JP2000067475A - 貼り合わせ光ディスクのチャッキング搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 第１，第２の光ディスク基板２，４の中心孔
をチャッキングしながら次の工程に搬送する貼り合わせ
光ディスクのチャッキング搬送装置を提供する。 【解決手段】 剛性を持った複数の腕部２５ａと、複数
の腕部２５ａの下方に連接した複数の円弧部２５ｂと、
複数の円弧部２５ｂの下方に連接した複数の円弧状鍔部
２５ｃとを形成した複数のディスクチャッキング部材２
５と、チャッキング前に複数のディスクチャッキング部
材２５に形成した複数の腕部２５ａを閉じて複数の円弧
部２５ｂ及び複数の円弧状鍔部２５ｃを第１，第２の光
ディスク基板２，４の中心孔２ａ，４ａ内に進入させ、
チャッキング時に複数の腕部２５ａを開いて複数の円弧
部２５ｂが下側の第１の光ディスク基板２の中心孔２ａ
に当接すると共に、複数の円弧状鍔部２５ｃが第１の光
ディスク基板２の裏面を支持したチャッキング状態で第
１，第２の光ディスク基板２，４を次の工程に搬送する
手段２１，２２とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、第１の光ディスク
基板と第２の光ディスク基板とを接着剤により貼り合わ
せた直後で接着剤が硬化するする前に、第１，第２の光
ディスク基板の中心孔をチャッキングしながら次の工程
に搬送する貼り合わせ光ディスクのチャッキング搬送装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、光ディスクに代表されるドーナツ
型の記録媒体は高密度、大容量、小型化を目指し開発が
進められており、その一例としてＤＶＤ用の貼り合わせ
光ディスクがある。ＤＶＤ用の貼り合わせ光ディスクは
外径φ１２０ｍｍ，厚み０．６ｍｍの２枚の光ディスク
基板を貼り合わせた光ディスクであり、一般的な貼り合
わせ光ディスクの製造方法の一例を図５（Ａ）〜（Ｄ）
を用いて説明する。

【０００３】図５（Ａ）に示した如く、後述する貼り合
わせた光ディスク１を製造するにあたって、まず、信号
面に反射膜，保護膜を膜付けした第１の光ディスク基板
２をモータ５０の軸に固着したターンテーブル５１上に
載せ、ターンテーブル５１上の第１の光ディスク基板２
を回転させながら第１の光ディスク基板２の上方に設置
したノズル５２から放射線硬化型接着剤３を第１の光デ
ィスク基板２上に塗布する。ここでは、第１の光ディス
ク基板２の中心孔２ａをターンテーブル５１の中心軸５
１ａに嵌合させてターンテーブル５１上での位置決めを
行っている。

【０００４】次に、図５（Ｂ）に示した如く、放射線硬
化型接着剤３が第１の光ディスク基板２上に塗布された
ら、第２の光ディスク４を第１の光ディスク基板２上に
中心孔２ａ，４ａを中心軸５１ａにより合わせた状態で
載せ、ターンテーブル５１上の第１，第２の光ディスク
基板２，４を高速に回転させることにより遠心力で余分
な放射線硬化型接着剤３を第１，第２の光ディスク基板
２，４の外周部から飛散させて取り除き、第１，第２の
光ディスク基板２，４を放射線硬化型接着剤３により貼
り合わせる。この際、第２の光ディスク基板４は、信号
面に反射膜，保護膜を膜付けした基板とか、あるいは信
号面が正確に形成されていないダミー基板とかを貼り合
わせている。

【０００５】次に、図５（Ｃ）に示した如く、第１，第
２の光ディスク基板２，４を放射線硬化型接着剤３によ
り貼り合わせた直後で放射線硬化型接着剤３が硬化する
前に、真空吸着装置５３により上側の第２の光ディスク
基板４を吸着して、一体となった第１，第２の光ディス
ク基板２，４を次の工程となる図５（Ｄ）に示した放射
線照射装置５４側に移動させる。上記した真空吸着装置
５３は、ブロック５３ａ内に溝５３ｂが開けられてお
り、この溝５３ｂの上端（矢印の所）を図示しない真空
ポンプに接続し、且つ、溝５３ｂの両端にパイプ５３
ｃ，５３ｃを連設すると共に、パイプ５３ｃ，５３ｃの
先端に吸着パット５３ｄ，５３ｄを取り付けて、吸着パ
ット５３ｄ，５３ｄにより第２の光ディスク基板４の上
面部を真空吸引することにより、一体となった硬化前の
第１，第２の光ディスク基板２，４をチャッキングして
放射線照射装置５４側に移動させている。また、真空吸
着装置５３により第１，第２の光ディスク基板２，４を
放射線照射装置５４側に移動させる途中では放射線硬化
型接着剤３がまだ硬化していないものの、放射線硬化型
接着剤３の粘性により第１，第２の光ディスク基板２，
４が剥がれることなく一体になっている。

【０００６】次に、図５（Ｄ）に示した如く、放射線照
射装置５４から放射線を出射させて、第１，第２の光デ
ィスク基板２，４間の放射線硬化型接着剤３を硬化させ
ると、ＤＶＤ用の貼り合わせ光ディスク１が得られる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記したよ
うにＤＶＤ用の貼り合わせ光ディスク１を製造する工程
において、真空吸着装置５３により第１，第２の光ディ
スク基板２，４を放射線照射装置５４側に移動させる
際、真空吸着装置５３の吸着パット５３ｄ，５３ｄによ
るチャッキングは、第２の光ディスク基板４の上面部し
かチャッキングしていないので、第１の光ディスク基板
２の自重により第１の光ディスク基板２が第２の光ディ
スク基板４に対してずれ易くなってしまい、この状態で
放射線照射装置５４により放射線硬化型接着剤３を硬化
させてしまうと、硬化後にＤＶＤ用の貼り合わせ光ディ
スク１を再生した時に面振れ量が大きくなるなどの問題
点が発生している。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題に鑑み
てなされたものであり、第１の発明は、第１の光ディス
ク基板上に接着剤により第２の光ディスク基板を貼り合
わせ、前記第１，第２の光ディスク基板をチャッキング
しながら次の工程に搬送する貼り合わせ光ディスクのチ
ャッキング搬送装置において、剛性を持った複数の腕部
と、該複数の腕部の下方に連接した複数の円弧部と、該
複数の円弧部の下方に連接した複数の円弧状鍔部とを形
成した複数のディスクチャッキング部材と、チャッキン
グ前に前記複数のディスクチャッキング部材に形成した
前記複数の腕部を閉じて前記複数の円弧部及び前記複数
の円弧状鍔部を前記第１，第２の光ディスク基板の中心
孔内に進入させ、チャッキング時に前記複数の腕部を開
いて前記複数の円弧部が下側の前記第１の光ディスク基
板の中心孔に当接すると共に、前記複数の円弧状鍔部が
前記第１の光ディスク基板の裏面を支持したチャッキン
グ状態で前記第１，第２の光ディスク基板を次の工程に
搬送する手段とを備えたことを特徴とする貼り合わせ光
ディスクのチャッキング搬送装置である。

【０００９】また、第２の発明は、第１の光ディスク基
板上に接着剤により第２の光ディスク基板を貼り合わ
せ、前記第１，第２の光ディスク基板をチャッキングし
ながら次の工程に搬送する貼り合わせ光ディスクのチャ
ッキング搬送装置において、弾性を持った複数の腕部
と、該複数の腕部の下方に連接した複数の円弧部とを形
成した複数のディスクチャッキング部材と、チャッキン
グ前に前記複数のディスクチャッキング部材に形成した
前記複数の腕部を閉じて前記複数の円弧部を前記第１，
第２の光ディスク基板の中心孔内に進入させ、チャッキ
ング時に前記複数の腕部を開いてこの腕部の弾性力によ
り前記複数の円弧部が下側の前記第１の光ディスク基板
の中心孔に当接したチャッキング状態で前記第１，第２
の光ディスク基板を次の工程に搬送する手段とを備えた
ことを特徴とする貼り合わせ光ディスクのチャッキング
搬送装置である。

【００１０】また、第３の発明は、第１の光ディスク基
板上に接着剤により第２の光ディスク基板を貼り合わ
せ、前記第１，第２の光ディスク基板をチャッキングし
ながら次の工程に搬送する貼り合わせ光ディスクのチャ
ッキング搬送装置において、弾性を持った複数の腕部
と、該複数の腕部の下方に連接した複数の円弧部と、該
複数の円弧部の下方に連接した複数の円弧状鍔部とを形
成した複数のディスクチャッキング部材と、チャッキン
グ前に前記複数のディスクチャッキング部材に形成した
前記複数の腕部を閉じて前記複数の円弧部及び前記複数
の円弧状鍔部を前記第１，第２の光ディスク基板の中心
孔内に進入させ、チャッキング時に前記複数の腕部を開
いてこの腕部の弾性力により前記複数の円弧部が下側の
前記第１の光ディスク基板の中心孔に当接すると共に、
前記複数の円弧状鍔部が前記第１の光ディスク基板の裏
面を支持したチャッキング状態で前記第１，第２の光デ
ィスク基板を次の工程に搬送する手段とを備えたことを
特徴とする貼り合わせ光ディスクのチャッキング搬送装
置である。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下に本発明に係る貼り合わせ光
ディスクのチャッキング搬送装置の一実施例を図１乃至
図４を参照して＜第１実施例＞，＜第２実施例＞，＜第
３実施例＞の順に詳細に説明する。

【００１２】＜第１実施例＞図１は本発明に係る第１実
施例の貼り合わせ光ディスクのチャッキング搬送装置を
示した正面図、図２は図１に示した一対のディスクチャ
ッキング部材を拡大して示した斜視図である。

【００１３】尚、説明の便宜上、先に従来例で示した構
成部材と同一構成部材に対しては同一の符号を付して適
宜説明し、且つ、従来例と異なる構成部材に新たな符号
を付して説明する。

【００１４】図１に示した如く、貼り合わせ光ディスク
１を製造するにあたって、ターンテーブル１０上に載置
した第１の光ディスク基板２上に放射線硬化型接着剤３
を塗布して、この上に第２の光ディスク基板２を載置し
て、ターンテーブル１０を高速に回転させながら遠心力
により第１，第２の光ディスク基板２，４間で放射線硬
化型接着剤３を内周から外周にかけて均一に塗布してい
る。

【００１５】上記ターンテーブル１０の上面中心部には
円形凹部１０ａが形成されており、且つ、中心軸１１が
ターンテーブル１０の上面に対して出没自在に設けられ
ている。そして、ターンテーブル１０を高速に回転させ
て放射線硬化型接着剤３を均一化するまでは中心軸１１
に第１，第２の光ディスク基板２，４の中心孔２ａ，４
ａを嵌合させており、放射線硬化型接着剤３が均一化し
た後に中心軸１１をターンテーブル１０の上面から下方
に退避させている。

【００１６】従って、放射線硬化型接着剤３により第
１，第２の光ディスク基板２，４を貼り合わせた直後で
は放射線硬化型接着剤３が硬化していないものの、第
１，第２の光ディスク基板２，４の中心孔２ａ，４ａを
一致させた状態で第１，第２の光ディスク基板２，４が
ターンテーブル１０の上面に載置されている。

【００１７】次に、ターンテーブル１０に載置した第
１，第２の光ディスク基板２，４の中心孔２ａ，４ａに
対応させた上方には、第１実施例の貼り合わせ光ディス
クのチャッキング搬送装置２０が上下（矢印Ｙ方向），
左右（矢印Ｘ方向）に移動自在に設けられている。

【００１８】第１実施例の貼り合わせ光ディスクのチャ
ッキング搬送装置２０は、エアチャック２１（ＳＭＣ社
製）の下面から剛性を持った一対のアーム２２，２２が
下方に向かって突出しており、これら一対のアーム２
２，２２はエア駆動によりにエアチャック２１の側方側
に平行に開いたり、あるいは互いに接近して平行に閉じ
るように開閉自在に設けられている。

【００１９】また、エアチャック２１の側方には、一対
のネジ支持板２３，２３が取り付けられており、これら
一対のネジ支持板２３，２３に一対のストッパ用ネジ２
４，２４が螺合して、一対のストッパ用ネジ２４，２４
の先端が上記した一対のアーム２２，２２に当接してい
る。そして、一対のストッパ用ネジ２４，２４を回しな
がら一対のアーム２２，２２の開き量を調整できるよう
になっている。

【００２０】更に、上記した一対のアーム２２，２２の
下端部には、剛性を持った一対のディスクチャッキング
部材２５，２５が取り付けられており、これら一対のデ
ィスクチャッキング部材２５，２５は一対のアーム２
２，２２と一体に径方向に開閉するようになっている。

【００２１】ここで、図２にも示したように、一対のデ
ィスクチャッキング部材２５，２５は、剛性を持った剛
性腕部２５ａ，２５ａと、剛性腕部２５ａ，２５ａの下
方に連接した円弧部２５ｂ，２５ｂと、円弧部２５ｂ，
２５ｂの下方に連接した円弧状鍔部２５ｃ，２５ｃとが
上方から下方に向かって階段状に形成されており、各部
は円形の一部を切り欠いて三日月状の円弧に形成されて
いる。

【００２２】そして、一対のアーム２２，２２を介して
一対のディスクチャッキング部材２５，２５が互いに接
近して閉じている状態では、円弧部２５ｂ，２５ｂの径
と、円弧状鍔部２５ｃ，２５ｃの径とが第１，第２の光
ディスク基板２の中心孔２ａ，４ａ内に上方より進入で
きるように中心孔２ａ，４ａの径より小径に設定されて
いる。

【００２３】一方、一対のディスクチャッキング部材２
５，２５が互いに遠ざかるように開いた状態では、剛性
腕部２５ａ，２５ａが上側の第２の光ディスク基板２の
中心孔４ａに当接しないように中心孔４ａの径より間隔
を狭めて設定され、且つ、円弧部２５ｂ，２５ｂの径が
下側の第１の光ディスク基板２の中心孔２ａに当接する
ように中心孔２ａの径と略同径又は同径より僅かに小径
に設定され、更に、円弧状鍔部２５ｃ，２５ｃの径が第
１の光ディスク基板２の裏面を支持できるように中心孔
２ａの径より僅かに大径に設定されている。

【００２４】図１に戻り、一対のアーム２２，２２と一
体に一対のディスクチャッキング部材２５，２５を閉じ
て、これらのディスクチャッキング部材２５，２５に階
段状に形成した剛性腕部２５ａ，２５ａと、円弧部２５
ｂ，２５ｂと、円弧状鍔部２５ｃ，２５ｃとを円弧状鍔
部２５ｃ，２５ｃを先頭にして、ターンテーブル１０上
に載置した第１，第２の光ディスク基板２，４の中心孔
２ａ，４ａ内に進入させて、円弧状鍔部２５ｃ，２５ｃ
が下側の第１の光ディスク基板２の中心孔２ａを通過し
た後に、円弧状鍔部２５ｃ，２５ｃがターンテーブル１
０の円形凹部１０ａ内に至った時点で一対のアーム２
２，２２と一体に一対のディスクチャッキング部材２
５，２５を開いている。

【００２５】そして、一対のアーム２２，２２と一体に
一対のディスクチャッキング部材２５，２５が開くと、
剛性腕部２５ａ，２５ａは上側の第２の光ディスク基板
４の中心孔４ａに当接せず、且つ、円弧部２５ｂ，２５
ｂは下側の第１の光ディスク基板２の中心孔２ａにスト
レスがかからない程度に当接し、更に、円弧状鍔部２５
ｃ，２５ｃは下側の第１の光ディスク基板２の裏面を支
持するので、この状態で一対のディスクチャッキング部
材２５，２５によって第１，第２の光ディスク基板２，
４がチャッキングされた状態となる。この後、一対のデ
ィスクチャッキング部材２５，２５を一対のアーム２
２，２２を介して支持したエアチャック２１を上方に持
ち上げて、一対のディスクチャッキング部材２５，２５
により第１，第２の光ディスク基板２，４をチャッキン
グしながら次の放射線照射装置５４（図５）に移動して
いる。

【００２６】上記した第１実施例の構成において、一対
のディスクチャッキング部材２５，２５に形成した円弧
状鍔部２５ｃ，２５ｃの鍔幅を０．２ｍｍ〜６ｍｍまで
変えてテストしたが偏心量及び面振れ量には差が無く、
この範囲であればどの大きさでも良いことが判明した。
この際、第１の光ディスク基板２の中心孔２ａの径はφ
１５ｍｍ，外径はφ１２０ｍｍのＤＶＤ用の規格値を採
用したものを使用したが、これに限ることなく、光ディ
スク基板が大きくなれば相対的に鍔幅も大きくする必要
があることは容易に推測できる。

【００２７】そして、実施例では、一対のディスクチャ
ッキング部材２５，２５の円弧状鍔部２５ｃ，２５ｃの
鍔幅を３ｍｍに形成したものを使用してＤＶＤ用の貼り
合わせ光ディスク１を１００枚作製し、貼り合わせ光デ
ィスク１の偏心量及び面振れ量を測定した結果、偏心量
（平均値１３μｍ、標準偏差２．５μｍ），面振れ量
（Ｒ５７ｍｍポイントで平均値３５μｍ、標準偏差４μ
ｍ）共、良好な結果を得た。

【００２８】＜第２実施例＞図３は本発明に係る第２実
施例の貼り合わせ光ディスクのチャッキング搬送装置を
示した正面図である。

【００２９】図３に示した如く、ターンテーブル１０上
には、第１，第２の光ディスク基板２，４が放射線硬化
型接着剤３により貼り合わせた直後で放射線硬化型接着
剤３が硬化していない状態で載置されている。

【００３０】上記ターンテーブル１０の中心部には、中
心軸１１がターンテーブル１０の上面に対して出没自在
に設けられている。そして、ターンテーブル１０を高速
に回転させて放射線硬化型接着剤３を均一化するまでは
中心軸１１に第１，第２の光ディスク基板２，４の中心
孔２ａ，４ａを嵌合させており、放射線硬化型接着剤３
が均一化した後に中心軸１１をターンテーブル１０の上
面から下方に退避させている。

【００３１】次に、ターンテーブル１０に載置した第
１，第２の光ディスク基板２，４の中心孔２ａ，４ａに
対応させた上方には、第２実施例の貼り合わせ光ディス
クのチャッキング搬送装置３０が上下（矢印Ｙ方向），
左右（矢印Ｘ方向）に移動自在に設けられている。

【００３２】第２実施例の貼り合わせ光ディスクのチャ
ッキング搬送装置３０は、エアチャック３１（ＳＭＣ社
製）の下面から剛性を持った一対のアーム３２，３２が
下方に向かって突出しており、これら一対のアーム３
２，３２はエア駆動によりにエアチャック３１の側方側
に平行に開いたり、あるいは互いに接近して平行に閉じ
るように開閉自在に設けられている。

【００３３】また、上記した一対のアーム３２，３２の
下端部には、一部に弾性を持った一対のディスクチャッ
キング部材３３，３３が取り付けられており、これら一
対のディスクチャッキング部材３３，３３は一対のアー
ム３２，３２と一体に径方向に開閉するようになってい
る。

【００３４】ここで、一対のディスクチャッキング部材
３３，３３は、弾性を持った弾性腕部３３ａ，３３ａ
と、弾性腕部３３ａ，３３ａの下方に連接した円弧部３
３ｂ，３３ｂとが上方から下方に向かって形成されてお
り、円弧部３３ｂは円形の一部を切り欠いて三日月状の
円弧に形成されている。また、一対のディスクチャッキ
ング部材３３，３３に形成した弾性腕部３３ａ，３３ａ
は外側に向かう弾性力を付与されており、この弾性力は
下方の円弧部３３ｂ，３３ｂが“ハ字状"に開く方向に
付与されている。従って、一対のディスクチャッキング
部材３３，３３は、弾性力（反発力）を持った材質なら
ばなんでも良く、金属ならば銅系やＳＵＳ系、樹脂なら
ばスチレン系、アクリル系、ビニル系、オレフィン系、
フッ素系等ほとんどの樹脂は使用可能であり、弾性腕部
３３ａ，３３ａの形状は材質を決めた後、適正な弾性力
が出るように幅と厚みを決めている。また、一対のアー
ム３２，３２の開き量のばらつきによる応力は、一対の
ディスクチャッキング部材３３，３３の弾性腕部３３
ａ，３３ａが曲がることにより吸収している。

【００３５】そして、一対のアーム３２，３２を介して
一対のディスクチャッキング部材３３，３３が互いに閉
じている状態では、弾性腕部３３ａ，３３ａの弾性力で
下方に形成した円弧部３３ｂ，３３ｂが外側に向かって
“ハ字状"に開くものの、円弧部３３ｂ，３３ｂの径が
第１，第２の光ディスク基板２の中心孔２ａ，４ａ内に
上方より進入できるように中心孔２ａ，４ａの径より小
径に設定されている。この状態で、円弧部３３ｂ，３３
ｂを先頭にして、ターンテーブル１０上に載置した第
１，第２の光ディスク基板２，４の中心孔２ａ，４ａ内
に進入させて、円弧部３３ｂ，３３ｂが下側の第１の光
ディスク基板２の中心孔２ａ内に至ったら、一対のアー
ム３２，３２を介して一対のディスクチャッキング部材
３３，３３を開いている。

【００３６】この後、一対のアーム３２，３２を介して
一対のディスクチャッキング部材３３，３３が互いに開
いた状態では、弾性腕部３３ａ，３３ａの弾性力によっ
て下方に形成した円弧部３３ｂ，３３ｂが外側に向かっ
て“ハ字状"に開いて円弧部３３ｂ，３３ｂが下側の第
１の光ディスク基板２の中心孔２ａに当接し、この状態
で一対のディスクチャッキング部材３３，３３によって
第１，第２の光ディスク基板２，４がチャッキングされ
た状態となる。この後、一対のディスクチャッキング部
材３３，３３を一対のアーム３２，３２を介して支持し
たエアチャック３１を上方に持ち上げて、一対のディス
クチャッキング部材３３，３３により第１，第２の光デ
ィスク基板２，４をチャッキングしながら次の放射線照
射装置５４（図５）に移動している。

【００３７】上記した第２実施例の構成において、一対
のディスクチャッキング部材３３，３３に形成した弾性
腕部３３ａ，３３ａはポリアセタール樹脂で幅５mm、厚
み０．３mmで製作したものを使用した。

【００３８】このチャッキング方法でＤＶＤ用の貼り合
わせ光ディスク１を１００枚作製し偏心量及び面振れ量
を測定した結果、偏心量（平均値１４μｍ、標準偏差
２．２μｍ）面振れ量（Ｒ５７ｍｍポイントで平均値３
７μｍ、標準偏差４μｍ）共、良好な結果を得た。

【００３９】＜第３実施例＞図４は本発明に係る第３実
施例の貼り合わせ光ディスクのチャッキング搬送装置を
示した正面図である。

【００４０】図４に示した本発明に係る第３実施例の貼
り合わせ光ディスクのチャッキング搬送装置４０は、先
に説明した第１実施例の一部と第２実施例の一部とを組
み合わせたものである。

【００４１】即ち、第３実施例の貼り合わせ光ディスク
のチャッキング搬送装置４０でもターンテーブル１０上
には、第１，第２の光ディスク基板２，４が放射線硬化
型接着剤３により貼り合わせた直後で放射線硬化型接着
剤３が硬化していない状態で載置されている。

【００４２】次に、ターンテーブル１０に載置した第
１，第２の光ディスク基板２，４の中心孔２ａ，４ａに
対応させた上方には、第３実施例の貼り合わせ光ディス
クのチャッキング搬送装置４０が上下（矢印Ｙ方向），
左右（矢印Ｘ方向）に移動自在に設けられている。

【００４３】第３実施例の貼り合わせ光ディスクのチャ
ッキング搬送装置４０は、エアチャック４１（ＳＭＣ社
製）の下面から剛性を持った一対のアーム４２，４２が
下方に向かって突出しており、これら一対のアーム４
２，４２はエア駆動によりにエアチャック４１の側方側
に平行に開いたり、あるいは互いに接近して平行に閉じ
るように開閉自在に設けられている。

【００４４】また、上記した一対のアーム４２，４２の
下端部には、一部に弾性を持った一対のディスクチャッ
キング部材４３，４３が取り付けられており、これら一
対のディスクチャッキング部材４３，４３は一対のアー
ム４２，４２と一体に径方向に開閉するようになってい
る。

【００４５】ここで、一対のディスクチャッキング部材
４３，４３は、弾性を持った弾性腕部４３ａ，４３ａ
と、弾性腕部４３ａ，４３ａの下方に連接した円弧部４
３ｂ，４３ｂと、円弧部４３ｂ，４３ｂの下方に連接し
た円弧状鍔部４３ｃ，４３ｃとが上方から下方に向かっ
て形成されており、円弧部４３ｂ及び円弧状鍔部４３ｃ
は円形の一部を切り欠いて三日月状の円弧に形成されて
いる。また、一対のディスクチャッキング部材４３，４
３に形成した弾性腕部４３ａ，４３ａは外側に向かう弾
性力を付与されており、この弾性力は下方の円弧部４３
ｂ，４３ｂ及び円弧状鍔部４３ｃ，４３ｃが“ハ字状"
に開く方向に付与されている。従って、一対のディスク
チャッキング部材４３，４３は、弾性力（反発力）を持
った材質ならばなんでも良く、金属ならば銅系やＳＵＳ
系、樹脂ならばスチレン系、アクリル系、ビニル系、オ
レフィン系、フッ素系等ほとんどの樹脂は使用可能であ
り、弾性腕部４３ａ，４３ａの形状は材質を決めた後、
適正な弾性力が出るように幅と厚みを決めているる。ま
た、一対のアーム４２，４２の開き量のばらつきによる
応力は、一対のディスクチャッキング部材４３，４３の
弾性腕部４３ａ，４３ａが曲がることにより吸収してい
る。

【００４６】そして、一対のアーム４２，４２を介して
一対のディスクチャッキング部材４３，４３が互いに閉
じている状態では、弾性腕部４３ａ，４３ａの弾性力で
下方に形成した円弧部４３ｂ，４３ｂ及び円弧状鍔部４
３ｃ，４３ｃが外側に向かって“ハ字状"に開くもの
の、円弧部４３ｂ，４３ｂの径及び円弧状鍔部４３ｃ，
４３ｃの径が第１，第２の光ディスク基板２の中心孔２
ａ，４ａ内に上方より進入できるように中心孔２ａ，４
ａの径より小径に設定されている。この状態で、円弧状
鍔部４３ｃ，４３ｃを先頭にして、ターンテーブル１０
上に載置した第１，第２の光ディスク基板２，４の中心
孔２ａ，４ａ内に進入させて、円弧状鍔部４３ｃ，４３
ｃが下側の第１の光ディスク基板２の中心孔２ａを通過
した後に、円弧状鍔部４３ｃ，４３ｃがターンテーブル
１０の円形凹部１０ａ内に至った時点で一対のアーム４
２，４２と一体に一対のディスクチャッキング部材４
３，４３を開いている。

【００４７】そして、一対のアーム４２，４２を介して
一対のディスクチャッキング部材４３，４３が互いに開
いた状態では、弾性腕部４３ａ，４３ａの弾性力によっ
て下方に形成した円弧部４３ｂ，４３ｂが外側に向かっ
て“ハ字状"に開いて円弧部４３，４３ｂが下側の第１
の光ディスク基板２の中心孔２ａに当接し、更に、円弧
状鍔部４３ｃ，４３ｃは下側の第１の光ディスク基板２
の裏面を支持するので、この状態で一対のディスクチャ
ッキング部材４３，４３によって第１，第２の光ディス
ク基板２，４がチャッキングされた状態となる。この
後、一対のディスクチャッキング部材４３，４３を一対
のアーム４２，４２を介して支持したエアチャック４１
を上方に持ち上げて、一対のディスクチャッキング部材
４３，４３により第１，第２の光ディスク基板２，４を
チャッキングしながら次の放射線照射装置５４（図５）
に移動している。

【００４８】上記した第３実施例の構成において、一対
のディスクチャッキング部材４３，４３に形成した円弧
状鍔部４３ｃ，４３ｃの鍔幅を０．２ｍｍ〜６ｍｍまで
変えてテストしたが偏心量及び面振れ量には差が無く、
この範囲であればどの大きさでも良いことが判明した。
この際、第１の光ディスク基板２の中心孔２ａの径はφ
１５ｍｍ，外径はφ１２０ｍｍのＤＶＤ用の規格値を採
用したものを使用したが、これに限ることなく、光ディ
スク基板が大きくなれば相対的に鍔幅も大きくする必要
があることは容易に推測できる。

【００４９】そして、実施例では、一対のディスクチャ
ッキング部材４３，４３の円弧状鍔部４３ｃ，４３ｃの
鍔幅を３ｍｍに形成したものを使用してＤＶＤ用の貼り
合わせ光ディスク１を１００枚作製し、貼り合わせ光デ
ィスク１の偏心量及び面振れ量を測定した結果、偏心量
（平均値１３μｍ、標準偏差２．３μｍ），面振れ量
（Ｒ５７ｍｍポイントで平均値３４μｍ、標準偏差３．
５μｍ）共、良好な結果を得た。

【００５０】尚、第１〜第３実施例では、互いに対向し
た一対のアームを介して一対のディスクチャッキング部
材を開閉しているが、これに限ることなく、アーム及び
ディスクチャッキング部材を円周に沿って３分割するな
どアーム及びディスクチャッキング部材を複数開閉自在
に設けても良い。また、開閉機構として市販のエア駆動
によるエアチャックを用いているが、これに限らず、電
動で開閉する構成でも良い。また、実施例では、第１，
第２の光ディスク基板２，４を貼り合わせる際に、貼り
合わせはスピン法を用いて説明したが、これに限らず、
完全硬化時間が数時間も掛かる遅効性ＵＶ接着剤を用い
た貼り合わせ方法による貼り合わせ光ディスクにおいて
も、貼り合わせ光ディスクの移動に本発明に係る貼り合
わせ光ディスクのチャッキング搬送装置を適用できるも
のである。

【００５１】

【発明の効果】以上詳述した本発明に係る貼り合わせ光
ディスクのチャッキング搬送装置によると、第１の光デ
ィスク基板上に接着剤により第２の光ディスク基板を貼
り合わせて、第１，第２の光ディスク基板の中心孔を複
数のディスクチャッキング部材により確実にチャッキン
グしながら次の工程に搬送できるので、偏心量及び面振
れ量の少ない貼り合わせ光ディスクを得ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る第１実施例の貼り合わせ光ディス
クのチャッキング搬送装置を示した正面図である。

【図２】図１に示した一対のディスクチャッキング部材
を拡大して示した斜視図である。

【図３】本発明に係る第２実施例の貼り合わせ光ディス
クのチャッキング搬送装置を示した正面図である。

【図４】本発明に係る第３実施例の貼り合わせ光ディス
クのチャッキング搬送装置を示した正面図である。

【図５】（Ａ）〜（Ｄ）は一般的な貼り合わせ光ディス
クの製造方法を説明するための工程図である。

【符号の説明】

１…貼り合わせ光ディスク、２…第１の光ディスク基
板、３…放射線硬化型接着剤、４…第２の光ディスク基
板、２０…第１実施例の貼り合わせ光ディスクのチャッ
キング搬送装置、２１…エアチャック、２２…アーム、
２５…ディスクチャッキング部材、２５ａ…剛性腕部、
２５ｂ…円弧部、２５ｃ…円弧状鍔部、３０…第２実施
例の貼り合わせ光ディスクのチャッキング搬送装置、３
１…エアチャック、３２…アーム、３３…ディスクチャ
ッキング部材、３３ａ…弾性腕部、３３ｂ…円弧部、５
ｃ…円弧状鍔部、４０…第３実施例の貼り合わせ光ディ
スクのチャッキング搬送装置、４１…エアチャック、４
２…アーム、４３…ディスクチャッキング部材、４３ａ
…弾性腕部、４３ｂ…円弧部、４３ｃ…円弧状鍔部。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】第１の光ディスク基板上に接着剤により第
   ２の光ディスク基板を貼り合わせ、前記第１，第２の光
   ディスク基板をチャッキングしながら次の工程に搬送す
   る貼り合わせ光ディスクのチャッキング搬送装置におい
   て、 剛性を持った複数の腕部と、該複数の腕部の下方に連接
   した複数の円弧部と、該複数の円弧部の下方に連接した
   複数の円弧状鍔部とを形成した複数のディスクチャッキ
   ング部材と、 チャッキング前に前記複数のディスクチャッキング部材
   に形成した前記複数の腕部を閉じて前記複数の円弧部及
   び前記複数の円弧状鍔部を前記第１，第２の光ディスク
   基板の中心孔内に進入させ、チャッキング時に前記複数
   の腕部を開いて前記複数の円弧部が下側の前記第１の光
   ディスク基板の中心孔に当接すると共に、前記複数の円
   弧状鍔部が前記第１の光ディスク基板の裏面を支持した
   チャッキング状態で前記第１，第２の光ディスク基板を
   次の工程に搬送する手段とを備えたことを特徴とする貼
   り合わせ光ディスクのチャッキング搬送装置。
2. 【請求項２】第１の光ディスク基板上に接着剤により第
   ２の光ディスク基板を貼り合わせ、前記第１，第２の光
   ディスク基板をチャッキングしながら次の工程に搬送す
   る貼り合わせ光ディスクのチャッキング搬送装置におい
   て、 弾性を持った複数の腕部と、該複数の腕部の下方に連接
   した複数の円弧部とを形成した複数のディスクチャッキ
   ング部材と、 チャッキング前に前記複数のディスクチャッキング部材
   に形成した前記複数の腕部を閉じて前記複数の円弧部を
   前記第１，第２の光ディスク基板の中心孔内に進入さ
   せ、チャッキング時に前記複数の腕部を開いてこの腕部
   の弾性力により前記複数の円弧部が下側の前記第１の光
   ディスク基板の中心孔に当接したチャッキング状態で前
   記第１，第２の光ディスク基板を次の工程に搬送する手
   段とを備えたことを特徴とする貼り合わせ光ディスクの
   チャッキング搬送装置。
3. 【請求項３】第１の光ディスク基板上に接着剤により第
   ２の光ディスク基板を貼り合わせ、前記第１，第２の光
   ディスク基板をチャッキングしながら次の工程に搬送す
   る貼り合わせ光ディスクのチャッキング搬送装置におい
   て、 弾性を持った複数の腕部と、該複数の腕部の下方に連接
   した複数の円弧部と、該複数の円弧部の下方に連接した
   複数の円弧状鍔部とを形成した複数のディスクチャッキ
   ング部材と、 チャッキング前に前記複数のディスクチャッキング部材
   に形成した前記複数の腕部を閉じて前記複数の円弧部及
   び前記複数の円弧状鍔部を前記第１，第２の光ディスク
   基板の中心孔内に進入させ、チャッキング時に前記複数
   の腕部を開いてこの腕部の弾性力により前記複数の円弧
   部が下側の前記第１の光ディスク基板の中心孔に当接す
   ると共に、前記複数の円弧状鍔部が前記第１の光ディス
   ク基板の裏面を支持したチャッキング状態で前記第１，
   第２の光ディスク基板を次の工程に搬送する手段とを備
   えたことを特徴とする貼り合わせ光ディスクのチャッキ
   ング搬送装置。