JPH08196899A - 非蒸発型ゲッター - Google Patents
非蒸発型ゲッターInfo
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- JPH08196899A JPH08196899A JP3421895A JP3421895A JPH08196899A JP H08196899 A JPH08196899 A JP H08196899A JP 3421895 A JP3421895 A JP 3421895A JP 3421895 A JP3421895 A JP 3421895A JP H08196899 A JPH08196899 A JP H08196899A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ゲッターの活性化温度を低くすることができ、
活性化工程におけるエネルギー損失を低減でき、しかも
真空層構成材の特性劣化が生じ難い非蒸発型ゲッターを
提供する。 【構成】チタン粉末（Ｔｉ）に、酸化チタン粉末（Ｔｉ
Ｏ2）、過酸化バリウム粉末（ＢａＯ2）のような酸化反
応剤を、ヒーター加熱により所定の酸化反応熱が発生す
る適宜比率で混合し、所定形状に加圧成形してペレット
化する。各粉末の混合比率（重量比率）をＴｉ：ＴｉＯ
2：ＢａＯ2＝１００：２：５．５とする。銀粉末（Ａ
ｇ）のような熱良導体粉末をチタン粉末（Ｔｉ）に対し
て３〜５％（重量％）混入する。
活性化工程におけるエネルギー損失を低減でき、しかも
真空層構成材の特性劣化が生じ難い非蒸発型ゲッターを
提供する。 【構成】チタン粉末（Ｔｉ）に、酸化チタン粉末（Ｔｉ
Ｏ2）、過酸化バリウム粉末（ＢａＯ2）のような酸化反
応剤を、ヒーター加熱により所定の酸化反応熱が発生す
る適宜比率で混合し、所定形状に加圧成形してペレット
化する。各粉末の混合比率（重量比率）をＴｉ：ＴｉＯ
2：ＢａＯ2＝１００：２：５．５とする。銀粉末（Ａ
ｇ）のような熱良導体粉末をチタン粉末（Ｔｉ）に対し
て３〜５％（重量％）混入する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空断熱容器あるいは
真空断熱パイプを高真空に維持するための非蒸発型ゲッ
ターに関するものである。
真空断熱パイプを高真空に維持するための非蒸発型ゲッ
ターに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、断熱材料を用いず、しかもリサイ
クルが容易にできる断熱手段として真空断熱技術が注目
されている。従来、真空断熱容器あるいは真空断熱パイ
プの真空層を高真空に保つためのゲッターとして、ゲッ
ター機能（気体吸着機能）を長期間発揮できる非蒸発型
ゲッターが提案されており、チタン（Ｔｉ）粉末，錫
（Ｓｎ）粉末を混合して加圧成形しペレット化したもの
を用いたものがある。図１（ａ）は液体を保温するため
の魔法ビンのような真空断熱容器２、同図（ｂ）は超電
導線の配線（超電導線＋液体ヘリウム）や液化ガスの輸
送に用いるための真空断熱パイプ４であり、それぞれ外
壁２ａあるいは４ａの内面（真空層２ｃあるいは４ｃ
内）にペレット状の非蒸発型ゲッター（以下ゲッターと
称する）１を取着している。このようにして真空層２ｃ
（４ｃ）内に配設されたゲッター１を充分に活性化する
（気体吸着機能を充分に発揮させる）には、真空ポンプ
により真空層２ｃ（４ｃ）内の空気を排気（１０-3〜１
０-4Ｔｏｒｒ）した後、加熱ヒータ３により外壁２ａ
（４ａ）を介してゲッター１を６００〜１０００゜Ｃの
活性化温度で一定時間加熱する必要があった。
クルが容易にできる断熱手段として真空断熱技術が注目
されている。従来、真空断熱容器あるいは真空断熱パイ
プの真空層を高真空に保つためのゲッターとして、ゲッ
ター機能（気体吸着機能）を長期間発揮できる非蒸発型
ゲッターが提案されており、チタン（Ｔｉ）粉末，錫
（Ｓｎ）粉末を混合して加圧成形しペレット化したもの
を用いたものがある。図１（ａ）は液体を保温するため
の魔法ビンのような真空断熱容器２、同図（ｂ）は超電
導線の配線（超電導線＋液体ヘリウム）や液化ガスの輸
送に用いるための真空断熱パイプ４であり、それぞれ外
壁２ａあるいは４ａの内面（真空層２ｃあるいは４ｃ
内）にペレット状の非蒸発型ゲッター（以下ゲッターと
称する）１を取着している。このようにして真空層２ｃ
（４ｃ）内に配設されたゲッター１を充分に活性化する
（気体吸着機能を充分に発揮させる）には、真空ポンプ
により真空層２ｃ（４ｃ）内の空気を排気（１０-3〜１
０-4Ｔｏｒｒ）した後、加熱ヒータ３により外壁２ａ
（４ａ）を介してゲッター１を６００〜１０００゜Ｃの
活性化温度で一定時間加熱する必要があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような非蒸発型ゲッターを用いた従来例にあっては、真
空断熱容器２（真空断熱パイプ４）の外壁２ａ（４ａ）
内面に取着されたゲッター１のゲッター機能（気体吸着
機能）を充分発揮させるため、加熱ヒータ３によりゲッ
ター１を６００〜１０００゜Ｃの高温で加熱して活性化
する必要があるので、ゲッター１の活性化工程における
エネルギー損失が大きくなるという問題があった。ま
た、真空断熱容器２あるいは真空断熱パイプ４のような
真空層構成材を高温で加熱することにより、真空層構成
材の材料特性が劣化するという問題もあった。例えば、
真空断熱容器２がステンレスで構成されている場合に
は、高温加熱により、錆の発生や機械強度の低下などの
特性劣化が起きることがある。
ような非蒸発型ゲッターを用いた従来例にあっては、真
空断熱容器２（真空断熱パイプ４）の外壁２ａ（４ａ）
内面に取着されたゲッター１のゲッター機能（気体吸着
機能）を充分発揮させるため、加熱ヒータ３によりゲッ
ター１を６００〜１０００゜Ｃの高温で加熱して活性化
する必要があるので、ゲッター１の活性化工程における
エネルギー損失が大きくなるという問題があった。ま
た、真空断熱容器２あるいは真空断熱パイプ４のような
真空層構成材を高温で加熱することにより、真空層構成
材の材料特性が劣化するという問題もあった。例えば、
真空断熱容器２がステンレスで構成されている場合に
は、高温加熱により、錆の発生や機械強度の低下などの
特性劣化が起きることがある。
【０００４】本発明は上述の点に鑑みて為されたもので
あり、その目的とするところは、ゲッターの活性化温度
を低くすることができ、活性化工程におけるエネルギー
損失を低減でき、しかも真空層構成材の特性劣化が生じ
難い非蒸発型ゲッターを提供しようとするものである。
あり、その目的とするところは、ゲッターの活性化温度
を低くすることができ、活性化工程におけるエネルギー
損失を低減でき、しかも真空層構成材の特性劣化が生じ
難い非蒸発型ゲッターを提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の非蒸発型ゲッタ
ーは、チタン粉末（Ｔｉ）に、酸化チタン粉末（ＴｉＯ
2）、過酸化バリウム粉末（ＢａＯ2）のような酸化反応
剤を、ヒーター加熱により所定の酸化反応熱が発生する
適宜比率で混合し、所定形状に加圧成形してペレット化
したものである。
ーは、チタン粉末（Ｔｉ）に、酸化チタン粉末（ＴｉＯ
2）、過酸化バリウム粉末（ＢａＯ2）のような酸化反応
剤を、ヒーター加熱により所定の酸化反応熱が発生する
適宜比率で混合し、所定形状に加圧成形してペレット化
したものである。
【０００６】各粉末の混合比率（重量比率）を Ｔｉ：ＴｉＯ2：ＢａＯ2＝１００：２：５．５ とすれば、大きな活性化温度の引き下げ効果があり、ま
た、銀粉末（Ａｇ）のような熱良導体粉末をチタン粉末
（Ｔｉ）に対して３〜５％（重量％）混入すれば、ペレ
ット内の温度分布の均一化が図れる。
た、銀粉末（Ａｇ）のような熱良導体粉末をチタン粉末
（Ｔｉ）に対して３〜５％（重量％）混入すれば、ペレ
ット内の温度分布の均一化が図れる。
【０００７】
【作用】本発明は上述のように構成されており、チタン
粉末（Ｔｉ）に、酸化チタン粉末（ＴｉＯ2）、過酸化
バリウム粉末（ＢａＯ2）のような酸化反応剤を、ヒー
ター加熱により所定の酸化反応熱が発生する適宜比率で
混合し、所定形状に加圧成形してペレット化しているの
で、ヒータ加熱した際にペレット内で起きるチタン粉末
（Ｔｉ）の酸化反応（低酸化チタン（Ｔｉ3Ｏ5）が生成
される）で発生する発熱分だけゲッター１の活性化温度
を低くすることができ、活性化工程におけるエネルギー
損失を低減できる。しかも、活性化工程における加熱温
度を低くすることができるので、真空層構成材の特性劣
化を低減できる。
粉末（Ｔｉ）に、酸化チタン粉末（ＴｉＯ2）、過酸化
バリウム粉末（ＢａＯ2）のような酸化反応剤を、ヒー
ター加熱により所定の酸化反応熱が発生する適宜比率で
混合し、所定形状に加圧成形してペレット化しているの
で、ヒータ加熱した際にペレット内で起きるチタン粉末
（Ｔｉ）の酸化反応（低酸化チタン（Ｔｉ3Ｏ5）が生成
される）で発生する発熱分だけゲッター１の活性化温度
を低くすることができ、活性化工程におけるエネルギー
損失を低減できる。しかも、活性化工程における加熱温
度を低くすることができるので、真空層構成材の特性劣
化を低減できる。
【０００８】また、上記各粉末の混合比率（重量比率）
を、 Ｔｉ：ＴｉＯ2：ＢａＯ2＝１００：２：５．５ とすれば、活性化温度を３００〜４００°Ｃに引き下げ
ることができ、ゲッター１の活性化工程におけるヒータ
加熱を大幅に低減でき、エネルギー損失を大幅に低減で
きるとともに、真空層構成材の特性劣化を殆どなくすこ
とができる。さらに、銀粉末（Ａｇ）のような熱良導体
粉末をチタン粉末（Ｔｉ）に対して３〜５％（重量％）
混入すれば、ペレット内の温度分布の均一化が図れるの
で、ゲッター１を比較的低温で加熱して活性化する場合
における活性化処理が確実にかつ効率的に行うことがで
きる。
を、 Ｔｉ：ＴｉＯ2：ＢａＯ2＝１００：２：５．５ とすれば、活性化温度を３００〜４００°Ｃに引き下げ
ることができ、ゲッター１の活性化工程におけるヒータ
加熱を大幅に低減でき、エネルギー損失を大幅に低減で
きるとともに、真空層構成材の特性劣化を殆どなくすこ
とができる。さらに、銀粉末（Ａｇ）のような熱良導体
粉末をチタン粉末（Ｔｉ）に対して３〜５％（重量％）
混入すれば、ペレット内の温度分布の均一化が図れるの
で、ゲッター１を比較的低温で加熱して活性化する場合
における活性化処理が確実にかつ効率的に行うことがで
きる。
【０００９】
【実施例】図１及び図２は本発明一実施例を示すもの
で、粒径が１４〜２０ミクロンのチタン粉末（Ｔｉ）
に、粒径が４０〜５０ミクロンの酸化チタン粉末（Ｔｉ
Ｏ2）、過酸化バリウム粉末（ＢａＯ2）などの酸化反応
剤をヒータ加熱により所定の発熱反応が起きるような適
宜比率で混合し、図２に示すように、所定形状に加圧成
形してペレット化することによりゲッター１が形成され
る。このペレット化されたゲッタ１は、図１（ａ）
（ｂ）に示すように、真空断熱容器２（真空断熱パイプ
４）の外壁２ａ（４ａ）の内面に取着される。活性化用
の加熱ヒータ３は、真空断熱容器２（真空断熱パイプ
４）の外壁２ａ（４ａ）の外面に取着され、このゲッタ
ー１は、活性化工程において外壁２ａ（４ａ）を介して
活性化温度まで加熱される。なお、酸化反応剤として、
酸化チタン粉末（ＴｉＯ2）あるいは過酸化バリウム
（ＢａＯ2）のいずれか一方だけ混入（チタン粉末に対
して２〜８重量％）しても良いことは言うまでもない。
で、粒径が１４〜２０ミクロンのチタン粉末（Ｔｉ）
に、粒径が４０〜５０ミクロンの酸化チタン粉末（Ｔｉ
Ｏ2）、過酸化バリウム粉末（ＢａＯ2）などの酸化反応
剤をヒータ加熱により所定の発熱反応が起きるような適
宜比率で混合し、図２に示すように、所定形状に加圧成
形してペレット化することによりゲッター１が形成され
る。このペレット化されたゲッタ１は、図１（ａ）
（ｂ）に示すように、真空断熱容器２（真空断熱パイプ
４）の外壁２ａ（４ａ）の内面に取着される。活性化用
の加熱ヒータ３は、真空断熱容器２（真空断熱パイプ
４）の外壁２ａ（４ａ）の外面に取着され、このゲッタ
ー１は、活性化工程において外壁２ａ（４ａ）を介して
活性化温度まで加熱される。なお、酸化反応剤として、
酸化チタン粉末（ＴｉＯ2）あるいは過酸化バリウム
（ＢａＯ2）のいずれか一方だけ混入（チタン粉末に対
して２〜８重量％）しても良いことは言うまでもない。
【００１０】いま、本発明実施例にあっては、加熱ヒー
タ３にて加熱した際に、ゲッター１内でチタン粉末（Ｔ
ｉ）が低酸化チタン（Ｔｉ3Ｏ5）になる酸化反応が起
き、ペレット内で酸化反応熱が発生する。但し、このと
きの酸化反応に寄与する酸素は、酸化チタン（Ｔｉ
Ｏ2）および過酸化バリウム（ＢａＯ2）から供給され
る。したがって、ゲッター１内で発生する酸化反応によ
る発熱分だけゲッター１の活性化温度を低くすることが
できる。したがって、加熱ヒータ３による昇温を低減で
き、活性化工程におけるエネルギー損失を低減できる。
しかも、活性化工程における加熱温度を低くすることが
できるので、真空断熱容器２あるいは真空断熱パイプ４
の真空層２ｃ，４ｃを構成する真空層構成材（例えば、
ステンレス）の特性劣化（錆、機械強度など）を低減で
きる。
タ３にて加熱した際に、ゲッター１内でチタン粉末（Ｔ
ｉ）が低酸化チタン（Ｔｉ3Ｏ5）になる酸化反応が起
き、ペレット内で酸化反応熱が発生する。但し、このと
きの酸化反応に寄与する酸素は、酸化チタン（Ｔｉ
Ｏ2）および過酸化バリウム（ＢａＯ2）から供給され
る。したがって、ゲッター１内で発生する酸化反応によ
る発熱分だけゲッター１の活性化温度を低くすることが
できる。したがって、加熱ヒータ３による昇温を低減で
き、活性化工程におけるエネルギー損失を低減できる。
しかも、活性化工程における加熱温度を低くすることが
できるので、真空断熱容器２あるいは真空断熱パイプ４
の真空層２ｃ，４ｃを構成する真空層構成材（例えば、
ステンレス）の特性劣化（錆、機械強度など）を低減で
きる。
【００１１】本実施例にあっては、各粉末の混合比率
（重量比率）を Ｔｉ：ＴｉＯ2：ＢａＯ2＝１００：２：５．５ としており、この混合比率の場合、活性化温度を３００
〜４００°Ｃに引き下げることができる。したがって、
活性化工程におけるヒータ加熱を従来例（活性化温度が
６００〜１０００°Ｃ）に比べて大幅に低減できること
になる。さらに、銀粉末（Ａｇ）のような熱良導体粉末
をチタン粉末（Ｔｉ）に対して３〜５％（重量％）混入
すれば、ペレット内の温度分布の均一化が図れるので、
ゲッター１を比較的低温で加熱して活性化する場合にお
ける活性化処理が確実にかつ効率的に行うことができ
る。
（重量比率）を Ｔｉ：ＴｉＯ2：ＢａＯ2＝１００：２：５．５ としており、この混合比率の場合、活性化温度を３００
〜４００°Ｃに引き下げることができる。したがって、
活性化工程におけるヒータ加熱を従来例（活性化温度が
６００〜１０００°Ｃ）に比べて大幅に低減できること
になる。さらに、銀粉末（Ａｇ）のような熱良導体粉末
をチタン粉末（Ｔｉ）に対して３〜５％（重量％）混入
すれば、ペレット内の温度分布の均一化が図れるので、
ゲッター１を比較的低温で加熱して活性化する場合にお
ける活性化処理が確実にかつ効率的に行うことができ
る。
【００１２】なお、実施例にあっては粒径が１４〜２０
ミクロンの微粉末チタン（Ｔｉ）を用いているので、一
般的粒径（４０〜５０ミクロン）のチタン粉末（Ｔｉ）
を用いたものに比べてより良好なゲッター効果が得られ
るようになっている。また、チタン粉末（Ｔｉ）に対し
て３〜５％（重量％）のニオブ（Ｎｂ）を混入すれば、
ゲッター効果がより向上する。
ミクロンの微粉末チタン（Ｔｉ）を用いているので、一
般的粒径（４０〜５０ミクロン）のチタン粉末（Ｔｉ）
を用いたものに比べてより良好なゲッター効果が得られ
るようになっている。また、チタン粉末（Ｔｉ）に対し
て３〜５％（重量％）のニオブ（Ｎｂ）を混入すれば、
ゲッター効果がより向上する。
【００１３】
【発明の効果】本発明は上述のように、チタン粉末（Ｔ
ｉ）に、酸化チタン粉末（ＴｉＯ2）、過酸化バリウム
粉末（ＢａＯ2）のような酸化反応剤を、ヒーター加熱
により所定の酸化反応熱が発生する適宜比率で混合し、
所定形状に加圧成形してペレット化しているので、ヒー
タ加熱した際にペレット内で起きるチタン粉末（Ｔｉ）
の酸化反応（低酸化チタン（Ｔｉ3Ｏ5）が生成される）
で発生する発熱分だけゲッターの活性化温度を低くする
ことができ、活性化工程におけるエネルギー損失を低減
できるという効果がある。しかも、活性化工程における
加熱温度を低くすることができるので、真空層構成材の
特性劣化を低減できるという効果がある。
ｉ）に、酸化チタン粉末（ＴｉＯ2）、過酸化バリウム
粉末（ＢａＯ2）のような酸化反応剤を、ヒーター加熱
により所定の酸化反応熱が発生する適宜比率で混合し、
所定形状に加圧成形してペレット化しているので、ヒー
タ加熱した際にペレット内で起きるチタン粉末（Ｔｉ）
の酸化反応（低酸化チタン（Ｔｉ3Ｏ5）が生成される）
で発生する発熱分だけゲッターの活性化温度を低くする
ことができ、活性化工程におけるエネルギー損失を低減
できるという効果がある。しかも、活性化工程における
加熱温度を低くすることができるので、真空層構成材の
特性劣化を低減できるという効果がある。
【００１４】また、上記各粉末の混合比率（重量比率）
を、 Ｔｉ：ＴｉＯ2：ＢａＯ2＝１００：２：５．５ とすれば、活性化温度を３００〜４００°Ｃに引き下げ
ることができ、活性化工程におけるヒータ加熱を大幅に
低減でき、エネルギー損失を大幅に低減できるととも
に、真空層構成材の特性劣化を殆どなくすことができ
る。さらに、銀粉末（Ａｇ）のような熱良導体粉末をチ
タン粉末（Ｔｉ）に対して３〜５％（重量％）混入すれ
ば、ペレット内の温度分布の均一化が図れるので、ゲッ
ターを比較的低温で加熱して活性化する場合における活
性化処理が確実にかつ効率的に行うことができるという
効果がある。
を、 Ｔｉ：ＴｉＯ2：ＢａＯ2＝１００：２：５．５ とすれば、活性化温度を３００〜４００°Ｃに引き下げ
ることができ、活性化工程におけるヒータ加熱を大幅に
低減でき、エネルギー損失を大幅に低減できるととも
に、真空層構成材の特性劣化を殆どなくすことができ
る。さらに、銀粉末（Ａｇ）のような熱良導体粉末をチ
タン粉末（Ｔｉ）に対して３〜５％（重量％）混入すれ
ば、ペレット内の温度分布の均一化が図れるので、ゲッ
ターを比較的低温で加熱して活性化する場合における活
性化処理が確実にかつ効率的に行うことができるという
効果がある。
【図１】本発明一実施例の使用例を示す断面図であり、
同図（ａ）は真空断熱容器に用いた例、同図（ｂ）は真
空断熱パイプに用いた例を示すものである。
同図（ａ）は真空断熱容器に用いた例、同図（ｂ）は真
空断熱パイプに用いた例を示すものである。
【図２】同上の斜視図である。
１ ゲッター ２ 真空断熱容器 ２ａ 外壁 ２ｂ 内壁 ２ｃ 真空層 ３ 加熱ヒータ ４ 真空断熱パイプ ４ａ 外壁 ４ｂ 内壁 ４ｃ 真空層
Claims (3)
- 【請求項１】チタン粉末（Ｔｉ）に、酸化チタン粉末
（ＴｉＯ2）、過酸化バリウム粉末（ＢａＯ2）のような
酸化反応剤を、ヒーター加熱により所定の酸化反応熱が
発生する適宜比率で混合し、所定形状に加圧成形してペ
レット化したことを特徴とする非蒸発型ゲッター。 - 【請求項２】上記各粉末の混合比率（重量比率）を Ｔｉ：ＴｉＯ2：ＢａＯ2＝１００：２：５．５ としたことを特徴とする請求項１記載の非蒸発型ゲッタ
ー。 - 【請求項３】銀粉末（Ａｇ）のような熱良導体粉末をチ
タン粉末（Ｔｉ）に対して３〜５％（重量％）混入した
ことを特徴とする請求項１および請求項２記載の非蒸発
型ゲッター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3421895A JPH08196899A (ja) | 1995-01-30 | 1995-01-30 | 非蒸発型ゲッター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3421895A JPH08196899A (ja) | 1995-01-30 | 1995-01-30 | 非蒸発型ゲッター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08196899A true JPH08196899A (ja) | 1996-08-06 |
Family
ID=12408020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3421895A Pending JPH08196899A (ja) | 1995-01-30 | 1995-01-30 | 非蒸発型ゲッター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08196899A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6013195A (en) * | 1996-02-09 | 2000-01-11 | Saes Getters S.P.A. | Getter materials capable of being activated at low applied temperatures |
| US6753647B2 (en) | 2001-06-13 | 2004-06-22 | Lg Electronics Inc. | Composition of getter and field emission display using the same |
| JP2007157682A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-06-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| CN100400704C (zh) * | 2006-01-13 | 2008-07-09 | 中国科学院力学研究所 | 一种快速提高真空室真空度的方法 |
-
1995
- 1995-01-30 JP JP3421895A patent/JPH08196899A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6013195A (en) * | 1996-02-09 | 2000-01-11 | Saes Getters S.P.A. | Getter materials capable of being activated at low applied temperatures |
| US6506319B1 (en) | 1996-02-09 | 2003-01-14 | Saes Getters, S.P.A. | Getter materials capable of being activated at low applied temperatures |
| US6753647B2 (en) | 2001-06-13 | 2004-06-22 | Lg Electronics Inc. | Composition of getter and field emission display using the same |
| JP2007157682A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-06-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| CN100400704C (zh) * | 2006-01-13 | 2008-07-09 | 中国科学院力学研究所 | 一种快速提高真空室真空度的方法 |
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