JP2000016808A - 柔軟性のあるグラファイトシ―トの製造方法及び装置 - Google Patents

柔軟性のあるグラファイトシ―トの製造方法及び装置

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JP2000016808A
JP2000016808A JP11021938A JP2193899A JP2000016808A JP 2000016808 A JP2000016808 A JP 2000016808A JP 11021938 A JP11021938 A JP 11021938A JP 2193899 A JP2193899 A JP 2193899A JP 2000016808 A JP2000016808 A JP 2000016808A
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Japan
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roller
graphite sheet
rolling
rollers
rolling roller
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JP11021938A
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Akira Taomoto
昭 田尾本
Yoshimasa Oki
木 芳 正 大
Soji Tsuchiya
屋 宗 次 土
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧延ローラーによるグラファイトシートの圧
延操作において、シワの発生をなくすることが可能な柔
軟性のあるグラファイトシートの製造方法及び装置を提
供すること。 【解決手段】 圧延ローラーの挿入側でグラファイトシ
ートを挿入方向と逆方向に引っ張り、グラファイトシー
トの凹凸を平らにして圧延ローラーに挿入する機能を備
えた圧延ローラー装置を使用して圧延処理をする。これ
により、ローラー圧延の際に、グラファイトシートの凹
凸を巻き込まないようにできるため、シワの発生を防ぐ
ことができ、手作業によるなめし工程に比較して、作業
性が飛躍的に向上し、厚さの均一性に優れ、柔軟性、強
靱性に富み、熱伝導性に優れたグラファイトシートを得
ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電気伝導体あるいは
熱伝導体として放熱材、均熱材に利用される柔軟性のあ
るグラファイトシートの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ポリイミドフィルムを熱処理及び圧延処
理によって柔軟性のあるグラファイトシートを直接的に
得る方法がすでに特許１５６６１７６（特公平１−４９
６４２）で知られている。このシートの物性特性として
は単結晶グラファイトと同様なものを持ち、鱗片状の剥
離や、残留酸などの問題が無く、高品質で折れ曲げに強
く柔軟性に富む熱伝導性に優れた、グラファイトシート
が得られる。
【０００３】グラファイトシートの製造方法は、平成９
年特許願第１７５４２４号に記載されている。原料とし
てはグラファイト化反応が可能である縮合系芳香族高分
子フィルムの中でも芳香族系ポリイミド高分子フィルム
を選択し、窒素（Ｎ）やアルゴン（Ａｒ）などの不活性
ガス雰囲気中で最高温度１０００℃から１２００℃まで
予備熱処理を行い、その後、さらに同じく不活性ガス雰
囲気中で、ある昇温速度で最高温度２５００℃以上で高
温熱処理を行うようにしたもので、この時の予備熱処理
と高温熱処理時の昇温速度などの焼成条件を制御するこ
とによって、グラファイトシートを作製することができ
る。
【０００４】このようにして焼成したグラファイトシー
トに、より一層柔軟性を持たせるためには、なめし処理
を行うことが必要であり、手作業によるなめし工程が行
われている。しかしながら、手作業によるなめし工程で
は、力加減となめす回数で厚さを制御しているため、シ
ートの面内で厚さの分布が生じてしまい、厚さの均一性
を持たせることが困難である。また、手作業によるなめ
し工程では、グラファイト粉末が発生し飛散するため、
作業環境が良くない。さらに、手作業によるなめし工程
では、力をかけて繰り返し行うことが必要であるため、
肉体的負荷が大きく、作業性、ひいては生産性が悪い。
【０００５】このような問題点を解決するために、手作
業によるなめし工程に代わるものとして、ローラーによ
る圧延が提案されている。ローラーによる圧延は、２本
１組のローラーの間にグラファイトシートを通して圧延
することにより、手作業によるなめしと同様な効果を出
すものであり、手作業によるなめしに比較して厚さの均
一性に優れている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ローラーによるグラフ
ァイトシートの圧延では、作業性は飛躍的に向上するも
のの圧延中に発生するシワが問題となる。グラファイト
シートにシワが発生すると、熱拡散率、電気伝導度、引
っ張り強度等のグラファイトシートの優れた特性が損な
われる原因となる。ローラー圧延において、シワをでき
るだけ発生しないようにするためには、ローラーに挿入
する前にグラファイトシートの凹凸をできるだけ延ばし
てからローラーに挿入することが重要である。この目的
で、手でグラファイトシートをローラー挿入方向と反対
方向に引っ張り、グラファイトシートの凹凸を平らにし
て凹凸をローラーに巻き込まれないようにしてローラー
圧延を行なっているため、作業効率をあげ、コストを下
げるためには、この手作業の機械化が要望されている。
【０００７】本発明はかかる従来の要望に応えるために
なされたもので、その目的は、圧延ローラーによるグラ
ファイトシートの圧延操作において、シワの発生をなく
することが可能な柔軟性のあるグラファイトシートの製
造方法及び装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明は、圧延ローラーの挿入側でグラファイトシー
トを挿入方向と逆方向に引っ張り、グラファイトシート
の凹凸を平らにする機能を備えた圧延ローラー装置を使
用して圧延及びなめし処理をするものである。そして、
この機能により、ローラー圧延の際に、グラファイトシ
ートの凹凸を巻き込まないようにできるため、シワの発
生を防ぐことができる。
【０００９】また、上記のような作用を及ぼす機構とし
て、圧延ローラーのグラファイトシートの挿入側に前置
きローラーを設置することにより、前置きローラーの重
みでシートを押さえるため、圧延ローラーの回転により
グラファイトシートが圧延ローラー間に引っ張られて進
行するのに対して抵抗力を生じ、圧延ローラーと前置き
ローラーとの間でグラファイトシートに引っ張り力が発
生するため、グラファイトシートの凹凸を平らにする機
能を持たせることができ、シートの凹凸をローラーに巻
き込まないようになるため、ローラー圧延時のシワの発
生を防ぐことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、膜厚３００μｍ以下のポリイミドフィルムを不活性
ガス中で室温から昇温して温度１０００℃から１６００
℃までの温度で焼成する予備熱処理工程と、その後さら
に室温から昇温して温度２５００℃以上で焼成する高温
熱処理工程を行うことにより作製したグラファイトシー
トを、圧延ローラー及び挿入側でグラファイトシートを
挿入方向と逆方向に引っ張り、グラファイトシートの凹
凸を平らにする機能を備えた圧延ローラー装置を使用し
て圧延処理をすることを特徴とする膜厚１ｍｍ以下の柔
軟性を有するグラファイトシートの製造方法であり、柔
軟性、強靱性に富み、熱伝導性に優れたグラファイトシ
ートを得ることができる。
【００１１】請求項２に記載のように、２本１組のロー
ラーからなる圧延ローラーと、圧延ローラーの挿入側に
２本１組のローラーからなる前置きローラーが置かれ、
これら２組のローラーにグラファイトシートを通すこと
により、図１に示すように、圧延ローラーの回転につれ
て、グラファイトシートが圧延ローラーの方に引っ張ら
れるのに対して、前置きローラーの重みでグラファイト
シートを押さえることによりグラファイトシートの進行
方向に対して抵抗力を生じ、圧延ローラーと前置きロー
ラーとの間でグラファイトシートに張力がかかるため、
グラファイトシートの凹凸を平らにする機能を有する圧
延ローラーと前置きローラーの２組４本のローラーから
なる圧延ローラー装置を使用して圧延処理を行うことに
より、ローラー圧延の際に、グラファイトシートの凹凸
を巻き込まないようにできるため、シワの発生を防ぐこ
とができる。
【００１２】前置きローラーとして、請求項３に記載の
ように、２本１組のローラーからなる圧延ローラーと、
１本の前置きローラーが圧延ローラーの挿入側に設けら
れたグラファイトシートを圧延ローラーに挿入する際の
テーブルとなる平らな板の上に置かれており、このロー
ラーにグラファイトシートを通すことにより、図２に示
すように、圧延ローラーの回転につれて、グラファイト
シートが圧延ローラーの方に引っ張られるのに対して、
前置きローラーの重みで平らな板との間でグラファイト
シートを押さえることにより、グラファイトシートの進
行方向に対して抵抗力を生じ、圧延ローラーと前置きロ
ーラーとの間でグラファイトシートに張力がかかるた
め、グラファイトシートの凹凸を平らにする機能を有す
る、２本の圧延ローラーと１本の前置きローラーの計３
本のローラーからなる圧延ローラー装置を使用すること
もできる。
【００１３】前置きローラーとしては、請求項４に記載
のように、ローラーの重さがローラーの長さ１０ｃｍに
つき２００ｇ〜５ｋｇであることが望ましく、請求項５
に記載のように、直径が２０ｍｍ以上であることが適し
ており、請求項６に記載のように、前置きローラーの中
心と圧延ローラーの中心との距離が２０ｍｍ以上である
ことが望ましく、前置きローラーと圧延ローラーとの間
で圧延するグラファイトシートが連続していることが必
要である。
【００１４】さらに、請求項７に記載のように、ローラ
ーで圧延する際に、耐熱性シートあるいは金属シ−トの
いずれかでグラファイトシートをはさんで行うことが可
能である。より具体的には、請求項８に記載のように、
ローラーで圧延する際に、ポリイミドフィルムでグラフ
ァイトシートをはさんで行うことが好適である。
【００１５】一方、請求項９に記載のように、ローラー
で圧延する際に、ローラー間隔を３００μｍ以下の値に
制御して圧延する圧延ローラーを備えた圧延ローラー装
置を使用して行うことが好ましい。
【００１６】さらに、請求項１０に記載のように、ロー
ラーで圧延する際に、圧延ローラーの圧力を５ｋｇ／ｃ
ｍ2 以上に設定して印加することが好適である。
【００１７】また、請求項１１に記載のように、ローラ
ーで圧延する際に、グラファイトシートの送り速度を５
〜５００ｃｍ／ｍｉｎとするように圧延ローラーの回転
速度を設定することにより、シワの発生を少なくして圧
延することができる。
【００１８】また、請求項１２に記載のように、予備熱
処理工程における処理温度を１２００℃近辺、または１
４００℃近辺に設定することにより、圧延後のグラファ
イトシートの厚さを、それぞれの対応する寸法に設定す
ることができる。
【００１９】本発明の請求項１３に記載の発明は、柔軟
性のあるグラファイトシートの製造装置を、２本１組の
ローラーからなりグラファイトシートを圧延する圧延ロ
ーラーと、２本１組のローラーからなり圧延ローラーの
挿入側に配置された前置きローラーとから構成したもの
で、前記２組のローラーにグラファイトシートを通すこ
とにより、圧延ローラーと前置きローラーの間でグラフ
ァイトシートの凹凸を平らにして圧延することにより柔
軟性、強靱性に富み、熱伝導性に優れたグラファイトシ
ートを得ることができるという作用を有する。
【００２０】本発明の請求項１４に記載の発明は、柔軟
性のあるグラファイトシートの製造装置を、２本１組の
ローラーからなりグラファイトシートを圧延する圧延ロ
ーラーと、１本のローラーからなり圧延ローラーの挿入
側に配置された前置きローラーと、平坦な板材から成り
前置きローラーの下方に設置されてグラファイトシート
を圧延ローラーに挿入する際の支持台となるテーブルと
から構成したもので、圧延ローラーと前置きローラーの
間でグラファイトシートの凹凸を平らにして圧延するこ
とにより柔軟性、強靱性に富み、熱伝導性に優れたグラ
ファイトシートを得ることができるという作用を有す
る。
【００２１】本発明の請求項１５に記載の発明は、柔軟
性のあるグラファイトシートの製造装置を、２本１組の
ローラーからなりグラファイトシートを圧延する圧延ロ
ーラーと、１本のローラーからなり圧延ローラーの挿入
側に配置された前置きローラーと、平坦な板材から成り
前置きローラーの下方に設置されてグラファイトシート
を圧延ローラーに挿入する際の支持台となるテーブル
と、圧延ローラーに挿入されるグラファイトシートを上
下方向からはさんで規制するポリイミドフィルムとから
構成したもので、圧延ローラーと前置きローラーの間で
グラファイトシートを上下方向からはさんで凹凸を平ら
にして圧延することにより柔軟性、強靱性に富み、熱伝
導性に優れたグラファイトシートを得ることができると
いう作用を有する。
【００２２】
【実施例】（実施例１）ポリイミドフィルムとして、東
レ・デュポン製のもの（商品名カプトン）の膜厚７５μ
ｍのものを用いて実験を行った。予備熱処理は、不活性
ガスとして窒素雰囲気中で最高処理温度を１２００℃
（具体的には温度１０００℃から１２００℃まで）とし
て行った。さらに、高温熱処理をＡｒガス雰囲気下で最
高処理温度を２８００℃として行った。こうして焼成し
たグラファイトシートの膜厚は２２０μｍであり、柔軟
性はなく、固くてもろい状態であった。
【００２３】このグラファイトシートに対して、２本１
組のローラーからなる圧延ローラー装置を使用し、当該
グラファイトシートの圧延ローラーへの挿入側と反対の
端をクリップではさみ、クリップに付けたひもの反対側
に１００ｇの重りを付け、グラファイトシートをローラ
ーの挿入方向と反対側に引っ張ることで、シートの凹凸
を平らにしながら圧延を行った。
【００２４】圧延ローラー装置のローラーは黄銅製で直
径６０ｍｍ、長さ３２０ｍｍであり、圧延の速度は、グ
ラファイトシートの送り速度を２５ｃｍ／ｍｉｎとする
ように圧延ローラーの回転速度を設定して行った。圧延
ローラー機のローラー間隔を２００μｍに設定して、膜
厚１２５μｍのポリイミドフィルム２枚でグラファイト
シートをはさんで圧延を行ったところ、グラファイトシ
ートの膜厚が１００μｍにまで圧延され、柔軟性を持つ
ようになったが、シワの発生はみられなかった。
【００２５】また、圧延ローラーで圧延する場合に、当
該圧延ローラーの圧力を５ｋｇ／ｃｍ2 以上に設定して
印加することが好適であることも分かった。
【００２６】（実施例２）実施例１と基本的に同様の圧
延ローラー装置を使用して圧延を行なう。図１はこの実
施例で用いる圧延ローラー装置およびこれを使用した圧
延操作の状況を示す側面図である。図１において、１は
柔軟性のあるグラファイトシート、２は２本１組のロー
ラー２ａ、２ｂからなりグラファイトシートを圧延する
圧延ローラー、３は２本１組のローラー３ａ、３ｂから
なり圧延ローラー２の挿入側に配置された前置きローラ
ーである。すなわちこの実施例に係る圧延ローラー装置
は、圧延ローラー２と前置きローラー３の２組４本のロ
ーラーにより、圧延ローラー２と前置きローラー３の間
でグラファイトシート１の凹凸を平らにする、機能を有
する。
【００２７】かかる圧延ローラー装置を使用し、グラフ
ァイトシート１を挿入方向と反対に引っ張る代わりに、
図１に示すように、２本１組のローラーからなる圧延ロ
ーラー２と、圧延ローラー２の挿入側に２本１組のロー
ラーからなる前置きローラー３が置かれた圧延ローラー
装置を使用して圧延を行った。前置きローラー３は黄銅
製で直径４５ｍｍ、長さ３００ｍｍ、重さ約４ｋｇのロ
ーラー２本からなり、圧延ローラー２のシート挿入側に
圧延ローラー２の中心と前置きローラー３の中心が６０
ｍｍの距離となるように設置した。
【００２８】２本の前置きローラー３の間にグラファイ
トシート１を通すことにより、圧延ローラー２の回転に
つれて、グラファイトシート１が圧延ローラー２の方に
引っ張られるのに対して、前置きローラー３の重みでグ
ラファイトシート１を押さえることにより、グラファイ
トシート１の進行方向に対して抵抗力を生じ、圧延ロー
ラー２と前置きローラー３との間でグラファイトシート
１に張力がかかるため、グラファイトシート１の凹凸が
平らになりながら、挿入されるようになった。
【００２９】圧延ローラー２のローラー２ａ、２ｂの間
隔を２００μｍに設定して、膜厚１２５μｍのポリイミ
ドフィルム２枚でグラファイトシート１をはさんで、グ
ラファイトシート１の送り速度を２５ｃｍ／ｍｉｎとす
るように圧延ローラー２の回転速度を設定して圧延を行
ったところ、膜厚が１００μｍにまで圧延され、柔軟性
を持つようになり、シワの発生はみられなかった。
【００３０】（実施例３）実施例１と基本的に同様の圧
延ローラー装置を使用して圧延を行なう。図２はこの実
施例で用いる圧延ローラー装置およびこれを使用した圧
延操作の状況を示す側面図である。図２において、１は
柔軟性のあるグラファイトシート、２は２本１組のロー
ラー２ａ、２ｂからなりグラファイトシートを圧延する
圧延ローラー、３は１本のローラーからなり圧延ローラ
ー２の挿入側に配置された前置きローラー、４は平坦な
板材から成りグラファイトシート１を圧延ローラー２に
挿入する際の支持台となるテーブルである。すなわちこ
の実施例に係る圧延ローラー装置は、２本の圧延ローラ
ー２と１本の前置きローラー３の計３本のローラーによ
り、圧延ローラー２と前置きローラー３の間でグラファ
イトシート１の凹凸を平らにする機能を有する。
【００３１】かかる構成を有する圧延ローラー装置を使
用し、グラファイトシート１を挿入方向と反対に引っ張
る代わりに、図２に示すように、２本１組のローラーか
らなる圧延ローラー２と、１本の前置きローラー３が圧
延ローラー２の挿入側に設けられたグラファイトシート
１を圧延ローラー２に挿入する際のテーブル４となる平
らな板の上に置かれた圧延ローラー装置を使用して圧延
を行った。前置きローラー３は黄銅製で直径４５ｍｍ、
長さ３００ｍｍ、重さ約４ｋｇであり、圧延ローラー２
のシート挿入側の金属板の上に圧延ローラー２の中心と
前置きローラー３の中心が６０ｍｍの距離となるように
設置した。
【００３２】前置きローラー３と平らな板との間にグラ
ファイトシート１を通すことにより、圧延ローラー２の
回転につれて、グラファイトシート１が圧延ローラー２
の方に引っ張られるのに対して、前置きローラー３の重
みで平らな板との間でグラファイトシート１を押さえる
ことにより、グラファイトシート１の進行方向に対して
抵抗力を生じ、圧延ローラー２と前置きローラー３との
間でグラファイトシート１に張力がかかるため、グラフ
ァイトシート１の凹凸が平らになりながら圧延ローラー
２に挿入されるようになった。
【００３３】圧延ローラー２のローラー２ａ、２ｂの間
隔を２００μｍに設定して、膜厚１２５μｍのポリイミ
ドフィルム２枚でグラファイトシート１をはさんで、グ
ラファイトシート１の送り速度を２５ｃｍ／ｍｉｎとす
るように圧延ローラー２の回転速度を設定して圧延を行
ったところ、膜厚が１００μｍにまで圧延され、柔軟性
を持つようになり、シワの発生はみられなかった。
【００３４】（実施例４）実施例３と基本的に同様の圧
延ローラー装置を使用して圧延を行なう。図３はこの実
施例で用いる圧延ローラー装置およびこれを使用した圧
延操作の状況を示す側面図である。図３において、１は
柔軟性のあるグラファイトシート、２は２本１組のロー
ラー２ａ、２ｂからなりグラファイトシートを圧延する
圧延ローラー、３は１本ローラーからなり圧延ローラー
２の挿入側に配置された前置きローラー、４は平坦な板
材から成りグラファイトシート１を圧延ローラーに挿入
する際の支持台となるテーブル、５は圧延ローラーに挿
入されるグラファイトシート１を上下方向からはさんで
規制するポリイミドフィルムである。
【００３５】かかる構成を有する圧延ローラー装置を使
用し、図３に示すように、圧延ローラー２の間隔を５０
μｍに設定して、膜厚１２５μｍのポリイミドフィルム
２枚でグラファイトシート１をはさんで、グラファイト
シート１の送り速度を２５ｃｍ／ｍｉｎとするように圧
延ローラー２の回転速度を設定して圧延を行ったとこ
ろ、膜厚は６５μｍにまで圧延され、より一層柔軟性を
持つようになったが、この場合もシワの発生はみられな
かった。
【００３６】圧延ローラー２の間隔を５０〜４５０μｍ
に設定して圧延することにより、圧延後のグラファイト
シート１の膜厚を制御することができ、圧延後の膜厚は
６５〜２００μｍの間とすることができた。
【００３７】圧延ローラー２の間隔を５０μｍに設定し
て、膜厚５０μｍのポリイミドフィルム２枚でグラファ
イトシート１をはさんで、グラファイトシート１の送り
速度を２５ｃｍ／ｍｉｎとするように圧延ローラー２の
回転速度を設定して圧延を行ったところ、膜厚は１００
μｍ程度にまで圧延され柔軟性を持つようになったが、
この場合もシワの発生はみられなかった。圧延ローラー
２の間隔を５０μｍに設定して、膜厚２５μｍのポリイ
ミドフィルム２枚でグラファイトシート１をはさんで、
グラファイトシート１の送り速度を２５ｃｍ／ｍｉｎと
するように圧延ローラー２の回転速度を設定して圧延を
行ったところ、膜厚は１２０μｍ程度にまで圧延され柔
軟性を持つようになったが、この場合もシワの発生はみ
られなかった。
【００３８】（実施例５）実施例３と同様の前置きロー
ラー３を備えた圧延ローラー装置を使用して、圧延ロー
ラー２の間隔を５０μｍに設定して、膜厚１２５μｍの
ポリイミドフィルム２枚でグラファイトシート１をはさ
んで、グラファイトシート１の送り速度を１００ｃｍ／
ｍｉｎとするように圧延ローラー２の回転速度を設定し
て圧延を行ったところ、膜厚は６５μｍにまで圧延され
柔軟性を持つようになったが、この場合もシワの発生は
みられなかった。
【００３９】さらに、グラファイトシート１の送り速度
を５〜５００ｃｍ／ｍｉｎとするように圧延ローラー２
の回転速度を設定して圧延を行ったところ、膜厚は６５
μｍにまで圧延され柔軟性を持つようになったが、この
場合もシワの発生はみられなかった。
【００４０】（実施例６）予備熱処理を、窒素雰囲気中
で最高処理温度を１６００℃とした以外は、実施例１と
同様にして実験を行った。このようにして焼成したグラ
ファイトシートの膜厚は２００μｍであり、柔軟性がな
く、固くてもろい状態であった。このシートを実施例１
と同様にして圧延ローラーで圧延を行ったところ、グラ
ファイトシートの膜厚が９５μｍまで圧延され、柔軟性
が増加したが、シワの発生はみられなかった。
【００４１】また、予備熱処理の最高処理温度を１４０
０℃とした場合も、上記と同様な効果が得られた。
【００４２】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、圧延ロー
ラーの挿入側でグラファイトシートを挿入方向と逆方向
に引っ張り、グラファイトシートの凹凸を平らにして圧
延ローラーに挿入する機能を備えた圧延ローラー装置を
使用して圧延処理をすることにより、ローラー圧延の際
に、グラファイトシートの凹凸を巻き込まないようにで
きるため、シワの発生を防ぐことができ、手作業による
なめし工程に比較して、作業性が飛躍的に向上し、厚さ
の均一性に優れ、柔軟性、強靱性に富み、熱伝導性に優
れたグラファイトシートを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例２における圧延ローラー装置お
よびこれを使用した圧延操作の状況を示す側面図
【図２】本発明の実施例３における圧延ローラー装置お
よびこれを使用した圧延操作の状況を示す側面図
【図３】本発明の実施例４における圧延ローラー装置お
よびこれを使用した圧延操作の状況を示す側面図
【符号の説明】
１ グラファイトシート ２ 圧延ローラー ３ 前置きローラー ４ テーブル ５ ポリイミドフィルム

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 膜厚３００μｍ以下のポリイミドフィル
    ムを不活性ガス中で室温から昇温して温度１０００℃か
    ら１６００℃までの温度で焼成する予備熱処理工程と、
    その後さらに室温から昇温して温度２５００℃以上で焼
    成する高温熱処理工程を行うことにより作製したグラフ
    ァイトシートを、圧延ローラーの挿入側で挿入方向と逆
    方向にグラファイトシートを引っ張り、グラファイトシ
    ートの凹凸を平らにする機能を備えた圧延ローラー装置
    を使用して圧延処理をすることで柔軟性を発現すること
    を特徴とする膜厚１ｍｍ以下の柔軟性のあるグラファイ
    トシートの製造方法。
  2. 【請求項２】 焼成後に行う圧延処理を、２本１組のロ
    ーラーからなる圧延ローラーと、圧延ローラーの挿入側
    に２本１組のローラーからなる前置きローラーが置か
    れ、これら２組のローラーにグラファイトシートを通す
    ことにより、圧延ローラーと前置きローラーの間でグラ
    ファイトシートの凹凸を平らにする、圧延ローラーと前
    置きローラーの２組４本のローラーからなる圧延ローラ
    ー装置を使用して行うことを特徴とする請求項１に記載
    の柔軟性のあるグラファイトシートの製造方法。
  3. 【請求項３】 焼成後に行う圧延処理を、２本１組のロ
    ーラーからなる圧延ローラーと、１本の前置きローラー
    が圧延ローラーの挿入側に設けられたグラファイトシー
    トを圧延ローラーに挿入する際のテーブルとなる平らな
    板の上に置かれており、このローラーにグラファイトシ
    ートを通すことにより、圧延ローラーと前置きローラー
    の間でグラファイトシートの凹凸を平らにする、２本の
    圧延ローラーと１本の前置きローラーの計３本のローラ
    ーからなる圧延ローラー装置を使用して行うことを特徴
    とする請求項１に記載の柔軟性のあるグラファイトシー
    トの製造方法。
  4. 【請求項４】 前置きローラーの重さが、ローラーの長
    さ１０ｃｍについて２００ｇ〜５ｋｇであることを特徴
    とする請求項１から３のいずれかに記載の柔軟性のある
    グラファイトシートの製造方法。
  5. 【請求項５】 前置きローラーの直径が２０ｍｍ以上で
    あることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載
    の柔軟性のあるグラファイトシートの製造方法。
  6. 【請求項６】 前置きローラーの中心と圧延ローラーの
    中心との距離が２０ｍｍ以上であり、前置きローラーと
    圧延ローラーとの間で圧延するグラファイトシートが連
    続していることを特徴とする請求項１から５のいずれか
    に記載の柔軟性のあるグラファイトシートの製造方法。
  7. 【請求項７】 焼成後に行う圧延処理を、耐熱性シート
    あるいは金属シ−トのいずれかでグラファイトシートを
    はさんで行うことを特徴とする請求項１から６のいずれ
    かに記載の柔軟性のあるグラファイトシートの製造方
    法。
  8. 【請求項８】 焼成後に行う圧延処理を、ポリイミドフ
    ィルムでグラファイトシートをはさんで行うことを特徴
    とする請求項１から７のいずれかに記載の柔軟性のある
    グラファイトシートの製造方法。
  9. 【請求項９】 焼成後に行う圧延処理を、圧延ローラー
    の間隔を３００μｍ以下の値に制御して圧延する圧延ロ
    ーラーを備えた圧延ローラー装置を使用して行うことを
    特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の柔軟性の
    あるグラファイトシートの製造方法。
  10. 【請求項１０】 焼成後に行う圧延処理を、圧延ローラ
    ーのグラファイトシートにかかる圧力を５ｋｇ／ｃｍ2
    以上に設定して印加することを特徴とする請求項１から
    ９のいずれかに記載の柔軟性のあるグラファイトシート
    の製造方法。
  11. 【請求項１１】 焼成後に行う圧延処理を、グラファイ
    トシートの送り速度を５〜５００ｃｍ／ｍｉｎとするよ
    うに圧延ローラーの回転速度を設定することを特徴とす
    る請求項１から１０のいずれかに記載の柔軟性のあるグ
    ラファイトシートの製造方法。
  12. 【請求項１２】 予備熱処理工程における処理温度を１
    ２００℃近辺、または１４００℃近辺に設定したことを
    特徴とする請求項１から１１のいずれかに記載の柔軟性
    のあるグラファイトシートの製造方法。
  13. 【請求項１３】 ２本１組のローラーからなりグラファ
    イトシートを圧延する圧延ローラーと、２本１組のロー
    ラーからなり圧延ローラーの挿入側に配置された前置き
    ローラーとから成り、前記２組のローラーにグラファイ
    トシートを通すことにより、圧延ローラーと前置きロー
    ラーの間でグラファイトシートの凹凸を平らにして圧延
    する柔軟性のあるグラファイトシートの製造装置。
  14. 【請求項１４】 ２本１組のローラーからなりグラファ
    イトシートを圧延する圧延ローラーと、１本のローラー
    からなり圧延ローラーの挿入側に配置された前置きロー
    ラーと、平坦な板材から成り前置きローラーの下方に設
    置されてグラファイトシートを圧延ローラーに挿入する
    際の支持台となるテーブルとから成り、圧延ローラーと
    前置きローラーの間でグラファイトシートの凹凸を平ら
    にして圧延する柔軟性のあるグラファイトシートの製造
    装置。
  15. 【請求項１５】 ２本１組のローラーからなりグラファ
    イトシートを圧延する圧延ローラーと、１本のローラー
    からなり圧延ローラーの挿入側に配置された前置きロー
    ラーと、平坦な板材から成り前置きローラーの下方に設
    置されてグラファイトシートを圧延ローラーに挿入する
    際の支持台となるテーブルと、圧延ローラーに挿入され
    るグラファイトシートを上下方向からはさんで規制する
    ポリイミドフィルムとから成り、圧延ローラーと前置き
    ローラーの間でグラファイトシートを上下方向からはさ
    んで凹凸を平らにして圧延する柔軟性のあるグラファイ
    トシートの製造装置。
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