはない。

【００３２】また、インナーフェルール１３の断面図で
ある図４や、インナーフェルール１３の正面図（図３の
矢視Ｐから見たもの）である図５が示すように、流路１
２、１７の連結面の外周側でガスケット１９を締付部材
１６とともに挟持するインナーフェルール１３の表面
は、スリット２１によって、凹凸面２２になっている。

【００３３】以上詳細に説明したように、第１実施の形
態の管継手１０では、締付部材１６に継手本体１５を螺
合させることによって、継手本体１５の内部を無転状態
で移動するパイプ１１の流路１２に対し締付部材１６の
流路１７を連結させるものである。そして、流路１２、
１７の連結面からの漏れを防止するために、流路１２、
１７の連結面において、ガスケット１９を挟持してい
る。

【００３４】このとき、流路１２、１７の連結面の外周
側においても、パイプ１１に握着されたインナーフェル
ール１３と締付部材１７で、ガスケット１９を挟持して
いる。従って、パイプ１１に回転トルクが作用した場合
には、流路１２、１７の連結面において、パイプ１１と
ガスケット１９の間に生じる摩擦力で、さらに、流路１
２、１７の連結面の外周側において、インナーフェルー
ル１３を介してパイプ１１とガスケット１９の間に生じ
る摩擦力で、パイプ１１の回転を防止することとなる。

【００３５】一方、従来技術の管継手１００（図１０参
照）においては、流路１０２、１０７の連結面におい
て、パイプ１０１とガスケット１０９の間に生じる摩擦
力のみで、パイプ１０１の回転を防止している。よっ
て、第１実施の形態の管継手１０においては、従来技術
の管継手１００と比べて、パイプ１１の回転を防止でき
る限界値（回転させずにパイプ１１に作用させることが
できる回転トルクの最大値）を、流路１２、１７の連結
面の外周側においてインナーフェルール１３を介してパ
イプ１１とガスケット１９の間に生じる摩擦力に、パイ
プ１１の回転中心までの距離を乗じることによって得ら
れる値だけ、増加させることができる。

【００３６】従って、パイプ１１の回転を防止できる限
界値（回転させずにパイプ１１に作用させることができ
る回転トルクの最大値）の増加分は、流路１２、１７の
連結面の外周側においてインナーフェルール１３を介し
てパイプ１１とガスケット１９の間に生じる摩擦力の大
きさにも依存することになるので、流路１２、１７の連
結面の外周側でガスケット１９を挟持するインナーフェ
ルール１３の表面を、凹凸面２２にしてガスケット１９
に対し係り合いを生じさせることによって、パイプ１１
の回転を防止できる限界値（回転させずにパイプ１１に
作用させることができる回転トルクの最大値）の増加分
を大きくさせている。

【００３７】すなわち、第１実施の形態の管継手１０で
は、流路１２、１７の連結面において、さらに、流路１
２、１７の連結面の外周側において、パイプ１１とガス
ケット１９の間に生じる摩擦力で、パイプ１１の回転を
防止しており、従来技術のものと比べた場合、流路１
２、１７の連結面の外周側においてパイプ１１とガスケ
ット１９の間に生じる摩擦力に、パイプ１１の回転中心
までの距離を乗じることによって得られる値だけ、パイ
プ１１の回転を防止できる限界値（回転させずにパイプ
１１に作用させることができる回転トルクの最大値）を
増加させることができるので、比較的低い回転トルク
（従来技術において小型化されたパイプ１０１が回転す
るおそれがある値のもの）が作用しても、小径化された
パイプ１１がガスケット１９に対し摺動することはな
い。

【００３８】また、流路１２、１７の連結面でガスケッ
ト１９を挟持した後に、さらに、流路１２、１７の連結
面の外周側でガスケット１９を挟持するようにしている
ので、締付部材１６と継手本体１５を締め付けた際にお
いて、締付トルクの増加によって、流路１２、１７の連
結面でガスケット１９を挟持した時点、さらに、流路１
２、１７の連結面の外周側でガスケット１９を挟持した
時点を判断することができるから、作業者に締め付け過
ぎを知らせることができる。

【００３９】次に、第２の実施の形態の管継手について
説明する。図６は、第２の実施の形態の管継手３０の断
面図である。第２の実施の形態の管継手３０は、パイプ
３１の流路３２とパイプ３６の流路３７を連結するもの
であって、楔部材であるインナーフェルール３３、３
９、スラスト軸受であるアウターフェルール３４、３
８、継手本体３５、締付部材４２、ホルダー４０、金属
製のガスケット４１などからなる。

【００４０】また、第２の実施の形態の管継手３０で
は、パイプ３１に対し、アウターフェルール３４が嵌通
されている。さらに、パイプ３１には、インナーフェル
ール３３が装着されている。かかるインナーフェルール
３３は、パイプ３１の外周に形成された溝に係合すると
ともに、パイプ３１とアウターフェルール３４とをはめ
あわせている。

【００４１】従って、締付部材４２と継手本体３５を螺
合させて、継手本体３５の内側がアウターフェルール３
４を押圧しても、パイプ３１は継手本体３５の内部を無
転状態で移動することができる。また、このとき、イン
ナーフェルール３３がくさび形状であることから、パイ
プ３１とアウターフェルール３４とのはめあいを確実に
することができる。

【００４２】また、同様にして、パイプ３６に対し、ア
ウターフェルール３８が嵌通されている。さらに、パイ
プ３６には、インナーフェルール３９が装着されてい
る。かかるインナーフェルール３９は、パイプ３６の外
周に形成された溝に係合するとともに、パイプ３６とア
ウターフェルール３８とをはめあわせている。

【００４３】従って、締付部材４２と継手本体３５を螺
合させて、締付部材４２の内側がアウターフェルール３
８を押圧しても、パイプ３６は継手本体３５の内部を無
転状態で移動することができる。また、このとき、イン
ナーフェルール３８がくさび形状であることから、パイ
プ３６とアウターフェルール３８とのはめあいを確実に
することができる。

【００４４】そして、第２の実施の形態の管継手３０で
は、締付部材４２と継手本体３５を螺合させ続けると、
図６に示すように、継手本体３５の内部をパイプ３１、
３６が無転状態で移動し、ホルダー１８を介してパイプ
３１に取り付けられたガスケット４１が、パイプ３６と
当接する。

【００４５】さらに、締付部材４２と継手本体３５を螺
合させ続けると、図示はしないが、２本のパイプ３１、
３６で、ガスケット４１を押しつぶした状態にすること
ができるので、パイプ３１の流路３２に対しパイプ３６
の流路３７を連結させることができる。このとき、流路
３２、３７の連結面においては、ガスケット４１が２本
のパイプ３１、３６によって挟持されているので、流路
３２、３７の連結面からの漏れを防止することができ
る。また、さらに、締付部材４２と継手本体３５を螺合
させ続けると、流路３２、３７の連結面の外周側で、ガ
スケット４１を２つのインナーフェルール３３、３９に
よって挟持する。

【００４６】インナーフェルール３３は、上述したよう
に、パイプ３１とアウターフェルール３４とのはめあい
を確実にするものであり、締付部材４２に継手本体３５
を締め付けた際には、パイプ３１を握りしめるように支
持することから、パイプ３１に固定化された状態にあ
る。従って、パイプ３１に大きな回転トルクが作用して
も、インナーフェルール３３は、パイプ３１に対して摺
動することはない。

【００４７】同様にして、インナーフェルール３９は、
上述したように、パイプ３６とアウターフェルール３８
とのはめあいを確実にするものであり、締付部材４２に
継手本体３５を締め付けた際には、パイプ３６を握りし
めるように支持することから、パイプ３６に固定化され
た状態にある。従って、パイプ３６に大きな回転トルク
が作用しても、インナーフェルール３９は、パイプ３６
に対して摺動することはない。

【００４８】尚、２つのインナーフェルール３３、３９
は、第１実施の形態のインナーフェルール１３と同様な
ものである。

【００４９】以上詳細に説明したように、第２実施の形
態の管継手３０では、締付部材４２と継手本体３５を螺
合させることによって、継手本体３５の内部を無転状態
で移動する２本のパイプ３１、３６の流路３２、３７を
連結させるものである。そして、流路３２、３７の連結
面からの漏れを防止するために、流路３２、３７の連結
面において、ガスケット４１を挟持している。

【００５０】このとき、流路３２、３７の連結面の外周
側においても、パイプ３１に握着されたインナーフェル
ール３３とパイプ３６に握着されたインナーフェルール
３９で、ガスケット４１を挟持している。従って、パイ
プ３１に回転トルクが作用した場合には、流路３２、３
７の連結面において、パイプ３１とガスケット４１の間
に生じる摩擦力で、さらに、流路３２、３７の連結面の
外周側において、インナーフェルール３３を介してパイ
プ３１とガスケット４１の間に生じる摩擦力で、パイプ
３１の回転を防止することとなる。

【００５１】一方、従来技術の管継手１００（図１０参
照）においては、流路１０２、１０７の連結面におい
て、パイプ１０１とガスケット１０９の間に生じる摩擦
力のみで、パイプ１０１の回転を防止している。よっ
て、第２実施の形態の管継手３０においては、従来技術
の管継手１００と比べて、パイプ３１の回転を防止でき
る限界値（回転させずにパイプ３１に作用させることが
できる回転トルクの最大値）を、流路３２、３７の連結
面の外周側においてインナーフェルール３３を介してパ
イプ３１とガスケット４１の間に生じる摩擦力に、パイ
プ３１の回転中心までの距離を乗じることによって得ら
れる値だけ、増加させることができる。

【００５２】従って、パイプ３１の回転を防止できる限
界値（回転させずにパイプ３１に作用させることができ
る回転トルクの最大値）の増加分は、流路３２、３７の
連結面の外周側においてインナーフェルール３３を介し
てパイプ３１とガスケット４１の間に生じる摩擦力の大
きさにも依存することになるので、流路３２、３７の連
結面の外周側でガスケット４１を挟持するインナーフェ
ルール３３の表面を、凹凸面にしてガスケット４１に対
し係り合いを生じさせることによって、パイプ３１の回
転を防止できる限界値（回転させずにパイプ３１に作用
させることができる回転トルクの最大値）の増加分を大
きくさせている。

【００５３】尚、パイプ３６に回転トルクが作用した場
合においても、同様なことが言える。

【００５４】すなわち、第２実施の形態の管継手３０で
は、流路３２、３７の連結面において、さらに、流路３
２、３７の連結面の外周側において、パイプ３１とガス
ケット４１の間に生じる摩擦力で、パイプ３１の回転を
防止しており、従来技術のものと比べた場合、流路３
２、３７の連結面の外周側においてパイプ３１とガスケ
ット４１の間に生じる摩擦力に、パイプ３１の回転中心
までの距離を乗じることによって得られる値だけ、パイ
プ３１の回転を防止できる限界値（回転させずにパイプ
３１に作用させることができる回転トルクの最大値）を
増加させることができるので、比較的低い回転トルク
（従来技術において小型化されたパイプ１０１が回転す
るおそれがある値のもの）が作用しても、小径化された
パイプ３１がガスケット４１に対し摺動することはな
い。

【００５５】同様にして、第２実施の形態の管継手３０
では、流路３２、３７の連結面において、さらに、流路
３２、３７の連結面の外周側において、パイプ３６とガ
スケット４１の間に生じる摩擦力で、パイプ３６の回転
を防止しており、従来技術のものと比べた場合、流路３
２、３７の連結面の外周側においてパイプ３６とガスケ
ット４１の間に生じる摩擦力に、パイプ３６の回転中心
までの距離を乗じることによって得られる値だけ、パイ
プ３６の回転を防止できる限界値（回転させずにパイプ
３６に作用させることができる回転トルクの最大値）を
増加させることができるので、比較的低い回転トルク
（従来技術において小型化されたパイプ１０１が回転す
るおそれがある値のもの）が作用しても、小径化された
パイプ３６がガスケット４１に対し摺動することはな
い。

【００５６】また、流路３２、３７の連結面でガスケッ
ト４１を挟持した後に、さらに、流路３２、３７の連結
面の外周側でガスケット４１を挟持するようにしている
ので、締付部材４２と継手本体３５を締め付けた際にお
いて、締付トルクの増加によって、流路３２、３７の連
結面でガスケット４１を挟持した時点、さらに、流路３
２、３７の連結面の外周側でガスケット４１を挟持した
時点を判断することができるから、作業者に締め付け過
ぎを知らせることができる。

【００５７】次に、第３の実施の形態の管継手について
説明する。図７は、第３の実施の形態の管継手５０の断
面図である。第３の実施の形態の管継手５０は、パイプ
５１の流路５２とパイプ５６の流路５７を連結するもの
であって、パイプ５１、５６と一体にある挟持部材５
３、５９、スラスト軸受であるアウターフェルール５
４、継手本体５５、締付部材６１、ホルダー５９、金属
製のガスケット６０などからなる。

【００５８】また、第３の実施の形態の管継手５０は、
パイプ５１の流路５２とパイプ５６の流路５７が、他の
パイプ６２、６３の流路６４、６５と溶接によって連結
されるものである。

【００５９】また、第３の実施の形態の管継手５０で
は、パイプ５１に対し、アウターフェルール５４が嵌通
されている。従って、締付部材６１と継手本体５５を螺
合させて、継手本体５５の内側がアウターフェルール５
４を押圧しても、パイプ５１は継手本体５５の内部を無
転状態で移動することができる。

【００６０】そして、第３の実施の形態の管継手５０で
は、締付部材６１と継手本体５５を螺合させ続けると、
図示しないが、継手本体５５の内部をパイプ５１が無転
状態で移動し、ホルダー５９を介してパイプ５１に取り
付けられたガスケット６０が、パイプ５６と当接する。

【００６１】さらに、締付部材６１と継手本体５５を螺
合させ続けると、図７に示すように、２本のパイプ５
１、５６で、ガスケット６０を押しつぶした状態にする
ことができるので、パイプ５１の流路５２に対しパイプ
５６の流路５７を連結させることができる。このとき、
流路５２、５７の連結面においては、ガスケット６０が
２本のパイプ５１、５６によって挟持されているので、
流路５２、５７の連結面からの漏れを防止することがで
きる。また、さらに、締付部材６１と継手本体５５を螺
合させ続けると、流路５２、５７の連結面の外周側で、
ガスケット６０を２つの挟持部材５３、５８によって挟
持する。

【００６２】挟持部材５３は、上述したように、パイプ
５１と一体である。従って、挟持部材５３は、パイプ５
１と一体に運動する。同様にして、挟持部材５８は、上
述したように、パイプ５６と一体である。従って、挟持
部材５３は、パイプ５６と一体に運動する。尚、２つの
挟持部材５３は、第１実施の形態のインナーフェルール
１３と同様な凹凸面を有し、かかる凹凸面はスリットに
よって形成されている。

【００６３】以上詳細に説明したように、第３実施の形
態の管継手５０では、締付部材６１と継手本体５５を螺
合させることによって、継手本体５５の内部を無転状態
で移動する２本のパイプ５１、５６の流路５２、５７を
連結させるものである。そして、流路５２、５７の連結
面からの漏れを防止するために、流路５２、５７の連結
面において、ガスケット６０を挟持している。

【００６４】このとき、流路５２、５７の連結面の外周
側においても、パイプ５１と一体にある挟持部材５３と
パイプ５６と一体にある挟持部材５８で、ガスケット６
０を挟持している。従って、パイプ５１に回転トルクが
作用した場合には、流路５２、５７の連結面において、
パイプ５１とガスケット６０の間に生じる摩擦力で、さ
らに、流路５２、５７の連結面の外周側において、挟持
部材５３を介してパイプ５１とガスケット６０の間に生
じる摩擦力で、パイプ５１の回転を防止することとな
る。

【００６５】一方、従来技術の管継手１００（図１０参
照）においては、流路１０２、１０７の連結面におい
て、パイプ１０１とガスケット１０９の間に生じる摩擦
力のみで、パイプ１０１の回転を防止している。よっ
て、第３実施の形態の管継手５０においては、従来技術
の管継手１００と比べて、パイプ５１の回転を防止でき
る限界値（回転させずにパイプ５１に作用させることが
できる回転トルクの最大値）を、流路５２、５７の連結
面の外周側において挟持部材５３を介してパイプ５１と
ガスケット６０の間に生じる摩擦力に、パイプ５１の回
転中心までの距離を乗じることによって得られる値だ
け、増加させることができる。

【００６６】従って、パイプ５１の回転を防止できる限
界値（回転させずにパイプ５１に作用させることができ
る回転トルクの最大値）の増加分は、流路５２、５７の
連結面の外周側において挟持部材５３を介してパイプ５
１とガスケット６０の間に生じる摩擦力の大きさにも依
存することになるので、流路５２、５７の連結面の外周
側でガスケット６０を挟持する挟持部材５３の表面を、
凹凸面にしてガスケット６０に対し係り合いを生じさせ
ることによって、パイプ５１の回転を防止できる限界値
（回転させずにパイプ５１に作用させることができる回
転トルクの最大値）の増加分を大きくさせている。

【００６７】尚、パイプ５６に回転トルクが作用した場
合においても、同様なことが言える。

【００６８】すなわち、第３実施の形態の管継手５０で
は、流路５２、５７の連結面において、さらに、流路５
２、５７の連結面の外周側において、パイプ５１とガス
ケット６０の間に生じる摩擦力で、パイプ５１の回転を
防止しており、従来技術のものと比べた場合、流路５
２、５７の連結面の外周側においてパイプ５１とガスケ
ット６０の間に生じる摩擦力に、パイプ５１の回転中心
までの距離を乗じることによって得られる値だけ、パイ
プ５１の回転を防止できる限界値（回転させずにパイプ
５１に作用させることができる回転トルクの最大値）を
増加させることができるので、比較的低い回転トルク
（従来技術において小型化されたパイプ１０１が回転す
るおそれがある値のもの）が作用しても、小径化された
パイプ５１がガスケット６０に対し摺動することはな
い。

【００６９】同様にして、第３実施の形態の管継手５０
では、流路５２、５７の連結面において、さらに、流路
５２、５７の連結面の外周側において、パイプ５６とガ
スケット６０の間に生じる摩擦力で、パイプ５６の回転
を防止しており、従来技術のものと比べた場合、流路５
２、５７の連結面の外周側においてパイプ５６とガスケ
ット６０の間に生じる摩擦力に、パイプ５６の回転中心
までの距離を乗じることによって得られる値だけ、パイ
プ５６の回転を防止できる限界値（回転させずにパイプ
５６に作用させることができる回転トルクの最大値）を
増加させることができるので、比較的低い回転トルク
（従来技術において小型化されたパイプ１０１が回転す
るおそれがある値のもの）が作用しても、小径化された
パイプ５６がガスケット６０に対し摺動することはな
い。

【００７０】また、流路５２、５７の連結面でガスケッ
ト６０を挟持した後に、さらに、流路５２、５７の連結
面の外周側でガスケット６０を挟持するようにしている
ので、締付部材６１と継手本体５５を締め付けた際にお
いて、締付トルクの増加によって、流路５２、５７の連
結面でガスケット６０を挟持した時点、さらに、流路５
２、５７の連結面の外周側でガスケット６０を挟持した
時点を判断することができるから、作業者に締め付け過
ぎを知らせることができる。

【００７１】尚、本発明は上記実施の形態に限定される
ものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が
可能である。例えば、第１実施の形態の溶接継手１０
は、いわゆる溶接レス継手であって、パイプ１１の流路
１２及び締付部材１６の流路１７が他の流路と他の管継
手により接続されるものであったが、いわゆる溶接継手
であって、パイプ１１の流路１２及び締付部材１６の流
路１７が他の流路と溶接により接続されるものでもよ
い。そして、第１実施の形態の溶接継手１０が溶接継手
であるときは、パイプ１１を握着するインナーフェルー
ル１３にかえて、パイプ１１と一体にある挟持部材を用
いてもよい。

【００７２】また、第１実施の形態の溶接継手１０にお
いては、締付部材１６が接続ジョイントであり、又は、
流体機器の接続ポートであってもよい。また、パイプ１
１が接続ジョイントのものであり、又は、流体機器の接
続ポートのものであってもよい。

【００７３】また、第２実施の形態の溶接継手３０や第
３実施の形態の溶接継手５０においては、パイプ３１、
３６、５１、５６が、接続ジョイントのものであり、又
は、流体機器の接続ポートのものであってもよい。

【００７４】また、第１実施の形態の溶接継手１０にお
いては、インナーフェルール１３の表面の凹凸面２２を
スリット２１によって形成させているが、突起物によっ
て形成させてもよい。また、インナーフェルール７０の
断面図である図８や、インナーフェルール７０の正面図
（図８の矢視Ｑから見たもの）である図９が示すよう
に、流路１２、１７の連結面の外周側でガスケット１９
を締付部材１６とともに挟持する表面が平面７１である
インナーフェルール７０を使用することにより、ガスケ
ット１９との接触面積を増加させてもよい。これらの点
については、第２実施の形態の溶接継手３０のインナー
フェルール３３、３９や、第３実施の形態の溶接継手５
０の挟持部材５３、５８においても、同様なことが言え
る。

【００７５】また、第１実施の形態の溶接継手１０、第
２実施の形態の溶接継手３０、第３実施の形態の管継手
５０は、半導体製造装置における半導体用ガスの配管ラ
インで使用できるものであるが、その他の配管ラインに
おいても使用できるものである。

【００７６】

【発明の効果】本発明の管継手では、流路の連結面にお
いて、さらに、流路の連結面の外周側において、パイプ
とガスケットの間に生じる摩擦力で、パイプの回転を防
止しており、従来技術のものと比べた場合、流路の連結
面の外周側においてパイプとガスケットの間に生じる摩
擦力に、パイプの回転中心までの距離を乗じることによ
って得られる値だけ、パイプの回転を防止できる限界値
（回転させずにパイプに作用させることができる回転ト
ルクの最大値）を増加させることができるので、比較的
低い回転トルク（従来技術において小型化されたパイプ
が回転するおそれがある値のもの）が作用しても、小径
化されたパイプがガスケットに対し摺動することはな
い。

【００７７】また、流路の連結面でガスケットを挟持し
た後に、さらに、流路の連結面の外周側でガスケットを
挟持するようにすれば、締付部材と継手本体を締め付け
た際において、締付トルクの増加によって、流路の連結
面でガスケットを挟持した時点、さらに、流路の連結面
の外周側でガスケットを挟持した時点を判断することが
できるから、作業者に締め付け過ぎを知らせることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施の形態の管継手の断面図である。

【図２】第１実施の形態の管継手の断面図である。

【図３】第１実施の形態の管継手の分解組立図である。

【図４】第１実施の形態の管継手のインナーフェルール
の断面図である。

【図５】第１実施の形態の管継手のインナーフェルール
の正面図である。

【図６】第２実施の形態の管継手の断面図である。

【図７】第３実施の形態の管継手の断面図である。

【図８】その他の実施の形態の管継手のインナーフェル
ールの断面図である。

【図９】その他の実施の形態の管継手のインナーフェル
ールの正面図である。

【図１０】従来技術の管継手の断面図である。

【符号の説明】

１０、３０、５０ 管継手 １１、３１、３６、５１、５６ パイプ １２、３２、３７、５２、５６ パイプの流路 １３、３３、３９、７０ インナーフェルール １４、３４、３８、５４ アウターフェルール １５、３５、５５ 継手本体 １６、４２、６１ 締付部材 １７ 締付部材の流路 １９、４１、６０ ガスケット ２１ スリット ２２ 凹凸面 ６２、６３ 他のパイプ ６４、６５ 他のパイプの流路 ７１ 平面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 諸岡 良倫 愛知県春日井市堀の内町850番地 シーケ ーディ株式会社春日井事業所内 Ｆターム(参考） 3H014 DA01 DA07 3H015 KA00

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 締付部材に継手本体を螺合させることに
   よって、前記継手本体の内部を無転状態で移動するパイ
   プの流路に対し前記締付部材の流路を連結させるととも
   に、前記流路の連結面でガスケットを挟持することによ
   って、前記流路の連結面からの漏れを防止する管継手に
   おいて、 前記流路の連結面の外周側で前記ガスケットを前記パイ
   プと前記締付部材が挟持することを特徴とする管継手。
2. 【請求項２】 請求項１に記載する管継手において、 前記パイプの流路及び前記締付部材の流路が他の流路と
   他の管継手により連結されることを特徴とする管継手。
3. 【請求項３】 請求項２に記載する管継手において、 前記継手本体に内在するスラスト軸受と前記パイプとを
   楔部材によりはめあわせることによって、前記継手本体
   の内部を前記パイプが無転状態で移動するとともに、前
   記楔部材によって、前記流路の連結面の外周側で前記ガ
   スケットを挟持することを特徴とする管継手。
4. 【請求項４】 請求項１に記載する管継手において、 前記パイプの流路及び前記締付部材の流路が他の流路と
   溶接によって連結されることを特徴とする管継手。
5. 【請求項５】 請求項４に記載する管継手において、 前記流路の連結面の外周側で前記ガスケットを挟持する
   面を有する挟持部材が、前記パイプと一体にあることを
   特徴とする管継手。
6. 【請求項６】 請求項１乃至請求項５のいずれか一つに
   記載する管継手において、 前記パイプ又は前記締付部材が接続ジョイントであるこ
   とを特徴とする管継手。
7. 【請求項７】 請求項１乃至請求項６のいずれか一つに
   記載する管継手において、 前記パイプ又は前記締付部材が流体機器の接続ポートで
   あることを特徴とする管継手。
8. 【請求項８】 締付部材と継手本体を螺合させることに
   よって、前記継手本体の内部を無転状態で移動する２本
   のパイプの流路を連結させるとともに、前記流路の連結
   面でガスケットを挟持することによって、前記流路の連
   結面からの漏れを防止する管継手において、 前記流路の連結面の外周側で前記ガスケットを前記パイ
   プ同士が挟持することを特徴とする管継手。
9. 【請求項９】 請求項８に記載する管継手において、 前記パイプの流路が他の流路と他の管継手によって連結
   されることを特徴とする管継手。
10. 【請求項１０】 請求項９に記載する管継手において、 前記継手本体に内在するスラスト軸受と前記パイプとを
    楔部材によりはめあわせることによって、前記継手本体
    の内部を前記パイプが無転状態で移動するとともに、前
    記楔部材によって、前記流路の連結面の外周側で前記ガ
    スケットを挟持することを特徴とする管継手。
11. 【請求項１１】 請求項８に記載する管継手において、 前記パイプの流路が他の流路と溶接によって連結される
    ことを特徴とする管継手。
12. 【請求項１２】 請求項１１に記載する管継手におい
    て、 前記流路の連結面の外周側で前記ガスケットを挟持する
    面を有する挟持部材が、前記パイプと一体にあることを
    特徴とする管継手。
13. 【請求項１３】 請求項８乃至請求項１２のいずれか一
    つに記載する管継手において、 前記パイプのいずれか一方が接続ジョイントであること
    を特徴とする管継手。
14. 【請求項１４】 請求項８乃至請求項１２のいずれか一
    つに記載する管継手において、 前記パイプのいずれか一方が流体機器の接続ポートであ
    ることを特徴とする管継手。
15. 【請求項１５】 請求項１乃至請求項１４のいずれか一
    つに記載する管継手において、 前記流路の連結面でガスケットを挟持した後に、前記流
    路の連結面の外周側で前記ガスケットを挟持することを
    特徴とする管継手。
16. 【請求項１６】 請求項１乃至請求項１５のいずれか一
    つに記載する管継手において、 前記流路の連結面の外周側で前記ガスケットを挟持する
    表面が平面であることを特徴とする管継手。
17. 【請求項１７】 請求項１乃至請求項１５のいずれか一
    つに記載する管継手において、 前記流路の連結面の外周側で前記ガスケットを挟持する
    表面が凹凸面であることを特徴とする管継手。
18. 【請求項１８】 請求項１７に記載する管継手におい
    て、 前記凹凸面をスリットで形成したことを特徴とする管継
    手。
19. 【請求項１９】 請求項１７に記載する管継手におい
    て、 前記凹凸面を突起物で形成したことを特徴とする管継
    手。
20. 【請求項２０】 請求項１乃至請求項１９のいずれか一
    つに記載する管継手において、 半導体用ガスの配管ラインに使用されることを特徴とす
    る管継手。