JP2000061839A - マイクロ放電ツルーイング装置とこれを用いた微細加工方法 - Google Patents
マイクロ放電ツルーイング装置とこれを用いた微細加工方法Info
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- B24B53/04—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces of cylindrical or conical surfaces on abrasive tools or wheels
- B24B53/053—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces of cylindrical or conical surfaces on abrasive tools or wheels using a rotary dressing tool
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
- B24B53/001—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces involving the use of electric current
Abstract
(57)【要約】
【課題】 極細／極薄の砥石の芯ズレや振れを効率よく
除去することができ、砥石自体の変形がなく高精度のツ
ルーイングができ、電源設備が小型，小出力で足り、複
雑な制御回路や制御装置が不要であり、電極等消耗品の
製作／再加工が容易であるマイクロ放電ツルーイング装
置とこれを用いた微細加工方法を提供する。 【解決手段】 被加工物１を加工するための導電性砥石
１２と、砥石の加工面１２ａに近接可能な外周縁１４ａ
を有する円板状の放電電極１４と、電極をその軸心Ｚを
中心に回転駆動する電極回転装置１６と、電極の外周縁
と砥石との相対位置を制御する位置制御装置１８と、砥
石と電極間に所定の電圧をパルス的に印加する電圧印加
装置２０と、砥石と電極間にアルカリ性液を供給する加
工液供給装置２２とを備える。回転する放電電極１４の
外周縁１４ａと導電性砥石１２の加工面１２ａとの間に
マイクロ放電を安定して発生させることにより、導電性
砥石のメタルボンド部分を非接触で高能率かつ高精度に
溶融除去し、砥石表面を所望の形状に修正する。
除去することができ、砥石自体の変形がなく高精度のツ
ルーイングができ、電源設備が小型，小出力で足り、複
雑な制御回路や制御装置が不要であり、電極等消耗品の
製作／再加工が容易であるマイクロ放電ツルーイング装
置とこれを用いた微細加工方法を提供する。 【解決手段】 被加工物１を加工するための導電性砥石
１２と、砥石の加工面１２ａに近接可能な外周縁１４ａ
を有する円板状の放電電極１４と、電極をその軸心Ｚを
中心に回転駆動する電極回転装置１６と、電極の外周縁
と砥石との相対位置を制御する位置制御装置１８と、砥
石と電極間に所定の電圧をパルス的に印加する電圧印加
装置２０と、砥石と電極間にアルカリ性液を供給する加
工液供給装置２２とを備える。回転する放電電極１４の
外周縁１４ａと導電性砥石１２の加工面１２ａとの間に
マイクロ放電を安定して発生させることにより、導電性
砥石のメタルボンド部分を非接触で高能率かつ高精度に
溶融除去し、砥石表面を所望の形状に修正する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、極細又は極薄の導
電性砥石をツルーイングするマイクロ放電ツルーイング
装置とこれを用いた微細加工方法に関する。
電性砥石をツルーイングするマイクロ放電ツルーイング
装置とこれを用いた微細加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、マイクロマシン等の開発のため
に、これを構成する微細部品を高精度に加工する加工技
術が要望されている。かかる微細部品の穴加工や溝加工
に特に適した加工方法として、電解インプロセスドレッ
シング研削法（以下、ＥＬＩＤ研削法）が注目されてい
る。電解インプロセスドレッシング研削法（ＥＬＩＤ研
削法）は、微細ダイヤモンド砥粒を用いた極細の導電性
砥石、或いは極薄の導電性砥石を用い、この砥石を電解
ドレッシングしながら被加工物（ワーク）を加工する加
工法であり、加工精度が高く、高品質の表面粗さが得ら
れ、かつ硬質な３次元形状部品の加工が比較的容易であ
る、等の特徴がある。
に、これを構成する微細部品を高精度に加工する加工技
術が要望されている。かかる微細部品の穴加工や溝加工
に特に適した加工方法として、電解インプロセスドレッ
シング研削法（以下、ＥＬＩＤ研削法）が注目されてい
る。電解インプロセスドレッシング研削法（ＥＬＩＤ研
削法）は、微細ダイヤモンド砥粒を用いた極細の導電性
砥石、或いは極薄の導電性砥石を用い、この砥石を電解
ドレッシングしながら被加工物（ワーク）を加工する加
工法であり、加工精度が高く、高品質の表面粗さが得ら
れ、かつ硬質な３次元形状部品の加工が比較的容易であ
る、等の特徴がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】マイクロ加工へ適用す
る極細／極薄の砥石であっても、製作時には、必ず芯ズ
レや振れがある。このため、ＥＬＩＤ研削加工のような
精密加工に適用する前に、この芯ズレや振れをツルーイ
ングにより除去する必要がある。しかし、ＥＬＩＤ研削
加工に使用するメタルボンド砥石はボンド材の硬度が高
く、従来のツルーイング法では修正効率が低く、かつ修
正精度にも限界があり、適用が困難であった。すなわ
ち、マイクロ加工へ適用する砥石は極細又は極薄（例え
ば直径１ｍｍ以下、厚さ１ｍｍ以下）であるため、機械
的ツルーイングのために工具が接触すると、砥石自体が
変形するため、高精度のツルーイングができない問題点
があった。
る極細／極薄の砥石であっても、製作時には、必ず芯ズ
レや振れがある。このため、ＥＬＩＤ研削加工のような
精密加工に適用する前に、この芯ズレや振れをツルーイ
ングにより除去する必要がある。しかし、ＥＬＩＤ研削
加工に使用するメタルボンド砥石はボンド材の硬度が高
く、従来のツルーイング法では修正効率が低く、かつ修
正精度にも限界があり、適用が困難であった。すなわ
ち、マイクロ加工へ適用する砥石は極細又は極薄（例え
ば直径１ｍｍ以下、厚さ１ｍｍ以下）であるため、機械
的ツルーイングのために工具が接触すると、砥石自体が
変形するため、高精度のツルーイングができない問題点
があった。
【０００４】一方、非接触でワークを加工する加工法と
して放電加工(Electric DischargeMachining)が知られ
ている。この加工法は、被加工物（ワーク）と加工電極
とを絶縁性の加工液中で隙間を隔てて対向させ、短時間
のパルス性アーク放電を繰り返すことによって、除去加
工を行うものである。
して放電加工(Electric DischargeMachining)が知られ
ている。この加工法は、被加工物（ワーク）と加工電極
とを絶縁性の加工液中で隙間を隔てて対向させ、短時間
のパルス性アーク放電を繰り返すことによって、除去加
工を行うものである。
【０００５】しかし、この加工法では、電極の形状を
所望の加工形状に予め合わせておく必要がある、電極
とワークとの間隔を一定に保つように精密な位置制御が
必要である、電極とワークとの間に大電流パルスを供
給する必要があり、大型で複雑な電源設備を必要とす
る、電極消耗により電極形状が変化するので電極の頻
繁な交換が必要となる、等の問題点があった。
所望の加工形状に予め合わせておく必要がある、電極
とワークとの間隔を一定に保つように精密な位置制御が
必要である、電極とワークとの間に大電流パルスを供
給する必要があり、大型で複雑な電源設備を必要とす
る、電極消耗により電極形状が変化するので電極の頻
繁な交換が必要となる、等の問題点があった。
【０００６】本発明は、上述した種々の問題点を解決す
るために創案されたものである。すなわち、本発明の目
的は、極細／極薄の砥石の芯ズレや振れを効率よく除去
することができ、砥石自体の変形がなく高精度のツルー
イングができ、電源設備が小型，小出力で足り、複雑な
制御回路や制御装置が不要であり、電極等消耗品の製作
／再加工が容易であるマイクロ放電ツルーイング装置と
これを用いた微細加工方法を提供することにある。
るために創案されたものである。すなわち、本発明の目
的は、極細／極薄の砥石の芯ズレや振れを効率よく除去
することができ、砥石自体の変形がなく高精度のツルー
イングができ、電源設備が小型，小出力で足り、複雑な
制御回路や制御装置が不要であり、電極等消耗品の製作
／再加工が容易であるマイクロ放電ツルーイング装置と
これを用いた微細加工方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の発明者等は、円
板状の電極を回転させてその外周縁と砥石との間に微細
なスパーク（マイクロ放電）を発生させることにより、
非接触で効率的に高精度のツルーイングができるばかり
でなく、電源設備を小型，小出力化でき、かつ電極の消
耗による形状変化を大幅に低減することができることに
着眼した。言い換えれば、ＥＬＩＤ研削加工に使用する
メタルボンド砥石の導電性を利用して、砥石と電極の微
小隙におけるマイクロ放電現象によって、メタルボンド
部分を非接触で高精度に溶融除去し、砥石表面を所望の
形状に修正することができる。本発明は、かかる新規の
知見に基づくものである。
板状の電極を回転させてその外周縁と砥石との間に微細
なスパーク（マイクロ放電）を発生させることにより、
非接触で効率的に高精度のツルーイングができるばかり
でなく、電源設備を小型，小出力化でき、かつ電極の消
耗による形状変化を大幅に低減することができることに
着眼した。言い換えれば、ＥＬＩＤ研削加工に使用する
メタルボンド砥石の導電性を利用して、砥石と電極の微
小隙におけるマイクロ放電現象によって、メタルボンド
部分を非接触で高精度に溶融除去し、砥石表面を所望の
形状に修正することができる。本発明は、かかる新規の
知見に基づくものである。
【０００８】すなわち、本発明によれば、被加工物
（１）を加工するための導電性砥石（１２）と、該導電
性砥石の加工面（１２ａ）に近接可能な外周縁（１４
ａ）を有する円板状の放電電極（１４）と、該放電電極
をその軸心Ｚを中心に回転駆動する電極回転装置（１
６）と、電極の外周縁と砥石との相対位置を制御する位
置制御装置（１８）と、砥石と電極間に所定の電圧をパ
ルス的に印加する電圧印加装置（２０）と、砥石と電極
間にアルカリ性液を供給する加工液供給装置（２２）
と、を備えたことを特徴とするマイクロ放電ツルーイン
グ装置が提供される。
（１）を加工するための導電性砥石（１２）と、該導電
性砥石の加工面（１２ａ）に近接可能な外周縁（１４
ａ）を有する円板状の放電電極（１４）と、該放電電極
をその軸心Ｚを中心に回転駆動する電極回転装置（１
６）と、電極の外周縁と砥石との相対位置を制御する位
置制御装置（１８）と、砥石と電極間に所定の電圧をパ
ルス的に印加する電圧印加装置（２０）と、砥石と電極
間にアルカリ性液を供給する加工液供給装置（２２）
と、を備えたことを特徴とするマイクロ放電ツルーイン
グ装置が提供される。
【０００９】上記本発明の構成によれば、回転する円板
状の放電電極（１４）の外周縁と位置制御装置（１８）
で位置制御された導電性砥石（１２）の加工面（１２
ａ）との間に電圧印加装置（２０）により上述したスパ
ーク（マイクロ放電）を安定して発生させることによ
り、導電性砥石のメタルボンド部分を非接触で高能率か
つ高精度に溶融除去し、砥石表面を所望の形状に修正す
ることができる。また、放電電極（１４）は、電極回転
装置（１６）により軸心Ｚを中心に回転しているので、
マイクロ放電により消耗しても真円度を維持でき、長時
間連続して使用することができる。更に、加工液供給装
置（２２）により砥石と電極間にアルカリ性液を供給す
るので、ドライ状態や絶縁性液を供給する場合に比較し
て、低い電圧で高い電流のマイクロ放電を安定して発生
させることができ、電源設備を小型，小出力化すること
ができる。
状の放電電極（１４）の外周縁と位置制御装置（１８）
で位置制御された導電性砥石（１２）の加工面（１２
ａ）との間に電圧印加装置（２０）により上述したスパ
ーク（マイクロ放電）を安定して発生させることによ
り、導電性砥石のメタルボンド部分を非接触で高能率か
つ高精度に溶融除去し、砥石表面を所望の形状に修正す
ることができる。また、放電電極（１４）は、電極回転
装置（１６）により軸心Ｚを中心に回転しているので、
マイクロ放電により消耗しても真円度を維持でき、長時
間連続して使用することができる。更に、加工液供給装
置（２２）により砥石と電極間にアルカリ性液を供給す
るので、ドライ状態や絶縁性液を供給する場合に比較し
て、低い電圧で高い電流のマイクロ放電を安定して発生
させることができ、電源設備を小型，小出力化すること
ができる。
【００１０】本発明の好ましい実施形態によれば、前記
電圧印加装置（２０）は、所定の直流電圧を発生させる
直流電源（２４）と、コンデンサＣ，抵抗Ｒ，及び１対
の出力端子を有し端子間が開放時にコンデンサに充電し
端子間抵抗が低減した時にコンデンサから放電するパル
ス放電回路（２５）と、前記出力端子のプラス側を砥石
に接続しマイナス側を電極に接続する電流供給ライン
（２６）と、からなる。この構成により、直流電力は抵
抗Ｒを経てコンデンサＣに充電され、コンデンサの極間
（出力端子間）が一定の電圧に上昇し、かつ電極と砥石
が近接してその間の抵抗が低減すると、電極と砥石間の
メディア（アルカリ性液）の絶縁破壊が生じ、放電状態
になる。放電が始まるとコンデンサ内のエネルギーが放
出され、メディアの絶縁性が回復し再び充電状態にな
る。このようなサイクルの頻度が高まることにより良好
なマイクロ放電ツルーイングを実現することができる。
従って、この構成により、従来の放電加工に比較する
と、電源設備を大幅に小型，小出力化でき、かつ複雑な
制御回路や制御装置が不要となる。
電圧印加装置（２０）は、所定の直流電圧を発生させる
直流電源（２４）と、コンデンサＣ，抵抗Ｒ，及び１対
の出力端子を有し端子間が開放時にコンデンサに充電し
端子間抵抗が低減した時にコンデンサから放電するパル
ス放電回路（２５）と、前記出力端子のプラス側を砥石
に接続しマイナス側を電極に接続する電流供給ライン
（２６）と、からなる。この構成により、直流電力は抵
抗Ｒを経てコンデンサＣに充電され、コンデンサの極間
（出力端子間）が一定の電圧に上昇し、かつ電極と砥石
が近接してその間の抵抗が低減すると、電極と砥石間の
メディア（アルカリ性液）の絶縁破壊が生じ、放電状態
になる。放電が始まるとコンデンサ内のエネルギーが放
出され、メディアの絶縁性が回復し再び充電状態にな
る。このようなサイクルの頻度が高まることにより良好
なマイクロ放電ツルーイングを実現することができる。
従って、この構成により、従来の放電加工に比較する
と、電源設備を大幅に小型，小出力化でき、かつ複雑な
制御回路や制御装置が不要となる。
【００１１】また、本発明によれば、（Ａ）導電性砥石
（１２）の加工面（１２ａ）に近接可能な外周縁（１４
ａ）を有する円板状の放電電極（１４）と、該放電電極
をその軸心Ｚを中心に回転駆動する電極回転装置（１
６）を備え、砥石と電極間にアルカリ液を供給しなが
ら、導電性砥石と放電電極との間に直流電圧をパルス的
に印加して放電により加工面を整形するマイクロ放電ツ
ルーイング工程と、（Ｂ）前記導電性砥石（１２）の加
工面から間隔を隔てた対向面（２８ａ）を有するドレッ
シング電極（２８）を備え、砥石とドレッシング電極の
間にアルカリ液を供給しながら、導電性砥石とドレッシ
ング電極との間に直流電圧を印加し、導電性砥石を電解
によりドレッシングする電解ドレッシング工程と、
（Ｃ）導電性砥石で被加工物を加工する研削工程と、か
らなることを特徴とする微細加工方法が提供される。
（１２）の加工面（１２ａ）に近接可能な外周縁（１４
ａ）を有する円板状の放電電極（１４）と、該放電電極
をその軸心Ｚを中心に回転駆動する電極回転装置（１
６）を備え、砥石と電極間にアルカリ液を供給しなが
ら、導電性砥石と放電電極との間に直流電圧をパルス的
に印加して放電により加工面を整形するマイクロ放電ツ
ルーイング工程と、（Ｂ）前記導電性砥石（１２）の加
工面から間隔を隔てた対向面（２８ａ）を有するドレッ
シング電極（２８）を備え、砥石とドレッシング電極の
間にアルカリ液を供給しながら、導電性砥石とドレッシ
ング電極との間に直流電圧を印加し、導電性砥石を電解
によりドレッシングする電解ドレッシング工程と、
（Ｃ）導電性砥石で被加工物を加工する研削工程と、か
らなることを特徴とする微細加工方法が提供される。
【００１２】この方法により、マイクロ放電ツルーイン
グ工程（Ａ）で芯ズレや振れを除去した極細又は極薄の
導電性砥石を用いて、電解ドレッシング工程（Ｂ）と研
削工程（Ｃ）を同時又は繰り返して行うことができ、芯
ズレや振れの悪影響をなくしてマイクロマシン等の微細
部品を効率よく高精度に加工することができる。
グ工程（Ａ）で芯ズレや振れを除去した極細又は極薄の
導電性砥石を用いて、電解ドレッシング工程（Ｂ）と研
削工程（Ｃ）を同時又は繰り返して行うことができ、芯
ズレや振れの悪影響をなくしてマイクロマシン等の微細
部品を効率よく高精度に加工することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面を参照して説明する。なお、各図において共通す
る部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略す
る。図１は、本発明によるマイクロ放電ツルーイング装
置の全体構成図である。この図に示すように、本発明の
マイクロ放電ツルーイング装置１０は、導電性砥石１
２、円板状の放電電極１４、電極回転装置１６、位置制
御装置１８、電圧印加装置２０、及び加工液供給装置２
２を備える。
を図面を参照して説明する。なお、各図において共通す
る部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略す
る。図１は、本発明によるマイクロ放電ツルーイング装
置の全体構成図である。この図に示すように、本発明の
マイクロ放電ツルーイング装置１０は、導電性砥石１
２、円板状の放電電極１４、電極回転装置１６、位置制
御装置１８、電圧印加装置２０、及び加工液供給装置２
２を備える。
【００１４】導電性砥石１２は、この例では、微細ダイ
ヤモンド砥粒を用いた極細のメタルボンド砥石であり、
図で上下方向に移動させて被加工物１に穴加工をするよ
うになっている。また、この導電性砥石１２は、その軸
心を中心に回転駆動され、位置制御装置１８により、電
極１４の外周縁１４ａと砥石１２との相対位置を制御す
るようになっている。なお、極細のメタルボンド砥石の
直径は任意であり、例えば、１ｍｍ以下でもよい。ま
た、導電性砥石１２は、極薄のメタルボンド砥石であっ
てもよく、この場合には、図１に二点鎖線で示すよう
に、水平な軸心を中心に回転駆動されるようになってい
る。
ヤモンド砥粒を用いた極細のメタルボンド砥石であり、
図で上下方向に移動させて被加工物１に穴加工をするよ
うになっている。また、この導電性砥石１２は、その軸
心を中心に回転駆動され、位置制御装置１８により、電
極１４の外周縁１４ａと砥石１２との相対位置を制御す
るようになっている。なお、極細のメタルボンド砥石の
直径は任意であり、例えば、１ｍｍ以下でもよい。ま
た、導電性砥石１２は、極薄のメタルボンド砥石であっ
てもよく、この場合には、図１に二点鎖線で示すよう
に、水平な軸心を中心に回転駆動されるようになってい
る。
【００１５】円板状の放電電極１４は、導電性砥石１２
の加工面１２ａに近接可能な外周縁１４ａを有する。放
電電極１４の外周縁１４ａは、その軸心Ｚを中心とする
完全な真円に形成されている。この放電電極１４の厚さ
は、安定したマイクロ放電が得られるように、真円度を
保持できる限りで薄いほど好ましく、例えば２ｍｍ以下
にするのがよい。放電電極１４は、電極回転装置１６
（例えば、電動機）の回転軸に取り付けられ、その軸心
Ｚを中心に回転駆動されるようになっている。
の加工面１２ａに近接可能な外周縁１４ａを有する。放
電電極１４の外周縁１４ａは、その軸心Ｚを中心とする
完全な真円に形成されている。この放電電極１４の厚さ
は、安定したマイクロ放電が得られるように、真円度を
保持できる限りで薄いほど好ましく、例えば２ｍｍ以下
にするのがよい。放電電極１４は、電極回転装置１６
（例えば、電動機）の回転軸に取り付けられ、その軸心
Ｚを中心に回転駆動されるようになっている。
【００１６】電圧印加装置２０は、直流電源２４、パル
ス放電回路２５、及び電流供給ライン２６からなる。直
流電源２４は、所定の直流電圧（例えばＤＣ１０３ １
１０Ｖ）を発生させ、パルス放電回路２５の入力端子に
印加するようになっている。また、電流供給ライン２６
は、砥石１２の回転軸と放電電極１４の表面に摺動しな
がら接触するブラシ２６ａ（給電子）と、このブラシ２
６ａとパルス放電回路２５の出力端子とを電気的に接続
する接続線２６ｂとからなり、出力端子のプラス側を砥
石に接続しマイナス側を電極に接続している。加工液供
給装置２２は、砥石１２と電極１４の間にアルカリ性液
を供給するようになっている。このアルカリ性液は、例
えば、ＥＬＩＤ研削に使用する水溶性研削液であり、完
全な絶縁液ではなく、ある程度の電気伝導度（例えば１
３００〜１８００μＳ／ｃｍ）を有しており、砥石１２
と電極１４間の電気抵抗を低減する機能を有するのがよ
い。
ス放電回路２５、及び電流供給ライン２６からなる。直
流電源２４は、所定の直流電圧（例えばＤＣ１０３ １
１０Ｖ）を発生させ、パルス放電回路２５の入力端子に
印加するようになっている。また、電流供給ライン２６
は、砥石１２の回転軸と放電電極１４の表面に摺動しな
がら接触するブラシ２６ａ（給電子）と、このブラシ２
６ａとパルス放電回路２５の出力端子とを電気的に接続
する接続線２６ｂとからなり、出力端子のプラス側を砥
石に接続しマイナス側を電極に接続している。加工液供
給装置２２は、砥石１２と電極１４の間にアルカリ性液
を供給するようになっている。このアルカリ性液は、例
えば、ＥＬＩＤ研削に使用する水溶性研削液であり、完
全な絶縁液ではなく、ある程度の電気伝導度（例えば１
３００〜１８００μＳ／ｃｍ）を有しており、砥石１２
と電極１４間の電気抵抗を低減する機能を有するのがよ
い。
【００１７】図２は、図１のパルス放電回路図である。
この図に示すように、パルス放電回路２５は、プラス側
の入出力端子２５ａ，２５ｂ間に位置する可変抵抗Ｒ
と、出力端子２５ｂのプラス／マイナス間に位置する可
変コンデンサＣとを有する。この構成により、簡単な回
路で出力端子２５ｂの端子間が開放時にコンデンサＣに
充電し、出力端子２５ｂの端子間抵抗が低減した時にコ
ンデンサＣから放電して、砥石１２と電極１４の間に所
定の電圧をパルス的に印加することができる。
この図に示すように、パルス放電回路２５は、プラス側
の入出力端子２５ａ，２５ｂ間に位置する可変抵抗Ｒ
と、出力端子２５ｂのプラス／マイナス間に位置する可
変コンデンサＣとを有する。この構成により、簡単な回
路で出力端子２５ｂの端子間が開放時にコンデンサＣに
充電し、出力端子２５ｂの端子間抵抗が低減した時にコ
ンデンサＣから放電して、砥石１２と電極１４の間に所
定の電圧をパルス的に印加することができる。
【００１８】図１に示したマイクロ放電ツルーイング装
置１０の構成により、放電電極１４を一定の周速で回転
し、砥石１２も一定の周速で回転しながら、位置制御装
置１８により砥石１２を軸方向に往復し、同時に径方向
に所定の速度で送る。また、砥石１２と電極１４との間
には一定の間隙を維持して、少量の研削液（アルカリ性
液）を供給し、安定した放電スパークを発生させてマイ
クロ放電ツルーイングを行う。上述した本発明の構成に
よれば、回転する放電電極１４の外周縁１４ａと位置制
御装置１８で位置制御された導電性砥石１２の加工面１
２ａとの間に電圧印加装置２０によりスパーク（マイク
ロ放電）を安定して発生させることにより、導電性砥石
１２のメタルボンド部分を非接触で高能率かつ高精度に
溶融除去し、砥石表面を所望の形状に修正することがで
きる。また、放電電極１４は、電極回転装置１６により
軸心Ｚを中心に回転しているので、マイクロ放電により
消耗しても真円度を維持でき、長時間連続して使用する
ことができる。更に、加工液供給装置２２により砥石と
電極間にアルカリ性液を供給するので、ドライ状態や絶
縁性液を供給する場合に比較して、低い電圧で高い電流
のマイクロ放電を安定して発生させることができ、電源
設備を小型，小出力化することができる。
置１０の構成により、放電電極１４を一定の周速で回転
し、砥石１２も一定の周速で回転しながら、位置制御装
置１８により砥石１２を軸方向に往復し、同時に径方向
に所定の速度で送る。また、砥石１２と電極１４との間
には一定の間隙を維持して、少量の研削液（アルカリ性
液）を供給し、安定した放電スパークを発生させてマイ
クロ放電ツルーイングを行う。上述した本発明の構成に
よれば、回転する放電電極１４の外周縁１４ａと位置制
御装置１８で位置制御された導電性砥石１２の加工面１
２ａとの間に電圧印加装置２０によりスパーク（マイク
ロ放電）を安定して発生させることにより、導電性砥石
１２のメタルボンド部分を非接触で高能率かつ高精度に
溶融除去し、砥石表面を所望の形状に修正することがで
きる。また、放電電極１４は、電極回転装置１６により
軸心Ｚを中心に回転しているので、マイクロ放電により
消耗しても真円度を維持でき、長時間連続して使用する
ことができる。更に、加工液供給装置２２により砥石と
電極間にアルカリ性液を供給するので、ドライ状態や絶
縁性液を供給する場合に比較して、低い電圧で高い電流
のマイクロ放電を安定して発生させることができ、電源
設備を小型，小出力化することができる。
【００１９】
【実施例１】図３乃至図５は、上述したマイクロ放電ツ
ルーイング装置１０を用いた実施例であり、図３は、放
電ツルーイングにおける電圧と電流の変化を示してい
る。この図に示すように、パルス放電回路２５は単一の
コンデンサＣと抵抗Ｒからなる簡単な回路であるが、直
流電力は抵抗Ｒを経てコンデンサＣに充電され、コンデ
ンサの極間（出力端子間）が一定の電圧に上昇し、かつ
電極と砥石が近接してその間の抵抗が低減すると、電極
と砥石間のメディア（アルカリ性液）の絶縁破壊が生
じ、放電状態になる。放電が始まるとコンデンサ内のエ
ネルギーが放出され、メディアの絶縁性が回復し再び充
電状態になる。このようなサイクルの頻度が高まること
により良好なマイクロ放電ツルーイングを実現すること
ができる。従って、この構成により、従来の放電加工に
比較すると、電源設備を大幅に小型，小出力化でき、か
つ複雑な制御回路や制御装置が不要となる。
ルーイング装置１０を用いた実施例であり、図３は、放
電ツルーイングにおける電圧と電流の変化を示してい
る。この図に示すように、パルス放電回路２５は単一の
コンデンサＣと抵抗Ｒからなる簡単な回路であるが、直
流電力は抵抗Ｒを経てコンデンサＣに充電され、コンデ
ンサの極間（出力端子間）が一定の電圧に上昇し、かつ
電極と砥石が近接してその間の抵抗が低減すると、電極
と砥石間のメディア（アルカリ性液）の絶縁破壊が生
じ、放電状態になる。放電が始まるとコンデンサ内のエ
ネルギーが放出され、メディアの絶縁性が回復し再び充
電状態になる。このようなサイクルの頻度が高まること
により良好なマイクロ放電ツルーイングを実現すること
ができる。従って、この構成により、従来の放電加工に
比較すると、電源設備を大幅に小型，小出力化でき、か
つ複雑な制御回路や制御装置が不要となる。
【００２０】（実験装置および実験条件）上述したマイ
クロ放電ツルーイング装置１０において、砥石１２にマ
イクロ研削用のφ６ｍｍ小径メタルボンド砥石を使用
し、これをマシニングセンタに取り付けて、一定のスピ
ードで自動的に送るようにした。また精密なマイクロ放
電のために、放電電極１４としてφ１００ｍｍ×２ｍｍ
の薄い銅の円板を使用した。放電電源２０には独自に上
述したパルス放電回路２５を試作した。安定したマイク
ロ放電のために、電源電圧を０〜１１０Ｖ，抵抗器Ｒを
２００Ω、コンデンサＣを１μＦとした。放電のメディ
アとして、電極と砥石の間に電解ドレッシング用の水溶
性研削液を少量供給した。
クロ放電ツルーイング装置１０において、砥石１２にマ
イクロ研削用のφ６ｍｍ小径メタルボンド砥石を使用
し、これをマシニングセンタに取り付けて、一定のスピ
ードで自動的に送るようにした。また精密なマイクロ放
電のために、放電電極１４としてφ１００ｍｍ×２ｍｍ
の薄い銅の円板を使用した。放電電源２０には独自に上
述したパルス放電回路２５を試作した。安定したマイク
ロ放電のために、電源電圧を０〜１１０Ｖ，抵抗器Ｒを
２００Ω、コンデンサＣを１μＦとした。放電のメディ
アとして、電極と砥石の間に電解ドレッシング用の水溶
性研削液を少量供給した。
【００２１】（実験結果）図４は放電ツルーイングの時
間による砥石の真円度の変化を示している。新品の砥石
１２の真円度はおよそ１１０μｍ／φ６ｍｍであり、５
０分までは修正の能率がより高く、５０分以後は砥石の
真円度の変化が穏やかとなり、ツルーイング時間５５分
で、２μｍ／φ６ｍｍの真円度を持つ良好な砥石表面が
得られた。この状態を放電ツルーイング完了とした。 （メディアによる放電ツルーイング状態の変化）上述し
た放電ツルーイングにおいて、研削液を電極と砥石の間
に供給することにより、その間のメディアの性質が変わ
るため、放電ツルーイングの状態も変化することがわか
った。すなわち、研削液を供給する場合には、放電火花
も抑えられ、放電エネルギーを小さい領域に集中するこ
とができるので、砥石のツルーイング精度を向上するこ
とができる。
間による砥石の真円度の変化を示している。新品の砥石
１２の真円度はおよそ１１０μｍ／φ６ｍｍであり、５
０分までは修正の能率がより高く、５０分以後は砥石の
真円度の変化が穏やかとなり、ツルーイング時間５５分
で、２μｍ／φ６ｍｍの真円度を持つ良好な砥石表面が
得られた。この状態を放電ツルーイング完了とした。 （メディアによる放電ツルーイング状態の変化）上述し
た放電ツルーイングにおいて、研削液を電極と砥石の間
に供給することにより、その間のメディアの性質が変わ
るため、放電ツルーイングの状態も変化することがわか
った。すなわち、研削液を供給する場合には、放電火花
も抑えられ、放電エネルギーを小さい領域に集中するこ
とができるので、砥石のツルーイング精度を向上するこ
とができる。
【００２２】表１は放電ツルーイングにおける電流と電
圧の変化範囲を示す。この表に示すように、研削液を供
給する場合には電極と砥石の間のメディアの絶縁性が低
いため、電圧がより低く、電流がより高くなるが、電圧
と電流の変化は小さく、放電スパークもより安定するの
で、精密なマイクロツルーイングを行うことができるこ
とがわかる。
圧の変化範囲を示す。この表に示すように、研削液を供
給する場合には電極と砥石の間のメディアの絶縁性が低
いため、電圧がより低く、電流がより高くなるが、電圧
と電流の変化は小さく、放電スパークもより安定するの
で、精密なマイクロツルーイングを行うことができるこ
とがわかる。
【００２３】
【表１】
【００２４】（放電条件と放電の最大ギャップとの関
係）図５は、放電ツルーイングにおける設定電圧と最大
隙間との関係を示している。研削液を供給しない場合で
は、放電がより起こり易いため、最大の放電ギャップが
より大きいということが分かった。研削液を供給しない
場合では最大の放電ギャップがおよそ８６μｍ、また研
削液を供給する場合では最大放電ギャップがおよそ６８
μｍになると、電圧による最大の放電ギャップがあまり
変わらなくなった。これは放電条件における放電の起こ
りやすい最大ギャップだと考えられる。
係）図５は、放電ツルーイングにおける設定電圧と最大
隙間との関係を示している。研削液を供給しない場合で
は、放電がより起こり易いため、最大の放電ギャップが
より大きいということが分かった。研削液を供給しない
場合では最大の放電ギャップがおよそ８６μｍ、また研
削液を供給する場合では最大放電ギャップがおよそ６８
μｍになると、電圧による最大の放電ギャップがあまり
変わらなくなった。これは放電条件における放電の起こ
りやすい最大ギャップだと考えられる。
【００２５】上述した実施例から以下の点が確認され
た。 １．単一のコンデンサＣと抵抗Ｒからなるパルス放電回
路２５は簡単な回路であるが、抵抗値とコンデンサ容量
を最適化することにより、マイクロ放電ツルーイングを
実現できる。 ２．砥石と電極の間に研削液を少量供給する場合には、
安定したマイクロ放電ツルーイングを実現することがで
き、砥石のツルーイング精度を向上することができる。 ３．放電条件によって、放電の起こりやすい最大隙間が
存在する。
た。 １．単一のコンデンサＣと抵抗Ｒからなるパルス放電回
路２５は簡単な回路であるが、抵抗値とコンデンサ容量
を最適化することにより、マイクロ放電ツルーイングを
実現できる。 ２．砥石と電極の間に研削液を少量供給する場合には、
安定したマイクロ放電ツルーイングを実現することがで
き、砥石のツルーイング精度を向上することができる。 ３．放電条件によって、放電の起こりやすい最大隙間が
存在する。
【００２６】図６は、本発明による微細加工方法を示す
工程説明図である。この図に示すように、本発明の微細
加工方法は、マイクロ放電ツルーイング工程（Ａ）、電
解ドレッシング工程（Ｂ）、及び研削工程（Ｃ）からな
る。マイクロ放電ツルーイング工程（Ａ）は、導電性砥
石１２の加工面１２ａに近接可能な外周縁１４ａを有す
る円板状の放電電極１４と、放電電極１４をその軸心Ｚ
を中心に回転駆動する電極回転装置１６を備え、砥石１
２と電極１４間にアルカリ性液を供給しながら、導電性
砥石１２と放電電極１４との間に直流電圧をパルス的に
印加して放電により加工面を整形する。すなわち、この
工程は、上述したマイクロ放電ツルーイング装置１０を
用いて行うことができる。
工程説明図である。この図に示すように、本発明の微細
加工方法は、マイクロ放電ツルーイング工程（Ａ）、電
解ドレッシング工程（Ｂ）、及び研削工程（Ｃ）からな
る。マイクロ放電ツルーイング工程（Ａ）は、導電性砥
石１２の加工面１２ａに近接可能な外周縁１４ａを有す
る円板状の放電電極１４と、放電電極１４をその軸心Ｚ
を中心に回転駆動する電極回転装置１６を備え、砥石１
２と電極１４間にアルカリ性液を供給しながら、導電性
砥石１２と放電電極１４との間に直流電圧をパルス的に
印加して放電により加工面を整形する。すなわち、この
工程は、上述したマイクロ放電ツルーイング装置１０を
用いて行うことができる。
【００２７】電解ドレッシング工程（Ｂ）は、導電性砥
石１２の加工面１２ａから間隔を隔てた対向面２８ａを
有するドレッシング電極２８を備え、砥石１２とドレッ
シング電極２８の間にアルカリ性液を供給しながら、導
電性砥石１２とドレッシング電極２８との間に直流電圧
を印加し、導電性砥石を電解によりドレッシングする。
この工程において、上述したマイクロ放電ツルーイング
装置１０の電圧印加装置２０と加工液供給装置２２を用
いることもできる。ただし、この場合には、パルス放電
回路２５は不要であり、一定電圧を印加する。研削工程
（Ｃ）では、導電性砥石１２で被加工物１を加工する。
この加工は、微細部品の穴加工や溝加工が好ましいが、
本発明はこれに限定されず、その他の微細加工にも適用
することができる。この方法により、マイクロ放電ツル
ーイング工程（Ａ）で芯ズレや振れを除去した極細又は
極薄の導電性砥石を用いて、電解ドレッシング工程
（Ｂ）と研削工程（Ｃ）を同時又は繰り返して行うこと
ができ、芯ズレや振れの悪影響をなくしてマイクロマシ
ン等の微細部品を効率よく高精度に加工することができ
る。
石１２の加工面１２ａから間隔を隔てた対向面２８ａを
有するドレッシング電極２８を備え、砥石１２とドレッ
シング電極２８の間にアルカリ性液を供給しながら、導
電性砥石１２とドレッシング電極２８との間に直流電圧
を印加し、導電性砥石を電解によりドレッシングする。
この工程において、上述したマイクロ放電ツルーイング
装置１０の電圧印加装置２０と加工液供給装置２２を用
いることもできる。ただし、この場合には、パルス放電
回路２５は不要であり、一定電圧を印加する。研削工程
（Ｃ）では、導電性砥石１２で被加工物１を加工する。
この加工は、微細部品の穴加工や溝加工が好ましいが、
本発明はこれに限定されず、その他の微細加工にも適用
することができる。この方法により、マイクロ放電ツル
ーイング工程（Ａ）で芯ズレや振れを除去した極細又は
極薄の導電性砥石を用いて、電解ドレッシング工程
（Ｂ）と研削工程（Ｃ）を同時又は繰り返して行うこと
ができ、芯ズレや振れの悪影響をなくしてマイクロマシ
ン等の微細部品を効率よく高精度に加工することができ
る。
【００２８】図７は、初期電解ドレッシングにおける作
動電圧の変化を示す実施例である。この図において、３
本の線はそれぞれピーク電流が１Ａ，２Ａ，３Ａの場合
を示している。この図から、ピーク電流の違いにより作
動電圧の変化曲線はわずかに相違するが、いずれの場合
でも、最大作動電圧はほぼ同一であり、かつ非線形であ
ることがわかる。
動電圧の変化を示す実施例である。この図において、３
本の線はそれぞれピーク電流が１Ａ，２Ａ，３Ａの場合
を示している。この図から、ピーク電流の違いにより作
動電圧の変化曲線はわずかに相違するが、いずれの場合
でも、最大作動電圧はほぼ同一であり、かつ非線形であ
ることがわかる。
【００２９】なお、本発明は上述した実施形態及び実施
例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しな
い範囲で種々変更できることは勿論である。
例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しな
い範囲で種々変更できることは勿論である。
【００３０】
【発明の効果】本発明では、電気的ツルーイング手段と
してマイクロ放電ツルーイングを適用し、マイクロ研削
加工に使用するメタルボンド砥石の微細なツルーイング
を精密に行い、ＥＬＩＤ研削に必要な加工精度を確保す
ることができることを確認した。また、上述したマイク
ロ放電ツルーイングを適用することにより、以下の利点
があることがわかった。 １．メタルボンドやレジン−メタル複合ボンドなどの導
電性ボンド砥石のツルーイングに適用することができ
る。 ２．放電ツルーイング法は非接触の加工法であるため、
小径砥石と薄刃砥石の精密ツルーイングが可能である。 ３．ＮＣマシンにより複雑な形状表面の砥石のマイクロ
ツルーイングが可能である。 ４．放電ツルーイングにより、砥石の振れ取りのみなら
ず、超砥粒もボンド部分から突き出すことができ、砥石
形状を維持しながら、複雑形状面の精密な研削加工が可
能である。
してマイクロ放電ツルーイングを適用し、マイクロ研削
加工に使用するメタルボンド砥石の微細なツルーイング
を精密に行い、ＥＬＩＤ研削に必要な加工精度を確保す
ることができることを確認した。また、上述したマイク
ロ放電ツルーイングを適用することにより、以下の利点
があることがわかった。 １．メタルボンドやレジン−メタル複合ボンドなどの導
電性ボンド砥石のツルーイングに適用することができ
る。 ２．放電ツルーイング法は非接触の加工法であるため、
小径砥石と薄刃砥石の精密ツルーイングが可能である。 ３．ＮＣマシンにより複雑な形状表面の砥石のマイクロ
ツルーイングが可能である。 ４．放電ツルーイングにより、砥石の振れ取りのみなら
ず、超砥粒もボンド部分から突き出すことができ、砥石
形状を維持しながら、複雑形状面の精密な研削加工が可
能である。
【００３１】従って、本発明のマイクロ放電ツルーイン
グ装置とこれを用いた微細加工方法は、極細／極薄の砥
石の芯ズレや振れを効率よく除去することができ、砥石
自体の変形がなく高精度のツルーイングができ、電源設
備が小型，小出力で足り、複雑な制御回路や制御装置が
不要であり、電極等消耗品の製作／再加工が容易であ
る、等の優れた効果を有する。
グ装置とこれを用いた微細加工方法は、極細／極薄の砥
石の芯ズレや振れを効率よく除去することができ、砥石
自体の変形がなく高精度のツルーイングができ、電源設
備が小型，小出力で足り、複雑な制御回路や制御装置が
不要であり、電極等消耗品の製作／再加工が容易であ
る、等の優れた効果を有する。
【図１】本発明によるマイクロ放電ツルーイング装置の
全体構成図である。
全体構成図である。
【図２】図１のパルス放電回路図である。
【図３】放電ツルーイングにおける電圧と電流の変化を
示す実施例である。
示す実施例である。
【図４】ツルーイング時間と残留振れの関係を示す実施
例である。
例である。
【図５】入力電圧と最大隙間の関係を示す実施例であ
る。
る。
【図６】本発明による微細加工方法を示す工程説明図で
ある。
ある。
【図７】初期電解ドレッシングにおける作動電圧の変化
を示す実施例である。
を示す実施例である。
１ 被加工物（ワーク）
１０ マイクロ放電ツルーイング装置
１２ 導電性砥石
１４ 円板状放電電極
１６ 電極回転装置
１８ 位置制御装置
２０ 電圧印加装置
２２ 加工液供給装置
２４ 直流電源
２５ パルス放電回路
２６ 電流供給ライン
２８ 電解ドレッシング電極
２８ａ 対向面
Claims (3)
- 【請求項１】 被加工物（１）を加工するための導電性
砥石（１２）と、該導電性砥石の加工面（１２ａ）に近
接可能な外周縁（１４ａ）を有する円板状の放電電極
（１４）と、該放電電極をその軸心Ｚを中心に回転駆動
する電極回転装置（１６）と、電極の外周縁と砥石との
相対位置を制御する位置制御装置（１８）と、砥石と電
極間に所定の電圧をパルス的に印加する電圧印加装置
（２０）と、砥石と電極間にアルカリ性液を供給する加
工液供給装置（２２）と、を備えたことを特徴とするマ
イクロ放電ツルーイング装置。 - 【請求項２】 前記電圧印加装置（２０）は、所定の直
流電圧を発生させる直流電源（２４）と、コンデンサ
Ｃ，抵抗Ｒ，及び１対の出力端子を有し端子間が開放時
にコンデンサに充電し端子間抵抗が低減した時にコンデ
ンサから放電するパルス放電回路（２５）と、前記出力
端子のプラス側を砥石に接続しマイナス側を電極に接続
する電流供給ライン（２６）と、からなることを特徴と
する請求項１に記載のマイクロ放電ツルーイング装置。 - 【請求項３】 （Ａ）導電性砥石（１２）の加工面（１
２ａ）に近接可能な外周縁（１４ａ）を有する円板状の
放電電極（１４）と、該放電電極をその軸心Ｚを中心に
回転駆動する電極回転装置（１６）を備え、砥石と電極
間にアルカリ性液を供給しながら、導電性砥石と放電電
極との間に直流電圧をパルス的に印加して放電により加
工面を整形するマイクロ放電ツルーイング工程と、 （Ｂ）前記導電性砥石（１２）の加工面から間隔を隔て
た対向面（２８ａ）を有するドレッシング電極（２８）
を備え、砥石とドレッシング電極の間にアルカリ性液を
供給しながら、導電性砥石とドレッシング電極との間に
直流電圧を印加し、導電性砥石を電解によりドレッシン
グする電解ドレッシング工程と、 （Ｃ）導電性砥石で被加工物を加工する研削工程と、か
らなることを特徴とする微細加工方法。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10232520A JP2000061839A (ja) | 1998-08-19 | 1998-08-19 | マイクロ放電ツルーイング装置とこれを用いた微細加工方法 |
| TW088113932A TW436367B (en) | 1998-08-19 | 1999-08-16 | Micro-discharge truing device and fine machining method using the device |
| EP99116293A EP0980735B1 (en) | 1998-08-19 | 1999-08-18 | Micro-discharge truing device and fine machining method using the device |
| DE69937324T DE69937324T2 (de) | 1998-08-19 | 1999-08-18 | Micro-Entladungsabrichtvorrichtung und Feinbearbeitungsverfahren unter Verwendung dieser Vorrichtung |
| KR1019990034104A KR100594082B1 (ko) | 1998-08-19 | 1999-08-18 | 마이크로 방전 트루잉 장치 및 이를 이용한 미세 가공방법 |
| CA002280342A CA2280342C (en) | 1998-08-19 | 1999-08-18 | Micro-discharge truing device and fine machining method using the device |
| US09/376,002 US6244939B1 (en) | 1998-08-19 | 1999-08-19 | Micro-discharge truing device and fine machining method using the device |
| SG9904134A SG81297A1 (en) | 1998-08-19 | 1999-08-19 | Micro-discharge truing device and fine machining method using the device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10232520A JP2000061839A (ja) | 1998-08-19 | 1998-08-19 | マイクロ放電ツルーイング装置とこれを用いた微細加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000061839A true JP2000061839A (ja) | 2000-02-29 |
Family
ID=16940625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10232520A Pending JP2000061839A (ja) | 1998-08-19 | 1998-08-19 | マイクロ放電ツルーイング装置とこれを用いた微細加工方法 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6244939B1 (ja) |
| EP (1) | EP0980735B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000061839A (ja) |
| KR (1) | KR100594082B1 (ja) |
| CA (1) | CA2280342C (ja) |
| DE (1) | DE69937324T2 (ja) |
| SG (1) | SG81297A1 (ja) |
| TW (1) | TW436367B (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| EP1033908A3 (en) * | 1999-03-03 | 2003-11-19 | Riken | Plasma discharge truing apparatus and fine-machining methods using the apparatus |
| JP2010069544A (ja) * | 2008-09-16 | 2010-04-02 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | 砥石加工方法及び同装置 |
| CN110890866A (zh) * | 2019-12-23 | 2020-03-17 | 中国电子科技集团公司第二十九研究所 | 一种星载固态功率放大器抗微放电的方法及匹配电路 |
| CN114603484A (zh) * | 2022-03-08 | 2022-06-10 | 湖南科技大学 | 一种金属结合剂砂轮微波直接修整方法及系统 |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000061839A (ja) * | 1998-08-19 | 2000-02-29 | Rikagaku Kenkyusho | マイクロ放電ツルーイング装置とこれを用いた微細加工方法 |
| JP2000079561A (ja) * | 1998-09-04 | 2000-03-21 | Inst Of Physical & Chemical Res | 単結晶ＳｉＣの切断・鏡面加工方法及び装置 |
| JP4144725B2 (ja) * | 1999-09-30 | 2008-09-03 | 独立行政法人理化学研究所 | ガラス基板のチャンファリング方法及び装置 |
| US6547648B1 (en) * | 1999-10-15 | 2003-04-15 | Trustees Of Stevens Institute Of Technology - Graduate School And Research Services | Method and device for high speed electrolytic in-process dressing for ultra-precision grinding |
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