JPH0482170B2 - - Google Patents
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- JPH0482170B2 JPH0482170B2 JP23129187A JP23129187A JPH0482170B2 JP H0482170 B2 JPH0482170 B2 JP H0482170B2 JP 23129187 A JP23129187 A JP 23129187A JP 23129187 A JP23129187 A JP 23129187A JP H0482170 B2 JPH0482170 B2 JP H0482170B2
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- JP
- Japan
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- sintered body
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- vapor phase
- manganese dioxide
- fluorine
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- NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N manganese dioxide Chemical compound O=[Mn]=O NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- MIVBAHRSNUNMPP-UHFFFAOYSA-N manganese(2+);dinitrate Chemical group [Mn+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O MIVBAHRSNUNMPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 claims description 11
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 10
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 claims description 10
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 9
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 8
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 10
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 7
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 description 2
- -1 Perfluoroalkylamine Chemical compound 0.000 description 1
- AJDIZQLSFPQPEY-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-Trichlorotrifluoroethane Chemical compound FC(F)(Cl)C(F)(Cl)Cl AJDIZQLSFPQPEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001774 Perfluoroether Polymers 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UJMWVICAENGCRF-UHFFFAOYSA-N oxygen difluoride Chemical compound FOF UJMWVICAENGCRF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920005548 perfluoropolymer Polymers 0.000 description 1
- RVZRBWKZFJCCIB-UHFFFAOYSA-N perfluorotributylamine Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)N(C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F RVZRBWKZFJCCIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003303 reheating Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
Description
［産業上の利用分野］
本発明は弁作用金属粉末の焼結体からなる固体
電解コンデンサの製造方法、さらに詳しくは二酸
化マンガン層の形成方法に関するものである。 ［従来の技術］ タンタル、ニオブ、アルミニウムなどの弁作用
金属粉末の焼結体からなる固体電解コンデンサに
おいては、先ず焼結体の表面を化成することによ
つて酸化皮膜を形成する。次に、これを硝酸マン
ガン水溶液中に浸漬した後、熱分解させて半導体
層である二酸化マンガン層を形成する。この熱分
解は通常数回行なわれるが、この熱分解の際に酸
化皮膜が破壊されるので、この修復を目的とし
て、次の熱分解の間および最後の熱分解の後に再
化成が行なわれる。 このような二酸化マンガン層の形成において、
従来は硝酸マンガン水溶液の濃度を次第に濃くし
て熱分解している。例えば、20％硝酸マンガン水
溶液中に焼結体を浸透し、熱分解し、これを４回
程繰返し、次に40％硝酸マンガン水溶液中に焼結
体を浸漬し、熱分解し、これを３回程繰返し、さ
らに70％硝酸マンガン水溶液中に焼結体を浸漬
し、熱分解し、これを５回程繰返している。熱分
解の雰囲気は約200〜300℃の乾燥した水蒸気相中
である。 ［発明が解決しようとする問題点］ 高温（200〜300℃）の水蒸気相中における硝酸
マンガンの熱分解によると、緻密な二酸化マンガ
ン層を得ることができるので好ましいものであ
る。しかし、その反面、熱風循環式の炉内で一度
に多量の製造を行なうので、炉内の風量および風
向によつて炉内温度のバラツキを生じ、固体電解
質（二酸化マンガン層）の均質の生成ができな
い。その結果、電気的の諸特性にも悪影響を及ぼ
し均等な特性を有する固体電解コンデンサを製造
することが困難なものであつた。 ［問題点を解決するための手段］ しかるに、本発明は上述した問題点を解決する
ために、硝酸マンガンの熱分解をフツ素系不活性
液の蒸気相と水蒸気相との混合雰囲気中で行なう
ようにしたものである。 フツ素系不活性液としては、例えばイタリア国
モンテフルオス社のガルデン（商品名）あるいは
フオンブリン（商品名）、米国スリーエム社のフ
ロリナート（商品名）または旭硝子社のアフルー
ド（商品名）などのパーフルオロポリエーテル、
パーフルオロアルキルアミン、パーフルオロエー
テル、などである。特に、ガルデンのVPS（ベー
パーフエイズソルダリング）グレート品HS／260
は、平均分子量800、沸点260±５℃、20℃での熱
伝度と0.0007watt／cm℃などの特性を有するもの
である。 乾燥した水蒸気は、ボイラーにて発生させた水
蒸気を再加熱することによつて得る。 また、フツ素系不活性液の蒸気と水蒸気の混合
比率は任意に選択することができる。 ［作用］ このような熱分解によると、炉内にフツ素系不
活性液の蒸気が存在するので、従来の水蒸気単独
の場合に比べ、熱伝達係数が大きくなり、炉内温
度すなわち熱分解温度のバラツキが少なくなる。
したがつて、硝酸マンガンの熱分解反応に必要な
熱エネルギーを炉内の各焼結体に均等に供給する
ことができるので、均質な固体電解質の生成が可
能となる。 ［実施例］ 以下に、本発明に係る固体電解コンデンサの製
造法の一実施例を比較例として説明する。 実施例 タンタル粉末により直径１mm、高さ１mmの焼結
体を形成し、この焼結体を化成液中に浸漬し、電
圧を印加して酸化皮膜を形成した。なお、焼結体
からはタンタルの陽極線が引出されている。 次に、20％硝酸マンガン水溶液中に浸漬した後
に、260℃のフツ素系不活性蒸気相と水蒸気相と
の混合雰囲気中にて熱分解させ、二酸化マンガン
層を形成した。これをさらに３回繰返した。引続
き、40％硝酸マンガン水溶液中に浸漬した後に、
260℃のフツ素系不活性蒸気相と水蒸気相との混
合雰囲気中にて熱分解させ、二酸化マンガン層を
形成した。これをさらに２回繰返した。次で、70
％硝酸マンガン水溶液中に浸漬した後に、260℃
のフツ素系不活性蒸気相と水蒸気相との混合雰囲
気中にて熱分解させ、二酸化マンガン層を形成し
た。これをさらに４回繰返した。これら熱分解工
程において、各熱分解終了毎に１，１，２―トリ
フルオル―１，２，２―トリクロルエタン、例え
ばフロンソルブ（商品名）AESで洗浄し、フツ
素系不活性液の残渣を除去した。また、再化成処
理は適宜に行なつた。フツ素系不活性液の蒸気と
水蒸気との混合比率は全ての工程で１：１とし
た。総合的な二酸化マンガン層の形成の後、陰極
層を形成し、陰極線付け、外装樹脂の形成を行な
つて定格35V・0.22μFの固体電解コンデンサを作
成した。 比較例 タンタル粉末により直径１mm、高さ１mmの焼結
体を形成し、この焼結体を化成液中に浸漬し、電
圧を印加して酸化皮膜を形成した。なお、焼結体
からはタンタルの陽極線が引出されている。 次に、20％硝酸マンガン水溶液中に浸漬した後
に、260℃のスチーム下にて熱分解させ、二酸化
マンガン層を形成した。これをさらに３回繰返し
た。引続き、40％硝酸マンガン水溶液中に浸漬し
た後に、260℃のスチーム下にて熱分解させ、二
酸化マンガン層を形成した。これをさらに２回繰
返した。次いで、70％硝酸マンガン水溶液中に
260℃のスチーム下にて熱分解させ、二酸化マン
ガン層を形成した。これをさらに４回繰返した。
これら熱分解工程において、再化成処理は適宜に
行なつた。総合的な二酸化マンガン層の形成の
後、陰極層を形成し、陰極線付け、外装樹脂の形
成を行なつて定格35V・0.22μFの固体電解コンデ
ンサを作成した。 第１表に本発明の実施例および比較例の漏れ電
流特性を示す。
電解コンデンサの製造方法、さらに詳しくは二酸
化マンガン層の形成方法に関するものである。 ［従来の技術］ タンタル、ニオブ、アルミニウムなどの弁作用
金属粉末の焼結体からなる固体電解コンデンサに
おいては、先ず焼結体の表面を化成することによ
つて酸化皮膜を形成する。次に、これを硝酸マン
ガン水溶液中に浸漬した後、熱分解させて半導体
層である二酸化マンガン層を形成する。この熱分
解は通常数回行なわれるが、この熱分解の際に酸
化皮膜が破壊されるので、この修復を目的とし
て、次の熱分解の間および最後の熱分解の後に再
化成が行なわれる。 このような二酸化マンガン層の形成において、
従来は硝酸マンガン水溶液の濃度を次第に濃くし
て熱分解している。例えば、20％硝酸マンガン水
溶液中に焼結体を浸透し、熱分解し、これを４回
程繰返し、次に40％硝酸マンガン水溶液中に焼結
体を浸漬し、熱分解し、これを３回程繰返し、さ
らに70％硝酸マンガン水溶液中に焼結体を浸漬
し、熱分解し、これを５回程繰返している。熱分
解の雰囲気は約200〜300℃の乾燥した水蒸気相中
である。 ［発明が解決しようとする問題点］ 高温（200〜300℃）の水蒸気相中における硝酸
マンガンの熱分解によると、緻密な二酸化マンガ
ン層を得ることができるので好ましいものであ
る。しかし、その反面、熱風循環式の炉内で一度
に多量の製造を行なうので、炉内の風量および風
向によつて炉内温度のバラツキを生じ、固体電解
質（二酸化マンガン層）の均質の生成ができな
い。その結果、電気的の諸特性にも悪影響を及ぼ
し均等な特性を有する固体電解コンデンサを製造
することが困難なものであつた。 ［問題点を解決するための手段］ しかるに、本発明は上述した問題点を解決する
ために、硝酸マンガンの熱分解をフツ素系不活性
液の蒸気相と水蒸気相との混合雰囲気中で行なう
ようにしたものである。 フツ素系不活性液としては、例えばイタリア国
モンテフルオス社のガルデン（商品名）あるいは
フオンブリン（商品名）、米国スリーエム社のフ
ロリナート（商品名）または旭硝子社のアフルー
ド（商品名）などのパーフルオロポリエーテル、
パーフルオロアルキルアミン、パーフルオロエー
テル、などである。特に、ガルデンのVPS（ベー
パーフエイズソルダリング）グレート品HS／260
は、平均分子量800、沸点260±５℃、20℃での熱
伝度と0.0007watt／cm℃などの特性を有するもの
である。 乾燥した水蒸気は、ボイラーにて発生させた水
蒸気を再加熱することによつて得る。 また、フツ素系不活性液の蒸気と水蒸気の混合
比率は任意に選択することができる。 ［作用］ このような熱分解によると、炉内にフツ素系不
活性液の蒸気が存在するので、従来の水蒸気単独
の場合に比べ、熱伝達係数が大きくなり、炉内温
度すなわち熱分解温度のバラツキが少なくなる。
したがつて、硝酸マンガンの熱分解反応に必要な
熱エネルギーを炉内の各焼結体に均等に供給する
ことができるので、均質な固体電解質の生成が可
能となる。 ［実施例］ 以下に、本発明に係る固体電解コンデンサの製
造法の一実施例を比較例として説明する。 実施例 タンタル粉末により直径１mm、高さ１mmの焼結
体を形成し、この焼結体を化成液中に浸漬し、電
圧を印加して酸化皮膜を形成した。なお、焼結体
からはタンタルの陽極線が引出されている。 次に、20％硝酸マンガン水溶液中に浸漬した後
に、260℃のフツ素系不活性蒸気相と水蒸気相と
の混合雰囲気中にて熱分解させ、二酸化マンガン
層を形成した。これをさらに３回繰返した。引続
き、40％硝酸マンガン水溶液中に浸漬した後に、
260℃のフツ素系不活性蒸気相と水蒸気相との混
合雰囲気中にて熱分解させ、二酸化マンガン層を
形成した。これをさらに２回繰返した。次で、70
％硝酸マンガン水溶液中に浸漬した後に、260℃
のフツ素系不活性蒸気相と水蒸気相との混合雰囲
気中にて熱分解させ、二酸化マンガン層を形成し
た。これをさらに４回繰返した。これら熱分解工
程において、各熱分解終了毎に１，１，２―トリ
フルオル―１，２，２―トリクロルエタン、例え
ばフロンソルブ（商品名）AESで洗浄し、フツ
素系不活性液の残渣を除去した。また、再化成処
理は適宜に行なつた。フツ素系不活性液の蒸気と
水蒸気との混合比率は全ての工程で１：１とし
た。総合的な二酸化マンガン層の形成の後、陰極
層を形成し、陰極線付け、外装樹脂の形成を行な
つて定格35V・0.22μFの固体電解コンデンサを作
成した。 比較例 タンタル粉末により直径１mm、高さ１mmの焼結
体を形成し、この焼結体を化成液中に浸漬し、電
圧を印加して酸化皮膜を形成した。なお、焼結体
からはタンタルの陽極線が引出されている。 次に、20％硝酸マンガン水溶液中に浸漬した後
に、260℃のスチーム下にて熱分解させ、二酸化
マンガン層を形成した。これをさらに３回繰返し
た。引続き、40％硝酸マンガン水溶液中に浸漬し
た後に、260℃のスチーム下にて熱分解させ、二
酸化マンガン層を形成した。これをさらに２回繰
返した。次いで、70％硝酸マンガン水溶液中に
260℃のスチーム下にて熱分解させ、二酸化マン
ガン層を形成した。これをさらに４回繰返した。
これら熱分解工程において、再化成処理は適宜に
行なつた。総合的な二酸化マンガン層の形成の
後、陰極層を形成し、陰極線付け、外装樹脂の形
成を行なつて定格35V・0.22μFの固体電解コンデ
ンサを作成した。 第１表に本発明の実施例および比較例の漏れ電
流特性を示す。
【表】
［効果］
第１表からも分かるように、本発明に係る製造
方法によると、漏れ電流値の低い固体電解コンデ
ンサを提供することができる。
方法によると、漏れ電流値の低い固体電解コンデ
ンサを提供することができる。
Claims (1)
- １ 弁作用金属粉末の焼結体の表面に形成された
酸化皮膜上に硝酸マンガンの複数回の熱分解によ
り二酸化マンガン層を形成する工程において、フ
ツ素系不活性液の蒸気相と水蒸気相との混合雰囲
気中で熱分解することを特徴とした固体電解コン
デンサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23129187A JPS6473713A (en) | 1987-09-16 | 1987-09-16 | Manufacture of solid electrolytic capacitor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23129187A JPS6473713A (en) | 1987-09-16 | 1987-09-16 | Manufacture of solid electrolytic capacitor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6473713A JPS6473713A (en) | 1989-03-20 |
| JPH0482170B2 true JPH0482170B2 (ja) | 1992-12-25 |
Family
ID=16921305
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23129187A Granted JPS6473713A (en) | 1987-09-16 | 1987-09-16 | Manufacture of solid electrolytic capacitor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6473713A (ja) |
-
1987
- 1987-09-16 JP JP23129187A patent/JPS6473713A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6473713A (en) | 1989-03-20 |
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