JP2000001702A

JP2000001702A - 複合化ゲッター材および密閉空間の真空化方法

Info

Publication number: JP2000001702A
Application number: JP10187033A
Authority: JP
Inventors: Fumiaki Aono; 文昭青野; Hirohisa Uchida; 裕久内田
Original assignee: Benkan Corp
Current assignee: Benkan Corp
Priority date: 1998-06-18
Filing date: 1998-06-18
Publication date: 2000-01-07

Abstract

(57)【要約】【課題】各種の温度領域で使用される密閉空間であっ
ても、狭く、長い密閉空間であっても、短時間に、かつ
容易に、しかも、確実に真空化を図ることができる。【解決手段】複合化ゲッター材２は、水素解離圧特性
を有し、水素を吸収し得る第１のゲッター材と、この第
１のゲッター材を被覆し、この第１のゲッター材よりも
高い水素解離圧特性を有し、水素を吸収し得る第２のゲ
ッター材とからなる。複合化ゲッター材２は耐被毒性表
面処理を施すこともできる。密閉空間を水素ガスで置換
する際には複合化ゲッター材が水素を吸収するのを防止
し、その後の昇温と降温に伴い、外側の第２のゲッター
材が水素を吸収することによってクラック、破壊を生じ
た後においては内側の第１のゲッター材により水素を吸
収して密閉空間の真空化を図る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、保温保冷用タン
ク、魔法瓶、真空断熱配管のような真空断熱層等、各種
の密閉空間を真空化するために用いる複合化ゲッター材
および真空化方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば、真空断熱配管などの真空
断熱層内を真空化するには、一般的に真空断熱配管など
を高温で加熱して脱ガス（ベーキング）しながら真空ポ
ンプで排気する方法が採用されていた。また、上記のよ
うに真空断熱層を真空化するに際し、あらかじめ、真空
断熱層内にゲッター材を収めておき、このゲッター材に
より真空化処理後に真空断熱層内に発生したガスを吸収
させ、真空断熱層内を長期間に亘って真空に維持するこ
とも多く行われている。そして、上記ゲッター材は上記
ベーキング時、若しくは別プロセスによる直接通電加熱
などの手法により活性化している。

【０００３】従来の他の例として、特開昭６０−４０８
９８号公報に記載されているように、低温液化ガスを貯
蔵する真空断熱容器の製造に際し、その真空断熱層内を
水素ガスで置換した後、あらかじめ上記真空断熱層内に
収めておいた水素吸蔵合金に低温液化ガスそのものの温
度を利用して水素ガスを吸収させ、真空化を図るように
した方法が提案されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例のうち、前者の真空化方法では、真空引き操作に長
時間を要していた。特に、真空断熱配管の真空断熱層の
ように排気流路が狭く、しかも、排気距離が長い場合に
は、排気抵抗が高く、有効なコンダクタンス（真空排気
しやすさ）が得られないため、排気効率が非常に悪く、
真空化に多大な時間を要していた。また、ゲッター材を
使用する場合には、その活性化に長時間を要し、または
別のプロセスを必要とし、非行率的であった。

【０００５】一方、後者の真空化方法では、液化ガス温
度領域における水素吸蔵合金の水素吸収速度が非常に遅
いため、水素吸収、すなわち、真空断熱層の真空化に長
時間を要する。また、水素吸蔵合金への水素吸収は低温
液化ガスの温度（熱量）によって行われるため、極低温
の液化ガスしか用いることができず、用途が自ら限定さ
れる。また、水素吸蔵合金は低温液化ガスの温度（熱
量）を奪って水素を吸収するため、低温液化ガスのガス
化（蒸発）を招き、損失を招く。更に、低温液化ガスの
消費による減少に伴い、真空断熱容器の温度が上昇する
と、水素吸蔵合金に吸収されていた水素が放出され、真
空度、すなわち、断熱効果の低下を招くおそれがある。

【０００６】本発明者は、以上のような従来例の問題点
を踏まえ、常温以上の温度であっても真空断熱層内の水
素を真空領域まで吸収可能な水素吸蔵材をゲッター材と
して用い、低温媒体の保冷に限らず、高温媒体の断熱を
も可能とする真空断熱層内の真空化（水素吸収）と、真
空化後の時間経過に伴い、真空化容器の壁等から真空断
熱層内に放出されてくるガス分子の吸着による真空化の
維持とについて検討した。そして、水素平衡解離圧が常
温で大気圧以下となる水素吸蔵合金や水素吸蔵単金属を
真空化容器内に収め、ベーキング温度を考慮した高温下
で水素ガスフローにより真空化容器内を水素ガスで置換
し、真空化容器内の真空化を試みた。その結果、真空用
に調整した水素吸蔵合金や水素吸蔵単金属では、水素ガ
ス置換時に既に水素を吸収してしまったり、水素を吸収
しなかったりしてほとんど真空化を図ることはできなか
った。このように、ベーキング温度を考慮した高温領域
では単に解離圧を真空領域に調整した水素吸蔵合金や水
素吸蔵単金属を用いても安定した真空化とその維持は困
難であることがわかった。

【０００７】そこで、本発明者は、更に試験研究した結
果、常温以上の温度であっても水素を減圧下で吸収し得
るゲッター材を、高温下にあっては大気圧程度の圧力で
は水素を吸収せず、若しくは、常温にあっては高圧でな
ければ水素を吸収しないゲッター材により被覆した複合
化ゲッター材を用いることにより、この複合化ゲッター
材を密閉化空間に収め、この密閉化空間を水素ガスで置
換しても、置換の際には水素を吸収させず、置換後に水
素を効果的に吸収させて密閉化空間の真空化を図ること
ができることを見出し、これに基づき、各種の温度領域
で利用される密閉空間であっても、また、特に、狭く、
排気距離が長い真空断熱層等であっても、短時間に、か
つ容易に、しかも、確実に真空化を図ることができるよ
うにした複合化ゲッター材および密閉空間の真空化方法
を提供しようとするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の複合化ゲッター材は、水素解離圧特性を有
し、水素を吸収し得る第１のゲッター材と、この第１の
ゲッター材を被覆し、この第１のゲッター材よりも高い
水素解離圧特性を有し、水素を吸収し得る第２のゲッタ
ー材とからなる。

【０００９】そして、上記第２のゲッター材は第１のゲ
ッター材と合金化させてもよく、第１のゲッター材上に
積層させてもよい。また、第２のゲッター材に耐被毒性
表面処理を施すのが好ましい。

【００１０】上記課題を解決するために本発明の密閉空
間の真空化法は、水素解離圧特性を有し、水素を吸収し
得る第１のゲッター材と、この第１のゲッター材を被覆
し、この第１のゲッター材よりも高い水素解離圧特性を
有し、水素を吸収し得る第２のゲッター材とからなる複
合化ゲッター材を密閉する空間に納め、上記空間を水素
ガスにより置換して上記空間を密閉し、まず、上記第２
のゲッター材に水素を吸収させて破壊させ、その後、出
現した上記第１のゲッター材により水素を吸収させるよ
うにしたものである。

【００１１】そして、上記真空化方法において、密閉す
る空間を水素ガスにより置換するのと同時、置換する前
後の少なくともいずれかの段階で加熱によるベーキング
処理を施し、上記空間の密閉後の降温下で第２のゲッタ
ー材に水素を吸収させて破壊させるようにするのが好ま
しく、また、上記第２のゲッター材が耐被毒性表面処理
を施されている複合化ゲッター材を用いるのが好まし
い。

【００１２】上記のような本発明によれば、密閉空間を
水素ガスで置換する際には複合化ゲッター材が水素を吸
収するのを防止し、その後の昇温と降温に伴い、複合化
ゲッター材のうち、まず、外側の第２のゲッター材によ
り水素を吸収し、この第２のゲッター材が水素の吸収に
伴ってクラック、破壊を生じた後においては、このクラ
ック、破壊により新たに出現した内側の第１のゲッター
材により水素を吸収して密閉空間の真空化を図ることが
でき、更にはその後に系内に各種のガスが放出される場
合には、上記のように水素の吸収に伴うクラック、破壊
により出現した第１のゲッター材の新生面および先にク
ラック、破壊により出現している第２のゲッター材の新
生面により各種のガスを吸着して真空化の維持を図るこ
ともできる。

【００１３】また、表面側に耐被毒性を付与した複合化
ゲッター材を用いることにより、この複合化ゲッター材
を被毒されやすい環境下で保存したり、真空化プロセス
中に被毒の影響を受ける場合の密閉空間の真空化を図る
場合にも支障なく真空化を図ることができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。まず、複合化ゲッター材の第１の実施形態
について説明する。複合化ゲッター材は、密閉空間内を
真空化し、その後の真空度を維持するために用いる。そ
して、その複合化ゲッター材は、密閉空間が水素ガスで
置換された後にその水素を吸収して密閉空間を真空化
し、また、その後の真空度の維持を可能とするための第
１のゲッター材と、この第１のゲッター材を被覆し、密
閉空間内を水素ガスで置換する際に、上記第１のゲッタ
ー材が水素を吸収しないように保護する第２のゲッター
材とからなる。

【００１５】上記第１のゲッター材は、密閉空間を所定
の圧力まで真空化させることができるのに十分な水素解
離圧特性を有する特徴を持つ材料を用いることができ、
例えば、Ｚｒ、Ｖ、Ｆｅ、Ｔｉ、Ａｌ、希土類金属等の
単金属、若しくは上記金属を含んだ合金を用いることが
でき、粉末、ブロック状塊、圧粉体、焼結体など、各種
の形状を選択することができる。

【００１６】第２のゲッター材は、密閉空間内を水素ガ
スで置換する際に第１のゲッター材が水素を吸収しない
ように保護するため、第１のゲッター材よりも高い水素
解離圧特性を必要とし、このような特徴を持つ材料とし
て、希土類系合金、マグネシウム系合金、チタン系合
金、ジルコニウム系合金等の水素吸蔵合金を用いること
ができる。

【００１７】そして、一例として、水素との平衡解離圧
が第１のゲッター材よりも高い単金属、若しくは合金を
鍍金、蒸着、溶射、高速気流中での衝突力やボールミリ
ングなどの物理的な力による表面被覆方法等の所望の方
法で第１のゲッター材に被覆させ、その後、熱処理など
の手法によりゲッター材と合金化させることにより、第
１のゲッター材を第２のゲッター材により被覆した複合
化ゲッター材を得ることができる。他の例として、水素
との平衡解離圧が第１のゲッター材よりも高い合金から
なる第２のゲッター材を蒸着、溶射等の所望の方法で第
１のゲッター材の表面に直接被覆させることにより複合
化ゲッター材を得ることができる。第１、第２のゲッタ
ー材は、上記のように水素を吸収し得ることは勿論のこ
と、一般的なゲッター材としての機能である各種のガス
の吸着機能を有する。

【００１８】次に、複合化ゲッター材の第２の実施形態
について説明する。本実施形態における複合化ゲッター
材は、被毒されやすい環境下で保存される場合や、真空
化プロセス中に被毒の影響を強く受けるおそれのある場
合の密閉空間の真空化およびその後の真空度維持に適用
する。

【００１９】この耐被毒性複合化ゲッター材は、上記第
１の実施形態における複合化ゲッター材に耐被毒性を付
与することにより、上記第１の実施形態における複合化
ゲッター材の耐被毒性能の更なる特性向上を図るように
したものである。

【００２０】そして、上記第１の実施形態の複合化ゲッ
ター材に耐被毒性を付与した複合化ゲッター材を得るに
は、例えば、特許第２７０９７９２号公報、特開平８−
１８３６０１号公報等に記載されている方法を用いるこ
とができる。その詳細については上記各公報に記載され
ているので、ここではその概略について説明する。

【００２１】前者においては、反応容器内に上記第１の
実施形態の複合化ゲッター材を充填し、所要の温度まで
加熱する。続いて、上記反応容器内にフッ素を主成分と
した原料ガスを導入し、上記複合化ゲッター材における
第２のゲッター材の表面に金属フッ化物を主成分とする
膜を気相成長により形成し、第２のゲッター材の少なく
とも表面、または表面層を、水素分子に対して高活性化
するとともに、水素分子以外の表面被毒を有する物質に
対して非活性化する。

【００２２】後者においては、反応容器内に、上記複合
化ゲッター材と、高濃度フッ化水素酸水溶液、または無
水フッ化水素酸溶液、或いはピリジン、トリエチルアミ
ン、イソプロピルアルコール等の有機化合物と無水フッ
化水素との溶液を入れ、反応容器を外部より所定の温度
まで加熱し、加熱過程において複合化ゲッター材の表面
に金属フッ化物を主成分とする膜を形成し、水素分子に
対して高活性化するとともに、水素分子以外の表面被毒
を有する物質に対して非活性化する。

【００２３】次に、本発明の一実施形態における密閉空
間の真空化方法について図１に示す概略説明図を参照し
ながら説明する。図１に示すように、密閉空間である真
空化容器１の中に上記のようにして得られた複合化ゲッ
ター材２を収める。真空化容器１の一端に真空計３、バ
ルブ４を介して水素ガス供給源と真空ポンプ（共に図示
省略）を接続する。真空化容器１の他端にはバルブ５を
接続する。真空化容器１の両端には複合化ゲッター材２
を飛散しないようにフィルタ（図示省略）を設ける。

【００２４】そして、まず、バルブ５を閉じ、バルブ４
を開けた状態で真空ポンプを駆動して真空化容器１から
真空排気し、排気後、真空ポンプの駆動を停止する。続
いて、水素ガス供給源から水素ガスを真空化容器１内に
流入させ、バルブ５を開けて水素ガスフローにより
Ｏ₂、Ｎ₂、Ｈ₂Ｏ、ＣＯ、ＣＯ₂等の系内ガスを水素ガス
で置換する。この水素ガス置換と共に、真空化容器１を
１００℃〜６００℃の間の所望温度で加熱する。系内を
水素ガスで十分に置換すると、バルブ４、５を閉じて真
空化容器１を封止する。続いて、真空化容器１を自然放
熱により常温に降温する。

【００２５】降温と同時に真空化容器１内の水素ガスを
複合化ゲッター材２における外側の第２のゲッター材が
吸収する。第２のゲッター材は水素吸収に伴い、クラッ
クが発生して破壊され、内側の第１のゲッター材が出現
する。そして、この新たに出現した第１のゲッター材の
出現面が引き続いて水素を吸収し、真空化容器１内の真
空化を図ることができる。第１のゲッター材は水素吸収
に伴い、クラックおよび微粉化が発生して新生面が出現
し、この新生面および先にクラック、破壊により出現し
ている第２のゲッター材の新生面に系内に残存するその
他のガスを吸着させ、真空化容器１内の更なる真空化を
図ることができる。真空化容器１内の真空化後、真空化
容器１の壁面から離脱するガス分子、材料内から放出さ
れるガス分子、外部から真空化容器１の壁面を透過する
ガス分子等、真空層内に放出されるガス分子を第１のゲ
ッター材が随時吸収および吸着することにより系内の真
空度の長期維持を図ることができる。

【００２６】

【実施例】（実施例１）まず、アーク溶解により作製し
たＬａ₈Ｎｉ₂合金の塊を５ｍｍ程度に粉砕した後、直ち
に攪拌されている９０℃のＮｉの無電解鍍金液（株式会
社高純度化学研究所製のＮｉ−７０１）に浸し、気泡の
発生が収まるまで処理を行った。反応終了後、上記鍍金
後の合金を純水で洗浄して乾燥させ、Ｎｉで表面を被覆
したＬａ₈Ｎｉ₂合金を得た。Ｎｉの鍍金層断面をＳＥＭ
−ＥＤＸ（エネルギー分散形Ｘ線分析装置付電子顕微
鏡）で観察したところ、１５μｍ程度の厚みであった。
次に、上記Ｎｉ鍍金Ｌａ₈Ｎｉ₂合金をＡｒガスで十分に
置換した熱処理炉内において５００℃で１０ｈｒ熱処理
を行い、Ｎｉ鍍金とＬａ₈Ｎｉ₂合金とを熱拡散させた。
熱処理後のＮｉ鍍金とＬａ₈Ｎｉ₂合金との拡散状況を確
認するために、試料の断面をＳＥＭ−ＥＤＸを用いて分
析した。その結果、Ｎｉ鍍金層はＮｉ−ｒｉｃｈのＬａ
−Ｎｉ系合金に変化しており、Ｌａ₈Ｎｉ₂合金の界面近
傍にはＬａＮｉ₅に近似した組成が確認され、外側から
内部に至るに従い、次第にＬａの比較が高くなる合金層
が得られていた。

【００２７】図１に示す真空化容器１を外径１２．７ｍ
ｍ、長さ５００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製チューブにより
製作し、上記のようにして得られた複合化ゲッター材を
５ｇ収めた。バルブ４、５間の総内容積は約３００ｃｍ
³であった。バルブ５を閉じた状態でバルブ４側から真
空ポンプで１×１０^-2Ｔｏｒｒまで真空排気し、その
後、水素ガスを真空化容器１内に供給圧力１．５ａｔ
ｍ、供給速度５ｃｍ³／ｍｉｎで導入した後、バルブ５
を開けて水素ガスフローによるガス置換を行った。ま
た、水素ガス置換と共に、真空化容器１の温度を１０℃
／ｍｉｎの昇温速度で加熱し、４００℃に達したところ
でバルブ４を閉じて密閉系とした。その後、真空化容器
１を自然放熱により降温させ、そのときの真空化容器１
内の圧力を時間経過と共に記録した。

【００２８】一方、アーク溶解により作製したＬａ₈Ｎ
ｉ₂合金塊を５ｍｍ程度に粉砕しただけのゲッター材を
比較用試料として用い、上記と同じ条件で評価を行っ
た。その結果を図２に示す。本発明実施例１の複合化ゲ
ッター材を用いた場合には、真空化容器１の温度が１５
０℃付近になったところで急激な圧力低下が見られ、室
温程度まで降温された状態で５．３×１０^-4Ｔｏｒｒに
達した。また、その後も圧力は更に低下し、最終的には
１．５×１０^-4Ｔｏｒｒまで減圧し、３０日間放置して
おいてもその圧力を維持した。試験後、試料を取り出し
てみたところ、塊状であった試料の形状が粉末状へと変
化していた。

【００２９】一方、比較例では、温度低下に伴って徐々
に圧力の低下が見られ、室温で１．３ａｔｍまで低下し
たが、本発明実施例１の複合化ゲッター材のような真空
化現象は見られなかった。また、４００℃時における圧
力１．５ａｔｍを室温２５℃に補正すると約１．４ａｔ
ｍとなることから、得られた圧力１．３ａｔｍは、温度
低下による体積収縮が主な要因であると考えられる。ま
た、試験後の試料の形状が本発明実施例１の複合化ゲッ
ター材と同様に粉末状に変化していたことから、試験後
の試料は水素を吸収していることがわかる。以上のこと
から、比較例において真空化を図ることができなかった
原因は、真空化容器１内を水素ガスで置換している最中
に、既に水素を吸収してしまっていたため、本来の真空
化時に水素を吸収できなかったものと考えられる。

【００３０】（実施例２）内容積５００ｍｌのＰＦＡ製
反応容器に上記本発明実施例１で得られた複合化ゲッタ
ー材３０ｇと純度１２Ｎの無水フッ化水素液１００ｍｌ
を入れ、窒素ガスをフローさせながら反応容器を１２０
℃に加熱保持し、フッ化水素を蒸発させて十分に乾燥さ
せることにより、上記複合化ゲッター材に無水フッ化水
素で表面処理を施した耐被毒性複合化ゲッター材を得
た。この耐被毒性複合化ゲッター材の表面状態をＸＰＳ
（Ｘ線光電子分光分析）により分析した。この結果を図
３に示す。図３からも明らかなように、上記複合化ゲッ
ター材の最表面にはフッ化処理前には見られない金属フ
ッ化物であるＮｉＦ₂とＬａＦ₃の新たな生成が確認され
た。

【００３１】図１に示す真空化容器１を外径１２．７ｍ
ｍ、長さ５００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製チューブにより
製作し、上記のようにして得られ、大気中に３０日間放
置した耐被毒性複合化ゲッター材を５ｇ収めた。バルブ
４、５間の総内容積は約３００ｃｍ³であった。バルブ
５を開けた状態でバルブ４側から水素ガスを真空化容器
１内に供給圧力１．５ａｔｍ、供給速度５ｃｍ³／ｍｉ
ｎで導入しながら、真空化容器１を１０℃／ｍｉｎの昇
温速度で加熱し、真空化容器１内を水素ガスで置換し
た。４００℃に達したところでバルブ５、４を閉じて密
閉系とした。その後、真空化容器１を自然放熱により降
温させ、そのときの真空化容器１内の圧力を時間経過と
共に記録した。

【００３２】一方、上記本発明実施例１で得られた複合
化ゲッター材を本発明実施例２の比較用試料として用
い、上記と同じ条件で評価を行った。その結果を図４に
示す。本発明実施例２の耐被毒性複合化ゲッター材を用
いた場合には、真空化容器１の温度が１７０℃付近にな
ったところで急激な圧力低下が見られ、室温程度まで降
温された状態で８．４×１０^-4Ｔｏｒｒに達した。ま
た、その後も圧力は徐々に低下し、最終的には１．２×
１０^-4Ｔｏｒｒまで減圧し、１０日間放置しておいても
その圧力を維持した。試験後、試料を取り出してみたと
ころ、塊状であった試料の形状が粉末状へと変化してい
た。

【００３３】一方、比較用の本発明実施例１の複合化ゲ
ッター材を用いた場合では、温度低下に伴って徐々に圧
力の低下が見られ、室温で約１．２５ａｔｍまで低下し
たが、本発明実施例２の耐被毒性複合化ゲッター材のよ
うな真空化現象は見られなかった。また、４００℃時に
おける圧力１．５ａｔｍを室温２５℃に補正すると約
１．４ａｔｍになることから、得られた圧力１．２５ａ
ｔｍは、温度低下による体積収縮が主な要因であると考
えられる。また、試験後の試料の形状は耐被毒性複合化
ゲッター材とは異り、初期の塊状のままであり、表面が
黒く変色していた。このことから、試験後の試料は水素
を吸収していないものと考えられる。以上のことから、
比較用試料である本発明実施例１の複合化ゲッター材で
真空化容器１の真空化を図ることができなかった原因
は、試験前に大気中で３０日間放置したことによる被毒
の影響や、真空化容器１内の水素ガス置換時に受けた水
素以外の残存ガスによる被毒の影響等により、水素に対
する活性を失ってしまっていたからと考えられる。

【００３４】なお、上記実施形態および実施例において
は、密閉する空間を水素ガスにより置換する際に加熱し
てベーキング処理を施し、水素ガスによる置換とベーキ
ング処理を同時に行うことにより作業能率の向上を図る
ようにしているが、水素ガスの置換前に加熱によるベー
キング処理を施してもよく、また、水素ガスの置換後に
加熱によるベーキング処理を施してもよい。このよう
に、加熱によるベーキング処理を施すことにより、密閉
空間を形成している材料の脱ガスを行うことができるの
で、真空化後の圧力を長期間維持することができ、ま
た、降温に伴う体積収縮が減圧を招くので、比較的少な
い量の複合化ゲッター材で効果的に、かつ経済的に真空
化を図ることができるなどの利点を有する。しかしなが
ら、本発明は上記方法に限定されるものではなく、密閉
する空間に水素ガスを常温下であっても高圧で導入する
ことにより、外側の第２のゲッター材に水素を吸収させ
てクラック、破壊を生じさせることが可能となり、複合
化ゲッター材の量を多く用いることにより真空化を図
り、真空状態に維持することも可能である。このほか、
本発明は、その基本的技術思想を逸脱しない範囲で種々
変更することができる。

【００３５】

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、密閉空間
を水素ガスで置換する際には複合化ゲッター材が水素を
吸収するのを防止し、その後の昇温と降温に伴い、複合
化ゲッター材のうち、まず、外側の第２のゲッター材に
より水素を吸収し、この第２のゲッター材が水素の吸収
に伴ってクラック、破壊を生じた後においては、このク
ラック、破壊により新たに出現した内側の第１のゲッタ
ー材により水素を吸収して密閉空間の真空化を図ること
ができ、更にはその後に系内に各種のガスが放出される
場合には、上記のように水素の吸収に伴うクラック、破
壊により出現した第１のゲッター材の新生面および先に
クラック、破壊により出現している第２のゲッター材の
新生面により各種のガスを吸着して真空化の維持を図る
こともできる。したがって、各種の温度領域で使用され
る密閉空間であっても、また、特に、狭く、排気距離が
長い真空断熱層等であっても、短時間に、かつ容易に、
しかも、確実に真空化を図ることができる。

【００３６】また、表面側に耐被毒性を付与した複合化
ゲッター材を用いることにより、この複合化ゲッター材
を被毒されやすい環境下で保存したり、真空化プロセス
中に被毒の影響を受ける場合の密閉空間の真空化を図る
場合にも支障なく真空化を図ることができる。したがっ
て、複合化ゲッター材の取扱いが容易となり、しかも、
真空化の対象を広げることができて汎用化を図ることが
できる。

【００３７】また、密閉する空間を形成する材料に対し
て加熱によるベーキング処理により脱ガスさせることに
より、比較的少ない量の複合化ゲッター材で効果的に、
かつ経済的に真空化を図ることができ、しかも、長期間
に亘って高い真空度を維持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態における密閉空間の真空化
方法を示す概略説明図である。

【図２】本発明の実施例１における複合化ゲッター材と
比較例によりそれぞれ密閉空間の真空化を図った場合の
評価を示すグラフである。

【図３】本発明の実施例２における耐被毒性複合化ゲッ
ター材の表面状態をＸＰＳにより分析した結果を示すグ
ラフである。

【図４】本発明の実施例２における耐被毒性複合化ゲッ
ター材と比較例によりそれぞれ密閉空間の真空化を図っ
た場合の評価を示すグラフである。

【符号の説明】

１真空化容器２複合化ゲッター材４バルブ５バルブ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】水素解離圧特性を有し、水素を吸収し得
る第１のゲッター材と、この第１のゲッター材を被覆
し、この第１のゲッター材よりも高い水素解離圧特性を
有し、水素を吸収し得る第２のゲッター材とからなる複
合化ゲッター材。
【請求項２】第２のゲッター材が第１のゲッター材と
合金化されている請求項１記載の複合化ゲッター材。
【請求項３】第２のゲッター材が第１のゲッター材上
に積層されている請求項１記載の複合化ゲッター材。
【請求項４】第２のゲッター材が耐被毒性表面処理を
施されている請求項１ないし３のいずれかに記載の複合
化ゲッター材。
【請求項５】第１のゲッター材が、Ｚｒ、Ｖ、Ｆｅ、
Ｔｉ、Ａｌ、希土類金属の単金属、若しくは上記金属を
用いた合金から選択され、第２のゲッター材が、希土類
系合金、マグネシウム系合金、チタン系合金、ジルコニ
ウム系合金から選択される請求項１ないし４のいずれか
に記載の複合化ゲッター材。
【請求項６】第２のゲッター材の表面にフッ化処理に
よるフッ化物を主成分とする膜を形成することにより第
２のゲッター材が耐被毒性を有する請求項４または５記
載の複合化ゲッター材。
【請求項７】水素解離圧特性を有し、水素を吸収し得
る第１のゲッター材と、この第１のゲッター材を被覆
し、この第１のゲッター材よりも高い水素解離圧特性を
有し、水素を吸収し得る第２のゲッター材とからなる複
合化ゲッター材を密閉する空間に納め、上記空間を水素
ガスにより置換して上記空間を密閉し、まず、上記第２
のゲッター材に水素を吸収させて破壊させ、その後、出
現した上記第１のゲッター材に水素を吸収させるように
した密閉空間の真空化方法。
【請求項８】密閉する空間を水素ガスにより置換する
のと同時、置換する前後の少なくともいずれかの段階で
加熱によるベーキング処理を施し、上記空間の密閉後の
降温下で第２のゲッター材に水素を吸収させて破壊させ
るようにした請求項７記載の密閉空間の真空化方法。
【請求項９】第２のゲッター材が耐被毒性表面処理を
施されている複合化ゲッター材を用いる請求項７または
８記載の密閉空間の真空化方法。