JP2000006015A - 研削盤 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワークの搬入出構成を簡単にすることができ
て、製作コストを低減することができる研削盤を提供す
る。 【解決手段】 研削盤本体１１のワーク支持テーブル１
３に対応して、ワーク１２の搬入及び搬出を行う単一の
搬入出装置１５を配設する。搬入出装置１５には作業ハ
ンド１６を装備し、その作業ハンド１６の異なった位置
には、ワーク１２を保持する第１保持部と第２保持部と
を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えばワイヤソ
ーで切断したウエハ状のワークを研削する研削盤に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の研削盤においては、研削
盤本体のワーク支持テーブルに対応して、作業ロボット
等よりなる搬入装置及び搬出装置がそれぞれ配設されて
いる。搬入及び搬出装置には作業ハンドが設けられ、各
作業ハンドの上下両面のうち何れか一方の面には、ワー
クを吸着するための保持部が設けられている。例えば、
搬入装置における作業ハンドにおいては、その上面のみ
に保持部が設けられいる一方、搬出装置における作業ハ
ンドにおいては、その下面のみに保持部が設けられてい
る。

【０００３】そして、この場合は搬入装置の作業ハンド
により、ワーク供給装置の供給用カセット内に収容され
ている複数のワークのうち、下側のワークから順に保持
部に吸着されて１つずつ取り出され、研削盤本体のワー
ク支持テーブル上に搬入される。また、研削盤本体でワ
ークの研削が行われた後、搬出装置の作業ハンドによ
り、ワークが保持部に１つずつ吸着されてワーク支持テ
ーブル上から取り出され、ワーク格納装置の格納用カセ
ット内に格納されるようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、搬入時と搬
出時ではワークを吸着して取り出す方向が異なるため、
作業ハンドの構造が違っている。このため、従来の研削
盤においては、ワーク支持テーブル上にワークを搬入す
る搬入装置と、ワーク支持テーブル上から研削後のワー
クを搬出する搬出装置とが各々別に設けられている。従
って、研削盤全体の構成が複雑で、製作コストが高騰す
るという問題があった。また、搬入作業ハンドには保持
部が下面のみに設けられているため、例えば供給用カセ
ットの形状等が変更するとワークが下側から順に取り出
しにくくなるおそれがあった。

【０００５】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、ワークを搬入出するための構成を簡単に
することができて、製作コストを低減することができる
とともに、作業ハンドの第１保持部と第２保持部とを使
い分けして、ワークの搬入及び搬出を容易に行うことが
できる研削盤を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の研削盤の発明では、研削盤本体
のワーク支持テーブルに対応して、ワークの搬入及び搬
出を行う単一の搬入出装置を配設し、前記搬入出装置に
は作業ハンドを設け、その作業ハンドの異なった位置に
は、ワークを保持する第１保持部と第２保持部とをそれ
ぞれ設けたものである。

【０００７】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載の研削盤において、前記第１保持部は作業ハンドの上
面に配設し、第２保持部は作業ハンドの下面に配設した
ものである。

【０００８】請求項３に記載の発明では、請求項１また
は請求項２に記載の研削盤において、前記両保持部は吸
着パッドからなるものである。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下に、この発明の一実施形態
を、図面に基づいて説明する。図１は研削盤の概略平面
図を示す。この図に示すように、研削盤本体１１にはウ
エハ状のワーク１２を支持するためのワーク支持テーブ
ル１３と、ワーク１２を研削するための上下一対の砥石
１４とが装備されている。そして、図１に実線で示すよ
うに、ワーク支持テーブル１３が研削盤本体１１の前方
のワーク搬入出位置に移動配置された状態で、そのワー
ク支持テーブル１３上に対してワーク１２のノッチ１２
ａがワーク支持テーブル１３に設けられた図示しない突
部に係合されることにより、同ワーク１２はそのノッチ
１２ａが割り出し位置決めされた状態で搬入または搬出
される。また、図１に鎖線で示すように、ワーク支持テ
ーブル１３が研削盤本体１１内の上下両砥石１４と対応
する研削位置に移動配置された状態で、上下両砥石１４
の回転によりワーク１２の上下両面が同時に研削され
る。

【００１０】図１，図７に示すように、前記研削盤本体
１１の前方（図１の下側）には作業ロボットよりなる単
一の搬入出装置１５が配設されている。搬入出装置１５
は、装置本体３５、上部円筒体３６、第１アーム３７、
第２アーム３８及び作業ハンド１６から構成されてい
る。装置本体３５は円筒形状で、その上部が上部円筒体
３６に覆われている。上部円筒体３６は装置本体３５と
同軸で、上下方向に移動自在である。上部円筒体３６の
上面には第１アーム３７の一端が軸承され、第１アーム
３７は、その軸承された位置を中心に水平面内で旋回自
在である。第１アーム３７の他端には第２アーム３８の
一端が軸承され、第２アーム３８は軸承された位置を中
心に水平面内で旋回自在である。さらに、第２アーム３
８の他端には前記作業ハンド１６が軸承されている。作
業ハンド１６は軸承された位置を中心に水平面内で旋回
自在である。この構成により、作業ハンド１６は水平面
内で３６０゜旋回可能で、かつ上下方向にも移動可能で
ある。

【００１１】そして、ワーク搬入出位置のワーク支持テ
ーブル１３とともに、搬入出装置１５の作業ハンド１６
の作動軌跡上に位置するように、研削盤本体１１の両側
前方にはワーク供給装置１７、ワーク１２の角度割り出
し装置１８、洗浄装置１９及びワーク格納装置２０が配
設されている。作業ハンド１６にてワーク支持テーブル
１３に対するワーク１２の搬入及び搬出が行われる。

【００１２】図１、図４及び図５に示すように、前記ワ
ーク供給装置１７には供給用カセット２１が装備され、
その供給用カセット２１内にはワーク１２を収容するた
めの複数の収容棚２２が設けられている。また、収容棚
２２と供給用カセット２１の上部及び下部の板２１ａ，
２１ｂの間には、収容棚２２のピッチよりも広い空間２
１ｃ，２１ｄが設けられている。供給用カセット２１の
全ての収容棚２２にワーク１２が収容されている状態で
は、収容棚２２のピッチ、つまり収容されている各ワー
ク１２の間隔が作業ハンド１６の厚みより狭い場合に
は、作用ハンド１６によりワーク１２をその上面から吸
着して順次一番下のワーク１２から取り出そうとする
際、ワーク１２と作業ハンド１６が干渉してしまう。そ
のため、空間２１ｄに作業ハンド１６が挿入され、ワー
ク１２はその下面から吸着されて１枚ずつ下から順に取
り出される。取り出されたワーク１２は角度割り出し装
置１８に搬送される。

【００１３】図１に示すように、前記角度割り出し装置
１８には回転板２３が装備されている。そして、回転板
２３上にワーク１２が載置された状態で、回転板２３が
回転されることにより、ワーク１２のノッチ１２ａが所
定位置にくるように回転される。また、このワーク１２
の回転後に、搬入出装置１５の作業ハンド１６により、
ワーク１２が角度割り出し装置１８から取り出されて、
ワーク搬入出位置のワーク支持テーブル１３上に搬入さ
れる。

【００１４】前記洗浄装置１９には噴射ノズル２４が装
備されている。そして、搬入出装置１５の作業ハンド１
６により、研削後のワーク１２が研削盤本体１１のワー
ク支持テーブル１３から搬出されて、洗浄装置１９内ま
で搬出移動された状態で、ワーク１２に噴射ノズル２４
から洗浄液が噴射される。これにより、ワーク１２に付
着している研削粉等の汚れが洗浄される。

【００１５】図１及び図６に示すように、前記ワーク格
納装置２０には前記供給用カセット２１と全く同様な構
成である格納用カセット２５が装備され、その格納用カ
セット２５内にはワーク１２を格納するための複数の格
納棚２６が設けられている。そして、搬入出装置１５の
作業ハンド１６により、加工及び洗浄後のワーク１２が
洗浄装置１９からワーク格納装置２０に搬送され、格納
カセット２５内にワーク１２が収容されていない状態に
おいて、ワーク１２はその上面から吸着されて下から順
に収容される。格納カセット２５に最後のワーク１２を
収容する場合でも、上板２５ａと最上段のワーク１２の
間に形成される空間２５ｃに作業ハンド１６を入れるこ
とにより、ワーク１２はその上面から吸着して収容され
る。そして、格納用カセット２５の格納棚２６へ下から
順に格納される。

【００１６】次に、前記搬入出装置１５の作業ハンド１
６について詳細に説明する。図２及び図３に示すよう
に、作業ハンド１６の先端部にはＵ字状のワーク捕捉部
２７が形成されている。ワーク捕捉部２７の上面には複
数（本実施形態では３つ）のエア吸着パッドよりなる第
１保持部２８が配設されるとともに、下面には同じく複
数（本実施形態では３つ）のエア吸着パッドよりなる第
２保持部２９が配設されている。両保持部２８，２９は
真空ライン３９（一部のみ図示）に接続され、この真空
ライン３９は前記装置本体３５に内蔵される真空ポンプ
（図示しない）に接続される。そして、搬入出装置１５
の両保持部２８，２９はワーク１２を一枚ずつ真空吸着
し、搬入出するようになっている。

【００１７】研削前のワーク１２がワーク供給装置１７
の供給用カセット２１から取り出されて角度割り出し装
置１８に搬送される際には、図４に示すように、供給用
カセット２１の空間２１ｄに作業ハンド１６が挿入配置
された状態で、ワーク捕捉部２７の上面側の第１保持部
２８によって、ワーク１２が下方から吸着保持され供給
用カセット２１から取り出される。研削前のワーク１２
が角度割り出し装置１８からワーク支持テーブル１３に
搬入される際には、ワーク捕捉部２７の下面側の第２保
持部２９によって、ワーク１２が下方から吸着保持され
る。また、研削後のワーク１２がワーク支持テーブル１
３から洗浄装置１９を経てワーク格納装置２０の格納用
カセット２５に搬出格納される際には、図６に示すよう
に、格納用カセット２５内に作業ハンド１６が挿入配置
された状態で、ワーク捕捉部２７の下面側の第２保持部
２９によって、ワーク１２が上方から吸着保持される。

【００１８】前記作業ハンド１６のワーク捕捉部２７に
は透孔３０が形成され、その透孔３０内にはセンサ３１
が配設されている。そして、第１保持部２８または第２
保持部２９により、ワーク捕捉部２７の上面または下面
にワーク１２が吸着保持されたとき、このセンサ３１か
ら検出信号が出力されて、ワーク１２の吸着状態が確認
される。

【００１９】次に、前記のように構成された研削盤の動
作を説明する。さて、図４に示すように、搬入出装置１
５の作業ハンド１６により、ワーク供給装置１７の供給
用カセット２１に収容されているワーク１２が、最下段
の収容棚２２のものから順に取り出されて、角度割り出
し装置１８に搬送される。この場合には、ワーク捕捉部
２７の上面側の第１保持部２８を使用して、ワーク１２
が下方から吸着保持される。そして、角度割り出し装置
１８において、回転板２３の回転により、ワーク１２が
回転されながらノッチ１２ａの位置が割り出される。

【００２０】続いて、搬入出装置１５の作業ハンド１６
により、調整済みのワーク１２が角度割り出し装置１８
から研削盤本体１１におけるワーク搬入出位置のワーク
支持テーブル１３上に搬入されて、ワーク１２が位置決
めされる。このワーク１２の搬入時には、ワーク捕捉部
２７の下面側の第２保持部２９を使用して、ワーク１２
が上方から吸着保持される。そして、研削盤本体１１に
おいて、ワーク支持テーブル１３が研削位置に移動配置
された状態で、砥石１４の回転によりワーク１２の両面
が研削される。

【００２１】その後、搬入出装置１５の作業ハンド１６
により、研削後のワーク１２がワーク支持テーブル１３
上から洗浄装置１９を経てワーク格納装置２０に搬出さ
れる。この場合には、図６に示すように、ワーク捕捉部
２７の下面側の第２保持部２９を使用して、ワーク１２
が上方から吸着保持される。そして、洗浄装置１９にお
いて、噴射ノズル２４から噴射される洗浄液により、ワ
ーク１２に付着している研削粉等の汚れが洗浄される。
さらに、ワーク格納装置２０において、洗浄済みのワー
ク１２が格納用カセット２５内に最下段の格納棚２６か
ら順に格納される。

【００２２】前記の実施形態によって期待できる効果に
ついて、以下に記載する。 ・ この実施形態の研削盤においては、研削盤本体１１
のワーク支持テーブル１３に対応して、ワーク１２の搬
入及び搬出を行う単一の搬入出装置１５が配設されてい
る。このため、ワーク１２の搬入装置と搬出装置とを各
別に配設した従来の研削盤に比較して、ワーク１２の搬
入出構成を簡単にすることができて、製作コストを低減
することができる。

【００２３】・ この実施形態の研削盤においては、搬
入出装置１５に作業ハンド１６が装備され、その作業ハ
ンド１６の異なった位置にはワーク１２を保持する第１
保持部２８と第２保持部２９とが設けられている。この
ため、作業ハンド１６の第１保持部２８と第２保持部２
９とを使い分けして、ワーク１２の搬入及び搬出を容易
に行うことができる。

【００２４】・ この実施形態の研削盤においては、第
１保持部２８が作業ハンド１６の上面に配設され、第２
保持部２９が作業ハンド１６の下面に配設されている。
このため、１つの作業ハンド１６をワーク１２の搬入及
び搬出に兼用して使用することができるため、ワーク１
２の搬入及び搬出を容易に行うことができる。

【００２５】・ この実施形態の研削盤においては、両
保持部２８，２９が吸着パッドから構成されている。こ
のため、吸着パッドからなる各保持部２８，２９によ
り、ワーク１２を吸着して容易かつ確実に搬入及び搬出
することができる。

【００２６】・ この実施形態の研削盤においては、搬
入出装置１５の作業ハンド１６の作動軌跡上に位置する
ように、ワーク供給装置１７、角度割り出し装置１８、
研削盤本体１１のワーク支持テーブル１３、洗浄装置１
９及びワーク格納装置２０が配設されている。このた
め、作業ハンド１６の作動により、ワーク１２をワーク
供給装置１７から角度割り出し装置１８を経てワーク支
持テーブル１３へ順に搬入することができるとともに、
研削後のワーク１２をワーク支持テーブル１３から洗浄
装置１９を経てワーク格納装置２０へ順に搬出すること
ができる。

【００２７】・ この実施形態の研削盤においては、作
用ハンド１６の第１及び第２保持部２８，２９を使い分
けることにより、供給用カセット２１からワーク１２を
取り出す際には下から順に取り出される一方、格納用カ
セット２５にワーク１２を格納する際には下から順に格
納される。従って、両カセット２１，２５におけるワー
ク１２の順番が研削の前後で上下入れ替わることがな
く、両カセット２１，２５の格納棚２２，２６にワーク
１２を１対１に対応させることができるため、ワーク１
２の管理を容易に行うことができる。

【００２８】なお、この実施形態は、次のように変更し
て具体化することも可能である。 ・ 第１保持部２８及び第２保持部２９を、吸着パッド
とは異なった保持手段にて構成すること。

【００２９】・ 第１保持部２８及び第２保持部２９
を、２つ又は４つ以上設けること。さらに、上記実施形
態により把握される請求項以外の技術的思想について、
以下にそれらの効果とともに記載する。

【００３０】・ 前記搬入出装置の作業ハンドの作動軌
跡上に位置するように、ワーク供給装置、角度割り出し
装置、研削盤本体のワーク支持テーブル、洗浄装置及び
ワーク格納装置を配設した請求項１ないし請求項３のい
ずれかに記載の研削盤。

【００３１】この構成によれば、作業ハンドの作動によ
り、ワークをワーク供給装置から角度割り出し装置を経
てワーク支持テーブルへ順に搬入することができるとと
もに、研削後のワークをワーク支持テーブルから洗浄装
置を経てワーク格納装置へ順に搬出することができる。

【００３２】

【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発
明によれば、ワークの搬入出構成を簡単にすることがで
きて、製作コストを低減することができるとともに、作
業ハンドの第１保持部と第２保持部とを使い分けして、
ワークの搬入及び搬出を容易に行うことができる。

【００３３】請求項２に記載の発明によれば、１つの作
業ハンドをワークの搬入及び搬出に兼用して使用して、
ワークの搬入及び搬出を容易に行うことができる。請求
項３に記載の発明によれば、吸着パッドからなる各保持
部によりワークを吸着して、ワーク支持テーブルに対し
容易かつ確実に搬入及び搬出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の研削盤の一実施形態を示す概略平
面図。

【図２】 搬入出装置の作業ハンドを拡大して示す平面
図。

【図３】 同じく作業ハンドの正面図。

【図４】 供給用カセットからのウエハの取り出し状態
を示す正面図。

【図５】 図４の５−５線における断面図。

【図６】 格納用カセットへのウエハの格納状態を示す
正面図。

【図７】 搬入出装置全体を示す斜視図。

【符号の説明】

１１…研削盤本体、１２…ワーク、１３…ワーク支持テ
ーブル、１５…搬入出装置、１６…作業テーブル、１７
…ワーク供給装置、１８…角度割り出し装置、１９…洗
浄装置、２０…ワーク格納装置、２１…供給用カセッ
ト、２５…格納用カセット、２７…ワーク捕捉部、２８
…第１保持部、２９…第２保持部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 和田 豊尚 富山県東砺波郡福野町100番地 株式会社 日平トヤマ富山工場内 Ｆターム(参考） 3C034 AA07 AA13 BB73 BB84 DD20

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 研削盤本体のワーク支持テーブルに対応
   して、ワークの搬入及び搬出を行う単一の搬入出装置を
   配設し、前記搬入出装置には作業ハンドを設け、その作
   業ハンドの異なった位置には、ワークを保持する第１保
   持部と第２保持部とをそれぞれ設けた研削盤。
2. 【請求項２】 前記第１保持部は作業ハンドの上面に配
   設し、第２保持部は作業ハンドの下面に配設した請求項
   １に記載の研削盤。
3. 【請求項３】 前記両保持部は吸着パッドからなる請求
   項１または請求項２に記載の研削盤。