JP2000090697A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JP2000090697A JP10253406A JP25340698A JP2000090697A JP 2000090697 A JP2000090697 A JP 2000090697A JP 10253406 A JP10253406 A JP 10253406A JP 25340698 A JP25340698 A JP 25340698A JP 2000090697 A JP2000090697 A JP 2000090697A
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    • G11C29/18Address generation devices; Devices for accessing memories, e.g. details of addressing circuits
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  • Dram (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 試験の際に1つのマスク/ディセーブル端子
の制御のみでマスク/ディセーブル動作をおこなうこと
ができる半導体記憶装置を提供することを課題とする。 【解決手段】 コマンドデコーダ22からテスト命令信
号37が出力されると、テストモードデコーダ26にお
いて、そのテスト命令信号37を入力し、テスト信号3
8を出力する。DQM切り替え回路27において、その
テスト信号38が入力されると、2つのマスク/ディセ
ーブル端子(DQML、DQMU)のいずれか1つに入
力されるマスク/ディセーブル信号(MASK0または
MASK1)を、DQMLおよびDQMUの両端子から
入力されたマスク/ディセーブル信号としてライトアン
プ/センスバッファ15に出力する。これにより、この
1つのマスク/ディセーブル端子により、すべての入出
力データに対するマスク/ディセーブル動作をおこなう
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数のデータ入出
力端子を備えた半導体記憶装置に関し、特に、複数のマ
スク/ディセーブル端子を備え、各マスク/ディセーブ
ル制御信号によって対応するデータ入出力端子から入出
力されるデータの書き込み/読み出しを禁止するマスク
/ディセーブル動作をおこなう半導体記憶装置に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】RAM(Random Access
Memory)またはROM(Read Only M
emory)に代表される半導体記憶装置は、大容量の
記憶を可能とするとともに、データの高速な書き込み/
読み出しを必要とすることから、複数ビットに対応した
複数のデータ入出力端子を備えている。このような半導
体記憶装置の中には、複数のデータ入出力端子に対し
て、データの書き込み/読み出しを禁止するマスク/デ
ィセーブル端子を備えたものがある。
【0003】また、近年、パッケージされた1つの半導
体記憶装置(以下、特に、半導体記憶デバイスと称す
る)を複数個組み合わせて、さらなる大容量化を実現さ
せた半導体記憶モジュールが多く流通している。この半
導体記憶モジュールにおいては、複数の半導体記憶デバ
イスに対して共通のデータバスを用いているが、データ
の書き込み/読み出しの許可を各半導体記憶デバイスご
とにコントロールする必要があり、半導体記憶デバイス
として上記のマスク/ディセーブル端子を備えた半導体
記憶装置を使用することにより、柔軟性の高いデータの
入出力をおこなうことが可能となった。
【0004】ここで従来技術として、マスク/ディセー
ブル端子を備え、外部クロックに同期して動作するシン
クロナス・ダイナミックRAM(以下、SDRAMと称
する)を基本構成とした半導体記憶装置について説明す
る。図16は、従来の半導体記憶装置の概略構成を示す
ブロック図である。図16は、特に、MPU(Micr
o Processing Unit)によって、MP
Uのアドレス空間よりも大きな容量のメモリを管理でき
るメモリ・バンク方式が採用された場合のSDRAMを
示している。
【0005】図16において、SDRAM100は、記
憶単位となるメモリセルをマトリクス状に配置したメモ
リアレイを、2つのバンク(バンク0、バンク1)に分
割し、さらに各バンクは、複数のブロックに分割されて
いる。各バンクは、ロウデコーダ102およびコラムデ
コーダ103を備え、これらのデコーダ102,103
によって、メモリアレイ101から1つのメモリセルを
選択する。ここで、ロウデコーダ102は、ロウアドレ
ス信号110を受けて、ロウ(行)方向のメモリセルを
特定するワード線から1つを選択する回路である。ま
た、コラムデコーダ103は、コラムアドレス信号11
1を受けて、コラム(列)方向のメモリセルを特定する
ビット線から1つを選択する回路である。なお、各ビッ
ト線には、メモリセルに蓄えられた電荷を増幅させるセ
ンスアンプ104が接続されている。
【0006】バンク0またはバンク1において、データ
の読み出し命令を受け、ロウデコーダ102およびコラ
ムデコーダ103によって特定されたメモリセルのデー
タは、グローバルデータバス(GDB)106を経由し
てライトアンプ/センスバッファ105に入力する。こ
のSDRAM100では、複数ビットのデータ入出力を
可能としているので、例えば16ビットのデータ入出力
の場合、入力されるロウアドレス信号110およびコラ
ムアドレス信号111に対して特定されるメモリセルの
2バイト分のデータを、ライトアンプ/センスバッファ
105に蓄積することでデータをパラレル出力する。
【0007】ライトアンプ/センスバッファ105に蓄
積された読み出しデータは、I/Oデータバッファ/レ
ジスタ107に導かれ、I/Oデータバッファ/レジス
タ107のデータ入出力端子DQ0〜DQnから出力さ
れる。
【0008】一方、データの書き込み命令を受けると、
書き込みデータは、ライトアンプ/センスバッファ10
5からGDB106を経由してロウデコーダ102およ
びコラムデコーダ103によって特定されたメモリセル
に入力される。なお、書き込みデータは、I/Oデータ
バッファ/レジスタ107のデータ入出力端子DQ0〜
DQnから入力され、ライトアンプ/センスバッファ1
05に導かれる。
【0009】ロウアドレス信号110およびコラムアド
レス信号111は、アドレスバッファ/レジスタ&バン
クセレクト108のアドレス端子A0〜Anから入力さ
れる信号に基づいて生成される。
【0010】また、バンク0およびバンク1には、RA
S信号120、CAS信号121およびWE信号122
が入力され、これら3つの信号の組み合わせによって、
書き込み命令や読み出し命令等の制御命令が決定され
る。特に、これらの制御命令によって、ライトアンプ/
センスバッファ105の機能が決定される。
【0011】バンク0およびバンク1に入力されるRA
S信号120、CAS信号121およびWE信号122
は、制御信号ラッチ113から出力される。制御信号ラ
ッチ113は、コマンドデコーダ112からコマンド信
号125を入力し、コマンド信号125が示す制御命令
をラッチし、RAS信号120、CAS信号121およ
びWE信号122を、それらの組み合わせによって制御
命令を表わせる信号レベルとして出力する。
【0012】コマンドデコーダ112は、/CS信号、
/RAS信号、/CAS信号および/WE信号を入力
し、各信号の組み合わせから制御命令を決定し、その制
御命令を示すコマンド信号125を出力する。また、コ
マンドデコーダ112は、/CS信号、/RAS信号、
/CAS信号および/WE信号の組み合わせからアクセ
スモードを決定し、そのアクセスモードを示すモード信
号126を出力する。
【0013】モードレジスタ114は、モード信号12
6と、アドレスバッファ/レジスタ&バンクセレクト1
08によって中継されるアドレス信号A0〜Anとを入
力して一時的に記憶する。コラムアドレスカウンタ10
9は、モードレジスタ114に記憶されたモード信号と
アドレス信号から、連続読み出しモード等のアクセスモ
ードを判別し、アクセスモードに応じたコラムアドレス
信号111を生成して出力する。
【0014】また、SDRAM100は、例えばMPU
のシステムクロックといった外部から与えられる同期信
号(CLK)によって動作し、上記した内部回路におけ
る動作を高速におこなえることを特徴としている。クロ
ックバッファ115は、その外部から与えられるクロッ
ク信号(CLK)およびそのクロック信号の出力を制御
するクロックイネーブル信号(CKE)を入力し、入力
したクロック信号を上記各回路に供給している。また、
クロックバッファ115は、入力したクロックイネーブ
ル信号をコマンドデコーダ112、アドレスバッファ/
レジスタ&バンクセレクト108およびI/Oデータバ
ッファ/レジスタ107に中継している。
【0015】また、I/Oデータバッファ/レジスタ1
07は、前述したマスク/ディセーブル端子からマスク
/ディセーブル信号を入力する。特に、I/Oデータバ
ッファ/レジスタ107は、DQMU端子から、データ
信号DQ0〜DQnの上位ビットのマスク/ディセーブ
ルをおこなう信号であるDQMU信号を入力し、DQM
L端子から、データ信号DQ0〜DQnの下位ビットの
マスク/ディセーブルをおこなう信号であるDQML信
号を入力している。
【0016】これらDQMU信号およびDQML信号
は、MASK0およびMASK1信号としてバンク0お
よびバンク1に送信され、各バンクのライトアンプ/セ
ンスバッファ105に入力される。DQMU信号(MA
SK1)が“H”レベルを示し、かつバンク0およびバ
ンク1に与えられる制御命令が書き込み命令を示す場合
には、ライトアンプ/センスバッファ105は、データ
信号DQ0〜DQnの上位ビットに相当するデータに対
してマスクすなわち書き込み禁止の状態となる。また、
DQML信号(MASK0)が“H”レベルを示し、か
つバンク0およびバンク1に与えられる制御命令が書き
込み命令を示す場合には、ライトアンプ/センスバッフ
ァ105は、データ信号DQ0〜DQnの下位ビットに
相当するデータに対してマスクすなわち書き込み禁止の
状態となる。
【0017】一方、DQMU信号が“H”レベルを示
し、かつバンク0およびバンク1に与えられる制御命令
が読み出し命令を示す場合には、ライトアンプ/センス
バッファ105は、データ信号DQ0〜DQnの上位ビ
ットに相当するデータに対してディセーブルすなわち読
み出し禁止の状態となる。また、DQML信号が“H”
レベルを示し、かつバンク0およびバンク1に与えられ
る制御命令が読み出し命令を示す場合には、ライトアン
プ/センスバッファ105は、データ信号DQ0〜DQ
nの下位ビットに相当するデータに対してディセーブル
すなわち読み出し禁止の状態となる。
【0018】図17は、従来における半導体記憶装置の
要部を示す説明図であり、上述の従来のSDRAMのデ
ータ入出力部における構成を示すものである。図16に
示したI/Oデータバッファ/レジスタ107は、実際
には、図17に示すように、DQ0〜DQ15のデータ
入出力端子に接続されたI/Oデータバッファ131
と、DQMLおよびDQMUのマスク端子にそれぞれ接
続されたDQM入力バッファ132およびDQM入力バ
ッファ133に細分化される。
【0019】また、図16に示したライトアンプ/セン
スバッファ105も、実際には、図17に示すように、
DQ0〜DQ15のデータ入出力端子に対応したライト
アンプ&センスバッファ141に細分化される。さら
に、DQM入力バッファ132は、DQ0〜DQ7に対
応した8つのライトアンプ&センスバッファ141に接
続されており、DQM入力バッファ133は、DQ8〜
DQ15に対応した8つのライトアンプ&センスバッフ
ァ141に接続されている。
【0020】したがって、バンク詳しくはライトアンプ
&センスバッファ141にデータの書き込み命令が与え
られた場合、データ入出力端子DQ0〜DQ15に入力
された各データは、それぞれ対応するI/Oデータバッ
ファ131を介してライトアンプ&センスバッファ14
1に入力され、GDBに送出される。
【0021】この際、DQML端子から入力されるマス
ク/ディセーブル信号が“H”レベルを示す場合すなわ
ちデータの書き込み禁止を示す場合には、DQ0〜DQ
7に対応するライトアンプ&センスバッファ141から
GDBへのデータ送出はおこなわれない。同様に、DQ
MU端子から入力されるマスク/ディセーブル信号が
“H”レベルを示す場合には、DQ8〜DQ15に対応
するライトアンプ&センスバッファ141からGDBへ
のデータ送出はおこなわれない構成となっている。
【0022】一方、バンク詳しくはライトアンプ&セン
スバッファ141にデータの読み出し命令が与えられた
場合、ロウアドレス信号110およびコラムアドレス信
号111によって順次に特定されるメモリセルのデータ
は、GDBに送出され、各GDBに接続されたライトア
ンプ&センスバッファ141に入力される。各ライトア
ンプ&センスバッファ141に入力されたデータは、そ
れぞれ対応するI/Oデータバッファ131に送出さ
れ、データ入出力端子DQ0〜DQ15から出力され
る。
【0023】この際、DQML端子から入力されるマス
ク/ディセーブル信号が“H”レベルを示す場合すなわ
ちデータの読み出し禁止を示す場合には、DQ0〜DQ
7に対応するライトアンプ&センスバッファ141から
I/Oデータバッファ131へのデータ送出はおこなわ
れない。同様に、DQMU端子から入力されるマスク/
ディセーブル信号が“H”レベルを示す場合には、DQ
8〜DQ15に対応するライトアンプ&センスバッファ
141からI/Oデータバッファ131へのデータ送出
はおこなわれない構成となっている。
【0024】つぎに、ライトアンプ&センスバッファ1
41を詳細に説明する。図18は、ライトアンプ&セン
スバッファ141、I/Oデータバッファ131および
DQM入力バッファ132との間の結線を示す説明図で
ある。図18は、特にデータ入出力端子DQ0にかかわ
る構成を示しているが、他のデータ入出力端子DQ1〜
DQ15に関しても同様な構成である。図18に示すよ
うに、ライトアンプ&センスバッファ141は、実際に
はセンスバッファ151とライトアンプ152に細分化
される。ライトアンプ&センスバッファ141におい
て、データの読み出し命令に対しては、センスバッファ
151が機能し、GDB(GDB0、GDB1)に送出
された読み出しデータ(Rdata0/1)を受け取
り、I/Oデータバッファ131に送出する。また、セ
ンスバッファ151は、DQM入力バッファ132から
出力されるマスク/ディセーブル信号(MASK0)を
入力し、当該MASK0信号の信号レベルに応じて、デ
ータの読み出しディセーブル動作を行う。
【0025】一方、ライトアンプ&センスバッファ14
1において、データの書き込み命令に対しては、ライト
アンプ152が機能し、I/Oデータバッファ131か
ら出力された書き込みデータ(Wdata)を受け取
り、GDB(GDB0、GDB1)に送出する。ライト
アンプ152もまた、DQM入力バッファ132から出
力されるマスク/ディセーブル信号(MASK0)を入
力し、当該MASK0信号の信号レベルに応じて、デー
タの書き込みマスク動作を行う。
【0026】なお、SDRAMのようなDRAMにおい
ては、通常、1つのデータの信号レベルを、2つの信号
レベルの比較によって確定するため、GDBに送出され
るデータの信号レベルは、GDB0およびGDB1の2
つの信号に基づいて定まり、ここでは、GDB1に送出
される信号のレベルに対するGDB0の信号レベルを、
I/Oデータバッファ131に入出力されるデータの信
号レベルとして説明をする。
【0027】以下に、センスバッファ151について詳
細に説明する。図19は、センスバッファ151の回路
構成を示す説明図である。図19において、センスバッ
ファ151は、2つのトランスファゲートSW100お
よびSW101と、3つのスイッチング素子(ここで
は、FET素子)TR100、TR101およびTR1
02と、3つのインバータ161、163および166
と、3つのNANDゲート162、164および165
とから構成される。
【0028】また、センスバッファ151に接続される
GDB0およびGDB1上には、センスアンプ104が
接続されており、このセンスアンプからGDB0および
GDB1にデータが送出される。
【0029】センスバッファ151から出力される読み
出しデータRdata0信号およびRdata1信号
(Rdata0/1)はともに同じ信号レベルを示し、
この信号がI/Oデータバッファ131に入力される。
センスバッファ151において、Rdata0信号は、
NANDゲート164から出力され、Rdata1信号
は、インバータ166から出力される。インバータ16
6は、その入力端子をNANDゲート165の出力端子
と接続している。また、NANDゲート164の一方の
入力端子は、NANDゲート165の出力端子に接続し
ており、NANDゲート165の一方の入力端子は、N
ANDゲート164の出力端子に接続している。よっ
て、Rdata0/1の信号レベルは、NANDゲート
164および165の他方の入力端子にそれぞれ入力さ
れる信号の信号レベルに依存して定まる。
【0030】NANDゲート164の他方の入力端子
は、トランスファゲートSW100の一方の接点端子と
スイッチング素子TR100のD端子に接続されてい
る。また、NANDゲート165の他方の入力端子は、
トランスファゲートSW101の一方の接点端子とスイ
ッチング素子TR101のD端子に接続されている。ト
ランスファゲートSW100およびSW101の他方の
接点端子は、ともに“H”レベルを示す電源端子に接続
されているので、NANDゲート164および165の
他方の入力端子に入力される信号のレベルは、トランス
ファゲートSW100およびSW101と、スイッチン
グ素子TR100およびTR101のON/OFF状態
によって決定される。すなわち、トランスファゲートS
W100およびSW101と、スイッチング素子TR1
00およびTR101のON/OFF状態によって、R
data0信号およびRdata1信号(Rdata0
/1)の信号レベルが決定される。
【0031】トランスファゲートSW100およびSW
101はともに制御端子を、インバータ163の出力端
子に接続している。また、NANDゲート162の出力
端子とインバータ163の入力端子は、互いに接続され
ている。NANDゲート162は、一方の入力端子から
データの読み出し命令を示す制御信号(READ)を入
力し、他方の入力端子からインバータ161の出力信号
を入力する。インバータ161は、DQM入力バッファ
132から出力されるMASK0信号を入力し、その反
転信号を出力する。よって、NANDゲート162から
出力される信号のレベル、すなわち、READ信号とM
ASK0信号に応じて、トランスファゲートSW100
およびSW101のON/OFFが制御される。
【0032】一方、スイッチング素子TR100は、そ
のG端子をGDB0に接続しており、スイッチング素子
TR101は、そのG端子をGDB1に接続している。
すなわち、スイッチング素子TR100およびTR10
1は、それぞれGDB0およびGDB1上に送出される
信号の信号レベルに応じて、ON/OFF制御される。
ここで、スイッチング素子TR100およびTR101
は、ともにそのS端子を、スイッチング素子TR102
のD端子に接続している。また、スイッチング素子TR
102は、そのS端子を、“L”レベルを示す電位に接
続しており、スイッチング素子TR100がON状態、
すなわちスイッチング素子TR100のG端子に、スイ
ッチング素子TR100のスレショルドレベル以上(こ
こでは、“H”レベル)の信号が入力され、かつ、スイ
ッチング素子TR102がON状態、すなわちスイッチ
ング素子TR102のG端子に、スイッチング素子TR
102のスレショルドレベル以上(ここでは、“H”レ
ベル)の信号が入力された場合には、スイッチング素子
TR100のD端子は、“L”レベルの電位となる。す
なわち、NANDゲート164の他方の入力端子に
“L”レベルの信号が入力される。
【0033】また、スイッチング素子TR101がON
状態、すなわちスイッチング素子TR101のG端子
に、スイッチング素子TR101のスレショルドレベル
以上(ここでは、“H”レベル)の信号が入力され、か
つ、スイッチング素子TR102がON状態、すなわち
スイッチング素子TR102のG端子に、スイッチング
素子TR102のスレショルドレベル以上(ここでは、
“H”レベル)の信号が入力された場合には、スイッチ
ング素子TR101のD端子は、“L”レベルの電位と
なる。すなわち、NANDゲート165の他方の入力端
子に“L”レベルの信号が入力される。
【0034】スイッチング素子TR102のG端子に
は、インバータ163の出力端子がされており、スイッ
チング素子TR102は、前記したREAD信号および
MASK0信号に応じて、ON/OFF制御される。
【0035】すなわち、データ読み出し時、READ信
号が“H”レベルになると、トランジスタTR102が
オンし、TR100およびTR101からなる差動増幅
回路が活性化されて、GDB1およびGDB0のデータ
をRdata0およびRdata1として出力する。し
かし、データ読み出し時であっても、マスク信号MAS
K0が“H”レベルであると、TR102はオフとな
り、GDB1およびGDB0のデータは、差動増幅回路
から出力されない。
【0036】図20は、センスバッファ151に入出力
する信号(GDB0およびGDB1上に送出された信
号、READ信号、MASK0信号、Rdata0信
号、Rdata1信号)のタイムチャートである。
【0037】まず、第1のREAD信号のパルス発生期
間(期間(1))詳しくはパルス立ち上がり時におい
て、MASK0信号が“L”レベルを示す場合、すなわ
ちデータの読み出しディセーブル動作をおこなわない場
合、GDB0上の信号が“H”レベルを示す際、すなわ
ち同時にGDB1上の信号が“L”レベルを示す際に、
NANDゲート162の出力は“L”レベルを示し、イ
ンバータ163は“H”レベルを示して、トランスファ
ゲートSW100およびSW101はともにON状態と
なる。さらに、スイッチング素子TR102がON状態
となる。そして、GDB0上の信号が“H”レベルを示
すことにより、スイッチング素子TR100がON状態
となって、NANDゲート164の他方の入力端子に
は、“L”レベルの信号が入力される。すなわち、NA
NDゲート164は、“H”レベルの信号をRdata
0信号として出力する。
【0038】また、GDB1上の信号が“L”レベルを
示すことにより、スイッチング素子TR101がOFF
状態となって、NANDゲート165の他方の入力端子
には、トランスファゲートSW101によって供給され
る“H”レベルの信号が入力される。ここで、NAND
ゲート165の一方の入力端子は、NANDゲート16
4の出力が示す“H”レベルの信号を入力するので、N
ANDゲート165は、“L”レベルの信号を出力す
る。NANDゲート165から出力された信号は、イン
バータ166において反転され、Rdata1信号とし
て出力されるので、この場合、Rdata1信号もま
た、Rdata0信号と同じく“H”レベルを示す。
【0039】つぎに、第2のREAD信号のパルス発生
期間(期間(2))詳しくはパルス立ち上がり時におい
ては、MASK0信号が“L”レベルを示した状態で、
かつGDB0上の信号が“L”レベルを示す際、すなわ
ち同時にGDB1上の信号が“H”レベルを示す際に、
NANDゲート162の出力(“L”レベル)およびイ
ンバータ163の出力(“H”レベル)は変化せずに、
トランスファゲートSW100およびSW101はとも
にON状態を示し、スイッチング素子TR102がON
状態となったままである。期間(1)と異なる点は、G
DB0上の信号が“L”レベルを示すことにより、スイ
ッチング素子TR100がOFF状態となり、NAND
ゲート164の他方の入力端子に、トランスファゲート
SW100によって供給される“H”レベルの信号が入
力されることである。
【0040】また、GDB1上の信号が“L”レベルを
示すことにより、スイッチング素子TR101がON状
態となって、NANDゲート165の他方の入力端子に
は、“L”レベルの信号が入力される。すなわち、NA
NDゲート165は、“H”レベルの信号を出力する。
NANDゲート165から出力された信号は、インバー
タ166において反転され、Rdata1信号として出
力されるので、この場合、Rdata1信号は、“L”
レベルを示す。ここで、NANDゲート164の一方の
入力端子は、NANDゲート165の出力が示す“H”
レベルの信号を入力するので、NANDゲート164
は、“L”レベルの信号を、Rdata0信号として出
力する。
【0041】したがって、MASK0信号が“L”レベ
ルを示す場合、すなわちデータの読み出しディセーブル
動作をおこなわない場合は、Rdata0信号およびR
data1信号(Rdata0/1)は、GDB0上に
送出された信号と同じ信号レベルを示して、I/Oデー
タバッファ131に送出される。
【0042】つづいて、第3のREAD信号のパルス発
生期間(期間(3))詳しくはパルス立ち上がり時にお
いて、MASK0信号が“H”レベルを示す場合、すな
わちデータの読み出しディセーブル動作をおこなう場
合、GDB0上の信号が“H”レベルを示す際、すなわ
ち同時にGDB1上の信号が“L”レベルを示す際に
は、NANDゲート162の出力は、“H”レベルを示
し、インバータ163は、“L”レベルを示すので、ト
ランスファゲートSW100およびSW101は、とも
にOFF状態となる。さらに、スイッチング素子TR1
02がOFF状態となる。そして、GDB0上の信号が
“H”レベルを示すことにより、スイッチング素子TR
100がON状態となるが、スイッチング素子TR10
2もOFF状態となっており、また、トランスファゲー
トSW100から“H”レベルの電位も供給されないた
め、NANDゲート164の他方の入力端子に入力され
る信号のレベルは不確定となる。
【0043】また、GDB1上の信号が“L”レベルを
示すことにより、スイッチング素子TR100がOFF
状態となるが、トランスファゲートSW101から
“H”レベルの電位は供給されないため、NANDゲー
ト165の他方の入力端子に入力される信号のレベルは
不確定となる。
【0044】したがって、NANDゲート164および
165の出力は変化せず、すなわちRdata0信号お
よびRdata1信号のレベルは変更されない。これに
より、読み出しデータのディセーブル動作が達成され
る。図20においては、点線で示す部分が、ディセーブ
ル動作により出力されない信号である。
【0045】つづく第4のREAD信号のパルス発生期
間(期間(4))詳しくはパルス立ち上がり時において
は、再びMASK0信号は“L”レベルを示し、期間
(2)と同様な状態となる。
【0046】つぎに、ライトアンプ152について詳細
に説明する。図21は、ライトアンプ152の回路構成
を示す説明図である。図21において、ライトアンプ1
52は、2つのトランスファゲートSW110およびS
W111と、5つのインバータ171、173、17
4、175および176と、1つのNANDゲート17
2とから構成される。
【0047】また、ライトアンプ152に接続されるG
DB0およびGDB1は、センスアンプ104に接続さ
れており、GDB0およびGDB1上に送出される書き
込み信号によりセンスアンプ104にデータを書き込
む。
【0048】I/Oデータバッファ131から出力され
る書き込みデータWdataは、ライトアンプとしての
インバータ174に入力され、その信号レベルが反転さ
れて出力される。インバータ174の出力端子は、トラ
ンスファゲートSW110の一方の接点端子およびイン
バータ175の入力端子に接続されている。ここで、ト
ランスファゲートSW110の他方の接点端子はGDB
1に接続されており、トランスファゲートSW110が
ON状態を示す場合に、Wdata信号のレベルを反転
させた信号をGDB1上に送出する。
【0049】インバータ175の出力端子は、トランス
ファゲートSW111の一方の接点端子に接続されてい
る。また、トランスファゲートSW111の他方の接点
端子はGDB0に接続されており、トランスファゲート
SW111がON状態を示す場合に、Wdata信号と
同じレベルの信号をGDB0上に送出する。
【0050】したがって、これらインバータ174およ
び175によって、1つの書き込みデータWdataか
ら、互いにレベルの反転した2つの信号をそれぞれGD
B0およびGDB1上に送出することが可能となってい
る。
【0051】そして、トランスファゲートSW110の
一方の制御端子は、インバータ173の出力端子と接続
し、他方の制御端子は、インバータ176の出力端子と
接続している。また、インバータ176の入力端子は、
インバータ173の出力端子と接続しているので、トラ
ンスファゲートSW110は、インバータ173の出力
する信号のレベルに応じてON/OFF制御される。
【0052】また、トランスファゲートSW111の一
方の制御端子も、インバータ173の出力端子と接続
し、他方の制御端子も、インバータ176の出力端子と
接続している。よって、トランスファゲートSW111
も、トランスファゲートSW110と同様に、インバー
タ173の出力する信号のレベルに応じてON/OFF
制御される。
【0053】インバータ173の入力端子は、NAND
ゲート172の出力端子と接続している。また、NAN
Dゲート172は、一方の入力端子からデータの書き込
み命令を示す制御信号(WE)を入力し、他方の入力端
子からインバータ171の出力信号を入力する。インバ
ータ171は、DQM入力バッファ132から出力され
るMASK0信号を入力し、その反転信号を出力する。
よって、NANDゲート172から出力される信号のレ
ベル、すなわち、READ信号とMASK0信号に応じ
て、トランスファゲートSW110およびSW111の
ON/OFFが制御される。
【0054】したがって、GDB0およびGDB1上の
信号のレベルは、Wdata信号と、WE信号と、MA
SK0信号に応じて変化する。すなわち、データ書き込
み時、WE信号が“H”レベルになると、トランスゲー
トSW110およびSW111はオンして、ライトアン
プ174から出力された書き込みデータは、GDB1お
よびGDB0へ送出される。一方、この時マスク信号M
ASK0が“L”レベルであると、SW110およびS
W111はオフとなり、ライトアンプ174からGDB
1およびGDB0への書き込みデータの送出は禁止され
る。
【0055】図22は、ライトアンプ152に入出力す
る信号(Wdata信号、WE信号、MASK0信号、
GDB0およびGDB1上に送出された信号)のタイム
チャートである。
【0056】まず、第1のWE信号のパルス発生期間
(期間(1))詳しくはパルス立ち上がり時において、
MASK0信号が“L”レベルを示す場合、すなわちデ
ータの書き込みマスク動作をおこなわない場合、Wda
ta信号が“L”レベルを示す際に、NANDゲート1
72の出力は、“L”レベルを示し、インバータ173
は“H”レベルを示して、トランスファゲートSW11
0およびSW111は、ともにON状態となる。
【0057】Wdata信号は、“L”レベルを示して
いるので、インバータ174により反転された“H”レ
ベルを示す信号が、トランスファゲートSW110を介
してGDB1上に送出される。また、インバータ174
から出力された“H”レベルを示す信号は、インバータ
175に入力されて反転され、“L”レベルを示す信号
としてトランスファゲートSW111を介してGDB0
上に送出される。
【0058】つぎに、第2のWE信号のパルス発生期間
(期間(2))詳しくはパルス立ち上がり時において
は、MASK0信号が“L”レベルを示した状態で、か
つWdata信号が“H”レベルを示す際に、NAND
ゲート172の出力(“L”レベル)およびインバータ
173の出力(“H”レベル)は変化せずに、トランス
ファゲートSW100およびSW101はともにON状
態を示す。期間(1)と異なる点は、Wdata信号が
“H”レベルを示すことにより、インバータ174によ
り反転された“L”レベルを示す信号が、トランスファ
ゲートSW110を介してGDB1上に送出され、イン
バータ175によりさらに反転された“H”レベルを示
す信号が、トランスファゲートSW111を介してGD
B0上に送出されることである。
【0059】つづいて、第3のWE信号のパルス発生期
間(期間(3))詳しくはパルス立ち上がり時におい
て、MASK0信号が“H”レベルを示す場合、すなわ
ちデータの書き込みマスク動作をおこなう場合、Wda
ta信号が“L”レベルを示す際に、NANDゲート1
72の出力は、WE信号のレベルにかかわらず、“H”
レベルを示し、インバータ173は“L”レベルを示し
て、トランスファゲートSW110およびSW111
は、ともにOFF状態となる。よって、インバータ17
4および175から出力される信号は、それぞれGDB
1およびGDB0上に送出されない。すなわち、Wda
ta信号を書き込みデータとしてGDBに送出すること
ができず、これにより、書き込みデータのマスク動作が
達成される。図22においては、点線で示す部分が、マ
スク動作により入力されない信号である。
【0060】つづく第4のWE信号のパルス発生期間
(期間(4))詳しくはパルス立ち上がり時において
は、再びMASK0信号は“L”レベルを示し、期間
(2)と同様な状態となる。
【0061】以上に説明したセンスバッファ151にお
いて、DQM入力バッファ132から出力されるマスク
/ディセーブル信号(MASK0)を入力し、読み出し
データのディセーブル動作をおこなうものとしたが、読
み出しデータのディセーブル動作は、I/Oデータバッ
ファ131を制御することによっても可能である。
【0062】図23は、ライトアンプ&センスバッファ
141と、ディセーブル動作を可能としたI/Oデータ
バッファ131aと、DQM入力バッファ132とにお
ける結線を示す説明図である。図23においては、特に
データ入出力端子DQ0にかかわる構成を示している
が、他のデータ入出力端子DQ1〜DQ15に関しても
同様な構成である。
【0063】図23のライトアンプ&センスバッファ1
41において、ライトアンプ152は、図21および図
22において説明したとおりの構成および動作を示す
が、センスバッファ151aは、図19のセンスバッフ
ァ151において、MASK0信号の入力をおこなわ
ず、インバータ161およびNANDゲート162から
なる構成を、READ信号を入力して、反転させた信号
をインバータ163とトランスファゲートSW100お
よびSW101の他方の制御端子に入力するインバータ
に置き換える必要がある。
【0064】よって、図23に示すように、I/Oデー
タバッファ131aは、DQM入力バッファ132から
出力されるマスク/ディセーブル信号(MASK0)を
入力し、当該MASK0信号の信号レベルに応じて、デ
ータの読み出しディセーブル動作を行う。
【0065】以下に、I/Oデータバッファ131aに
ついて詳細に説明する。図24は、I/Oデータバッフ
ァ131aの回路構成を示す説明図である。特に、図2
4は、読み出しデータをデータ入出力端子に出力する際
に機能する回路構成を示している。図24において、I
/Oデータバッファ131aは、2つのトランスファゲ
ートSW120およびSW121と、2つのスイッチン
グ素子(ここでは、FET素子)TR120およびTR
121と、8つのインバータ181、184〜190
と、1つのNANDゲート182と、1つのNORゲー
ト183とから構成される。
【0066】I/Oデータバッファ131aは、センス
バッファ151aから出力される読み出しデータRda
ta0およびRdata1(ともに同じ信号レベルを示
す)を入力し、DQM入力バッファ132から出力され
るMASK0信号が“L”レベルの場合、そのRdat
a0およびRdata1の示す信号に応じてデータ入出
力端子DQに読み出しデータを出力する。一方、MAS
K0信号が“H”レベルの場合、Rdata0およびR
data1は、NANDゲート182およびNORゲー
ト183を通過することを阻止され、TR120および
TR121は共にオフとなって、DQ0はハイインピー
ダンス(Hi−z)状態となる。
【0067】まず、I/Oデータバッファ131aにお
いて、Rdata0信号は、NANDゲート182の一
方の入力端子に入力される。NANDゲート182の他
方の入力端子は、インバータ181の出力端子に接続さ
れている。また、インバータ181は、MASK0信号
を入力し、その反転信号を出力する。よって、NAND
ゲート182は、MASK0信号が“L”レベルを示す
場合に、Rdata0信号に対するインバータとして機
能する。
【0068】NANDゲート182の出力端子は、トラ
ンスファゲートSW120の一方の接点端子に入力して
おり、トランスファゲートSW120の他方の接点端子
は、インバータ185の入力端子に接続されている。イ
ンバータ185は、トランスファゲートSW120から
入力される信号の反転信号を出力し、インバータ189
に入力する。ここで、インバータ185は、その出力端
子をインバータ186の入力端子と接続し、その入力端
子をインバータ186の出力端子と接続している。すな
わち、インバータ185とインバータ186とからなる
構成により、トランスファゲートSW120の他方の接
点端子から出力される信号に対するラッチ機能が果たさ
れる。
【0069】そして、インバータ185の出力端子は、
インバータ189の入力端子に接続しており、インバー
タ185から出力された信号は、インバータ189によ
って反転される。インバータ189の出力端子は、スイ
ッチング素子TR120のG端子に接続している。スイ
ッチング素子TR120はG端子における信号レベルに
応答してON/OFFする。
【0070】一方、Rdata1信号は、NORゲート
183の一方の入力端子に入力される。また、NORゲ
ート183の他方の入力端子は、MASK0信号を入力
する。よって、NORゲート183は、MASK0信号
が“L”レベルを示す場合に、Rdata1信号に対す
るインバータとして機能する。
【0071】NORゲート183の出力端子は、トラン
スファゲートSW121の一方の接点端子に入力してお
り、トランスファゲートSW121の他方の接点端子
は、インバータ187の入力端子に接続されている。イ
ンバータ187は、トランスファゲートSW121から
入力される信号の反転信号を出力し、インバータ190
に入力する。ここで、インバータ187は、その出力端
子をインバータ188の入力端子と接続し、その入力端
子をインバータ188の出力端子と接続している。すな
わち、インバータ187とインバータ188とからなる
構成により、トランスファゲートSW121の他方の接
点端子から出力される信号に対するラッチ機能が果たさ
れる。
【0072】そして、インバータ187の出力端子は、
インバータ190の入力端子に接続しており、インバー
タ187から出力された信号は、インバータ190によ
って反転される。インバータ190の出力端子は、スイ
ッチング素子TR121のG端子に接続している。スイ
ッチング素子TR121はG端子における信号レベルに
応答してON/OFFする。
【0073】そして、スイッチング素子TR120は、
そのD端子を“H”レベルを示す電位VCCに接続して
おり、そのS端子を、データ入出力端子DQ0およびス
イッチング素子TR121のD端子に接続している。ま
た、スイッチング素子TR121は、そのS端子を
“L”レベルを示す電位VSSに接続している。よっ
て、スイッチング素子TR121がON状態となった場
合には、データ入出力端子DQ0に出力される信号は、
VSSと同じ電位である“L”レベルを示す。また、ス
イッチング素子TR120がON状態となり、かつスイ
ッチング素子TR121がOFF状態となる場合に、デ
ータ入出力端子DQ0に出力される信号は、VCCと同
じ電位である“H”レベルを示す。
【0074】また、I/Oデータバッファ131aに
は、前述したクロック信号(CLK)が入力されてお
り、トランスファゲートSW120およびSW121の
それぞれの一方の制御端子には、このクロック信号(C
LK)が入力されている。そして、トランスファゲート
SW120およびSW121のそれぞれの他方の制御端
子には、インバータ184の出力端子が接続されてお
り、インバータ184の入力端子には、上記クロック信
号(CLK)が入力される。よって、トランスファゲー
トSW120およびSW121はともに、クロック信号
(CLK)に同期してON/OFFを繰り返す。
【0075】したがって、データ入出力端子DQ0に出
力される信号のレベルは、CLK信号と、MASK0信
号と、Rdata0信号と、Rdata1信号に応じて
変化する。
【0076】図25は、I/Oデータバッファ131a
に入出力する信号(CLK信号、MASK0信号、Rd
ata0信号、Rdata1信号)のタイムチャートで
ある。
【0077】図25において、まず、第1のCLK信号
のパルス発生期間(期間(1))詳しくはパルス立ち上
がり時は、トランスファゲートSW120およびSW1
21は、ともにON状態となり、MASK0信号が
“L”レベルを示す場合、すなわちデータの読み出しデ
ィセーブル動作をおこなわない場合、かつRdata0
信号が“L”レベルを示す際、すなわち同時にRdat
a1信号もまた“L”レベルを示す状態を示す。この場
合、インバータ181の出力は“H”レベルを示して、
NANDゲート182の出力は“H”レベルを示し、ト
ランスファゲートSW120の一方の接点端子に入力さ
れる。トランスファゲートSW120はON状態である
ので、NANDゲート182の出力(“H”レベル)
は、そのままインバータ185に入力される。
【0078】インバータ185から出力される信号は、
反転されて“L”レベルとなり、つづくインバータ18
9に入力される。この“L”レベルの信号は、インバー
タ189で反転されて結局“H”レベルの信号となり、
スイッチング素子TR120をOFF状態にする。
【0079】また、NORゲート183の出力は“H”
レベルを示し、トランスファゲートSW121の一方の
接点端子に入力される。トランスファゲートSW121
もまたON状態であるので、NORゲート183の出力
(“H”レベル)は、そのままインバータ187に入力
される。
【0080】インバータ187から出力される信号は、
反転されて“L”レベルとなり、つづくインバータ19
0に入力される。この“L”レベルの信号は、インバー
タ190において反転されて“H”レベルの信号とな
り、スイッチング素子TR121をON状態にする。
【0081】こうして、スイッチング素子TR120が
OFF状態、スイッチング素子TR121がON状態と
なるので、データ入出力端子DQ0に出力される信号の
レベルは、VSSと同電位である“L”レベルを示す。
すなわち、Rdata0信号(Rdata1信号)の示
すレベルの信号が、データ入出力端子DQ0に出力され
る。
【0082】つぎに、第2のCLK信号のパルス発生期
間(期間(2))詳しくはパルス立ち上がり時は、トラ
ンスファゲートSW120およびSW121は、ともに
ON状態となり、MASK0信号が“L”レベルを示し
たままで、Rdata0信号が“H”レベルを示す状
態、すなわち同時にRdata1信号もまた“H”レベ
ルを示す状態である。この場合、Rdata0信号およ
びインバータ181の出力はともに“H”レベルを示す
ので、NANDゲート182の出力は“L”レベルを示
して、トランスファゲートSW120の一方の接点端子
に入力される。トランスファゲートSW120はON状
態であるので、NANDゲート182の出力(“L”レ
ベル)は、そのままインバータ185に入力される。
【0083】インバータ185から出力される信号は、
反転されて“H”レベルとなり、つづくインバータ18
9に入力される。この“H”レベルの信号は、インバー
タ189で反転されて結局“L”レベルの信号となり、
スイッチング素子TR120をON状態にする。
【0084】また、NORゲート183は、Rdata
1信号が“H”レベルを示し、MASK0信号が“L”
レベルを示すので、“L”レベルの信号を出力して、ト
ランスファゲートSW121の一方の接点端子に入力さ
れる。トランスファゲートSW121もまたON状態で
あるので、NORゲート183の出力(“L”レベル)
は、そのままインバータ187に入力される。
【0085】インバータ187から出力される信号は、
反転されて“H”レベルとなり、つづくインバータ19
0に入力される。この“H”レベルの信号は、インバー
タ190において反転されて“L”レベルの信号とな
り、スイッチング素子TR121をOFF状態にする。
【0086】こうして、スイッチング素子TR120が
ON状態、スイッチング素子TR121がOFF状態と
なるので、データ入出力端子DQ0に出力される信号の
レベルは、VCCと同電位である“H”レベルを示す。
すなわち、Rdata0信号(Rdata1信号)の示
すレベルの信号が、データ入出力端子DQ0に出力され
る。
【0087】つづいて、第3のCLK信号のパルス発生
期間(期間(3))詳しくはパルス立ち上がり時は、ト
ランスファゲートSW120およびSW121は、とも
にON状態となり、MASK0信号が“H”レベルを示
す場合、すなわちデータの読み出しディセーブル動作を
おこなう場合、かつRdata0信号が“L”レベルを
示す際、すなわち同時にRdata1信号もまた“L”
レベルを示す状態である。この場合、Rdata0信号
およびインバータ181の出力はともに“L”レベルを
示すので、NANDゲート182の出力は“H”レベル
を示して、トランスファゲートSW120の一方の接点
端子に入力される。トランスファゲートSW120はO
N状態であるので、NANDゲート182の出力
(“H”レベル)は、そのままインバータ185に入力
される。
【0088】インバータ185から出力される信号は、
反転されて“L”レベルとなり、つづくインバータ18
9に入力される。この“L”レベルの信号は、インバー
タ189で反転されて結局“H”レベルの信号となり、
スイッチング素子TR120をOFF状態にする。
【0089】また、NORゲート183は、Rdata
1信号が“L”レベルを示し、MASK0信号が“H”
レベルを示すので、“L”レベルの信号を出力して、ト
ランスファゲートSW121の一方の接点端子に入力さ
れる。トランスファゲートSW121もまたON状態で
あるので、NORゲート183の出力(“L”レベル)
は、そのままインバータ187に入力される。
【0090】インバータ187から出力される信号は、
反転されて“H”レベルとなり、つづくインバータ19
0に入力される。この“H”レベルの信号は、インバー
タ190において反転されて“L”レベルの信号とな
り、スイッチング素子TR121をOFF状態にする。
【0091】こうして、スイッチング素子TR120お
よびTR121はともにOFF状態となり、データ入出
力端子DQ0に出力される信号は、ハイインピーダンス
(Hi−z)状態となる。すなわち、データ入出力端子
DQ0に出力される信号のレベルは不確定となり、これ
により、読み出しデータのディセーブル動作が達成され
る。
【0092】つづく第4のCLK信号のパルス発生期間
(期間(4))詳しくはパルス立ち上がり時は、再びM
ASK0信号が“L”レベルを示し、期間(2)と同様
な状態となる。
【0093】以上に説明したSDRAMのように、複数
ビットのデータ入出力端子を備え、かつデータの書き込
み/読み出しの可否を選択可能なマスク/ディセーブル
端子を備えた半導体記憶装置を含めた半導体記憶装置の
動作を確認するための試験は、一般に、半導体記憶装置
の各端子に端子接続ピンを接続するICテスタを使用し
ておこなわれている。
【0094】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ICテ
スタが使用可能なドライバやコンパレータの数すなわち
端子接続ピンの数には限りがあり、同時に試験をおこな
える半導体記憶デバイスの数は制限される。特に、上記
のようなマスク/ディセーブル端子を備える半導体記憶
デバイスを試験する場合には、すべての半導体記憶デバ
イスの入出力データを試験するためには、各半導体記憶
デバイスのすべてのマスク/ディセーブル端子に対して
試験用の端子接続ピンを用意しなければならず、同時に
試験をおこなえる半導体記憶デバイスの数は制限される
ことになっていた。
【0095】図26は、従来の半導体記憶装置のICテ
スタによる試験動作を示す説明図であり、上述した従来
の半導体記憶装置をICテスタによって試験をする場合
の当該ICテスタの接続状態を示すものである。図示は
省略するが、ICテスタにおいては、通常、複数の半導
体記憶デバイスをそれぞれソケットに装着し、同時に試
験をおこなうことで、試験時間の短縮を図っている。
【0096】図26に示すように、2つの半導体記憶デ
バイス191および192の同時試験をおこなう場合、
各半導体記憶デバイスのデータ入出力端子DQ0〜DQ
15は、共通のデータバスラインに接続され、/RA
S、/CASおよび/WE端子もまた、共通の制御コマ
ンドラインに接続されるので、それら共通のデータバス
ラインおよび共通の制御コマンドラインに必要なICテ
スタの接続端子ピン数は、各データ入力端子DQ0〜D
Q15用として16個、および/RAS、/CASおよ
び/WE端子用として3個となる。
【0097】したがって、データバスラインおよび制御
コマンドラインに必要な接続端子ピン数は、同時に試験
をおこなう半導体記憶デバイスの数によって変化しな
い。一方、マスク/ディセーブル端子は、各半導体記憶
デバイスに対してそれぞれ2つずつ備わっており、各半
導体記憶デバイスのマスク/ディセーブル端子を個別に
制御する必要があるので、それぞれのDQMLおよびD
QMU端子に接続する合計4個の接続端子ピンをさらに
用意しなければならない。2つの半導体デバイス191
および192のマスク/ディセーブル端子2つずつを接
続すると合計23個のピンが必要となるので、例えば、
ICテスタにおいて使用可能な接続端子ピン数が23個
とすると、このICテスタでは、3つ以上の半導体デバ
イスを接続して同時に試験をすることはできないことに
なる。
【0098】このように、マスク/ディセーブル端子を
備えた複数の半導体記憶デバイスを同時に試験するに
は、マスク/ディセーブル端子を備えていない半導体記
憶デバイスを試験する場合と比較して、ICテスタのド
ライバ/コンパレータを、(各半導体記憶デバイスのマ
スク/ディセーブル端子の数)×(試験する半導体記憶
デバイスの数)で計算される個数分がさらに必要とな
る。これにより、同時に試験可能な半導体記憶デバイス
の数が減少してしまい、試験時間を多く費やすことにな
るといった問題点があった。特に、大量の半導体記憶デ
バイスの試験をおこなう場合には、上記問題は、顕著な
ものになっていた。
【0099】この問題を解決するために、ICテスタに
おいて、ドライバ/コンパレータの数を増やすことや、
データバスラインを増設すること、またはあらかじめ十
分な数のドライバ/コンパレータを備えたICテスタを
使用することなどの対応が考えられるが、一般的に、そ
のようなオプションやICテスタは高価であり、設備投
資コストの増大につながるため余り現実的ではない。
【0100】本発明は、上記に鑑みてなされたものであ
って、現在使用しているICテスタを用いて、一度によ
り多くの半導体記憶デバイスの試験を可能にして、利便
性、特に試験をおこなう際の利便性を高めた半導体記憶
装置を提供することを目的とする。
【0101】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、請求項1の発明にかかる半導体
記憶装置にあっては、複数のデータ入出力端子と、複数
のマスク/ディセーブル端子と、を有し、各マスク/デ
ィセーブル端子に割り当てられた前記データ入出力端子
から入出力されるデータの書き込み/読み出しを前記マ
スク/ディセーブル端子に印加されるマスク/ディセー
ブル制御信号に応答して禁止するマスク/ディセーブル
動作をおこなうことが可能な半導体記憶装置において、
前記マスク/ディセーブル端子に対する前記データ入出
力端子の割り当てを変更する割り当て変更手段を備えた
ことを特徴とする。
【0102】この請求項1の発明によれば、マスク/デ
ィセーブル端子ごとに書き込み/読み出しを禁止するデ
ータ入出力端子の割り当てを変更することができ、1の
マスク/ディセーブル端子の使用が禁止されても、当該
1のマスク/ディセーブル端子に割り当てられたデータ
入出力端子のマスク/ディセーブル動作を他のマスク/
ディセーブル端子で制御することが可能になる。
【0103】また、請求項2の発明にかかる半導体記憶
装置にあっては、複数のデータ入出力端子と、複数のマ
スク/ディセーブル端子と、を有し、各マスク/ディセ
ーブル端子に割り当てられた前記データ入出力端子から
入出力されるデータの書き込み/読み出しを禁止するマ
スク/ディセーブル動作をおこなう半導体記憶装置にお
いて、入力される複数の動作モード信号を判別する判別
手段と、前記判別手段による判別の結果、前記判別手段
により判別された動作モード信号に基づいて前記マスク
/ディセーブル端子に対する前記データの割り当てを変
更する割り当て変更手段と、を備えたことを特徴とす
る。また、請求項3の発明にかかる半導体記憶装置にあ
っては、請求項2の発明において、前記第2の動作モー
ドは試験モードであることを特徴とする。
【0104】また、請求項4の発明にかかる半導体記憶
装置にあっては、請求項2の発明において、前記半導体
記憶装置のデータ入出力端子は、前記第1および第2の
データ入出力端子群で構成され、前記第2の動作モード
時、前記第1のマスク/ディセーブル端子に印加する前
記マスク/ディセーブル制御信号で、前記第1および第
2のデータ入出力端子群の前記マスク/ディセーブル動
作を制御するように構成されていることを特徴とする。
【0105】これら請求項2〜4の発明によれば、第2
の動作モード(試験モード)の際、第1のマスク/ディ
セーブル端子で、第1および第2のデータ入出力端子群
の両方のマスク/ディセーブル動作を制御することがで
きるようになり、第2の動作モード時に使用するマスク
/ディセーブル端子の数を削減することができ、以って
ICテスタに同時に試験することができる半導体記憶デ
バイスの数を増やすことができる。
【0106】また、請求項5の発明にかかる半導体記憶
装置にあっては、請求項2の発明において、さらに、前
記第1および第2のデータ入出力端子のデータをメモリ
セルアレイ部にそれぞれ書き込みおよび該メモリセルア
レイ部からのデータを該第1および第2のデータ入出力
端子にそれぞれ読み出すための第1および第2の書き込
み/読み出し制御回路部を有し、前記変更手段は、前記
判別手段からの動作モード信号に応答して、前記第1お
よび第2のマスク/ディセーブル端子と前記第1および
第2の書き込み/読み出し制御回路部相互間の接続関係
を選択的に切替えるように構成されていることを特徴と
する。
【0107】また、請求項6の発明にかかる半導体記憶
装置にあっては、請求項5の発明において、前記第1お
よび第2の書き込み/読み出し制御回路部の各々は、前
記データ入出力端子のデータを取込みおよび前記データ
入出力端子にデータを出力するためのI/Oデータバッ
ファ回路と、該I/Oデータバッファ回路からのデータ
を受け、それを増幅してデータバスへ出力し、該データ
バスに伝送されたデータをセンスして前記I/Oデータ
バッファ回路へ伝送するライトアンプ/センスバッファ
回路を有し、前記変更手段は前記ライトアンプ/センス
バッファ回路を制御することを特徴とする。
【0108】また、請求項7の発明にかかる半導体記憶
装置にあっては、請求項6の発明において、前記変更手
段は、さらに前記I/Oデータバッファ回路も制御する
ように構成されていることを特徴とする。
【0109】これら請求項5〜7の発明によれば、変更
手段により第1および第2のマスク/ディセーブル端子
と第1および第2の書き込み/読み出し制御回路部相互
間の接続関係を切替えることで請求項2に記載されてい
る動作モードに基づくデータ入出力端子群とマスク/デ
ィセーブル端子との対応関係の変更を容易に実施するこ
とができる。
【0110】
【発明の実施の形態】以下に、本発明にかかる半導体記
憶装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるもの
ではない。また、この実施の形態においては、本発明に
かかる半導体記憶装置を、外部クロックに同期して動作
するSDRAMを例として説明する。
【0111】図1は、本発明にかかる半導体記憶装置を
パッケージした半導体記憶デバイス(特に、この実施の
形態においては、パッケージされたSDRAM)のIC
テスタによる試験における、ICテスタと各半導体記憶
デバイス1〜4との結線を示す説明図である。ICテス
タにおいては、通常、複数の半導体記憶デバイスをそれ
ぞれソケットに装着し、同時に試験をおこなうことで、
試験時間の短縮を図っている。
【0112】図26に記載の従来例と異なる点は、従来
は、ICテスタから各デバイスに対しDQML信号とD
QMU信号を供給しているのに対し、本発明では図1に
示すごとくICテスタは各デバイスに対し1つのDQM
信号(例えばDQMU信号)のみしか供給しない。
【0113】図1において、半導体記憶デバイスの16
個のデータ入出力端子DQ0〜DQ15は共用のデータ
バスラインに接続され、/RAS、/CASおよび/W
E端子もまた、共用の制御コマンドラインに接続される
ので、この段階で、ICテスタにおいて19個の接続端
子ピンが必要となる。
【0114】これに加えて、各半導体記憶デバイスのマ
スク/ディセーブル端子に接続するための接続端子ピン
が必要とされるが、本発明にかかる半導体記憶デバイス
においては、2つのうちの1つのマスク/ディセーブル
端子の接続のみで試験動作を可能としているので、IC
テスタの使用可能な接続端子ピン数が23個であるとす
ると、残りの4個の接続端子ピンのそれぞれに、各半導
体記憶デバイスのマスク/ディセーブル端子を割り当て
ることができる。
【0115】したがって、図1に示すように、半導体記
憶デバイス1〜4の各DQMU端子がICテスタに接続
され、各DQML端子は接続されない。これにより、I
Cテスタにおいて使用可能な接続端子ピン数が23個で
ある場合に、従来の半導体記憶デバイスを同時に2つ使
用した試験を可能としたが、本実施の形態によれば、そ
の半導体記憶デバイスを同時に4つ使用した試験を可能
とする。このように、本実施の形態にかかる半導体記憶
デバイスは、ICテスタにおいて同時に試験できる個数
を、従来と比較して倍増させることができるので、IC
テスタに対して新たな投資をすることなく、大幅な試験
時間の短縮と試験コストの削減が図ることができる。
【0116】ここで、DQML信号とDQMU信号のう
ち一方だけしか各デバイスに供給しなければ、複数のデ
ータ入出力端子のうち半数についてマスク/ディセーブ
ル動作制御ができなくなってしまうが、本発明では、試
験モード時、ICテスタから供給する1つのDQM信号
(例えばDQMU信号)でデバイス全てのデータ入出力
端子のマスク/ディセーブル動作制御をおこなえるよう
に構成することで、前述の不具合を解消している。その
構成について、以下に詳述する。
【0117】(実施の形態1)図2は、実施の形態1に
かかる半導体記憶装置の概略構成を示すブロック図であ
る。図2において、半導体記憶装置であるSDRAM1
0は、従来の技術において説明したSDRAMと同様
に、MPUによってそのMPUのアドレス空間よりも大
きな容量のメモリを管理できるメモリ・バンク方式が採
用された場合のSDRAMを示している。
【0118】従来の図13と異なる点は、テストモード
デコーダ26およびDQM切り替え回路27を設け、通
常モード時は、外から入力されるDQML信号およびD
QMU信号を、それぞれそのままMASK0信号および
MASK1信号として各バンクに与え、試験モード時
は、DQML信号およびDQMU信号のうちの一方をM
ASK0’信号およびMASK1信号の両方に与え、そ
れらを各バンクに供給している点である。
【0119】図2において、SDRAM10は、記憶単
位となるメモリセルをマトリクス状に配置させたメモリ
アレイを、2つのバンク(バンク0、バンク1)に分割
している。また、各バンクは、複数のブロックに分割し
ている。そして、各ブロックは、ロウデコーダ12およ
びコラムデコーダ13を備え、これらデコーダにより、
各ブロックの担うメモリアレイ11から1つのメモリセ
ルを選択する。
【0120】ここで、ロウデコーダ12は、ロウアドレ
ス信号20を受けて、行方向のメモリセルを特定するワ
ード線(図示せず)から1つを選択する回路である。ま
た、コラムデコーダ13は、コラムアドレス信号21を
受けて、列方向のメモリセルを特定するビット線(図示
せず)から1つを選択する回路である。また、各ビット
線上には、メモリセルに蓄えられた電荷を増幅させるセ
ンスアンプ14が接続されている。
【0121】例えば、1MビットのSDRAMを例にと
ると、バンク0およびバンク1は、それぞれ64kバイ
ト(512kビット)を有し、各バンクは、128kビ
ットのメモリ容量(128kのメモリセル)を有するブ
ロックに4分割される。この場合、各ブロックのロウデ
コーダは、512個のロウアドレスから1つのワード線
を特定し、コラムデコーダ/センスアンプは、256個
のコラムアドレスから1つのビット線を特定する。
【0122】バンク0またはバンク1において、データ
の読み出し命令を受け、ロウデコーダ12およびコラム
デコーダ13によって特定されたメモリセルのデータ
は、グローバルデータバス(GDB)16を経由してラ
イトアンプ/センスバッファ15(ただし、この場合、
センスバッファが機能する)に入力する。SDRAM1
0では、複数ビットのデータ入出力を可能としているの
で、例えば16ビットのデータ入出力の場合、入力され
るロウアドレス信号20およびコラムアドレス信号21
に対して特定されるメモリセルの2バイト(16ビッ
ト)分のデータをライトアンプ/センスバッファ15に
蓄積してパラレル出力を可能としている。
【0123】ライトアンプ/センスバッファ15に蓄積
された読み出しデータは、I/Oデータバッファ/レジ
スタ17に導かれ、I/Oデータバッファ/レジスタ1
7のデータ入出力端子DQ0〜DQn(上の例では、n
=15)から出力される。
【0124】一方、バンク0またはバンク1において、
データの書き込み命令を受けると、I/Oデータバッフ
ァ/レジスタ17のデータ入出力端子DQ0〜DQn
(上の例では、n=15)から入力された書き込みデー
タは、ライトアンプ/センスバッファ15(ただし、こ
の場合、ライトアンプが機能する)に導かれる。ライト
アンプ/センスバッファ15に導かれたデータは、続い
てGDB16を経由し、ロウデコーダ12およびコラム
デコーダ13により特定されたメモリセルに書き込まれ
る。
【0125】前述したデータの読み出しの場合と同様
に、例えば16ビットのデータ入出力の場合、入力され
るロウアドレス信号20およびコラムアドレス信号21
によって特定されるメモリセルに、ライトアンプ/セン
スバッファ15に蓄積された2バイト(16ビット)分
のデータを入力することができる。
【0126】ロウアドレス信号20およびコラムアドレ
ス信号21は、アドレスバッファ/レジスタ&バンクセ
レクト18のアドレス端子A0〜Anから入力される信
号に基づいて生成される。実際には、ロウアドレス信号
20およびコラムアドレス信号21は、アドレス端子A
0〜Anに入力されるアドレス信号を、アクティブ命令
信号と、読み出し/書き込み命令信号によるラッチタイ
ミングによって時分割(マルチプレクス)で取り込むこ
とにより生成される。なお、アドレスの最上位ビットで
あるAnは、バンク0かバンク1かを選択するためのバ
ンクセレクト用として使用される。
【0127】また、バンク0およびバンク1には、RA
S信号30、CAS信号31およびWE信号32が入力
され、これら3つの信号の組み合わせによって、データ
の書き込み命令や読み出し命令等の制御命令を判別す
る。特に、この制御命令によって、ライトアンプ/セン
スバッファ15の機能が決定される。
【0128】例えば、制御命令が書き込み命令を示す場
合、ライトアンプ/センスバッファ15は、ライトアン
プとして機能し、I/Oデータバッファ/レジスタ17
より複数ビットのデータを取り込み、取り込んだデータ
を、GDB16を経由させてセンスアンプ14またはメ
モリアレイ11に転送する。一方、制御命令が読み出し
命令を示す場合、ライトアンプ/センスバッファ15
は、センスバッファとして機能し、GDB16を経由し
てセンスアンプ14またはメモリアレイ11からデータ
を取り込み、取り込んだデータをI/Oデータバッファ
/レジスタ17に転送する。
【0129】バンク0およびバンク1に入力されるRA
S信号30、CAS信号31およびWE信号32は、制
御信号ラッチ23から出力される。制御信号ラッチ23
は、コマンドデコーダ22からコマンド信号35を入力
し、コマンド信号35が示す制御命令をラッチして、そ
のラッチした制御命令を、RAS信号30、CAS信号
31およびWE信号32の3つの信号の組み合わせで表
せるように各信号を生成して出力する。
【0130】コマンドデコーダ22は、/CS信号、/
RAS信号、/CAS信号および/WE信号を入力し、
各信号の組み合わせから制御命令を決定し、その制御命
令を示すコマンド信号35を出力する。また、コマンド
デコーダ22は、/CS信号、/RAS信号、/CAS
信号および/WE信号の組み合わせからデータのアクセ
スモードを決定し、そのアクセスモードを示すモード信
号36を出力する。このモード信号36は、モードレジ
スタ24に入力される。
【0131】モードレジスタ24は、モード信号36
と、アドレスバッファ/レジスタ&バンクセレクト18
によって中継されるアドレス信号A0〜Anとを入力し
て一時的に記憶する。コラムアドレスカウンタ19は、
モードレジスタ24に記憶されたモード信号とアドレス
信号から、連続読み出しモード等のアクセスモードを判
別し、アクセスモードに応じたコラムアドレス信号21
を生成して出力する。
【0132】SDRAM10は、例えばMPUのシステ
ムクロックといった外部から与えられる同期信号(CL
K)によって動作し、高速に動作することを特徴として
いる。クロックバッファ25は、その外部から与えられ
るクロック信号(CLK)およびそのクロック信号の出
力を制御するクロックイネーブル信号(CKE)を入力
し、入力したクロック信号を上記した各回路に供給して
いる。
【0133】クロックバッファ25は、入力したクロッ
クイネーブル信号をコマンドデコーダ22、アドレスバ
ッファ/レジスタ&バンクセレクト18およびI/Oデ
ータバッファ/レジスタ17に入力しており、これら回
路を動作させない場合にクロック信号の供給を停止させ
ることで、消費電力の低減を実現している。
【0134】I/Oデータバッファ/レジスタ17は、
マスク/ディセーブル端子からマスク/ディセーブル信
号を入力する。特に、I/Oデータバッファ/レジスタ
17は、DQMU端子から、データ信号DQ0〜DQn
の上位ビットに対するマスク/ディセーブルをおこなう
ための信号をDQMU信号として入力する。また、DQ
ML端子から、データ信号DQ0〜DQnの下位ビット
に対してマスク/ディセーブルをおこなうための信号を
DQML信号として入力する。
【0135】さらに、本発明のSDRAM10において
は、テストモードデコーダ26およびDQM切り替え回
路(マスク/ディセーブル切り替え回路)27を備えて
おり、このテストモードデコーダ26およびDQM切り
替え回路27が、ICテスタによる試験時にDQML信
号またはDQMU信号の一方に基づいてMASK0’信
号およびMASK1信号を出力する。ここで、テストモ
ードデコーダ26は、コマンドデコーダ22において/
RAS信号、/CAS信号および/WE信号の組み合わ
せにより決定されて出力されるテスト命令信号(TCS
信号)37と、アドレスバッファ/レジスタ&バンクセ
レクト18に入力されるアドレス信号A0〜Anの一部
または全てを入力し、テスト信号38をDQM切り替え
回路27へ出力する。
【0136】なお、テスト命令信号(TCS信号)37
は、ICテスタによる半導体記憶装置の試験をおこなう
ための動作モード信号であり、半導体記憶装置がICテ
スタに装着された際に、ICテスタ側からテストモード
を示す/RAS信号、/CAS信号および/WE信号が
送信されることによって、コマンドデコーダ22から出
力される信号である。
【0137】また、アドレスバッファ/レジスタ&バン
クセレクト18からテストモードデコーダ26に与えら
れるアドレス信号は、具体的にどのような試験を行うの
かを指示する。テストモードデコーダ26は、コマンド
デコーダ22から試験モードを示すテスト命令信号37
を受け、かつアドレスバッファ/レジスタ&バンクセレ
クト18より書き込みマスク/読み出しディセーブル試
験を指示する信号を受け取ると、テスト信号38を活性
化する。
【0138】DQM切り替え回路27は、テストモード
デコーダ26から出力されるテスト信号38と、I/O
データバッファ/レジスタ17を介して入力されるDQ
ML信号(MASK0)およびDQMU信号(MASK
1)とを入力し、テスト信号38の信号レベルに応じ
て、通常時は、MASK0信号およびMASK1信号を
そのまま出力し、テスト時は、テスト信号38およびM
ASK0信号またはMASK1信号に基づいてDQML
信号(MASK0’)またはDQMU信号(MASK
1’)を擬似的に出力する。なお、図2の実施例では、
DQM切り替え回路27は、MASK1信号を通常時、
テスト時にかかわらずそのまま出力するが、MASK0
信号は、通常時はそのまま出力し、テスト時は、テスト
信号38およびMASK1信号に基づいて、MASK
0’信号を生成するようになっている。
【0139】DQM切り替え回路27から出力されるM
ASK0’信号およびMASK1信号は、バンク0およ
びバンク1に送信され、各バンクのライトアンプ/セン
スバッファ15に入力される。MASK1信号が“H”
レベルを示し、かつバンク0およびバンク1に与えられ
る制御命令が書き込み命令を示す場合には、ライトアン
プ/センスバッファ15は、データ信号DQ0〜DQn
の上位ビットに相当するデータに対してマスクすなわち
書き込み禁止の状態となる。また、MASK0’信号が
“H”レベルを示し、かつバンク0およびバンク1に与
えられる制御命令が書き込み命令を示す場合には、ライ
トアンプ/センスバッファ15は、データ信号DQ0〜
DQnの下位ビットに相当するデータに対してマスクす
なわち書き込み禁止の状態となる。
【0140】MASK1信号が“H”レベルを示し、か
つバンク0およびバンク1に与えられる制御命令が読み
出し命令を示す場合には、ライトアンプ/センスバッフ
ァ15は、データ信号DQ0〜DQnの上位ビットに相
当するデータに対してディセーブルすなわち読み出し禁
止の状態となる。また、MASK0’信号が“H”レベ
ルを示し、かつバンク0およびバンク1に与えられる制
御命令が読み出し命令を示す場合には、ライトアンプ/
センスバッファ15は、データ信号DQ0〜DQnの下
位ビットに相当するデータに対してディセーブルすなわ
ち読み出し禁止の状態となる。
【0141】なお、実際のSDRAMには、メモリセル
に書き込まれたデータをビット線に読み出し、センスア
ンプにより増幅して再書き込みをおこなう動作、所謂リ
フレッシュをおこなうためのリフレッシュコントローラ
を必要とするが、図2においては、SDRAMの動作を
容易に理解するため、それを省略している。
【0142】図3は、実施の形態1にかかる半導体記憶
装置をパッケージした半導体記憶デバイスの概観図であ
り、図2のSDRAM10をパッケージ化した状態(特
に、SDRAMデバイスと称する)を示している。図3
において、SDRAMデバイスは、50ピンの端子から
構成されている。
【0143】50ピンの端子のうち、DQ0〜DQ15
は、データ入出力端子であり、図2に示したI/Oデー
タバッファ/レジスタ17に接続され、16ビットのパ
ラレル入出力を可能としている。また、A0〜A10
は、アドレス端子であり、A11は、前述したバンクセ
レクト用の端子である。A0〜A11端子は、図2に示
したアドレスバッファ/レジスタ&バンクセレクト18
に接続される。
【0144】/WE、/CASおよび/RASは、SD
RAMの制御クロックを入力するための端子である。/
WE端子は、データの書き込み/読み出し動作に関与
し、/CAS端子は、コラムアドレスのラッチに関与
し、/RAS端子は、ロウアドレスのラッチに関与す
る。また、/CSは、SDRAMデバイスを複数個使用
してSDRAMモジュールを構成した場合に、各SDR
AMデバイスを活性状態にするためのチップセレクト端
子である。以上の/WE、/CAS、/RASおよび/
CSの4つの端子から入力される信号は図2に示したコ
マンドデコーダ22に導かれ、各信号の組み合わせによ
り、上述した制御命令やアクセスモードといったSDR
AMの動作モードを決定する。
【0145】CLKおよびCKEは、図2に示したクロ
ックバッファ25に接続される端子であり、それぞれS
DRAMの同期クロック信号(CLK)およびそのクロ
ックイネーブル信号(CKE)を与える。DQMLおよ
びDQMUは、マスク/ディセーブル端子であり、図2
に示したI/Oデータバッファ/レジスタ17に接続さ
れる。図3に示すSDRAMデバイスにおいては、DQ
ML端子が、データ入出力端子DQ0〜7のマスク/デ
ィセーブルを制御し、DQMU端子が、データ入出力端
子DQ8〜15のマスク/ディセーブルを制御する。
【0146】図4は、実施の形態1にかかる半導体記憶
装置のうち、I/Oデータバッファ/レジスタ17、D
QM切り替え回路27およびライトアンプ/センスバッ
ファ15のより詳細な構成を説明する図である。図4
は、特に、前述した図18〜22に示したライトアンプ
&センスバッファ141とI/Oデータバッファ131
にそれぞれ相当するライトアンプ&センスバッファ51
とI/Oデータバッファ41を採用した構成を示してい
る。以下は、図4を用いて、SDRAM10のデータ入
出力の動作およびDQM切り替え回路27における動作
を詳細に説明するものである。
【0147】図2に示したI/Oデータバッファ/レジ
スタ17は、実際には、図4に示すように、DQ0〜D
Q15のデータ入出力端子に接続されたI/Oデータバ
ッファ41と、DQMLおよびDQMUのマスク/ディ
セーブル端子にそれぞれ接続されたDQM入力バッファ
42およびDQM入力バッファ43に細分化される。
【0148】また、図2に示したライトアンプ/センス
バッファ15も、実際には、図4に示すように、DQ0
〜DQ15のデータ入出力端子にそれぞれ対応したライ
トアンプ&センスバッファ51に細分化される。また、
DQM入力バッファ42は、DQM切り替え回路27に
接続されており、DQM入力バッファ43は、データ入
出力端子DQ8〜DQ15に対応した8つのライトアン
プ&センスバッファ51と、DQM切り替え回路27と
に接続されている。
【0149】DQM切り替え回路27は、入力信号の1
つとしてテストモードデコーダ26からテスト信号38
を入力し、信号の出力先としてデータ入出力端子DQ0
〜DQ7に対応した8つのライトアンプ&センスバッフ
ァ51に接続されている。したがって、DQM切り替え
回路27は、DQM入力バッファ42から出力されるD
QML信号(MASK0)と、DQM入力バッファ43
から出力されるDQMU信号(MASK1)と、テスト
モードデコーダ26から出力されるテスト信号38とを
入力し、データ入出力端子DQ0〜DQ7に対応した8
つのライトアンプ&センスバッファ51に対してMAS
K0’信号を出力する。
【0150】ここで、DQM切り替え回路27は、2つ
のトランスファゲートSW0およびSW1と、1つのイ
ンバータ60とから構成される。トランスファゲートS
W0の一方の接点端子は、MASK0信号を入力する入
力端子すなわちDQM入力バッファ42に接続され、他
方の接点端子は、DQ0〜DQ7に対応したDQML信
号であるMASK0’を出力する出力端子すなわちデー
タ入出力端子DQ0〜DQ7に対応した8つのライトア
ンプ&センスバッファ51に接続されている。
【0151】また、トランスファゲートSW1の一方の
接点端子は、MASK1信号を入力する入力端子、すな
わちDQM入力バッファ43に接続され、他方の接点端
子は、トランスファゲートSW0の他方の接点端子とと
もに、MASK0’を出力する出力端子、すなわちデー
タ入出力端子DQ0〜DQ7に対応した8つのライトア
ンプ&センスバッファ51に接続されている。
【0152】さらに、トランスファゲートSW0の一方
の制御端子は、インバータ60の出力端子と接続され、
他方の制御端子は、テスト信号38の入力端子と接続さ
れている。また、トランスファゲートSW1の一方の制
御端子は、テスト信号の入力端子と接続され、他方の制
御端子は、インバータ60の出力端子と接続されてい
る。インバータ60の入力端子はテスト信号38の入力
端子に接続されている。
【0153】図5は、テスト信号38の信号レベルとト
ランスファゲートSW0およびSW1のON/OFF状
態との関係を示す説明図である。このような構成におい
て、図5に示すように、テスト信号38が“L”レベル
を示す場合、すなわち通常動作時には、トランスファゲ
ートSW0はON状態となり、DQM入力バッファ42
から出力されたMASK0信号がそのままDQML信号
として、データ入出力端子DQ0〜DQ7に対応した8
つのライトアンプ&センスバッファ51に入力される。
この場合、トランスファゲートSW1はOFF状態を示
し、DQM入力バッファ43から出力されたMASK1
信号は、DQM切り替え回路27から出力されない。
【0154】一方、テスト信号38が“H”レベルを示
す場合、すなわちテスト時には、トランスファゲートS
W0はOFF状態となり、DQM入力バッファ42から
出力されたMASK0信号は、DQM切り替え回路27
から出力されない。この場合、トランスファゲートSW
1はON状態を示し、DQM入力バッファ43から出力
されたMASK1信号がそのままDQML信号として、
データ入出力端子DQ0〜DQ7に対応した8つのライ
トアンプ&センスバッファ51に入力される。
【0155】テスト信号38が“L”レベルを示す場合
すなわち通常のデータの書き込み/読み出し動作におい
て、バンク詳しくはライトアンプ&センスバッファ51
にデータの書き込み命令が与えられた場合、データ入出
力端子DQ0〜DQ15に入力された各データは、それ
ぞれ対応するI/Oデータバッファ41を介してライト
アンプ&センスバッファ51に入力され、GDBに送出
される。
【0156】この際、DQML端子から入力されるマス
ク/ディセーブル信号が“H”レベルを示す場合すなわ
ちDQM切り替え回路27から出力されるDQML信号
が“H”レベルを示す場合には、データの書き込み禁止
を意味し、DQ0〜DQ7に対応するライトアンプ&セ
ンスバッファ51からGDBへのデータ送出はおこなわ
れない。また、同様に、DQMU端子から入力されるマ
スク/ディセーブル信号が“H”レベルを示す場合に
は、DQ8〜DQ15に対応するライトアンプ&センス
バッファ51からGDBへのデータ送出はおこなわれな
い。
【0157】また、テスト信号38が“L”レベルを示
す場合すなわち通常のデータの書き込み/読み出し動作
において、バンク詳しくはライトアンプ&センスバッフ
ァ51にデータの読み出し命令が与えられた場合、ロウ
アドレス信号およびコラムアドレス信号によって順次に
特定されるメモリセルのデータは、センスアンプを介し
てGDBに送出され、各GDBに接続されたライトアン
プ&センスバッファ51に入力される。各ライトアンプ
&センスバッファ51に入力されたデータは、それぞれ
対応するI/Oデータバッファ41に送出され、データ
入出力端子DQ0〜DQ15から出力される。
【0158】この際、DQML端子から入力されるマス
ク/ディセーブル信号が“H”レベルを示す場合すなわ
ちDQM切り替え回路27から出力されるDQML信号
が“H”レベルを示す場合には、データの読み出しの禁
止を意味し、DQ0〜DQ7に対応するライトアンプ&
センスバッファ51からI/Oデータバッファ41への
データ送出はおこなわれない。また、同様に、DQMU
端子から入力されるマスク/ディセーブル信号が“H”
レベルを示す場合には、DQ8〜DQ15に対応するラ
イトアンプ&センスバッファ51からI/Oデータバッ
ファ41へのデータ送出はおこなわれない。
【0159】一方、テスト信号38が“H”レベルを示
すテスト時には、DQM入力バッファ43から送出され
るDQMU信号が、データ入出力端子DQ0〜DQ15
に対応したすべてのライトアンプ&センスバッファ51
に入力されるので、このDQMU信号のみで、すべての
データ入出力端子のマスク/ディセーブル制御をおこな
うことができる。すなわち、テスト時にICテスタから
各半導体記憶デバイスのDQML端子に対し、制御信号
を送出する必要がなくなる。一方、テスト信号38が
“L”レベルを示す通常動作時には、従来どおりに、D
QML信号およびDQMU信号の各信号レベルによっ
て、それぞれに分担されたデータ入出力端子のマスク/
ディセーブル制御をおこなうことができる。これは、I
Cテスタを使用した半導体記憶デバイスの試験におい
て、マスク/ディセーブル動作のために割り当てられる
コンパレータ/ドライバの数を半減させたことを意味す
る。
【0160】以上に説明した実施の形態1においては、
ライトアンプ&センスバッファ51のうち、データの読
み出しに対するディセーブル動作をセンスバッファが担
い、データの書き込みに対するマスク動作をライトアン
プが担うものとして説明を行ったが、図23〜25に示
したように、データの読み出しに対するディセーブル動
作をI/Oデータバッファが担い、データの書き込みに
対するマスク動作をライトアンプが担う構成としてもよ
い。すなわち、図4に示すライトアンプ&センスバッフ
ァ51のセンスバッファと、I/Oデータバッファ41
を、それぞれ図23に示すセンスバッファ151aとI
/Oデータバッファ131aに替えることができる。
【0161】図6は、I/Oデータバッファにおいてデ
ィセーブル動作を可能とするI/Oデータバッファ41
aと、ライトアンプのみにマスク/ディセーブル信号が
供給されるライトアンプ&センスバッファ51と、DQ
M切り替え回路27との間の結線関係に注目したより詳
細な構成を説明する図である。図6において、図4と異
なる点は、DQM切り替え回路27から出力されるMA
SK0’信号が、データ入出力端子DQ0〜DQ7に対
応するライトアンプ&センスバッファ51だけでなく、
データ入出力端子DQ0〜DQ7に対応するI/Oデー
タバッファ41aにも供給されている点と、DQM入力
バッファから出力されるMASK1信号が、データ入出
力端子DQ8〜DQ15に対応するライトアンプ&セン
スバッファ51だけでなく、データ入出力端子DQ8〜
DQ15に対応するI/Oデータバッファ41aにも供
給されている点である。
【0162】これにより、書き込みデータのマスク動作
に関しては、ライトアンプ&センスバッファ51(特
に、ライトアンプ)が担い、読み出しデータのディセー
ブル動作に関しては、I/Oデータバッファ41aが担
うことが可能になる。
【0163】以上に説明した実施の形態1にかかる半導
体記憶装置によれば、データのマスク/ディセーブル動
作をおこなうためのマスク/ディセーブル端子を複数個
備えた半導体記憶装置において、データの書き込み/読
み出し等の制御命令を構成するための複数の入力信号の
組み合わせから、ICテスタ等による試験をおこなうた
めのテストモードを判断し、該テストモードを示すテス
ト信号を出力するテストモードデコーダと、前記テスト
信号がアクティブ状態を示す場合に、複数個のマスク/
ディセーブル端子のうちの1つのマスク/ディセーブル
端子のみを使用することで、すべてのデータのマスク/
ディセーブル動作を可能とするDQM切り替え回路とを
備えているので、ICテスタにおいてマスク/ディセー
ブル動作の試験のために使用するコンパレータ/ドライ
バの数を減らすことができ、同時に試験可能な半導体記
憶装置の数を増加させることができる。これにより、本
実施の形態にかかる半導体記憶装置は、試験時間の大幅
な短縮と試験コストの削減を達成させることができる。
【0164】(実施の形態2)つぎに、実施の形態2に
かかる半導体記憶装置について説明する。実施の形態1
との相違点は、テストモードデコーダ26よりDQM切
り替え回路90に対し、テスト信号38とテスト命令信
号39を供給するようにした点と、DQM切り替え回路
90の構成をそれに合わせて修正した点である。図7
は、実施の形態2にかかる半導体記憶装置の概略構成を
示すブロック図である。図7において、実施の形態2に
かかる半導体記憶装置であるSDRAM40は、テスト
モードデコーダ26が、コマンドデコーダ22から入力
されるテスト命令信号(TCS信号)37とアドレスバ
ッファ/レジスタ&バンクセレクト18から出力される
アドレス信号の一部によって、テスト信号38およびテ
スト命令信号(TCS信号)39を生成し、DQM切り
替え回路90が、これらのテスト信号38およびテスト
命令信号39を入力する。
【0165】図8は、実施の形態2にかかる半導体記憶
装置の要部構成を示す説明図であり、SDRAM40の
データ入出力部およびDQM切り替え回路90のより具
体的な構成を示すものである。図8は、特に、前述した
図18〜22に示したライトアンプ&センスバッファ1
41とI/Oデータバッファ131にそれぞれ相当する
ライトアンプ&センスバッファ54とI/Oデータバッ
ファ44を採用した構成を示している。図8において、
データ入出力端子DQ0〜DQ15に入力される各デー
タ信号は、それぞれのデータ入出力端子に対応するI/
Oデータバッファ44に入力され、DQML端子および
DQMU端子にそれぞれ入力されるDQML信号および
DQMU信号は、DQML端子およびDQMU端子にそ
れぞれに対応するDQM入力バッファ45およびDQM
入力バッファ46に入力される。
【0166】DQM切り替え回路90においては、さら
に、入力信号として、テストモードデコーダ26より、
テスト信号38およびTCS信号39を入力する。DQ
M切り替え回路90は、これらMASK0信号、MAS
K1信号、テスト信号38およびTCS信号39に応じ
て、ライトアンプ&センスバッファ54に対するマスク
/ディセーブル信号となるMASK0’信号およびMA
SK1’信号を出力する。
【0167】DQM切り替え回路90から出力されるM
ASK0’信号は、データ入出力端子DQ0〜DQ7に
対応した8つのライトアンプ&センスバッファ54に入
力される。このMASK0’信号の信号レベルによっ
て、データ入出力端子DQ0〜DQ7に入出力されるデ
ータのマスク/ディセーブル動作をおこなうことができ
る。また、DQM切り替え回路90から出力されるMA
SK1’信号は、データ入出力端子DQ8〜DQ15に
対応した8つのライトアンプ&センスバッファ54に入
力される。このMASK1’信号の信号レベルによっ
て、データ入出力端子DQ8〜DQ15に入出力される
データのマスク/ディセーブル動作をおこなうことがで
きる。
【0168】図9は、DQM切り替え回路90の回路構
成を示す説明図である。図9において、DQM切り替え
回路90は、4つのトランスファゲートSW10〜SW
13と、3つのインバータ71、73および75と、2
つのNANDゲート72および74とから構成される。
【0169】インバータ75は、その入力端子をテスト
信号38の入力端子に接続しており、その反転信号を出
力する。トランスファゲートSW10の一方の接点端子
は、MASK0信号を入力する入力端子すなわちDQM
入力バッファ45に接続され、他方の接点端子は、MA
SK0’信号を出力する出力端子すなわちデータ入出力
端子DQ0〜DQ7に対応した8つのライトアンプ&セ
ンスバッファ54に接続されている。
【0170】また、トランスファゲートSW11の一方
の接点端子は、MASK1信号を入力する入力端子すな
わちDQM入力バッファ46に接続され、他方の接点端
子は、MASK1’信号を出力する出力端子すなわちデ
ータ入出力端子DQ8〜DQ15に対応した8つのライ
トアンプ&センスバッファ54に接続されている。
【0171】さらに、トランスファゲートSW10の一
方の制御端子は、インバータ75の出力端子と接続し、
他方の制御端子は、テスト信号38の入力端子と接続し
ている。また、トランスファゲートSW11も同様に、
一方の制御端子は、インバータ75の出力端子と接続
し、他方の制御端子は、テスト信号38の入力端子と接
続している。
【0172】図10は、テスト信号38の信号レベルと
トランスファゲートSW10〜SW13のON/OFF
状態との関係を示す説明図である。図10に示すよう
に、テスト信号38が“L”レベルを示す場合(つま
り、通常動作時)、トランスファゲートSW10および
トランスファゲートSW11はON状態を示し、トラン
スファゲートSW10は、MASK0信号をそのままM
ASK0’信号として出力し、トランスファゲートSW
11は、MASK1信号をそのままMASK1’信号と
して出力する。
【0173】一方、テスト信号38が“H”レベルを示
す場合(つまり、テストモード時)、トランスファゲー
トSW10およびトランスファゲートSW11はOFF
状態を示し、トランスファゲートSW10は、MASK
0信号をMASK0’信号として出力しない。また、ト
ランスファゲートSW11においても、MASK1信号
をMASK1’信号として出力しない。
【0174】また、トランスファゲートSW12の一方
の接点端子は、NANDゲート74の出力端子に接続さ
れ、他方の接点端子は、トランスファゲートSW13の
一方の接点端子およびMASK0’信号を出力する出力
端子に接続されている。トランスファゲートSW13の
一方の接点端子は、トランスファゲートSW12の他方
の接点端子に接続され、他方の接点端子は、MASK
1’信号を出力する出力端子に接続されている。
【0175】さらに、トランスファゲートSW12の一
方の制御端子は、テスト信号38の入力端子と接続し、
他方の制御端子は、インバータ75の出力端子と接続し
ている。また、トランスファゲートSW13も同様に、
一方の制御端子は、インバータ75の出力端子と接続
し、他方の制御端子は、テスト信号38の入力端子と接
続している。
【0176】したがって、図10に示すように、テスト
信号38が“L”レベルを示す場合(通常動作時)、ト
ランスファゲートSW12はOFF状態を示し、NAN
Dゲート74からの信号は、MASK0’信号、MAS
K1’信号として送出されない。
【0177】一方、テスト信号38が“H”レベルを示
す場合(テスト時)、トランスファゲートSW12およ
びトランスファゲートSW13はともにON状態を示
し、トランスファゲートSW12は、NANDゲート7
4から入力された信号をMASK0’信号として出力
し、また、トランスファゲートSW13は、NANDゲ
ート74から出力された信号をMASK1’信号として
出力する。この時、TCS信号39は“H”レベルとな
っており、これによりNANDゲート72の出力は
“H”レベルに固定され、NANDゲート74は、イン
バータ73の出力信号に対するインバータとして機能す
る。したがって、MASK0’信号およびMASK1’
信号は、DQM入力バッファ46の出力信号であるMA
SK1信号と同じ論理レベルを示す。
【0178】したがって、以上に説明したトランスファ
ゲートSW10〜SW13の動作において、テスト信号
38が“L”レベルを示す場合(通常動作時)は、トラ
ンスファゲートSW10およびSW11がON状態とな
り、トランスファゲートSW12およびSW13がOF
F状態となるので、DQM切り替え回路に入力されたM
ASK0信号は、そのままMASK0’信号として出力
し、MASK1信号は、そのままMASK1’信号とし
て出力する。
【0179】また、テスト信号38が“H”レベルを示
す場合(テスト時)は、トランスファゲートSW10お
よびSW11がOFF状態となり、トランスファゲート
SW12およびSW13がON状態となるので、MAS
K0’信号およびMASK1’信号として出力される信
号は、ともにNANDゲート74から出力される信号の
レベルに依存して変化する。
【0180】つぎに、NANDゲート74の出力信号の
レベルを決定するNANDゲート72、インバータ71
および73の動作について説明する。まず、NANDゲ
ート74の一方の入力端子は、NANDゲート72の出
力端子に接続され、他方の入力端子は、インバータ73
の出力端子に接続されている。そして、NANDゲート
72の一方の入力端子は、MASK0信号を入力する入
力端子に接続され、他方の入力端子は、インバータ71
の出力端子に接続されている。インバータ71は、前述
したテストモードデコーダから出力されるTCS信号3
9を入力し、その反転信号を出力する。また、インバー
タ73は、MASK0信号を入力し、その反転信号を出
力する。
【0181】まず、TCS信号39が“H”レベルを示
す場合すなわち半導体記憶装置をテストモードとして動
作させる場合、インバータ71の出力は、“L”レベル
を示すので、NANDゲート72の出力は、MASK0
信号のレベルに関係なく、“H”レベルを示す。この状
態において、MASK1信号が“H”レベルを示す場合
は、インバータ73の出力は“L”レベルを示すので、
NANDゲート74の出力は、“H”レベルを示す。
【0182】また、同じくTCS信号39が“H”レベ
ルを示す状態において、MASK1信号が“L”レベル
を示す場合は、インバータ73の出力は“H”レベルを
示すので、NANDゲート74の出力は、“L”レベル
を示す。すなわち、TCS信号39が“H”レベルを示
す場合には、MASK1信号がそのままNANDゲート
74から出力される。
【0183】なお、実施の形態2においては、テスト信
号38が“H”レベルを示す場合すなわち半導体記憶装
置をテストモードとして動作させる場合は、DQM入力
バッファ46を介してMASK1信号を入力するDQM
U端子を、ICテスタのコンパレータ/ドライバに割り
当てる端子として使用することができ、DQML端子は
使用せずにDQMU端子のみにマスク/ディセーブル信
号を与えることで、ICテスタにおいて試験動作のため
に割り当てられるコンパレータ/ドライバの数を半減さ
せることができる。
【0184】以上に説明した実施の形態2においては、
ライトアンプ&センスバッファ54のうち、データの読
み出しに対するディセーブル動作をセンスバッファが担
い、データの書き込みに対するマスク動作をライトアン
プが担うものとして説明を行ったが、図23〜25に示
したように、データの読み出しに対するディセーブル動
作をI/Oデータバッファが担い、データの書き込みに
対するマスク動作をライトアンプが担う構成としてもよ
い。すなわち、図8に示すライトアンプ&センスバッフ
ァ54のセンスバッファと、I/Oデータバッファ44
を、それぞれ図23に示すセンスバッファ151aとI
/Oデータバッファ131aに替えることができる。
【0185】図11は、I/Oデータバッファにおいて
ディセーブル動作を可能とするI/Oデータバッファ4
4aと、ライトアンプのみにマスク/ディセーブル信号
が供給されるライトアンプ&センスバッファ54と、D
QM切り替え回路90との間の結線関係に注目したより
詳細な構成を説明する図である。図11において、図8
と異なる点は、DQM切り替え回路90から出力される
MASK0’信号が、データ入出力端子DQ0〜DQ7
に対応するライトアンプ&センスバッファ54だけでな
く、データ入出力端子DQ0〜DQ7に対応するI/O
データバッファ44aにも供給されている点と、DQM
切り替え回路90から出力されるMASK1’信号が、
データ入出力端子DQ8〜DQ15に対応するライトア
ンプ&センスバッファ54だけでなく、データ入出力端
子DQ8〜DQ15に対応するI/Oデータバッファ4
4aにも供給されている点である。
【0186】これにより、書き込みデータのマスク動作
に関しては、ライトアンプ&センスバッファ54(特
に、ライトアンプ)が担い、読み出しデータのディセー
ブル動作に関しては、I/Oデータバッファ44aが担
うことが可能になる。
【0187】以上に説明した実施の形態2にかかる半導
体記憶装置によれば、データのマスク/ディセーブル動
作をおこなうためのマスク/ディセーブル端子を複数個
備えた半導体記憶装置において、データの書き込み/読
み出し等の制御命令を構成するための複数の入力信号の
組み合わせからICテスタ等による試験をおこなうため
のテストモードを判断して該テストモードを示すテスト
信号およびテスト命令信号を出力するテストモードデコ
ーダと、前記テスト信号およびテスト命令信号がアクテ
ィブ状態を示す場合に、複数個のマスク/ディセーブル
端子のうちの1つのマスク/ディセーブル端子のみ使用
することですべてのデータのマスク/ディセーブル動作
を可能とするDQM切り替え回路とを備えているので、
ICテスタにおいてマスク/ディセーブル動作の試験の
ために使用するコンパレータ/ドライバの数を減らすこ
とができ、同時に試験可能な半導体記憶装置の数を増加
させることができる。これにより、本発明にかかる半導
体記憶装置は、試験時間の大幅な短縮と試験コストの削
減を達成させることができる。
【0188】また、DQM切り替え回路を、論理ゲート
と、トランスファゲートとによって構成しているので、
半導体記憶装置内の構成要素として高集積に組み込むこ
とが可能になり、半導体記憶装置のサイズを圧迫せず、
また、高速な動作を実現することができる。
【0189】(実施の形態3)つぎに、実施の形態3に
かかる半導体記憶装置について説明する。実施の形態2
と異なる点は、テストモードデコーダ26よりDQM切
り替え回路に、テスト信号38と2つのテスト命令信号
67、68を供給するようにし、テスト命令信号67が
“H”レベルを示すとき、DQML信号をMASK0’
信号、MASK1’信号として供給し、テスト命令信号
68が“H”レベルを示すとき、DQMU信号をMAS
K0’信号、MASK1’信号として供給し、つまり、
テスト命令信号67、68により、テスト時に使用する
マスク/ディセーブル端子(DQMLまたはDQMU)
を選択できるように構成した点である。図12は、実施
の形態3にかかる半導体記憶装置の概略構成を示すブロ
ック図である。図12において、実施の形態3にかかる
半導体記憶装置であるSDRAM50は、コマンドデコ
ーダ22から2つのテスト命令信号(TCS1信号、T
CS2信号)が出力され、テストモードデコーダ26に
おいてこのTCS1信号65およびTCS2信号66
と、アドレスバッファ/レジスタ&バンクセレクト18
よりアドレスの一部を入力することで、テスト信号38
と、これらTCS1信号およびTCS2信号(特に、T
CS1信号67およびTCS2信号68と称する)とを
出力し、これら3つの信号がDQM切り替え回路91に
入力される。なお、テストモードデコーダ26における
テスト信号38は、例えばTCS1信号65とTCS2
信号66のいずれか一方が“H”レベルを示す場合に、
“H”レベルを示して出力される。また、TCS1信号
67とTCS2信号68のどちらかを“H”レベルにす
るかは、コマンドデコーダ22からTCS1信号65、
TCS2信号66を出力するかわりに、テストモードデ
コーダ26に入力されるアドレス信号で切り換えてもよ
い。
【0190】図13は、実施の形態3にかかる半導体記
憶装置の要部構成を示す説明図であり、SDRAM50
のデータ入出力部およびDQM切り替え回路91の構成
を詳細に説明するためのものである。図13は、特に、
前述した図18〜22に示したライトアンプ&センスバ
ッファ141とI/Oデータバッファ131にそれぞれ
相当するライトアンプ&センスバッファ57とI/Oデ
ータバッファ47を採用した構成を示している。図13
において、データ入出力端子DQ0〜DQ15に入力さ
れる各データ信号は、それぞれのデータ入出力端子に対
応するI/Oデータバッファ47に入力され、DQML
端子およびDQMU端子にそれぞれ入力されるDQML
信号およびDQMU信号は、DQML端子およびDQM
U端子にそれぞれに対応するDQM入力バッファ48お
よびDQM入力バッファ49に入力される。
【0191】DQM入力バッファ48は、マスク/ディ
セーブル信号としてMASK0信号を出力し、そのMA
SK0信号は、DQM切り替え回路91に入力される。
また、DQM入力バッファ49は、マスク/ディセーブ
ル信号としてMASK1信号を出力し、そのMASK1
信号もまた、DQM切り替え回路91に入力される。
【0192】DQM切り替え回路91においては、さら
に、入力信号として、テストモードデコーダ26より、
テスト信号38、TCS1信号67およびTCS2信号
68を入力する。DQM切り替え回路91は、これらM
ASK0信号、MASK1信号、テスト信号38、TC
S1信号67およびTCS2信号68に応じて、ライト
アンプ&センスバッファ57に対するマスク/ディセー
ブル信号となるMASK0’信号およびMASK1’信
号を出力する。
【0193】DQM切り替え回路91から出力されるM
ASK0’信号は、データ入出力端子DQ0〜DQ7に
対応した8つのライトアンプ&センスバッファ57に入
力される。このMASK0’信号の信号レベルによっ
て、データ入出力端子DQ0〜DQ7に入出力されるデ
ータのマスク/ディセーブル動作をおこなうことができ
る。
【0194】また、DQM切り替え回路91から出力さ
れるMASK1’信号は、データ入出力端子DQ8〜D
Q15に対応した8つのライトアンプ&センスバッファ
57に入力される。このMASK1’信号の信号レベル
によって、データ入出力端子DQ8〜DQ15に入出力
されるデータのマスク/ディセーブル動作をおこなうこ
とができる。
【0195】図14は、DQM切り替え回路91の回路
構成を示す説明図である。図14において、DQM切り
替え回路91は、4つのトランスファゲートSW10〜
SW13と、3つのNANDゲート81、82および8
3と、1つのインバータ84とから構成される。
【0196】インバータ84は、その入力端子をテスト
信号38の入力端子に接続しており、その反転信号を出
力する。トランスファゲートSW10〜SW13の構成
および動作は、実施の形態2において説明したと図9と
同様であるので、ここではその説明を省略する。
【0197】したがって、図14に示すトランスファゲ
ートSW10〜SW13と、テスト信号38との関係
は、図10に示した内容と同様の内容になる。したがっ
て、トランスファゲートSW10〜SW13の動作にお
いて、テスト信号38が“L”レベルを示す場合(通常
動作時)は、トランスファゲートSW10およびSW1
1がON状態となり、トランスファゲートSW12およ
びSW13がOFF状態となるので、DQM切り替え回
路91に入力されたMASK0信号は、そのままMAS
K0’信号として出力し、MASK1信号は、そのまま
MASK1’信号として出力する。
【0198】また、テスト信号38が“H”レベルを示
す場合(テスト時)は、トランスファゲートSW10お
よびSW11がOFF状態となり、トランスファゲート
SW12およびSW13がON状態となるので、MAS
K0’信号およびMASK1’信号として出力される信
号は、ともにNANDゲート83から出力される信号の
レベルに依存して変化する。
【0199】つぎに、NANDゲート83の出力信号の
レベルを決定するNANDゲート81および82の動作
について説明する。まず、NANDゲート83の一方の
入力端子は、NANDゲート81の出力端子に接続さ
れ、他方の入力端子は、NANDゲート82の出力端子
に接続されている。そして、NANDゲート81の一方
の入力端子は、MASK0信号を出力するDQM入力バ
ッファ48の出力端子に接続され、他方の入力端子は、
前述したテストモードデコーダから出力されるTCS1
信号67を入力する入力端子に接続されている。NAN
Dゲート82は、一方の入力端子を、MASK1信号を
出力するDQM入力バッファ49の出力端子に接続し、
他方の入力端子を、前述したテストモードデコーダから
出力されるTCS2信号68を入力する入力端子に接続
している。
【0200】まず、TCS1信号67が“L”レベルを
示す場合、NANDゲート81の出力は、MASK0信
号のレベルに関係なく、“H”レベルを示す。この状態
において、TCS2信号68が“H”レベルを示す場合
に限り、MASK1信号の反転信号がNANDゲート8
2の出力となる。NANDゲート81の出力が“H”レ
ベルを示しているので、NANDゲート82の出力は、
再度NANDゲート83で反転される。すなわち、テス
ト信号38が“H”レベルを示す場合で、TCS1信号
67を“L”レベルとし、TCS2信号68を“H”レ
ベルとすることで、MASK1信号がそのままMASK
0’信号およびMASK1’信号として出力される。
【0201】つぎに、TCS2信号68が“L”レベル
を示す場合、NANDゲート82の出力は、MASK1
信号のレベルに関係なく、“H”レベルを示す。この状
態において、TCS1信号67が“H”レベルを示す場
合に限り、MASK0信号が反転されてNANDゲート
81の出力となる。NANDゲート82の出力が“H”
レベルを示しているので、NANDゲート81の出力
は、再度NANDゲート83で反転される。すなわち、
テスト信号38が“H”レベルを示す場合で、TCS1
信号67を“H”レベルとし、TCS2信号68を
“L”レベルとすることで、MASK0信号がそのまま
MASK0’信号およびMASK1’信号として出力さ
れる。
【0202】このように、実施の形態3におけるDQM
切り替え回路91の動作は、TCS1信号67とTCS
2信号68に与える信号レベルによって、MASK0信
号すなわちDQML信号を、DQ0〜DQ15のすべて
のデータに対してマスク/ディセーブル動作をおこなわ
せるマスク/ディセーブル信号として利用するか、MA
SK1信号すなわちDQMU信号を、DQ0〜DQ15
のすべてのデータに対してマスク/ディセーブル動作を
おこなわせるマスク/ディセーブル信号として利用する
かの選択が可能になる。したがって、DQMU端子また
はDQML端子の一方の端子のみを、ICテスタのコン
パレータ/ドライバに割り当てる端子として使用し、試
験時、マスク/ディセーブル動作をおこなわせることが
でき、使用するコンパレータ/ドライバの数を減少させ
ることが可能になる。
【0203】以上に説明した実施の形態3においては、
ライトアンプ&センスバッファ57のうち、データの読
み出しに対するディセーブル動作をセンスバッファが担
い、データの書き込みに対するマスク動作をライトアン
プが担うものとして説明を行ったが、図23〜25に示
したように、データの読み出しに対するディセーブル動
作をI/Oデータバッファが担い、データの書き込みに
対するマスク動作をライトアンプが担う構成としてもよ
い。すなわち、図13に示すライトアンプ&センスバッ
ファ57のセンスバッファと、I/Oデータバッファ4
7を、それぞれ図23に示すセンスバッファ151aと
I/Oデータバッファ131aに替えることができる。
【0204】また、図15は、I/Oデータバッファに
おいてディセーブル動作を可能とするI/Oデータバッ
ファ47aと、ライトアンプのみにマスク/ディセーブ
ル信号が供給されるライトアンプ&センスバッファ57
と、DQM切り替え回路91との間の結線関係に注目し
たより詳細な構成を説明する図である。図15におい
て、図13と異なる点は、DQM切り替え回路91から
出力されるMASK0’信号が、データ入出力端子DQ
0〜DQ7に対応するライトアンプ&センスバッファ5
7だけでなく、データ入出力端子DQ0〜DQ7に対応
するI/Oデータバッファ47aにも供給されている点
と、DQM切り替え回路91から出力されるMASK
1’信号が、データ入出力端子DQ8〜DQ15に対応
するライトアンプ&センスバッファ57だけでなく、デ
ータ入出力端子DQ8〜DQ15に対応するI/Oデー
タバッファ47aにも供給されている点である。
【0205】これにより、書き込みデータのマスク動作
に関しては、ライトアンプ&センスバッファ57(特
に、ライトアンプ)が担い、読み出しデータのディセー
ブル動作に関しては、I/Oデータバッファ47aが担
うことが可能になる。
【0206】以上に説明したように、実施の形態3にか
かる半導体記憶装置によれば、データのマスク/ディセ
ーブル動作をおこなうためのマスク/ディセーブル端子
を複数個備えた半導体記憶装置において、データの書き
込み/読み出し等の制御命令を構成するための複数の入
力信号の組み合わせからICテスタ等による試験をおこ
なうためのテストモードを判断して該テストモードを示
すテスト信号および複数のテスト命令信号を出力するテ
ストモードデコーダと、前記テスト信号および複数のテ
スト命令信号がアクティブ状態を示す場合に、複数個の
マスク/ディセーブル端子のうちのいずれか1つのマス
ク/ディセーブル端子を選択して使用することですべて
のデータのマスク/ディセーブル動作を可能とするDQ
M切り替え回路とを備えているので、ICテスタにおい
てマスク/ディセーブル動作の試験のために使用するコ
ンパレータ/ドライバの数を減らすことができ、同時に
試験可能な半導体記憶装置の数を増加させることができ
る。これにより、本発明にかかる半導体記憶装置は、試
験時間の大幅な短縮と試験コストの削減を達成させるこ
とができる。
【0207】また、DQM切り替え回路を、論理ゲート
と、トランスファゲートとによって構成しているので、
半導体記憶装置内の構成要素として高集積に組み込むこ
とが可能になり、半導体記憶装置のサイズを圧迫せず、
また、高速な動作を実現することができる。
【0208】また、実施の形態1〜3において、2つの
マスク/ディセーブル端子を備えた半導体記憶装置につ
いて説明したが、このマスク/ディセーブル端子は、3
つ以上でも良く、その場合、上記したトランスファゲー
トおよび論理ゲートの構成を一部変更するのみで、1つ
のマスク/ディセーブル端子によるすべてのデータ入出
力のマスク/ディセーブル動作をおこなわせることがで
きる。
【0209】さらに、実施の形態1〜3において、半導
体記憶装置をSDRAMを基本構成として説明したが、
通常のDRAM、SRAM、EPROM、EEPROM
等を基本構成とすることができ、複数のマスク/ディセ
ーブル端子を備えた構成であれば、その種類を問わな
い。
【0210】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1にかかる
発明によれば、マスク/ディセーブル端子ごとに書き込
み/読み出しを禁止するデータ入出力端子の割り当てを
変更することができ、1のマスク/ディセーブル端子の
使用が禁止されても、当該1のマスク/ディセーブル端
子に割り当てられたデータ入出力端子のマスク/ディセ
ーブル動作を他のマスク/ディセーブル端子で制御する
ことができ、試験装置の資源を効率的に使用できること
から、複数のマスク/ディセーブル端子を備えた半導体
記憶装置に対して同時に試験をおこなえる数を増大させ
ることが可能となり、試験時間の短縮および試験コスト
の削減が図ることができる等、利便性、特に試験をおこ
なう際の利便性を高めた半導体記憶装置が得られるとい
う効果を奏する。
【0211】また、請求項2〜4にかかる発明によれ
ば、第2の動作モード(試験モード)の際、第1のマス
ク/ディセーブル端子で、第1および第2のデータ入出
力端子群の両方のマスク/ディセーブル動作を制御する
ことができるようになり、第2の動作モード時に使用す
るマスク/ディセーブル端子の数を削減することがで
き、以ってICテスタに同時に試験することができる半
導体記憶デバイスの数を増やすことができるので、請求
項1にかかる発明と同様に利便性、特に試験をおこなう
際の利便性を高めた半導体記憶装置が得られるという効
果を奏する。
【0212】また、請求項5〜7の発明によれば、変更
手段により第1および第2のマスク/ディセーブル端子
と第1および第2の書き込み/読み出し制御回路部相互
間の接続関係を切替えることで請求項2に記載されてい
る動作モードに基づくデータ入出力端子群とマスク/デ
ィセーブル端子との対応関係の変更を容易に実施するこ
とができるので、請求項2にかかる発明と同様に利便
性、特に試験をおこなう際の利便性を高めた半導体記憶
装置が得られるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態1にかかる半導体記憶デバイスとI
Cテスタとの結線を示す説明図である。
【図2】実施の形態1にかかる半導体記憶装置の概略構
成を示すブロック図である。
【図3】実施の形態1にかかる半導体記憶装置をパッケ
ージした半導体記憶デバイスの概観図である。
【図4】実施の形態1にかかる半導体記憶装置の詳細な
構成を説明する図である。
【図5】実施の形態1にかかる半導体記憶装置のテスト
信号の信号レベルとトランスファゲートSW0およびS
W1のON/OFF状態との関係を示す説明図である。
【図6】実施の形態1にかかる半導体記憶装置において
ディセーブル動作を可能とするI/Oデータバッファを
採用した詳細な構成を説明する図である。
【図7】実施の形態2にかかる半導体記憶装置の概略構
成を示すブロック図である。
【図8】実施の形態2にかかる半導体記憶装置の要部構
成を示す説明図である。
【図9】実施の形態2にかかる半導体記憶装置のDQM
切り替え回路の回路構成を示す説明図である。
【図10】実施の形態2にかかる半導体記憶装置のテス
ト信号の信号レベルとトランスファゲートSW10〜S
W13のON/OFF状態との関係を示す説明図であ
る。
【図11】実施の形態2にかかる半導体記憶装置におい
てディセーブル動作を可能とするI/Oデータバッファ
を採用した詳細な構成を説明する図である。
【図12】実施の形態3にかかる半導体記憶装置の概略
構成を示すブロック図である。
【図13】実施の形態3にかかる半導体記憶装置の要部
構成を示す説明図である。
【図14】実施の形態3にかかる半導体記憶装置のDQ
M切り替え回路の回路構成を示す説明図である。
【図15】実施の形態3にかかる半導体記憶装置におい
てディセーブル動作を可能とするI/Oデータバッファ
を採用した詳細な構成を説明する図である。
【図16】従来の半導体記憶装置の概略構成を示すブロ
ック図である。
【図17】従来における半導体記憶装置の要部を示す説
明図である。
【図18】従来における半導体記憶装置の要部間の結線
を示す説明図である。
【図19】従来における半導体記憶装置のセンスバッフ
ァの回路構成を示す説明図である。
【図20】従来における半導体記憶装置のセンスバッフ
ァに入出力する信号のタイムチャートである。
【図21】従来における半導体記憶装置のライトアンプ
の回路構成を示す説明図である。
【図22】従来における半導体記憶装置のライトアンプ
に入出力する信号のタイムチャートである。
【図23】従来における半導体記憶装置の要部間の結線
を示す説明図である。
【図24】従来における半導体記憶装置のI/Oデータ
バッファの回路構成を示す説明図である。
【図25】従来における半導体記憶装置のI/Oデータ
バッファに入出力する信号のタイムチャートである。
【図26】従来の半導体記憶装置のICテスタによる試
験動作を示す説明図である。
【符号の説明】
1,2,3,4 半導体記憶デバイス 10,40,50 SDRAM 11 メモリアレイ 12 ロウデコーダ 13 コラムデコーダ 14 センスアンプ 15,51,54,57 ライトアンプ/センスバッフ
ァ 16 グローバルデータバス(GDB) 17 I/Oデータバッファ/レジスタ 18 アドレスバッファ/レジスタ&バンクセレクト 19 コラムアドレスカウンタ 22 コマンドデコーダ 23 制御信号ラッチ 24 モードレジスタ 25 クロックバッファ 26 テストモードデコーダ 27,90,91 DQM切り替え回路 41,44,47 I/Oデータバッファ 42,43,45,46,48,49 DQM入力バッ
ファ

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のデータ入出力端子と、 複数のマスク/ディセーブル端子と、 を有し、 各マスク/ディセーブル端子に割り当てられた前記デー
    タ入出力端子から入出力されるデータの書き込み/読み
    出しを前記マスク/ディセーブル端子に印加されるマス
    ク/ディセーブル制御信号に応答して禁止するマスク/
    ディセーブル動作をおこなうことが可能な半導体記憶装
    置において、 前記マスク/ディセーブル端子に対する前記データ入出
    力端子の割り当てを変更する割り当て変更手段を備えた
    ことを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 第1および第2のデータ入出力端子群
    と、 第1および第2のマスク/ディセーブル端子と、 を有し、 前記マスク/ディセーブル端子に印加されるマスク/デ
    ィセーブル制御信号に応答して対応する前記データ入出
    力端子群から入出力されるデータの書き込み/読み出し
    を禁止するマスク/ディセーブル動作をおこなうことが
    可能な半導体記憶装置において、 第1および第2の動作モードを判別する判別手段と、 前記判別手段による判別の結果、前記第1の動作モード
    の場合、前記第1および第2のマスク/ディセーブル端
    子は、前記第1および第2のデータ入出力端子群とそれ
    ぞれ対応し、前記第2の動作モードの場合、前記第1の
    マスク/ディセーブル端子が前記第1および第2のデー
    タ入出力端子群と対応するように、前記マスク/ディセ
    ーブル端子と前記データ入出力端子群との対応関係を変
    更する変更手段と、 を備えたことを特徴とする半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 前記第2の動作モードは試験モードであ
    ることを特徴とする請求項2に記載の半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 前記半導体記憶装置のデータ入出力端子
    は、前記第1および第2のデータ入出力端子群で構成さ
    れ、 前記第2の動作モード時、前記第1のマスク/ディセー
    ブル端子に印加する前記マスク/ディセーブル制御信号
    で、前記第1および第2のデータ入出力端子群の前記マ
    スク/ディセーブル動作を制御するように構成されてい
    ることを特徴とする請求項2に記載の半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】 さらに、前記第1および第2のデータ入
    出力端子のデータをメモリセルアレイ部にそれぞれ書き
    込みおよび該メモリセルアレイ部からのデータを該第1
    および第2のデータ入出力端子にそれぞれ読み出すため
    の第1および第2の書き込み/読み出し制御回路部を有
    し、 前記変更手段は、前記判別手段からの動作モード信号に
    応答して、前記第1および第2のマスク/ディセーブル
    端子と前記第1および第2の書き込み/読み出し制御回
    路部相互間の接続関係を選択的に切替えるように構成さ
    れていることを特徴とする請求項2に記載の半導体記憶
    装置。
  6. 【請求項6】 前記第1および第2の書き込み/読み出
    し制御回路部の各々は、 前記データ入出力端子のデータを取込みおよび前記デー
    タ入出力端子にデータを出力するためのI/Oデータバ
    ッファ回路と、 該I/Oデータバッファ回路からのデータを受け、それ
    を増幅してデータバスへ出力し、該データバスに伝送さ
    れたデータをセンスして前記I/Oデータバッファ回路
    へ伝送するライトアンプ/センスバッファ回路を有し、 前記変更手段は、前記ライトアンプ/センスバッファ回
    路を制御することを特徴とする請求項5に記載の半導体
    記憶装置。
  7. 【請求項7】 前記変更手段は、さらに前記I/Oデー
    タバッファ回路も制御するように構成されていることを
    特徴とする請求項6に記載の半導体記憶装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100437613B1 (ko) * 2001-10-23 2004-06-30 주식회사 하이닉스반도체 와이드 입/출력 디램 매크로용 집적 테스트 입/출력 장치
US7224596B2 (en) 2004-11-10 2007-05-29 Samsung Electronics Co., Ltd. Apparatus and method for repairing semiconductor memory device
KR100892675B1 (ko) * 2007-09-19 2009-04-15 주식회사 하이닉스반도체 반도체 메모리 장치

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4146662B2 (ja) * 2002-04-12 2008-09-10 富士通株式会社 半導体記憶装置
KR200313168Y1 (ko) * 2003-02-05 2003-05-16 임재영 축하용 양초꽂이
JP2006066020A (ja) * 2004-08-30 2006-03-09 Fujitsu Ltd 半導体記憶装置
KR100557225B1 (ko) * 2004-11-04 2006-03-07 삼성전자주식회사 반도체 메모리 장치의 데이터 입/출력 방법 및 이를 위한반도체 메모리 장치
US8140110B2 (en) * 2005-08-08 2012-03-20 Freescale Semiconductor, Inc. Controlling input and output in a multi-mode wireless processing system
US7653675B2 (en) * 2005-08-08 2010-01-26 Freescale Semiconductor, Inc. Convolution operation in a multi-mode wireless processing system
US20070033349A1 (en) * 2005-08-08 2007-02-08 Freescale Semiconductor, Inc. Multi-mode wireless processor interface
US7802259B2 (en) * 2005-08-08 2010-09-21 Freescale Semiconductor, Inc. System and method for wireless broadband context switching
US7734674B2 (en) * 2005-08-08 2010-06-08 Freescale Semiconductor, Inc. Fast fourier transform (FFT) architecture in a multi-mode wireless processing system
JP2007272982A (ja) * 2006-03-31 2007-10-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体記憶装置およびその検査方法
KR100695437B1 (ko) * 2006-04-13 2007-03-16 주식회사 하이닉스반도체 멀티 포트 메모리 소자
KR100925371B1 (ko) * 2008-01-07 2009-11-09 주식회사 하이닉스반도체 반도체 집적 회로의 테스트 회로
KR101910933B1 (ko) * 2011-12-21 2018-10-24 에스케이하이닉스 주식회사 반도체 집적회로 및 그의 테스트 제어방법
CN116844623B (zh) * 2022-03-25 2024-05-17 长鑫存储技术有限公司 一种控制方法、半导体存储器和电子设备
KR20230139379A (ko) * 2022-03-25 2023-10-05 창신 메모리 테크놀로지즈 아이엔씨 제어 방법, 반도체 메모리 및 전자 기기

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05265883A (ja) * 1992-03-19 1993-10-15 Fujitsu Ltd デュアルポートramインタフェース方式
US5848247A (en) * 1994-09-13 1998-12-08 Hitachi, Ltd. Microprocessor having PC card interface
US5778237A (en) * 1995-01-10 1998-07-07 Hitachi, Ltd. Data processor and single-chip microcomputer with changing clock frequency and operating voltage
KR100200916B1 (ko) * 1995-11-16 1999-06-15 윤종용 웨이퍼 테스트 신호 발생기를 가지는 반도체 메모리 장치
JP4000206B2 (ja) * 1996-08-29 2007-10-31 富士通株式会社 半導体記憶装置
US5996106A (en) * 1997-02-04 1999-11-30 Micron Technology, Inc. Multi bank test mode for memory devices

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100437613B1 (ko) * 2001-10-23 2004-06-30 주식회사 하이닉스반도체 와이드 입/출력 디램 매크로용 집적 테스트 입/출력 장치
US7224596B2 (en) 2004-11-10 2007-05-29 Samsung Electronics Co., Ltd. Apparatus and method for repairing semiconductor memory device
KR100892675B1 (ko) * 2007-09-19 2009-04-15 주식회사 하이닉스반도체 반도체 메모리 장치

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