JP1678274S - 基板処理装置用ボート - Google Patents
基板処理装置用ボートInfo
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- JP1678274S JP1678274S JP2020004706F JP2020004706F JP1678274S JP 1678274 S JP1678274 S JP 1678274S JP 2020004706 F JP2020004706 F JP 2020004706F JP 2020004706 F JP2020004706 F JP 2020004706F JP 1678274 S JP1678274 S JP 1678274S
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- JP
- Japan
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- substrate processing
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title abstract 4
Abstract
本願物品は、基板処理装置に用いられ、基板処理装置の反応室内に複数の基板を水平に保持するためのボートである。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020004706F JP1678274S (ja) | 2020-03-10 | 2020-03-10 | 基板処理装置用ボート |
| TW109304844F TWD218088S (zh) | 2020-03-10 | 2020-08-27 | 基板處理裝置用晶舟 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020004706F JP1678274S (ja) | 2020-03-10 | 2020-03-10 | 基板処理装置用ボート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP1678274S true JP1678274S (ja) | 2021-02-01 |
Family
ID=74312561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020004706F Active JP1678274S (ja) | 2020-03-10 | 2020-03-10 | 基板処理装置用ボート |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP1678274S (ja) |
| TW (1) | TWD218088S (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP1741512S (ja) | 2022-09-14 | 2023-04-11 |
-
2020
- 2020-03-10 JP JP2020004706F patent/JP1678274S/ja active Active
- 2020-08-27 TW TW109304844F patent/TWD218088S/zh unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWD218088S (zh) | 2022-04-11 |
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