JP2000068362A - 真空ピンセット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】真空ピンセットによるウェハの保持を確実に行
う。 【解決手段】真空ピンセットは、ウェハ吸着部に円錐形
の弾性材料を用いる。 【効果】ウェハの保持を確実に行うことによって落下に
よる破損を防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造の製造
工程、検査工程等においてウェハの吸着のために使用さ
れる真空ピンセットに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造の分野においては、製造工
程、検査工程等においてウェハの吸着のために、真空ピ
ンセットが使用されている。図１は真空ピンセットであ
る。掴持部１に設けられたボタン２を押すことによっ
て、真空導引部３から通ずる真空が、ウェハ吸着部４に
達し、ウェハを吸着する。ウェハ吸着部４は平坦なプラ
スチック材質で構成されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記真
空ピンセットにおいては、ウェハ吸着部４は、プラスチ
ックで構成されており、劣化による反りが生じ、真空漏
れが起こり、吸着したウェハが落下するという問題点が
あった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の真空ピン
セットは、ウェハ吸着部に円錐形の弾性を有する材質を
使用する事を特徴とする。請求項１記載の発明による
と、吸着部が円錐形で弾性を有する材質を使用すること
により、吸着時に真空によって吸着部がウェハに密着
し、安定してウェハを保持することができる。

【０００５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の真空ピンセットの
実施形態について図２及び図３を参照して説明する。図
２において、ウェハ吸着部４は弾性を有する材質で構成
されているため、ウェハ吸着時にウェハ裏面の平面に合
わせ弾性変形する。このため、ウェハと、吸着部１との
密着性が増し、安定して保持することができる。図３は
吸引部の拡大図である。真空導引部２０はテーパ状にな
っており、吸引部４０にはめ込みで接続される。吸引部
４０は弾性材料であるため、真空導引部２０とは密着性
が保持され真空漏れは防止できる。

【０００６】

【発明の効果】請求項１記載の真空ピンセットによれ
ば、ウェハ吸着部が弾性を有する材料から構成されるこ
とにより、ウェハとの密着性を高め、確実にウェハを保
持し、落下による破損を防止する効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の真空ピンセットの側面図を示す。

【図２】本発明による真空ピンセットの側面図を示す。

【図３】図２におけるウェハ吸着部４の拡大図を示す。

【符号の説明】

１．掴持部 ２．ボタン ３．真空導引部 ４．ウエハ吸着部 ２０．真空導引部 ４０．吸引部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】真空によってウェハを吸着する真空ピンセ
   ットにおいて、ウェハ吸着部に、円錐形の弾性を有する
   材質を使用したことを特徴とする真空ピンセット。