JP2000088919A - Ic試験システム及びその制御ソフトウェア管理方法 - Google Patents

Ic試験システム及びその制御ソフトウェア管理方法

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JP2000088919A
JP2000088919A JP10263593A JP26359398A JP2000088919A JP 2000088919 A JP2000088919 A JP 2000088919A JP 10263593 A JP10263593 A JP 10263593A JP 26359398 A JP26359398 A JP 26359398A JP 2000088919 A JP2000088919 A JP 2000088919A
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control
test
control software
software
test apparatus
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JP10263593A
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Atsushi Katabe
篤志 片部
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Ando Electric Co Ltd
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Ando Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の課題は、複数の制御ソフトウェアを
記憶し、かつ制御ソフトウェアを切り換えてIC試験を
実行することのできる制御ソフトウェア管理方式を備え
たIC試験システム及びその制御ソフトウェア管理方法
を提供することである。 【解決手段】 外部記憶装置20の選択部22は、制御
装置10の制御部11の指示に応じて外部記憶装置20
に記憶された制御ソフトウェアを切り換えて選択する。
また、制御部11は、選択部22が選択指示した制御ソ
フトウェアを読み出して、読み出した制御ソフトウェア
の制御手順に従ってIC試験装置30を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、IC試験システム
に係り、詳細には、IC試験装置を制御するための制御
ソフトウェアを管理するIC試験システム、及びその制
御ソフトウェア管理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のIC試験システムにおけるIC試
験装置を制御するための制御ソフトウェアの利用形態の
一例を、図3を参照して説明する。図3は、従来のIC
試験システム100の構成と、各装置間のデータの流れ
と、を示すブロック図である。IC試験システム100
は、制御装置110と、外部記憶装置120と、IC試
験装置130と、入力装置140とから構成され、制御
装置110によりIC試験装置130が制御され、IC
の測定試験等を行うシステムである。
【0003】また、制御装置110は、入力装置140
から入力されるIC試験の開始・終了等の指示信号を入
力して、外部記憶装置120内に組み込まれた制御ソフ
トウェアを読み出し、読み出した制御ソフトウェアの制
御手順に従ってIC試験装置130に制御信号を出力す
る制御部111を有している。また、外部記憶装置12
0は、制御装置110により読み出され、IC試験装置
130の制御手順を記した制御ソフトウェアaを記憶す
るインストールエリア121を有している。
【0004】このIC試験システム100がIC試験を
開始する場合、まず、入力装置140から実行開始の指
示信号を入力した制御装置110の制御部111が、外
部記憶装置120のインストールエリア121に記憶さ
れた制御ソフトウェアaを読み出して、制御ソフトウェ
アaの制御手順に従ってIC試験装置130の制御を開
始・実行する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
IC試験システム100では、記憶する制御ソフトウェ
アが1つであったため複数の制御ソフトウェアを記憶す
ることができなかった。また、複数のIC試験装置に対
応する複数の制御ソフトウェアをインストールエリア1
21に組み込んだとしても、制御装置110の制御部1
11が、予め決められている制御ソフトウェアを読み出
して制御を行うため、制御できるIC試験装置が、組み
込んだ制御ソフトウェアの数に関わらず一意に決まって
しまう課題がある。このため、1つのIC試験システム
が異なるIC試験装置に対応するためには制御ソフトウ
ェアを組み込み直す必要があり、また、制御装置に異な
る複数のIC試験装置を接続してIC試験システムを構
成することはできなかった。
【0006】さらに、同じIC試験装置130であって
も、IC試験装置の仕様が変更されたり、また制御手順
に問題が発見されたために制御手順を変更したい場合に
は、制御手順を変更する度に新しい制御ソフトウェアを
組み込み直す必要がある。また、問題発生時に安定な制
御手順に戻すといった場合にも同様の処理が必要であ
り、問題発生時の処理に時間を要していた。
【0007】本発明の課題は、複数の制御ソフトウェア
を記憶し、かつ制御ソフトウェアを切り換えてIC試験
を実行することのできる制御ソフトウェア管理方式を備
えたIC試験システム及びその制御ソフトウェア管理方
法を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
IC試験装置と、該IC試験装置の制御手順が記述され
た制御ソフトウェアに従って、該IC試験装置に制御信
号を出力して該IC試験装置を制御する制御装置と、か
ら構成されたIC試験システムにおいて、前記制御装置
は、異なる制御手順が記述された複数の制御ソフトウェ
アを記憶する記憶手段を備えたことを特徴としている。
【0009】この請求項1記載の発明によれば、IC試
験装置と、該IC試験装置の制御手順が記述された制御
ソフトウェアに従って、該IC試験装置に制御信号を出
力して該IC試験装置を制御する制御装置と、から構成
されたIC試験システムにおいて、前記制御装置の記憶
手段は、異なる制御手順が記述された複数の制御ソフト
ウェアを記憶する。
【0010】したがって、請求項1記載の発明によっ
て、記憶手段が複数の制御ソフトウェアを記憶できるた
め、同一のIC試験装置に対する異なる制御手順による
制御ソフトウェアや、他のIC試験装置に対する制御ソ
フトウェア等、種々の制御ソフトウェアを記憶させるこ
とができる、実用性の高いIC試験システムを実現でき
る。
【0011】また、請求項2記載の発明のように、請求
項1記載のIC試験システムにおいて、前記制御装置
は、前記記憶手段に記憶された複数の制御ソフトウェア
を択一的に選択指示する選択手段を更に備え、この選択
手段により選択指示された制御ソフトウェアに従って前
記IC試験装置を制御することを特徴とすることとして
も良い。
【0012】この請求項2記載の発明によれば、前記制
御装置は、選択手段が、前記記憶手段に記憶された複数
の制御ソフトウェアを択一的に選択指示し、この選択手
段により選択指示された制御ソフトウェアに従って前記
IC試験装置を制御する。
【0013】また、請求項6記載の発明は、IC試験装
置と、該IC試験装置の制御手順が記述された制御ソフ
トウェアに従って、該IC試験装置に制御信号を出力し
て該IC試験装置を制御する制御装置と、から構成され
たIC試験システムにおける該制御装置の制御ソフトウ
ェア管理方法において、異なる制御手段が記述された複
数の制御ソフトウェアを記憶する記憶手段を備え、前記
記憶手段に記憶された複数の制御ソフトウェアを択一的
に選択指示する工程と、前記選択指示された制御ソフト
ウェアに従って、前記IC試験装置に制御信号を出力す
る工程と、を有することを特徴としている。
【0014】この請求項6記載の発明によれば、IC試
験装置と、該IC試験装置の制御手順が記述された制御
ソフトウェアに従って、該IC試験装置に制御信号を出
力して該IC試験装置を制御する制御装置と、から構成
されたIC試験システムにおける該制御装置の制御ソフ
トウェア管理方法において、記憶手段は、異なる制御手
段が記述された複数の制御ソフトウェアを記憶し、前記
記憶手段に記憶された複数の制御ソフトウェアを択一的
に選択指示した後、前記選択指示された制御ソフトウェ
アに従って、前記IC試験装置に制御信号を出力する。
【0015】したがって、請求項2及び請求項6記載の
発明によって、記憶手段に異なる制御手順を記述した複
数の制御ソフトウェアを記憶させた後、制御ソフトウェ
アを切り換えて選択することにより、異なる制御手順に
よるIC試験装置の制御が可能であるため、同一のIC
試験装置における異なる制御手順によるIC試験を行う
ことのできる、実用性の高いIC試験システム及び制御
ソフトウェア管理方法を提供することができる。
【0016】請求項3記載の発明は、請求項2記載のI
C試験装置において、前記IC試験装置は、複数のIC
試験装置により構成され、前記記憶手段は、前記複数の
IC試験装置それぞれに対応する制御ソフトウェアを更
に記憶し、前記選択手段は、前記記憶手段に記憶された
前記複数のIC試験装置それぞれに対応する前記制御ソ
フトウェアを選択指示することとしても良い。
【0017】この請求項3記載の発明によれば、IC試
験装置は、異なる複数のIC試験装置から構成され、選
択手段が、IC試験を実行するIC試験装置に対応する
制御ソフトウェアを記憶手段から読み出して、当該IC
試験装置の制御を行うことができるため、制御手順の異
なる複数台のIC試験装置を共通の制御装置が切り換え
てIC試験の実行を行うことが可能となるため、IC試
験装置の変更に係る時間の短縮、及びIC試験装置の交
換等に係る手間を省略することができ、IC試験の効率
化を推進することのできる実用性の高いIC試験システ
ムを提供することができる。
【0018】請求項4記載の発明は、請求項2記載の発
明において、前記IC試験装置は、IC試験中の異常状
態を検知して、前記制御装置に異常状態信号を出力する
異常検知手段を備え、前記記憶手段は、異常状態用の制
御ソフトウェアを更に記憶し、前記制御装置は、前記I
C試験装置の前記異常検知手段から異常状態信号が入力
されると、前記選択手段が、前記異常状態用の制御ソフ
トウェアを選択指示することとしても良い。
【0019】この請求項4記載の発明によれば、例え
ば、制御ソフトウェアの改善に伴う試験運用の際等に、
変更前のプログラムを異常状態用の制御ソフトウェアと
することで、IC試験中に問題が発生した時には、選択
手段により自動的に異常状態用の制御ソフトウェアに切
り替わる。このため、新たな制御ソフトウェアの適用に
おける問題発生に際して、IC試験の再実行の際の制御
ソフトウェアの選択ミス防止や、安定して安全に動作す
る制御ソフトウェアに切り替わることによる復旧処理時
間の短縮化を図ることのできる実用性の高いIC試験シ
ステムを提供することができる。
【0020】請求項5記載の発明は、請求項2記載の発
明において、前記選択手段は、外部の入力手段から入力
される指示により、前記複数の制御ソフトウェアを択一
的に選択指示することとしても良い。
【0021】この請求項5記載の発明によれば、ユーザ
により外部から制御ソフトウェアを選択指示することが
できるため、操作性に優れたIC試験システムを提供す
ることができる。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、図1〜図2を参照して本発
明を適用したIC試験システムの実施の形態を詳細に説
明する。
【0023】まず構成を説明する。図1は、本発明を適
用したIC試験システム1の構成を示す図である。IC
試験システム1は、制御装置10と、外部記憶装置20
と、IC試験装置30と、入力装置40とから構成さ
れ、制御装置10が外部記憶装置20に記憶された制御
ソフトウェアを読み出して、読み出した制御ソフトウェ
アに従ってIC試験装置30の制御を行うことにより、
ICの試験を行うシステムである。
【0024】制御装置10は、外部記憶装置20に組み
込まれている制御ソフトウェアA〜Cの内、選択部22
の指示する制御ソフトウェアを読み出して、読み出した
制御ソフトウェアの制御手順に従ってIC試験装置30
に制御信号を出力し、IC試験装置30を制御する制御
部21を有している。また制御部21は、入力装置40
と接続されており、入力装置40から入力される入力信
号に応じて読み出す制御ソフトウェアA〜Cを切り換え
る旨の信号を選択部22に出力する。
【0025】外部記憶装置20は、制御装置10により
読み出されて実行される、IC試験装置30の制御手順
を記した制御ソフトウェアA〜Cを記憶するインストー
ルエリア21を有している。また、インストールエリア
21は、制御部11の指示信号に応じて、制御ソフトウ
ェアA〜Cの内の1つを切り換えて選択指示し、常に何
れかの制御ソフトウェアを指示する選択部22を有して
いる。また、制御ソフトウェアA〜Cは、IC試験装置
30を制御するための異なった制御手順が記述された制
御用プログラムである。
【0026】IC試験装置30は、ICの搬送や、IC
の測定等を行い、ICの良否を判定する装置であり、制
御部11の制御信号を入力し、入力した制御信号に応じ
てIC試験装置30を構成する各機器(不図示)を制御
するIC試験制御部31を有している。
【0027】入力装置40は、IC試験システムの起動
や終了の他、制御ソフトウェアの変更等を指定して、指
定した指示信号を制御装置10の制御部11に出力する
装置である。
【0028】次に動作を説明する。図2は、IC試験シ
ステム1の各装置間のデータの流れを示すブロック図で
ある。まず、選択部22は経路(a)に示すように制御
ソフトウェアBを指示しており、ここで入力装置40に
よりIC試験の実行が指示されたとする。制御装置10
の制御部11は、IC試験装置を制御実行するために、
制御ソフトウェアを外部記憶装置20から読み出すが、
選択部22が、制御ソフトウェアBを選択指示している
ため、制御部11は、選択部22を介して制御ソフトウ
ェアBを読み出し、IC試験装置30に制御ソフトウェ
アBの制御手順に従った制御信号を出力することによ
り、IC試験装置30を制御してIC試験を実行する。
【0029】次に、制御対象のIC試験装置30の仕様
が変更された等の理由により制御手順を変更する場合を
説明する。まず、ユーザにより入力装置40に制御ソフ
トウェアを制御ソフトウェアAに変更する入力がなされ
ると、入力装置40は、制御装置10の制御部11に、
使用する制御ソフトウェアを制御ソフトウェアAに変更
する旨の指示信号を出力する。そして、この指示信号を
入力した制御部11は、選択指示している制御ソフトウ
ェアを制御ソフトウェアAに変更する旨の指示信号を選
択部22に出力して、選択部22は経路(a)を経路
(b)とすることで、選択指示する制御ソフトウェアを
制御ソフトウェアAに変更する。
【0030】このため、制御ソフトウェアを変更後は、
制御部11が選択部22を介して制御ソフトウェアAを
読み出すこととなり、IC試験装置30の制御手順が制
御ソフトウェアBに記述されているものから制御ソフト
ウェアAへと切り替わる。
【0031】以上のように、本発明を適用したIC試験
システム1によれば、外部記憶装置20の選択部22
は、制御装置10の制御部11の指示に応じて外部記憶
装置20に記憶された制御ソフトウェアを切り換えて選
択する。また、制御部11は、選択部22が選択指示し
た制御ソフトウェアを読み出して、読み出した制御ソフ
トウェアの制御手順に従ってIC試験装置30を制御す
る。
【0032】したがって、IC試験システム1の外部記
憶装置20内に複数の制御ソフトウェアを記憶すること
が可能であり、また記憶した制御ソフトウェアを切り換
えて実行することが可能であるため、異なる制御手順を
記述した複数の制御ソフトウェアを記憶させた後、制御
ソフトウェアを切り換えて選択することにより、異なる
制御手順によるIC試験装置30の制御が可能である。
【0033】なお、本実施の形態では、IC試験システ
ム1は1台のIC試験装置30からなる構成として説明
したが、異なる複数のIC試験装置から構成され、制御
装置10の制御部11が、IC試験を実行するIC試験
装置に対応する制御ソフトウェアを外部記憶装置から読
み出して、当該IC試験装置の制御を行うこととしても
良い。その場合には、制御手順の異なる複数台のIC試
験装置を共通の制御装置が切り換えてIC試験の実行を
行うことが可能となるため、IC試験装置の変更に係る
時間の短縮、及びIC試験装置の交換等に係る手間を省
略することができ、IC試験の効率化を推進することが
可能である。
【0034】また、インストールエリア21に、異常状
態となった場合に備えて、異常状態用の制御ソフトウェ
アを組み込み、IC試験装置30がIC試験中に異常を
検知した場合には、制御装置10の制御部11に異常状
態を示す信号を出力して、制御部11は、IC試験を中
止すると共に、選択部22に上記異常状態用の制御ソフ
トウェアを選択指示する旨の指示信号を出力することと
しても良い。この場合には、例えば、制御ソフトウェア
の改善に伴う試験運用の際等に、変更前のプログラムを
異常状態用の制御ソフトウェアとすることで、IC試験
中に問題が発生した時には、自動的に異常状態用の制御
ソフトウェアに切り替わる。このため、新たな制御ソフ
トウェアの適用における問題発生に際して、IC試験の
再実行の際の制御ソフトウェアの選択ミス防止や、安定
して安全に動作する制御ソフトウェアに切り替わること
による復旧処理時間の短縮化を図ることができる。
【0035】
【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、記憶手段
が複数の制御ソフトウェアを記憶できるため、同一のI
C試験装置に対する異なる制御手順による制御ソフトウ
ェアや、他のIC試験装置に対する制御ソフトウェア
等、種々の制御ソフトウェアを記憶させることができ
る、実用性の高いIC試験システムを実現できる。
【0036】請求項2及び請求項6記載の発明によれ
ば、記憶手段に異なる制御手順を記述した複数の制御ソ
フトウェアを記憶させた後、制御ソフトウェアを切り換
えて選択することにより、異なる制御手順によるIC試
験装置の制御が可能であるため、同一のIC試験装置に
おける異なる制御手順によるIC試験を行うことのでき
る、実用性の高いIC試験システム及び制御ソフトウェ
ア管理方法を提供することができる。
【0037】請求項3記載の発明によれば、IC試験装
置は、異なる複数のIC試験装置から構成され、選択手
段が、IC試験を実行するIC試験装置に対応する制御
ソフトウェアを記憶手段から読み出して、当該IC試験
装置の制御を行うことができるため、制御手順の異なる
複数台のIC試験装置を共通の制御装置が切り換えてI
C試験の実行を行うことが可能となるため、IC試験装
置の変更に係る時間の短縮、及びIC試験装置の交換等
に係る手間を省略することができ、IC試験の効率化を
推進することのできる実用性の高いIC試験システムを
提供することができる。
【0038】請求項4記載の発明によれば、例えば、制
御ソフトウェアの改善に伴う試験運用の際等に、変更前
のプログラムを異常状態用の制御ソフトウェアとするこ
とで、IC試験中に問題が発生した時には、選択手段に
より自動的に異常状態用の制御ソフトウェアに切り替わ
る。このため、新たな制御ソフトウェアの適用における
問題発生に際して、IC試験の再実行の際の制御ソフト
ウェアの選択ミス防止や、安定して安全に動作する制御
ソフトウェアに切り替わることによる復旧処理時間の短
縮化を図ることのできる実用性の高いIC試験システム
を提供することができる。
【0039】請求項5記載の発明によれば、ユーザによ
り外部から制御ソフトウェアを選択指示することができ
るため、操作性に優れたIC試験システムを提供するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用したIC試験システム1の構成を
示す図。
【図2】本発明を適用したIC試験システム1の各装置
間のデータの流れを示すブロック図。
【図3】従来のIC試験システム100の構成と、各装
置間のデータの流れと、を示すブロック図。
【符号の説明】
1 IC試験システム 10 制御装置 11 制御部 20 外部記憶装置 21 インストールエリア 22 選択部 30 IC試験装置 40 入力装置

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】IC試験装置と、該IC試験装置の制御手
    順が記述された制御ソフトウェアに従って、該IC試験
    装置に制御信号を出力して該IC試験装置を制御する制
    御装置と、から構成されたIC試験システムにおいて、 前記制御装置は、 異なる制御手順が記述された複数の制御ソフトウェアを
    記憶する記憶手段を備えたことを特徴とするIC試験シ
    ステム。
  2. 【請求項2】前記制御装置は、 前記記憶手段に記憶された複数の制御ソフトウェアを択
    一的に選択指示する選択手段を更に備え、 この選択手段により選択指示された制御ソフトウェアに
    従って前記IC試験装置を制御することを特徴とする請
    求項1記載のIC試験システム。
  3. 【請求項3】前記IC試験装置は、複数のIC試験装置
    により構成され、 前記記憶手段は、前記複数のIC試験装置それぞれに対
    応する制御ソフトウェアを更に記憶し、 前記選択手段は、前記記憶手段に記憶された前記複数の
    IC試験装置それぞれに対応する前記制御ソフトウェア
    を選択指示することを特徴とする請求項2記載のIC試
    験システム。
  4. 【請求項4】前記IC試験装置は、IC試験中の異常状
    態を検知して、前記制御装置に異常状態信号を出力する
    異常検知手段を備え、 前記記憶手段は、異常状態用の制御ソフトウェアを更に
    記憶し、 前記制御装置は、前記IC試験装置の前記異常検知手段
    から異常状態信号が入力されると、前記選択手段が、前
    記異常状態用の制御ソフトウェアを選択指示することを
    特徴とする請求項2記載のIC試験システム。
  5. 【請求項5】前記選択手段は、外部の入力手段から入力
    される指示により、前記複数の制御ソフトウェアを択一
    的に選択指示することを特徴とする請求項2記載のIC
    試験システム。
  6. 【請求項6】IC試験装置と、該IC試験装置の制御手
    順が記述された制御ソフトウェアに従って、該IC試験
    装置に制御信号を出力して該IC試験装置を制御する制
    御装置と、から構成されたIC試験システムにおける該
    制御装置の制御ソフトウェア管理方法において、 異なる制御手段が記述された複数の制御ソフトウェアを
    記憶する記憶手段を備え、 前記記憶手段に記憶された複数の制御ソフトウェアを択
    一的に選択指示する工程と、 前記選択指示された制御ソフトウェアに従って、前記I
    C試験装置に制御信号を出力する工程と、 を有することを特徴とする制御ソフトウェア管理方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7330044B2 (en) 2005-02-25 2008-02-12 Agilent Technologies, Inc. Method and apparatus for semiconductor testing

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