JP2000052230A5 - - Google Patents
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Description
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明は、プラテン上に貼付された研磨パッド上で複数枚のウェーハを回転させつつ研磨するウェーハ研磨装置に付設され、前記研磨パッドの表面をツルーイングするウェーハ研磨パッドのツルーイング装置であって、ツルーイング砥石部と、前記ツルーイング砥石部を傾動回転自在に支持する砥石部支持機構と、前記ツルーイング砥石部と前記研磨パッドとの当接角度を制御するための当接角度制御手段とを備えることを特徴とする。
本発明によれば、砥石部支持機構によって傾動回転自在に支持されたツルーイング砥石部は、当接角度制御手段によって研磨パッドとの当接角度が平行になるように制御されるため、研磨パッドには局部的な押圧圧力が作用されず、ツルーイングは安定して行われる。
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明は、プラテン上に貼付された研磨パッド上で複数枚のウェーハを回転させつつ研磨するウェーハ研磨装置に付設され、前記研磨パッドの表面をツルーイングするウェーハ研磨パッドのツルーイング装置であって、ツルーイング砥石部と、前記ツルーイング砥石部を傾動回転自在に支持する砥石部支持機構と、前記ツルーイング砥石部と前記研磨パッドとの当接角度を制御するための当接角度制御手段とを備えることを特徴とする。
本発明によれば、砥石部支持機構によって傾動回転自在に支持されたツルーイング砥石部は、当接角度制御手段によって研磨パッドとの当接角度が平行になるように制御されるため、研磨パッドには局部的な押圧圧力が作用されず、ツルーイングは安定して行われる。
また、前記ツルーイング砥石部は、前記研磨パッド表面の円環状をなすウェーハ研磨領域に当接されつつ、自転する研磨パッドとの摩擦によって回転することを特徴とする。
そのため、ツルーイング砥石部は、下方に当接された研磨パッドが自転した際に生じる、該研磨パッド表面との摩擦力によって回転されるようになっており、各種アクチュエータを用いた能動的手段によらないで回転されるようになっている。そのため、仮にツルーイング砥石部と研磨パッドとの当接角度が著しく傾斜している場合でも、研磨パッドは強制的に研磨されないようになっており、研磨パッドの表面は過剰に研磨されないようになっている。
そのため、ツルーイング砥石部は、下方に当接された研磨パッドが自転した際に生じる、該研磨パッド表面との摩擦力によって回転されるようになっており、各種アクチュエータを用いた能動的手段によらないで回転されるようになっている。そのため、仮にツルーイング砥石部と研磨パッドとの当接角度が著しく傾斜している場合でも、研磨パッドは強制的に研磨されないようになっており、研磨パッドの表面は過剰に研磨されないようになっている。
前記当接角度制御手段は、前記当接角度制御手段は、前記ツルーイング砥石部の回転数を検知するための回転数検知手段を備えたことを特徴とする。
前記ツルーイング砥石部が平行に研磨パッドと当接されている場合、ツルーイング砥石部の単位時間当たりの回転数は、研磨パッドの単位時間当たりの回転数と等しくなり、傾斜して当接されている場合はそれぞれの回転数は異なるようになっている。このため、ツルーイング砥石部の単位時間当たりの回転数を前記回転数検知手段によって検知し、この検知したツルーイング砥石部の回転数と、予め分かっている研磨パッドの回転数とを比較して、それぞれの単位時間当たりの回転数が等しくなるように、前記アーム揺動機構を駆動してツルーイング砥石部の角度を調節することにより、ツルーイング砥石部と研磨パッドとは平行に当接されるようになる。
前記ツルーイング砥石部が平行に研磨パッドと当接されている場合、ツルーイング砥石部の単位時間当たりの回転数は、研磨パッドの単位時間当たりの回転数と等しくなり、傾斜して当接されている場合はそれぞれの回転数は異なるようになっている。このため、ツルーイング砥石部の単位時間当たりの回転数を前記回転数検知手段によって検知し、この検知したツルーイング砥石部の回転数と、予め分かっている研磨パッドの回転数とを比較して、それぞれの単位時間当たりの回転数が等しくなるように、前記アーム揺動機構を駆動してツルーイング砥石部の角度を調節することにより、ツルーイング砥石部と研磨パッドとは平行に当接されるようになる。
また、前記当接角度制御手段は、前記砥石部支持機構を介して先端にツルーイング砥石部を連結したアーム部と、前記アーム部を基端部を中心に垂直揺動させるためのアーム揺動機構と、前記回転数検知手段の検知結果に基づきアーム揺動機構に適切な制御力を伝えるための演算部とからなっていることにより、ツルーイング砥石部と研磨パッドとの当接角度が平行になるように安定して制御される。さらに、受動的制御手段である砥石部支持機構に加え、能動的制御手段である前記アーム揺動機構を備えたことにより、制御は安定して行われる。
Claims (4)
- プラテン上に貼付された研磨パッド上で複数枚のウェーハを回転させつつ研磨するウェーハ研磨装置に付設され、前記研磨パッドの表面をツルーイングするウェーハ研磨パッドのツルーイング装置であって、
ツルーイング砥石部と、前記ツルーイング砥石部を傾動回転自在に支持する砥石部支持機構と、前記ツルーイング砥石部と前記研磨パッドとの当接角度を制御するための当接角度制御手段とを備えることを特徴とするウェーハ研磨パッドのツルーイング装置。 - 前記ツルーイング砥石部は、前記研磨パッド表面の円環状をなすウェーハ研磨領域に当接されつつ、自転する研磨パッドとの摩擦によって回転することを特徴とする請求項１記載のウェーハ研磨パッドのツルーイング装置。
- 前記当接角度制御手段は、前記ツルーイング砥石部の回転数を検知するための回転数検知手段を備えたことを特徴とする請求項２に記載のウェーハ研磨パッドのツルーイング装置。
- 前記当接角度制御手段は、前記砥石部支持機構を介して先端にツルーイング砥石部を連結したアーム部と、前記アーム部を基端部を中心に垂直揺動させるためのアーム揺動機構と、前記回転数検知手段の検知結果に基づきアーム揺動機構に適切な制御力を伝えるための演算部とを備えたことを特徴とする請求項３に記載のウェーハ研磨パッドのツルーイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21837198A JP2000052230A (ja) | 1998-07-31 | 1998-07-31 | ウェーハ研磨パッドのツルーイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21837198A JP2000052230A (ja) | 1998-07-31 | 1998-07-31 | ウェーハ研磨パッドのツルーイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000052230A JP2000052230A (ja) | 2000-02-22 |
| JP2000052230A5 true JP2000052230A5 (ja) | 2005-09-29 |
Family
ID=16718857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21837198A Pending JP2000052230A (ja) | 1998-07-31 | 1998-07-31 | ウェーハ研磨パッドのツルーイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000052230A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100462868B1 (ko) * | 2001-06-29 | 2004-12-17 | 삼성전자주식회사 | 반도체 폴리싱 장치의 패드 컨디셔너 |
| JP2003048147A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-18 | Applied Materials Inc | 研磨パッドのコンディショニング装置及びこれを用いた研磨装置 |
| JP6592355B2 (ja) | 2015-01-30 | 2019-10-16 | 株式会社荏原製作所 | 連結機構および基板研磨装置 |
-
1998
- 1998-07-31 JP JP21837198A patent/JP2000052230A/ja active Pending
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