JP2000022223A - Ledアレイ及びそれを用いた光プリントヘッド - Google Patents

Ledアレイ及びそれを用いた光プリントヘッド

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JP2000022223A
JP2000022223A JP18257198A JP18257198A JP2000022223A JP 2000022223 A JP2000022223 A JP 2000022223A JP 18257198 A JP18257198 A JP 18257198A JP 18257198 A JP18257198 A JP 18257198A JP 2000022223 A JP2000022223 A JP 2000022223A
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JP
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substrate
layer
light emitting
led
led array
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JP18257198A
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English (en)
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Shoji Inaba
稲葉  昌治
Katsumi Yagi
克己 八木
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Tokyo Sanyo Electric Co Ltd
Sanyo Electric Co Ltd
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Tokyo Sanyo Electric Co Ltd
Tottori Sanyo Electric Co Ltd
Sanyo Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光プリンタの高解像度化や高速化に対応した
LEDアレイやそれを用いる光プリントヘッドを提供す
ること 【解決手段】 基板2上面にpn接合によって形成した
LED発光部3を複数備え、これらのLED発光部3を
基板2の長さ方向に配列したLEDアレイ1において、
LED発光部3を、そのpn接合面3cの基板への投影
面積が、p層3bとn層3aの基板への投影面積のいず
れよりも小さくなるように形成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】光学式のプリンタに好適なL
EDアレイとそれを用いた光プリントヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】光学式プリンタの光源として用いられる
LEDアレイ100は、図6に概略的な断面図を示すよ
うに、例えばn型GaAs基板101にn型GaAsP
層102を成長させ、このn型GaAsP層102に拡
散マスク103を介してZn等のp型化不純物を選択的
に拡散させてp層104を形成している。このp層の上
面には、遮光性のあるAl等のp電極105が形成さ
れ、n型GaAs基板の裏面にはAu等のn電極106
が形成される。p層104の周囲には、その上面を除い
てpn接合面が形成され、これが発光部として機能す
る。p電極105とn電極106の間に所定の電圧を加
えることによって、pn接合面の近傍から発光が行われ
るが、GaAs基板101が光吸収層として機能するの
で、その光の殆どはアレイに垂直な方向に取り出され
る。このようにアレイに垂直な方向に光取出しを行う場
合、遮光性の電極105の一部がp層104の上に位置
するので、pn接合部で発光した光が電極105によっ
て遮光される。そのため、光の有効利用が図れないとい
う問題があった。特に、プリンタの高解像度化に対応し
てLED発光部を高密度に配置する場合、LED発光部
の平面寸法を小さくするにしたがって前記電極による遮
光の割合も大きくなり、光取り出し効率が低下するとい
う問題がある。
【0003】一方、LEDアレイには、特開平4−21
6684号公報に示されているように、LEDアレイの
側面を光取り出し面とした側面発光タイプのものが知ら
れている。このような側面発光型のLEDアレイによれ
ば、個別電極による遮光の問題はあまり生じない。
【0004】しかしながら、側面発光型のLEDアレイ
は、アレイの発光側の側面近傍にワイヤボンド線などの
配線手段を配置すると、遮光の問題が生じるので、配線
場所が発光側面と反対の一方の側に制約される。そのた
め、ワイヤボンド線等の配線数や配線場所が制約を受け
やすく、LED発光部の高密度化に対応した高密度配線
を行うことが困難な場合が多い。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、光プリンタ
の高解像度化や高速化に対応したLEDアレイやそれを
用いる光プリントヘッドを提供することを課題の1つと
する。また、LEDアレイの高出力化や光取り出し効率
の向上を図ることを課題の1つとする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明のLEDアレイ
は、基板上面にpn接合によって形成したLED発光部
を複数備え、これらのLED発光部を基板の長さ方向に
配列したLEDアレイにおいて、前記LED発光部を、
そのpn接合面の基板への投影面積が、p層とn層の基
板への投影面積のいずれよりも小さくなるように形成し
たことを特徴とする。
【0007】また、本発明のLEDアレイは、基板上面
に、pn接合面が基板に略垂直となるようにp層とn層
を基板の幅方向に隣接して配置して島状のLED発光部
を形成し、このLED発光部を基板の長さ方向に複数配
列したことを特徴とする。
【0008】また、本発明のLEDアレイは、基板と、
基板上面にpn接合面が基板に略垂直となるようにp層
とn層を基板の幅方向に隣接して配置して島状に形成し
た複数のLED発光部と、前記pn接合面と平面的な重
なりをもたないように前記p層もしくはn層に接続され
た遮光性の電極を備えることを特徴とする。
【0009】また、本発明の光プリントヘッドは、LE
Dアレイとして上記いずれかのLEDアレイを用いたこ
とを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施例を図面を参照
して説明する。図1(a)は、LEDアレイの要部平面
図、同図(b)は同図(a)の矢印b−bに沿った断面
図である。LEDアレイ1は、半導体基板2の表面に、
複数の島状のLED発光部3を基板2の長さ方向に配列
して構成している。LED発光部3には、第1電極4や
第2電極5を接続している。
【0011】基板2の表面には、絶縁層6を介して形成
された一導電型半導体層(以下n層)3aと逆導電型半
導体層(以下p層)3bを設け、これらをLEDアレイ
1の幅方向に隣接配置して島状のLED発光部3を形成
している。このLED発光部3は、pn接合面3cが基
板2に略垂直な状態で、しかもpn接合面3cがLED
アレイ1の長さ方向に沿うように形成している。
【0012】LEDアレイ1の製造方法について、LE
D発光部3の製造手順を中心に図2を参照して簡単に説
明する。基板2としては、シリコン(Si)やガリウム
砒素(GaAs)等の半導体基板を用いることができ、
不純物を添加した導電性基板や不純物を添加しない絶縁
性基板のいずれの基板を用いてもよい。この基板2の表
面には、不純物を添加しないアンド−プのGaAsある
いはGaAlAsからなる絶縁層6(厚さ1〜2μm)
を成長させ、その上に例えばn型GaAlAsやn型G
aAsPからなるn層3aを結晶成長させている(同図
(a))。n層3aの厚さは、厚くすると後述する電極
等の形成が困難になるので5μm以下に設定され、好ま
しくは2〜3μmに設定される。
【0013】このn層3aにシリコン酸化膜や窒化シリ
コン膜などのマスクMを介した熱拡散法やイオン注入法
等を用いて、Zn,Cd等のp型化(逆導電型)不純物
元素を拡散させることによって、p層3bを形成する
(同図(b))。ここで、絶縁層6は、p型化不純物元
素の拡散を抑制する拡散抑制層として機能する。尚、n
型化のためには、Si,Sn等を不純物元素として用い
る。
【0014】次に、化学的エッチング法等を用いてn層
3a,p層3bを選択的にエッチングして同図(c)に
示すようにLED発光部3を構成する島状の半導体層を
形成する。ここで、絶縁層6が、n層3a,p層3bを
エッチングする際のエッチング停止層として機能するよ
うに、絶縁層6とn層3a(p層3b)の組成を変更す
ることが好ましい。このように形成された島状の各LE
D発光部3は、そのpn接合面3cが基板2に対して略
垂直に形成され、また、図1(a)に示すように、その
pn接合面3cがアレイ1の長手方向に沿って直線的に
配列される。
【0015】島状のLED発光部3を有する半導体基板
2の表面には、図2(d)に示すように、窒化シリコン
や酸化シリコン等の絶縁保護膜7が、n層3a,p層3
bの電極コンタクト用領域を除いて形成される。この絶
縁保護膜7の上からアルミニウムや金等の導電層が形成
され、第1電極4や第2電極5の形状に合わせてパタ−
ニングされる。そして、図2(e)に示すように、第1
電極4や第2電極5は、前記コンタクト用領域を介して
n層3a,p層3bとの接続が図られる。
【0016】n層3aとp層3bの接触によって形成さ
れるpn接合面3cは、基板2に対して略垂直に形成さ
れるが、このpn接合面3cは、基板2への投影面積
が、図1(a)にハッチングで示すように、n層3a,
p層3bの基板2への投影面積のいずれよりも小さくな
るように形成している。このようにすることによって、
pn接合面3cの基板投影形状を、基板2の長さ方向に
沿った棒状ないし短冊状とし、基板2の幅方向に沿った
長さを大幅に短くすることができる。したがって、LE
Dアレイとその駆動用の回路素子を組み込んだ光プリン
トヘッドにおいて、LEDアレイ1の長さ方向を主走査
方向、LEDアレイ1の幅方向を副走査方向とした場
合、ヘッドの副走査方向の解像度を高めることができ
る。また、電極4,5による遮光の問題を解消すること
ができる。
【0017】上記の構成において、第1,第2電極4,
5の間に所定の電圧を印加すると、pn接合面3cにお
いて発光が生じ、基板2に垂直な方向に光が取り出され
る。ここで、電極4,5がpn接合面3cの上に位置し
ないので、電極による遮光がなく光の利用効率を高める
ことができる。
【0018】pn接合面3cを基板2に略垂直にしてそ
の投影形状を棒状に設定しているので、投影形状が正方
形状の従来例に比べて副走査方向の解像度を高めること
ができる。
【0019】上記実施例は第1電極4を個別電極、第2
電極5を共通電極として利用し、第1電極4によってL
ED発光部3を個別に選択する場合を例に取ったが、本
発明はアレイ内のLED発光部3をグループ分けして時
分割駆動する場合にも適用することができる。図3はこ
のようなアレイ内時分割駆動に適した構造のLEDアレ
イ10を示しており、図1〜2に示したものとLED発
光部3の構造は基本的に同じであるが、電極の配置形態
に若干の相違がある。すなわち、このLEDアレイ10
は、複数のLED発光部3を複数(この例ではA,Bの
2つ)のグループ3A,3Bに分け、同一グループに属
するLED発光部3A,3Bのn層(カソード側)を第
2電極5Aと第2電極5Bにそれぞれ接続し、異なるグ
ループに属するLED発光部3A,3Bのp層(アノ−
ド側)を第1電極4によって接続している。このように
構成することによって、第2電極5A,第2電極5Bに
よってグループを選択し、第1電極4によってグループ
内のLED発光部を選択することができる。ここで、第
1電極4は、異なるグループに属するLED発光部3に
1つの割合、この例では2つのLED発光部3A,3B
に1つ割合で形成すればよいので、第1電極4の配置間
隔を広く設定することができる。
【0020】尚、上記実施例は、基板2の上面を絶縁層
6とし、その上に形成した共通電極として機能する第2
電極5(5A,5B)をLED発光部3の配列方向に沿
って設ける場合を示したが、図4に示すように共通電極
として機能する電極8を基板2の裏面に設けてLEDア
レイ11を構成することもできる。この場合は、基板2
を例えばn型(一導電型)としておき、n層3aに接続
した電極5と基板2間を接続するための孔9を絶縁層
6,7を貫通させて設けておく必要がある。そして、同
図(a)に示すように、LED発光部3をそのn層3
a,p層3bの配置が交互に変わるように形成し、一方
の層、この例ではn層3aを孔9を介して共通電極8に
接続することができる。このとき、p層3bに接続した
個別電極としての電極4は、アレイ11の長さ方向に対
して左右に振り分けて配置すればよい。このようにすれ
ば、LEDアレイ11の両側にその駆動用素子を配置す
ることができ、LEDアレイの片側にその駆動用素子を
配置する場合に比べて、LEDアレイとその駆動用素子
の配線密度を半分程度に削減することができる。
【0021】また、図5は本発明のさらに別の実施例を
示す。このLEDアレイ12は、基板2上に島状のLE
D発光部31,32を形成している。これらのLED発
光部31,32は、図4に示すものと同様にpn接合の
方向が正反対の2種類のLED発光部を構成している。
そして、LED発光部31,32を1組とし、その半導
体層31a,32bを第1電極41により、その半導体
層31b,32aを第2電極42によって互いに接続
し、互いに逆接続した2つのダイオードを構成してい
る。そのようなダイオードの組み合わせをLEDアレイ
12の長手方向に複数配列している。ここで、各ダイオ
ードは、そのPN接合面が互いに一直線状に並ぶように
形成される。
【0022】そして同図(b)に概略的な回路図を示す
ように、このようなLEDアレイ12は、一方の側に位
置する第2電極42を例えばグランド電位に接続し、他
方の側に位置する第1電極41にグランド電位に対して
正負の電位を加えることによって、一方のLED発光部
31と他方のLED発光部32を選択的に駆動すること
ができる。このように1組のLED発光部31,32に
対して、信号印加用の電極41,42を1つとすること
ができるので、LED発光部31,32の配置密度に比
べて電極41,42の配置密度を半分程度にすることが
でき、電極に対する配線(ワイヤボンド)作業性を高め
ることもできる。
【0023】上記各構成において、LED発光部を構成
する半導体層にGaAlAsを用いれば、GaAsPを
用いる場合に比べて、光出力を高めることができ、高速
印字化を可能とすることができる。
【0024】また、半導体基板に対して垂直に光を取り
出すことができるので、アレイの両側に配線手段や駆動
素子等を設けることができ、側面発光タイプに比べて配
線や部品の配置自由度を高めることができる。
【0025】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、光プリン
タの高解像度化や高速化に対応したLEDアレイや光プ
リントヘッドを提供することができる。また、LEDア
レイの高出力化や光取り出し効率の向上を図ることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す(a)平面図と、(b)
断面図である。
【図2】本発明の実施例に係わるアレイの製造方法を示
す断面図である。
【図3】本発明の他の実施例を示す(a)平面図と、
(b)断面図と、(c)回路図である。
【図4】本発明の他の実施例を示す(a)平面図と、
(b)断面図である。
【図5】本発明の他の実施例を示す(a)平面図と、
(b)回路図である。
【図6】本発明の従来例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 LEDアレイ 2 基板 3 LED発光部 4 電極 5 電極 6 絶縁層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 八木 克己 鳥取県鳥取市南吉方3丁目201番地 鳥取 三洋電機株式会社内 Fターム(参考) 2C162 AE28 AH22 FA17 FA23 5C051 AA02 CA08 DA03 DB02 DB06 DC02 DD03 DE02 5F041 CA10 CA94 CB11 CB22 FF13

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上面にpn接合によって形成したL
    ED発光部を複数備え、これらのLED発光部を基板の
    長さ方向に配列したLEDアレイにおいて、前記LED
    発光部を、そのpn接合面の基板への投影面積が、p層
    とn層の基板への投影面積のいずれよりも小さくなるよ
    うに形成していることを特徴とするLEDアレイ。
  2. 【請求項2】 基板上面に、pn接合面が基板に略垂直
    となるようにp層とn層を基板の幅方向に隣接して配置
    して島状のLED発光部を形成し、このLED発光部を
    基板の長さ方向に複数配列したことを特徴とするLED
    アレイ。
  3. 【請求項3】 基板と、基板上面にpn接合面が基板に
    略垂直となるようにp層とn層を基板の幅方向に隣接し
    て配置して島状に形成した複数のLED発光部と、前記
    pn接合面と平面的な重なりをもたないように前記p層
    もしくはn層に接続された遮光性の電極を備えることを
    特徴とするLEDアレイ。
  4. 【請求項4】 LEDアレイとその駆動用素子を備えた
    光プリントヘッドにおいて、LEDアレイとして請求項
    1〜3記載のLEDアレイを用いたことを特徴とする光
    プリントヘッド。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014072227A (ja) * 2012-09-27 2014-04-21 Sharp Corp Ledプリントヘッド
JP2015173222A (ja) * 2014-03-12 2015-10-01 スタンレー電気株式会社 半導体発光装置

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