JP2000003950A - 半導体ウエハ搬送システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ロボットが起動状態のままでロボットの動作
範囲内で作業を行なうことができると共に、作業終了後
のロボット復旧に時間と手間を要しない半導体ウエハ搬
送システムを得る。 【解決手段】 上位計算機８が操作盤５からの指令によ
りロボット２に退避命令及び作業命令を出し、安全機器
制御部９は固定機構７によりロボット２を固定させると
共に、また操作盤５からの指令により扉４に設けられた
電磁ロック６の施錠及び解除を行なう。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造過程
におけるウエハカセットの半導体ウエハ搬送システムに
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来ロボットと作業車の接触による危険
を回避すために、ロボットの動作範囲を囲う柵を設置し
ており、作業者がロボットの動作範囲に入る場合は、ロ
ボットの電源又は動力を遮断し、ロボットの動作範囲内
での作業の安全を確保していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の半導体ウエハ搬
送システムは以上のように構成されているので、作業者
がロボットの動作範囲に入る場合、ロボットの電源又は
動力を遮断しなければならず、作業終了後のロボット復
旧に時間と手間を要し、ロボットによる定常的な処理装
置へのアクセスと人手による準定常的な処理装置へのア
クセスの混在した自由度の高い運用は困難であった。ま
た作業者が柵の扉を開閉することから、発塵が生じると
いう問題点もあった。

【０００４】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたものであり、作業者がロボットの電源又
は動力を遮断せずにロボットの動作範囲内で作業を行な
うことができると共に、作業終了後のロボット復旧に時
間と手間を要せず、更に発塵を低減することができる半
導体ウエハ搬送システムを提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る半導体ウエハ搬送システムは、ロボットの動作範囲を
扉が設けられた柵で囲うことにより構成されるものであ
って、操作盤からの指令によりロボットに退避命令及び
作業命令を出す上位計算機と、固定機構によりロボット
を固定させると共に、操作盤からの指令により扉の電磁
ロックの施錠及び解除を行なう安全機器制御部を設けた
ものである。

【０００６】この発明の請求項２に係る半導体ウエハ搬
送システムは、ロボットが起動状態のままで、このロボ
ットを固定機構により固定し、人手による搬送を可能に
したものである。

【０００７】この発明の請求項３に係る半導体ウエハ搬
送システムは、扉開閉のタイミングで下方に送風すると
共に床から排気する手段を設けたものである。

【０００８】

【発明の実施の形態】実施の形態１．以下、この発明の
一実施形態を図について説明する。図１はこの発明の実
施の形態１による半導体ウエハ搬送システムを示す斜視
図、図２は同じく制御構成図、図３は操作盤部を示す平
面図である。図において、１は処理装置等のポート（カ
セットステージ）、２はウエハカセットをポート１に搬
送するためのロボット、３はロボット２と作業者との接
触による危険を回避するために、ロボット２の動作範囲
を囲んだ柵、４は作業者のポート１へのアクセスを容易
にするため、柵３の任意の位置に１箇所または複数設け
られた扉、５は扉４近傍または作業者が操作し易い位置
に１個又は複数のロボット２を退避位置に移動させるた
めの操作盤であり、作業者は操作盤５を操作することに
より、必要に応じてロボット２を所定の退避位置に移動
させることができる。

【０００９】６は扉４の鍵となる電磁ロック、７はロボ
ット２の近傍に設置され、ロボット２をロックするため
の固定機構、８はコントローラである上位計算機、９は
コントローラである安全機器制御部である。操作盤５は
別置き又は一体型の上位計算機８によって制御され、こ
の上位計算機８からロボット２に対して、退避位置への
移動指令が行なわれる。上位計算機８は退避位置への移
動指令、移動完了報告を受けることにより、ロボット２
の状態を認識し、上位計算機８の他の処理を妨げること
無く、上位計算機８が関与しない人手による搬送の割り
込みを許可する。

【００１０】次にこの半導体ウエハ搬送システムの動作
を図４におけるフローチャートに基づいて説明する。作
業者は操作盤５を操作し、例えば操作盤５の「ＴＲＥ
ＥＳＣＡＰＥ」ボタン５ａを押す（ＳＴＥＰ１００）。
操作盤５より退避操作が行なわれると、上位計算機８は
ロボット２に退避を指令し（ＳＴＥＰ１０１）、ロボッ
ト２は定常的な作業を中断し、退避位置に移動する（Ｓ
ＴＥＰ１０２）。移動完了の後、上位計算機８に完了報
告を行ない、ロボット２が退避位置へ移動が完了し、退
避位置での固定が完了すると、操作盤５はロボット２が
退避完了したことを例えば照光式押しボタンで表示する
（ＳＴＥＰ１０３）。又これと並行して安全機器制御部
９のセンサでロボット２が退避位置にあることを確認し
（ＳＴＥＰ１０４）、安全機器制御部９はメカニカルに
ロボット２を固定する（ＳＴＥＰ１０５）。

【００１１】作業者は操作盤５でロボット２が退避完了
したことを確認し、操作盤５を操作し、例えば「ＵＮＬ
ＯＣＫ」ボタン５ｂを押して、扉に設けられた電磁ロッ
ク６を解除する（ＳＴＥＰ１０６）。又これと共に安全
機器制御部９も扉４の電磁ロック６を解除し（ＳＴＥＰ
１０７）、作業者は扉４を開いてロボット２の動作範囲
内へ進入して準定常作業を行なう（ＳＴＥＰ１０８）。
作業者はロボット２の動作範囲内での作業が終了した
後、動作範囲の外に出て扉４を閉める（ＳＴＥＰ１０
９）。そして作業者は操作盤５でロボット２の固定を解
除する操作を行ない（ＳＴＥＰ１１０）、これに応じて
安全機器制御部９はロボット２の固定を解除する（ＳＴ
ＥＰ１１２）。これと同時に作業者は操作盤５を操作
し、例えば「ＲＥＬＥＡＳＥ」ボタン５ｃを押すと、安
全機器制御部９は扉４の電磁ロック６を施錠する（ＳＴ
ＥＰ１１１）。ロボット２の固定解除の後、またはそれ
と同時に上位計算機８はロボット２に通常の指令を伝達
し、ロボット２による定常的な作業が継続する（ＳＴＥ
Ｐ１１３）。

【００１２】次に固定機構７部について詳細に説明す
る。図５は固定機構７を示す側面図であり、図におい
て、ロボット２が退避位置にあることをロボット２に取
り付けられた遮光板７ａをセンサ７ｂによって確認し、
ロボット２をメカニカルに固定する機構７ｃによって、
ロボット２が動作できない様に固定するものである。そ
して上記センサ７ｂ及びメカニカル機構７ｃは別置き又
は一体型のコントローラである安全機器制御部９によっ
て制御される。この安全機器制御部９は、Ｈ／Ｗのみで
もＳ／Ｗのみでも、また双方の混合した物でも構成され
る。又、メカニカル機構７ｃの駆動は、本実施形態では
シリンダ７ｄによったものであるが、モータを使用した
場合でも同様の効果が得られる。

【００１３】更にセンサ７ｂは本実施形態では、フォト
センサによったものであるが、近接センサ、光電センサ
などロボット２の位置を検出できるものであれば同様の
効果が得られる。このようにして、ロボット２をメカニ
カルに固定することにより、ロボット２の動力、電源が
供給されている状態でも、他の作業者による操作、ノイ
ズ、ロボットコントローラの故障、上位計算機８からの
指令等により、ロボット２は動作できなくなる。そして
ロボット２は、退避位置でメカニカルに固定されること
により、ロボット動作範囲内での作業者の安全が確保さ
れる効果がある。

【００１４】次に電磁ロック６部について詳細に説明す
る。図６は電磁ロック６部を示す平面図、図７は同じく
平面図、図８は同じく側面図である。図において、電磁
ロック６は柵３の固定部に取り付けられた電磁ロック本
体６ａと扉４に取り付けられた電磁ロックの操作キー６
ｂによって構成される。扉４を閉じると、電磁ロック６
の操作キー６ｂは電磁ロック本体６ａに挿入されてロッ
クされ、安全機器制御部９からの指令によってのみ解除
される。本実施形態では、電磁ロック本体６ａを柵３に
固定し、電磁ロック操作キー６ｂを扉４に固定している
が、これらの取付けが逆になっても同様の効果を有す
る。又、本実施形態では、電磁ロック６を扉上部に設け
ているが、これが中央部、下部に設けても同様の効果を
有する。

【００１５】このようにして、電磁ロック６を設け、ロ
ボット２が退避位置で固定されていない場合に扉４を開
閉できないようにし、ロボット２が退避位置に固定され
ていない場合は、扉４は開閉できず、作業者はロボット
２の動作範囲に進入できないので、作業者はロボット２
との接触による危険を回避できる効果を有する。

【００１６】上記のように構成することにより、作業者
がロボット２の電源又は動力を遮断せずにロボット２の
動作範囲に入る場合でも、ロボット２の動作範囲内での
作業の安全を確保でき、作業終了後のロボット２の復旧
に時間と手間を要せず、上位計算機８が関知するロボッ
ト２による定常的な処理装置への搬送と、上位計算機８
が関与しない人手による準定常的な処理装置への搬送の
混在した自由度の高い運用が可能となる効果が得られ
る。

【００１７】実施の形態２．図９はこの発明の実施の形
態２による半導体ウエハ搬送システムを示す断面側面図
であり、本実施形態においては、柵３の上部にファンフ
ィルターユニット１０を設け、常時又は扉４の開閉のタ
イミングで下方送風及び床から排気するものである。図
において、扉４の上部に設けられた、ファン１０ａとフ
ィルター１０ｂで構成されるファンフィルターユニット
１０で、常時又は扉４の開閉のタイミングで下方送風
し、周辺の気流を乱さないために、グレーチング１１の
下に設けられたファン１２により、常時又は扉４の開閉
のタイミングで排気を行ない、扉４周辺の雰囲気をクリ
ーンな雰囲気にする。以上により、作業者からの発塵、
扉開閉時の摺動部からの発塵の影響を残さないという効
果が得られる。

【００１８】

【発明の効果】この発明の請求項１に係る半導体ウエハ
搬送システムによれば、ロボットの動作範囲を扉が設け
られた柵で囲うことにより構成されるものであって、操
作盤からの指令によりロボットに退避命令及び作業命令
を出す上位計算機と、固定機構によりロボットを固定さ
せると共に、操作盤からの指令により扉の電磁ロックの
施錠及び解除を行なう安全機器制御部を設けたので、上
位計算機が関知するロボットによる定常的な処理装置へ
の搬送と、上位計算機が関与しない人手による準定常的
な処理装置への搬送の混在した自由度の高い運用が可能
となる。

【００１９】この発明の請求項２に係る半導体ウエハ搬
送システムによれば、ロボットが起動状態のままで、こ
のロボットを固定機構により固定し、人手による搬送を
可能にしたので、ロボットの電源又は動力を遮断せずに
ロボットの動作範囲内での作業の安全を確保でき、作業
終了後のロボットの復旧に時間と手間を要しない。

【００２０】この発明の請求項３に係る半導体ウエハ搬
送システムによれば、扉開閉のタイミングで下方に送風
すると共に床から排気する手段を設けたので、扉周辺の
雰囲気を常にクリーンな雰囲気に保つことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１による半導体ウエハ
搬送システムを示す斜視図である。

【図２】 この発明の実施の形態１による半導体ウエハ
搬送システムを示す制御構成図である。

【図３】 この発明の実施の形態１による半導体ウエハ
搬送システムの操作盤部を示す平面図である。

【図４】 この発明の実施の形態１による半導体ウエハ
搬送システムの動作を示すフローチャートである。

【図５】 この発明の実施の形態１による半導体ウエハ
搬送システムの固定機構部を示す側面図である。

【図６】 この発明の実施の形態１による半導体ウエハ
搬送システムの電磁ロック部を示す平面図である。

【図７】 この発明の実施の形態１による半導体ウエハ
搬送システムの電磁ロック部を示す正面図である。

【図８】 この発明の実施の形態１による半導体ウエハ
搬送システムの電磁ロック部を示す側面図である。

【図９】 この発明の実施の形態２による半導体ウエハ
搬送システムを示す断面側面図である。

【符号の説明】

２ ロボット、３ 柵、４ 扉、５ 操作盤、６ 電磁
ロック、７ 固定機構、８ 上位計算機、９ 安全機器
制御部。

フロントページの続き (72)発明者 小野 彰 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 矢野 昭二 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 3F060 AA08 CA01 HA31 5F031 BB01 CC11 LL01 MM10 MM11

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ロボットの動作範囲を扉が設けられた柵
   で囲うことにより構成される半導体ウエハ搬送システム
   において、操作盤からの指令により上記ロボットに退避
   命令及び作業命令を出す上位計算機と、固定機構により
   上記ロボットを固定させると共に、上記操作盤からの指
   令により上記扉の電磁ロックの施錠及び解除を行なう安
   全機器制御部を設けたことを特徴とする半導体ウエハ搬
   送システム。
2. 【請求項２】 ロボットが起動状態のままで、このロボ
   ットを固定機構により固定し、人手による搬送を可能に
   したことを特徴とする請求項１記載の半導体ウエハ搬送
   システム。
3. 【請求項３】 扉開閉のタイミングで下方に送風すると
   共に床から排気する手段を設けたことを特徴とする請求
   項１又は請求項２記載の半導体ウエハ搬送システム。