JP2000068242A - ウエハのエッジ部及びノッチ部の洗浄方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ノッチ部を有するウエハのエッジ部及びノッ
チ部を簡単な方法で確実に洗浄することができる洗浄方
法の提供にある。 【解決手段】 ノッチ部を有するウエハ３０を水平面で
回転させ、垂直方向に張った糸１２を緊張状態でウエハ
３０のエッジ部３２に押しつけてウエハ３０のエッジ部
３２及びノッチ部３４の洗浄を行うようにした。その場
合に、糸１２をその中心線を軸にして回転させるととも
に、垂直方向に揺動させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ノッチ部を有する
ウエハのエッジ部及びノッチ部の洗浄方法に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来から、半導体ウエハの洗浄方法の１
つとしてスピン洗浄方法が用いられている。この方法
は、水平に設置された回転台の上にウエハを載せて回転
させ、上方からウエハの表面中央部に洗浄液を滴下させ
て回転に伴う遠心力で洗浄液をウエハの周方向に移動さ
せて洗浄する方法である。この方法の場合、ウエハの表
面の洗浄は行えるが、ウエハの端部すなわちエッジ部の
洗浄が不十分となる。そこで、スピン洗浄の後あるいは
前に円弧状のブラシでウエハのエッジ部をこすって汚れ
を落とす方法などが用いられている。

【０００３】ところで、半導体ウエハの結晶方向の判別
や整列を目的としてウエハのエッジ部にＶ字状の切り込
みであるノッチ部を設ける場合がある。この場合、図３
（ａ）に示すように、円弧状のブラシ２０でウエハ３０
のエッジ部３２をこすっても、凹んでいるノッチ部３４
のところの洗浄はできない。そこで、図３（ｂ）に示す
ように、ノッチ部３４に対しシャワー３６で直接洗浄液
をかけて洗浄する方法、あるいは図３（ｃ）に示すよう
に、ウエハ３０のノッチ部３４が設けられている部分を
洗浄槽４０の洗浄液４２中に浸漬して洗浄する方法が用
いられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、ノッチ部３
４に対し直接シャワーをかけて洗浄する方法の場合、ノ
ッチ部だけを狙うのが難しく、また液跳ねによる他の部
分への付着汚染があり問題がある。また、ウエハ３０の
ノッチ部３４が設けられている部分を洗浄槽４０の洗浄
液４２中に浸漬して洗浄する方法の場合、ノッチ部３４
に付着していた汚れが洗浄液４２中に溶けだしてウエハ
３０の他の部分を汚染する可能性がある。

【０００５】本発明は、ノッチ部を有するウエハのエッ
ジ部及びノッチ部を簡単な方法で確実に洗浄することが
できる洗浄方法の提供を目的としている。

【課題を解決するための手段】上述課題を解決するため
に、本発明は、次のような手段を採用した。請求項１に
記載のウエハのエッジ部及びノッチ部の洗浄方法は、ノ
ッチ部を有するウエハを水平面で回転させ、垂直方向に
張った糸を緊張状態でウエハのエッジ部に押しつけてウ
エハのエッジ部及びノッチ部の洗浄を行うようにしたこ
とを特徴としている。

【０００６】このように構成したので、ウエハが回転す
ると、ウエハのエッジ部は糸とこすれて先ずエッジ部に
付着していた汚れが落とされる。さらに、糸がウエハの
ノッチ部のところに来るとノッチ部の中に入り込み、ノ
ッチ部の中に付着していたゴミなどの不純物も糸とのこ
すれによって掻き出される。

【０００７】請求項２に記載のウエハのエッジ部及びノ
ッチ部の洗浄方法は、請求項１に記載の発明において、
糸を、その中心線を軸にして回転させるようにしたこと
を特徴としている。

【０００８】このように構成すると、糸の回転数を調節
することによって、糸とウエハのエッジ部やノッチ部と
のこすれ具合を変えることができ、汚れを取るのに最適
な状態にすることが可能となる。

【０００９】請求項３に記載のウエハのエッジ部及びノ
ッチ部の洗浄方法は、請求項１又は２記載の発明におい
て、糸を垂直方向に揺動させるようにしたことを特徴と
している。

【００１０】このようにすると、ウエハのエッジ部及び
ノッチ部に付着していた汚れを、さらに効率よく取り去
ることが可能となる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明に
係るウエハのエッジ部及びノッチ部の洗浄方法の実施の
形態について説明する。なお、従来の技術の項で説明し
た部材と同一あるいは相当するものには同一符号を付
す。

【００１２】この洗浄方法は、図１（ａ）、（ｂ）に示
すように、水平面で回転するように構成された回転台１
０の上にウエハ３０を乗せて、垂直方向に張った糸１２
を緊張状態でウエハ３０のエッジ部３２に押しつけて、
回転台１０を回転させる。ウエハ３０は回転台１０に固
定されているので、回転台１０が回転するとウエハ３０
も同様に回転する。ウエハ３０が回転すると、糸１２は
相対的にウエハ３０のエッジ部３２円周に沿って移動す
ることになる。

【００１３】このため、ウエハ３０のエッジ部３２は糸
１２とこすれてエッジ部３２に付着していた汚れが落と
される。さらに、図２（ａ）〜（ｅ）に示すように、糸
１２がウエハ３０のノッチ部３４のところに来るとノッ
チ部３４の中に入り込み、ノッチ部３４の中に付着して
いたゴミなどの不純物も糸１２とのこすれによって掻き
出される。

【００１４】なお、糸１２は、直径０．５ｍｍ〜０．２
ｍｍ程度の丈夫なナイロン糸を用い、糸１２自体も洗浄
液に浸して使用するようにしてもよい。また、糸１２
は、固定させた状態でもよいが、その中心線を軸にして
回転させるようにしてもよい。その場合、回転方向はウ
エハ３０の回転方向と同方向、すなわちウエハ３０が、
図１（ｂ）に示すように、時計方向の場合、糸１２も時
計方向に回す。逆方向でもよいが、その場合には、ウエ
ハ３０の周速度と糸１２の周速度とをずらす必要があ
る。

【００１５】これらの場合、糸１２の回転数を調節する
ことによって、糸１２とウエハ３０のエッジ部３２やノ
ッチ部３４とのこすれ具合を変えることができ、汚れを
取るのに最適な状態にすることが可能となる。

【００１６】また、糸１２を、図１（ａ）の矢印Ａで示
すように、垂直方向に揺動させると、ウエハのエッジ部
及びノッチ部に付着していた汚れを、さらに効率よく取
り去ることができる。

【００１７】なお、上記の実施形態では、糸１２は単数
であったが、複数本を配置すれば、その分だけ洗浄効率
が上がり、洗浄時間を短縮することができる。

【００１８】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に記載の
発明によれば、ウエハが回転すると、ウエハのエッジ部
は糸とこすれてエッジ部に付着していた汚れが落とされ
るとともに、糸がウエハのノッチ部のところでノッチ部
内に入り込み、ノッチ部の中に付着していたゴミなどの
不純物も糸とのこすれによって掻き出される。

【００１９】請求項２に記載の発明によれば、糸の回転
数を調節することによって、糸とウエハのエッジ部やノ
ッチ部とのこすれ具合を変えることができ、汚れを取る
のに最適な状態にすることができる。

【００２０】請求項３に記載の発明によれば、糸を上下
に揺動させるので、ウエハのエッジ部及びノッチ部に付
着していた汚れを、さらに効率よく取り去ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るウエハのエッジ部及びノッチ部の
洗浄方法の実施の形態を示し、（ａ）は洗浄方法を説明
する斜視図、（ｂ）は平面図である。

【図２】糸がウエハのノッチ部を通過する様子を示す図
である。

【図３】従来のウエハのエッジ部及びノッチ部の洗浄方
法を示し、（ａ）は円弧状ブラシで行う方法、（ｂ）は
直接シャワーで行う方法、（ｃ）は洗浄槽に浸漬して行
う方法を示す図である。

【符号の説明】

１０ 回転台 １２ 糸 ２０ 円弧状ブラシ ３０ ウエハ ３２ エッジ部 ３４ ノッチ部 ３６ シャワー ４０ 洗浄槽 ４２ 洗浄液

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ノッチ部を有するウエハを水平面で回転
   させ、垂直方向に張った糸を緊張状態でウエハのエッジ
   部に押しつけてウエハのエッジ部及びノッチ部の洗浄を
   行うようにしたことを特徴とするウエハのエッジ部及び
   ノッチ部の洗浄方法。
2. 【請求項２】 前記糸を、その中心線を軸にして回転さ
   せるようにしたことを特徴とする請求項１に記載のウエ
   ハのエッジ部及びノッチ部の洗浄方法。
3. 【請求項３】 前記糸を、垂直方向に揺動させるように
   したことを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハの
   エッジ部及びノッチ部の洗浄方法。