JP2000003851A5 - 投影光学系、投影露光装置及び方法 - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】 屈折光学部材と曲面鏡と光路偏向部材とを含む光学部材により、第１面の像を第２面上に形成する反射屈折投影露光装置に用いられる投影光学系において、
該投影光学系は、２個以上の前記光路偏向部材を有し、該光路偏向部材のうちのいずれか２つの光路偏向部材は、その反射面が互いに直交するように配置され、且つ単一の保持部材によって保持されていることを特徴とする投影光学系。
【請求項２】 前記投影光学系は、前記保持部材を支持する支持部材を有し、
前記保持部材によって保持された前記２つの光路偏向部材の間の光軸の中点を通り、該光軸と直交する平面又はその近傍において、前記保持部材は前記支持部材によって支持されることを特徴とする請求項１記載の投影光学系。
【請求項３】 前記保持部材によって保持された前記２つの光路偏向部材の間の光路中に、屈折光学部材を含まないことを特徴とする請求項１又は２記載の投影光学系。
【請求項４】 前記保持部材によって保持された前記２つの光路偏向部材の間の光路中に、２枚以内の屈折光学部材が配置されることを特徴とする請求項１又は２記載の投影光学系。
【請求項５】 前記保持部材によって保持された前記２つの光路偏向部材は、表面反射鏡であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の投影光学系。
【請求項６】 前記２つの光路偏向部材は、第１の光路偏向部材と、該第１の光路偏向部材よりも第２面側の光路に配置された第２の光路偏向部材とを備え、
前記第１の光路偏向部材よりも前記第１面側の光学系の光軸と、前記第２の光路偏向部材よりも前記第２面側の光軸とは互いに平行であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の投影光学系。
【請求項７】 前記２つの光路偏向部材は、第１の光路偏向部材と、該第１の光路偏向部材よりも第２面側の光路に配置された第２の光路偏向部材とを備え、
前記第１の光路偏向部材に入射する入射光と前記第２の光路偏向部材で反射される反射光とは互いに逆向きに進行することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項記載の投影光学系。
【請求項８】 前記投影光学系は、前記第１面の中間像を形成する第１結像光学系と、前記中間像の再結像を前記第２面上に形成する第２結像光学系と、前記中間像の近傍に配置される第１光路偏向部材と、該第１光路偏向部材と前記第２結像光学系との間に配置され又は前記第２結像光学系の内部に配置される第２光路偏向部材とを有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項記載の投影光学系。
【請求項９】 前記第１結像光学系は前記曲面鏡を含み、該曲面鏡は凹面鏡によって形成されることを特徴とする請求項８記載の投影光学系。
【請求項１０】 前記第１面を照明する照明光学系と、、
前記第１面上のパターンの像を第２面上の感光面に転写するための請求項１乃至９のいずれか１項記載の投影光学系とを備えることを特徴とする投影露光装置。
【請求項１１】 前記照明光学系が前記パターンを照明する照明領域と、前記投影光学系が前記感光面上に形成する露光領域とは、スリット状に形成されて、
前記パターンと前記感光面とは、前記照明領域及び露光領域の短手方向に同期して走査するように配置されることを特徴とする請求項１０記載の投影露光装置。
【請求項１２】 所定のパターンの像を被露光物体の感光面上に投影する投影露光方法において、
請求項１０又は１１記載の投影露光装置を用いて前記パターンの像を前記被露光物体の前記感光面上に形成していることを特徴とする投影露光方法。

【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、すなわち、屈折光学部材と曲面鏡と光路偏向部材とを含む光学部材により、第１面の像を第２面上に形成する反射屈折投影露光装置に用いられる投影光学系において、該投影光学系は、２個以上の前記光路偏向部材を有し、該光路偏向部材のうちのいずれか２つの光路偏向部材は、その反射面が互いに直交するように配置され、且つ単一の保持部材によって保持されていることを特徴とする投影光学系である。