JP2000058616A - 基板搬送方法及び装置 - Google Patents
基板搬送方法及び装置Info
- Publication number
- JP2000058616A JP2000058616A JP22379298A JP22379298A JP2000058616A JP 2000058616 A JP2000058616 A JP 2000058616A JP 22379298 A JP22379298 A JP 22379298A JP 22379298 A JP22379298 A JP 22379298A JP 2000058616 A JP2000058616 A JP 2000058616A
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- JP
- Japan
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- cassette
- stage
- substrate
- lock chamber
- load lock
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 中心を通る一直線に対して２つの出入口１
ａ、１ｂが任意の角度をもって形成されているロードロ
ック室１を通す基板の搬送方法において、低発塵で基板
カセット４を必要な角度回転させる。 【解決手段】 ロードロック室１内に配置したカセット
旋回ステージ１２上に基板カセット４を搬入搬出する工
程と、ロードロック室１外に配置した駆動手段１９にて
磁気カップリング１６、１７を介してカセット旋回ステ
ージ１２を旋回させて基板カセット４を所定の出入口１
ａ、１ｂに向ける工程とを有し、カセット旋回ステージ
１２をロードロック室１外の駆動手段にて旋回させるこ
とにより低発塵を実現する。
ａ、１ｂが任意の角度をもって形成されているロードロ
ック室１を通す基板の搬送方法において、低発塵で基板
カセット４を必要な角度回転させる。 【解決手段】 ロードロック室１内に配置したカセット
旋回ステージ１２上に基板カセット４を搬入搬出する工
程と、ロードロック室１外に配置した駆動手段１９にて
磁気カップリング１６、１７を介してカセット旋回ステ
ージ１２を旋回させて基板カセット４を所定の出入口１
ａ、１ｂに向ける工程とを有し、カセット旋回ステージ
１２をロードロック室１外の駆動手段にて旋回させるこ
とにより低発塵を実現する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ロードロック室を
通して基板カセットを搬送する基板搬送方法及び装置に
関し、特に２つの出入口が中心を通る一直線に対して任
意の角度をもって形成されているロードロック室を通し
た基板搬送方法及び装置に関するものである。
通して基板カセットを搬送する基板搬送方法及び装置に
関し、特に２つの出入口が中心を通る一直線に対して任
意の角度をもって形成されているロードロック室を通し
た基板搬送方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】真空処理装置において、基板カセットを
ロードロック室に搬入する形態をとる場合、一般に装置
正面にロードロック室の出入口を形成し、基板カセット
の受け渡し機構は装置正面の出入口を通してロードロッ
ク室に基板カセットを搬入搬出するように構成されてい
る。
ロードロック室に搬入する形態をとる場合、一般に装置
正面にロードロック室の出入口を形成し、基板カセット
の受け渡し機構は装置正面の出入口を通してロードロッ
ク室に基板カセットを搬入搬出するように構成されてい
る。
【０００３】これに対して、多角形の真空容器から成る
搬送室に搬送アームが配設され、その搬送室の各側面に
処理室やロードロック室を配設した真空処理装置におい
て、２つ以上の側面にロードロック室を配設したものに
おいては、ロードロック室と搬送室の間の出入口は搬送
室の中心を向き、ロードロック室と外部間の出入口は装
置正面を向くため、そのロードロック室の２つの出入口
は中心を通る一直線に対して任意の角度をもって形成さ
れることになる。そのため、ロードロック室に基板カセ
ットを搬入した後、このロードロック室で基板カセット
を必要な角度だけ回転させるか、ロードロック室に基板
カセットを搬入する際に予め基板カセットを必要な角度
だけ回転させた状態にしておかなければ、基板を処理装
置との間で適正に搬送できない。
搬送室に搬送アームが配設され、その搬送室の各側面に
処理室やロードロック室を配設した真空処理装置におい
て、２つ以上の側面にロードロック室を配設したものに
おいては、ロードロック室と搬送室の間の出入口は搬送
室の中心を向き、ロードロック室と外部間の出入口は装
置正面を向くため、そのロードロック室の２つの出入口
は中心を通る一直線に対して任意の角度をもって形成さ
れることになる。そのため、ロードロック室に基板カセ
ットを搬入した後、このロードロック室で基板カセット
を必要な角度だけ回転させるか、ロードロック室に基板
カセットを搬入する際に予め基板カセットを必要な角度
だけ回転させた状態にしておかなければ、基板を処理装
置との間で適正に搬送できない。
【０００４】そこで、従来のこの種の真空処理装置にお
いては、ロードロック室に搬入した基板カセットを載置
するカセット旋回ステージを設け、このカセット旋回ス
テージを回転駆動機構にて必要な角度回転させるように
構成されている。
いては、ロードロック室に搬入した基板カセットを載置
するカセット旋回ステージを設け、このカセット旋回ス
テージを回転駆動機構にて必要な角度回転させるように
構成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成ではカセット旋回ステージを回転させる回転駆
動機構がロードロック室内に配設する必要があるため、
その回転駆動機構からの発塵によって基板の歩留りが悪
くなるという問題があった。
来の構成ではカセット旋回ステージを回転させる回転駆
動機構がロードロック室内に配設する必要があるため、
その回転駆動機構からの発塵によって基板の歩留りが悪
くなるという問題があった。
【０００６】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、低発
塵で基板カセットを必要な角度回転させることができる
基板搬送方法及び装置を提供することを目的としてい
る。
塵で基板カセットを必要な角度回転させることができる
基板搬送方法及び装置を提供することを目的としてい
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の基板搬送方法
は、中心を通る一直線に対して２つの出入口が任意の角
度をもって形成されているロードロック室を通す基板の
搬送方法であって、ロードロック室内に配置したカセッ
ト旋回ステージ上に基板カセットを搬入搬出する工程
と、ロードロック室外に配置した駆動手段にて磁気カッ
プリングを介してカセット旋回ステージを旋回させて基
板カセットを所定の出入口に向ける工程とを有するもの
であり、カセット旋回ステージをロードロック室外の駆
動手段にて非接触で旋回駆動できるので、低発塵にてカ
セット旋回ステージを任意の角度旋回させることがで
き、また駆動手段がロードロック室の壁面を貫通しない
ので、無摺動シールとなってリークに対して高い信頼性
を確保できる。
は、中心を通る一直線に対して２つの出入口が任意の角
度をもって形成されているロードロック室を通す基板の
搬送方法であって、ロードロック室内に配置したカセッ
ト旋回ステージ上に基板カセットを搬入搬出する工程
と、ロードロック室外に配置した駆動手段にて磁気カッ
プリングを介してカセット旋回ステージを旋回させて基
板カセットを所定の出入口に向ける工程とを有するもの
であり、カセット旋回ステージをロードロック室外の駆
動手段にて非接触で旋回駆動できるので、低発塵にてカ
セット旋回ステージを任意の角度旋回させることがで
き、また駆動手段がロードロック室の壁面を貫通しない
ので、無摺動シールとなってリークに対して高い信頼性
を確保できる。
【０００８】また、本発明の基板搬送装置は、中心を通
る一直線に対して２つの出入口が任意の角度をもって形
成されているロードロック室を通して基板を搬送する基
板搬送装置であって、ロードロック室内に基板カセット
を載置するカセット旋回ステージを設け、カセット旋回
ステージに従動側マグネットを取付け、ロードロック室
外に駆動側マグネットとその移動手段を配設したので、
上記のように非接触にてカセット旋回ステージを任意の
角度旋回させることができ、低発塵を実現できるととも
にリークに対して高い信頼性を確保できる。
る一直線に対して２つの出入口が任意の角度をもって形
成されているロードロック室を通して基板を搬送する基
板搬送装置であって、ロードロック室内に基板カセット
を載置するカセット旋回ステージを設け、カセット旋回
ステージに従動側マグネットを取付け、ロードロック室
外に駆動側マグネットとその移動手段を配設したので、
上記のように非接触にてカセット旋回ステージを任意の
角度旋回させることができ、低発塵を実現できるととも
にリークに対して高い信頼性を確保できる。
【０００９】また、従動側マグネット及び駆動側マグネ
ットは、互いに逆極性の磁極が交互に形成された扇形又
は円形のマグネットから成り、かつ駆動側マグネットの
移動手段は回転手段から成ると、駆動側マグネットを回
転する簡単な構成にてカセット旋回ステージを任意の角
度旋回させることができる。
ットは、互いに逆極性の磁極が交互に形成された扇形又
は円形のマグネットから成り、かつ駆動側マグネットの
移動手段は回転手段から成ると、駆動側マグネットを回
転する簡単な構成にてカセット旋回ステージを任意の角
度旋回させることができる。
【００１０】また、ロードロック室内にカセット昇降ス
テージを配設してその上にカセット旋回ステージを旋回
可能に配置し、カセット昇降ステージにカセット旋回ス
テージに形成された係合溝に嵌入係合してその旋回を阻
止するストッパを設け、かつカセット昇降ステージが原
点位置に下降したときストッパを解除する手段を設ける
と、カセット昇降ステージを原点位置に位置させてカセ
ット旋回ステージを任意の角度旋回させ、その後カセッ
ト昇降ステージを上昇させることで不測に基板カセット
の向きが変わるのを防止でき、基板の円滑な搬送を確保
できる。
テージを配設してその上にカセット旋回ステージを旋回
可能に配置し、カセット昇降ステージにカセット旋回ス
テージに形成された係合溝に嵌入係合してその旋回を阻
止するストッパを設け、かつカセット昇降ステージが原
点位置に下降したときストッパを解除する手段を設ける
と、カセット昇降ステージを原点位置に位置させてカセ
ット旋回ステージを任意の角度旋回させ、その後カセッ
ト昇降ステージを上昇させることで不測に基板カセット
の向きが変わるのを防止でき、基板の円滑な搬送を確保
できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の基板搬送方法を適
用したロードロック室の一実施形態について、図１〜図
３を参照して説明する。
用したロードロック室の一実施形態について、図１〜図
３を参照して説明する。
【００１２】図１において、１はロードロック室、２は
搬送室である。搬送室２は多角形状に形成されるととも
に、その各側面に２つのロードロック室１と各種処理室
（図示せず）が接続され、この搬送室２の中心に配設さ
れた搬送アーム３にてロードロック室１及び各処理室間
で基板を移載するように構成されている。両ロードロッ
ク室１は、外部との出入口１ａが共に装置前面に相対す
る向きで形成され、搬送室２との出入口１ｂとは、ロー
ドロック室１の中心を通る一直線に対して所定の角度を
もって形成されている。
搬送室である。搬送室２は多角形状に形成されるととも
に、その各側面に２つのロードロック室１と各種処理室
（図示せず）が接続され、この搬送室２の中心に配設さ
れた搬送アーム３にてロードロック室１及び各処理室間
で基板を移載するように構成されている。両ロードロッ
ク室１は、外部との出入口１ａが共に装置前面に相対す
る向きで形成され、搬送室２との出入口１ｂとは、ロー
ドロック室１の中心を通る一直線に対して所定の角度を
もって形成されている。
【００１３】ロードロック室１内には、搬入された基板
カセット４を上下させるためのカセット昇降ステージ５
が設けられている。カセット昇降ステージ５は、ロード
ロック室１の底壁を貫通して昇降可能な昇降軸６の上端
に固定されるとともに、ガイドシャフト７にて昇降可能
に支持されている。昇降軸６の下端は、ボールネジ１０
に螺合するナット部材９を固定された昇降部材８に固定
され、ボールネジ１０をパルスモータ１１にて回転駆動
することにより、カセット昇降ステージ５を任意の位置
に昇降駆動できるように構成されている。６ａは昇降軸
６の周囲をロードロック室１内とのシールを確保して取
り囲む蛇腹管、７ａはガイドシャフト７の周囲をロード
ロック室１内とのシールを確保して取り囲むシール筒で
ある。
カセット４を上下させるためのカセット昇降ステージ５
が設けられている。カセット昇降ステージ５は、ロード
ロック室１の底壁を貫通して昇降可能な昇降軸６の上端
に固定されるとともに、ガイドシャフト７にて昇降可能
に支持されている。昇降軸６の下端は、ボールネジ１０
に螺合するナット部材９を固定された昇降部材８に固定
され、ボールネジ１０をパルスモータ１１にて回転駆動
することにより、カセット昇降ステージ５を任意の位置
に昇降駆動できるように構成されている。６ａは昇降軸
６の周囲をロードロック室１内とのシールを確保して取
り囲む蛇腹管、７ａはガイドシャフト７の周囲をロード
ロック室１内とのシールを確保して取り囲むシール筒で
ある。
【００１４】カセット昇降ステージ５上には、カセット
旋回ステージ１２が設置されてその上に基板カセット４
を載置するように構成されている。また、カセット旋回
ステージ１２をカセット昇降ステージ５に固定するため
のストッパ１３がカセット昇降ステージ５に配設されて
いる。ストッパ１３は、その突起部がカセット旋回ステ
ージ１２に形成された係合溝１４に嵌入係合するように
引張ばね（図示せず）にて付勢されており、カセット旋
回ステージ１２が任意の上下位置で回転しないように構
成されている。ただし、図示の如くカセット昇降ステー
ジ５がロードロック室１の底部の原点位置に来ると、ス
トッパ１３がロードロック室１内の下面に取付けられた
カムフォロア等からなる解除手段１５に係合してその突
起部がカセット旋回ステージ１２の係合溝１４から離脱
し、カセット旋回ステージ１２が旋回可能となるように
構成されている。
旋回ステージ１２が設置されてその上に基板カセット４
を載置するように構成されている。また、カセット旋回
ステージ１２をカセット昇降ステージ５に固定するため
のストッパ１３がカセット昇降ステージ５に配設されて
いる。ストッパ１３は、その突起部がカセット旋回ステ
ージ１２に形成された係合溝１４に嵌入係合するように
引張ばね（図示せず）にて付勢されており、カセット旋
回ステージ１２が任意の上下位置で回転しないように構
成されている。ただし、図示の如くカセット昇降ステー
ジ５がロードロック室１の底部の原点位置に来ると、ス
トッパ１３がロードロック室１内の下面に取付けられた
カムフォロア等からなる解除手段１５に係合してその突
起部がカセット旋回ステージ１２の係合溝１４から離脱
し、カセット旋回ステージ１２が旋回可能となるように
構成されている。
【００１５】また、カセット旋回ステージ１２を旋回さ
せるために、その外周に扇形又は円形の従動側マグネッ
ト１６が取付けられ、ロードロック室１の壁面を挟んだ
外側に円形の駆動側マグネット１７が配設されている。
これら従動側マグネット１６及び駆動側マグネット１７
は、その外周に互いに逆極性の磁極が交互に形成されて
おり、駆動側マグネット１７をその軸芯回りに回転させ
ることにより、従動側マグネット１６が移動してカセッ
ト旋回ステージ１２が旋回するように構成されている。
駆動側マグネット１７はロータリアクチュエータ１９に
て歯車列１８を介して回転駆動される。
せるために、その外周に扇形又は円形の従動側マグネッ
ト１６が取付けられ、ロードロック室１の壁面を挟んだ
外側に円形の駆動側マグネット１７が配設されている。
これら従動側マグネット１６及び駆動側マグネット１７
は、その外周に互いに逆極性の磁極が交互に形成されて
おり、駆動側マグネット１７をその軸芯回りに回転させ
ることにより、従動側マグネット１６が移動してカセッ
ト旋回ステージ１２が旋回するように構成されている。
駆動側マグネット１７はロータリアクチュエータ１９に
て歯車列１８を介して回転駆動される。
【００１６】以上のような構成において、カセット旋回
ステージ１２が図１に示すように基板カセット４の交換
位置にあるとき、ロードロック室１に対して外部から出
入口１ａを通して基板カセット４の挿入、取り出しを行
う。その後、カセット昇降ステージ５を原点位置に下降
させて、カセット旋回ステージ１２をカセット昇降ステ
ージ５に固定するストッパ１３を解除し、ロードロック
室１外の駆動側マグネット１７をロータリアクチュエー
タ１９にて回転させることにより、従動側マグネット１
６が取付けられているカセット旋回ステージ１２とその
上の基板カセット４を所望の角度だけ旋回させ、搬送室
２の搬送アーム３にて基板カセット４に対して基板の取
り出し、収納ができる姿勢とする。
ステージ１２が図１に示すように基板カセット４の交換
位置にあるとき、ロードロック室１に対して外部から出
入口１ａを通して基板カセット４の挿入、取り出しを行
う。その後、カセット昇降ステージ５を原点位置に下降
させて、カセット旋回ステージ１２をカセット昇降ステ
ージ５に固定するストッパ１３を解除し、ロードロック
室１外の駆動側マグネット１７をロータリアクチュエー
タ１９にて回転させることにより、従動側マグネット１
６が取付けられているカセット旋回ステージ１２とその
上の基板カセット４を所望の角度だけ旋回させ、搬送室
２の搬送アーム３にて基板カセット４に対して基板の取
り出し、収納ができる姿勢とする。
【００１７】このようにカセット旋回ステージ１２を、
ロードロック室１外の駆動側マグネット１７とロードロ
ック室１内の従動側マグネット１６から成る磁気カップ
リングにて非接触で旋回駆動するので、ロードロック室
１外に配設された駆動手段にて低発塵にてカセット旋回
ステージ１２を任意の角度旋回させることができ、また
駆動手段がロードロック室１の壁面を貫通しないので、
無摺動シールとなってリークに対して高い信頼性が確保
される。
ロードロック室１外の駆動側マグネット１７とロードロ
ック室１内の従動側マグネット１６から成る磁気カップ
リングにて非接触で旋回駆動するので、ロードロック室
１外に配設された駆動手段にて低発塵にてカセット旋回
ステージ１２を任意の角度旋回させることができ、また
駆動手段がロードロック室１の壁面を貫通しないので、
無摺動シールとなってリークに対して高い信頼性が確保
される。
【００１８】その後、カセット昇降ステージ５をパルス
モータ１１にて原点位置より上昇させてカセット旋回ス
テージ１２をカセット昇降ステージ５にストッパ１３に
て固定し、その状態でさらにカセット昇降ステージ５を
昇降させて基板カセット４内の任意の基板を搬送室２の
搬送アーム３による搬送高さに位置決めし、搬送アーム
３にて基板カセット４から基板を取り出して搬送し、ま
た基板を基板カセット４内に収納する。
モータ１１にて原点位置より上昇させてカセット旋回ス
テージ１２をカセット昇降ステージ５にストッパ１３に
て固定し、その状態でさらにカセット昇降ステージ５を
昇降させて基板カセット４内の任意の基板を搬送室２の
搬送アーム３による搬送高さに位置決めし、搬送アーム
３にて基板カセット４から基板を取り出して搬送し、ま
た基板を基板カセット４内に収納する。
【００１９】
【発明の効果】本発明の基板搬送方法によれば、以上の
ようにロードロック室内に配置したカセット旋回ステー
ジ上に基板カセットを搬入搬出する工程と、ロードロッ
ク室外に配置した磁石の移動に連動してカセット旋回ス
テージを旋回させて基板カセットを所定の出入口に向け
る工程とを有するので、カセット旋回ステージをロード
ロック室外の駆動手段にて非接触で旋回駆動でき、した
がって低発塵にてカセット旋回ステージを任意の角度旋
回させることができ、また駆動手段がロードロック室の
壁面を貫通しないので、無摺動シールとなってリークに
対して高い信頼性を確保できる。
ようにロードロック室内に配置したカセット旋回ステー
ジ上に基板カセットを搬入搬出する工程と、ロードロッ
ク室外に配置した磁石の移動に連動してカセット旋回ス
テージを旋回させて基板カセットを所定の出入口に向け
る工程とを有するので、カセット旋回ステージをロード
ロック室外の駆動手段にて非接触で旋回駆動でき、した
がって低発塵にてカセット旋回ステージを任意の角度旋
回させることができ、また駆動手段がロードロック室の
壁面を貫通しないので、無摺動シールとなってリークに
対して高い信頼性を確保できる。
【００２０】また、本発明の基板搬送装置によれば、ロ
ードロック室内に基板カセットを載置するカセット旋回
ステージを設け、カセット旋回ステージに従動側マグネ
ットを取付け、ロードロック室外に駆動側マグネットと
その移動手段を配設したので、上記のように非接触にて
カセット旋回ステージを任意の角度旋回させることがで
き、低発塵を実現できるとともにリークに対して高い信
頼性を確保できる。
ードロック室内に基板カセットを載置するカセット旋回
ステージを設け、カセット旋回ステージに従動側マグネ
ットを取付け、ロードロック室外に駆動側マグネットと
その移動手段を配設したので、上記のように非接触にて
カセット旋回ステージを任意の角度旋回させることがで
き、低発塵を実現できるとともにリークに対して高い信
頼性を確保できる。
【００２１】また、従動側マグネット及び駆動側マグネ
ットは、互いに逆極性の磁極が交互に形成された扇形又
は円形のマグネットから成り、かつ駆動側マグネットの
移動手段は回転手段から成ると、駆動側マグネットを回
転する簡単な構成にてカセット旋回ステージを任意の角
度旋回させることができる。
ットは、互いに逆極性の磁極が交互に形成された扇形又
は円形のマグネットから成り、かつ駆動側マグネットの
移動手段は回転手段から成ると、駆動側マグネットを回
転する簡単な構成にてカセット旋回ステージを任意の角
度旋回させることができる。
【００２２】また、ロードロック室内にカセット昇降ス
テージを配設してその上にカセット旋回ステージを旋回
可能に配置し、カセット昇降ステージにカセット旋回ス
テージに形成された係合溝に嵌入係合してその旋回を阻
止するストッパを設け、かつカセット昇降ステージが原
点位置に下降したときストッパを解除する手段を設ける
と、カセット昇降ステージを原点位置に位置させてカセ
ット旋回ステージを任意の角度旋回させ、その後カセッ
ト昇降ステージを上昇させることで不測に基板カセット
の向きが変わるのを防止でき、基板の円滑な搬送を確保
できる。
テージを配設してその上にカセット旋回ステージを旋回
可能に配置し、カセット昇降ステージにカセット旋回ス
テージに形成された係合溝に嵌入係合してその旋回を阻
止するストッパを設け、かつカセット昇降ステージが原
点位置に下降したときストッパを解除する手段を設ける
と、カセット昇降ステージを原点位置に位置させてカセ
ット旋回ステージを任意の角度旋回させ、その後カセッ
ト昇降ステージを上昇させることで不測に基板カセット
の向きが変わるのを防止でき、基板の円滑な搬送を確保
できる。
【図１】本発明の基板搬送装置の一実施形態の全体概略
構成を示す平面図である。
構成を示す平面図である。
【図２】同実施形態におけるロードロック室の平面図で
ある。
ある。
【図３】同実施形態におけるロードロック室の縦断面図
である。
である。
１ ロードロック室 １ａ、１ｂ 出入口 ４ 基板カセット ５ カセット昇降ステージ １２ カセット旋回ステージ １３ ストッパ １４ 係合溝 １５ 解除手段 １６ 従動側マグネット １７ 駆動側マグネット １９ ロータリアクチュエータ
フロントページの続き (72)発明者 松田 出 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 福井 祥二 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 4K029 KA02 KA09 5F031 BB05 CC04 CC07 CC63 EE03 JJ01 LL05
Claims (4)
- 【請求項１】 中心を通る一直線に対して２つの出入口
が任意の角度をもって形成されているロードロック室を
通す基板の搬送方法であって、ロードロック室内に配置
したカセット旋回ステージ上に基板カセットを搬入搬出
する工程と、ロードロック室外に配置した駆動手段にて
磁気カップリングを介してカセット旋回ステージを旋回
させて基板カセットを所定の出入口に向ける工程とを有
することを特徴とする基板搬送方法。 - 【請求項２】 中心を通る一直線に対して２つの出入口
が任意の角度をもって形成されているロードロック室を
通して基板を搬送する基板搬送装置であって、ロードロ
ック室内に基板カセットを載置するカセット旋回ステー
ジを設け、カセット旋回ステージに従動側マグネットを
取付け、ロードロック室外に駆動側マグネットとその移
動手段を配設したことを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項３】 従動側マグネット及び駆動側マグネット
は、互いに逆極性の磁極が交互に形成された扇形又は円
形のマグネットから成り、かつ駆動側マグネットの移動
手段は回転手段から成ることを特徴とする請求項２記載
の基板搬送装置。 - 【請求項４】 ロードロック室内にカセット昇降ステー
ジを配設してその上にカセット旋回ステージを旋回可能
に配置し、カセット昇降ステージにカセット旋回ステー
ジに形成された係合溝に嵌入係合してその旋回を阻止す
るストッパを設け、かつカセット昇降ステージが原点位
置に下降したときストッパを解除する手段を設けたこと
を特徴とする請求項２記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22379298A JP4056141B2 (ja) | 1998-08-07 | 1998-08-07 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22379298A JP4056141B2 (ja) | 1998-08-07 | 1998-08-07 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000058616A true JP2000058616A (ja) | 2000-02-25 |
| JP4056141B2 JP4056141B2 (ja) | 2008-03-05 |
Family
ID=16803797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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| JP2014146825A (ja) * | 2006-05-11 | 2014-08-14 | Brooks Automation Inc | 低減容量キャリア、搬送機、積載ポート、緩衝装置システム |
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| JP2017041523A (ja) * | 2015-08-19 | 2017-02-23 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板処理装置、および基板処理方法 |
| CN114753000A (zh) * | 2022-04-15 | 2022-07-15 | 季华实验室 | 一种外延炉的衬底装载装置及上下料系统 |
-
1998
- 1998-08-07 JP JP22379298A patent/JP4056141B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| US10679882B2 (en) | 2005-11-07 | 2020-06-09 | Brooks Automation, Inc | Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system |
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