JP2000012364A - ビーズインダクタの製造方法及びビーズインダクタ - Google Patents

ビーズインダクタの製造方法及びビーズインダクタ

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JP2000012364A JP10175650A JP17565098A JP2000012364A JP 2000012364 A JP2000012364 A JP 2000012364A JP 10175650 A JP10175650 A JP 10175650A JP 17565098 A JP17565098 A JP 17565098A JP 2000012364 A JP2000012364 A JP 2000012364A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 生産性に優れ、かつ内部導体と外部端子電極
の接続性の信頼性に優れたビーズインダクタを製造す
る。 【解決手段】 磁性粉末を含有した樹脂またはゴム中に
内部導体12が埋め込まれ、該内部導体12の両端に該
内部導体12と電気的に接続された外部端子電極13,
14が設けられているビーズインダクタの製造方法にお
いて、内部導体12と外部端子電極13,14を一体化
して形成する工程と、内部導体12と外部端子電極1
3,14の一体化物を金型21,22内に配置する工程
と、金型21,22内で内部導体12を埋め込むように
磁性体粉末を含有した樹脂またはゴムを成型する工程と
を備えることを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ノイズ対策などの
目的で用いられるビーズインダクタの製造方法に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】ノイズ対策用部品、特に大電流を流す必
要のあるマイクロプロセッサー等のノイズ対策用部品と
してビーズインダクタが用いられている。従来のビーズ
インダクタは、フェライト粉末等の磁性体粉末を含有し
た樹脂またはゴム中に、内部導体としてのコイルを射出
成型等によって埋め込み、得られた成型体の両端を切削
し、内部のコイルの両端部を露出させた後、これに金属
キャップを導電性樹脂ペーストやスポット溶接により取
付けて外部端子電極としている。
【0003】図12及び図13は、従来のビーズインダ
クタの製造方法を説明するための断面図である。図12
を参照して、ビーズインダクタを製造するための射出成
型用金型は、上金型1及び下金型2から構成されてい
る。上金型1には樹脂を成型する空間となるキャビティ
3が形成されている。また下金型2には、上金型1と嵌
合させたときにキャビティ内に配置されるピン4が設け
られている。上金型1にはキャビティ3内に溶融樹脂を
供給するためのゲート1aが形成されている。
【0004】図12に示す金型を用いて従来のビーズイ
ンダクタを製造するには、まずピン4に内部導体となる
空芯コイルが挿入される。次に、フェライト粉末等の磁
性体粉末を含有した溶融樹脂がゲート1aからキャビテ
ィ3内に射出される。これによりピン4に挿入されたコ
イルの外側の部分が成型される。
【0005】図13は、以上のようにしてコイル5の外
側の樹脂部8aを成型した状態を示す断面図である。次
に、ピン4を抜取り、残った空間内にコイル5の外側と
同じ樹脂を射出成型し、コイル5の内側を成型する。
【0006】以上のようにして得られた成型体の両端部
を、ダイシングソー等により切削することにより、コイ
ルの両端部を露出し、露出したコイルの両端部と電気的
に接続されるように、導電性樹脂ペーストまたはスポッ
ト溶接等により金属キャップを両端部に取り付ける。
【0007】図14及び図15は、以上のようにして得
られる従来のビーズインダクタの一例を示す側面図及び
平面図である。図14及び図15に示すように、従来の
ビーズインダクタにおいては、成型樹脂部8内にコイル
5が埋め込まれており、コイル5の両端部には金属キャ
ップ6及び7が取付けられている。金属キャップ6及び
7は、それぞれコイル5の両端部と電気的に接続されて
おり、外部端子電極として用いられる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
ビーズインダクタの製造方法においては、内部導体とし
てのコイルを射出成型等により樹脂等で埋め込んだ後、
内部導体の両端部を露出させるため、成型後の成型体に
切削加工または研磨加工等の処理を施す必要があった。
また、内部導体と金属キャップ等の外部端子電極とを半
田、溶接、または導電性接着剤等により電気的に接続し
なければならないという問題があった。また、半田や導
電性接着剤等による電気的接続では、断線やコンタクト
劣化等の問題が生じやすく、接続の信頼性に劣るという
問題があった。
【0009】本発明の目的は、生産性に優れ、かつ内部
導体と外部端子電極の接続の信頼性に優れたビーズイン
ダクタの製造方法を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、磁性体粉末を含有した樹脂またはゴム中に内部導体
が埋め込まれ、該内部導体の両端に該内部導体と電気的
に接続された外部端子電極が設けられているビーズイン
ダクタを製造する方法であり、内部導体と外部端子電極
を一体化して形成する工程と、内部導体と外部端子電極
の一体化物を金型内に配置する工程と、金型内で内部導
体を埋め込むように磁性体粉末を含有した樹脂またはゴ
ムを成型する工程とを備えることを特徴としている。
【0011】請求項1に記載の発明によれば、内部導体
と外部端子電極を一体化した一体化物を用いているの
で、内部導体と外部端子電極とが予め電気的に接続され
ており、成型後に内部導体の両端部を露出させ、これに
外部端子電極を電気的に接続する工程が不要となる。ま
た、内部導体と外部端子電極とが予め一体化されている
ので、従来に比べ接続の信頼性が向上する。
【0012】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の発明において、樹脂またはゴムを金型内の内部導体の
周りに供給するための貫通孔が外部端子電極の一方また
は両方に形成されていることを特徴としている。外部端
子電極の一方または両方にこのような貫通孔を形成する
ことにより、金型内において外部端子電極の外側から溶
融樹脂等を供給し射出成型等を行うことができる。従っ
て、金型の設計が容易になる。また、金型内のキャビテ
ィの寸法形状を、内部導体と外部端子電極の一体化物の
寸法形状に合わせることができ、内部導体の周りを覆い
内部導体を埋め込むための樹脂等が、多量に外部端子電
極に付着するのを防止することができる。
【0013】請求項3に記載の発明は、請求項1に記載
の発明において、内部導体と外部端子電極の一体化物が
金属板を加工することにより一体的に形成されることを
特徴としている。例えば、金属板を打ち抜き、これを曲
げ加工等することにより、内部導体の両端に一対の外部
端子電極が形成された一体化物を形成することができ
る。
【0014】請求項3に記載の発明によれば、簡易な工
程で内部導体と外部端子電極の一体化物を形成すること
ができる。請求項4に記載の発明は、内部導体と外部端
子電極の一体化物が、別個に成形した内部導体と外部端
子電極を一体化することにより形成されることを特徴と
している。
【0015】請求項4に記載の発明によれば、別個に成
形した内部導体と外部端子電極とを一体化するので、金
属板の加工では成形が難しいような内部導体または外部
端子電極の一体化物を形成することができる。例えば、
コイル状の内部導体を有した一体化物を形成することが
できる。内部導体と外部端子電極を一体化する方法とし
ては、溶接、半田、導電性接着剤による接着などの方法
が挙げられる。
【0016】請求項5に記載の発明は、請求項4に記載
の発明において、内部導体と外部端子電極を溶接により
一体化することを特徴としている。請求項5に記載の発
明では、溶接により内部導体と外部端子電極とを一体化
している。このように溶接により一体化することによ
り、内部導体と外部端子電極との接続強度を高めること
ができる。
【0017】請求項6に記載の発明は、請求項4に記載
の発明において、内部導体がコイル状であることを特徴
としている。コイル状の内部導体を用いることにより、
内部導体の実質的な長さを長くすることができ、インダ
クタンスを容易に調整することができる。
【0018】請求項7に記載の発明は、磁性体粉末を含
有した樹脂またはゴム中に内部導体が埋め込まれ、該内
部導体の両端に該内部導体と電気的に接続された外部端
子電極が設けられているビーズインダクタであり、内部
導体と外部端子電極が予め一体化されていることを特徴
としている。
【0019】請求項7に記載の発明のビーズインダクタ
は、内部導体と外部端子電極が予め一体化されているの
で、その製造工程を簡略化することができ、効率的に生
産することができる。また、内部導体と外部端子電極と
が予め一体化されているので、従来に比べ接続の信頼性
を向上させることができる。
【0020】請求項8に記載の発明は、請求項7に記載
の発明において、内部導体と外部端子電極が、金属板を
加工することにより一体的に形成されていることを特徴
としいる。
【0021】請求項8に記載の発明によれば、金属板を
加工することにより、内部導体と外部端子電極とを同時
に一体的に形成することができるので、製造工程を簡略
化することができ、効率的に生産することができる。
【0022】請求項9に記載の発明は、請求項7に記載
の発明において、内部導体と外部端子電極が、別個に成
形した内部導体と外部端子電極を溶接により一体化して
形成されていることを特徴としている。
【0023】請求項9に記載の発明によれば、溶接によ
り内部導体と外部端子電極とを一体化しているので、内
部導体と外部端子電極との接続強度を高め、接続の信頼
性を向上させることができる。
【0024】請求項10に記載の発明は、請求項9に記
載の発明における内部導体がコイル状であることを特徴
としている。コイル状の内部導体を用いることにより、
内部導体の実質的な長さを長くすることができ、インダ
クタンスを容易に調整することができる。
【0025】
【発明の実施の形態】図2は、本発明に従う一実施例に
おける内部導体と外部端子電極の一体化物を形成するた
めの金属板片を示す斜視図である。図2に示す金属板片
11は、例えば金属板を打ち抜き加工等することにより
形成することができる。金属板としては、電極として用
いることができる導電性を有し、かつ加工が容易なもの
であれば特に限定されるものではなく、例えば銅板を用
いることができる。本実施例では銅板を打ち抜くことに
より金属板片を形成している。
【0026】金属板片11は、棒状の内部導体12と、
該内部導体12の両端部に設けられる矩形状の第1の外
部端子電極13及び第2の外部端子電極14から構成さ
れている。第2の外部端子電極14には、図示のような
貫通孔14aが形成されている。
【0027】図3は、図2に示す金属板片を曲げ加工す
ることにより形成した内部導体と外部端子電極の一体化
物を示す斜視図である。図2に示す金属板片11におい
て、点線で示す部分を折り曲げることにより、図3に示
すような一体化物を形成することができる。内部導体1
2の両端部にそれぞれ外部端子電極13及び14が設け
られており、それぞれの外部端子電極13及び14は互
いに対向するように配置されている。なお曲げ加工部分
を補強するため、必要に応じて、曲げ加工を施した部分
にスポット溶接等を行ってもよい。
【0028】図1は、図3に示す内部導体と外部端子電
極の一体化物を用いて、本発明に従いビーズインダクタ
を製造する工程を説明するための断面図である。図1に
示すように、一体化物11を上金型21及び下金型22
からなる金型内のキャビティ23内に配置する。キャビ
ティ23は、上金型21内に形成されており、一体化物
11の寸法形状に合わせた寸法形状となるように形成さ
れている。上金型21には、キャビティ23内に溶融樹
脂を供給するためのゲート21aが形成されている。射
出成型の際、このゲート21aを通り溶融樹脂がキャビ
ティ23内に供給される。一体化物11は、第2の外部
端子電極14が上金型21のキャビティ23の上面に接
するように配置される。外部端子電極14の貫通孔14
aは、キャビティ23内に配置された状態において、ゲ
ート21aの位置に合うように形成されている。
【0029】図1に示すように一体化物11をキャビテ
ィ23内に配置した状態でゲート21aからキャビティ
23内に溶融樹脂を射出し、内部導体12の周りに溶融
樹脂を注入して成型する。溶融樹脂としては、フェライ
ト粉末などの磁性体粉末を含有した樹脂が用いられる。
磁性体粉末の含有量は、例えば、80〜90重量%程度
が一般的であり、樹脂としては、例えば、PPS(ポリ
フェニレンサルファイド)樹脂などが用いられる。
【0030】図1に示すようにゲート21aに対応する
第2の外部端子電極14の位置には、貫通孔14aが形
成されている。従って、ゲート21aを通り供給される
溶融樹脂は、この貫通孔14aを通り、一対の外部端子
電極13,14間の内部導体12の周りに供給され、内
部導体12を埋め込むように成型される。
【0031】キャビティ23の寸法形状は、上述のよう
に一体化物11の寸法形状に合うように設定されている
ので、第1の外部端子電極13及び第2の外部端子電極
14は、キャビティ23の下端及び上端に位置する。従
って、溶融樹脂がキャビティ23内に注入され成型され
る際、これらの外部端子電極13及び14に多量の溶融
樹脂が付着し被覆されることはない。
【0032】以上のようにして内部導体12を埋め込む
ように樹脂成型した後、成型物を取出し、バレル研磨処
理を行う。上述のように外部端子電極13及び14には
多量の樹脂は付着しないが、若干量の樹脂が付着してい
るので、このバレル研磨処理により、付着した樹脂を除
去することができる。
【0033】図3に示す実施例では、第2の外部端子電
極14にのみ貫通孔14aを形成しているが、第1の外
部端子電極13にも、同様の位置に貫通孔を形成しても
よい。このように両方の外部端子電極に貫通孔を形成し
ておくことにより、どちらの外部端子電極が上方になっ
ても射出成型を行うことができる。
【0034】図4及び図5は、以上のようにして得られ
るビーズインダクタを示す側面図及び平面図である。図
4及び図5に示すように、外部端子電極13及び14の
間の内部導体12の周りにはフェライト粉末等を含有し
た樹脂部15が形成されており、この樹脂部15により
内部導体12が埋め込まれている。内部導体12の両端
にはすでに電気的に接続された外部端子電極13及び1
4が設けられているので、従来のように成型体に金属キ
ャップ等を取り付ける工程が必要でなくなる。外部端子
電極13及び14には、必要に応じて半田付け性を向上
させるため、半田処理を行ってもよい。
【0035】以上のように、本発明に従えば、射出成型
後、内部電極の電極部分を露出させるための切削や研磨
等が不要であり、さらにすでに外部端子電極を有してい
るので、金属キャップ等を取り付ける工程も不要とな
る。また、内部導体12と外部端子電極13及び14
は、予め電気的に接続されているので、接続信頼性を高
めることができる。
【0036】図6及び図7は金属板を加工することによ
り一体的に一体化物を形成する他の実施例を説明するた
めの斜視図である。図6は、金属板に打ち抜き加工等を
施すことにより得られる金属板片を示している。図6に
示す金属板片31においては、内部導体32の両端部に
第1の外部端子電極33及び第2の外部端子電極34が
形成されている。第1の外部端子電極33には中央部近
傍まで切り込み32a及び32bが形成されており、内
部導体32の端部が第1の外部端子電極の中央部に位置
するように形成されている。第2の外部端子電極34に
おいても同様に、中央部近傍まで切り込み32c及び3
2dが形成されており、内部導体32の端部が第2の外
部端子電極34の中央部に位置するように形成されてい
る。
【0037】図7は、図6に示す金属板片を曲げ加工す
ることにより得られる内部導体32と外部端子電極3
3,34の一体化物を示している。図7に示すように、
第1の外部端子電極33と第2の外部端子電極34は、
内部導体32に対し、略垂直となるように曲げられ、外
部端子電極33,34が互いに対向するように曲げ加工
が施される。この一体化物31を、図3に示す一体化物
11と同様に、図1に示す上金型21と下金型22から
なる金型内のキャビティ23内に配置し、上述の実施例
と同様にして溶融樹脂を射出成型し、内部導体32を埋
め込むように樹脂成型部を形成することによりビーズイ
ンダクタを製造することができる。
【0038】図7に示す実施例では、内部導体32と外
部端子電極33,34を曲げ加工することにより、外部
端子電極33,34に、それぞれ図7に示すような切り
欠き部33a,34aが形成される。従って、本実施例
では、図3に示すような貫通孔14aを形成する必要が
なく、このような切り欠き部33a,34aを通して溶
融樹脂をキャビティ内に供給することができる。この場
合、金型のゲートがこのような切り欠き部33a,34
aの位置に対応するように配置しておく。
【0039】図8及び図9は、本発明に従うさらに他の
実施例を説明するための側面図である。図8及び図9に
示す実施例では、別個に成形した内部導体と外部端子電
極とを一体化することにより、内部導体と外部端子電極
の一体化物を形成する。
【0040】図8を参照して、内部導体42、外部端子
電極43及び44をそれぞれ別個に成形する。内部導体
42としては、例えば被覆銅線からなるコイルが用いら
れる。外部端子電極43及び44としては、例えば、銅
板等の金属板からなる矩形状の金属板片が用いられる。
外部端子電極44には、図2及び図3に示す実施例と同
様に、貫通孔44aが形成されている。
【0041】図9は、図8に示す内部導体42と外部端
子電極43及び44とを溶接により一体化した一体化物
を示す側面図である。図9に示すように内部導体42の
端部と外部端子電極43とを溶接部45で溶接し、内部
導体42の端部と外部端子電極44とを溶接部46で溶
接し、内部導体42と外部端子電極43,44の一体化
物を形成する。
【0042】以上のようにして得られる一体化物を、図
1に示すキャビティ23内に配置し、上述のようにして
フェライト粉末等を含有した樹脂を内部導体42の周り
に射出成型し、内部導体42を樹脂成型部で埋め込むこ
とによりビーズインダクタを製造することができる。
【0043】図10及び図11は、以上のようにして得
られる実施例のビーズインダクタを示す側面図及び平面
図である。図10及び図11に示すように、外部端子電
極43,44の間の内部導体42の周りには、内部導体
42を埋め込むように樹脂成型部47が形成されてい
る。外部端子電極43及び44は、すでに外部に露出し
た状態であるので、金属キャップ等をさらに設ける必要
はなく、これらの外部端子電極43及び44を、回路に
接続するための電極として用いることができる。
【0044】本実施例では、内部導体と外部端子電極と
を別個に成形し、これらを一体化しているので、内部導
体としてコイル状のものを用いることができる。上記実
施例では、溶接により内部導体と外部端子電極とを一体
化しているが、本発明はこれに限定されるものではな
く、半田や導電性接着剤による接着等その他の方法によ
り一体化してもよい。また、端子電極44にのみ貫通孔
44aを形成しているが、外部端子電極43にも同様に
貫通孔を形成してもよい。
【0045】
【発明の効果】請求項1に記載の発明に従えば、樹脂ま
たはゴムを成型した後、内部導体を露出するための切削
や研磨等の処理が不要となり、また金属キャップ等の外
部端子電極を内部導体と電気的に接続して取り付ける工
程が不要となる。従って、製造工程を簡易にすることが
でき、効率的に生産することができる。また、内部導体
と外部端子電極の一体化物を用いているので、内部導体
と外部端子電極の接続の信頼性を高めることができる。
【0046】請求項2に記載の発明に従えば、外部端子
電極に形成された貫通孔を用いて、樹脂またはゴムを金
型内の内部導体の周りに供給することができるので、金
型設計が容易になり、樹脂またはゴムの成型が容易にな
る。
【0047】請求項3に記載の発明に従えば、内部導体
と外部端子電極の一体化物を簡易に形成することができ
る。請求項4〜6に記載の発明に従えば、別個に成形し
た内部導体と外部端子電極を一体化することにより、内
部導体と外部端子電極の一体化物を形成するので、内部
導体及び外部端子電極として種々の設計が可能となり、
例えば内部導体としてコイル状の内部導体を用いること
ができる。
【0048】請求項7に記載の発明に従えば、内部導体
と外部端子電極が予め一体化されているので、金属キャ
ップ等の外部端子電極を内部導体と電気的に接続して取
り付ける工程が不要となり、製造工程を簡易にすること
ができ、効率的に生産することができる。また、内部導
体と外部端子電極の接続の信頼性を高めることができ
る。
【0049】請求項8に記載の発明に従えば、簡易な工
程で製造することができ、かつ内部導体と外部端子電極
の接続の信頼性の高いビーズインダクタとすることがで
きる。
【0050】請求項9に記載の発明に従えば、内部導体
と外部端子電極との接続強度を高めることがき、接続信
頼性を高めることができる。請求項10に記載の発明に
従えば、内部導体の実質的な長さを長くすることがで
き、インダクタンスを容易に調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に従う一実施例のビーズインダクタの製
造工程を説明するための断面図。
【図2】本発明に従う一実施例において用いられる内部
導体と外部端子電極の一体化物を形成するための金属板
片を示す斜視図。
【図3】本発明に従う一実施例において用いられる内部
導体と外部端子電極の一体化物を示す斜視図。
【図4】本発明に従う一実施例のビーズインダクタを示
す側面図。
【図5】本発明に従う一実施例のビーズインダクタを示
す平面図。
【図6】本発明に従う他の実施例において用いられる内
部導体と外部端子電極の一体化物を形成するための金属
板片を示す斜視図。
【図7】本発明に従う他の実施例における内部導体と外
部端子電極の一体化物を示す斜視図。
【図8】本発明に従うさらに他の実施例における内部導
体と外部端子電極の一体化物を形成するための別個に成
形された内部導体及び外部端子電極を示す側面図。
【図9】本発明に従うさらに他の実施例における内部導
体と外部端子電極の一体化物を示す側面図。
【図10】本発明に従うさらに他の実施例のビーズイン
ダクタを示す側面図。
【図11】本発明に従うさらに他の実施例のビーズイン
ダクタを示す平面図。
【図12】従来のビーズインダクタを製造するための金
型を示す断面図。
【図13】従来のビーズインダクタの製造方法を説明す
るための断面図。
【図14】従来のビーズインダクタを一例を示す側面
図。
【図15】従来のビーズインダクタを一例を示す平面
図。
【符号の説明】
11…内部導体と外部端子電極の一体化物または一体化
物を形成するための金属板片 12…内部導体 13,14…外部端子電極 14a…貫通孔 15…樹脂部 21…上金型 21a…ゲート 22…下金型 23…キャビティ 31…内部導体と外部端子電極の一体化物または一体化
物を形成するための金属板片 32…内部導体 32a〜32d…切り込み 33,34…外部端子電極 33a,34a…切欠部 42…内部導体 43,44…外部端子電極 44a…貫通孔 45,46…溶接部 47…樹脂成型部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大島 序人 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 Fターム(参考) 5E044 AA00 AC01 AC05 AD00 5E062 FF02 FG04 FG07 5E070 AA01 AB02 BA16 BB03 CA02 CA03 EA02 EB10

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 磁性体粉末を含有した樹脂またはゴム中
    に内部導体が埋め込まれ、該内部導体の両端に該内部導
    体と電気的に接続された外部端子電極が設けられている
    ビーズインダクタの製造方法であって、 内部導体と外部端子電極を一体化して形成する工程と、 前記内部導体と外部端子電極の一体化物を金型内に配置
    する工程と、 前記金型内で前記内部導体を埋め込むように磁性体粉末
    を含有した樹脂またはゴムを成形する工程とを備えるビ
    ーズインダクタの製造方法。
  2. 【請求項2】 前記外部端子電極の一方または両方に、
    前記樹脂またはゴムを金型内の前記内部導体の周りに供
    給するための貫通孔が形成されている請求項1に記載の
    ビーズインダクタの製造方法。
  3. 【請求項3】 前記内部導体と外部端子電極の一体化物
    が、金属板を加工することにより一体的に形成されてい
    る請求項1または2に記載のビーズインダクタの製造方
    法。
  4. 【請求項4】 前記内部導体と外部端子電極の一体化物
    が、別個に成形した内部導体と外部端子電極を一体化す
    ることにより形成されている請求項1または2に記載の
    ビーズインダクタの製造方法。
  5. 【請求項5】 前記内部導体と外部端子電極が溶接によ
    り一体化されている請求項4に記載のビーズインダクタ
    の製造方法。
  6. 【請求項6】 前記内部導体がコイル状である請求項4
    または5に記載のビーズインダクタの製造方法。
  7. 【請求項7】 磁性体粉末を含有した樹脂またはゴム中
    に内部導体が埋め込まれ、該内部導体の両端に該内部導
    体と電気的に接続された外部端子電極が設けられている
    ビーズインダクタであって、 前記内部導体と前記外部端子電極が予め一体化されてい
    ることを特徴とするビーズインダクタ。
  8. 【請求項8】 前記内部導体と前記外部端子電極が、金
    属板を加工することにより一体的に形成されている請求
    項7に記載のビーズインダクタ。
  9. 【請求項9】 前記内部導体と前記外部端子電極が、別
    個に成形した内部導体と外部端子電極を溶接により一体
    化して形成されている請求項7に記載のビーズインダク
    タ。
  10. 【請求項10】 前記内部導体がコイル状である請求項
    9に記載のビーズインダクタ。
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