JP2000058406A - 板状体の温度測定装置及び板状体の凹部形成方法 - Google Patents
板状体の温度測定装置及び板状体の凹部形成方法Info
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- JP2000058406A JP2000058406A JP10220049A JP22004998A JP2000058406A JP 2000058406 A JP2000058406 A JP 2000058406A JP 10220049 A JP10220049 A JP 10220049A JP 22004998 A JP22004998 A JP 22004998A JP 2000058406 A JP2000058406 A JP 2000058406A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエハー等の板状体の凹部から熱電対の温度
検出部が接着材料と共に抜けてしまうことを阻止できる
ことは勿論のこと、板状体の凹部に対して熱電対の温度
検出部が接着材料と共に回転してしまうことを阻止する
ことができる板状体の温度測定装置を提供する点にあ
る。 【解決手段】 板状体２に熱電対の温度検出部７を埋設
するための凹部３を形成し、この凹部３内に前記熱電対
の温度検出部７を挿入した状態で接着材料６を充填し、
固化してなる板状体の温度測定装置において、前記凹部
３の側面の一箇所又は複数箇所に、該凹部３の上端開口
部における口縁１０Ａよりも外方側に突出する凹入部１
１を形成したことを特徴としている。
検出部が接着材料と共に抜けてしまうことを阻止できる
ことは勿論のこと、板状体の凹部に対して熱電対の温度
検出部が接着材料と共に回転してしまうことを阻止する
ことができる板状体の温度測定装置を提供する点にあ
る。 【解決手段】 板状体２に熱電対の温度検出部７を埋設
するための凹部３を形成し、この凹部３内に前記熱電対
の温度検出部７を挿入した状態で接着材料６を充填し、
固化してなる板状体の温度測定装置において、前記凹部
３の側面の一箇所又は複数箇所に、該凹部３の上端開口
部における口縁１０Ａよりも外方側に突出する凹入部１
１を形成したことを特徴としている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウエハー
等の板状体に熱電対の温度検出部を埋設するための凹部
を形成し、この凹部内に前記熱電対の温度検出部を挿入
した状態で接着材料を充填し、固化してなる板状体の温
度測定装置及び板状体の凹部形成方法に関する。
等の板状体に熱電対の温度検出部を埋設するための凹部
を形成し、この凹部内に前記熱電対の温度検出部を挿入
した状態で接着材料を充填し、固化してなる板状体の温
度測定装置及び板状体の凹部形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、上記シリコンウエハーへ伝達さ
れる温度を接着材料を介して熱電対の温度検出部により
検出して、ウエハーの昇温熱処理時の温度確認や薄膜生
成（製膜）時の温度確認等を行うようにしている。そし
て、従来、図９に示すように、熱電対の素線２０，２１
の先端部に備える温度検出部としての温接点２２を埋設
するための凹部２３をウエハー（板状体）２５に形成
し、この凹部２３を、ウエハー（板状体）２５の表面と
平行な底面２３Ｃと、上端開口部の口縁２３Ａから底面
２３Ｃまでに向かう垂直方向に沿う側面２３Ｂとを有す
る断面形状矩形状に形成していた。
れる温度を接着材料を介して熱電対の温度検出部により
検出して、ウエハーの昇温熱処理時の温度確認や薄膜生
成（製膜）時の温度確認等を行うようにしている。そし
て、従来、図９に示すように、熱電対の素線２０，２１
の先端部に備える温度検出部としての温接点２２を埋設
するための凹部２３をウエハー（板状体）２５に形成
し、この凹部２３を、ウエハー（板状体）２５の表面と
平行な底面２３Ｃと、上端開口部の口縁２３Ａから底面
２３Ｃまでに向かう垂直方向に沿う側面２３Ｂとを有す
る断面形状矩形状に形成していた。
【０００３】上記凹部２３内に熱電対の温接点２２を挿
入した後、セラミックセメント等の接着材料２４により
固定して温度検出を行うのであるが、特に検出温度が高
い場合に繰り返し使用していると、固化した接着材料２
４とウエハー２５の熱膨張率の違い等により、接着材料
２４とウエハー２５とが一部分において剥がれてしま
い、その状態で他の場所へ熱電対を備えたウエハー２５
を移動する場合等において、ウエハー２５の凹部２３か
ら熱電対の温接点２２が接着材料２４と共に抜けてしま
う不都合が発生していた。又、組立時における温接点２
２の取り付け位置の差異により、温度測定精度にバラツ
キが発生していた。
入した後、セラミックセメント等の接着材料２４により
固定して温度検出を行うのであるが、特に検出温度が高
い場合に繰り返し使用していると、固化した接着材料２
４とウエハー２５の熱膨張率の違い等により、接着材料
２４とウエハー２５とが一部分において剥がれてしま
い、その状態で他の場所へ熱電対を備えたウエハー２５
を移動する場合等において、ウエハー２５の凹部２３か
ら熱電対の温接点２２が接着材料２４と共に抜けてしま
う不都合が発生していた。又、組立時における温接点２
２の取り付け位置の差異により、温度測定精度にバラツ
キが発生していた。
【０００４】上記不都合を解消するものとして、図８に
示すものが提案されている。つまり、前記ウエハー２５
の凹部２３を、それの上端開口部における口縁２３Ａか
ら下方に向かって形成される側面２３Ｂの下部に口縁２
３Ａよりも外方に突出する環状の突出溝部２３Ｔを有す
る断面形状逆Ｔ字状に形成している。従って、繰り返し
使用中に接着材料２４とウエハー２５との間に隙間が発
生しても、ウエハー２５の凹部２３から熱電対の温接点
２２が接着材料２４と共に抜けてしまうことを阻止する
ことができるとともに、温度測定精度のバラツキを改善
している。しかしながら、上記２つの場合のいずれにお
いても、繰り返し使用中に接着材料２４とウエハー２５
との間に隙間が発生すると、凹部２３に対して熱電対の
温接点２２が接着材料２４と共に回転してしまい、接着
材料２４から引き出された付近での熱電対の素線２０，
２１が断線することがあった。
示すものが提案されている。つまり、前記ウエハー２５
の凹部２３を、それの上端開口部における口縁２３Ａか
ら下方に向かって形成される側面２３Ｂの下部に口縁２
３Ａよりも外方に突出する環状の突出溝部２３Ｔを有す
る断面形状逆Ｔ字状に形成している。従って、繰り返し
使用中に接着材料２４とウエハー２５との間に隙間が発
生しても、ウエハー２５の凹部２３から熱電対の温接点
２２が接着材料２４と共に抜けてしまうことを阻止する
ことができるとともに、温度測定精度のバラツキを改善
している。しかしながら、上記２つの場合のいずれにお
いても、繰り返し使用中に接着材料２４とウエハー２５
との間に隙間が発生すると、凹部２３に対して熱電対の
温接点２２が接着材料２４と共に回転してしまい、接着
材料２４から引き出された付近での熱電対の素線２０，
２１が断線することがあった。
【０００５】因みに、接着材料２４に熱膨張率が前記ウ
エハー２５と同一又はほぼ同一のものを用いることが考
えられるが、ウエハーの昇温熱処理時にウエハーの厚み
方向に大きな温度勾配がかかるような場合には、ウエハ
ー２５に伝達された温度がウエハー２５の部位によって
異なることから、ウエハー２５に伝達された温度とウエ
ハー２５から伝達された接着材料２４の温度とでは異な
り、実際には熱膨張率が同一又はほぼ同一のものを用い
たとしても、繰り返し使用中に両者間に隙間が発生し、
上記のように凹部２３に対して熱電対の温接点２２が接
着材料２４と共に上下軸芯周りで回転してしまうことを
完全に解消することができないものであった。
エハー２５と同一又はほぼ同一のものを用いることが考
えられるが、ウエハーの昇温熱処理時にウエハーの厚み
方向に大きな温度勾配がかかるような場合には、ウエハ
ー２５に伝達された温度がウエハー２５の部位によって
異なることから、ウエハー２５に伝達された温度とウエ
ハー２５から伝達された接着材料２４の温度とでは異な
り、実際には熱膨張率が同一又はほぼ同一のものを用い
たとしても、繰り返し使用中に両者間に隙間が発生し、
上記のように凹部２３に対して熱電対の温接点２２が接
着材料２４と共に上下軸芯周りで回転してしまうことを
完全に解消することができないものであった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明が前述の状況に
鑑み、解決しようとするところは、ウエハー等の板状体
の凹部から熱電対の温度検出部が接着材料と共に抜けて
しまうことを阻止できることは勿論のこと、板状体の凹
部に対して熱電対の温度検出部が接着材料と共に回転し
てしまうことを阻止することができ、しかも検出温度精
度を向上させることができる板状体の温度測定装置を提
供する点にある。
鑑み、解決しようとするところは、ウエハー等の板状体
の凹部から熱電対の温度検出部が接着材料と共に抜けて
しまうことを阻止できることは勿論のこと、板状体の凹
部に対して熱電対の温度検出部が接着材料と共に回転し
てしまうことを阻止することができ、しかも検出温度精
度を向上させることができる板状体の温度測定装置を提
供する点にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、前述の課題解
決のために、板状体に熱電対の温度検出部を埋設するた
めの凹部を形成し、この凹部内に前記熱電対の温度検出
部を挿入した状態で接着材料を充填し、固化してなる板
状体の温度測定装置において、前記凹部の側面の一箇所
又は複数箇所に、該凹部の上端開口部における口縁より
も外方側に突出する凹入部を形成したことを特徴として
いる。従って、板状体の凹部内に熱電対の温度検出部を
挿入し、接着材料を凹部内に充填すると、凹入部内へも
接着材料が充填され、この凹入部内に充填して固化され
た接着材料が、板状体の凹部からの接着材料の抜け出し
を阻止することができるとともに、板状体の凹部に対し
て接着材料が回転することを確実に阻止することができ
る。前記凹入部は、凹部の側面の複数箇所に設ける方が
より効果的であるが、一箇所設けた場合でも目的を十分
達成することができる。
決のために、板状体に熱電対の温度検出部を埋設するた
めの凹部を形成し、この凹部内に前記熱電対の温度検出
部を挿入した状態で接着材料を充填し、固化してなる板
状体の温度測定装置において、前記凹部の側面の一箇所
又は複数箇所に、該凹部の上端開口部における口縁より
も外方側に突出する凹入部を形成したことを特徴として
いる。従って、板状体の凹部内に熱電対の温度検出部を
挿入し、接着材料を凹部内に充填すると、凹入部内へも
接着材料が充填され、この凹入部内に充填して固化され
た接着材料が、板状体の凹部からの接着材料の抜け出し
を阻止することができるとともに、板状体の凹部に対し
て接着材料が回転することを確実に阻止することができ
る。前記凹入部は、凹部の側面の複数箇所に設ける方が
より効果的であるが、一箇所設けた場合でも目的を十分
達成することができる。
【０００８】前記接着材料として板状体と同一又はほぼ
同一の熱膨張率を有する材料を用いることによって、大
きな熱膨張が発生した場合でも、熱膨張率の異なる材料
を用いた場合に比べて、凹部と接着材料との隙間を少な
くすることができるから、板状体に伝達された温度と板
状体から接着材料に伝達される温度との間の誤差を小さ
くすることができる。
同一の熱膨張率を有する材料を用いることによって、大
きな熱膨張が発生した場合でも、熱膨張率の異なる材料
を用いた場合に比べて、凹部と接着材料との隙間を少な
くすることができるから、板状体に伝達された温度と板
状体から接着材料に伝達される温度との間の誤差を小さ
くすることができる。
【０００９】前記凹入部の底部が前記凹部の底面よりも
下方に位置するように該凹入部を形成し、この凹入部に
前記熱電対の温度検出部を配置することによって、図７
に示すように、凹部内における配線路長Ｌを長くするこ
とができ、測定精度を向上させることができる。又、凹
入部に熱電対の温度検出部を位置決めすることができる
から、熱電対の温度検出部が不測に移動することを阻止
することができ、移動した温度検出部を再度位置決めす
ることが不要になる。
下方に位置するように該凹入部を形成し、この凹入部に
前記熱電対の温度検出部を配置することによって、図７
に示すように、凹部内における配線路長Ｌを長くするこ
とができ、測定精度を向上させることができる。又、凹
入部に熱電対の温度検出部を位置決めすることができる
から、熱電対の温度検出部が不測に移動することを阻止
することができ、移動した温度検出部を再度位置決めす
ることが不要になる。
【００１０】板状体の表面に対して垂直となる方向から
切削加工する第１切削工程と、この第１切削工程終了
後、前記板状体の表面に対する垂直線に対して設定角度
傾斜した方向から切削加工する第２切削工程とから該板
状体に熱電対の温度検出部を埋設するための凹部を形成
することによって、凹部の上端開口部における口縁より
も外方側に突出する凹入部を備える複雑な形状の凹部
を、切削機の切削刃の先端の位置を制御しながら一挙に
切削加工する場合に比べて、所望の凹部を容易迅速に切
削加工することができる。
切削加工する第１切削工程と、この第１切削工程終了
後、前記板状体の表面に対する垂直線に対して設定角度
傾斜した方向から切削加工する第２切削工程とから該板
状体に熱電対の温度検出部を埋設するための凹部を形成
することによって、凹部の上端開口部における口縁より
も外方側に突出する凹入部を備える複雑な形状の凹部
を、切削機の切削刃の先端の位置を制御しながら一挙に
切削加工する場合に比べて、所望の凹部を容易迅速に切
削加工することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１（イ），（ロ）に、温度測定
装置１を示している。この温度測定装置１は、シリコン
や透明又は不透明な石英からなるウエハー（板状体）２
の厚み方向一側面に凹部３を形成し、この凹部３内に温
度測定用の熱電対を構成する２種の素線４，５の先端部
を挿入した状態で接着材料６を充填することによりウエ
ハー２へ熱電対を装着できるようにしたものである。前
記素線４，５の先端部に温度検出部である温接点７を備
えている。この実施例では、素線４，５を直接ウエハー
２に取り付けるようにしている。図には表していない
が、ウエハー２の凹部３内に挿入され、ウエハー２に接
触する恐れのある熱電対の素線４，５及び温接点７の表
面には、接着材料６と同等材料で絶縁コーティングし、
シリコン等からなるウエハー２から保護するようにして
いる。又、図３に示すように、保護外被としてのシース
８の内部に絶縁粉末としてマグネシア（ＭｇＯ）９を充
填し、そのマグネシア（ＭｇＯ）９内に素線４，５を配
設して構成された熱電対をウエハー２に取り付ける（埋
設する）ようにしてもよい。
装置１を示している。この温度測定装置１は、シリコン
や透明又は不透明な石英からなるウエハー（板状体）２
の厚み方向一側面に凹部３を形成し、この凹部３内に温
度測定用の熱電対を構成する２種の素線４，５の先端部
を挿入した状態で接着材料６を充填することによりウエ
ハー２へ熱電対を装着できるようにしたものである。前
記素線４，５の先端部に温度検出部である温接点７を備
えている。この実施例では、素線４，５を直接ウエハー
２に取り付けるようにしている。図には表していない
が、ウエハー２の凹部３内に挿入され、ウエハー２に接
触する恐れのある熱電対の素線４，５及び温接点７の表
面には、接着材料６と同等材料で絶縁コーティングし、
シリコン等からなるウエハー２から保護するようにして
いる。又、図３に示すように、保護外被としてのシース
８の内部に絶縁粉末としてマグネシア（ＭｇＯ）９を充
填し、そのマグネシア（ＭｇＯ）９内に素線４，５を配
設して構成された熱電対をウエハー２に取り付ける（埋
設する）ようにしてもよい。
【００１２】前記凹部３は、図１（イ），（ロ）に示す
ような形状に構成することによって、凹部３から温接点
７が接着材料６と共に抜けてしまうこと及び凹部３に対
して温接点７が接着材料６と共に回転してしまうことを
阻止することができるようにしている。つまり、図２
（イ）に示すように、まずウエハー２の表面と垂直とな
る方向ａから切削加工することにより、図１（ロ）に示
すように平面視において円形で、図２（イ）に示すよう
に縦断面視において矩形状となる第１の凹部１０を形成
する（第１切削工程）。前記第１の凹部１０は、円形以
外の楕円形、正方形、長方形、三角形、菱形、台形等ど
のような形状にしてもよい。次に、図２（ロ）に示すよ
うに、前記方向ａから設定角度（図では４５°）傾斜し
た方向ｂから前記凹部１０の側面を切削加工することに
より、前記第１の凹部１０の上端開口部における口縁１
０Ａよりも外方側に突出する第２の凹部としての凹入部
１１の１個を形成（第２切削工程）して、前記凹部３を
形成するようにしている。前記凹入部１１は、前記凹部
１０の上下方向において口縁１０Ａから凹部１０の底面
に渡る範囲で、かつ、凹部１０の側面の周方向一箇所に
形成したものであるが、凹入部１１としては、１個形成
する他、２個以上形成して実施してもよいし、又、凹入
部１１としては、例えば図５（イ），（ロ）や図６
（イ），（ロ）に示すように構成してもよく、凹入部１
１の形状及び大きさはどのように設定してもよい。つま
り、図５（イ），（ロ）では、口縁１０Ａ方向に長く、
かつ、凹入部１１の形成角度を図２（ロ）に示した４５
°よりも大きな角度で形成し、更に図２（ロ）に示すよ
うに、鋭角な角部を有することのない緩やかな角部に形
成された４個の凹入部１１を形成している。又、図６
（イ），（ロ）では、図５（イ），（ロ）よりも小さな
凹入部１１で、かつ、第１の凹部１０の底面の一部を切
削し、更に図５（イ），（ロ）と同様に鋭角な角部を有
することのない緩やかな角部に形成された４個の凹入部
１１を形成している。前記凹入部１１を形成するときの
角度を図２（ロ）では４５°に設定したが、この４５°
に限定されるものではなく、切削可能な範囲であればど
のような角度に設定してもよいが、５°乃至９０°が望
ましい。尚、角度が大きいほど切削し難いものの、凹部
３から温接点７が接着材料６と共に抜けてしまう抜け止
め効果が大きいものになる。
ような形状に構成することによって、凹部３から温接点
７が接着材料６と共に抜けてしまうこと及び凹部３に対
して温接点７が接着材料６と共に回転してしまうことを
阻止することができるようにしている。つまり、図２
（イ）に示すように、まずウエハー２の表面と垂直とな
る方向ａから切削加工することにより、図１（ロ）に示
すように平面視において円形で、図２（イ）に示すよう
に縦断面視において矩形状となる第１の凹部１０を形成
する（第１切削工程）。前記第１の凹部１０は、円形以
外の楕円形、正方形、長方形、三角形、菱形、台形等ど
のような形状にしてもよい。次に、図２（ロ）に示すよ
うに、前記方向ａから設定角度（図では４５°）傾斜し
た方向ｂから前記凹部１０の側面を切削加工することに
より、前記第１の凹部１０の上端開口部における口縁１
０Ａよりも外方側に突出する第２の凹部としての凹入部
１１の１個を形成（第２切削工程）して、前記凹部３を
形成するようにしている。前記凹入部１１は、前記凹部
１０の上下方向において口縁１０Ａから凹部１０の底面
に渡る範囲で、かつ、凹部１０の側面の周方向一箇所に
形成したものであるが、凹入部１１としては、１個形成
する他、２個以上形成して実施してもよいし、又、凹入
部１１としては、例えば図５（イ），（ロ）や図６
（イ），（ロ）に示すように構成してもよく、凹入部１
１の形状及び大きさはどのように設定してもよい。つま
り、図５（イ），（ロ）では、口縁１０Ａ方向に長く、
かつ、凹入部１１の形成角度を図２（ロ）に示した４５
°よりも大きな角度で形成し、更に図２（ロ）に示すよ
うに、鋭角な角部を有することのない緩やかな角部に形
成された４個の凹入部１１を形成している。又、図６
（イ），（ロ）では、図５（イ），（ロ）よりも小さな
凹入部１１で、かつ、第１の凹部１０の底面の一部を切
削し、更に図５（イ），（ロ）と同様に鋭角な角部を有
することのない緩やかな角部に形成された４個の凹入部
１１を形成している。前記凹入部１１を形成するときの
角度を図２（ロ）では４５°に設定したが、この４５°
に限定されるものではなく、切削可能な範囲であればど
のような角度に設定してもよいが、５°乃至９０°が望
ましい。尚、角度が大きいほど切削し難いものの、凹部
３から温接点７が接着材料６と共に抜けてしまう抜け止
め効果が大きいものになる。
【００１３】前記接着材料６としては、ウエハー２と同
一又はほぼ同一の熱膨張率を有する材料、例えばシリ
カ、アルミナ等をセラミックセメントに混入して、ウエ
ハー２と同一又はほぼ同一の熱膨張率を有するようにし
てもよいし、ガラス材料又は有機系樹脂を母材としてシ
リカ、アルミナ等を混入してもよい。
一又はほぼ同一の熱膨張率を有する材料、例えばシリ
カ、アルミナ等をセラミックセメントに混入して、ウエ
ハー２と同一又はほぼ同一の熱膨張率を有するようにし
てもよいし、ガラス材料又は有機系樹脂を母材としてシ
リカ、アルミナ等を混入してもよい。
【００１４】前記実施例では、温接点７から延びる素線
４，５を、温接点７に対して上方に立ち上げた状態で凹
部３に接着材料６を介して固定したが、図４に示すよう
に、温接点７から延びる素線４，５を凹部３の底面１０
Ｂに沿わせた後、一旦温接点７側におり返し、この後上
方に立ち上げるようにすることによって、温度検出値の
精度をより向上させることができるようにしてもよい。
４，５を、温接点７に対して上方に立ち上げた状態で凹
部３に接着材料６を介して固定したが、図４に示すよう
に、温接点７から延びる素線４，５を凹部３の底面１０
Ｂに沿わせた後、一旦温接点７側におり返し、この後上
方に立ち上げるようにすることによって、温度検出値の
精度をより向上させることができるようにしてもよい。
【００１５】図７（イ），（ロ）に示すように、前記凹
入部１１に温接点７を配置してもよい。つまり、凹入部
１１の底部１１Ａが凹部の底面１０Ｂよりも下方に落ち
込んだ凹入部１１を形成し、この凹入部１１内に温接点
７を入り込ませることによって、熱電対の配線路長Ｌを
長くすることができるとともに、温接点７が不測に移動
することがないようにしている。図では、凹入部１１の
大きさを温接点７が入り込み容易なように上下方向、左
右方向、前後（奥行き）方向の凹入部１１の大きさを誇
張して表現しているが、温接点７よりも少し大きめに設
定することによって、凹入部１１に対する温接点７の位
置決めをより一層確実に行うことができる。図では、凹
入部１１の底部１１Ａの形状をほぼ三角形状に形成した
が、温接点７が嵌まり込む半円形状でもよく、底部１１
Ａの形状はどのような形状でもよい。又、図では、温接
点７の直径を素線４又は５の直径よりも大きくしたが、
同一程度の大きさでもよい。
入部１１に温接点７を配置してもよい。つまり、凹入部
１１の底部１１Ａが凹部の底面１０Ｂよりも下方に落ち
込んだ凹入部１１を形成し、この凹入部１１内に温接点
７を入り込ませることによって、熱電対の配線路長Ｌを
長くすることができるとともに、温接点７が不測に移動
することがないようにしている。図では、凹入部１１の
大きさを温接点７が入り込み容易なように上下方向、左
右方向、前後（奥行き）方向の凹入部１１の大きさを誇
張して表現しているが、温接点７よりも少し大きめに設
定することによって、凹入部１１に対する温接点７の位
置決めをより一層確実に行うことができる。図では、凹
入部１１の底部１１Ａの形状をほぼ三角形状に形成した
が、温接点７が嵌まり込む半円形状でもよく、底部１１
Ａの形状はどのような形状でもよい。又、図では、温接
点７の直径を素線４又は５の直径よりも大きくしたが、
同一程度の大きさでもよい。
【００１６】
【発明の効果】請求項１によれば、凹部の上端開口部に
おける口縁よりも外方側に突出する凹入部を凹部の側面
の一箇所又は複数箇所に形成するだけで、板状体の凹部
からの接着材料の抜け出しを阻止することができるとと
もに、板状体の凹部に対して接着材料が回転することを
確実に阻止することができ、且つ、熱電対の温度検出部
と一体化する接着材料との接触面積が増し、ウエハーか
ら接着材料への熱伝導が向上することにより、従来のよ
うな断線等のトラブルがなく、検出温度の精度を高める
ことができ、もって、長期間に渡って良好に使用するこ
とができる温度測定装置を提供することができる。
おける口縁よりも外方側に突出する凹入部を凹部の側面
の一箇所又は複数箇所に形成するだけで、板状体の凹部
からの接着材料の抜け出しを阻止することができるとと
もに、板状体の凹部に対して接着材料が回転することを
確実に阻止することができ、且つ、熱電対の温度検出部
と一体化する接着材料との接触面積が増し、ウエハーか
ら接着材料への熱伝導が向上することにより、従来のよ
うな断線等のトラブルがなく、検出温度の精度を高める
ことができ、もって、長期間に渡って良好に使用するこ
とができる温度測定装置を提供することができる。
【００１７】請求項２によれば、接着材料として板状体
と同一又はほぼ同一の熱膨張率を有する材料を用いるこ
とによって、大きな熱膨張が発生した場合でも、熱膨張
率の異なる材料を用いた場合に比べて、凹部と接着材料
との間の隙間を少なくすることができるから、板状体に
伝達された温度と板状体から接着材料に伝達される温度
との間の誤差を小さくすることができ、一層検出温度の
精度を高めることができる。
と同一又はほぼ同一の熱膨張率を有する材料を用いるこ
とによって、大きな熱膨張が発生した場合でも、熱膨張
率の異なる材料を用いた場合に比べて、凹部と接着材料
との間の隙間を少なくすることができるから、板状体に
伝達された温度と板状体から接着材料に伝達される温度
との間の誤差を小さくすることができ、一層検出温度の
精度を高めることができる。
【００１８】請求項３によれば、凹入部の底部が前記凹
部の底面よりも下方に位置するように該凹入部を形成
し、この凹入部に前記熱電対の温度検出部を配置するこ
とによって、凹部内の配線路長を長くして、温度測定装
置としての検出測定精度の向上を図ることができる。
又、凹入部に熱電対の温度検出部を位置決めすることが
できるから、熱電対の温度検出部が不測に移動すること
がなく、熱電対の組付け作業の容易化及び製品の高い完
成度を図ることができる。
部の底面よりも下方に位置するように該凹入部を形成
し、この凹入部に前記熱電対の温度検出部を配置するこ
とによって、凹部内の配線路長を長くして、温度測定装
置としての検出測定精度の向上を図ることができる。
又、凹入部に熱電対の温度検出部を位置決めすることが
できるから、熱電対の温度検出部が不測に移動すること
がなく、熱電対の組付け作業の容易化及び製品の高い完
成度を図ることができる。
【００１９】請求項４によれば、板状体の表面に対して
垂直となる方向から切削加工する第１切削工程と、この
第１切削工程終了後、前記板状体の表面に対する垂直線
に対して設定角度傾斜した方向から切削加工する第２切
削工程とから該板状体に熱電対の温度検出部を挿入する
ための凹部を形成することによって、板状体に対する角
度はそのままで切削される深さのみを考慮するだけで済
むから、図８のような凹部の上端開口部における口縁よ
りも外方側に突出する凹入部を備える複雑な形状の凹部
を、切削機の切削刃の先端の位置を制御しながら一挙に
切削加工する場合に比べて、所望の凹部を容易迅速に切
削加工することができ、大量生産等に特に有利な板状体
の凹部形成方法を提供することができる。
垂直となる方向から切削加工する第１切削工程と、この
第１切削工程終了後、前記板状体の表面に対する垂直線
に対して設定角度傾斜した方向から切削加工する第２切
削工程とから該板状体に熱電対の温度検出部を挿入する
ための凹部を形成することによって、板状体に対する角
度はそのままで切削される深さのみを考慮するだけで済
むから、図８のような凹部の上端開口部における口縁よ
りも外方側に突出する凹入部を備える複雑な形状の凹部
を、切削機の切削刃の先端の位置を制御しながら一挙に
切削加工する場合に比べて、所望の凹部を容易迅速に切
削加工することができ、大量生産等に特に有利な板状体
の凹部形成方法を提供することができる。
【図１】（イ）は温度測定装置の縦断側面図、（ロ）は
温度測定装置の平面図
温度測定装置の平面図
【図２】（イ）は板状体の表面に垂直となる方向から凹
部を切削加工した状態を示す板状体の縦断側面図、
（ロ）は（イ）の状態から板状体の表面に対する垂直線
に対して設定角度傾斜した方向から凹入部を切削加工し
た状態を示す板状体の縦断側面図
部を切削加工した状態を示す板状体の縦断側面図、
（ロ）は（イ）の状態から板状体の表面に対する垂直線
に対して設定角度傾斜した方向から凹入部を切削加工し
た状態を示す板状体の縦断側面図
【図３】熱電対の別の形態を示す縦断側面図
【図４】温度測定装置の別の形態を示す縦断側面図
【図５】（イ）は板状体の表面にほぼ平行となる方向か
ら凹入部を切削加工した板状体の縦断側面図、（ロ）は
（イ）の平面図
ら凹入部を切削加工した板状体の縦断側面図、（ロ）は
（イ）の平面図
【図６】（イ）は別の形態を示す板状体の縦断側面図、
（ロ）は（イ）の平面図
（ロ）は（イ）の平面図
【図７】（イ）は凹入部に温接点を配置した状態を示す
温度測定装置の縦断側面図、（ロ）は（イ）で示した温
度測定装置の平面図
温度測定装置の縦断側面図、（ロ）は（イ）で示した温
度測定装置の平面図
【図８】温度測定装置の従来の形態を示す縦側断面図
【図９】温度測定装置の従来の別形態を示す縦側断面図
１ 温度測定装置 ２ 板状体（ウエ
ハー） ３ 凹部 4,5 素線 ６ 接着材料 ７ 温接点（温度
検出部） ８ シース ９ マグネシア 10 第１の凹部 10A 口縁 10B 底面 11 凹入部 11A 底部 20,21 素線 22 温接点 23 凹部 23A 口縁 23B 側面 23C 底面 23T 突出溝部 24 接着材料 25 板状体（ウエ
ハー） Ｌ 配線路長
ハー） ３ 凹部 4,5 素線 ６ 接着材料 ７ 温接点（温度
検出部） ８ シース ９ マグネシア 10 第１の凹部 10A 口縁 10B 底面 11 凹入部 11A 底部 20,21 素線 22 温接点 23 凹部 23A 口縁 23B 側面 23C 底面 23T 突出溝部 24 接着材料 25 板状体（ウエ
ハー） Ｌ 配線路長
Claims (4)
- 【請求項１】板状体に熱電対の温度検出部を埋設するた
めの凹部を形成し、この凹部内に前記熱電対の温度検出
部を挿入した状態で接着材料を充填し、固化してなる板
状体の温度測定装置において、前記凹部の側面の一箇所
又は複数箇所に、該凹部の上端開口部における口縁より
も外方側に突出する凹入部を形成したことを特徴とする
板状体の温度測定装置。 - 【請求項２】前記接着材料として板状体と同一又はほぼ
同一の熱膨張率を有する材料を用いてなる請求項１記載
の板状体の温度測定装置。 - 【請求項３】前記凹入部の底部が前記凹部の底面よりも
下方に位置するように該凹入部を形成し、この凹入部に
前記熱電対の温度検出部を配置したことを特徴とする請
求項１及び請求項２記載の板状体の温度測定装置。 - 【請求項４】板状体の表面に対して垂直となる方向から
切削加工する第１切削工程と、この第１切削工程終了
後、前記板状体の表面に対する垂直線に対して設定角度
傾斜した方向から切削加工する第２切削工程とから該板
状体に熱電対の温度検出部を埋設するための凹部を形成
したことを特徴とする板状体の凹部形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22004998A JP4062782B2 (ja) | 1998-08-04 | 1998-08-04 | 板状体の温度測定装置及び板状体の凹部形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22004998A JP4062782B2 (ja) | 1998-08-04 | 1998-08-04 | 板状体の温度測定装置及び板状体の凹部形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000058406A true JP2000058406A (ja) | 2000-02-25 |
| JP4062782B2 JP4062782B2 (ja) | 2008-03-19 |
Family
ID=16745133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22004998A Expired - Lifetime JP4062782B2 (ja) | 1998-08-04 | 1998-08-04 | 板状体の温度測定装置及び板状体の凹部形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4062782B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001289715A (ja) * | 2000-04-05 | 2001-10-19 | Yamari Sangyo Kk | 測温基板 |
| JP2003023062A (ja) * | 2001-07-10 | 2003-01-24 | Kyocera Corp | ウエハ載置ステージ及びそれを用いた半導体製造装置 |
| JP2005241628A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-09-08 | Fuji Electric Systems Co Ltd | ドップラー式超音波流速分布計 |
| JP2006138637A (ja) * | 2004-11-10 | 2006-06-01 | Kawaso Electric Industrial Co Ltd | 基板熱処理炉用の測温基板 |
| CN104299925A (zh) * | 2013-07-18 | 2015-01-21 | 技鼎股份有限公司 | 半导体制程温度量测装置 |
| JP2019220595A (ja) * | 2018-06-21 | 2019-12-26 | 日本特殊陶業株式会社 | 保持装置 |
| CN111256857A (zh) * | 2020-02-25 | 2020-06-09 | 上海华力集成电路制造有限公司 | 通过测试bjt发射结电压来监控探针台卡盘温度的方法 |
| CN112212994A (zh) * | 2020-09-25 | 2021-01-12 | 电子科技大学 | 一种等离子体刻蚀晶圆的温度分布检测装置 |
| US11420832B2 (en) | 2016-03-18 | 2022-08-23 | Nitto Denko Corporation | Transport fixing jig |
-
1998
- 1998-08-04 JP JP22004998A patent/JP4062782B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP4683775B2 (ja) * | 2001-07-10 | 2011-05-18 | 京セラ株式会社 | ウエハ載置ステージ及びそれを用いた半導体製造装置 |
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| JP2019220595A (ja) * | 2018-06-21 | 2019-12-26 | 日本特殊陶業株式会社 | 保持装置 |
| JP7182910B2 (ja) | 2018-06-21 | 2022-12-05 | 日本特殊陶業株式会社 | 保持装置 |
| CN111256857A (zh) * | 2020-02-25 | 2020-06-09 | 上海华力集成电路制造有限公司 | 通过测试bjt发射结电压来监控探针台卡盘温度的方法 |
| CN112212994A (zh) * | 2020-09-25 | 2021-01-12 | 电子科技大学 | 一种等离子体刻蚀晶圆的温度分布检测装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4062782B2 (ja) | 2008-03-19 |
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