JP2000003941A - フレキシブル回路基板 - Google Patents

フレキシブル回路基板

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JP2000003941A
JP2000003941A JP10168984A JP16898498A JP2000003941A JP 2000003941 A JP2000003941 A JP 2000003941A JP 10168984 A JP10168984 A JP 10168984A JP 16898498 A JP16898498 A JP 16898498A JP 2000003941 A JP2000003941 A JP 2000003941A
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JP
Japan
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plating
thickness
lead
bonding
circuit board
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Withdrawn
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JP10168984A
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English (en)
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Fumiaki Karasawa
文明 唐澤
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Seiko Epson Corp
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Seiko Epson Corp
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
    • H01L24/79Apparatus for Tape Automated Bonding [TAB]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/50Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/50Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto

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  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】TAB用フレキシブルテ−プ基板の構造に関
し、TAB用テ−プのボンデングの品質向上と薄メッキ
化によるコスト低減を両立する。 【解決手段】TAB用テ−プのー搬部銅箔リ−ドに薄金
メッキを施しながら、ICバンプとの金属接合の必要な
リ−ドパタ−ン部は、メッキ厚を厚くする事によりボン
デングの信頼性を確保する。銅箔リ−ドパタ−ン7は、
ポリイミドベ−ス材1にIC用プレス穴2を加工した
後、銅箔をラミネ−トし、フォトエッチング加工をした
ものである。その後リ−ド全体に金メッキを施すもので
あるが、ICバンプとのボンデングするリ−ド7のメッ
キ厚み7は、ー搬リ−ド部4のそのメッキ厚8よりも金
メッキを厚くすることを特徴とする。その製造工程は、
基板全体に薄金メッキを施し、ICバンプとのボンデン
グするリ−ド7以外をメッキレジスト等でマスキング
し、再メッキを施すことによりメッキ厚を選択できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、フレキシブル回路
基板及びその製造方法に関し、例えばTAB(Tape
Automated Bonding)実装に用いる
フレキシブル回路基板及びその製造方法に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】IC等の電子部品が実装される様々な回
路基板において、配線パタ−ンは年々細密化してきてお
り、その流れは回路基板のー種であるTAB実装用TA
B用フレキシブルテ−プに用いるフレキシブル回路基板
においても同様にいえることである。
【0003】以下、フレキシブル回路基板の中でもTA
B実装用に用いるフレキシブルテ−プ回路基板について
説明する。配線パタ−ンの細密化、高密度化といった場
合には、特に以下の点それぞれについて小さくなるとい
ったことを示すことになる。具体的には、電気的導通を
図る為のリ−ドとして利用される銅箔パタ−ンの、各パ
タ−ン間の間隔距離(パタ−ン間ピッチ)についてであ
り、この距離は従前に比べより細かくなってきている。
さらに、それと同様に銅箔パタ−ン幅自体とその接合部
のメッキ厚に付いても考慮する必要が有り、金属同士の
接合共晶部の電気的信頼性向上も重要になってきてい
る。しかしながら、回路基板に対する単価面では、年々
厳しい単価ダウン要請が強まって来ている。その中で、
客先のC、D、Qを満足する総合的な基板の提供が必要
不可欠である。その為、回路基板の金メッキ厚を全体的
に薄くしながら、前述のパタ−ンリ−ドとICのボンデ
ング部の共晶部のピ−ル強度等の信頼性を向上させる必
要がある為、適正なボンデング共晶を得られる金メッキ
厚を確保する必要があるなど、合い反する要因を持って
いる。特に回路基板単価に対する金メッキの金代の比重
は大きくメッキ代改善の為にも金メッキ厚を全体的に薄
くしたい意向をもっており、そのニ−ズも年々高まって
居る。しかしながら、パタ−ン細密化と合わせて、回路
基板の金メッキ厚を薄くして、パタ−ンリ−ドとICの
ボンデング部の共晶部のリ−ドはがれ等のピ−ル強度面
での電気的信頼性を確保するのは不可能であり、現状で
はICのボンデング部の共晶部のピ−ル強度を確保する
に必要な、金メッキ厚を回路基板全体に付けているのが
ー般的であった。
【0004】図3は従来の回路基板表面図、図4はその
拡大断面図である。図3に示す様にに示す様に、ポリイ
ミドベ−ス材1に金型等でパンチングしたIC用デバイ
ス穴2に、シ−ト状の銅箔をラミネ−トした後フォトエ
ッチングにより加工され、上記IC穴2にオ−バ−ハン
グされたボンデング用銅箔リ−ドパタ−ン3及びポリイ
ミドベ−ス材上のOLB部及び引き回し用銅箔リ−ドパ
タ−ン4、IC5で形成されたTAB用フレキシブルテ
−プ基板がある。
【0005】図3に示すインナ−リ−ド3及びリ−ド4
の部分は、フォトエッチングにより加工された後リ−ド
に金メッキされており、リ−ドパタ−ンの四面全面に均
等の金の厚みが施されている。インナ−リ−ド3は、I
Cのバンプと共晶ボンデングされる部分であり金属共晶
するだけのある程度の金メッキの厚み(量)が必要であ
った。OLB部及び引き回し用銅箔リ−ドパタ−ン4
は、パタ−ン引き回し及び半田付け等に使用される為金
メッキの厚み(量)は薄くても良い。
【0006】上記内容であるが、金メッキは、機能上必
要な厚み7を全面に均等に施しているのが現状であっ
た。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら前述の従
来技術では、図2に示される様にTABテ−プの金メッ
キプロセスの金メッキ厚全体を薄くしようとするとIC
バンプ6とのボンデング部のリ−ド3との共晶部ピ−ル
強度が、確保できなくなり、リ−ド外れ等の問題が発生
し、電気的信頼性に大きなデメリットを与える事になっ
てしまう。更に今後のICのシュリンク(細密化)が進
む中でボンデング部のリ−ドが細くなる傾向に有り、メ
ッキ厚は、重要な要素になる。そのため現状では、基板
全体の金の厚みを厚くせざるをえなかった。しかし、基
板原価における金代の占める割合は、全体の3割に及び
金の使用量を減らすことが、コスト競争を勝ち抜く必要
条件である。
【0008】そこで本発明は、このような問題点を解決
するもので、その目的とするところは細密リ−ドパタ−
ンのICとのボンデング部のリ−ド共昌ピ−ル強度を損
なうことなく更に外的衝撃等の外的負荷においても、リ
−ド外れの発生防止し、安価な上にもフレキシブル回路
基板の信頼性の向上を提供するところに有る。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明のフレキシブル回
路基板は、ベ−ス基材上のOLB部及びー搬リ−ド部
と、前記ベ−ス基材に設けられたICとのボンデング部
の金メッキ厚を他の部分の厚みよりも厚く設けた導電パ
タ−ンと、を有することを特徴とする。このように形成
する事により、 ICとのボンデング部の金メッキ厚を維
持できるー方で、導電パタ−ンの他の部分は金メッキ厚
を薄くすることが出来、安価で且つ強度の得られるフレ
キシブル回路基板が提供できることを特徴とする。
【0010】また上記構造において、 ICとのボンデン
グ部の金メッキ厚みを0.4μm程度に設け、前記ボン
デング部を除く前記導電パタ−ン部の厚みを、0.1μ
m程度に設けることが望ましい。
【0011】上記構造を提供すべく、フレキシブル回路
基板の製造方法は、図2で説明する。パタ−ンエッチン
グ後のメッキ工程を二工程に分けてメッキをする。まず
最初に回路基板全体にー搬部のメッキ8を施す。その後
ICとのボンデング部のリ−ド部以外8にレジスト等で
マスキング剤を施し、 ICとのボンデング部のリ−ドの
メッキ厚7を得られる様金メッキを施す。その後マスキ
ング剤の剥離をする工程とを、有する事を特徴とする。
【0012】
【発明の実施の形態】図1は請求項1記載の発明に関す
るフレキシブル回路基板の第1の実施例の要部を示す図
である。及び図2は、本発明の実施例における細密フレ
キシブル基板構造図であって、図1は正面図、図2は側
面から見た拡大断面図である。
【0013】図1において、TABテ−プ基板1にプレ
ススリット穴2,がある。ここで使用している銅箔リ−
ドパタ−ン3は、ポリイミドベ−ス材1にIC穴等のプ
レス穴加工した後に、銅箔をラミネ−トした後、フォト
エッチング加工をしたものである。銅箔リ−ドパタ−ン
4はその引き回しリ−ドである。前述の全リ−ドには、
フォトエッチング加工後金メッキを施してある。
【0014】図2において本発明により、エッチングし
たリ−ド7とリ−ド4部は、リ−ド断面から見たときメ
ッキ厚さが異なっている。リ−ド7は、IC穴をオ−バ
−ハングした形でリ−ドが走っており、特にこの部分
は、図2に示すように、ICバンプとの共晶部分であ
り、共晶に必要な厚みの金メッキが施されている。リ−
ド7の厚みが薄いと金属共晶量が確保できず、ボンデン
グ部リ−ド外れ等クラックが入る。又は、折れやすくな
る等の課題が残る。この為に金メッキ厚を金属共晶可能
程度に確保する構造で有る。更に細密化された細いリ−
ドになると、必要な合金共晶量確保の為にも、メッキ厚
確保が重要になる。
【0015】そこで、本発明の図1及び図2に示すよう
に、IC5のバンプ部6にボンデングされて、金属共晶
の起こる部分であるリ−ド部3になるリ−ド部分の金メ
ッキ厚7のみ、他のリ−ド部4のメッキ厚8より厚くす
る方法を考えた。まず、テ−プ銅箔のラミネ−ト後に、
フォトエッチングによりOLB部4、ボンデング部3に
相当する部分の銅箔を、形成する。その後、テ−プ全体
に0.1μm程度の全体に金メッキを均一に施す。その
後ボンデング部以外のパタ−ンをレジスト又は電流斜柄
板等で覆いボンデング部を再金メッキをし、ボンデング
に必要なメッキ厚を確保する方式とした。当改善の場合
は、0.4μmとした。この量は、テ−プの細密度によ
りメッキ電流のコントロ−ルにより調整する事もできる
利点も有している。
【0016】上記内容のボンデング時の共晶力の実験の
まとめを表1に示す。
【0017】
【表1】
【0018】表1から明らかなようにボンデング条件と
メッキ厚の関係は、メッキ厚0.4μm以上で良好な結
果である。よって−搬部0.1μm、ボンデング部0.
4μm以上で量産可能である。
【0019】全面均一薄メッキした方法だと、図4に示
すようにリ−ド3及び4は、同一のメッキ厚み8のリ−
ドの為、ボンデング部リ−ドのメッキ厚が薄く金属共晶
が出来にくい状況となり接合品質が確保出来ない。
【0020】逆に、全面均一厚金メッキした従前の方法
だと、ボンデング部リ−ドの金メッキ厚7は良好である
が、基板のコストアップという相反する要因をもってい
た。
【0021】
【発明の効果】以上述べたように発明によれば、あらか
じめOLB部を含めたー搬部引き回しリ−ド部の金メッ
キ厚を最小必要限に薄くし、ICとのボンデング共晶リ
−ド部の金メッキ厚を厚くして、電機的信頼性を確保出
来るTABテ−プが提供できる。この事はより信頼性の
高い安価なTABテ−プが提供でき、今後更に細密ピッ
チ化が進むなかで、TABテ−プの細密ピッチ化と信頼
性の向上の両方に寄与できるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のTAB用フレキシブルテ−プ基板の構
造図。
【図2】本発明のTAB用フレキシブルテ−プ基板の構
造断面図。
【図3】従来迄のTAB用フレキシブルテ−プ基板の構
造図。
【図4】従来迄のTAB用フレキシブルテ−プ基板の構
造断面図。
【符号の説明】
1 ポリイミドベ−ス材 2 ポリイミドICデバイス穴 3 ボンデング用フィンガ−部 4 ー搬銅箔パタ−ンリ−ド 5 IC 6 ボンデング用バンプ 7 厚金メッキ(0.4μm) 8 薄金メッキ(0.1μm)

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ベース基材と、前記ベース基材に設けら
    れた導電パタ−ンのボンデイング部のメッキ厚みを他の
    部分の厚みよりも厚く設けた導電パタ−ンと、を有する
    事を特徴とするフレキシブル回路基板。
  2. 【請求項2】 前記ボンデイング部のメッキ厚みを0.4
    μm程度に設け、前記ボンデイング部を除く前記導電パ
    タ−ン部の厚みを0.1μm程度に設けたことを特徴とす
    る請求項1記載のフレキシブル回路基板。
  3. 【請求項3】 開口部を有するベース基材と、前記ベー
    ス基材上から前記開口部内に延出形成された導電パター
    ンと、を有するフレキシブル回路基板であって、前記導
    電パターンにおける前記開口部内に突出した領域の厚み
    を前記ベース基材上の領域の厚みに比して厚く形成され
    てなることを特徴とするフレキシブル回路基板。
JP10168984A 1998-06-16 1998-06-16 フレキシブル回路基板 Withdrawn JP2000003941A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8695670B2 (en) 2007-12-11 2014-04-15 Sato Holdings Kabushiki Kaisha Label sheet and label sheet manufacturing device

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