JP2000016808A - 柔軟性のあるグラファイトシ―トの製造方法及び装置 - Google Patents

柔軟性のあるグラファイトシ―トの製造方法及び装置

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JP2000016808A
JP2000016808A JP11021938A JP2193899A JP2000016808A JP 2000016808 A JP2000016808 A JP 2000016808A JP 11021938 A JP11021938 A JP 11021938A JP 2193899 A JP2193899 A JP 2193899A JP 2000016808 A JP2000016808 A JP 2000016808A
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roller
graphite sheet
rolling
rollers
rolling roller
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JP11021938A
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Inventor
Akira Taomoto
昭 田尾本
Yoshimasa Oki
木 芳 正 大
Soji Tsuchiya
屋 宗 次 土
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧延ローラーによるグラファイトシートの圧
延操作において、シワの発生をなくすることが可能な柔
軟性のあるグラファイトシートの製造方法及び装置を提
供すること。 【解決手段】 圧延ローラーの挿入側でグラファイトシ
ートを挿入方向と逆方向に引っ張り、グラファイトシー
トの凹凸を平らにして圧延ローラーに挿入する機能を備
えた圧延ローラー装置を使用して圧延処理をする。これ
により、ローラー圧延の際に、グラファイトシートの凹
凸を巻き込まないようにできるため、シワの発生を防ぐ
ことができ、手作業によるなめし工程に比較して、作業
性が飛躍的に向上し、厚さの均一性に優れ、柔軟性、強
靱性に富み、熱伝導性に優れたグラファイトシートを得
ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は電気伝導体あるいは
熱伝導体として放熱材、均熱材に利用される柔軟性のあ
るグラファイトシートの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】ポリイミドフィルムを熱処理及び圧延処
理によって柔軟性のあるグラファイトシートを直接的に
得る方法がすでに特許1566176(特公平1−49
642)で知られている。このシートの物性特性として
は単結晶グラファイトと同様なものを持ち、鱗片状の剥
離や、残留酸などの問題が無く、高品質で折れ曲げに強
く柔軟性に富む熱伝導性に優れた、グラファイトシート
が得られる。
【0003】グラファイトシートの製造方法は、平成9
年特許願第175424号に記載されている。原料とし
てはグラファイト化反応が可能である縮合系芳香族高分
子フィルムの中でも芳香族系ポリイミド高分子フィルム
を選択し、窒素(N)やアルゴン(Ar)などの不活性
ガス雰囲気中で最高温度1000℃から1200℃まで
予備熱処理を行い、その後、さらに同じく不活性ガス雰
囲気中で、ある昇温速度で最高温度2500℃以上で高
温熱処理を行うようにしたもので、この時の予備熱処理
と高温熱処理時の昇温速度などの焼成条件を制御するこ
とによって、グラファイトシートを作製することができ
る。
【0004】このようにして焼成したグラファイトシー
トに、より一層柔軟性を持たせるためには、なめし処理
を行うことが必要であり、手作業によるなめし工程が行
われている。しかしながら、手作業によるなめし工程で
は、力加減となめす回数で厚さを制御しているため、シ
ートの面内で厚さの分布が生じてしまい、厚さの均一性
を持たせることが困難である。また、手作業によるなめ
し工程では、グラファイト粉末が発生し飛散するため、
作業環境が良くない。さらに、手作業によるなめし工程
では、力をかけて繰り返し行うことが必要であるため、
肉体的負荷が大きく、作業性、ひいては生産性が悪い。
【0005】このような問題点を解決するために、手作
業によるなめし工程に代わるものとして、ローラーによ
る圧延が提案されている。ローラーによる圧延は、2本
1組のローラーの間にグラファイトシートを通して圧延
することにより、手作業によるなめしと同様な効果を出
すものであり、手作業によるなめしに比較して厚さの均
一性に優れている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ローラーによるグラフ
ァイトシートの圧延では、作業性は飛躍的に向上するも
のの圧延中に発生するシワが問題となる。グラファイト
シートにシワが発生すると、熱拡散率、電気伝導度、引
っ張り強度等のグラファイトシートの優れた特性が損な
われる原因となる。ローラー圧延において、シワをでき
るだけ発生しないようにするためには、ローラーに挿入
する前にグラファイトシートの凹凸をできるだけ延ばし
てからローラーに挿入することが重要である。この目的
で、手でグラファイトシートをローラー挿入方向と反対
方向に引っ張り、グラファイトシートの凹凸を平らにし
て凹凸をローラーに巻き込まれないようにしてローラー
圧延を行なっているため、作業効率をあげ、コストを下
げるためには、この手作業の機械化が要望されている。
【0007】本発明はかかる従来の要望に応えるために
なされたもので、その目的は、圧延ローラーによるグラ
ファイトシートの圧延操作において、シワの発生をなく
することが可能な柔軟性のあるグラファイトシートの製
造方法及び装置を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明は、圧延ローラーの挿入側でグラファイトシー
トを挿入方向と逆方向に引っ張り、グラファイトシート
の凹凸を平らにする機能を備えた圧延ローラー装置を使
用して圧延及びなめし処理をするものである。そして、
この機能により、ローラー圧延の際に、グラファイトシ
ートの凹凸を巻き込まないようにできるため、シワの発
生を防ぐことができる。
【0009】また、上記のような作用を及ぼす機構とし
て、圧延ローラーのグラファイトシートの挿入側に前置
きローラーを設置することにより、前置きローラーの重
みでシートを押さえるため、圧延ローラーの回転により
グラファイトシートが圧延ローラー間に引っ張られて進
行するのに対して抵抗力を生じ、圧延ローラーと前置き
ローラーとの間でグラファイトシートに引っ張り力が発
生するため、グラファイトシートの凹凸を平らにする機
能を持たせることができ、シートの凹凸をローラーに巻
き込まないようになるため、ローラー圧延時のシワの発
生を防ぐことができる。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、膜厚300μm以下のポリイミドフィルムを不活性
ガス中で室温から昇温して温度1000℃から1600
℃までの温度で焼成する予備熱処理工程と、その後さら
に室温から昇温して温度2500℃以上で焼成する高温
熱処理工程を行うことにより作製したグラファイトシー
トを、圧延ローラー及び挿入側でグラファイトシートを
挿入方向と逆方向に引っ張り、グラファイトシートの凹
凸を平らにする機能を備えた圧延ローラー装置を使用し
て圧延処理をすることを特徴とする膜厚1mm以下の柔
軟性を有するグラファイトシートの製造方法であり、柔
軟性、強靱性に富み、熱伝導性に優れたグラファイトシ
ートを得ることができる。
【0011】請求項2に記載のように、2本1組のロー
ラーからなる圧延ローラーと、圧延ローラーの挿入側に
2本1組のローラーからなる前置きローラーが置かれ、
これら2組のローラーにグラファイトシートを通すこと
により、図1に示すように、圧延ローラーの回転につれ
て、グラファイトシートが圧延ローラーの方に引っ張ら
れるのに対して、前置きローラーの重みでグラファイト
シートを押さえることによりグラファイトシートの進行
方向に対して抵抗力を生じ、圧延ローラーと前置きロー
ラーとの間でグラファイトシートに張力がかかるため、
グラファイトシートの凹凸を平らにする機能を有する圧
延ローラーと前置きローラーの2組4本のローラーから
なる圧延ローラー装置を使用して圧延処理を行うことに
より、ローラー圧延の際に、グラファイトシートの凹凸
を巻き込まないようにできるため、シワの発生を防ぐこ
とができる。
【0012】前置きローラーとして、請求項3に記載の
ように、2本1組のローラーからなる圧延ローラーと、
1本の前置きローラーが圧延ローラーの挿入側に設けら
れたグラファイトシートを圧延ローラーに挿入する際の
テーブルとなる平らな板の上に置かれており、このロー
ラーにグラファイトシートを通すことにより、図2に示
すように、圧延ローラーの回転につれて、グラファイト
シートが圧延ローラーの方に引っ張られるのに対して、
前置きローラーの重みで平らな板との間でグラファイト
シートを押さえることにより、グラファイトシートの進
行方向に対して抵抗力を生じ、圧延ローラーと前置きロ
ーラーとの間でグラファイトシートに張力がかかるた
め、グラファイトシートの凹凸を平らにする機能を有す
る、2本の圧延ローラーと1本の前置きローラーの計3
本のローラーからなる圧延ローラー装置を使用すること
もできる。
【0013】前置きローラーとしては、請求項4に記載
のように、ローラーの重さがローラーの長さ10cmに
つき200g〜5kgであることが望ましく、請求項5
に記載のように、直径が20mm以上であることが適し
ており、請求項6に記載のように、前置きローラーの中
心と圧延ローラーの中心との距離が20mm以上である
ことが望ましく、前置きローラーと圧延ローラーとの間
で圧延するグラファイトシートが連続していることが必
要である。
【0014】さらに、請求項7に記載のように、ローラ
ーで圧延する際に、耐熱性シートあるいは金属シ−トの
いずれかでグラファイトシートをはさんで行うことが可
能である。より具体的には、請求項8に記載のように、
ローラーで圧延する際に、ポリイミドフィルムでグラフ
ァイトシートをはさんで行うことが好適である。
【0015】一方、請求項9に記載のように、ローラー
で圧延する際に、ローラー間隔を300μm以下の値に
制御して圧延する圧延ローラーを備えた圧延ローラー装
置を使用して行うことが好ましい。
【0016】さらに、請求項10に記載のように、ロー
ラーで圧延する際に、圧延ローラーの圧力を5kg/c
2 以上に設定して印加することが好適である。
【0017】また、請求項11に記載のように、ローラ
ーで圧延する際に、グラファイトシートの送り速度を5
〜500cm/minとするように圧延ローラーの回転
速度を設定することにより、シワの発生を少なくして圧
延することができる。
【0018】また、請求項12に記載のように、予備熱
処理工程における処理温度を1200℃近辺、または1
400℃近辺に設定することにより、圧延後のグラファ
イトシートの厚さを、それぞれの対応する寸法に設定す
ることができる。
【0019】本発明の請求項13に記載の発明は、柔軟
性のあるグラファイトシートの製造装置を、2本1組の
ローラーからなりグラファイトシートを圧延する圧延ロ
ーラーと、2本1組のローラーからなり圧延ローラーの
挿入側に配置された前置きローラーとから構成したもの
で、前記2組のローラーにグラファイトシートを通すこ
とにより、圧延ローラーと前置きローラーの間でグラフ
ァイトシートの凹凸を平らにして圧延することにより柔
軟性、強靱性に富み、熱伝導性に優れたグラファイトシ
ートを得ることができるという作用を有する。
【0020】本発明の請求項14に記載の発明は、柔軟
性のあるグラファイトシートの製造装置を、2本1組の
ローラーからなりグラファイトシートを圧延する圧延ロ
ーラーと、1本のローラーからなり圧延ローラーの挿入
側に配置された前置きローラーと、平坦な板材から成り
前置きローラーの下方に設置されてグラファイトシート
を圧延ローラーに挿入する際の支持台となるテーブルと
から構成したもので、圧延ローラーと前置きローラーの
間でグラファイトシートの凹凸を平らにして圧延するこ
とにより柔軟性、強靱性に富み、熱伝導性に優れたグラ
ファイトシートを得ることができるという作用を有す
る。
【0021】本発明の請求項15に記載の発明は、柔軟
性のあるグラファイトシートの製造装置を、2本1組の
ローラーからなりグラファイトシートを圧延する圧延ロ
ーラーと、1本のローラーからなり圧延ローラーの挿入
側に配置された前置きローラーと、平坦な板材から成り
前置きローラーの下方に設置されてグラファイトシート
を圧延ローラーに挿入する際の支持台となるテーブル
と、圧延ローラーに挿入されるグラファイトシートを上
下方向からはさんで規制するポリイミドフィルムとから
構成したもので、圧延ローラーと前置きローラーの間で
グラファイトシートを上下方向からはさんで凹凸を平ら
にして圧延することにより柔軟性、強靱性に富み、熱伝
導性に優れたグラファイトシートを得ることができると
いう作用を有する。
【0022】
【実施例】(実施例1)ポリイミドフィルムとして、東
レ・デュポン製のもの(商品名カプトン)の膜厚75μ
mのものを用いて実験を行った。予備熱処理は、不活性
ガスとして窒素雰囲気中で最高処理温度を1200℃
(具体的には温度1000℃から1200℃まで)とし
て行った。さらに、高温熱処理をArガス雰囲気下で最
高処理温度を2800℃として行った。こうして焼成し
たグラファイトシートの膜厚は220μmであり、柔軟
性はなく、固くてもろい状態であった。
【0023】このグラファイトシートに対して、2本1
組のローラーからなる圧延ローラー装置を使用し、当該
グラファイトシートの圧延ローラーへの挿入側と反対の
端をクリップではさみ、クリップに付けたひもの反対側
に100gの重りを付け、グラファイトシートをローラ
ーの挿入方向と反対側に引っ張ることで、シートの凹凸
を平らにしながら圧延を行った。
【0024】圧延ローラー装置のローラーは黄銅製で直
径60mm、長さ320mmであり、圧延の速度は、グ
ラファイトシートの送り速度を25cm/minとする
ように圧延ローラーの回転速度を設定して行った。圧延
ローラー機のローラー間隔を200μmに設定して、膜
厚125μmのポリイミドフィルム2枚でグラファイト
シートをはさんで圧延を行ったところ、グラファイトシ
ートの膜厚が100μmにまで圧延され、柔軟性を持つ
ようになったが、シワの発生はみられなかった。
【0025】また、圧延ローラーで圧延する場合に、当
該圧延ローラーの圧力を5kg/cm2 以上に設定して
印加することが好適であることも分かった。
【0026】(実施例2)実施例1と基本的に同様の圧
延ローラー装置を使用して圧延を行なう。図1はこの実
施例で用いる圧延ローラー装置およびこれを使用した圧
延操作の状況を示す側面図である。図1において、1は
柔軟性のあるグラファイトシート、2は2本1組のロー
ラー2a、2bからなりグラファイトシートを圧延する
圧延ローラー、3は2本1組のローラー3a、3bから
なり圧延ローラー2の挿入側に配置された前置きローラ
ーである。すなわちこの実施例に係る圧延ローラー装置
は、圧延ローラー2と前置きローラー3の2組4本のロ
ーラーにより、圧延ローラー2と前置きローラー3の間
でグラファイトシート1の凹凸を平らにする、機能を有
する。
【0027】かかる圧延ローラー装置を使用し、グラフ
ァイトシート1を挿入方向と反対に引っ張る代わりに、
図1に示すように、2本1組のローラーからなる圧延ロ
ーラー2と、圧延ローラー2の挿入側に2本1組のロー
ラーからなる前置きローラー3が置かれた圧延ローラー
装置を使用して圧延を行った。前置きローラー3は黄銅
製で直径45mm、長さ300mm、重さ約4kgのロ
ーラー2本からなり、圧延ローラー2のシート挿入側に
圧延ローラー2の中心と前置きローラー3の中心が60
mmの距離となるように設置した。
【0028】2本の前置きローラー3の間にグラファイ
トシート1を通すことにより、圧延ローラー2の回転に
つれて、グラファイトシート1が圧延ローラー2の方に
引っ張られるのに対して、前置きローラー3の重みでグ
ラファイトシート1を押さえることにより、グラファイ
トシート1の進行方向に対して抵抗力を生じ、圧延ロー
ラー2と前置きローラー3との間でグラファイトシート
1に張力がかかるため、グラファイトシート1の凹凸が
平らになりながら、挿入されるようになった。
【0029】圧延ローラー2のローラー2a、2bの間
隔を200μmに設定して、膜厚125μmのポリイミ
ドフィルム2枚でグラファイトシート1をはさんで、グ
ラファイトシート1の送り速度を25cm/minとす
るように圧延ローラー2の回転速度を設定して圧延を行
ったところ、膜厚が100μmにまで圧延され、柔軟性
を持つようになり、シワの発生はみられなかった。
【0030】(実施例3)実施例1と基本的に同様の圧
延ローラー装置を使用して圧延を行なう。図2はこの実
施例で用いる圧延ローラー装置およびこれを使用した圧
延操作の状況を示す側面図である。図2において、1は
柔軟性のあるグラファイトシート、2は2本1組のロー
ラー2a、2bからなりグラファイトシートを圧延する
圧延ローラー、3は1本のローラーからなり圧延ローラ
ー2の挿入側に配置された前置きローラー、4は平坦な
板材から成りグラファイトシート1を圧延ローラー2に
挿入する際の支持台となるテーブルである。すなわちこ
の実施例に係る圧延ローラー装置は、2本の圧延ローラ
ー2と1本の前置きローラー3の計3本のローラーによ
り、圧延ローラー2と前置きローラー3の間でグラファ
イトシート1の凹凸を平らにする機能を有する。
【0031】かかる構成を有する圧延ローラー装置を使
用し、グラファイトシート1を挿入方向と反対に引っ張
る代わりに、図2に示すように、2本1組のローラーか
らなる圧延ローラー2と、1本の前置きローラー3が圧
延ローラー2の挿入側に設けられたグラファイトシート
1を圧延ローラー2に挿入する際のテーブル4となる平
らな板の上に置かれた圧延ローラー装置を使用して圧延
を行った。前置きローラー3は黄銅製で直径45mm、
長さ300mm、重さ約4kgであり、圧延ローラー2
のシート挿入側の金属板の上に圧延ローラー2の中心と
前置きローラー3の中心が60mmの距離となるように
設置した。
【0032】前置きローラー3と平らな板との間にグラ
ファイトシート1を通すことにより、圧延ローラー2の
回転につれて、グラファイトシート1が圧延ローラー2
の方に引っ張られるのに対して、前置きローラー3の重
みで平らな板との間でグラファイトシート1を押さえる
ことにより、グラファイトシート1の進行方向に対して
抵抗力を生じ、圧延ローラー2と前置きローラー3との
間でグラファイトシート1に張力がかかるため、グラフ
ァイトシート1の凹凸が平らになりながら圧延ローラー
2に挿入されるようになった。
【0033】圧延ローラー2のローラー2a、2bの間
隔を200μmに設定して、膜厚125μmのポリイミ
ドフィルム2枚でグラファイトシート1をはさんで、グ
ラファイトシート1の送り速度を25cm/minとす
るように圧延ローラー2の回転速度を設定して圧延を行
ったところ、膜厚が100μmにまで圧延され、柔軟性
を持つようになり、シワの発生はみられなかった。
【0034】(実施例4)実施例3と基本的に同様の圧
延ローラー装置を使用して圧延を行なう。図3はこの実
施例で用いる圧延ローラー装置およびこれを使用した圧
延操作の状況を示す側面図である。図3において、1は
柔軟性のあるグラファイトシート、2は2本1組のロー
ラー2a、2bからなりグラファイトシートを圧延する
圧延ローラー、3は1本ローラーからなり圧延ローラー
2の挿入側に配置された前置きローラー、4は平坦な板
材から成りグラファイトシート1を圧延ローラーに挿入
する際の支持台となるテーブル、5は圧延ローラーに挿
入されるグラファイトシート1を上下方向からはさんで
規制するポリイミドフィルムである。
【0035】かかる構成を有する圧延ローラー装置を使
用し、図3に示すように、圧延ローラー2の間隔を50
μmに設定して、膜厚125μmのポリイミドフィルム
2枚でグラファイトシート1をはさんで、グラファイト
シート1の送り速度を25cm/minとするように圧
延ローラー2の回転速度を設定して圧延を行ったとこ
ろ、膜厚は65μmにまで圧延され、より一層柔軟性を
持つようになったが、この場合もシワの発生はみられな
かった。
【0036】圧延ローラー2の間隔を50〜450μm
に設定して圧延することにより、圧延後のグラファイト
シート1の膜厚を制御することができ、圧延後の膜厚は
65〜200μmの間とすることができた。
【0037】圧延ローラー2の間隔を50μmに設定し
て、膜厚50μmのポリイミドフィルム2枚でグラファ
イトシート1をはさんで、グラファイトシート1の送り
速度を25cm/minとするように圧延ローラー2の
回転速度を設定して圧延を行ったところ、膜厚は100
μm程度にまで圧延され柔軟性を持つようになったが、
この場合もシワの発生はみられなかった。圧延ローラー
2の間隔を50μmに設定して、膜厚25μmのポリイ
ミドフィルム2枚でグラファイトシート1をはさんで、
グラファイトシート1の送り速度を25cm/minと
するように圧延ローラー2の回転速度を設定して圧延を
行ったところ、膜厚は120μm程度にまで圧延され柔
軟性を持つようになったが、この場合もシワの発生はみ
られなかった。
【0038】(実施例5)実施例3と同様の前置きロー
ラー3を備えた圧延ローラー装置を使用して、圧延ロー
ラー2の間隔を50μmに設定して、膜厚125μmの
ポリイミドフィルム2枚でグラファイトシート1をはさ
んで、グラファイトシート1の送り速度を100cm/
minとするように圧延ローラー2の回転速度を設定し
て圧延を行ったところ、膜厚は65μmにまで圧延され
柔軟性を持つようになったが、この場合もシワの発生は
みられなかった。
【0039】さらに、グラファイトシート1の送り速度
を5〜500cm/minとするように圧延ローラー2
の回転速度を設定して圧延を行ったところ、膜厚は65
μmにまで圧延され柔軟性を持つようになったが、この
場合もシワの発生はみられなかった。
【0040】(実施例6)予備熱処理を、窒素雰囲気中
で最高処理温度を1600℃とした以外は、実施例1と
同様にして実験を行った。このようにして焼成したグラ
ファイトシートの膜厚は200μmであり、柔軟性がな
く、固くてもろい状態であった。このシートを実施例1
と同様にして圧延ローラーで圧延を行ったところ、グラ
ファイトシートの膜厚が95μmまで圧延され、柔軟性
が増加したが、シワの発生はみられなかった。
【0041】また、予備熱処理の最高処理温度を140
0℃とした場合も、上記と同様な効果が得られた。
【0042】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、圧延ロー
ラーの挿入側でグラファイトシートを挿入方向と逆方向
に引っ張り、グラファイトシートの凹凸を平らにして圧
延ローラーに挿入する機能を備えた圧延ローラー装置を
使用して圧延処理をすることにより、ローラー圧延の際
に、グラファイトシートの凹凸を巻き込まないようにで
きるため、シワの発生を防ぐことができ、手作業による
なめし工程に比較して、作業性が飛躍的に向上し、厚さ
の均一性に優れ、柔軟性、強靱性に富み、熱伝導性に優
れたグラファイトシートを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例2における圧延ローラー装置お
よびこれを使用した圧延操作の状況を示す側面図
【図2】本発明の実施例3における圧延ローラー装置お
よびこれを使用した圧延操作の状況を示す側面図
【図3】本発明の実施例4における圧延ローラー装置お
よびこれを使用した圧延操作の状況を示す側面図
【符号の説明】
1 グラファイトシート 2 圧延ローラー 3 前置きローラー 4 テーブル 5 ポリイミドフィルム

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 膜厚300μm以下のポリイミドフィル
    ムを不活性ガス中で室温から昇温して温度1000℃か
    ら1600℃までの温度で焼成する予備熱処理工程と、
    その後さらに室温から昇温して温度2500℃以上で焼
    成する高温熱処理工程を行うことにより作製したグラフ
    ァイトシートを、圧延ローラーの挿入側で挿入方向と逆
    方向にグラファイトシートを引っ張り、グラファイトシ
    ートの凹凸を平らにする機能を備えた圧延ローラー装置
    を使用して圧延処理をすることで柔軟性を発現すること
    を特徴とする膜厚1mm以下の柔軟性のあるグラファイ
    トシートの製造方法。
  2. 【請求項2】 焼成後に行う圧延処理を、2本1組のロ
    ーラーからなる圧延ローラーと、圧延ローラーの挿入側
    に2本1組のローラーからなる前置きローラーが置か
    れ、これら2組のローラーにグラファイトシートを通す
    ことにより、圧延ローラーと前置きローラーの間でグラ
    ファイトシートの凹凸を平らにする、圧延ローラーと前
    置きローラーの2組4本のローラーからなる圧延ローラ
    ー装置を使用して行うことを特徴とする請求項1に記載
    の柔軟性のあるグラファイトシートの製造方法。
  3. 【請求項3】 焼成後に行う圧延処理を、2本1組のロ
    ーラーからなる圧延ローラーと、1本の前置きローラー
    が圧延ローラーの挿入側に設けられたグラファイトシー
    トを圧延ローラーに挿入する際のテーブルとなる平らな
    板の上に置かれており、このローラーにグラファイトシ
    ートを通すことにより、圧延ローラーと前置きローラー
    の間でグラファイトシートの凹凸を平らにする、2本の
    圧延ローラーと1本の前置きローラーの計3本のローラ
    ーからなる圧延ローラー装置を使用して行うことを特徴
    とする請求項1に記載の柔軟性のあるグラファイトシー
    トの製造方法。
  4. 【請求項4】 前置きローラーの重さが、ローラーの長
    さ10cmについて200g〜5kgであることを特徴
    とする請求項1から3のいずれかに記載の柔軟性のある
    グラファイトシートの製造方法。
  5. 【請求項5】 前置きローラーの直径が20mm以上で
    あることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載
    の柔軟性のあるグラファイトシートの製造方法。
  6. 【請求項6】 前置きローラーの中心と圧延ローラーの
    中心との距離が20mm以上であり、前置きローラーと
    圧延ローラーとの間で圧延するグラファイトシートが連
    続していることを特徴とする請求項1から5のいずれか
    に記載の柔軟性のあるグラファイトシートの製造方法。
  7. 【請求項7】 焼成後に行う圧延処理を、耐熱性シート
    あるいは金属シ−トのいずれかでグラファイトシートを
    はさんで行うことを特徴とする請求項1から6のいずれ
    かに記載の柔軟性のあるグラファイトシートの製造方
    法。
  8. 【請求項8】 焼成後に行う圧延処理を、ポリイミドフ
    ィルムでグラファイトシートをはさんで行うことを特徴
    とする請求項1から7のいずれかに記載の柔軟性のある
    グラファイトシートの製造方法。
  9. 【請求項9】 焼成後に行う圧延処理を、圧延ローラー
    の間隔を300μm以下の値に制御して圧延する圧延ロ
    ーラーを備えた圧延ローラー装置を使用して行うことを
    特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の柔軟性の
    あるグラファイトシートの製造方法。
  10. 【請求項10】 焼成後に行う圧延処理を、圧延ローラ
    ーのグラファイトシートにかかる圧力を5kg/cm2
    以上に設定して印加することを特徴とする請求項1から
    9のいずれかに記載の柔軟性のあるグラファイトシート
    の製造方法。
  11. 【請求項11】 焼成後に行う圧延処理を、グラファイ
    トシートの送り速度を5〜500cm/minとするよ
    うに圧延ローラーの回転速度を設定することを特徴とす
    る請求項1から10のいずれかに記載の柔軟性のあるグ
    ラファイトシートの製造方法。
  12. 【請求項12】 予備熱処理工程における処理温度を1
    200℃近辺、または1400℃近辺に設定したことを
    特徴とする請求項1から11のいずれかに記載の柔軟性
    のあるグラファイトシートの製造方法。
  13. 【請求項13】 2本1組のローラーからなりグラファ
    イトシートを圧延する圧延ローラーと、2本1組のロー
    ラーからなり圧延ローラーの挿入側に配置された前置き
    ローラーとから成り、前記2組のローラーにグラファイ
    トシートを通すことにより、圧延ローラーと前置きロー
    ラーの間でグラファイトシートの凹凸を平らにして圧延
    する柔軟性のあるグラファイトシートの製造装置。
  14. 【請求項14】 2本1組のローラーからなりグラファ
    イトシートを圧延する圧延ローラーと、1本のローラー
    からなり圧延ローラーの挿入側に配置された前置きロー
    ラーと、平坦な板材から成り前置きローラーの下方に設
    置されてグラファイトシートを圧延ローラーに挿入する
    際の支持台となるテーブルとから成り、圧延ローラーと
    前置きローラーの間でグラファイトシートの凹凸を平ら
    にして圧延する柔軟性のあるグラファイトシートの製造
    装置。
  15. 【請求項15】 2本1組のローラーからなりグラファ
    イトシートを圧延する圧延ローラーと、1本のローラー
    からなり圧延ローラーの挿入側に配置された前置きロー
    ラーと、平坦な板材から成り前置きローラーの下方に設
    置されてグラファイトシートを圧延ローラーに挿入する
    際の支持台となるテーブルと、圧延ローラーに挿入され
    るグラファイトシートを上下方向からはさんで規制する
    ポリイミドフィルムとから成り、圧延ローラーと前置き
    ローラーの間でグラファイトシートを上下方向からはさ
    んで凹凸を平らにして圧延する柔軟性のあるグラファイ
    トシートの製造装置。
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