JP2000082833A - ラミネート装置における搬送装置 - Google Patents

ラミネート装置における搬送装置

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JP2000082833A JP10265764A JP26576498A JP2000082833A JP 2000082833 A JP2000082833 A JP 2000082833A JP 10265764 A JP10265764 A JP 10265764A JP 26576498 A JP26576498 A JP 26576498A JP 2000082833 A JP2000082833 A JP 2000082833A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ラミネ−ト装置において、ラミネート機能を
損なうことなく、リリ−スシ−ト機能を有し、被加工物
を合理的に搬送する搬送装置を提供すること。 【解決手段】 内部がダイアフラム9により仕切られる
上チャンバ10と下チャンバ12を具備し、該下チャンバ12
内に加熱装置11を有するか又は有しないラミネ−ト装置
Ｌにおける被加工物Ａを搬送する搬送装置であって、被
加工物Ａの下側に、搬送用のベルト14を、該ベルト14が
前記チャンバの４辺のうち搬送方向の対向する２辺のみ
をまたいで通過するように配した。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池パネルな
どを製造するラミネート装置において被加工物を搬送す
る搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】太陽電池パネルを製造するラミネート装
置としては、特開平9-14743号や実用新案第3037201号な
どの公報に開示されているが、従来の一般的なラミネー
ト装置は、下方に向けて膨張自在なダイアフラムを具え
た上チャンバと、発熱板を具えた下チャンバとにより構
成され、下チャンバに設けられた発熱板に、最下層がガ
ラス板で、その上にシート状の充填材，太陽電池セル，
シート状の充填材を順次積層し、最上部にシート状の裏
面材を配した被加工物を載置して、上チャンバと下チャ
ンバを減圧し、被加工物を加熱して、上チャンバに大気
を導入することにより、被加工物を発熱板の上面とダイ
アフラムとの間で挟圧してラミネートするようになって
いる。
【０００３】上記において、上チャンバと下チャンバを
減圧即ち真空引きするのは、被加工物内に気泡を残存さ
せないためで、その理由は、太陽電池に気泡が残された
ままの状態で太陽光にさらされ、温度が上昇すると、気
泡が膨張して劣化が早まるからである。
【０００４】また、被加工物は発熱板により加熱される
が、発熱板の温度は設定温度に制御され、適宜時間経過
すると、被加工物は発熱板の温度と略同一となるから、
前記設定温度を充填材の融点より高くしておくことによ
り、充填材は溶融するようになっており、上チャンバに
のみ大気を導入することにより、ダイアフラムは膨張
し、被加工物を発熱板に押し付けて一体に接合するの
で、この接合の後、下チャンバを大気圧に戻して蓋を開
き、被加工物を搬出するようになっている。
【０００５】一方、充填材としては、ＥＶＡ（エチレン
ビニルアセテート）などが使用される。このＥＶＡ樹脂
を使用した場合、ＥＶＡ樹脂は80〜100℃程度で溶融す
るので、ラミネート装置においては、前記温度以上の温
度で該樹脂を溶融させて、加圧接合させるのであるが、
接合させただけでは樹脂が安定しないので、架橋させな
ければならない。架橋の条件は樹脂の特性により異な
り、ＥＶＡ樹脂の場合、150℃程度の温度で数分〜20分
程度保持することによって、適度に架橋されるのである
が、比較的長い時間を要するので、架橋の工程は、ラミ
ネート装置においてではなく、別のオーブン装置又はコ
ンベア炉において行われることもある。
【０００６】上記充填材の大きさは、被加工物の最下層
のガラス層に対して、通常、数mm程度大きくしている
が、これは、端面でのシール性を確保するためであっ
て、このようにすると、ガラスからはみ出ている部分の
充填材が発熱板に付着し、この状態で、次の被加工物を
ラミネート装置に搬入すると、ガラスの下面に充填材が
付着してしまい、その除去が困難となる。これを防止す
る手段として、剥離性の良好なシート（以下、リリース
シートという）を２枚用意しておき、被加工物をそれら
の間に挟んだ状態でラミネート装置に入れる方法があ
る。
【０００７】リリースシートとしては、フッ素樹脂を含
浸させたガラスクロスシートが有用であり、これにＥＶ
Ａ樹脂が付着しても、容易に除去することができるが、
前述の公知の技術では、このリリースシートの機能はな
く、はみ出した充填材がチャンバ内の発熱板及びダイア
フラムに付着して残存してしまうのが現状である。ま
た、リリースシートを使用し、被加工物をこれに挟んで
搬送する場合は、該リリースシートをかぶせたり、剥が
したり、付着した充填材を除去したりする作業が必要で
あるが、これらの作業は人手によらなければならず、コ
スト高の原因となる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述のよう
な従来技術に鑑み、ラミネート装置において、ラミネー
ト機能を損なうことなく、リリースシート機能を有し、
被加工物を合理的に搬送する搬送装置を提供すること
を、その課題とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すること
を目的としてなされた本発明の構成は、ダイアフラムに
より仕切られた上チャンバと下チャンバを有すると共に
下チャンバ内に加熱装置を設け又は設けないラミネート
装置における被加工物を搬送する搬送装置であって、被
加工物の下側に、搬送用のベルトを、該ベルトが前記チ
ャンバの４辺のうち搬送方向の対向する２辺のみをまた
いで通過するように配したことを特徴とするものであ
る。
【００１０】即ち、本発明は、真空容器の蓋に取付けた
ダイアフラムにより仕切られて形成された上チャンバと
真空容器自体に形成された下チャンバを有するラミネー
ト装置において、搬送手段としてベルトを使用し、該ベ
ルトがチャンバの４辺のうち搬送方向の対向する２辺に
のみまたがって通過するようにした。このようにして真
空容器の蓋を閉じると、ベルトのチャンバの２辺にまた
がった箇所は蓋に挟まれるが、他の２辺は蓋に挟まれな
いので、この挾まれない部分から気体の通過が可能とな
り、真空容器の下チャンバを真空引きした際、ベルトの
上にある被加工物内の気体（空気）を脱気できる。ベル
トの蓋に挟まれた箇所は、上，下チャンバのシール材に
またがることになるが、シール材の柔軟性と圧縮量及び
ベルトの厚みを適度にすることにより、この部分からの
真空漏れは加工に問題ない程度に防ぐことができる。因
みに、シール材の圧縮量は数mm程度、ベルトの厚みは0.
1〜0.5mm程度であり、また、ベルトの材質としては、前
述のリリースシートと同じものが好ましい。
【００１１】搬送用のベルトは一箇所以上の箇所におい
て、分離可能に環状に接続したベルトを使用することが
好ましい。これは、被加工物の加工時に充填材がはみ出
してベルトに付着することが多く、付着した充填材はこ
れを加工後に除去するが、この除去作業を繰返し行って
いくと、ベルトが傷んで交換する必要が生じるのに対応
するためであって、こうすることにより、ベルトの傷ん
だ部分のみを交換することが可能となり、経済的であ
る。
【００１２】被加工物は、通常、加熱装置を具えたラミ
ネート装置内において、真空引き，加熱，加圧接合され
るが、この加工時に、前述のように、充填材がはみ出て
ベルトに付着する。しかし、はみ出ている充填材は、熱
い間は柔らかく粘着力があるため、被加工物はベルトか
ら剥がれにくく、ある程度冷却されると、固化し、被加
工物はベルトから容易に剥がれるようになる。そこで、
本発明においては、ベルトの搬出側に被加工物を放冷で
きる区間を持たせるようにした。
【００１３】ラミネート装置における真空容器とその蓋
の接する面には、真空漏れをなくすために、シール材が
取付けられている。加熱装置の上面は、シール材よりわ
ずかに高くして、搬送用のベルトが加熱装置の上面を滑
っていくようにする。これはベルトを駆動することによ
るシール材の摩耗を防ぐためである。しかしながら、こ
の場合、ベルトに張力を加えたまま蓋を閉じると、加熱
装置の上面が高いために、ベルトを更に引き伸ばしてし
まい、ベルトに過度の張力を与えて傷めてしまう。そこ
で、本発明では、複数のローラを設け、そのうちの１以
上がアクチュエータにより可動し、ベルトの張力を緩め
た状態で蓋を閉じるようにしたので、ベルトを傷めるこ
とがない。
【００１４】また、本発明においては、搬送用のベルト
による被加工物下面のリリースシート機能に加え、前記
搬送用のベルトと同様の被覆用のベルトを被加工物の上
を覆わせるようにして、上側のリリースシート機能を持
たせた。これは、ラミネート加工を施す前に、被加工物
を積層する際の位置の誤差、被加工物をラミネート装置
に入れる際の積層された位置のズレ、被加工物の大きさ
の誤差により、加熱，加圧された際、充填材が裏面材よ
りはみ出てしまい、はみ出した充填材がダイアフラムに
付着し、該ダイアフラムの伸びを阻害する虞れがある
が、上記被覆用ベルトを被加工物の上に被せることによ
り、裏面材よりはみ出た充填材は該被覆用のベルトに付
着し、ダイアフラムに付着するのを防止できる。因み
に、ダイアフラムは、通常、耐熱性を有するゴムシート
でできており、加圧時には、伸びる必要があるが、充填
材が付着すると、付着した部分の伸びを阻害するので、
その近傍の部分が伸びない分を補うために通常以上に伸
びて、この部分から劣化しやすくなり、そのまま繰返し
使用すると、この部分から裂けが発生し、加圧時に上チ
ャンバに大気を導入すると、下チャンバに空気が流れ込
み、真空度が悪くなると共に、上チャンバと下チャンバ
との間に充分な圧力差を維持できなくなって、加圧が不
十分となり、被加工物は不良品となってしまう。
【００１５】本発明においては、搬送用のベルト又は搬
送用のベルト及び被覆用のベルトにブラシを当てること
により、ベルトに付着した充填材を除去するようにする
と、ベルトを長持ちさせることができる。
【００１６】上記の本発明においては、搬送装置の無穴
の搬送用のベルトにリリース機能を持たせたが、これに
代え、被加工物の下側に、搬送手段としてチャンバに連
通する複数の穴を有するベルトを通し、該ベルトにより
チャンバの４辺を覆わせるようにしてもよく、被覆用の
ベルトもこの搬送用のベルトと同様にしてもよい。
【００１７】また、上述の被加工物の上側のリリース機
能を実現するに当り、ラミネート装置の搬入側と搬出側
に、それぞれベルトを巻き付けるロールを設けて、一方
のロールからベルトを繰り出し、他方のロールで巻き取
るようにしてもよい。
【００１８】また、ベルトを環状にして、ラミネート装
置の上チャンバと下チャンバの間を通すようにしてもよ
い。
【００１９】前述した搬送用ベルトの分離，接続可能な
部分は、該ベルトのその他の部分に比べて厚さが大きく
なるので、この部分をラミネート装置の蓋で挟んでしま
うと、シール材によっては、下チャンバを真空引きした
際、真空漏れを起こす場合がある。これを防ぐために
は、このベルトの接続部分を検出する検出手段とベルト
の移動量を検出する検出手段とを設けて、ベルト接続部
分を検出してから、蓋がこの部分を挟まない所定の移動
量を移動したところで、ベルトを停止させることによっ
て、接続部分を蓋で挟まない位置まで、被加工物を搬送
できるようにすればよい。
【００２０】上記の場合、ベルト搬送起動スイッチを設
けておき、装置の操作者が、被加工物と搬送用のベルト
の接続部を目視により確認して、前記スイッチをオフに
することにより、ベルト搬送を停止させるようにして
も、ベルトをその接続部分を蓋で挟まない位置で停止さ
せることができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態例を、
ラミネート装置に太陽電池用ラミネート装置を使用した
例の図により説明する。図１は被加工物の構成を示す断
面図、図２は蓋が開いている状態のラミネート装置の断
面図、図３は図２の状態から蓋を閉じて下チャンバを真
空引きし、上チャンバに大気を導入して、ダイアフラム
により被加工物を発熱板に押し付けた状態の断面図、図
４は本発明における搬送用ベルトの平面図、図５は図４
の別例の平面図、図６は搬送用ベルトの接合部の平面
図、図７は図６の側面図、図８は本発明搬送装置の一例
の搬送状態を示す図、図９は図８の状態から加工が終了
し蓋を開いた状態を示す図、図10は図９の状態から被覆
用ベルトを少し浮かした状態を示す図、図11は図10の状
態から被加工物を搬送している状態を示す図、図12は図
11の状態から被覆用ベルトを更に高い位置に上げた状態
を示す図、図13は図12の状態から被覆用ベルトを巻戻し
ている状態を示す図、図14は図13の状態から被覆用ベル
トを元の位置に下げた状態を示す図、図15は図14の状態
から蓋を閉じた状態を示す図、図16は被覆用ベルトを環
状にした例を示す図、図17は図16の別例を示す図であ
る。
【００２２】図１において、Ａはラミネート加工すべき
被加工物で、最下層のガラス板１の上に、シート状の充
填材２、太陽電池セル３、シート状の充填材５を順次積
層し、最上位に裏面材６を配して構成される。なお、４
は太陽電池セル３を連結するリボン状の電極である。
【００２３】図２，３において、７は真空容器、８はそ
の蓋、９は蓋８に取付けたダイアフラム、10は蓋８とダ
イアフラム９により形成された上チャンバ、11は真空容
器７に取付けた発熱板、12は真空容器７とダイヤフラム
９により形成された下チャンバで、真空容器７と蓋８は
シール材13により密封されるようになっている。7aは真
空容器７の配管接続口、8aは蓋８の配管接続口であっ
て、両接続口7a，8aは、真空引きと大気導入の両動作の
ためのものである。通常のラミネート装置は上記により
構成され、発熱板11の上に被加工物Ａを載置して、図３
に示すように、真空容器７に蓋８を施し、発熱板11によ
り被加工物Ａを加熱すると共に真空容器７を真空引きし
て、ダイアフラム９を被加工物Ａの上面から発熱板11に
押し付けるようにすることにより、発熱板11の加熱によ
り充填材２，５が溶融すると共に被加工物Ａが脱泡さ
れ、ラミネート体に形成された後、蓋８を取り外して該
ラミネート体を取り出すのであるが、本発明は被加工物
Ａを搬送するため、発熱板11と被加工物Ａとの間に搬送
用の下側ベルト14を配して、ラミネート加工後の被加工
物Ａを下側ベルト14により搬送するようにした。
【００２４】なお、上記下側ベルト14は、図４に示すよ
うに、チャンバ12の４辺のうち搬送側の対向する２辺に
のみまたいで通過するようにして、真空容器７の蓋８を
閉じると、ベルト14のチャンバの２辺にまたがった箇所
は蓋８に挟まれ、そうでない箇所は蓋８に挟まれないの
で、気体の通過が可能である。従って、下チャンバ12を
真空引きした際、被加工物Ａ内の気体（空気）を脱気で
きる。また、蓋８に挟まれた箇所は、シール材13にまた
がることになるが、シール材13の柔軟性と圧縮量及びベ
ルトの厚みを適度にすることにより、この部分からの真
空漏れは、加工に問題のない程度に防ぐことができる。
前述のように、シール材13の圧縮量は数mm程度で、ベル
ト14の厚みは0.1〜0.5mm程度である。
【００２５】更に、ベルト14の材質は、前述のように、
リリース機能を有するフッ素樹脂を含浸させたガラスク
ロスシートが有用である。その理由は、ラミネート加工
に際し、充填材２，５が発熱板11により加熱されて溶融
すると、はみ出して発熱板11に付着し、前述のような不
具合が生じるからで、本発明においては、はみ出た充填
材２が下側ベルト14に付着するようにしたので、従来の
ような問題はなくなる。
【００２６】15は被加工物Ａの上に被せた被覆用の上側
ベルトで、下側ベルト14と同様のベルトであり、リリー
ス機能を持たせて、ラミネート加工時に溶融しはみ出た
充填材２，５がダイアフラム９に付着して不具合が生じ
るのを防ぐためのものである。
【００２７】図４において、16はラミネート装置Ｌのフ
レーム、17は下側ベルト用ローラ、18は球面軸受け、19
は下側ベルト用ブラケット、20は下側ベルト用直動ガイ
ド、21は下側ベルト用シリンダ、22は搬入コンベア、23
は下側ベルト14における加工後の被加工物A´を放冷す
る区間、24は下チャンバ12の気体の流路である。
【００２８】図５は下側ベルト14に代えて、両側に穴26
を列設した穴明きベルト25を用いた例を示す平面図で、
この穴明きベルト25を用いることにより、チャンバ12の
四辺を覆っても、穴26が気体の流路になるため、ラミネ
ート加工に際して脱気が可能である。
【００２９】図６は下側ベルト14の接合部の平面図、図
７は図６の正面図であり、27はヒンジ状をなすベルト接
続部材、28は該接続部材27に通したピンであって、ピン
28により下側ベルト14の分離及び接続が可能である。
【００３０】図８〜図15は、本発明搬送装置により被加
工物Ａを搬送する実施状態を例示するもので、これらの
図においては、上側ベルト15も用いられている。そし
て、下側ベルト14は複数箇所において接続されて環状を
なし、その駆動ローラ29に電動機等のアクチュエータを
取付けて駆動するようになっており、また、搬送される
被加工物Ａが下側ベルト14の接合部に乗らないように、
ベルト14の接続部を検出する接続部検出器30配設して、
該検出器30によりベルト14の継ぎ目を検出して、回転量
検出器31により前記ローラ29の回転量を測定し、下側ベ
ルト14の移動量が所定の長さになるまで該ベルト14を駆
動し停止させることによって、被加工物Ａをラミネート
装置内の所定位置まで搬入することができる。なお、ベ
ルト14の接続部検出器30としては、厚さ測定センサ又は
色判別センサ等が例示され、一方、ローラ29の回転量検
出器としては、パルス発生器が例示される。
【００３１】一方、上側ベルト15は、搬入側と搬出側に
それぞれベルトを巻きつけるローラを設け、一方から繰
り出し、他方で巻き取るようにしてある。図８におい
て、32は搬入側の上側ベルトロール、33は搬出側の上側
ベルトロールで、それらロールのそれぞれに電動機を取
付け、繰り出し側においてトルクの制御を行い、巻き取
り側において速度の制御を行うことにより、上側ベルト
15の搬送が可能である。なお、ベルト15の張力は前記ト
ルクの制御により制御することができる。
【００３２】34は上側ベルト用シリンダ、35は同じく上
側ベルト用シリンダ、36は上側ベルト用ブラケット、37
は上側ベルト用ローラ、38は上側ベルト用ブラシ、39は
下側ベルト用ブラシであり、上側ベルト用ローラ37は、
上側ベルト用ブラケット36を介して上側ベルト用シリン
ダ34，35により上下動が可能であって、これらにより上
側ベルト15の高さを変更できる。また、図8において
は、搬入コンベア22には未加工の被加工物Ａがあり、ラ
ミネート装置内では被加工物Ａが加工されており、下側
ベルト14の搬出側には放冷中の被加工物A'がある状態を
示していて、この状態にあっては、下側ベルト14には下
側ベルト用ブラシ39が、また、上側ベルト14には上側ベ
ルト用ブラシ38が当てられ、それぞれのベルトに付着し
た充填材２，５を除去している。図中、40は搬出用コン
ベアである。
【００３３】図９は、図８の状態から、ラミネート加工
が終了して、真空容器７の蓋８を開いた状態を示してお
り、図10は、図9の状態から上側ベルト15を少し浮かし
た状態を示している。この時点では、上側ベルト15は高
く上げないほうがよい。その理由は、上側ベルト15を高
く上げると、裏面材６からはみ出した充填材５が上側ベ
ルト15に付着していた場合、該充填材５が糸状に伸びて
長くなってしまい、上側ベルト用ブラシ38による充填材
５の除去が困難になるからである。
【００３４】図11は、図10の状態から、被加工物Ａ，A'
を搬送している状態を示しており、下側ベルト14及び上
側ベルト15に付着した充填材２，５は前記ブラシ39，38
により除去される。
【００３５】図12は、図11の状態から上側ベルト15を更
に高い位置に上げた状態を示しており、図13は、図12の
状態から該ベルト15を巻戻している状態を示している。
【００３６】図14は、図13の状態から上側ベルト15を元
の位置に下げた状態、即ち、被加工物Ａに該ベルト15を
被せた状態を示しており、図15は、図14の状態から蓋８
を閉じた状態を示している。
【００３７】本発明では、図８〜図15により説明した上
側ベルト15を環状に形成したものに代替することができ
る。即ち、図16は、上側ベルトを環状にした例を示すも
ので、図16における41は上下動用電動機、42はカップリ
ング、43はギアボックス、44はベアリングユニット、45
はネジ、46は該ネジ45に螺合するナット、47は上側ベル
ト駆動ローラ、48は環状、つまりエンドレスの上側ベル
ト、49は、前記ナット46，駆動ローラ47及び上側ベルト
用シリンダ50，上側ベルト用ブラケット51を取付けた上
下動用ブラケット、52は連結シャフト、53はギアボック
スであって、上側ベルト用ローラ37は、上下動用ブラケ
ット49を介して前記シリンダ50，ブラケット51により、
上下動可能にされており、これによって上側ベルト48の
張力を緩めることができるようになっている。 また、
上下動用ブラケット49はナット46を介してネジ45により
上下動可能であるが、これはギアボックス43を介して上
下動用電動機41により駆動される。更に、上側ベルト48
は前記駆動ローラ47により駆動され、搬送される。な
お、駆動ローラ47の駆動は電動機などで可能である。
【００３８】図17は、図16と同様、上側ベルト48を環状
にした例を示すもので、図16の例と異なるところは、上
下動用ブラケット49に代え、固定ブラケット54を用い、
このブラケット54に駆動ローラ47及び上側ベルト用シリ
ンダ50，上側ベルト用ブラケット51を取付け、該ブラケ
ット51を連結ビーム55を介してラミネート装置Ｌの蓋８
に取付けた点である。上側ベルト48の張力を緩めるのは
上述の例と同様であるが、ベルト48の上下動は、該ベル
ト48の関連部品が蓋８と一体になっているので、蓋８の
開閉動作により行うのである。
【００３９】なお、上記例においては、太陽電池用ラミ
ネート装置における搬送装置について述べたが、本発明
搬送装置は太陽電池用ラミネート装置に限られることな
く、他のラミネート装置に適用することも可能である。
また、本発明では下側ベルト14を設けず、上側ベルト15
のみで本発明を適用することも可能である。この場合、
被加工物はシート状のリリースシートの上に乗せて、発
熱板11上へ搬入される。
【００４０】
【発明の効果】本発明は上述のとおりであって、ダイア
フラムにより仕切られた上チャンバと下チャンバを有す
ると共に下チャンバ内に加熱装置を設け又は設けないラ
ミネート装置における被加工物を搬送する搬送装置であ
って、被加工物の下側に、搬送用のベルトを、該ベルト
が前記チャンバの四辺のうち搬送方向の対向する２辺の
みをまたいで通過するように配して構成するか、又は、
搬送用ベルトに、両側にチャンバに連通する穴を列設し
たベルトを用い該ベルトをチャンバの４辺にまたがせて
上記と同様に構成するか、或いは、搬送用のベルトに対
向させて被覆用ベルトを被加工物の上に被せ、被加工物
を、搬送用，被覆用の２本のベルト間に挟んだ状態で搬
送するように構成し、更には、上記ベルトにリリース機
能をもたせることにより、従来装置の問題点を払拭する
ことができて、太陽電池用ラミネート装置に適用すれ
ば、きわめて品質の良好な太陽電池パネルを得ることが
できる。
【００４１】即ち、最下層がガラス板で、その上にシー
ト状の充填材、太陽電池セル、シート状の充填材を順次
積層し、最上部に裏面材を配したものを被加工物とする
太陽電池用ラミネート装置において、被加工物の下又は
下及び上にベルトを配し、被加工物を加熱加圧してラミ
ネート加工を施すと、加熱により充填材がはみ出して
も、はみ出した充填材は搬送用ベルト又は搬送用ベルト
及び被覆用ベルトに付着して発熱板には付着せず、従来
行っていた発熱板からの充填材の除去作業がふようとな
るので、作業能率は向上するばかりでなく、得られた太
陽電池パネルの品質は極めて良好なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】被加工物の構成を示す断面図。
【図２】蓋が開いている状態のラミネ−ト装置の断面
図。
【図３】図２の状態から蓋を閉じて下チャンバを真空引
きし、上チャンバに大気を導入して、ダイアフラムによ
り被加工物を発熱板に押し付けた状態の断面図。
【図４】本発明における搬送用ベルトの平面図。
【図５】搬送用ベルトの別例の平面図。
【図６】搬送用ベルトの接合部の平面図。
【図７】図６の接合部の側面図。
【図８】本発明搬送装置の一例の搬送状態を示す図。
【図９】図８の状態から加工が終了し蓋を開いた状態を
示す図。
【図10】図９の状態から被覆用ベルトを少し浮かした状
態を示す図。
【図11】図10の状態から被加工物を搬送している状態を
示す図。
【図12】図11の状態から被覆用ベルトを更に高い位置に
上げた状態を示す図。
【図13】図12の状態から被覆用ベルトを巻戻している状
態を示す図。
【図14】図13の状態から被覆用ベルトを元の位置に下げ
た状態を示す図。
【図15】図14の状態から蓋を閉じた状態を示す図。
【図16】被覆用ベルトを環状にした例を示す図。
【図17】図16の別例を示す図。
【符号の説明】
Ａ 被加工物 A' 加工済みの被加工物 １ ガラス板 ２，５ シート状充填材 ３ 太陽電池セル ４ 電極 ６ 裏面材 Ｌ ラミネート装置 ７ 真空容器 ８ 蓋 ９ ダイアフラム 10 上チャンバ 11 発熱板 12 下チャンバ 13 シール材 14 下側ベルト（搬送用ベルト） 15 上側ベルト（被覆用ベルト） 22 搬入コンベア 23 被加工物の放冷区間 25 穴明きベルト（下側ベルト） 26 穴 27 下側ベルトの接続部材 28 ピン 29 下側ベルトの駆動ローラ 30 接続部検出器 31 駆動ローラの回転量検出器 38 下側ベルト用ブラシ 39 上側ベルト用ブラシ 40 搬出用コンベア 48 環状にした上側ベルト

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 内部がダイアフラムにより仕切られる上
    チャンバと下チャンバを具備し、該下チャンバ内に加熱
    装置を有するか又は有しないラミネート装置における被
    加工物を搬送する搬送装置であって、被加工物の下側
    に、搬送用のベルトを、該ベルトが前記チャンバの４辺
    のうち搬送方向の対向する２辺のみをまたいで通過する
    ように配したことを特徴とするラミネート装置における
    搬送装置。
  2. 【請求項２】 内部がダイアフラムにより仕切られる上
    チャンバと下チャンバを具備し、該下チャンバ内に加熱
    装置を有するか又は有しないラミネート装置における被
    加工物を搬送する搬送装置であって、被加工物の下側
    に、搬送用のベルトを、該ベルトが前記チャンバの４辺
    のうち搬送方向の対向する２辺のみをまたいで通過する
    ようにすると共に、被加工物の上側に前記搬送用ベルト
    に対向する被覆用のベルトを配したことを特徴とするラ
    ミネート装置における搬送装置。
  3. 【請求項３】 内部がダイアフラムにより仕切られる上
    チャンバと下チャンバを具備し、該下チャンバ内に加熱
    装置を有するか又は有しないラミネート装置における被
    加工物を搬送する搬送装置であって、被加工物の下側
    に、前記チャンバに連通する複数の穴を有する搬送用の
    ベルトを、該ベルトがチャンバの４辺を覆うように配し
    たことを特徴とするラミネート装置における搬送装置。
  4. 【請求項４】 内部がダイアフラムにより仕切られる上
    チャンバと下チャンバを具備し、該下チャンバ内に加熱
    装置を有するか又は有しないラミネート装置における被
    加工物を搬送する搬送装置であって、被加工物の下側
    に、前記チャンバに連通する複数の穴を有する搬送用の
    ベルトを、該ベルトがチャンバの４辺を覆うように配す
    ると共に、チャンバの４辺を覆う大きさで且つ前記チャ
    ンバに連通する複数の穴を有する被覆用のベルトを被加
    工物の上側に配したことを特徴とするラミネート装置に
    おける搬送装置。
  5. 【請求項５】 搬送用のベルトに、１箇所以上において
    分離可能に接続したベルトを使用した請求項１〜４のい
    ずれかに記載の搬送装置。
  6. 【請求項６】 搬送用のベルトの分離及び接続可能にし
    た部分を検出する検出手段と、該ベルトの移動量を検出
    する手段を具えた請求項１〜５のいずれかに記載の搬送
    装置。
  7. 【請求項７】 搬送用のベルトの搬出側に、ラミネート
    装置において加熱加工された被加工物を放冷する区間を
    設けた請求項１〜６のいずれかに記載の搬送装置。
  8. 【請求項８】 搬送用のベルトを複数のローラに掛け回
    し、前記ローラの１以上がアクチュエータにより駆動さ
    れ、ベルトの張力を制御するようにした請求項１〜７の
    いずれかに記載の搬送装置。
  9. 【請求項９】 搬送用のベルト又は搬送用のベルト及び
    被覆用のベルトにブラシを当て、被加工物の搬送時、ベ
    ルトに付着した異物を除去するようにした請求項１〜８
    のいずれかに記載の搬送装置。
  10. 【請求項10】 内部がダイアフラムにより仕切られる上
    チャンバと下チャンバを具備し、該下チャンバ内に加熱
    装置を有するか又は有しないラミネート装置における被
    加工物を搬送する搬送装置であって、被加工物の上側に
    被覆用のベルトを走行可能に配したことを特徴とするラ
    ミネート装置における搬送装置。
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005353295A (ja) * 2004-06-08 2005-12-22 Fujikura Ltd 光電変換素子およびその製造方法
JP2008036857A (ja) * 2006-08-02 2008-02-21 Nisshinbo Ind Inc ラミネート装置
JP2008542071A (ja) * 2005-06-03 2008-11-27 ３エス スイス ソーラー システムズ アクチェンゲゼルシャフト 複合材料からなるプレート状の部材を形成する機械
JP2010030233A (ja) * 2008-07-31 2010-02-12 Nisshinbo Holdings Inc ラミネート装置用搬送シートの取付け固定方法およびその搬送シートの取付け固定方法を使用したラミネート装置
JP2010052431A (ja) * 2008-08-28 2010-03-11 Robert Buerkle Gmbh 積層方法及び積層プレス
JP2011014545A (ja) * 2010-08-30 2011-01-20 Fujikura Ltd 光電変換素子およびその製造方法
CN102194659A (zh) * 2010-02-03 2011-09-21 志圣工业股份有限公司 晶圆压膜机干膜输送机构
JP2015033720A (ja) * 2013-07-10 2015-02-19 北川精機株式会社 プレス成形用のカバーシート及びキャリアプレート並びにプレス装置
KR101543424B1 (ko) * 2012-08-24 2015-08-10 가부시키가이샤 메이키 세이사쿠쇼 적층 방법 및 적층 시스템

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6470946B2 (en) * 2001-02-06 2002-10-29 Anadigics, Inc. Wafer demount gas distribution tool
JP3892703B2 (ja) * 2001-10-19 2007-03-14 富士通株式会社 半導体基板用治具及びこれを用いた半導体装置の製造方法
EP1386726A1 (en) * 2002-07-31 2004-02-04 Fox Technologies S.r.l. A process and device for pressing multi-layered cards
JP4250488B2 (ja) * 2003-09-16 2009-04-08 キヤノン株式会社 熱圧着方法
DE10345576B4 (de) * 2003-09-29 2008-03-06 Hans Thoma Durchlaufende Vorrichtung zum Löten von Solarzellen
JP4248389B2 (ja) * 2003-12-25 2009-04-02 シャープ株式会社 太陽電池モジュールの製造方法と太陽電池モジュールの製造装置
DE102007025380A1 (de) * 2007-05-30 2008-12-04 Robert Bürkle GmbH Mehretagen-Laminierpresse
US7718026B2 (en) * 2007-11-30 2010-05-18 Pak Secure System Llc Retractable clip press
DE102008018874A1 (de) * 2008-04-14 2009-10-15 Meier Solar Solutions Gmbh Laminiereinrichtung mit Heiz- und Kühleinrichtung sowie Verfahren zu deren Betrieb
EP2119679A1 (de) * 2008-05-16 2009-11-18 3S Swiss Solar Systems AG Verfahren zum Bearbeiten eines Laminats
DE102008025790A1 (de) * 2008-05-29 2009-12-03 Robert Bürkle GmbH Presse und Verfahren zum Laminieren von im Wesentlichen plattenförmigen Werkstücken
US20100101647A1 (en) * 2008-10-24 2010-04-29 E.I. Du Pont De Nemours And Company Non-autoclave lamination process for manufacturing solar cell modules
US20100154867A1 (en) 2008-12-19 2010-06-24 E. I. Du Pont De Nemours And Company Mechanically reliable solar cell modules
DE102009002023B4 (de) * 2009-03-31 2013-04-04 Hans Gerd Stevens Laminationsvorrichtung
EP2239789A1 (en) 2009-04-08 2010-10-13 SAPHIRE ApS Laminating assembly
DE102009020172A1 (de) * 2009-05-07 2010-11-11 Robert Bürkle GmbH Presse zum Laminieren von im Wesentlichen plattenförmigen Werkstücken
TW201112345A (en) * 2009-09-30 2011-04-01 C Sun Mfg Ltd Protection device for release film of wafer film laminator
US8016012B2 (en) * 2010-02-03 2011-09-13 Lai Chin-Sen Flattening mechanism for dry film laminator
US20130105062A1 (en) * 2011-11-02 2013-05-02 Asm Technology Singapore Pte. Ltd. Apparatus for laminating a photovoltaic layup, and a method of laminating the same
WO2014046810A1 (en) * 2012-09-24 2014-03-27 Dow Corning Corporation Systems and methods for press curing photovoltaic cell module preassemblies
DE102015115453A1 (de) 2015-09-14 2017-03-16 Robert Bürkle GmbH Laminiervorrichtung zum Laminieren eines Schichtenstapels und Anlage zum Herstellen von Photovoltaikmodulen
CN106256421B (zh) * 2016-08-24 2019-02-22 佛山慧谷科技股份有限公司 一种制造板片或块体形式的产品的生产设备及其方法
JP6779197B2 (ja) * 2017-12-13 2020-11-04 株式会社豊田自動織機 ソーラーパネルの製造方法
DE102018106544B3 (de) * 2018-03-20 2019-06-27 Mühlbauer Gmbh & Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zum Transport einer Anordnung flexibler Schaltungssubstrate während der Herstellung eines Verbunds daraus
DE102019003333A1 (de) * 2019-05-10 2020-11-12 Mühlbauer Gmbh & Co. Kg Fertigungssystem für Dünnschicht-Solarzellenanordnungen

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3580795A (en) * 1966-10-05 1971-05-25 John E Eichenlaub Apparatus for welding heat sealable sheet material
US3738890A (en) * 1971-04-08 1973-06-12 Seal Method of bonding a laminating film to a graphic art object
US3964958A (en) * 1973-01-24 1976-06-22 Johnston Orin B Heat bonding device
US4067764A (en) * 1977-03-15 1978-01-10 Sierracin Corporation Method of manufacture of solar cell panel
US4445025A (en) * 1982-11-01 1984-04-24 Athena Controls Inc. Low mass flexible heating means
WO1989008542A1 (en) * 1988-03-18 1989-09-21 Takai International Yacht Design Incorporated Molding method and apparatus for laminated molded article
US5593532A (en) * 1993-06-11 1997-01-14 Isovolta Osterreichische Isolierstoffwerke Aktiengesellschaft Process for manufacturing photovoltaic modules
US5578158A (en) * 1994-03-01 1996-11-26 Massachusetts Institute Of Technology Method and system for forming a composite product from a thermoformable material
JPH09141743A (ja) * 1995-11-24 1997-06-03 N P C:Kk ラミネート装置

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4606780B2 (ja) * 2004-06-08 2011-01-05 株式会社フジクラ 光電変換素子の製造方法
JP2005353295A (ja) * 2004-06-08 2005-12-22 Fujikura Ltd 光電変換素子およびその製造方法
JP4908504B2 (ja) * 2005-06-03 2012-04-04 ３エス スイス ソーラー システムズ アクチェンゲゼルシャフト 複合材料からなるプレート状の部材を形成する機械
JP2008542071A (ja) * 2005-06-03 2008-11-27 ３エス スイス ソーラー システムズ アクチェンゲゼルシャフト 複合材料からなるプレート状の部材を形成する機械
JP2008036857A (ja) * 2006-08-02 2008-02-21 Nisshinbo Ind Inc ラミネート装置
JP2010030233A (ja) * 2008-07-31 2010-02-12 Nisshinbo Holdings Inc ラミネート装置用搬送シートの取付け固定方法およびその搬送シートの取付け固定方法を使用したラミネート装置
JP2010052431A (ja) * 2008-08-28 2010-03-11 Robert Buerkle Gmbh 積層方法及び積層プレス
CN102194659B (zh) * 2010-02-03 2013-06-12 志圣工业股份有限公司 晶圆压膜机干膜输送机构
CN102194659A (zh) * 2010-02-03 2011-09-21 志圣工业股份有限公司 晶圆压膜机干膜输送机构
JP2011014545A (ja) * 2010-08-30 2011-01-20 Fujikura Ltd 光電変換素子およびその製造方法
KR101543424B1 (ko) * 2012-08-24 2015-08-10 가부시키가이샤 메이키 세이사쿠쇼 적층 방법 및 적층 시스템
US9460910B2 (en) 2012-08-24 2016-10-04 Kabushiki Kaisha Meiki Seisakusho Lamination method and lamination system
JP2015033720A (ja) * 2013-07-10 2015-02-19 北川精機株式会社 プレス成形用のカバーシート及びキャリアプレート並びにプレス装置

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