FR2972730A1 - Article pourvu d'un revetement d'oxynitrure d'aluminium et procede de fabrication associe - Google Patents

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Hartmut Westphal
Den Berg Hendrikus Van
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Abstract

L'invention concerne un article pourvu d'un revêtement, tel qu'un outil de coupe pourvu d'un revêtement ou une pièce d'usure pourvue d'un revêtement, qui comprend un substrat (52) et une combinaison de revêtement (54) présente sur le substrat. La combinaison de revêtement (54) comporte une couche de revêtement contenant du titane (56), et une couche de revêtement d'oxynitrure d'aluminium (58) présente sur la couche de revêtement contenant du titane (56). L'oxynitrure d'aluminium comprend un mélange de phases ayant une structure de type nitrure d'aluminium hexagonal (groupe spatial : P63mc), une structure de type nitrure d'aluminium cubique (groupe spatial : Fm-3m ), et éventuellement une structure amorphe. La couche de revêtement d'oxynitrure d'aluminium (58) se compose d'aluminium dans une quantité représentant un pourcentage atomique d'environ 20 % à environ 50 %, d'azote dans une quantité représentant un pourcentage atomique d'environ 40 % à environ 70 %, et d'oxygène dans une quantité représentant un pourcentage atomique d'environ 1 % à environ 20 %. Le procédé de fabrication de l'article pourvu d'un revêtement comprend une étape qui consiste à fournir un substrat (52) et à déposer une couche de revêtement d'oxynitrure d'aluminium (58) à partir d'un mélange gazeux qui comprend de l'azote, du trichlorure d'aluminium, de l'ammoniac, du dioxyde de carbone, du chlorure d'hydrogène, éventuellement du monoxyde de carbone, éventuellement de l'argon, et de l'hydrogène.

Description

(«)\'Ili.\ I)I'. an tiriiele pOUrVLI d'hi 1_ il teint ccirhrrie de coi' t'an i el ci 1 elimi Hie i cillent, i ao ' H Hi, ou une i H ',Hl 1 c.' nt sur le substrat,. La combi \ cteitiem 'prend une cou,: ie c.\ nement d'oxynitrure d'aluminium déposée par dépôt ellinlique en pl- IO vapeur (CV.D). La combinaison (IL \ .'IL.'WCHt comprend en outre, ::Heral, une ou plusieurs autres couches d(' rie \ efelncnt. L'invention concerne aussi un procédé de fabrication d'un article pourvu d'un rc~ êtement, tel qu'un outil de coupe ou une pièce d'usure, comportant une couche de revêtement d«)xynitrure d'aluminium. Le procédé consiste. a fournir un substrat, puis à dépi sel- par dépôt chimique en phase vapeur une combMaison de revêtement. La combinaison de revêtement comprend au moins une couche de revêtement d«.)xynitrure d'aluminium. Le mélange gazeux comprend les gaz suivants : de l'hydrogène, de l'azote, du trichlorure d'aluminium, du diox.i.le de carbone, du chlorure d'h. dl eue. de l'ammoniac, et éventuellement du mien de '1e carbone et/ou de l'argon. 20 Dans la demande de brevet h ilanniqu(«-il-3, 570. cc par 1 lied Erupp ;IA Jin chie 'mention, une priquetu«le ,otipe «pend llll~ onnlin,u,i in Hic lend une couche de chat lent d ox:, mi ai Il , le lu thalle /Il~~olll;llll. Dans 1il
25 1 i( - - -?- ic 111.11iliIIIWIl W. L:111^: ~.~'eulli~ll \CI C1k:n1cm \ Lire d'aluminium a un gradient de 1.0 Bien que 1 si produits :III ààrà.àir.s 0111plIC1111CIlit une couche de rc d«.)xynîtrure J'aluminium déposée par CVD, on à encart besoin de produire un am pourvu d'un tic \ èlemient, tel qu'un outil de coupe ou une pièce d'usure, qui comporte une combinaison de revêtement comprenant une couche de revêtement d«)xynitrure d'aluminium, av. des caractéristiques de performance améliorées. Ce type d'outil de 15 coupe ou de pi d'usure pourvu(e) d'un revêtement comporte une couche de revêtement d'oxynitrure d'aluminium qui présente des càr.-ictéristiques allant d'une contrainte de traction réduite à une contrainte de compres i modérée. L'état de contrainte de traction ieduitc ou de contraiiiie )mprc ion Ilààler peut être dû à l'une ou !sieurs d'une propriété de dilatation thermique plus lm d'une bonne 20 stabilité thermique, ou d'une duvet,' 1 serait sonhaitchle de produire un article roumi d'un Cet .I.rmàiii làl ouiil IL,' 11,1 LI, L , .1 111 ,Illl, IIII)LL'IlIRLI11 II 1 1,1'1 IL 1 1 ILL", t,.L linrittus 1 1 1 1 '1111.11111,1 1 ^: 1v'~1~I:IIr,'~ la prii)paiq iil i il ils; 1 Ul.ttu ),Irl d'un rIt.utl&t.iUMU ri . iuiiilcii iirii .rViU ou 1.11 ciiiiuil uqrurii 'altiruinit il wlrqnlc t L 1 t.l*lIsUre pOUluit.lei'l Chan quine ni tia Iiii. tmq Type de tqmqiq, ail 1,11 (hi 11.ui.Lhiql 11A t)nse s et un état 1 prof t Mol] dcs fissures. La pl CH11OH 1 S Lit de la prcip. des 1 sures tut particuliCrement avantuticusc dans une application con-une la coupe discontinue. Qui plus est, il serait hautement souhaitable de produire un article pourvu d'un revêtement, tel qu'un outil de coupe ou une pièce d'usure pourvu(e) d'un 15 revêtement, qui comporte une couche de revêtement d'oxynitrure d'aluminium ayant une propriété de dilatation thermique plus basse, c'est-à-dire qu'aucune miemfissure n'est visible à la surface du revêtement. Au sens quantitatif, cela ignific qu'on observe un nombre de fissures nul dans la sectio tionsversale du. cratère dcs tic\ eq2mcnts durant un examen au microscope optique à un qrtt i iiinent x.30. Quand on pro,luit une couche 20 de revêtement. d'oxynitrure d'aluminium ayant une propriété de dilatation thermique plus hil siii.. l'article pourvu d'ult re CR11qm( ne subit pas tic lissuriaion duc à la chaleur, ce qui ii polir ;t\ :1111L1 ' d'allie 01 l' l;i Ri 1 (Wh: tlU ehOL«.11qI.IllIqULI d OMM', dO coupe. rte plus, -un luiuicruitm iuhtiil il ils ~~C ,lu> un pourvu 11 d'un ~I~!11v' II_ Lit] qitiffUi i 1 t un. 25 i .e lin, q ru llt'I i il i on i ..tell i 1 Lui' i I. 1 -4- ru in ue' l'article pourvu 'Un 1 i Je,' 1 111ft-1i ,ILII .111111, 1ln ~Î,' iv l~'ll lit 'I\ \111111111j ,i :lu LN t 'thon. Io t Ili. - nioitt o Moi" mesurée. selon 1.S() 1 1 1 1 llln Tun ouu uné éciLiChe de tatou,: tt \Ilnljlln ntlkn.n II 'clé pourvu d'un 'Innllt mité unc Linnn PRÉcts f)f Nvu-NTioN Sous mu," ses formes, l'invention est un procédé de fabrication d'un article pourvu d'un no ètentent, le procédé comprenant lés élapés qui ctuisistént fournir un substrat déposér une couché de rcoëlcment d'oxynitrure d'aluminium à partir d'un mélange gazeux, le mélangé gazeux comprenant : de l'azote dans une quantité représcluint. un pourcentage volumique d'environ. 30,0 % à environ 65,0 % du mélange gazétt\ ; du trichlorure d'aluminium dans une quantité rcprés niant un pourcentage volumique d'environ 0,5 % à. climron 1,3 % du mélangé gozéux ; de l'ammoniac dans une quantité représentant un. pourcentage volumique d'environ 1,0 environ 2,0 % du mélané gazeux du dioxyde de carboné ti;tns une quantité réproséntant un pouriomtttgé volumique d'environ 0,1 % à environ loci % du Holan nll/CUX ; du chlorure d'holro nc Tais Allé quantité répo_scntont un. 11nnlInCI11.1 nllHln. \ 111011 (hl ln Illnfn I/Cll \ éntutialéIl ém In, PI 11.11 CI11,11n' Hlnln,h' -5- [l ),[ de mise en oeuvre, l'étape de dépôt a lieu à une Palis cet-nains lm .>[[ mise en oeuvre, retape de dépôt a heu à une 1, 850 "C .[ '11\1 . , H s)50 Dans certains ah en oeuvre, l'étape de dépôt a lieu à une plIC,,',1,,111 l'environ 10 mbars à i `..)(J(l redis 10 Dans certains modes de mise cil. ceuv e, l'étape de dépôt a lieu à une s >ion d'environ 50 nibali. 1 environ 100 rnbws. Dans certdins odes d mise en oeuvre, le mélange gazeux comprend : Fazol(«Iaiis une quantité rcipi,scniant un pourcentage volumique d'environ 30 % à environ 40 % du mélange gazeux 15 du trichlorure d'aluminium dans une quantité rcprcscmant un pourcentage volumique d'environ 0,5 % à environ 1,3 % du. mélange gS-17s'Ll de l'ammoniac dans une quantité ICpIS2sellliint un pourccnta volumique d'environ 1,0 à environ 2,0 % du mélange g /.c il du dioxyde de carbone dans unc quantité 1( piiéscntant un pourccinàec volumiiai, -'e tin 0,2 ' ciron % du mélange [i,/eus ; du alois il h:) dis i ans un(' qll:11111k: un pourccmi. 1 _111,11 1 1 1. LIU d [1[1 [uii[iit un pOUfCCi.diage ~UIC spiviron VOhIIIIIOI t"' I.. envie 25 -6- 1 "tu e \i.iF. 1 1 1 1 1 1 " de. eitl 1 u.11.111111L ..1111,111.1 üi 1':111.1 1' 1 1 1,11 1 1 ^Ill 11H:H111 1 )::Il, ..11.11,1111", 11H'\.ICs, OH (t'Il \Ire. \ 'LtIlhkqH.1 JHI1, lllk' LIL .111111ë 1 1111 111,l \ 11'On IO .211\ II~~I1 Î. r 1111 111c (,III'_' D.111\ ^: 1111,1111', 11], 111I'* Ç_'Il \ 1\2 111.11.111C I/Cll \ Ç'UrI1111.111J : 1,1/ ic dans une qualuile iLprescntant un pourcentage ~ulurnique d'environ \ 11 50 % du mélangc i/cu du u-ichlonl d'aliHHiHiHm dans une quantité représentant un ~IU t/1.1 L,,I]il 1, 1ki tiü 15 pourcentage volumique cl \ H-oil irihl 1.0 % du de l'ammoniac dans une llu,lnlilc 1i:présentant un pourcentage volumique \ irOn 1,0 ii s:11 \ iron 1,6 % du 1111d,il1iiiJ.e ,1/etl glu \ \ I111H, uni qil,11111le 1 présentant un pource HI v 11.011 I. 1 glu Ilk 1,111H,I<' /CH v 20 01111\2 il h \ mai llall~ Uni' q11:111111t: 111111111 1M rnlIL: 1 Ill [/ il 25 -7- d'e L'll \ ?l u 11 Ili Ill i/CH \ du ri, drills rime riiirinNte u.n itiis volume lue d'environ ()ru nir à en 1, mcl.niee 10 du chlorure d'hydronerie dans une quinine représentant un pourcelurn: volumique d'environ 1,5 '.'/rirr, à environ U ; éventuellement du MOUOi\.\ de de carbone dans titis quai thé représentant un pourcentage volumique d'environ. 0 ri environ 2,0 % du me Linge gri/cus ; éventuellement de l'argon dans une quantité repu. senti nt un pourcelurme 15 volumique d'environ. 0 % à environ 25 clic, du. mélange gazeux ; et le reste étant constitué d'hydrogène. Dans certains modes de mise en ieuvre, le melrin, ri/eux comprend : l'azote dans une (Inerme représentant U11 l', llleel?l .0 d'environ 60 iion 65 % du mer ne_ : 20 niiehlonIre l`aluhrtinitlrn - u.ne ' trint. un rom' ir (ri (ILI lire /rois ; Ur mi iii Limon eirotin. llll rirr:enlit loue 1, ir trro reern,ege vit, tir lue 25 -8- -est i un i't ,l M^,do Dam, tl-ucu modes de niim Cl1 oeuvre, 1«)xynnrure d' iÎLnl!IIIIUIIt comprend un rueLimest tt^ant tua structure de type nitrure d'aluminium IO hc\s on:d m-crupe Mes! («Mme me structure de t\ pe nitrure d'aluminium cubique (goum.- : In ), et évcntuellement une structure amorphe. Dans certains modes de mise en oeuvre, l'oxynitruoe d'aluminium a une composition comprenant de l'aluminium dans une quantité cep c sentant un pourcentage atomique d'environ 20 % à. environ 50 . de l'azote dans une quantité représentant un 15 pourcentage atomique d'environ 40 % à environ 70 %, et de 1«ixygène clans une quantité rcprémnttmt un pourcent mec atomique d'environ 1 % à environ 20 %c Dans certains modes de mise en oeuvre. l'oxynitrure d'aluminium a une composition comprenant de l'aluminium dans une mpiesentant un pourcentage ,immique d'environ 32 % à environ . l'azote dans une quumlle leppimuit,ml 20 , t a c Hume atomique d'environ 61 environ 67 tai, de l'oxygéné dans uiié quantité h lm - inmlt un pouim uuqtw \ ,^ environ 6 ri. I1 L._ , I.Mi 11, III ^lll 'Ill 11,, ;Ille t'll,lll;l'.t' i 1 t 1 ^ t t1111^1 el'env \ 11.^ il Faim 1/eu ; et llliu 1111 , II ,w li 25 -9- imp! i-lui iMni ml i.1u lll:ll nu: 'Ynvtimiii mitil elcnic iam W.III, LI oh.i Ull~ !ruclmv ] d ciWillIUM 1 1 1.«ii'nnc type nitrure d'al.w.n cubi.q ',groupe tisp.]. !i \C111ÀlACICICHI une struemm ;nuorphe. La couche Caf' mire :m nt IO d*nit]m Ilium a une coi !sinon comprenant de l'aluminium dans mie representant un pourcentage atomique d'environ 20 à environ 50 %, ra/i !Li ul~ une quantité 1-c'prjsCI]l.int un pourecu Lige ii! 01 nique d"-n i.ron 40 ri a environ 70' e, et de l'(!\^gene dans une quantité mp!.n munit un pourcenla atomique d'environ 1 % à environ 20 %, 15 Dans certains modes de mise en oeuvre, la couche eteinent contenant du titane est s `Tonnée dans le groupe constitué du nitrure de hume et du carbonitrure de titane. Dans certains modes de mise en oeuvre, une couche de i ^eminent d'alumine est pl:sti!1!e sur la ci im.he de 1 ,k2111CIa d'oxynitrure d'aluminium. 20 D,HC-, 1110JC', CL 111l', oeUVre, une couche de Liment de Mu me TnIuminium es! pi sur la couche de i nitrure d'aluminium Dans mise en oit i un, r~'y~lClll,'ilt HI11Cnt. d«" \HW WC 1'1.111', i IIC'C:111 1 !ui ],:i][ii.!'! pourvu d'un .Msnim. un," .!!Il- 1 Wl, r" 1,W-, lhi 25 r~'i~le~~'nLlll( un pourcentage v( unique d CIl\111 11 30,0 ( a enA irait (15..0 SIC du m'elani gazeux du trichlorure d'aluminium dans une quant te relues tant un pourcemait volumique d'env 'on 0,7 r/e â environ 1,3 % du mélange ,u/en x ; de l'ammoniac dans une quantité rcp mscnt:mt un pourcentage volumique d'environ 1,0 pro il environ 2,0 q. ~ht 15 mélange gazeux ; du dioxyde de carbone dans une quantité représentant un pourcentit e volumique d'environ 0,1 % â environ 1,5 % du mati ;lieux ; du chlorure d'hydrogène dans une quantité l ep, scntant un pourecum,e v olumigne d'environ 1,5 â environ 4,5 % du melLutgc gazeux ; enluel ement du monoxyde de e~tiiaie dans une quantité ret 1- entant nn pourcentage volumique d'environ 0 % â environ 2.0 20 ntelangc ~,vauv ; ,gangucllement ale Limai dans une guanine rehrc~c aime un 11i~Ule~'lll:l`'C' mlumique tl l'IIAigin 0 ': ;t ~IIAiron 25 Ill Illl'1,111e V Ia~1 m'~'IaIIJC ":tell\ nit mails é nlr, I1 l lil\ 5111^1 ~'. un ail Dinar-. reg Luttent 1 Mi igia un silh;tra; . Ill'' mu _'!VCII\. le I ;1reNetément danv\Hui Lue d'aluminium â partir ta un ~~;ven et~nli,lea;tnt dans une quantité tamis 1111, III ~eUVre, iIl g .0 1 tl m1111 ml ll: ~ Mie l mst I:tallt un î!I~.0 all:'~' u\.
I)LSCIZIII 1 l' «il \CIT. 1)1i,S 1 1 1( I,. aire \ He Isou i[lai t, [.ic 1' un Lam:. L[:I[2 [ iser le subs[i ,-lacent ; La FIG. si une vue en coupé damé Hil.1011 ci nique d'une combinaison dé rc \ L2mm-mut ; 10 La FIG. 3 est une \rué én coupé schématique d'une deuxième réalisation spécifique d'une combinaison de ré \ rnént ; Lu FIG. 4 [ uné \ ué en coupe schématique d'une troisi ciné Llis,mon spécifique d'une combinai s( in dé \ étémént ; La .FIG. 5 est une vue én coupe schématique d'une quatrième allisation 15 spécifique d'une combinaison de \ 1('111CI-lt ; Ut FIG. 6 t une microphotoeoiphie (grossisséin nt de x10 000) de 1a surface le a couche de ré \ émnlént d«)xynitruré d'aluminium Jr 1'1' \chipie 1 ; La F..G. 7 est une microphott rimhrié e x15 000) montrant en COUrC 1.1\[iHt érsale la combinais, IL ré y (.'.LHIL'nt d',' 1'l \mnple 1 ;i 20 Lit ICI([, est uh phi lié en conpe montrant 1,1 Lacinélit lié, im éiéii^L. 1 1 1( [ [ [ [ [LI , [hiii[ é 't rasante pour 25 T ,i 1 1( TOphOtO't.'1,1)1i[l4 nom, 1, séquence de ' 1 1 1111 .!" u`npc pouno" d'un oouu/^eut 30 comptai,: uué surfacé dépouille 1', ^ 10 mr!x.c d~ u`uiv 40, une u/u/ Je coupe 42 étant !`rc`cut/ u !u!.o.1i.`n Jc L/ `m1x`t de J2pm/U!c .~X et de la sullace de coupe 40. La plaquette coupe [simule (l'un rc~8!rmcn/30convient pour une utilisation dans une opération d'enlèvement de matieie formant des copeaux. i)nng une opération d'enlèvement de matière formant des copeaux, la 15 plaquette de coupe entre en contact avec une pièce à usiner pour enlever de la matière de la pièce ùuaiucr, typiquement sous forme de copeaux. [Joc opération d`cnic`,mco[de matière qui enlève de la matière de la pièce à usiner sous forme de copeaux est. r^yigucruexi connue de !`hoxnuoe de [uz( `.x/` le tom do opération d'enlèvement de [ornnmVJc, `"pcuux x. L'ouvnaée \[/Jvoc8x!p1`:oliécs'L[Kndu`Uia! Press Inca 20 }o` York, New York (198})1 parMu!1nmjh( pu`oUe. w'r Jrs ui!`!inn, uxn xuUrea,de !a !.'no.Ui.'x cm\ ./io`i lue JiKéuni` (!!`e" Je .v/`/.mx salué ics copeaux omtixu`. L" "1`mo'\ u1`um~ !r./~nknlé"SJwI \l.'h/r.}x ()xand ixhuL`muù u/ `uxL../ .^/Ç' /" mL.[ !m~ ~i ~ m"vz qnc !'nn~i/ 25 Lx!x`.;/xx/`.`/x/x!`/! `d ()x.' // rimx.,/e de ^ o`nu/uo:/ xnx/.[m//e u`u`1/r"«"mux ! N `!x/ one |i` `i! uhui:tosa meut. 34( La - 13- 1't'r)[tt8ap [ T'un 11 l,l : d'un [ 1 [1 1 [nel,u. [[uual \ 1 1.. ut, r[[M le l~el~,li'~'. 'LIU 1 lem ale i...ACIvs[.2À mem: de 11.11.\ L' [ t, [u ^1.[ns Mlle i ii \e [ i t n ,[ butta litt 1 IO Kennamet-al Inc.), le brevet 'US n" t . 803 d.élité à Battaglia et ,11. (,lrailslLr par cession 11 Kemaunemi lue.), et le hr~\ et 1S n0 6 161 990 délivré ,t 0 par cession Kennait 1! Inca). Comme il est déerit ci-dessus dans le présent document, l'article pourvu d'un etentent comprend aussi une pt . [ d'usure pOtlr \ AC d'un \ etement Les pièces 15 d'usure pourvues d'un reg ttèment comprennent, sans caracterc limitatif, les éléments suivants : les corps de clapet, les poinçons et les emporte-pièce. Des combinaisons de re etemèrn spécifiques sont représentées dan, les FILS 2 à 5La Fia ~ est une lente cnt,mon hématique d'une se, Cu (ri d'une plaquette de coupe pourvue d'un Hetman 50. Bien que ee~ ddes~lllti illutatent une plaquette de 20 coupe t, 11 [HI 0[101 de coupcl pOUrVU(e) d'un revelelllelil_ [_[n ,l (pic la combill,1j,,ort 1 1,, 1 ,11,1,FAII 1 ,l 111IC l~leee l usait,' ,[ pinquela. le ,tupe pourvue d'un IC llll ,111»,A,A mie [ml,in,us[[n re etenient 5-1 sur celui- 1 ilil,IH'[l 01111'1 1,1 11111;.,11[.' 1,[11^ 'Ili l il 1 1(1 1 III:, uelic t\ ractueul 1 ) de mtru J1(mM-M1m sur 1- 1che l' [ -14- amas quu 1_a aitiaitatit tma poui~u . d un MI ',tl Il t 111(ll',11.11 'Rlll:'lt t~C 74 -elui-cii. La C^.IH 1115l'',, t!C \ 1 Ill tl '11L' ils \ CR111CM. ~llf 10 catit Mtrure de titan . LItC aiche de re\etement datti\yni.cru I~C 75 de nititiit 1 t mu «it la 1, \ CtC HL III ( \ 1 II- sente sur la couche \calmait 76. Une couche de ututteinent cstcrue de nitrure d'aluminium 7s t 1 i sente sur la couche de revêtement cri, vnitrure d'aluminium 77. La HG. 5 est une représentation schématique d'une section d'une 15 plaquette de coupe pourvue d'un revêtement 80. Bien que ce dessin illustre une plaquette de coupe (ou un outil de coupe) pourvu(e) d'un rtiveluinient, on noiera que la combinaison de lai \ eletramt peut s'appliquer à une pièce d'usure. La plaquette de coupe pourvue d'un l'e etement 80 comporte un substrat 82 et une combinaison de re ètement 83 sur celui-ci. La combinaison de revêtement S3 aimprend une couche de le etement 20 (le basa 84 le nitruru«le titane et une couche de l'CvCtcrnitait 85 d'oxynitrure d'aluminium couche de rai lutinant de bais Une C»11C11L' IL CICHICII.t 87 d' s^ait-Iltrum de t11,iIlC Cil rI.C.,C111C -5tr couche de vêtement il' \ minima d'aluminium 85. La cotiali t~t titttintail statut Ill CI sur la eau Ile tatami sur la couche du Unc i t 1 _II ami: 25 -15- III. il _, II S HEI I l'Il 1 HL_
ta 1 1'1 ui.cmu:u \ION 1 i 1 ssiOi.i 1111N,i -2 . ( li.l Lw: ', ohm]: ..\1(1:13 ÎÎ. .'Il \ olum,' TN 1 1 el] 'u.----.-..--. 1 1 \ '0111.1111,2 CO 0-2,0% en \ A 1 0-25 % en volume Les compositions spécifiques (en pourcentage volumique) des mélanges gazeux, ainsi que les pressions et les températures, utilisées pour déposer six diflerentes couches de revêtement d'oxynitrure d'aluminium, s 11r présentées dans 1.e Tableau II ci-dessous. IO 'Lhleau II (mples )Iumique ,,tr,,InCires de \ ctément d' \PO N' a en pourcelma..c 15 F12 `Yi: N2 1 2,2 0,0) 80 s 80 80 1,5 0,4 reste 30,4 1,5 20 Fer': re, reste 44, 1,3 80 1.3 .8 80 1.3 0.8 3,1 80 0 Comme il est i a corn pi -brin t i un marri IL"s CICI11,2111 \ 11111,11, .11 11111111.1111. I,t présent LI 1 que miles ne L.tl 01.1 1 )11, 1.1\ C'11 L'HL' 11111- )11 1 Ill \ 1 C 111^,11t»\ \ L' t , i nir équiliblet retion afin de diminuer la vitesie rl pot ILI JL' 1 \ d'(ixynitrure d'atuminium. L'apgiin peut étoit uttll pour poitrine uni , notion unil«.wme de aisseiil de lit gour«k«Li \ eteilp»nl d«Aynitrure d'aluminium, s'il raison de la haute viscoslic du matel tau tel qu'il est depusc. Lé monoxyde de carbone et l'argon n'ont pas d'influence sur la composition chimique de la couche de revêtement d«.)xynitrure d'aluminium. L'Exemple 1 est une plaquette de coupe pourvue d'un revêtement qui comprend un substrat portant une combinaison de ri:\ elernent TiN- .A.10N selon l'invention., Le substrat comprend du carbure de ttnlgsién.e avec 6,1 % en masse de cobalt et 0,15 17 en ngosr 1 \ nnadium. Ce substrat présente les propriétés suivantes : la gr gon- de _clin mo \cime tin carbure de tungstène pst d'en\ Mon l à environ 2 mierigurnres. l~l porosité est A02, B02, COO, le poids ni iiique est d'environ 14,7 à en\ Mon 1 m3, la dureté Roctoigotl A est d'en v il 9 g. environ ig , la sigituntion initie i de 9,9 à 1E7 rtTrn 1 ln 1 riroitive est d'en \ i 2.00 \ f!rïl -16- -17- iciili iiiuiiuiii ti ris. 1.i 'l 1 ua tlf 10 Paramètres de transformation pour le procecie de revêtement selon l'invention de l'Exemple 1 (Tin-RION) Matériaux Température Pression Temps total CC) (mbars) (minutes} 15 vol.] TiN 950 700 60 H2 [52,8 iu vol.] + N2 [46 oo vol.] + TiCI, [1,2 % vol.] AION* 950 80 180 F12+N2+AlCb+ CO2+HCI+NH.ii La couche de revêtement d«. x.^ nitrure d'aluminium (AION) a Llén ée en utilisant les paramètres spécifiques plésénLés pour l'Exemple B dans le Tal.déan H du pro document, 25 La cempe,hicin de la couché ré \ éeuncnt d'ox nitrure d'aluminium i. ;W,i\ pilr 12iHICIMC à déchie lumincscente (GPOlés i ,Ipiiuiéil 1) \ 750 Analytic Hui, 1 ilé il ulih 1 1:CH i,'Hh% 20 35 -i iiit,11111 11 1 Il( ii , -18-
moiiic 1,I,i hni.,l 1 1 IL mu: Limnl toms ou i 1 1 1(i ciinei t irio d'oxynitru.o., 1 1 Irtici il .Luini mtial. ^11.1"1.tllilli^2 SIC dllll,l,l1,1 \ou, \ 1 Laccinient ivintbul 1 l'L\ pic 1. -mitais le la I0 difli,i,tioii ,lei ull \' montrent que roxynimure d'aluminium comprend mi mélange de phasi. ,l^ mit de type nitrure d'aluminium he. =onal 1 nit P63mcl. cl une structure de type nitrure d'aluminium cubique (groupe «bespi : Fm- 3m). Le résultat de la DRX indique aussi la présence de phases amorple dans le revêtement. Les résultats de la DRX ont L Inenus en uLihs,tnt un diffractometic de 15 type D5000 (Sicnicil,ii avec un s\ Mme incidence rasante 13ra -Brentano une émission de rayions X Cu Ku avec un filtre de Ni CA, 0,15478 nanomètres). Les pal indics pour l'analyse DRX sont indiqués dans la FIG. 9. LI semple 2 est une plaquette de coupe pourvue d'un \ meulent qui (oui lm end un suhstiat portant une combinaison de re ecitncnt TiN-AIOX Al 0 selon 20 l'invention. siibsilit comprend du carbure de IllIMIC11(l ,I'sCÇ'; ma de cobalt et la somme des teneurs en mnmlc. en niobium et en \ ,Illd^IIUIII 1CrIC CHIC 111,1, -,11U),41.,il, Ç''Ill i »pl 1 C.111»11 :211\ Il Il ' 1.1 \ 111,,11 1 HI 1. 1 1 25 olclirc le de 1 I 1011 11111010. LOI 11 01'2, 11 .i,ar la ,oal, H14'10 i \10IH112: J. 10[01111010111 l.)H 108011,1 11.1 ulclu i.1c. L.441pp,tiodid ili :oie 1 1\ ilion. 3 MiOrCIIIO. ami. ~ ,i ar]biiiii%. ooil]d d don dol 1.1 6 11, , 10 (COI HIIH 0mo:11os do a-wallon .cotHidon 010142 [CHIpOratUre rl UH11', produire 1a plaquette de coupe pourvue d'un rc CLcinent de 1.1.xoanplc 2 sont pros:id:0 dans le Tableau IV cialcs,ous. Tableau IV 15 Paramètres de transformation pour le procédé de revêtement selon l'invention de l'Exemple 2 (TiN-AION- KappaAI203) Matériaux Température Pression Temps total (mbars) (minutes) Gaz présents (% TIN 950 700 60 H2 [52.8 °'s vol.] + N2 [46 % vol.] + TiCh ,2 % vol.] AION 950 80 150 H2+N2+AIC14+CO2-i-HCl+NHI 25 AI204 990 80 120 H? [reste] + AICI4 [2,7 % vol.] + CO2 [3,4 % vol.] + HCI [4,2 °o vol,]+TiCI4 [0,7 % vol.] + CH4 [4,2 %i ulilisala 30 ou, ic 11 les pal io ,'1 doci]\ (AlOtii Il 'Lu . V. 1 1 ara. 111I 1 1 CHIE 1.1( i Io 111IH1%l 11111 :lIE11 1010111. IIIIT ,i 1_111 Ut- J 1
qi,.- ^t,li Pl* pt 1M's -et-1 i1,^ t7 1,1 1,11 \ ta», ult 1 1 itianplc tIr ul een \ Lu, 1. L pl tp Pie it urp ou \ uu i tiOtlnel ite 1111 -tIll) 11\11 I)tlrt.' tt \ et_ llill 1 . ~Il 1) Illll) \ Hat.ilLI111 1\..pl ')LII)t,111,11. l 'I ell[ 1 pprietés sià a cul. de 111 litiivenne du carbure IO c ,t \ Ili t 1 à environ 3 phert)IIII»112 t p A02, B02, COO ; le iids s RPR: L `ut ci) Piron 14 à en \ Irpn 14.4 gi'em3, 1, dureté Rockwell A est d«iliN irtill sp à environ 90, po prudon magnétique est de 19,5 à 23,3 titTm3/kg, et la force iLiv ci. est d'environ 136 à environ 166 uer;ted,. La combinaison de uevèreinent pour la plaquette de coupe pourvue d'un 15 rc~v êtement conventionnel comprend : une couche de revêtement de base de TiN 1épttissear de 1 micromètre), uni couche de revêtement intermédiaire de MT (temperature moderrte pTiC \«Pp.tisseur de 4 micromètres), et une couche de revêtement lerip«-le kappa-alumine de -Tomettes). Les paramètres de coupe pour l'essai de fraisage sont prèsèinPs éi-dcs.sptls : 20 }Pépie à usiner : il Cr Mc, V Pliplu,«te 1.1,L_iPP. (il) upe rm/min) : 250 -20- t 2972730 -21- m - la pourvue d'un a itamo n h. de amuit de detillante tleMdlttnc Itt.os tutin.mton de micro- 15.2>t/ Lirmation du micro- coupe entailles sur 1 wu,' ennui sul 1 tient ~lC , lori-11,1min de micro- ,7 21 formation de micro- entailles sur 1 arête de coupe entailles sur l'arête de coupe On a constaté que la formation de micro-entailles sur l'arête de coupe était cause p.aA Ilissures thermiques.
Consideuant la moyenne des résultats ci-dessus, seins montrent une amélioration IO de trente pour cent (30 %) des performances pour la plaquette de coupe pourvue d'un revêtement selon l'invention de l'Exemple 2, par comparaison avec la plaquette de coupe pourvue d'un lut VèlClluint conventionnel.
L'Exemple 3 est une plaquette de coupe pourvue ..'un revêtement qui cmnpmt 1. un substrat portant une combinaison \ teillent TIN'. .\I\ n l'invention. Le substrat curbure 1 Ituinsl nc i el) unisse \ ilatnItn substrtil pro.prfetats L \ La: d'Ull IC\ 'L11a:1a ',HOM I l'in\ Loulou d,: Id \L_alaHa 1'1,umclht rOtll HL' («l'Ha reNL''tC111CHL eon\ cuti net Illaoa,ttii: de (Hune ui "I;IIII i tlu l_'. 1 1 al '/ I'Iu -22- 01 environ 3 1 2M'111, 5 911 21211161 1 8118 111 clic P 611662 1 Il mll 1 11861 2161112:11 11111186.8 611!11. qui mll,_816 6121 iiioii (pli rit Nc piiisscui ouche 1 rc \èlci [cm d' IO d'en\ ilion 2. 1 in ilion 5 niais 11121Y . 1'111111, 1; '6611111111115011 \ 6L.11112111 comporte une couche (Li le inca( de niti ui J aluminium sur la couchc d'oxynitrure d'aluminium. La couche de ~~ ctcmcnt de nitrure d'aluminium a une épaisseur de 0,5 micromètre, et l'épaisseur du 1c\ cicinent de nitrure d'aluminium peut être d'environ 0.3 micromètre à environ 2 micromètres.
15 Les paramètres de triaislionnation pour 1.e procédé spécifique (compositions ci) cat. concentrations, dnrte. température.. et pression} utilisé pour produire la pliiepictic ~Ic coupe pourvue d'un revêtement de l'Exemple 3 sont préscntés dans le Tableau ci-dcssi ais. Tableau VI 20 Paramètres de transformation pour le procédé de revêtement selon l'invention l'Exemple 3 (TiN-MT 11CN-AION- AIN ) Tem Dtal G - _s 25 950 80 120 TiN 950 60 900 vol.] 30 35 450 ilps,l mime i FIC. 1 1. est I.n microp ()Mgr:mine mortran ]: combinaison de ,t IL tic t dans t 1 1( i IL mmttil elcment m-11 :cc pli' su. \It Ipcmmu I.Li, , omnm ti tnunummn t k_ 1 1111, Inthlt l;ll sh,L micu sut, stiMs dan- Itt couchL LLI11,.lif \ \ lu Il tiltmulntun t Il aluminium. IO IMrscinplc st mie plaquette COUI)L' pourvue d'un 1,'v ctcment qui comprend un substrat immun t.1t.1 \ Lement TiN-A10 \ sl'iOCN-Al.203 alpha selon l'invention. Le sabsLrat comprend du carbure de tungsLene ce 9i en masse de cobalt et 0,15 % en massé de \ ttnadium. Ce substrat présente les proprielés suivantes : la grosseur de grain moyenne du carbure de tungstene est d'environ 1 15 environ 2 micromètres, la porosité est A.02, B02, COO, le poids spécifique est d'environ 14,7 à environ 15,1 g/cm3, la dureté Rockwell A est d'environ 91,5 à environ 92,3, la saturation magnetique est de 9,9 à 11,7 uTm3lkg, et 1.a force coercitive est d'environ 200 à environ 243 oersmds. La mm1)in:tison de 1men:mm.11 l'invention comprend un emment 20 t le nitrure (lu titane, qui it une cloisseur de 2 mtettomeust On n 1cra que ".aisscur e couchc de revètcmcnt de nitrure de titane man etrc l'environ 1,5 1-1.11Cr fl ulicroilutmsoc rc\,211 Hicli! 1 prCild en male tus.' couche 111,:Iii '1;11k.' \ \ t une .ssu (CO - 11*-. CHICHI -.st Mantinluin 25 -24- Les [loran] tom -01)mi..:Inn pour le ioifique i il 1 Ti ii,il i iiiil I-('+MiiIl Li(lhs FilLILLIL: Li LkILL.'tH [o' roll lc H \clo Ili in ,L.'ilà."; Oann le Tableau 1, eb-dessous.
10 Tai)! ia l"II Paramètres de transformation pour le procédé de revêtement selon l'invention de l'Exemple 4 (TiN-AlON- TiOCN-Al203 alpha) roui liA' non 0,2 mon L w.. ia in ibn »1.010.011t. CL' 17 . ()out être d'en xi iliCifeS à CITIVIF011 .2,0 Temps total Gaz présents (% vol.) (minutes) 60 H2 [reste]+N2 [46 % vol.]+TiCI, [1,3 vol.] 180 H2+N2+AICI++ CO2+HCI+NH2 85 H2 [reste]+N2 [8,5 % , vol.]+TiCl, [1,7 % vol.]+CO2 [1,4 5-s vol.]+Alc [ , 1 8-s vol.] 205 H2 [reste]+AICI3 [2,2 % vol.]+ CO2 [3,6 % vol.]+ HCI [1,7 % vol.]+H+S [0,2 % vol.] 15 Matériaux Température Pression (mbars) TiN 950 20 AION 870 TiOCN 1 000 25 AI202 alpha 1 000 700 80 80 - 500 80 30 La (acrnent d nix. nitrure [in)«AION) a n'" M.'pH+ CO Iit[l[lltt pihiiune^ intriques preseniés pour Il x010phi D dans .- 1. du po%oat Ili aient que fil po.s,iln,i in iiitino prialuin anc rio Jin( Il u no 35 0(l [.1 i H H ,l ~l!1111 u un C'~lfi ~ Ih:tlfi 'll~ d 'Hm ICA~1~':;1C111 iIllptil~tint lII1C ~l~li~ 1C ,IC I~~A~'ICC-1Clll ~I i~VAlllliHi ,Iltllililutllll lllll ~I lltlt pi ICfi' pli' ~Ill,ll~tll~~ll IIICIlllltlll~' !i tl~ l';l~~C. t ils t'tltl~lll '~'\tl~#l1Cl l tl ~»VAI.II1111C d ;t lillllllllllll ;lAJin tlll.' pl ,~I?IICi'~ ll~' tII ;11;ltli,ll tl1ClIlll~lllC !Hus _I~~~' t'AI ~~~IIII~~IIaf~ c ~l Itl ICAC1,211h:111 ~ItIICC titis fC Clt`Ill~llt û vvI1111'LII. ~I ~tlUlllllllUlll l'I.Cu'Ill;llll 1111 CLil SIC 1111 1I111C dL' C~!111111C~~1,~11. H11)W...111i qui la hr~~~~tll~ inAt.'ntitill pl'O lUil unc ~la~lnrlt~~ de 11pC l'k~UI A e d'un liC\ CtCIllcllt Coill~}{)rlallt Mlle t'1i11CIlC SIC Il'A CICIIICIll ~I \ nitrure aluminium qui pittsC'nk Ul1C bonne til~t~ilil~' tllcrnliquC. Quand lin ~lrt,lluil rcvct,iiulcnt présentant une banne stabilité tllenniqu, u s'attend â voir des p , Li usait,' ~ull~ricur. s et une plus _randc 1tuntiév de l'out 1.Illin. il apparat' que 1ap1~CJ~lltC invcnti,ln pMduitlillf pItIdtICItC ~IL" t'OtIpe p)[li'vU(2 Icv~tcnl~~nt ~~,nll'~l~l,lnl linC tk' rcvcl~nlrnl d'\ynitrurc tl ~IluI1111Iiiuu qui ICIIIC IIIIC litlll'IC CI(,)u,lllll UIl l'I«u^ILlll llll I~CAC1C111Cl1t pl 1'~CIII~IIIt 20 unc titircic qlcv~c. nu ;alt,~n~l "ilvmir lc~~~l ICI'` I U U~C tillhCnlCtll ~] allll;ll;lll ~IU~ itl ICI"~'~Clllt' IIlAClllit!Il pl ut.11l UII l 1111; l' ~t,_~111lt ' ~ ~ ~,!UI'~' J'-~t11 A tId Ull l~~v ~'t~ Ill~'lll C,1I1 11 ~t!I I;II11 lllll' lit.Il,' l'1 l'lIlC11l ~'V A Illlrtlll' ~I .I tlllllllllilll. tln Lités

Claims (18)

  1. REVENDICATIONS: 1. Procédé de fabrication d'un article pourvu d'un revêtement, le procédé comprenant les étapes qui consistent à : fournir un substrat (52) ; déposer une couche de revêtement d'oxynitrure d'aluminium (58) à partir d'un mélange gazeux, caractérisé en ce que le mélange gazeux comprend : de l'azote dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 30,0 % à environ 65,0 % du mélange gazeux ; du trichlorure d'aluminium dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0,5 % à environ 1,3 % du mélange gazeux ; de l'ammoniac dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 1,0 à environ 2,0 % du mélange gazeux ; du dioxyde de carbone dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0,1 % à environ 1,6 % du mélange gazeux ; du chlorure d'hydrogène dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 1,5 % à environ 4,5 % du mélange gazeux ; éventuellement du monoxyde de carbone dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0 % à environ 2,0 % du mélange gazeux ; éventuellement de l'argon dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0 % à environ 25 % du mélange gazeux ; et le reste étant constitué d'hydrogène.
  2. 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel l'étape de dépôt a lieu à une température d'environ 750 °C à environ 1 020 °C.
  3. 3. Procédé selon la revendication 1, dans lequel l'étape de dépôt a lieu à une température d'environ 850 °C à environ 950 °C. -26- 2972730 -27-
  4. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel l'étape de dépôt a lieu à une pression d'environ 10 mbars à environ 900 mbars.
  5. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel l'étape de dépôt a lieu à une pression d'environ 50 mbars à environ 100 mbars. 5
  6. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel le mélange gazeux comprend : l'azote dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 30 % à environ 40 % du mélange gazeux ; du trichlorure d'aluminium dans une quantité représentant un 10 pourcentage volumique d'environ 0,5 % à environ 1,3 % du mélange gazeux ; de l'ammoniac dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 1,0 % à environ 2,0 % du mélange gazeux ; du dioxyde de carbone dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0,2 % à environ 1,5 % du mélange gazeux ; 15 du chlorure d'hydrogène dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 1,5 % à environ 3,0 % du mélange gazeux ; éventuellement du monoxyde de carbone dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0 % à environ 2,0 % du mélange gazeux ; éventuellement de l'argon dans une quantité représentant un pourcentage 20 volumique d'environ 0 % à environ 25 % du mélange gazeux ; et le reste étant constitué d'hydrogène.
  7. 7. Procédé selon la revendication 6, le mélange gazeux comprenant du dioxyde de carbone dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0,2 % à environ 0,6 % du mélange gazeux. 25
  8. 8. Procédé selon la revendication 6, le mélange gazeux comprenant du dioxyde de carbone dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0,7 % à environ 1,5 % du mélange gazeux. 2972730 -28-
  9. 9. Procédé selon la revendication 6, le mélange gazeux comprenant du dioxyde de carbone dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0,5 % à environ 1,3 % du mélange gazeux.
  10. 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, le mélange 5 gazeux comprenant : l'azote dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 40 % à environ 50 % du mélange gazeux ; du trichlorure d'aluminium dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0,6 % à environ 1,0 % du mélange gazeux ; l0 de l'ammoniac dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 1,0 % à environ 1,6 % du mélange gazeux ; du dioxyde de carbone dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0,6 % à environ 1,4 % du mélange gazeux ; du chlorure d'hydrogène dans une quantité représentant un pourcentage 15 volumique d'environ 1,5 % à environ 2,5 % du mélange gazeux ; éventuellement du monoxyde de carbone dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0 % à environ 2,0 % du mélange gazeux ; éventuellement de l'argon dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0 % à environ 25 % du mélange gazeux ; et 20 le reste étant constitué d'hydrogène.
  11. 11. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, le mélange gazeux comprenant : l'azote dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 60 % à environ 65 % du mélange gazeux ; 25 du trichlorure d'aluminium dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0,6 % à environ 1,0 % du mélange gazeux ; 2972730 -29- de l'ammoniac dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 1,0 % à environ 1,6 % du mélange gazeux ; du dioxyde de carbone dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0,6 % à environ 1,6 % du mélange gazeux ; 5 du chlorure d'hydrogène dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 1,5 % à environ 2,5 % du mélange gazeux ; éventuellement du monoxyde de carbone dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0 % à environ 2,0 % du mélange gazeux ; éventuellement de l'argon dans une quantité représentant un pourcentage 10 volumique d'environ 0 % à environ 25 % du mélange gazeux ; et le reste étant constitué d'hydrogène.
  12. 12. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, le mélange gazeux comprenant : l'azote dans une quantité représentant un pourcentage volumique 15 d'environ 60 % à environ 65 % du mélange gazeux ; du trichlorure d'aluminium dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0,6 % à environ 1,0 % du mélange gazeux ; de l'ammoniac dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 1,0 % à environ 1,6 % du mélange gazeux ; 20 du dioxyde de carbone dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0,6 % à environ 1,6 % du mélange gazeux ; du chlorure d'hydrogène dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 2,5 % à environ 3,6 % du mélange gazeux ; éventuellement du monoxyde de carbone dans une quantité représentant 25 un pourcentage volumique d'environ 0 % à environ 2,0 % du mélange gazeux ; 2972730 -30- éventuellement de l'argon dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0 % à environ 25 % du mélange gazeux ; et le reste étant constitué d'hydrogène.
  13. 13. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, dans 5 lequel l'oxynitrure d'aluminium comprend un mélange de phases ayant une structure de type nitrure d'aluminium hexagonal (groupe d'espace : P63mc), une structure de type nitrure d'aluminium cubique (groupe d'espace : Fm-3m), et éventuellement une structure amorphe.
  14. 14. Procédé selon la revendication 1, dans lequel l'oxynitrure 10 d'aluminium a une composition comprenant de l'aluminium dans une quantité représentant un pourcentage atomique d'environ 20 % à environ 50 %, de l'azote dans une quantité représentant un pourcentage atomique d'environ 40 % à environ 70 %, et de l'oxygène dans une quantité représentant un pourcentage atomique d'environ 1 % à environ 20 %. 15
  15. 15. Procédé selon la revendication 1, dans lequel l'oxynitrure d'aluminium a une composition comprenant de l'aluminium dans une quantité représentant un pourcentage atomique d'environ 32 % à environ 38 %, de l'azote dans une quantité représentant un pourcentage atomique d'environ 63 % à environ 67 %, et de l'oxygène dans une quantité représentant un pourcentage atomique d'environ 4 % à 20 environ 6 %.
  16. 16. Procédé selon l'une quelconque des revendications l' à 15, dans lequel le substrat consiste en un substrat d'outil de coupe (30) ayant une arête de coupe (42), l'article pourvu d'un revêtement étant ainsi un outil de coupe pourvu d'un revêtement. 25
  17. 17. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 15, dans lequel le substrat consiste en un substrat de pièce d'usure ayant une surface d'usure, l'article pourvu d'un revêtement étant ainsi une pièce d'usure pourvue d'un revêtement. 2972730 -31-
  18. 18. Outil de coupe ou pièce d'usure pourvu(e) d'un revêtement, fabriqué(e) par le procédé comprenant les étapes qui consistent à : fournir un substrat (52) ; déposer une couche de revêtement d'oxynitrure d'aluminium (58) à partir 5 d'un mélange gazeux, caractérisé en ce que le mélange gazeux comprend : de l'azote dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 30,0 % à environ 65,0 % du mélange gazeux ; du trichlorure d'aluminium dans une quantité représentant un 10 pourcentage volumique d'environ 0,5 % à environ 1,3 % du mélange gazeux ; de l'ammoniac dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 1,0 % à environ 2,0 % du mélange gazeux ; du dioxyde de carbone dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0,1 % à environ 1,6 % du mélange gazeux ; 15 du chlorure d'hydrogène dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 1,5 % à environ 4,5 % du mélange gazeux ; éventuellement du monoxyde de carbone dans une quantité représentant un pourcentage volumique d'environ 0 % à environ 2,0 % du mélange gazeux ; éventuellement de l'argon dans une quantité représentant un pourcentage 20 volumique d'environ 0 % à environ 25 % du mélange gazeux ; et le reste étant constitué d'hydrogène.
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