HU226464B1 - Combination of materials for the low temperature triggering of the activation of getter materials and getter devices containing the same - Google Patents
Combination of materials for the low temperature triggering of the activation of getter materials and getter devices containing the same Download PDFInfo
- Publication number
- HU226464B1 HU226464B1 HU9902000A HUP9902000A HU226464B1 HU 226464 B1 HU226464 B1 HU 226464B1 HU 9902000 A HU9902000 A HU 9902000A HU P9902000 A HUP9902000 A HU P9902000A HU 226464 B1 HU226464 B1 HU 226464B1
- Authority
- HU
- Hungary
- Prior art keywords
- mixture
- getter
- materials
- alloy
- oxide
- Prior art date
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 90
- 230000004913 activation Effects 0.000 title description 23
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 76
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 38
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 38
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 36
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 13
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 238000005247 gettering Methods 0.000 claims description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 4
- 229910020599 Co 3 O 4 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910003126 Zr–Ni Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims 2
- 229910015999 BaAl Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000007891 compressed tablet Substances 0.000 claims 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000003826 tablet Substances 0.000 claims 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 20
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 12
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 11
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 11
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 5
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 4
- NDVLTYZPCACLMA-UHFFFAOYSA-N silver oxide Chemical group [O-2].[Ag+].[Ag+] NDVLTYZPCACLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Chemical compound [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 3
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005338 heat storage Methods 0.000 description 2
- 239000008240 homogeneous mixture Substances 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 2
- NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N manganese dioxide Chemical group O=[Mn]=O NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- 229910001923 silver oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- ZJRXSAYFZMGQFP-UHFFFAOYSA-N barium peroxide Chemical compound [Ba+2].[O-][O-] ZJRXSAYFZMGQFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002056 binary alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 230000003203 everyday effect Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000986 non-evaporable getter Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- SOQBVABWOPYFQZ-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);titanium(4+) Chemical class [O-2].[O-2].[Ti+4] SOQBVABWOPYFQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000010025 steaming Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002058 ternary alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 their weight ratio Substances 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052845 zircon Inorganic materials 0.000 description 1
- GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N zirconium(iv) silicate Chemical compound [Zr+4].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J17/00—Gas-filled discharge tubes with solid cathode
- H01J17/02—Details
- H01J17/18—Seals between parts of vessels; Seals for leading-in conductors; Leading-in conductors
- H01J17/186—Seals between leading-in conductors and vessel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J7/00—Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J7/14—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
- H01J7/18—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering
- H01J7/183—Composition or manufacture of getters
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
- Gas Separation By Absorption (AREA)
- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Description
A leírás terjedelme 16 oldal (ezen belül 8 lap ábra)
HU 226 464 Β1
A jelen találmány tárgya anyagkeverék alacsony hőmérsékleten aktiválható getteranyagok előállítására, ahol az anyagkeverék elgőzölögtethető getteranyagporokból, vagy el nem gőzölögtethető getterötvözetporokból, és Ag2O-, CuO-, MnO2-, CO3O4-porokat, valamint ezek keverékeit tartalmazó csoportból kiválasztott anyagból van kialakítva, valamint olyan getterezőeszköz, amely ilyen anyagkeveréket tartalmaz.
A getterek régóta ismertek és technológiai alkalmazásuk is széles körű, mind a nagy statikus vákuumot igénylő helyeken, mind pedig az inért gázok tisztítása területén.
A getterek működési elve erős felületi kemoszorpciós tulajdonságaikon alapul, amennyiben megkötik a reaktív gázok molekuláit, elvonva őket a vákuumnak kitett térből, vagy a tisztítandó gázból. A getterek két fő csoportra oszthatók: elgőzölögtethető, illetve el nem gőzölögtethető getterekre (ez utóbbiakat a szakmában NEG-ként, - Non Evaporable Getters - emlegetik). Elgőzölögtethető getterként az alkáliföldfémek, a kalcium, stroncium és különösen a bárium használatosak. Az el nem gőzölögtethető getterek általában titánt, cirkóniumot, vagy ezek alumíniummal és az átmenetifémek első sorának elemei közül egy, vagy több elemmel alkotott ötvözeteit tartalmazzák. Mindkét gettertípust aktiválni kell ahhoz, hogy működjék. A gyakorlatban, a légköri gázokhoz való erős affinitásuk miatt, a gettereket inaktív formában gyártják és forgalmazzák és aktiváló hőkezelésnek kell alávetni őket először a vákuumnak alávetendő térbe történő elhelyezésük, majd a tér lezárása után.
Az elgőzölögtethető gettereket előszeretettel alkalmazzák a televíziók és monitorok képernyőjeként szolgáló katódsugárcsövekben. Itt a báriumot mindig alkalmazzák getterként. Ebben az esetben a getteranyag a katódsugárcső belső felületére gőzölögtetett fémfilm és az aktiválási lépés a báriumprekurzorból történő felgőzölögtetéséből áll. A bárium felgőzölögtetése egy báriumtartalmú tégely, a katódsugárcsövön kívülről, rádiófrekvenciás hullámokkal végzett hevítésével történik. Báriumfilm-prekurzorként a gyakorlatban BaAI4- és Ni-por-tartalmú keveréket használnak. Kb. 850 °C-on a nikkel exoterm reakcióba lép az alumíniummal, ennek hatására a bárium elgőzölög az „ellobbanásnak” nevezett jelenség kíséretében.
Az el nem gőzölögtethető gettereket számos területen használják, például getterszivattyúk aktív elemeként, légtelenített hőszigetelő köpenyekben, vagy lámpák belsejében. Ezeket az anyagokat porokból préselt és színtereit getterdarabok, tégelyecskékbe töltött porok, vagy fémszalagra felvitt rétegek formájában alkalmazzák. El nem gőzölögtethető getter esetében elmarad a gőzölögtetés, az aktiválás a gyártást követően a levegő oxigénjével érintkező porrészecskék felületén képződő vékony oxid-, karbid-, nitridréteg eltávolításából áll. Az aktiváló hőkezelés lehetővé teszi, hogy ezek az anyagfajták a szemcse belsejébe diffundáljanak szabaddá téve a szemcsék fémes, kemoszorpció szempontjából aktív felületét.
Az el nem gőzölögtethető getterek aktiválási hőmérséklete függ az összetételtől és kb. 350 °C-on következik be egy olyan ötvözet esetében, amely 70 t% Zr-t, 24,61% V-t és 5,41% Fe-t tartalmaz és amelyet St 707 néven állítanak elő és forgalmaznak, illetve 900 °C körül egy olyan ötvözet esetében, amely 84 t% Zr-t, 16 t% Al-ot tartalmaz és St 101® néven állítják elő és hozzák forgalomba.
Ennélfogva, mind az elgőzölögtethető, mind pedig az el nem gőzölögtethető getteranyagok aktiválásukhoz hőkezelést kívánnak. Mivel a hőkezelési folyamatot a fent leírt módon el kell végezni, ha a gettert már - megfelelő eszközben - elhelyezték felhasználásának helyén, kívánatos, hogy a getter aktiválási hőmérséklete ne legyen túl magas, nehogy hátrányosan befolyásolja vagy funkcionálisan tönkretegye magát a berendezést. Ha a nagy hőmérsékletű hőkezelés nem is veszélyezteti a berendezés működőképességét, az alacsony működési hőmérséklet mindenképpen kívánatos. Például acél hőtároló edények esetében - amelyeket a mindennapi gyakorlatban majdnem teljes egészében üveggel helyettesítettek - az acélfelület a getter aktivációja alatt oxidálódik, és ezért a hőtároló edényt később mechanikus tisztításnak kell alávetni. Azért, hogy az oxidációt és az azt követő tisztítási műveletet elkerüljük, a getter aktiválását 300 °C-on vagy az alatti hőmérsékleten kell elvégezni. Végezetül, alacsony munkahőmérsékletnél bonyolult berendezéseket, eszközöket is használhatunk és a költségek is alacsonyabbak, mint magas hőmérséklet esetében, sőt energiamegtakarítást is el lehet érni. Általában elmondható, hogy ezért kívánatos olyan getteranyagokat használni, amelyek alacsony hőmérsékleten aktiválódnak. Olykor kívánatos olyan getteranyag használata, amelyet a szükségesnél kisebb hőmérsékleten, de egy minimális értéknél magasabb hőmérsékleten lehet aktiválni. Néhány gyártási folyamat esetében, például nagyon fontos, kényes eljárások esetén, ahol már adott egy getteranyaggal megtöltött eszköz, amelyet hőhatásnak teszünk ki: ez az eset a televíziós csövek gyártásának esete, ahol kívánatosabb lenne, ha olyan gettert tudnánk használni, amelyet annál a bizonyos 850 °C körüli hőmérsékletnél kisebb hőmérsékleten tudunk aktiválni, amelyet a kereskedelemben kapható, elgőzölögtethető báriumgetterek megkívánnak. Másrészt viszont, a getternek nem szabad aktiválódnia a katódsugárcsövet alkotó két üvegrész lezárásának fázisában, ez a folyamat körülbelül 450 °C-on megy végbe azért, hogy elkerüljék a bárium elpárolgását akkor, amikor a szerkezet még nyitott.
A WO 96/01966 számú közzétételi irat olyan getterezőeszközt ismertet, amelyben Ba-Li getterötvözetporok pelletei, valamint olyan, a bárium, a stroncium és a foszfor alkotta csoportból kiválasztott nedvszívó porok pelletei vannak elrendezve, amelyekhez esetleg nemesfém-oxid-por, például ezüst-oxid keverhető. A WO 96/01966 számú közzétételi irat szerinti getterezőeszközben a getteranyagok porai nincsenek összekeverve az oxidporokkal.
A 8-196899 japán szabadalmi leírás olyan el nem gőzölögtethető getterrendszert ír le, amelyet alacsony hőmérsékleten lehet aktiválni, és amely titánpor, titánoxid- és bárium-oxid-por keverékéből áll. A két utóbbi
HU 226 464 Β1 oxidnak az a rendeltetése, hogy részlegesen oxidálják a titánt, azért, hogy a titán egyik köztes oxidját, a Ti2O5 hozzák létre. Az oxidációs folyamat közben felszabaduló hő aktiválja a maradék titánt. Célszerűen 3 és 5 százalék közötti ezüstport adnak az ilyen keverékhez, hogy a rendszer hőmérséklete egyenletesebb legyen. Az említett szabadalmi leírás szerint ezt a keveréket 300 °C és 400 °C közötti hőmérsékleten kell aktiválni. Ez a megoldás azonban nem kielégítő: először is az említett szabadalom csak a titán, titán-dioxid, bárium-dioxid-rendszerrel foglalkozik, és a titán getterkapacitása nem túl nagy. Ráadásul, a titán-oxid különösen stabil összetevő, amelyből az oxigén nehezen szabadul fel, de ha ez meg is történik, az oxigénatom egyszerűen egy másik Ti atomhoz csatlakozna, és ez nem eredményezne energiafelszabadulást, ami pedig a getterrendszer aktiválásához szükséges lenne. Végezetül, az említett találmány példákkal nem igazolja a por alakú titán aktiválására szolgáló rendszernek a hatásosságát.
Ennélfogva a jelen találmány egyik célkitűzése, hogy olyan getterrendszert állítson elő, amelyet alacsony hőmérsékleten lehet aktiválni. Ezt a célt olyan anyagkeverékkel érhetjük el, amely egy elgőzölögtethető getteranyagot, vagy egy nem elgőzölögtethető getterötvözetet, az Ag2O, CuO, NnO2, Co3O4 oxidok, vagy ezek keverékeit tartalmazó csoportból kiválasztott anyagot tartalmaz.
Az anyagok fent leírt kombinációjához célszerűen egy harmadik komponenst adagolunk, amely egy olyan ötvözet, amelyet egyrészt egy, a ritka földfémek közül választott elemet, ittriumot, lantánt vagy ezek keverékeit tartalmazó és egy rezet, ónt vagy ezek keverékeit tartalmazó csoportból választunk ki.
A továbbiakban a találmányt ábrák segítségével ismertetjük. Az
1-3. ábrákon a jelen találmány szerinti getterrendszer egyik lehetséges kiviteli alakját láthatjuk, a
4. ábra a találmány szerinti anyagkombinációk hőközlés következtében kialakuló hőmérsékleti profilját mutatja, az
5. ábra a jelen találmány szerinti másik anyagkombináció hő hatására kialakuló hőmérsékletprofilját mutatja, a
6. ábra a jelen találmány szerinti további anyag kombináció hőmérsékletprofilját, valamint az anyagkombinációt hevítésekor a kemence atmoszférájának hőmérsékletprofilját mutatja, a
7. ábra a jelen találmány szerinti további anyagkombináció hőmérsékletprofilját, valamint az anyagkombinációt hevítésekor a kemence atmoszférájának hőmérsékletprofilját mutatja, a
8. ábra egy újabb, a jelen találmány szerinti másik anyagkombináció hő hatására kialakuló hőmérsékletprofilját mutatja, és a
9. ábra a hagyományos eljárás szerinti anyagkombináció hő hatására kialakuló hőmérsékletprofilját mutatja.
A jelen találmány szerinti anyagkeverékek, miközben ezeket 280 és 500 °C közé hevítjük, erős exoterm reakciót produkálnak. A reakció közben a hőmérséklet hirtelen megemelkedik és elérheti akár az 1000 °C-ot is, amely így, viszonylag alacsony hőmérsékletre történő hevítéssel kiváltja a getteranyagok aktiválódását.
A jelen találmány legtágabb értelmezésének megfelelően, kétkomponensű anyagkeveréket használunk.
Az anyagkeverékek egyik komponense egy getteranyag, amely lehet elgőzölögtethető vagy nem elgőzölögtethető típusú is.
Az elgőzölögtethető típusú getteranyag általában több alkotóból áll, amelyek közül az egyik lehet célszerűen ötvözet formájában lévő Ca vagy Sr vagy Ba, azért, hogy csökkentsük az elemek levegőhöz való affinitását. Legáltalánosabban BaAI4 vegyület használatos, rendszerint nikkelporral keverve és lehetőség szerint kis mennyiségű alumínium hozzáadása mellett.
Nem elgőzölögtethető getteranyagként gyakorlatilag minden ismert getter ötvözet használható, amely cirkont, titánt vagy ezek keverékét és legalább egy másik elemet tartalmaz, amely elemet, a vanádiumot, krómot, mangánt, vasat, kobaltot, nikkelt, alumíniumot, nióbiumot, tantált és volframot tartalmazó csoportból választunk ki.
A cirkóniumalapú ötvözetek kedveltek a leginkább, mint például a Zr-AI, Zr-Fe, Zr-Ni, Zr-Co biner ötvözetek, valamint a Zr-V-Fe és Zr-Mn-Fe terner ötvözetek. Különösen kedveltek a fentebb már említett St101 és St707 jelű ötvözetek.
A getteranyagokat leginkább olyan porok formájában alkalmazzák, amelyeknek szemcsemérete 150 gm, de kedvező esetben 50 gm alatt van.
A jelen találmány szerinti anyagkeverékek második összetevője egy olyan oxid, amelyet az Ag2O, CuO, MnO2, Co3O4 vagy ezek keverékét tartalmazó csoportból választunk ki.
Ezeket az oxidokat többnyire olyan porok formájában alkalmazzák, amelyeknek szemcsemérete kisebb, mint 150 gm, de kedvező esetben 50 gm-nál is kisebb.
A találmány szerinti anyagkeverékek aktiválásának reakciója közben a getteranyagok egy részét oxidok oxidálják, így az alkalmazás szempontjából a getterrendszer mennyiségi felépítéséhez arra van szükség, hogy a getteranyag feleslegben legyen. A getteranyagok és az oxidok mennyisége közötti arány széles határok között változtatható, de célszerűen 10:1 és 1:1 között van. A 10:1-nél nagyobb arányok esetében az oxidok mennyisége nem elégséges ahhoz, hogy a getteranyagok kielégítő aktiválását elérjük. Az 1:1 aránynál alacsonyabb arányok esetében az oxidok feleslegben vannak, ezért az aktiválás közben túl sok getteranyag oxidálódik, így többé nem tudja betölteni szerepét abban az eszközben, amelyben az anyagkeveréket használni kívánták. Továbbá az oxidok túlsúlya következtében sokkal nagyobb hő fejlődik az aktiváláshoz szükségesnél, így az anyag egy része kárba vész. Ezeken a határokon belül az oxidok szükséges mennyisége annál kisebb, minél kisebb a getteranyag aktiválási hőmérséklete. Az oxidok mennyisége geo3
HU 226 464 Β1 metriai paraméterektől is függ, ezekkel a következőkben foglalkozunk.
Az anyagkeverék alkotórészeit úgy keverjük össze, hogy tökéletesen homogén anyagkeveréket alkossanak.
Úgy is el lehet járni, hogy az oxid, amely általában a kisebb mennyiségben jelen levő összetevő, a getterrendszer egy bizonyos tartományában koncentrálódik és a rendszer többi része a getteranyagoknak van fenntartva: ebben az esetben homogén anyagkeveréket készíthetünk az oxidból és egy kevés getteranyagból, például olyan anyagkeveréket állítunk elő, amelyben a két anyag aránya 1:1, majd ezt az anyagkeveréket érintkeztetjük a maradék getteranyaggal. Mindkét esetben, az egész getterrendszert tekintve, a két komponens közötti exoterm reakció által termelt hő eloszlása annál jobb, minél nagyobb az érintkezési felület az oxidos rész és az oxidálódásra szánt getteranyag között. Abban az esetben, ha az oxid homogén eloszlású a getterrendszerben, a nagyobb érintkezési felületet úgy érhetjük el, hogy mindkét alkotó esetében finom szemcsézetű anyagot használunk. Ezzel szemben, ha a getterrendszer alapvetően két részre oszlik - az egyik a getteranyag, a másik pedig a jelen találmány szerinti anyagkeverék - a finom szemcsézetű anyagok használata csak e második rész szempontjából érdekes. A hőközlés annál jobb, minél nagyobb az érintkezési felület a rendszer két alkotója között.
A kétkomponensű, a találmánynak megfelelő getterrendszerek bármilyen különböző geometriai kialakításúak lehetnek. Abban az esetben, ha az oxid az egész getteranyagban eloszlik, de abban az esetben is, ha csak a rendszer egy részére koncentrálódik, az oxidokat össze lehet sajtolni tablettává, amelyet tartóba vagy dobozba vagy egy sima lapra helyezett porból nyerünk. Ez a lap lehet például egy szalag, a felhasználás kívánalmainak megfelelően.
Az 1., 2. és a 3. ábra kétkomponensű anyagkeveréket tartalmazó gettereszköz lehetséges kiviteli alakjait mutatja be, abban az esetben, amikor az oxidok nem egyenletesen oszlanak el az egész getterrendszerben. Az 1. ábrán a gettereszköz 10 tabletta formájában látható, amely egy 13 getteranyag 11 rétegéből és 14 keverék 12 rétegéből áll, ez utóbbi egyenletesen összekevert getteranyagot és oxidot tartalmaz. Jóllehet a geometriai kialakítás szempontjából közömbös, hogy milyen getteranyagot használunk, mégis célszerű nem elgőzölögtethető getteranyagot alkalmaznunk.
A 2. ábrán egy másfajta gettereszköz látható, amely a találmány szerinti anyagkeveréket tartalmazza. Ebben az esetben a 20 eszköz egy felül nyitott tégelyből áll, amelynek legalján egy 14 keverék rétege helyezkedik el, efölött pedig a 13 getteranyag 23 rétege fekszik. Ez a kiviteli alak egyaránt alkalmazható elgőzölögtethető getteranyagok és el nem gőzölögtethető getteranyagok esetén is.
A 3. ábrán újabb lehetséges 30 eszközt mutatunk be, amely a találmány szerinti anyagkeverék kétkomponensű változatát tartalmazza. Ebben az összeállításban a 30 eszköz egy lapos forma, amely a 31 lapból áll, amelyen a találmány szerinti anyagkeverék 32 rétege helyezkedik el. Efölött a 13 getteranyag 33 rétege található. A 3. ábrán bemutatott gettereszközt mind elgőzölögtethető, mind pedig nem elgőzölögtethető anyagokkal meg lehet valósítani és különösen alkalmas kis falvastagságú edényekben létrehozott vákuum fenntartására, amilyen például a tévéképernyő.
A jelen találmánynak a 21. igénypontba foglalt egyik előnyös kiviteli alakja szerint létrehozunk egy olyan háromkomponensű keveréket, amelynek első két komponense egy getteranyag, illetve egy oxid, ahogy azt fentebb már leírtuk, harmadik komponensként ezekhez egy ötvözet járul. Ez az ötvözet tartalmaz egyrészt egy fémet, amelyet a ritkaföldfémek csoportjából, ittriumból, lantánból vagy ezek keverékéből álló csoportból választunk ki, másrészt rezet, ónt vagy ezek keverékét.
Harmadik komponensként célszerű a Cu-Sn-MM ötvözetek - ahol MM mísmetált jelöl - alkalmazása, amely ritkaföldfémek kereskedelmi forgalomban kapható keveréke és amely túlnyomórészt cériumot, lantánt, neodímiumot és kisebb mennyiségben más ritkaföldfémeket tartalmaz.
A réz, ónhoz és MM-hoz viszonyított tömegaránya tág határok között változhat, de célszerű olyan ötvözetet használni, amelyben a MM tömegaránya 10 és 50% között van. A keverékben réz és ón is jelen lehet, önmagában vagy egymással valamilyen arányban keverve és ezek súlya az ötvözetben 50 és 90% között változhat.
A Cu-Sn-MM ötvözet célszerűen olyan por alakban használatos, amelynek szemcsemérete kisebb, mint 150 pm, de célszerűen 50 pm alatt van.
Ezeknek az eszközöknek a felfűtése a találmány szerinti anyagok közötti reakció kiváltásának hőmérsékletére, a légritka téren kívülről, rádiófrekvenciás hullámok segítségével mehet végbe, vagy úgy, hogy az egész kamrát kemencébe helyezzük. Az is lehetséges megoldás, hogy magába a gettereszközbe fűtőelemeket helyezünk (ezek a beépített fűtőelemek nem láthatók az 1-2. ábrákon) úgy, hogy ezek a beépített fűtőelemek elektromosan szigetelt huzalokból állnak, amelyeket árammal fűthetünk.
A továbbiakban a találmányt kiviteli példákkal szemléltetjük.
1. példa mg por alakú St 707 ötvözetet összekevertünk 50 mg por alakú Ag2O-val. Mindkét por alakú anyag szemcsemérete kisebb, mint 150 pm. A por alakú anyagkeveréket 3000 kg/cm2 nyomáson tablettává préseljük. Ezt az első próbadarabot egy fém próbahordozóba tettük és a vákuumrendszerhez csatlakoztatott üvegedénybe helyeztük. Miután az üvegedényből eltávolítottuk a levegőt, az 1. próbadarabot az üvegedény köré helyezett tekercs segítségével indukciósán felhevítettük. A próbadarabhoz hőelemet csatlakoztattunk. Ahogy az elektromos áram átfolyik a tekercsen, a próbahordozó és az ötvözet az indukció hatására felhevül. A hőmérsékletet a hőelem segítségével mértük és az
HU 226 464 Β1 idő függvényében ábrázoltuk, ahol az időtartam kezdete az áram bekapcsolásának pillanata. A hőmérséklet értékeit a hőelemről leolvastuk és a 4. ábra grafikonjának megfelelően ábrázoltuk.
2. példa
Megismételtük az 1. példa szerinti eljárást olyan minta használatával (2. minta), amely 100 mg por alakú St 707 ötvözetet és 7,5 mg Ag2O-ot tartalmazott. A teszteredmények a 5. ábra grafikonján láthatók.
3. példa
150 mg Ag2O3-port összekevertünk 150 mg 40 tömeg% rezet, 30 tömeg% ónt, 30 tömeg% MM-t tartalmazó por alakú ötvözettel - mindkét por alakú anyag szemcsemérete kisebb volt, mint 150 pm. A port 3000 kg/cm2 nyomással tablettává formáltuk, így kaptuk a 3. mintát. A 3. mintát fémtartályba helyeztük és az egészet légritka terű kemencébe tettük. A kemencében két hőelem volt, az első a próbától távolabb, a második pedig a fémtartályban, amely a próbát tartalmazta. A kemencét fűteni kezdtük és a két hőelem szolgáltatta hőmérsékleti értékeket az idő függvényében tároltuk. A két hőelem hőmérsékleti értékeit leolvastuk és a
6. ábrán látható grafikonon ábrázoltuk, amelyen az 1. vonal az első hőelemé, amely a kemence atmoszférahőmérsékletét mérte, a második vonal pedig a 2. hőelemé, amely a minta hőmérsékletét mérte.
4. példa
Megismételtük a 3. példa szerinti eljárást, egy olyan
4. mintával, amelyben az ezüst-oxidot réz-oxiddal helyettesítettük. A teszteredményeket a 7. ábra diagramján harmadik vonalként ábrázoltuk, amely 3. vonal a mintától távoli hőelemmel mért hőmérsékletprofilt mutatja, a 4. vonal pedig a mintával érintkező hőelem által mért hőmérsékletprofilt ábrázolja.
5. példa
Megismételtük a 3. példa szerintit eljárást, egy olyan 5. mintával, amelyben az ezüst-oxidot mangándioxiddal helyettesítettük. Az 5. mintát a mintatartóba helyeztük, amely fémből készült, majd egy üvegburába tettük, amely kapcsolatban van a légritkított terű rendszerrel. Miután a levegőt eltávolítottuk a burából, az 5. mintát indukciós úton felfűtjűk úgy, hogy a tekercset az üvegbura köré helyeztük. Ebben az esetben, mivel az üvegbura belseje nem fűtött, csak egy hőelemet használtunk, amely a minta hőmérséklet-változásait mérte. A minta teszt közbeni hőmérsékleti értékeit a 8. ábra 5-ös vonala mutatja.
6. példa
Ez a kísérletsorozat különböző inventív anyagkeverékekkel játszódott le. A 6-11. kísérleti mintákat, amelyeket a 3. példa ötvözetével összekevert különböző oxidok alkotnak, egy kör alakú tartályba tettük és összepréseltük. A kísérlet egy légritkított terű üvegburában játszódott le, - amelyet már az 5. példa kapcsán is leírtunk - úgy, hogy a mintákat indukciósán hevítettük. A minták száma, a különböző keverékek alkotóinak százalékos tömegaránya és a különböző alkotók exoterm reakcióját kiváltó hőmérsékletek az 1. táblázatban láthatóak. A táblázatban látható hőmérsékletek mérési hibája ±5 °C, a hőelemek elhelyezésének bizonytalansága következtében.
1. táblázat
| Minta | Oxid | Ötvözet | ^aktiválási <°C) |
| 6. | Ag2O 50% | 50% | 283 |
| 7. | Ag2O 20% + CuO 20% | 60% | 325 |
| 8. | CuO 30% | 70% | 340 |
| 9. | CuO 25%+MnO2 25% | 50% | 475 |
| 10. | MnO2 25% | 75% | 470 |
| 11. | OO3O4 30% | 70% | 400 |
7. (összehasonlító) példa
Ebben a példában a 8-196899 sz. japán szabadalmi leírásnak megfelelően elkészített minta aktiválási viselkedését számítottuk.
Az 1. példának megfelelő eljárást ismételtük meg, egy olyan 12. mintával, amelyet 100 mg Ti-por, 2 mg por alakú TiO és 5,5 mg por alakú Ba-peroxid összekeverésével állítottunk elő. A teszteredményeket a 9. ábrán látható diagramon ábrázoltuk.
A hagyományos eljárás, illetve a találmány szerinti néhány keverék viselkedését a 4-9. ábrákon látható diagramok mutatják. Minden diagram szokásos hőmérsékletprofil, amelyre az jellemző, hogy a kísérlet kezdetén a hőmérséklet emelkedik, majd hirtelen hőmérsékletcsúcsot mérünk. A hőmérsékletnek ez a hirtelen emelkedése a mintát alkotó anyagok közötti reakciók hőtermelésének köszönhető. Az exoterm jelenség kezdetekor elért hőmérséklet a getterrendszer aktivációjához szükséges legalacsonyabb hőmérséklet, vagyis a getterrendszer aktiválását kiváltó hőmérséklet. Ahogy azt a 4-8. ábrák és az 1. táblázat a 9. ábra diagramjával való összehasonlításakor is megemlítettük, a jelen találmány szerinti anyagkeverékeknél az exoterm reakció körülbelül 280 és 475 °C között indul meg, míg a hagyományos keverékek esetében ez a reakció-hőmérséklet körülbelül 730 °C. Következésképpen a tiszta titán aktivációja már viszonylag alacsony hőmérsékleten bekövetkezik, valamivel 500 °C fölött, és a 6. ábrán látható diagram szerint a Ti-TiO2-BaO2 rendszerben az exoterm reakció kezdetének hőmérséklete körülbelül 730 °C, ezért ebből világosan látszik, hogy ebben az esetben az exoterm reakció nem ad lehetőséget a getter aktiválására az általában megkívántnál alacsonyabb hőmérsékleten. Ebben az esetben egyetlen dolgot tehetünk, ha tehetünk egyáltalán valamit az aktiválás érdekében, mégpedig azt, hogy a rendszert kívülről fűtjük.
A jelen találmány szerinti getterrendszerek által elért hőmérsékletek megfelelőek mind az elgőzölögtethető getterek, mind pedig a nem elgőzölögtethető getterek számára.
HU 226 464 Β1
A jelen találmány szerinti anyagkeverékek segítségével, előre meghatározható a getteranyagok aktiválási hőmérséklete, amely körülbelül 280 és 500 °C közé tehető. Az aktiválási hőmérséklet ilyen szabályozását olyan paraméterek változtatásával érhetjük el, mint az anyagkeverékek komponenseinek kémiai tulajdonságai, tömegarányuk, szemcseméretük, valamint a getteranyag és a jelen találmány szerinti anyagkeverék érintkezési felületének kiterjedése.
Az aktiválást beindító hőmérsékletet egy bizonyos alsó határ fölött választhatjuk, különösen ha arra van szükség, hogy elkerüljük, hogy a getter aktivációja egy előre beállított értéknél alacsonyabb hőmérsékleten induljon meg. Ez például a már említett televízióképcsőgyártás esetében fordulhat elő, ahol kívánatos, hogy a Ba elgőzölgésének hőmérséklete alacsonyabb legyen a hagyományos eljárás szerinti körülbelül 850 °C-nál, de magasabb legyen körülbelül 450 °C-nál, amelyre a getterrendszer felmelegszik a képcső lezárásának gyártási periódusában.
Claims (29)
- SZABADALMI IGÉNYPONTOK1. Anyagkeverék alacsony hőmérsékleten aktiválható getteranyagok előállítására, ahol az anyagkeverék (14, 44, 54, 64)- elgőzölögtethető getteranyagporokból, vagy el nem gőzölögtethető getterötvözetporokból; és- Ag2O-, CuO-, MnO2-, Co3O4-porokat, valamint ezek keverékeit tartalmazó csoportból kiválasztott anyagból van kialakítva, valamint a getteranyagporok mennyisége nagyobb, mint az oxidporok mennyisége, és az oxidporok a getteranyagporok legalább egy részével homogén keveréket alkotnak.
- 2. Az 1. igénypont szerinti anyagkeverék (14, 44, 54, 64), azzal jellemezve, hogy a getteranyag (13, 43, 55,65) és az oxid tömegaránya 10:1 és 1:1 között van.
- 3. Az 1. igénypont szerinti anyagkeverék (14, 44, 54, 64), azzal jellemezve, hogy az elgőzölögtethető getteranyag (13, 43, 55, 65), a Ca, Ba, Sr alkotta csoportból választott elemet tartalmazó vegyület.
- 4. A 3. igénypont szerinti anyagkeverék (14, 44, 54, 64), azzal jellemezve, hogy a vegyület az intermetallikus BaAI4-vegyület.
- 5. Az 1. igénypont szerinti anyagkeverék (14, 44, 54, 64), azzal jellemezve, hogy az el nem gőzölögtethető getteranyag (13, 43, 55, 65) Zr-t, Ti-t, vagy ezek keverékét, valamint legalább egy, a V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Al, Nb, Ta, W alkotta csoportból választott elemet tartalmazó getterötvözet.
- 6. Az 5. igénypont szerinti anyagkeverék (14, 44, 54, 64), azzal jellemezve, hogy az ötvözet a biner Zr-AI, Zr-Fe, Zr-Ni, Zr-Co, valamint a terner Zr-V-Fe, Zr-Mn-Fe ötvözetek alkotta csoportból választott ötvözet.
- 7. A 6. igénypont szerinti anyagkeverék (14,44, 54, 64), azzal jellemezve, hogy az ötvözetben 70 tömeg% Zr, 24,6 tömeg% V, 5,4 tömeg% Fe van.
- 8. A 6. igénypont szerinti anyagkeverék (14, 44, 54, 64), azzal jellemezve, hogy az ötvözetben 84 tömeg% Zr és 16 tömeg% Al van.
- 9. A 6. igénypont szerinti anyagkeverék (14, 44, 54,64) , azzal jellemezve, hogy az ötvözetben 76,6 tömeg% Zr és 23,4 tömeg% Fe van.
- 10. A 6. igénypont szerinti anyagkeverék (14, 44, 54, 64), azzal jellemezve, hogy az ötvözetben 75,7 tömeg% Zr és 24,3 tömeg% Ni van.
- 11. Az 1. igénypont szerinti anyagkeverék (14, 44,54, 64), azzal jellemezve, hogy a getteranyag (13, 43,55, 65) és az oxid 150 pm-nál kisebb szemcseméretű por.
- 12. A 11. igénypont szerinti anyagkeverék (14, 44,54, 64), azzal jellemezve, hogy a getteranyag (13, 43,55, 65) és az oxid 50 pm-nál kisebb szemcseméretű por.
- 13. A 11. igénypont szerinti por alakú anyagkeveréket (14, 44, 54, 64) tartalmazó getterezőeszköz (20, 30, 40, 50, 60), azzal jellemezve, hogy a por eloszlása az eszközben (20) egyenletes.
- 14. A 13. igénypont szerinti getterezőeszköz (20, 30, 40, 50, 60), azzal jellemezve, hogy porból sajtolt tabletta (10) formája van.
- 15. A 13. igénypont szerinti getterezőeszköz (20, 30, 40, 50, 60), azzal jellemezve, hogy az eszköz (20, 30,40, 50, 60) tégelybe sajtolt por.
- 16. A 13. igénypont szerinti getterezőeszköz (60), azzal jellemezve, hogy az eszköz (60) fémhordozóra (61) felvitt por.
- 17. A 11. igénypont szerinti por alakú anyagkeveréket tartalmazó getterezőeszköz (20, 30,40, 50, 60), azzal jellemezve, hogy csak az eszköz (20, 30, 40, 50, 60) egy részében van oxidpor.
- 18. A 17. igénypont szerinti getterezőeszköz (20, 30, 40, 50, 60), azzal jellemezve, hogy olyan tabletta (10) alakú, amelyben csak egy getteranyag (13,43,55,65) réteg (11) és az 1. igénypont szerinti anyagkeverék-réteg (12) van.
- 19. A 17. igénypont szerinti getterezőeszköz (20, 30,40,50,60), azzal jellemezve, hogy felül nyitott, alsó részében az 1 igénypont szerinti anyagkeverék-réteget (22), efölött pedig csak egyetlen getteranyag (13, 43, 55, 65) réteget (23) tartalmazó tégely (21) alakú eszköz.
- 20. A 17. igénypont szerinti, sík kialakítású getterezőeszköz (30), azzal jellemezve, hogy részei egy fémlap (31), egy erre helyezett, az 1. igénypont szerinti anyagkeverék-réteg (32) és egy erre terített egyetlen getteranyag (13,43, 55, 65) réteg (33).
- 21. Az 1. igénypont szerinti, egy további összetevőt tartalmazó anyagkeverék (14, 44, 54, 64), azzal jellemezve, hogy a harmadik komponens olyan ötvözet, amelynek alkotói a ritkaföldfémek, Y, La, és ezek keverékei alkotta csoportból és a Cu, Sn, és ezek keverékét tartalmazó csoportból van kiválasztva.
- 22. A 21. igénypont szerinti anyagkeverék (14, 44, 54, 64), azzal jellemezve, hogy az oxid és az ötvözet aránya 1:10 és 10:1 között van.HU 226 464 Β1
- 23. A 22. igénypont szerinti anyagkeverék (14, 44, 54, 64), azzal jellemezve, hogy az oxid és az ötvözet aránya 1:5 és 5:1 között van.
- 24. A 21. igénypont szerinti anyagkeverék (14, 44, 54, 64), azzal jellemezve, hogy az ötvözet Cu, Sn és MM ötvözete.
- 25. A 24. igénypont szerinti anyagkeverék (14, 44, 54, 64), azzal jellemezve, hogy az ötvözet MM-tartalma 10 tömeg% és 50 tömeg% között van.
- 26. A 25. igénypont szerinti anyagkeverék (14, 44, 54, 64), azzal jellemezve, hogy az ötvözet 40 tömeg% Cu-30 tömeg% Sn-30 tömeg% MM összetételű.
- 27. A 21. igénypont szerinti anyagkeverék (14, 44, 54, 64), azzal jellemezve, hogy a getteranyag, az oxid és az ötvözet egyaránt 150 pm-nál kisebb szemcseméretű por.5
- 28. A 27. igénypont szerinti anyagkeverék (14, 44,54, 64), azzal jellemezve, hogy a getteranyag (13, 43,55, 65), az oxid és az ötvözet egyaránt 50 pm-nál kisebb szemcseméretű por.
- 29. Getterezőeszköz (20), azzal jellemezve, hogy 10 benne a 21. igénypont szerinti, por alakú anyagkeverék van.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| ITMI960254 IT1282600B1 (it) | 1996-02-09 | 1996-02-09 | Combinazione di materiali per l'innesco a bassa temperatura dell'attivazione di materiali getter e dispositivi getter che la |
| IT96MI002564 IT1286529B1 (it) | 1996-12-06 | 1996-12-06 | Combinazione di materiali per l'innesco a bassa temperatura della attivazione di materiali getter e dispositivi getter che la contengono |
| PCT/IT1997/000027 WO1997029503A1 (en) | 1996-02-09 | 1997-02-05 | Combination of materials for the low temperature triggering of the activation of getter materials and getter devices containing the same |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| HUP9902000A2 HUP9902000A2 (hu) | 1999-10-28 |
| HUP9902000A3 HUP9902000A3 (en) | 1999-11-29 |
| HU226464B1 true HU226464B1 (en) | 2008-12-29 |
Family
ID=26331352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| HU9902000A HU226464B1 (en) | 1996-02-09 | 1997-02-05 | Combination of materials for the low temperature triggering of the activation of getter materials and getter devices containing the same |
Country Status (12)
| Country | Link |
|---|---|
| US (3) | US6013195A (hu) |
| EP (2) | EP0879476B1 (hu) |
| JP (1) | JP3145413B2 (hu) |
| KR (1) | KR100281342B1 (hu) |
| CN (1) | CN1123036C (hu) |
| AU (1) | AU1617997A (hu) |
| BR (1) | BR9707403A (hu) |
| CA (1) | CA2244122C (hu) |
| DE (2) | DE69709313T2 (hu) |
| HU (1) | HU226464B1 (hu) |
| RU (1) | RU2147386C1 (hu) |
| WO (1) | WO1997029503A1 (hu) |
Families Citing this family (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69709313T2 (de) * | 1996-02-09 | 2002-07-25 | Saes Getters S.P.A., Lainate | Kombination von materialen für die niedertemperaturanregung der aktivierung von gettermaterialien und damit hergestellte gettervorrichtungen |
| EP1101237B2 (en) * | 1999-06-02 | 2017-08-16 | SAES GETTERS S.p.A. | Composite materials capable of hydrogen sorption independently from activating treatments and methods for the production thereof |
| US6383259B1 (en) | 2000-08-30 | 2002-05-07 | C&M Incorporated | Two section gas purifier with Joule-Thompson cooling device |
| DE10117365A1 (de) * | 2001-04-06 | 2002-10-10 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Niederdruckentladungslampe |
| KR100415615B1 (ko) * | 2001-06-13 | 2004-01-24 | 엘지전자 주식회사 | 게터 조성물 및 이를 이용한 전계방출표시소자 |
| US20050009168A1 (en) * | 2003-05-12 | 2005-01-13 | Robbins Joan Marie | Methods and apparatus for Adeno associated virus purification |
| GB0319171D0 (en) * | 2003-08-15 | 2003-09-17 | Boc Group Plc | Purifier/getter for vacuum and uhp gas applications |
| US20050069475A1 (en) * | 2003-09-30 | 2005-03-31 | Hage Daniel B. | System and process for reducing impurities |
| US8057856B2 (en) * | 2004-03-15 | 2011-11-15 | Ifire Ip Corporation | Method for gettering oxygen and water during vacuum deposition of sulfide films |
| KR100641301B1 (ko) * | 2004-09-15 | 2006-11-02 | 주식회사 세종소재 | 겟터 겸용 수은 보충재 |
| ITMI20042271A1 (it) * | 2004-11-23 | 2005-02-23 | Getters Spa | Leghe getter non evaporabili per assorbimento di idrogeno |
| CN100518924C (zh) * | 2005-01-27 | 2009-07-29 | 株式会社东芝 | 吸气材料和采用了该吸气材料的蒸发型吸气装置以及电子管 |
| TW200632245A (en) * | 2005-01-28 | 2006-09-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | A thermal insulator |
| CN100400704C (zh) * | 2006-01-13 | 2008-07-09 | 中国科学院力学研究所 | 一种快速提高真空室真空度的方法 |
| JP2008021629A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Samsung Sdi Co Ltd | 有機電界発光表示装置 |
| US7618600B1 (en) * | 2006-07-13 | 2009-11-17 | Sandia Corporation | Reactor for removing ammonia |
| ITMI20090410A1 (it) * | 2009-03-18 | 2010-09-19 | Getters Spa | Leghe getter non evaporabili adatte particolarmente per l'assorbimento di idrogeno |
| CN102543624B (zh) * | 2010-12-10 | 2015-07-22 | 北京有色金属研究总院 | 具有防掉粉装置的压制型吸气元件及其制备方法 |
| US9095805B2 (en) | 2010-12-15 | 2015-08-04 | Reactive Metals Ltd. | Sorption apparatuses for the production of pure gases |
| KR101224385B1 (ko) * | 2011-02-11 | 2013-01-21 | 하호 | 저온용 게터 및 그의 제조방법 |
| CN102302923A (zh) * | 2011-05-03 | 2012-01-04 | 南京华东电子真空材料有限公司 | 一种组合型吸气剂 |
| ITMI20111492A1 (it) * | 2011-08-04 | 2013-02-05 | Getters Spa | Miglioramenti per tubi ricevitori per collettori solari |
| US9416581B2 (en) * | 2012-07-31 | 2016-08-16 | Guardian Industries Corp. | Vacuum insulated glass (VIG) window unit including hybrid getter and making same |
| US9388628B2 (en) | 2012-07-31 | 2016-07-12 | Guardian Industries Corp. | Vacuum insulated glass (VIG) window unit with getter structure and method of making same |
| US9290984B2 (en) | 2012-07-31 | 2016-03-22 | Guardian Industries Corp. | Method of making vacuum insulated glass (VIG) window unit including activating getter |
| CN105617976A (zh) * | 2014-09-25 | 2016-06-01 | 张红 | 真空绝热板用吸气剂及真空绝热板 |
| CN105627604B (zh) * | 2014-12-01 | 2018-03-27 | 北京有色金属研究总院 | 一种高温太阳能真空集热管用复合型吸氢材料 |
| EP3647293B1 (en) * | 2017-06-30 | 2022-03-02 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Glass panel unit, building component, and method for activating gas adsorbent |
| JP2019147720A (ja) * | 2018-02-27 | 2019-09-05 | 日立化成株式会社 | 断熱部材用ゲッター材、及びそれを用いた断熱部材 |
| CN109680249A (zh) * | 2019-01-25 | 2019-04-26 | 苏州大学 | 非蒸散型薄膜吸气剂及其制备方法 |
| CN112251647B (zh) * | 2020-10-20 | 2021-11-09 | 浙江大学 | 具有正交晶型结构的高循环稳定性能的ZrCo基氢同位素贮存合金及其制备和应用 |
| CN113877590B (zh) * | 2021-09-27 | 2024-07-16 | 四川英诺维新材料科技有限公司 | 一种紫外光激活的吸气剂及其制备方法 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB202228A (en) * | 1923-01-29 | 1923-08-16 | Henry James Osborn | Improvements in the manufacture of electric incandescent lamps, and thermionic valves |
| IT963874B (it) * | 1972-08-10 | 1974-01-21 | Getters Spa | Dispositivo getter perfezionato contenente materiale non evapora bile |
| IT1110271B (it) * | 1979-02-05 | 1985-12-23 | Getters Spa | Lega ternaria getterante non evaporabile e metodo di suo impiego per l'assorbimento di acqua,vapore d'acqua,di altri gas |
| US4360445A (en) * | 1981-06-16 | 1982-11-23 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Oxygen stabilized zirconium-vanadium-iron alloy |
| NL8201750A (nl) * | 1982-04-28 | 1983-11-16 | Philips Nv | Inrichting voorzien van een geevacueerd vat met een getter en een getterhulpmiddel. |
| US4440736A (en) * | 1982-09-20 | 1984-04-03 | Allied Corporation | Titanium-based body-centered cubic phase alloy compositions and room temperature hydride-forming reactions of same |
| US4428856A (en) * | 1982-09-30 | 1984-01-31 | Boyarina Maya F | Non-evaporable getter |
| US4668424A (en) * | 1986-03-19 | 1987-05-26 | Ergenics, Inc. | Low temperature reusable hydrogen getter |
| US5312606A (en) * | 1991-04-16 | 1994-05-17 | Saes Getters Spa | Process for the sorption of residual gas by means of a non-evaporated barium getter alloy |
| IT1273338B (it) * | 1994-02-24 | 1997-07-08 | Getters Spa | Combinazione di materiali per dispositivi erogatori di mercurio metodo di preparazione e dispositivi cosi' ottenuti |
| IT1271207B (it) * | 1994-07-07 | 1997-05-27 | Getters Spa | Dispositivo per il mantenimento del vuoto in intercapedini termicamente isolanti e procedimento per la sua produzione |
| JPH08196899A (ja) * | 1995-01-30 | 1996-08-06 | Keiji Sakamoto | 非蒸発型ゲッター |
| DE69709313T2 (de) * | 1996-02-09 | 2002-07-25 | Saes Getters S.P.A., Lainate | Kombination von materialen für die niedertemperaturanregung der aktivierung von gettermaterialien und damit hergestellte gettervorrichtungen |
-
1997
- 1997-02-05 DE DE69709313T patent/DE69709313T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-02-05 EP EP97902575A patent/EP0879476B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-02-05 HU HU9902000A patent/HU226464B1/hu not_active IP Right Cessation
- 1997-02-05 JP JP52835797A patent/JP3145413B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1997-02-05 DE DE69735961T patent/DE69735961T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-02-05 CN CN97192139A patent/CN1123036C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1997-02-05 BR BR9707403A patent/BR9707403A/pt not_active IP Right Cessation
- 1997-02-05 RU RU98116740A patent/RU2147386C1/ru active
- 1997-02-05 AU AU16179/97A patent/AU1617997A/en not_active Abandoned
- 1997-02-05 WO PCT/IT1997/000027 patent/WO1997029503A1/en active IP Right Grant
- 1997-02-05 EP EP01202243A patent/EP1160820B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-02-05 KR KR1019980705908A patent/KR100281342B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-02-05 CA CA002244122A patent/CA2244122C/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-02-07 US US08/796,872 patent/US6013195A/en not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-08-31 US US09/653,574 patent/US6506319B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-11-27 US US09/723,614 patent/US6514430B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6514430B1 (en) | 2003-02-04 |
| DE69735961D1 (de) | 2006-06-29 |
| EP1160820A1 (en) | 2001-12-05 |
| JPH11509037A (ja) | 1999-08-03 |
| EP1160820B1 (en) | 2006-05-24 |
| RU2147386C1 (ru) | 2000-04-10 |
| DE69709313T2 (de) | 2002-07-25 |
| AU1617997A (en) | 1997-08-28 |
| US6013195A (en) | 2000-01-11 |
| CA2244122A1 (en) | 1997-08-14 |
| DE69709313D1 (de) | 2002-01-31 |
| JP3145413B2 (ja) | 2001-03-12 |
| CN1123036C (zh) | 2003-10-01 |
| EP0879476A1 (en) | 1998-11-25 |
| EP0879476B1 (en) | 2001-12-19 |
| HUP9902000A3 (en) | 1999-11-29 |
| KR19990082183A (ko) | 1999-11-25 |
| HUP9902000A2 (hu) | 1999-10-28 |
| CN1210618A (zh) | 1999-03-10 |
| CA2244122C (en) | 2003-10-07 |
| DE69735961T2 (de) | 2007-01-11 |
| US6506319B1 (en) | 2003-01-14 |
| WO1997029503A1 (en) | 1997-08-14 |
| KR100281342B1 (ko) | 2001-03-02 |
| BR9707403A (pt) | 1999-04-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| HU226464B1 (en) | Combination of materials for the low temperature triggering of the activation of getter materials and getter devices containing the same | |
| JP4700062B2 (ja) | 水素収着用非蒸発性ゲッター合金 | |
| US6682817B1 (en) | Composite materials capable of hydrogen sorption comprising palladium and methods for the production thereof | |
| US5520560A (en) | Combination of materials for mercury-dispensing devices, method of preparation and devices thus obtained | |
| US5831385A (en) | Mercury dispensing composition containing Cu-Si alloy promoter | |
| US3780501A (en) | Getter pumps | |
| GB2047950A (en) | Zr-fe alloys as hydrogen sorber at low temperatures | |
| JP2004235165A (ja) | 蛍光ランプの製造方法およびそれにより製造された蛍光ランプ | |
| JP2858646B2 (ja) | 水銀供与材乃至水銀供与体及び電子管内への水銀の導入方法 | |
| MXPA05002666A (es) | Composiciones desgasificadoras no evaporables, las cuales pueden ser reactivadas a baja temperatura despues de exposicion a gases reactivos a una temperatura mas alta. | |
| Giorgi | Getters and gettering | |
| US4894584A (en) | Electric lamp provided with a getter including palladium | |
| RU2355064C1 (ru) | Составы для дозирования ртути | |
| US3722976A (en) | Mercury generation | |
| US5876205A (en) | Combination of materials for integrated getter and mercury-dispensing devices and the devices so obtained | |
| US3820919A (en) | Zirconium carbon getter member | |
| JPS5832730B2 (ja) | 電子管用水蒸気放出用組成物 | |
| US3663121A (en) | Generation of metal vapors | |
| JPH0790434A (ja) | 水素還元雰囲気の清浄化と制御のためのゲッタ物質及び装置並びにその製造方法 | |
| ITMI962564A1 (it) | Combinazione di materiali per l'innesco a bassa temperatura della attivazione di materiali getter e dispositivi getter che la contengono |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | Lapse of definitive patent protection due to non-payment of fees |