JP2000052230A - ウェーハ研磨パッドのツルーイング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 研磨パッドに対して平行にツルーイング砥石
部を当接し、安定して研磨パッドをツルーイングするこ
とができるウェーハ研磨パッドのツルーイング装置を提
供することを目的としている。 【解決手段】 ツルーイング装置１は、砥粒層２ａを有
するツルーイング砥石部２と、ツルーイング砥石部２を
傾動回転自在に支持する砥石部支持機構５とを備えてお
り、ツルーイング砥石部２は、研磨パッド３１の自転に
よって生じる研磨パッド３１との摩擦によって回転され
る。また、ツルーイング砥石部２と研磨パッド３１との
当接角度は、アーム揺動機構７と回転数検知手段９とを
備えた当接角度制御手段４１によって制御されるように
なっており、研磨パッド３１は安定してツルーイングさ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウェーハ研磨装置
で使用される研磨パッドのツルーイング（形状修正）を
行うための、ウェーハ研磨パッドのツルーイング装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】 一
般に、半導体ウェーハの表面を研磨するウェーハ研磨装
置では、ウェーハを保持するウェーハ研磨ヘッドと研磨
パッドを貼付したプラテンとを対向するように配置さ
せ、ウェーハ研磨面を研磨パッドに押し当てつつ、研磨
砥粒を含むスラリーを供給しながらウェーハ研磨へッド
を研磨パッド上で遊星回転させることにより研磨を行っ
ている。上記研磨パッドとしては、例えば、ポリエステ
ル不織布にポリウレタン樹脂を含浸させたベロタイプパ
ッド、ポリエステル不織布を基材としてその上に発砲ポ
リウレタン層を形成させたスエードタイプパッド、或い
は独立発砲させたポリウレタンシート等が使用されてい
る。

【０００３】ところで、この研磨パッドの表面は極力平
坦であることが望ましいが、実際には製造工程などに起
因する研磨パッド自体の厚さの不均一や、研磨パッドと
プラテンとを貼付する接着層の厚さの不均一などが原因
となって、パッド表面には若干の凹凸が生じている。そ
のため、例えば図１０に示すようなツルーイング装置を
用いて研磨パッドの表面を平坦化させている。

【０００４】図１０において、ツルーイング装置５０
は、円環状の砥石５２と砥石５２を支持する円板状の砥
石支持部５３とからなるツルーイング砥石部５１と、ツ
ルーイング砥石部５１を回転自在に支持する軸５４と、
モータ５５とを備えている。そして、ツルーイング砥石
部５１とモータ５５とは、それぞれのプーリ５１ａ、５
５ａでベルト５６によって連結されており、モータ５５
の駆動によってツルーイング砥石部５１は連動されるよ
うになっている。また、ツルーイング砥石部５１はアー
ム部５７に支持されており、アーム部５７の端部に連結
されたアーム揺動機構５８及びアーム進退機構５９の駆
動によって、プラテン６０に貼付された研磨パッド６１
に対して鉛直及び水平方向に接近・離間するように移動
される。そして、ツルーイング砥石部５１を研磨パッド
６１に押し当てつつ回転させることによって、研磨パッ
ド６１はツルーイング（形状修正）される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このようなツ
ルーイング装置５０では、ツルーイング工程の際に、ツ
ルーイング砥石部５１が研磨パッド６１の表面に傾斜し
た状態で当接されていると、研磨パッド６１の表面に局
部的に押圧圧力が高くなる部分が発生する。このとき、
該部分は必要以上に研磨されてしまい、研磨パッド６１
の表面は平坦化されない場合が生じる。

【０００６】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、研磨パッドに対してツルーイング砥石部を傾
斜させずに当接し、研磨パッドを安定してツルーイング
することができるウェーハ研磨パッドのツルーイング装
置を提供することを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明は、プラテン上に貼付された研磨パッド上で
複数枚のウェーハを回転させつつ研磨するウェーハ研磨
装置に付設され、前記研磨パッドの表面をツルーイング
するウェーハ研磨パッドのツルーイング装置であって、
円環状の砥粒層を有するツルーイング砥石部と、前記ツ
ルーイング砥石部を傾動回転自在に支持する砥石部支持
機構と、先端に前記支持機構を介してツルーイング砥石
部を連結したアーム部と、前記アーム部を水平旋回自在
に支持するアーム支持部と、前記ツルーイング砥石部と
前記研磨パッドとの当接角度を制御するための当接角度
制御手段とを備え、前記ツルーイング砥石部は、前記研
磨パッド表面の円環状をなすウェーハ研磨領域に当接さ
れつつ自転する研磨パッドとの摩擦によって回転するこ
とを特徴とする。

【０００８】本発明によれば、砥石部支持機構によって
傾動回転自在に支持されたツルーイング砥石部は、当接
角度制御手段によって研磨パッドとの当接角度が平行に
なるように制御されるため、研磨パッドには局部的な押
圧圧力が作用されず、ツルーイングは安定して行われ
る。

【０００９】またツルーイング砥石部は、下方に当接さ
れた研磨パッドが自転した際に生じる、該研磨パッド表
面との摩擦力によって回転されるようになっており、各
種アクチュエータを用いた能動的手段によらないで回転
されるようになっている。そのため、仮にツルーイング
砥石部と研磨パッドとの当接角度が著しく傾斜している
場合でも、研磨パッドは強制的に研磨されないようにな
っており、研磨パッドの表面は過剰に研磨されないよう
になっている。

【００１０】前記当接角度制御手段は、前記ツルーイン
グ砥石部の回転数を検知するための回転数検知手段と、
前記アーム部を基端部を中心に垂直揺動させるためのア
ーム揺動機構と、前記回転数検知手段の検知結果に基づ
きアーム揺動機構に適切な制御力を伝えるための演算部
とからなっていることにより、ツルーイング砥石部と研
磨パッドとの当接角度が平行になるように安定して制御
される。つまり、前記ツルーイング砥石部が平行に研磨
パッドと当接されている場合、ツルーイング砥石部の単
位時間当たりの回転数は、研磨パッドの単位時間当たり
の回転数と等しくなり、傾斜して当接されている場合は
それぞれの回転数は異なるようになっている。このた
め、ツルーイング砥石部の単位時間当たりの回転数を前
記回転数検知手段によって検知し、この検知したツルー
イング砥石部の回転数と、予め分かっている研磨パッド
の回転数とを比較して、それぞれの単位時間当たりの回
転数が等しくなるように、前記アーム揺動機構を駆動し
てツルーイング砥石部の角度を調節することにより、ツ
ルーイング砥石部と研磨パッドとは平行に当接されるよ
うになる。さらに、能動的制御手段である前記アーム揺
動機構に加え、受動的制御手段である砥石部支持機構を
備えたことにより、制御は安定して行われる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態による
ウェーハ研磨パッドのツルーイング装置を図面を参照し
て説明する。図１は本発明のウェーハ研磨パッドのツル
ーイング装置の一実施形態を示す側方断面図であり、図
２は図１の下方から見た平面図である。また、図３は図
１の下方断面図であり、図４は図２のＢ−Ｂ断面図を表
している。そして、この場合、図１は図２のＡ−Ａ断面
図を示している。

【００１２】なお、研磨パッドによってウェーハの研磨
を行う場合には、図９のように、図示しない駆動手段に
よって軸線回りに水平回転される円盤状のプラテン３０
の上面に貼付された円形状の研磨パッド３１に複数枚の
ウェーハＷを載置させ、図示しないキャリアによりこれ
らウェーハＷの相対位置を保ちつつウェーハＷを遊星回
転させることにより、ウェーハＷの研磨を行うようにな
っている。この研磨パッド３１の材質には、従来よりウ
ェーハの研磨に使用されていたものであればいずれでも
良く、例えばポリエステル等からなる不織布にポリウレ
タン樹脂等の軟質樹脂を含浸させたベロアタイプパッ
ド、ポリエステル等の不織布を基材としてその上に発砲
ポリウレタン等からなる発砲樹脂層を形成したスエード
タイプパッド、或いは独立発砲させたポリウレタン等か
らなる発砲樹脂シート等が使用される。

【００１３】図１、図４において、ツルーイング装置１
は、砥粒層２ａを有する円板状に形成されたツルーイン
グ砥石部２と、ツルーイング砥石部２を傾動回転自在に
支持するための、ボールディスク部３及び軸部４を備え
た砥石部支持機構５と、ツルーイング砥石部２を砥石部
支持機構５を介して支持するアーム部６と、アーム部６
を上下方向に回転させるためのアーム揺動機構７と、ア
ーム部６を水平旋回自在に支持するアーム支持部８と、
ツルーイング砥石部２の回転数を検知するための回転数
検知手段９とを備えている。また、ツルーイング砥石部
２の下方には、ツルーイングされるための円盤状に形成
されたプラテン３０の上面に貼付された円形状の研磨パ
ッド３１が配置される。

【００１４】円板状に形成されたツルーイング砥石部２
の下端には、高さが一定で円環状をなす砥粒層２ａが形
成されている。この砥粒層２ａは、図９に示すように、
研磨パッド３１に研磨されるべきウェーハＷの外径より
大きく且つ研磨パッド３１の半径より小さく形成されて
おり、ウェーハ研磨領域Ｋをツルーイングするために十
分な大きさを有している。また、ツルーイング砥石部２
は砥石部カバー１０によって上方から保護されている。

【００１５】ツルーイング砥石部２の平面中心には、該
ツルーイング砥石部２を傾動回転自在に支持する砥石部
支持機構５が設けられており、この砥石部支持機構５
は、図５に示すように、ボールディスク部３と軸部４と
を備えている。そして、これらボールディスク部３と軸
部４とは連結部３３を介して連結され、固定部４４によ
って固定されるようになっている。

【００１６】ボールディスク部３は、図６に示すよう
に、半球状のボール部３ａと上方が開口されたボール支
持板部３ｂとからなり、ボール部３ａはその球面状部分
を上方に向けてボール支持板部３ｂに支持されている。
このボール支持板部３ｂの内部形状は、その断面が下向
き凸状になるように、大径部３ｃ及び小径部３ｄを有し
て形成されている。そして、ボールディスク部３は、ボ
ール部３ａの先端とボール支持板部３ｂの上端面とが同
じ高さになるように形成されている。

【００１７】軸部４は、図６に示すように、上部には円
柱状に形成された円柱部４ａが、下部にはボールディス
ク部３と連結される部分である軸フランジ部４ｂが円筒
状に形成されている。この軸フランジ部４ｂの最大外径
部４ｄは、ボール支持板部３ｂの小径部３ｄの内径より
小さくなるように形成されている。そして、ボールディ
スク部３と軸部４とは連結部３３を介して連結される。
このうち、連結部３３に下向きに設けられた凹部３３ａ
はボール部３ａに嵌合されるように形成されており、凹
部３３ａとボール部３ａとは球面接触されるようになっ
ている。また、連結部３３の外径は軸部４の内壁面４ｃ
の内径とほぼ同じ寸法を有しており、連結部３３は軸部
４の内壁面４ｃに嵌合されるようになっている。

【００１８】固定部４４は、ボール支持板部３ｂの大径
部３ｃ及び小径部３ｄに嵌合されるようにその断面が下
向き凸状に形成されており、その下端面４４ａは軸部４
の係止部４ｅに係止されるようになっている。そして、
ボールディスク部３のボール部３ａに連結部３３の凹部
３３ａを嵌合させ、更にその上方から軸部４の内壁面４
ｃを連結部３３の外壁に嵌合させてから、固定部４４を
上方より配置させ、ねじ穴４４ｂにねじを通して締め付
けることにより、ボールディスク部３と連結部３３と軸
部４とは連結され、砥石部支持機構５は形成される。そ
して、この砥石部支持機構５はボルト２０によってツル
ーイング砥石部２の平面中心に固定される。このとき、
ボール部３ａは連結部３３の凹部３３ａと球面接触され
ていることによってツルーイング砥石部２はボールディ
スク部３に傾動自在に支持されており、更に、軸部４の
円柱部４ａはアーム部６の先端に設けられた軸受２１に
回転自在に支持されているため、ツルーイング砥石部２
は、ボールディスク部３と軸部４とを備えた砥石部支持
機構５に傾動回転自在に支持されている。

【００１９】ツルーイング砥石部２には、ツルーイング
工程におけるツルーイング砥石部２の回転数を検知する
ための回転数検知手段９が設けられている。回転数検知
手段９は、例えば光反射型センサなどが用いられてい
る。

【００２０】ツルーイング砥石部２を、砥石部支持機構
５を介して支持しているアーム部６は、アーム揺動機構
７によってアーム部６の基端部６ａ近傍に位置した支点
２２を中心に垂直方向に揺動されるようになっており、
このアーム部６が揺動することによって、ツルーイング
砥石部２は研磨パッド３１に対して上下方向に接近・離
間するように移動される。

【００２１】アーム揺動機構７は、図２及び図２のＢ−
Ｂ断面図である図４に示すように、エアシリンダからな
る上昇用シリンダ１３及び下降用シリンダ１４とを備え
ており、これら両シリンダはアーム支持部８に固定され
たシリンダ支持部１１に支持されている。そして、上昇
用シリンダ１３及び下降用シリンダ１４は、それぞれの
空間部１３ａ及び１４ａに供給されるエアの圧力によっ
て駆動され、上昇用シリンダ１３はアーム部６を上方に
押し上げ、一方、下降用シリンダ１４はアーム部６を下
方に押し下げるように作用する。そして、ツルーイング
砥石部２の高さ方向の位置合わせや、研磨パッド３１へ
の当接角度を調節する場合は、はじめに上昇用シリンダ
１３に供給する上昇用エアを調節してアーム部６の自重
を相殺し、このアーム部６が上昇も下降もしない状態を
作り出す。そしてアーム部６を水平にし、研磨パッド３
１への押圧圧力が負荷されない状態にしてから、所望の
押圧圧力を得るために下降用シリンダ１４を調節してア
ーム部６を下方に押し下げる。

【００２２】アーム部６はアーム支持部８に旋回自在に
支持されている。このアーム支持部８の下方に設けられ
たプーリ８ａと、ロータリーアクチュエータ１５の下方
に設けられたプーリ１５ａとはベルト１６によって連結
されており、ロータリーアクチュエータ１５を駆動させ
ることによってアーム支持部８が回転され、それと連動
してアーム部６及びツルーイング砥石部２が旋回される
ようになっている。

【００２３】このようなツルーイング装置１で研磨パッ
ド３１のツルーイングを行う場合は、まず、図７、図９
に示すように、ツルーイング砥石部２を研磨パッド３１
表面の円環状をなすウェーハ研磨領域Ｋに当接させる。
そして研磨パッド３１をその軸線を中心として自転させ
る。

【００２４】図７に示すように、プラテン３０の上面に
貼付された研磨パッド３１は、回転数ｒ１で図７中、時
計回りに回転されている。このとき、砥石部支持機構５
によって回転自在に支持されているツルーイング砥石部
２は研磨パッド３１の表面に当接されているため、研磨
パッド３１表面との摩擦によって連動するように回転さ
れる。そしてツルーイング砥石部２は、図７中、時計方
向に回転数ｒ２で回転されるようになる。

【００２５】研磨パッド３１が回転することによってツ
ルーイング砥石部２と研磨パッド３１との間には摩擦が
生じる。この摩擦によってツルーイング砥石部２には、
図７に示すように、研磨パッド３１の中心側近傍の内側
当接部２５と外縁側近傍の外側当接部２６とに位置する
部分に、内側作用力ｆ１と外側作用力ｆ２とが同じ向き
に作用される。この場合、ツルーイング砥石部２と研磨
パッド３１とが平行に当接されていると、これら内側作
用力ｆ１と外側作用力ｆ２とは等しくなり、これらの作
用力成分は相殺されるようになる。そして、研磨パッド
３１の周速の速い部分である外側当接部２６近傍に発生
する回転力ｆ３のみがツルーイング砥石部２の回転方向
に作用されるようになり、ツルーイング砥石部２を回転
させる。そして、ツルーイング砥石部２と研磨パッド３
１とが平行に当接されている場合、研磨パッド３１の単
位時間当たりの回転数ｒ１とツルーイング砥石部２の単
位時間当たりの回転数ｒ２とは等しくなることが確認さ
れている。。

【００２６】仮に、ツルーイング砥石部２の当接角度が
研磨パッド３１の内側に傾斜されている場合、言い替え
ると、内側当接部２５近傍への押圧圧力が強い場合に
は、内側作用力ｆ１は大きくなり、そのため、ツルーイ
ング砥石部２には半時計回りの力が大きく作用されるよ
うになるため、ツルーイング砥石部２の回転数ｒ２は低
下し、研磨パッド３１の回転数ｒ１より小さくなる。逆
に、ツルーイング砥石部２の当接角度が研磨パッド３１
の外側に傾斜されている場合、言い替えると、外側当接
部２６近傍への押圧圧力が強い場合には、外側作用力ｆ
２は大きくなり、そのため、ツルーイング砥石部２には
時計回りの力が大きく作用されるようになるため、ツル
ーイング砥石部２の回転数ｒ２は、研磨パッド３１の回
転数ｒ１より大きくなる。

【００２７】このため、ツルーイング砥石部２と研磨パ
ッド３１と平行に当接させるためには、ツルーイング砥
石部２の回転数ｒ２を回転数検知手段９によって検知
し、予め分かっている研磨パッド３１の回転数ｒ１と比
較して、研磨パッド回転数ｒ１とツルーイング砥石部回
転数ｒ２とが等しくなるようにツルーイング砥石部２の
研磨パッド３１への当接角度を制御すればよい。

【００２８】この当接角度の制御は、図８に示すよう
に、ツルーイング砥石部２の回転数を検知するための回
転数検知手段９と、アーム部６を基端部６ａ近傍に設け
られた支点２２を中心に垂直揺動させるためのアーム揺
動機構７と、回転数検知手段９の検知結果に基づきアー
ム揺動機構７に適切な制御力を伝えるための演算部４０
とからなる当接角度制御手段４１によって行われる。

【００２９】図８に示すように、予め設定してある研磨
パッド回転数ｒ１と回転数検知手段９からの出力信号で
あるツルーイング砥石部回転数ｒ２とは、演算部４０に
入力される。演算部４０は、研磨パッド回転数ｒ１とツ
ルーイング砥石部回転数ｒ２とを比較、その差を算出
し、回転数ｒ１と回転数ｒ２との差に応じて、アーム揺
動機構７に、研磨パッド回転数ｒ１とツルーイング砥石
部回転数ｒ２とが等しくなるように制御力を伝達する。
つまり、ツルーイング砥石部回転数ｒ２が研磨パッド回
転数ｒ１より小さい場合は、内側当接部２５近傍の押圧
圧力が大きいということなので内側当接部２５近傍の押
圧圧力が小さくなるようにツルーイング砥石部２の当接
角度を調節する。逆に、ツルーイング砥石部回転数ｒ２
が研磨パッド回転数ｒ１より大きい場合は、外側当接部
２６近傍の押圧圧力が大きいということなので外側当接
部２６近傍の押圧圧力が小さくなるようにツルーイング
砥石部２の当接角度を調節する。そして、このようなフ
ィードバック制御を行うことにより、ツルーイング砥石
部２と研磨パッド３１とは平行に当接されるようにな
る。また、これら能動的制御手段に加え、受動的制御手
段である砥石部支持機構５を備えたことにより、制御は
安定して行われる。

【００３０】このように、砥石部支持機構５によって傾
動回転自在に支持されたツルーイング砥石部２は、当接
角度制御手段４１によって研磨パッド３１との当接角度
が平行になるように制御されるため、研磨パッド３１に
は局部的な押圧圧力が作用されず、ツルーイングは安定
して行われる。

【００３１】ツルーイング砥石部２は、下方に当接され
た研磨パッド３１が自転した際に生じる、研磨パッド３
１表面との摩擦力によって回転されるようになってお
り、各種アクチュエータを用いた能動的手段によらない
ため、仮にツルーイング砥石部２と研磨パッド３１との
当接角度が著しく傾斜している場合でも、研磨パッド３
１は強制的に研磨されないようになっているため、研磨
パッド３１の表面は過剰に研磨されないようになってい
る。

【００３２】また、当接角度制御手段４１は、回転数検
知手段９と、アーム部６を垂直方向に揺動させるための
上昇用シリンダ１３と下降用シリンダ１４とを備えたア
ーム揺動機構７と、アーム揺動機構７に適切な制御力を
伝えるための演算部４０とからなることにより、ツルー
イング砥石部２と研磨パッド３１との当接角度が平行に
なるように安定して制御される。つまり、ツルーイング
砥石部２が平行に研磨パッド３１と当接されている場
合、ツルーイング砥石部回転数ｒ２は、研磨パッド回転
数ｒ１と等しくなり、傾斜して当接されている場合はそ
れぞれの回転数は異なるようになっている。このため、
ツルーイング砥石部回転数ｒ２を回転数検知手段９によ
って検知し、この検知したツルーイング砥石部回転数ｒ
２と、予め分かっている研磨パッド回転数ｒ１とを比較
して、それぞれの回転数が等しくなるように、アーム揺
動機構７を駆動してツルーイング砥石部２の角度を調節
することにより、ツルーイング砥石部２と研磨パッド３
１とは平行に当接されるようになる。

【００３３】

【発明の効果】本発明のウェーハ研磨パッドのツルーイ
ング装置は、以下のような効果を有するものである。 （１）砥石部支持機構によって傾動回転自在に支持され
たツルーイング砥石部は、当接角度制御手段によって研
磨パッドとの当接角度が平行になるように制御されるた
め、研磨パッドには局部的な押圧圧力が作用されず、ツ
ルーイングは安定して行われる。 （２）ツルーイング砥石部は、下方に当接された研磨パ
ッドが自転した際に生じる、該研磨パッド表面との摩擦
力によって回転されるようになっており、各種アクチュ
エータを用いた能動的手段によらないで回転されるよう
になっている。そのため、仮にツルーイング砥石部と研
磨パッドとの当接角度が著しく傾斜している場合でも、
研磨パッドは強制的に研磨されないようになっており、
研磨パッドの表面は過剰に研磨されないようになってい
る。 （３）前記当接角度制御手段は、前記ツルーイング砥石
部の回転数を検知するための回転数検知手段と、前記ア
ーム部を基端部を中心に垂直揺動させるためのアーム揺
動機構と、前記回転数検知手段の検知結果に基づきアー
ム揺動機構に適切な制御力を伝えるための演算部とから
なっていることにより、ツルーイング砥石部と研磨パッ
ドとの当接角度が平行になるように安定して制御され
る。つまり、前記ツルーイング砥石部が平行に研磨パッ
ドと当接されている場合、ツルーイング砥石部の単位時
間当たりの回転数は、研磨パッドの単位時間当たりの回
転数と等しくなり、傾斜して当接されている場合はそれ
ぞれの回転数は異なるようになっている。このため、ツ
ルーイング砥石部の単位時間当たりの回転数を前記回転
数検知手段によって検知し、この検知したツルーイング
砥石部の回転数と、予め分かっている研磨パッドの回転
数とを比較して、それぞれの単位時間当たりの回転数が
等しくなるように、前記アーム揺動機構を駆動してツル
ーイング砥石部の角度を調節することにより、ツルーイ
ング砥石部と研磨パッドとは平行に当接されるようにな
る。さらに、能動的制御手段である前記アーム揺動機構
に加え、受動的制御手段である砥石部支持機構を備えた
ことにより、制御は安定して行われる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のウェーハ研磨パッドのツルーイング装
置の実施形態の一例を示す側方断面図である。

【図２】図１の下方から見た平面図である。

【図３】図１の下方から見た断面図である。

【図４】図２のＢ−Ｂ断面図である。

【図５】砥石部支持機構を説明する図である。

【図６】砥石部支持機構の構成を説明する図である。

【図７】ツルーイング砥石部が回転される様子を説明す
る図である。

【図８】当接角度制御手段を説明する図である。

【図９】研磨パッドがツルーイングされる様子を説明す
る図である。

【図１０】従来のウェーハ研磨パッドのツルーイング装
置を説明する図である。

【符号の説明】

１ ツルーイング装置 ２ ツルーイング砥石部 ２ａ 砥粒層 ３ ボールディスク部 ４ 軸部 ５ 砥石部支持機構 ６ アーム部 ７ アーム揺動機構 ８ アーム支持部 ９ 回転数検知手段 １０ 砥石部カバー １１ シリンダ支持部 １３ 上昇用シリンダ １４ 下降用シリンダ １５ ロータリーアクチュエータ １６ ベルト ２１ 軸受 ２５ 内側当接部 ２６ 外側当接部 ３０ プラテン ３１ 研磨パッド ４０ 演算部 ４１ 当接角度制御手段 Ｗ ウェーハ Ｋ ウェーハ研磨領域 ｒ１ 研磨パッド回転数 ｒ２ ツルーイング砥石部回転数 ｆ１ 内側作用力 ｆ２ 外側作用力 ｆ３ 回転力

フロントページの続き (72)発明者 梶原 治郎 埼玉県大宮市北袋町１丁目297番地 三菱 マテリアル株式会社総合研究所内 (72)発明者 駒崎 雅人 埼玉県大宮市北袋町１丁目297番地 三菱 マテリアル株式会社総合研究所内 (72)発明者 佐野 仁朗 埼玉県大宮市北袋町１丁目297番地 三菱 マテリアル株式会社総合研究所内 (72)発明者 藤本 憲司 兵庫県朝来郡生野町口銀谷字猪野々985番 地１ 三菱マテリアル株式会社生野製作所 内 (72)発明者 足立 仁 兵庫県朝来郡生野町口銀谷字猪野々985番 地１ 三菱マテリアル株式会社生野製作所 内 Ｆターム(参考） 3C058 AA07 AA11 AA19 AB01 AB06 AB08 BA01 BA04 BA09 BB02 BC02 DA17

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プラテン上に貼付された研磨パッド上で
   複数枚のウェーハを回転させつつ研磨するウェーハ研磨
   装置に付設され、前記研磨パッドの表面をツルーイング
   するウェーハ研磨パッドのツルーイング装置であって、
   円環状の砥粒層を有するツルーイング砥石部と、前記ツ
   ルーイング砥石部を傾動回転自在に支持する砥石部支持
   機構と、先端に前記支持機構を介してツルーイング砥石
   部を連結したアーム部と、前記アーム部を水平旋回自在
   に支持するアーム支持部と、前記ツルーイング砥石部と
   前記研磨パッドとの当接角度を制御するための当接角度
   制御手段とを備え、前記ツルーイング砥石部は、前記研
   磨パッド表面の円環状をなすウェーハ研磨領域に当接さ
   れつつ自転する研磨パッドとの摩擦によって回転するこ
   とを特徴とするウェーハ研磨パッドのツルーイング装
   置。
2. 【請求項２】 前記当接角度制御手段は、前記ツルーイ
   ング砥石部の回転数を検知するための回転数検知手段
   と、前記アーム部を基端部を中心に垂直揺動させるため
   のアーム揺動機構と、前記回転数検知手段の検知結果に
   基づきアーム揺動機構に適切な制御力を伝えるための演
   算部とを備えたことを特徴とする請求項１に記載のウェ
   ーハ研磨パッドのツルーイング装置。