JP2000011454A - 光記録媒体と、これを用いた光記録再生装置と、光記録媒体の製造方法 - Google Patents

光記録媒体と、これを用いた光記録再生装置と、光記録媒体の製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高N.A.対物レンズ、短波長光源対応の、
デフォーカスによる信号劣化の低減化を図る。 【解決手段】 N.A.(開口数)/λ(波長)≧1.
2〔μm-1〕の光学パラメータで、光記録あるいは再生
の少なくともいずれかがなされる少なくとも1層の情報
層11を有し、その少なくともその情報信号領域におい
て、そのフォーカスエラー量が、光記録あるいは再生の
少なくともいずれかを行う光記録再生装置のフォーカス
サーボカットオフ周波数以上の帯域で、±λ/(N.
A.)2 /8以下とする。また再生のみがなされる場合
には、±λ/(N.A.)2 /4以内とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光記録媒体と、こ
れを用いた光記録再生装置と、光記録媒体の製造方法に
係わる。この光記録媒体および光記録再生装置とは、そ
れぞれ光記録あるいは再生の少なくともいずれかがなさ
れる光記録媒体および光記録再生装置を指称する。ま
た、その光記録あるいは再生は、レーザー光によって行
うものであり、特に高密度記録化を図ったものである。
【0002】
【従来の技術】光記録媒体に対する光記録あるいは再生
の少なくともいずれか(以下単に記録再生という)をレ
ーザー光によって行う場合、そのレーザー光の波長を
λ、記録再生装置におけるレンズ系、すなわち対物レン
ズの開口数をN.A.とすると、記録再生レーザー光の
スポット径Φは、 Φ=1.22λ/(N.A.) ・・・(1) で与えられる。したがって、光記録媒体、例えば光ディ
スクで高密度化を図るには、λを小にすなわち短波長化
し、高N.A.化することが有効である。
【0003】一方、記録再生装置における機械特性のば
らつきの許容量についてみると、光記録媒体のレーザー
光の入射側の光透過層の厚さをtとすると、次の関係に
あることが知られている。 焦点深度FD=λ/(N.A.)2 ・・・(2) 光記録媒体の傾き(スキュー)の許容度(マージン) SM∝λ/(N.A.)3 /t ・・・(3) 光透過層tの厚さむらのマージンTM∝λ/(N.A.)4 ・・・(4)
【0004】例えば従来のCD(コンパクトディスク)
の記録再生装置においては、λ=0.78μm、N.
A.=0.45であり、上記関係式から、 Φ=2.11μm, FD=3.85μm, SM=8.56α/t (αは任意定数), TM=19.02β (βは任意定数), となる。
【0005】また、DVD(ディジタル ビデオ ディ
スク)の記録再生装置では、λ=0.65μm、N.
A.=0.6であり、上記関係式から、 Φ=1.32μm, FD=1.81μm, SM=3.01α/t, TM=5.02β となる。
【0006】これらCDと、DVDの各値を比較する
と、CDに対してDVDは、SMが約1/3であり、し
たがって、従来のCDに比し、DVDは、ディスクのス
キューを1/3に抑えることが必要となる。現実的に
は、CDのスキュー規格は、0.6°であり、これを
0.2°に抑えることは殆ど不可能である。そこで、こ
れを補正するために光透過層の厚さtを0.6mmとC
Dの半分にすることによってスキューマージンSMを2
倍にして0.4°の規格としている。
【0007】厚さむらのマージンに関しては、CDに対
してDVDは、1/4弱であることら、CDのレーザー
入射側の光透明層に相当する透明プラスチック基板の厚
さの誤差が100μmとされているに比し、DVDにお
いては30μmに抑えられていて、この値は、従来の基
板の成型技術で充分作製可能な値である。
【0008】FDに関しても、DVDのそれは、CDの
それの約1/2となっているが、これに関しても、DV
Dの作製において従来の成型技術および張り合わせ技術
によって、この焦点深度内に目的とする情報層を設定す
ることができる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、DVD
の記録容量の4、7GB(ギガバイト)より更にその記
録容量の増加を図って、記録密度の向上をはかることが
要望されていることから、従来のDVDより更にN.
A.を上げることが要求され、これについては、本出願
人による出願の特願平9−185130で提案されてい
るように、2群レンズによる高N.A.構成の提案がな
され、この場合、N.A.を0.7以上の0.9にでき
ることが確認されている。そして、この場合の光学パラ
メータは、N.A./λ≧1.2〔μm-1〕、λ≦0.
68μmであり、光透過層の厚さむらΔt=±5.26
λ/(N.A.)4 μm以内とするものである。例えば
N.A.=0.85とすると、N.A.=0.6の√2
倍になるので、短波長レーザー光源を用いずとも、面密
度で、2倍の向上が図られることになり、DVDと同じ
変調方式を採った場合、4.7×2=9.4GBの光デ
ィスクすなわち光記録媒体が実現されることになる。
【0010】ところが、この場合、上述の各マージンが
低減する。すなわち、いま、λ=0.64μmとする
と、上記(1)〜(4)から、 Φ=0.93μm, FD=0.90μm, SM=1.06α/t, TM=5.02β となる。
【0011】このように、高密度化を図ってN.A.
を、上述した0.85にまで上げると、例えばそのSM
は、DVDに比しても、約1/3にまで低下し、TM
は、約1/5に、また、FDも約1/2になり、マージ
ンがかなり厳しくなって、従来のCDはもとよりDVD
と同じディスク構造で実現することは不可能となる。そ
して、更にその波長が400nmもしくはそれ以下のレ
ーザー光源を用いることになると、上述の各マージンは
より減少する。
【0012】本発明においては、上述した、高N.A.
対物レンズ、短波長光源に対応した光記録媒体、これを
用いた光記録再生装置と、光記録媒体の製造方法を提供
するものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明による光記録媒体
は、N.A.(開口数)/λ(波長)≧1.2〔μ
-1〕の光学パラメータで、光記録あるいは再生の少な
くともいずれかがなされる少なくとも1層の情報層を有
し、その少なくともその情報信号領域において、そのフ
ォーカスエラー量が、光記録あるいは再生の少なくとも
いずれかを行う光記録再生装置のフォーカスサーボカッ
トオフ周波数以上の帯域で、±λ/(N.A.)2 /8
以内に、また再生のみがなされる場合には、±λ/
(N.A.)2 /4以内とする。
【0014】また、本発明による光記録再生装置は、上
述の本発明による光記録媒体を用いて光記録あるいは再
生の少なくともいずれかを行う、波長λが680nm以
下のレーザー光源と、N.A./λ≧1.2〔μm-1
を満たすレンズ系とを具備する構成とされる。
【0015】また、本発明による光記録媒体は、厚さ
0.3mm〜1.2mmのプラスチック、金属、ガラス
等による基板の一方の面にグルーブやピットが形成され
た信号面上に、反射膜あるいは記録膜が形成され、その
上に厚さ6μm以下の接着層を介して厚さが44μm〜
114μmを中心に厚さむらが±1μm以内のシートが
張り合わされた構成とされ、このシートの表面、すなわ
ち基板とは反対側からレーザー光を入射させて、光記録
あるいは再生の少なくともいずれかを行う構成とする。
【0016】また、本発明による光記録再生装置は、こ
の光記録媒体を用いて、光記録あるいは再生の少なくと
もいずれかを行うものであり、波長λが680nm以下
のレーザー光源と、N.A./λ≧1.2〔μm-1〕を
満たすレンズ系とを具備する構成とする。
【0017】また、本発明による光記録媒体の製造方法
は、厚さ0.3mm〜1.2mmの基板の、少なくとも
一方の面に形成された信号面上に、反射膜あるいは記録
膜が形成する工程と、この反射膜あるいは記録膜上に、
紫外線硬化樹脂を滴下し、その上にプラスチックシート
を載置して高速回転によって、余剰の上記紫外線硬化樹
脂を振り切ると共に紫外線照射を行って上記プラスチッ
クシートの接着を行う工程とを採って目的とする光記録
媒体を製造する。
【0018】
【発明の実施の形態】本発明による光記録媒体の一形態
は、図1に概略断面図を示すように、プラスチック基
板、金属基板、ガラス基板等による基板10の一方の面
に情報層11が形成され、この上に厚さtの光透過層1
2が形成されて成る。図1の例は、中心孔13が穿設さ
れたディスク構成による場合を示す。
【0019】また、本発明による光記録媒体の他の一形
態は、図2にその概略断面図を示すように、同様の基板
10の信号面に反射膜や記録膜が形成され、この上に接
着層15を介して光透過性のシート14が接合されて光
透過層12を形成する構成とする。しかしながら、本発
明は、これら形態に限られるものではない。
【0020】本発明による光記録媒体は、N.A.(開
口数)/λ(波長)≧1.2〔μm-1〕の光学パラメー
タで、光記録あるいは再生の少なくともいずれかがなさ
れる少なくとも1層の情報層を有するものであり、その
少なくともその情報信号領域において、そのフォーカス
エラー量が、光記録あるいは再生の少なくともいずれか
を行う光記録再生装置のフォーカスサーボカットオフ周
波数以上の帯域で、±λ/(N.A.)2 /8以内に、
また再生のみがなされる場合には、±λ/(N.A.)
2 /4以内とする。
【0021】また、本発明による光記録媒体は、厚さ
0.3mm〜1.2mmの基板の、少なくとも一方の面
に形成された信号面上に、反射膜あるいは記録膜が形成
され、その上に3μm〜177μm,好ましくは50μ
m120μmの光透過層が形成された構成とする。
【0022】光透過層は、その厚さむらΔtが、±5.
26λ/(N.A.)4 以内に選定される。
【0023】また、トラックピッチPは、P≦0.64
μmに、スキューΘは、±0.4°以内、すなわち|Θ
|≦0.4°とする。そして、グルーブまたはピットの
深さDは、例えば λ/8/n≦D≦3λ/8/n (nは、光透過層の屈
折率) に選定され、直径は例えば130mm以下とした光ディ
スク構成とし得る。
【0024】また、本発明による光記録媒体は、その記
録容量が、CDサイズで単層の情報層で、8GB以上と
する線密度に選定し得る。また、光透過層の透過率は、
λが780nm以下において70%以上とし得る。
【0025】また、本発明による光記録再生装置は、波
長λのレーザー光によって光記録あるいは再生の少なく
ともいずれかを行う光記録再生装置であって、少なくと
も1層の情報層を有し、少なくともその情報信号領域に
おいて、フォーカスサーボカットオフ周波数以上の帯域
で、再生のみにおいては、±λ/(N.A.)2 /4以
内に、また記録および再生においては、±λ/(N.
A.)2 /8以内とした光記録媒体を用いて、波長λが
680nm以下のレーザー光源と、N.A./λ≧1.
2〔μm-1〕を満たすレンズ系を有する構成とする。こ
の場合、λ≦450nmとすることができる。レンズ系
は、N.A.≧0.78とする。このレンズ系を、2群
レンズ系構成とするとき、N.A.≧0.80とするこ
とができる。
【0026】また、本発明による光記録媒体は、厚さ
0.3mm〜1.2mmの基板の、少なくとも一方の面
に形成された信号面上に、反射膜あるいは記録膜が形成
され、その上に、厚さ6μm以下の接着層を介して、厚
さ(50−6)μm〜(120−6)、すなわち44μ
m〜114μmのシートが張り合わされ、このシートの
信号面の形成面とは反対側からレーザー光を入射させる
構成とすることができる。接着層は紫外線硬化樹脂、あ
るいは感圧性接着剤を用いることができる。シートの厚
さむらは、±0.5μm以内とする。光透過層の透過率
は、λが780以下において、70%以上とされる。
【0027】この場合においも、少なくともその情報信
号領域において、そのフォーカスエラー量が、光記録あ
るいは再生の少なくともいずれかを行う光記録再生装置
のフォーカスサーボカットオフ周波数以上の帯域で、±
λ/(N.A.)2 /8以内とする。
【0028】また、本発明による光記録再生装置は、波
長λのレーザー光によって光記録あるいは再生の少なく
ともいずれかを行う光記録再生装置であって、上述した
厚さ0.3mm〜1.2mmの基板の、少なくとも一方
の面に形成された信号面上に、反射膜あるいは記録膜が
形成され、その上に6μm以下の接着層を介して44μ
m〜114μmのシートが張り合わされて成る光記録媒
体を用いて、波長λが680nm以下のレーザー光源
と、N.A./λ≧1.2を満たすレンズ系を有して成
る。
【0029】この構成で、λ≦450nm,N.A.≧
0.60とすることができ、また、そのレンズ系が、2
群レンズ系構成によることができる。
【0030】あるいは、そのレンズ系を、N.A.≧
0.80とする。
【0031】また、本発明は、図2の構成による光記録
媒体の製造方法において、例えばポリカーボネートの射
出成形による厚さ0.3mm〜1.2mmの基板の、少
なくとも一方の面に形成された信号面上に、反射膜ある
いは記録膜が形成する工程と、この反射膜あるいは記録
膜上に、紫外線硬化樹脂を滴下し、その上にプラスチッ
クシートを載置して高速回転によって、余剰の上記紫外
線硬化樹脂を振り切り、この状態で、紫外線照射を行っ
てプラスチックシートの接着を行う工程とを採って目的
とする光記録媒体を得る。
【0032】基板の厚さを0.3mm〜1.2mmとす
るのは、既存のCD等と同等とする場合、1.2mmで
あり、0.3mm未満では成形に問題が生じるとか、製
造上等の取扱いで問題が生じることによる。
【0033】上述の本発明について説明する。いま、記
憶容量8GB以上を実現可能する場合についてみる。前
述のDVDの波長λ=0.65μm 、N.A.=0.6
において、記憶容量は4.7GBであることから、8G
B以上を実現するためには、 4.7×(0.65/0.60×N.A./λ)2 ≧8 の関係が成立することが必要であり、これにより上述の
光学パラメータN.A./λ≧1.20が与えられる。
【0034】そして、スキューマージンについては、特
開平3−225650号公報によりSMが±84.11
5°(λ/(N.A.)3 /t)の範囲であればよく、
このことは本発明の光記録媒体にも適用することができ
る。そして、前述したように、このSMは、具体的な限
界値として0.4°とするのが妥当である。
【0035】したがって、SM=0.4°としてレーザ
ーの短波長化、高N.A.化により光透過層の厚さを、
どの程度に設定すべきかをみると、まずλ=0.65μ
mとした場合には、N.A.は、N.A/λ≧1.20
[μm-1]から、0.78以上であることが要求され
る。また、レーザー光としてλ=0.4μmの短波長が
用いられときは、N.A.≧0.78の条件を変えない
とすると、光透過層の厚さtは、t=177μmにな
る。この場合、基板の厚さが1.2mmであるCD等の
製造設備を流用することを考慮すると、光ディスク全体
の厚さは最大約1.38mmになる。
【0036】一方、光透過層の厚さの下限は、記録膜や
反射膜を保護する役割も有する光透過層の保護機能が確
保されるかによって決定される。すなわち、光学記録媒
体の信頼性や、後述する2群レンズの光透過層表面への
衝突の影響を考慮すると3μm以上であることが必要で
ある。
【0037】ここに、光透過層の厚さは3μm〜177
μmに選定する所以がある。
【0038】そして、いま、大容量化において、N.
A.=0.85での光透過層の厚さtは、DVDにおけ
るスキューマージンSMと同程度のSMを得る上で、
0.6×(0.6/0.85)3 =0.21mm以下で
あることが要求される。更に、波長が0.4μm程度の
レーザ光源を用いると、 0.21×0.4/0.65=0.129mm となり,光透過層の厚さtは、0.12mmすなわち1
20μm以下となる。
【0039】一方、50μm未満では、プラスチックシ
ートに複屈折の問題が生じるおそれがあることから50
μm以上とすることが好ましく、したがって、光透過層
の厚さは50μm〜120μmとすることが好ましい。
【0040】また、記録容量8GBを達成するために
は、トラックピッチP、および線密度dを変える必要が
ある。その条件としては、 (0.74/P)×(0.267/d)×4.7≧8 d≦0.1161/P(μm/bit) を満たせばよい。P=0.56μmのとき、線密度d≦
0.206μm/bitとなるが、これはDVDのRO
M(Read Only Memory) を基準にしており、記録再生の
信号処理技術の改善によって現状において15%程度の
線密度の増加を見込むことができることから、Pを増や
すことができ、Pは最大で0.64μmとすることがで
きる。
【0041】さらにトラックピッチ変動ΔPについても
公差が厳しくなる。CDやDVDの記録再生パラメータ
をそのまま転用すると、DVDでのトラックピッチ0.
74μm、公差±0.03から、 −0.03P/0.74≦ΔP≦0.03P/0.74 −0.04P≦ΔP≦+0.04P となる。したがって、P=0.56とすると、ΔP±
0.023μm以内となる。
【0042】次に、光透過層の厚さむらについてみる
に、光透過層の厚さが、再生対物レンズの設計中心から
ずれた場合、その厚さむらがレーザー光スポットに与え
る収差量は、N.A.の4乗、また、波長λに比例す
る。したがって、高N.A.化、または短波長化によっ
て高記録密度化を図る場合には、光透過層の厚さむら
は、さらに厳しく制限される。具体的なシステム例とし
てCDの場合には、N.A.=0.45が実用化されて
おり、光透過層(基板)の厚さむらの規格は±100μ
mである。またDVDの場合には、それぞれ、N.A.
=0.6で±30μmと規定されている。CDでの許容
量±100μmを基準にすると、厚さむらΔtは、次式
のように表わされる。 Δt=±(0.45/N.A.)4 ×(λ/0.78)×100 =±5.26×(λ/(N.A.)4 )μm
【0043】ここで、10GBのROMディスクを用
い、光透過層の厚さ100μm中心に対し、波長0.6
8μm、N.A.=0.875で光透過層の厚さむらと
ジッター値との関係について実験を行った結果、例えば
DVDにおいて、スキューなどの摂動がない場合のジッ
ター基準である8%になる光透過層の厚さむらは、約±
7μmであることがわかった。上式から導き出される数
値は±6μmであり、この規格を満足するディスク媒体
からは良好な信号が得られることになる。
【0044】ところで、スキューマージンSMに関して
は、光透過層の厚さで補正できることから、上述したD
VDにおける光透過層の厚さ0.6mmの1/3の0.
2mm以下で、更に、波長λ=400nm対応と、SM
を更に広く確保するために、光透過層の厚さtを、0.
1mm(100μm)に設定する。
【0045】そして、厚さのマージンTMは、DVDに
おける前述の厚さの誤差30μmの約1/5で、更に短
波長対応として±4μmとする。
【0046】また、焦点深度FDは、前述のλ=0.6
5μm対応において、FD=0.90μmから、λ=4
00nm対応すると、0.90×0.4/0.65=
0.553μmとなる。この数値は、記録再生のレーザ
ー光の焦点深度であり、光記録媒体に許容されるフォー
カスエラーとは異なる。つまり、光記録媒体例えば光デ
ィスクには、必ずいわゆる“面ぶれ”が生じるが、この
面ぶれにも周波数成分がある。一般に周波数の低い所、
例えば数百kHz以下では、通常、記録再生装置におい
て設けられるフォーカスサーボが追従できることから、
これを排除することができる。ところが、カットオフ周
波数(例えばDVDにおけるフォーカスサーボのカット
オフ周波数は2.4kHz)以上の高域では、フォーカ
スサーボが追従できないことから光ディスクの面ぶれが
そのままデフォーカスになり、信号特性を劣化させる。
【0047】そして、このデフォーカスには、上述のよ
うに面ぶれ、光透過層むらなどのディスク自体の量と、
記録・再生装置自体の電気的ノイズ、機械的振動などで
生じる装置側の要因による量とに分離できる。つまり、
光ディスク(光記録媒体)自体では、半分のマージンが
分配されることになる。
【0048】また、装置側についてみると、記録時のデ
フォーカスと、再生時のデフォーカスとの2回のデフォ
ーカスの影響が加わることから、更に半分となり、ま
た、デフォーカスは、或る中心値に対して上下対称な挙
動を示すので、さらにその1/2、つまり、FD/2/
2/2=±λ/(N.A.)2 /8以下が要求される。
【0049】これらのことを、鑑みて光記録媒体自体
の、上述した高域の面ぶれ量、すなわちフォーカスサー
ボによる取り残り量がどこまでできるかをみると、上記
FD=0.553μmから、±0.553μm/2/2
/2=0.07μmとなる。
【0050】そして、再生専用媒体においては、記録時
のマージンは考慮を要しないことから、±λ/(N.
A.)2 /4以内であれば良い。
【0051】また、レーザー光の波長λ=400nmと
するとき、光記録媒体の光学特性、すなわち、例えば光
透過層の高い光透過性を示す波長範囲が、380nm付
近にまで延びていることが望ましい。しかしながら、あ
る程度光透過特性が低下する範囲であっても入射光量を
増加させることで補償が可能となる。経験的には、光透
過層に要求される透過率として、反射膜によるロスがな
いと仮定して、入射光量に対して、光記録媒体を通して
戻ってる量は、少なくとも半分あれば充分である。した
がって、光透過層の厚さ100μmで、380nm≦λ
≦780nmにおいて、その透過率は70%以上が望ま
しい。
【0052】上述したことから、本発明での目標値は、
光透過層の厚さの中心値が100μm、厚さむらが±4
μm、フォーカスサーボの取り残り量が±70nm、3
80nm≦λ≦780nmで透過率70%以上となる。
【0053】そして、この目標値を実現する光記録媒体
を得る実施例について説明するが、本発明は、この実施
例に限られるものではない。
【0054】上述の厚さむら±4μmを達成するため
に、光透過層として例えばシートを用いると、後述する
ように±0.5μmの厚さむらで良いが、量産時のばら
つきマージンを見込んで、±1μmとして接着層の厚さ
を6μm以下とすれば、前記条件を満足できることにな
る。
【0055】〔実施例1〕この実施例では、その記録再
生のレーザー光として赤(λ=650nm)のレーザー
が用いられる相変化型の光ディスクを製造する場合であ
る。この場合、トラックピッチが0.45μmのランド
クルーブ構造のスタンパーを用意した。このスタンパー
は、通常のように、まず、原盤の作製がなされる。この
原盤作製は、平滑面を有するガラス基板上に、フォトレ
ジスト層塗布形成し、これに露光処理を行う。この露光
は、トラックピッチ0.90μmで行い、現像上がりの
露光部と非露光部との幅の比率を、露光部60%、非露
光部40%とした。
【0056】このフォトレジスト層を現像し、この面に
Ni等の金属メッキを行い、これを剥離することによっ
てスタンパーを形成するか、更にこれの転写を繰り返す
ことによってスタンパーの形成を行う。このスタンパー
は、グルーブの深さDを、上述の赤のレーザー光の波長
650nmに対してのλ/6/n≒70nmとした。
【0057】このスタンパーを用いた射出成型によって
直径120mm、厚さ1.2mmのポリカーボート基板
を成型した。
【0058】このようにして作製した基板のグルーブが
形成された信号面に、レーザー光照射によって相変化が
なされ、光学特性が変化する相変化記録膜を成膜し、情
報層とする。
【0059】そして、この記録層が成膜された基板10
を、図3Aに示すように、ターンテーブル21上に、そ
の記録膜の成膜側を上側にして、例えばターンテーブル
21に配置された真空吸着手段(図示せず)によって確
実に吸着させて載置する。
【0060】一方、厚さ100μmで、厚さむらが±
0.5μmの帝人社製ポリカーボネートシートを、外径
119mmで、中心に内径40mmの直径を有する中心
孔が穿設されたシート22を用意した。図4は、このポ
リカーボネートシートの厚さむらを測定したものでその
厚さむらは、±0.5μmの範囲にとどまっている。
【0061】そして、ターンテーブル21上に支持基板
10を配置すた状態で、まずゆっくり回転して、この上
に、ノズル23から紫外線硬化樹脂を直径60mmの円
周上に滴下する。
【0062】次に、図3Bに示すように、前述の別途用
意したポリカーボネートシート22を載置する。このと
きの紫外線硬化樹脂の粘度は190cpsであった。
【0063】そして、この状態で、ターンテーブルを5
000rpmまで10秒で立ち上げ、60秒間回転して
余剰の樹脂を振り切る。そして、この状態で紫外線照射
のランプユニット(図示せず)を、基板10上のシート
22を覆うように持ち来たして紫外線照射を行い、紫外
線硬化樹脂を硬化し、図3Cおよび図2で示す、紫外線
硬化樹脂を接着層16として、ポリカーボネートシート
22が接着された光記録媒体、この例では相変化型の光
ディスクを製造した。
【0064】この相変化型光ディスクにおける光透過層
の厚さは、中心値103μmで、厚さむらがピーク・ト
ゥ・ピーク値で5μmp−pとなった。尚、この場合、
樹脂の振り切り時間を60秒間行った場合であるが、こ
の振り切り時間を5分とした場合は、光透過層の厚さは
中心値102μm、厚さむらが2.5μmp−pとなっ
た。
【0065】その後、表面硬度を高めるために、シート
22の表面にSiNを厚さ150nmにスパッタした。
これにより、その硬度を、鉛筆硬度でBの状態からHに
高められた。
【0066】この硬度を高めるための表面処理は、シー
ト22に予め例えば紫外線硬化樹脂を2μm塗布するこ
とによっても行うことができ、この場合いおいても同様
の効果が得られた。
【0067】このようにして作製されて光記録媒体、す
なわち光ディスクを、図5に示すフォーカスサーボ特性
を有する光記録再生装置、すなわちフォーカスサーボの
カットオフ周波数が1.7kHzの光記録再生装置によ
って、フォーカスサーボのとれ残り量を、線速8.42
m/sで評価した。図6はその測定結果を示すもので、
その取り残り量は、±0.07μmの範囲であることが
確認された。この取れ残り量は、カットオフ周波数1.
7kHzを越えると全く抑制されず、1.7kHz以下
では、この特性にしたがって抑制されているため、カッ
トオフ以下の周波数成分もある程度含まれている。
【0068】このような、厳しい条件での評価にもかか
わらず、充分すぐれた値が得られた。すなわち、 λ=0.65μmでのフォーカスエラーの許容値は、 ±0.65/0.852 /8=±0.11μm、 λ=0.40μmでのフォーカスエラーの許容値は、 ±0.40/0.852 /8=±0.07μm、 であるので、上述の実施例1による光記録媒体は、短波
長レーザーに充分対応できことが分かる。
【0069】また、図7に透過率の波長依存性の測定結
果を示す。図7中、実線曲線は、100μmのポリカー
ボネートシート単体の場合、破線曲線は、このシート
に、紫外線硬化樹脂を4μm被着した場合で、ポリカー
ボネートシート単体の場合は、波長300nmまで80
%以上の透過率を示し、紫外線硬化樹脂を4μm被着し
た場合においても、340nmまで80%以上の透過率
を示す。つまり、この光透過層において、充分短波長に
対応することが確認できた。
【0070】更に、この光ディスクを、波長650n
m、N.A.=0.85に2群レンズ系構成による光記
録再生装置によって記録再生した。この2群レンズ系構
成による光記録再生装置は、図8にその概略構成図を示
すように、光記録媒体41に対する対物レンズが第1お
よび第2のレンズ31および32の2群レンズによるも
のであり、高N.A.を実現することのできるものであ
る。そして、この場合の記録再生は、線密度0.20μ
m/bit,1−7変調によって行ったところ、ジッタ
ー8%という良好な信号を記録再生できた。
【0071】〔実施例2〕この実施例においては、青
(λ=407nm)レーザー光対応の光記録媒体を作製
した。この場合、トラックピッチ0.33μmのランド
グルーブ構造のスタンパーを作製した。このスタンパー
を作製する原盤作製における露光は、トラックピッチ
0.66μmで行い、現像上がりの露光部と非露光部と
の幅の比率を、露光部65%、非露光部35%とした。
また、グルーブの深さDは、λ/6/n≒45nmとし
た。このようにして作製したスタンパーを用いて、実施
例1と同様の方法によって光ディスクを作製した。
【0072】この場合においても、実施例1と同様の評
価を行った。この場合、記録再生のレーザー光源とし
て、Krレーザー(λ=407nm)を用いて図8で示
した2群レンズによるN.A.=0.85のレンズ系の
記録再生装置によって記録再生を行った。この場合にお
いても、線密度0.18μm/bit、1−7変調によ
って行ったところ、ジッター8%という良好な信号を記
録再生できた。
【0073】〔実施例3〕この実施例は、ROM(Read
Only Memory) 構成とした場合である。この場合、トラ
ックピッチ0.50μm、線密度0.18/bitでE
FM信号を記録した、ピットの深さは、記録再生レーザ
ー650nmに対してのλ/4/n≒100nmとし
た。露光には、351nmArレーザーを用いてN.
A.=0.9の対物レンズで記録し、実施例1で説明し
たと同様の方法によってスタンパーを作製し、このスタ
ンパーを用い、射出成型によって直径120nm、1.
2mm厚さのポリカーボネートの基板10を作製した。
このようにして形成した基板の信号面、すなわちピット
形成面上に、Al膜を30〜40nm、イオンビームス
パッタリング法で成膜した。
【0074】このようにして反射膜が成膜されたディス
クを、図3で説明したターンテーブル21上にの反射膜
をターンテーブル側にして載置し、真空吸着した。その
後、実施例1と同様の方法によってポリカーボネートシ
ートを張り合わせて、光記録媒体、すなわちこの例では
ROM型光ディスクを作製した。
【0075】このようにして作製した光ディスクに対し
て、実施例1で説明したと同様の方法による評価を行っ
た。この光ディスクを波長650nm、N.A.=0.
85の2群レンズで記録再生したところ、ジッター6.
5%という良好な信号再生を行うことができた。
【0076】上述したように、本発明によれば、デフォ
ーカスによる信号の劣化の低減化を図ることができる。
また、本発明製造方法によれば、光透過層を構成するシ
ート14の接着を、これを接着する樹脂を高回転中で硬
化させることによって行うようにしたことにより、容易
に厚さむらを、±3μmとすることができるものであ
る。
【0077】尚、上述した各例では、1.2mm厚さの
射出成型基板の片面に、情報層が形成された光記録媒体
を得る場合について説明したが、例えば、厚さ0.6m
mの基板に同様のプロセスで、厚さ100μmの光透過
層12を、2枚作製し、これらを、それぞれ光透過層1
2が形成された側とは反対側において、張り合わせるこ
とによって両面構造の光記録媒体を構成することもでき
る。
【0078】あるいは、1枚の基板の両面に同時に、例
えば基板の成型時に情報層の形成を行って両面構造の光
記録媒体を作製することもできる。
【0079】尚、上述した例では、射出成型によってポ
リカーボネートによる基板の作製を行った場合である
が、ポリカーボネートに比して吸水性の低いゼオネック
ス(日本ゼオン社製商品名、吸水率0.01%)の最良
によって構成することもできる。あるいは、例えばポリ
カーボネート基板の情報層を有する側とは反対側に、A
lなどの金青く膜やSiO2 などの有機膜を成膜して防
水処理を行うこともできる。
【0080】また、図8で示した2群レンズにおいて
は、各レンズ31a,31b,32a,32bが、それ
ぞれ所要の曲面を有する単一レンズによる構成として示
した場合であるが,これら第1および第2のレンズ群3
1および32を複数のレンズによる構成とすることがで
きる。
【0081】そのほか、本発明による光記録媒体、光記
録再生装置、光記録媒体の製造方法は上述した例に限ら
れるものではなく、種々の変形変更を行うことができ
る。
【0082】
【発明の効果】上述したように、本発明による光記録媒
体は、デフォーカスによる信号の劣化の低減化を図るこ
とができ、短波長もしくは高N.A.による高密度光デ
ィスクの量産が可能となる。
【0083】また、本発明製造方法によれば、光透過層
を構成するシート14の接着を、これを接着する樹脂を
高回転中で硬化させることによって行うようにしたこと
により、容易に厚さむらを、±3μmとすることがで
き、マージンの増加によって量産性を容易に実現できる
ものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による光記録媒体の一例の概略断面図で
ある。
【図2】本発明による光記録媒体の他の一例の概略断面
図である。
【図3】A〜Cは、それぞれ本発明製造方法の一例の工
程図である。
【図4】本発明による光記録媒体の一例におけるシート
の厚さむら測定曲線図である。
【図5】本発明による光記録媒体の特性測定に用いる記
録再生装置のサーボ周波数特性曲線図である。
【図6】フォーカスサーボの取り残り量の測定曲線図で
ある。
【図7】シートの透過率の波長依存性の測定曲線図であ
る。
【図8】本発明による2群レンズ系構成による光記録再
生装置の概略構成図である。
【符号の説明】
10・・・基板、11・・・情報層、12・・・光透過
層、13・・・中心孔、14・・・シート、15・・・
接着層、21・・・ターンテーブル、22・・・シー
ト、23・・・ノズル、31・・・第1のレンズ、32
・・・第2のレンズ、31a,31b,32a,32b
・・・レンズ面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 古木 基裕 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 柏木 俊行 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 Fターム(参考) 5D029 LB07 LC01 NA11 5D118 AA06 CA11 CD02

Claims (32)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 N.A.(開口数)/λ(波長)≧1.
    2〔μm-1〕の光学パラメータで、少なくとも記録、再
    生のいずれかがなされる少なくとも1層の情報層を有
    し、 少なくともその情報信号領域において、そのフォーカス
    エラー量が、光再生装置のフォーカスサーボカットオフ
    周波数以上の帯域で、±λ/(N.A.)2 /4の範囲
    内としたことを特徴とする光記録媒体。
  2. 【請求項2】 N.A.(開口数)/λ(波長)≧1.
    2〔μm-1〕の光学パラメータで、少なくとも記録、再
    生のいずれかがなされる少なくとも1層の情報層を有
    し、 少なくともその情報信号領域において、そのフォーカス
    エラー量が、光記録再生装置のフォーカスサーボカット
    オフ周波数以上の帯域で、±λ/(N.A.)2 /8の
    範囲内としたことを特徴とする光記録媒体。
  3. 【請求項3】 基板の少なくとも一方の面に形成された
    信号面上に、反射膜あるいは記録膜が形成され、 その上に3〜177μmの光透過層が形成されて成るこ
    とを特徴とする請求項1に記載の光記録媒体。
  4. 【請求項4】 基板の少なくとも一方の面に形成された
    信号面上に、反射膜あるいは記録膜が形成され、 その上に3〜177μmの光透過層が形成されて成るこ
    とを特徴とする請求項2に記載の光記録媒体。
  5. 【請求項5】 上記光透過層の厚さむらΔtが、 |Δt|≦5.26λ/(N.A.)4 〔μm〕 とされたことを特徴とする請求項3に記載の光記録媒
    体。
  6. 【請求項6】 上記光透過層の厚さむらΔtが、 |Δt|≦5.26λ/(N.A.)4 〔μm〕 とされたことを特徴とする請求項4に記載の光記録媒
    体。
  7. 【請求項7】 トラックピッチP、スキューΘが、 P≦0.64μm |Θ|≦0.4° に選定されたことを特徴とする請求項1に記載の光記録
    媒体。
  8. 【請求項8】 トラックピッチP、スキューΘが、 P≦0.64μm |Θ|≦0.4° に選定されたことを特徴とする請求項2に記載の光記録
    媒体。
  9. 【請求項9】 コンパクトディスク(CD)に対応する
    サイズの単層の情報層における記録容量が8GB以上と
    なる線密度に選定されたことを特徴とする請求項1に記
    載の光記録媒体。
  10. 【請求項10】 コンパクトディスク(CD)に対応す
    るサイズの単層の情報層における記録容量が8GB以上
    となる線密度に選定されたことを特徴とする請求項2に
    記載の光記録媒体。
  11. 【請求項11】 上記光透過層の透過率が、λが780
    nm以下で70%以上とされたことを請求項3に記載の
    特徴とする光記録媒体。
  12. 【請求項12】 上記光透過層の透過率が、λが780
    nm以下で70%以上とされたことを請求項4に記載の
    特徴とする光記録媒体。
  13. 【請求項13】 波長λのレーザー光によって光再生を
    行う光記録再生装置であって、 少なくとも1層の情報層を有し、少なくともその情報信
    号領域において、フォーカスサーボカットオフ周波数以
    上の帯域で、±λ/(N.A.)2 /4以内(N.A.
    は開口数)とした光記録媒体を用い、 波長λが680nm以下のレーザー光源と、 N.A./λ≧1.2〔μm-1〕を満たすレンズ系とを
    具備して成ることを特徴とする光記録再生装置。
  14. 【請求項14】 波長λのレーザー光によって光記録あ
    るいは再生の少なくともいずれかを行う光記録再生装置
    であって、 少なくとも1層の情報層を有し、少なくともその情報信
    号領域において、フォーカスサーボカットオフ周波数以
    上の帯域で、±λ/(N.A.)2 /8以内(N.A.
    は開口数)とした光記録媒体を用い、 波長λが680nm以下のレーザー光源と、 N.A./λ≧1.2〔μm-1〕を満たすレンズ系とを
    具備して成ることを特徴とする光記録再生装置。
  15. 【請求項15】 λ≦450nmとしたことを特徴とす
    る請求項13に記載の光記録再生装置。
  16. 【請求項16】 λ≦450nmとしたことを特徴とす
    る請求項14に記載の光記録再生装置。
  17. 【請求項17】 上記レンズ系が、2群レンズ系構成に
    よることを特徴とする請求項13に記載の光記録再生装
    置。
  18. 【請求項18】 上記レンズ系が、2群レンズ系構成に
    よることを特徴とする請求項14に記載の光記録再生装
    置。
  19. 【請求項19】 上記レンズ系が、N.A.≧0.78
    とされたことを特徴とする請求項13に記載の光記録再
    生装置。
  20. 【請求項20】 上記レンズ系が、N.A.≧0.78
    とされたことを特徴とする請求項14に記載の光記録再
    生装置。
  21. 【請求項21】 厚さ0.3mm〜1.2mmの基板
    の、少なくとも一方の面に形成された信号面上に、反射
    膜あるいは記録膜が形成され、 その上に厚さ6μm以下の接着層を介して、厚さが44
    μm〜114μmを中心に厚さむらが±1μm以内のシ
    ートが張り合わされ、 該シートの上記信号面の形成面とは反対側からレーザー
    光を入射させるようにしたことを特徴とする光記録媒
    体。
  22. 【請求項22】 上記接着層が紫外線硬化樹脂によって
    形成されていることを特徴とする請求項21に記載の光
    記録媒体。
  23. 【請求項23】 上記接着層が感圧性接着剤によって形
    成されていることを特徴とする請求項21に記載の光記
    録媒体。
  24. 【請求項24】 同一基板面上の上記シートの厚さむら
    が、±0.5μm以内であることを特徴とする請求項2
    1に記載の光記録媒体。
  25. 【請求項25】 光透過層の透過率が、λが780nm
    以下で70%以上とされたことを請求項21に記載の特
    徴とする光記録媒体。
  26. 【請求項26】 少なくともその情報信号領域におい
    て、そのフォーカスエラー量が、光再生装置のフォーカ
    スサーボカットオフ周波数以上の帯域で、±λ/(N.
    A.)2 /4以内としたことを特徴とする請求項21に
    記載の光記録媒体。
  27. 【請求項27】 少なくともその情報信号領域におい
    て、そのフォーカスエラー量が、光記録あるいは再生の
    少なくともいずれかを行う光記録再生装置のフォーカス
    サーボカットオフ周波数以上の帯域で、±λ/(N.
    A.)2 /8以内としたことを特徴とする請求項21に
    記載の光記録媒体。
  28. 【請求項28】 波長λのレーザー光によって光記録あ
    るいは再生の少なくともいずれかを行う光記録再生装置
    であって、 厚さ0.3mm〜1.2mmの基板の、少なくとも一方
    の面に形成された信号面上に、反射膜あるいは記録膜が
    形成され、その上に6μm以下の接着層を介して厚さむ
    ら±1μmのシートが張り合わされて成る光記録媒体を
    用い、 波長λが680nm以下のレーザー光源と、 N.A./λ≧1.2を満たすレンズ系とを具備して成
    ることを特徴とする光記録再生装置。
  29. 【請求項29】 λ≦450nm,N.A.≧0.60
    としたことを特徴とする請求項28に記載の光記録再生
    装置。
  30. 【請求項30】 上記レンズ系が、2群レンズ系構成に
    よることを特徴とする請求項28に記載の光記録再生装
    置。
  31. 【請求項31】 上記レンズ系が、N.A.≧0.80
    とされたことを特徴とする請求項28に記載の光記録再
    生装置。
  32. 【請求項32】 厚さ0.3mm〜1.2mmの基板
    の、少なくとも一方の面に形成された信号面上に、反射
    膜あるいは記録膜が形成する工程と、 該反射膜あるいは記録膜上に、紫外線硬化樹脂を滴下
    し、その上にプラスチックシートを載置して高速回転に
    よって、余剰の上記紫外線硬化樹脂を振り切り、この状
    態で、回転させながら紫外線照射を行って上記プラスチ
    ックシートの接着を行う工程とを有することを特徴とす
    る光記録媒体の製造方法。
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