FR2502867A1 - Resonateur a quartz miniature en coupe gt - Google Patents
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- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims abstract description 33
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 15
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 8
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 7
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 7
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 7
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 6
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 2
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000010606 normalization Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02015—Characteristics of piezoelectric layers, e.g. cutting angles
- H03H9/02023—Characteristics of piezoelectric layers, e.g. cutting angles consisting of quartz
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- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04F—TIME-INTERVAL MEASURING
- G04F5/00—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards
- G04F5/04—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards using oscillators with electromechanical resonators producing electric oscillations or timing pulses
- G04F5/06—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards using oscillators with electromechanical resonators producing electric oscillations or timing pulses using piezoelectric resonators
- G04F5/063—Constructional details
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02086—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02102—Means for compensation or elimination of undesirable effects of temperature influence
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
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- H—ELECTRICITY
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
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- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
- H03H2003/0414—Resonance frequency
- H03H2003/0421—Modification of the thickness of an element
- H03H2003/0428—Modification of the thickness of an element of an electrode
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Abstract
L'INVENTION CONCERNE LES RESONATEURS A QUARTZ. UN RESONATEUR A QUARTZ EN COUPE GT COMPREND ESSENTIELLEMENT UNE PARTIE RESONNANTE RECTANGULAIRE 4 ET DES PARTIES DE SUPPORT 7, L'ENSEMBLE PORTANT DES ELECTRODES D'EXCITATION 5. ON REGLE INDEPENDAMMENT LA FREQUENCE DE RESONANCE ET LA CARACTERISTIQUE FREQUENCE-TEMPERATURE DU RESONATEUR EN DEPOSANT OU EN ELIMINANT DES MASSES A DES EMPLACEMENTS DETERMINES DE LA PARTIE RESONNANTE. ON PEUT AINSI OBTENIR UN FONCTIONNEMENT OPTIMAL SANS MODIFIER LES DIMENSIONS L, W DE LA PARTIE RESONNANTE. APPLICATION AUX MONTRES ELECTRONIQUES.
Description
La présente invention concerne un résonateur à
quartz en coupe GT qu'on fait résonner selon deux modes lon-
gitudinaux. L'invention a pour but de réaliser un résonateur à quartz en coupe GT miniature qui permette de régler aisément la fréquence et qui ait une excellente caractéristique
fréquence-température (qu'on appellera ci-après caractéris-
tique f-T).
L'invention a également pour but de réaliser un résonateur à quartz en coupe GT économique, mince et de
taille miniature ayant une excellente caractéristique f-T.
Les résonateurs à quartz en coupe GT sont tradi-
tionnellement connus comme ayant la meilleure caractéristi-
que f-T, c'est-à-dire que la variation de fréquence ne
dépasse pas 1 à 2 ppm dans la plage de température OOC-
C. La figure 1 montre les directions de coupe d'un résonateur à quartz en coupe GT. On fait tourner la lame Y autour de l'axe X d'un angle Y, 490-560, puis on taille un résonateur en coupe GT après avoir fait tourner la lame de O - +(40 -50 ) dans le nouveau plan XZ'. On fait résonner le résonateur à quartz en coupe GT en couplant deux modes longitudinaux qui dépendent respectivement de la dimension du petit côté W et de la dimension du grand côté L de la lame. La caractéristique f-T dépend de l'angle de coupe V
et du rapport des côtés r (W/L), et on obtient une caracté-
ristique f-T excellente lorsque r, 0,86-0,98.
La figure 2 montre des exemples de caractéristi-
ques f-T de plusieurs types de résonateurs. Une courbe 1 montre la caractéristique f-T du résonateur à mode de flexion du type diapason utilisé pour les montres, une courbe 2 montre la caractéristique f-T du résonateur à cisaillement d'épaisseur en coupe AT très utilisé pour les appareils à usage professionnel ou d'un genre similaire, et une courbe 3 montre la caractéristique f-T du résonateur
à cisaillement de contour en coupe GT de type classique.
Il est généralement nécessaire de régler la fré-
quence de résonance du résonateur à la fréquence désirée pour l'utilisation prévue, et dans un résonateur de grande précision, en particulier, il est souhaitable de régler la fréquence de façon que sa dispersion soit inférieure à
+ (10-20) ppm. Cependant, la caractéristique f-T du résona-
teur en coupe GT est extrêmement sensible à la condition de couplage entre les deux modes, ce qui fait qu'il est très
difficile de régler la fréquence sans dégrader la caracté-
ristique f-T. Dans le grand résonateur rectangulaire en cou-
pe GT classique, fabriqué par usinage mécanique, on règle grossièrement la fréquence en meulant le petit côté, puis on
règle le rapport dimensionnel W/L en meulant le grand côté.
On règle ensuite la fréquence de façon plus précise en meu-
lant le petit côté puis on règle le rapport dimensionnel en meulant le grand coté. De cette manière, on obtient la caractéristique f-T désirée et on règle la fréquence en
meulant progressivement chaque côté. Ce procédé est cepen-
dant désavantageux dans la mesure o l'usinage est diffi-
cile et prend beaucoup de temps, le taux d'acceptation est mauvais, la fabrication en grande quantité est difficile et
le coût est élevé.
L'invention vise à supprimer les inconvénients indiqués ci-dessus, et elle a donc pour but de réaliser un
résonateur à quartz en coupe GT mince et de taille miniatu-
re, pour lequel on puisse régler aisément et précisément la
fréquence et la caractéristique f-T.
L'invention sera mieux comprise à la lecture de
la description qui va suivre de modes de réalisation et en
se référant aux dessins annexés sur lesquels: La figure 1 est une vue en perspective montrant les directions de coupe du résonateur en coupe GT,
La figure 2 est un graphique montrant les carac-
téristiques f-T de plusieurs types de résonateurs, La figure 3(a) est une vue en plan montrant la forme du résonateur conforme à l'invention et la figure 3(b) est une vue de côté de celui-ci, La figure 4(a) est une vue en plan partielle qui est destinée à montrer le principe du résonateur conforme à l'invention, la figure 4(b) est un graphique montrant la 3variation de fréquence de la caractéristique f-T, et la figure 4(c) est un graphique montrant la variation de la
fréquence de résonance principale en fonction de l'augmenta-
tion et de la diminution des masses, La figure 5 est une vue en perspective d'un mode de réalisation du résonateur conforme à l'invention, Les figures 6(a) à 6(d) sont des vues en plan d'autres modes de réalisation du résonateur conforme à l'invention, La figure 7 est une vue en plan d'un mode de réalisation du résonateur conforme à l'invention, Les figures 8(a) et 8(b) sont des vues latérales d'autres modes de réalisation du résonateur conforme à l'invention, Les figures 9 et 10 sont des graphiques montrant la variation de la fréquence en fonction du poids des masses dans le cas o les masses sont supprimées, La figure 11 est un graphique montrant un mode de
mise en oeuvre du procédé de réglage de fréquence du réso-
nateur conforme à l'invention,
Les figures 12(a) et 12(b) sont des coupes partiel-
les destinées à montrer les différentes configurations des
masques dans le traitement de photolithographie du résona-
teur conforme à l'invention, Les figures 13 et 14 sont des vues-en plan qui montrent le déplacement du mode du résonateur conforme à l'invention,
Les figures 15 et 16 sont des diagrammes caracté-
ristiques qui montrent les changements de fréquence dans les modes longitudinaux du petit c8té et du grand c8té dans le cas o les masses sont supprimées, Les figures 17(a) et 17(b) sont des vues en plan d'autres modes de réalisation du résonateur conforme à l'invention, et
Les figures 18(a) et 18(b) sont des vues latéra-
les de modes de réalisation du résonateur conforme à l'in-
vention. On va maintenant considérer les figures 3(a) et 3(b) qui montrent respectivement une vue en plan et une vue
latérale d'un mode de réalisation du résonateur correspon-
dant à l'invention. Une partie résonnante 4 présente une forme rectangulaire de longueur L et de largeur W, comme le montre la vue en plan de la figure 3(a), et des parties de support 7 sont formées pratiquement au milieu des petits côtés et elles sont reliées par des pontets 6 aux deux extrémités de la partie résonnante. La fréquence du mode longitudinal des petits côtés, qui est le mode principal, dépend de la dimension W dans le sens de la largeur et la fréquence du mode longitudinal des grands côtés, qui est couplé au précédent, dépend de la dimension L-dans le sens de la longueur. Des électrodes d'excitation 5 sont formées sur la quasi-totalité des surfaces supérieure et inférieure
de la partie résonnante 4, et chacune des électrodes d'exci-
tation supérieure et inférieure se prolonge en direction opposée vers les parties de support 7 qui sont formées des deux côtés de la partie résonnante 4. Bien que ceci ne soit pas représenté, les deux électrodes d'excitation supérieure
et inférieure 5 peuvent sortir par la même partie de support.
Les figures 4(a)-4(c) montrent une vue en plan et des graphiques destinés à illustrer les principes du réglage de la fréquence et du réglage de la caractéristique f-T du
résonateur conforme à l'invention.
La figure 4(a) est une-vue en plan montrant la moitié du résonateur, coupé au milieu dans la direction des
grands côtés.
La figure 4(b) est un graphique montrant les variations du coefficient de température primaire ce et du coefficient de température secondaire ( dans le cas o les masses déposées près des points A à E le long des grands côtés de la partie résonnante 4 sont éliminées par laser ou par des moyens analogues. Le graphique fait ressortir les caractéristiques suivantes. Si on élimine la masse proche du point A, i et f varient tous deux rapidement dans le sens négatif; si on élimine la masse proche du point C, " et 3 varient tous deux dans le sens positif; et X9 et ( ne varient
pas, c'est-à-dire que la caractéristique f-T ne change abso-
lument pas, si on élimine la masse proche du point B ou D.
La figure 4(c) est un graphique montrant la varia-
tion de la fréquence de résonance principale dans le cas o on élimine les masses proches des points A à E. Le graphique montre que la fréquence de résonance principale varie dans
le sens positif, c'est-à-dire que la fréquence devient supé-
rieure,lorsqu'on supprime les masses proches de l'un quelcon-
que des points A à E. Ainsi, en utilisant le fait qu'on peut changer la fréquence de résonance principale sans changer la caractéristique f-T si les masses proches des points B et D
sont éliminées, on règle la caractéristique f-T et la fré-
quence en adoptant les procédés suivants ou une combinaison de ces procédés. (1) On dépose les masses près des points B, C et D et on élimine la masse proche du point C pour régler la caractéristique f-T, puis on règle la fréquence au moyen de la masse proche du point B ou D. (2) On dépose les masses près des points A, B, D et E, et on élimine les masses A et/ ou E pour régler la caractéristique f-T, puis on règle la fréquence en éliminant les masses proches des points B et D. Bien qu'on ait décrit le principe ci-dessus en considérant à titre d'exemple le procédé qui consiste à éliminer les masses, on peut obtenir un effet similaire par le procédé consistant à déposer ou à augmenter les masses par évaporation sous vide ou par pulvérisation, bien que les variations de r et 3 se fassent dans le sens opposé à celui
du procédé ci-dessus.
La figure 5 est une vue en perspective d'un mode de réalisation du résonateur conforme à l'invention. Des masses 10, 11 et 12 sont placées le long des grands côtés de
la partie résonnante 4. L'électrode d'excitation 5 est enco-
chée dans les parties 10, 11 et 12 et elle est formée sur la quasitotalité de la surface de la partie résonnante 4 et
sort vers les parties de support 7 au moyen des pontets 6.
Dans ce mode de.réalisation, on règle la fréquence de réso-
nance principale au moyen des masses 10 et/ou 12, après avoir
réglé la caractéristique f-T par les masses 11.
Les figures 6(a) à 6(d) sont des vues en plan
d'autres modes de réalisation du résonateur conforme à l'in-
vention. Sur la figure 6(a), on dépose les masses 9 et 13 pour changer la caractéristique f-T dans le sens négatif et on dépose les masses 10 et 12 pour régler la fréquence de
résonance principale sans changer la caractéristique f-T.
On règle la caractéristique f-T par les masses 9 et/ou 13 puis on règle la fréquence par les masses 10 et/ou 12. Sur la figure 6(b), on dépose une série de masses le long des
grands côtés de la partie résonnante, et on règle la carac-
téristique f-T dans le sens positif comme dans le sens néga-
tif au moyen des masses 9 et 13. La figure 6(c) montre un mode de réalisation utilisant une diminution des masses, dans lequel on règle la caractéristique f-T par les masses et 12 et on règle la fréquence par la masse 11. La figure 6(d) montre un mode de réalisation dans lequel chaque masse
est formée séparément et dans lequel on règle la caractéris-
tique f-T par les masses 9 et 13 et on règle la fréquence par la masse 11. On règle la fréquence et la caractéristique f-T en déposant les masses sur l'une au moins des 4 parties pour lesquelles la caractéristique f-T ne change pas et sur
l'une au moins des 6 parties pour lesquelles la caractéris-
tique f-T change. On peut déposer ces masses séparément ou en série, conformément aux figures 6(a) - 6(d). En outre, on obtient le même effet en déposant les masses sur un côté ou
sur les deux côtés de la partie résonnante.
La figure 7 est une vue en plan d'un autre mode de réalisation du résonateur à quartz en coupe GT conforme à
l'invention. Des parties de support 15 sont formées pratique-
ment au milieu des petits côtés d'une partie résonnante 14, et la partie résonnante 14 et les parties de support 15 sont formées en une seule pièce. Des électrodes d'excitation 16 sont déposées sur la quasi-totalité des surfaces supérieure et inférieure de la partie résonnante 14, et les parties qui correspondent aux masses 17 et 18 sont encochées pour régler la fréquence et la caractéristique f-T. Les électrodes
d'excitation 16 sortent vers les parties de support 15 éta-
blies aux deux extrémités de la partie résonnante 14, dans des directions opposées pour chaque électrode, c'est-à-dire que les électrodes supérieure et inférieure sortent dans des directions opposées. Les masses 17 destinées au réglage de
la fréquence sont déposées le long des noeuds du mode longi-
tudinal et les masses 18 pour le réglage de la caractéristi-
que f-T sont déposées aux quatre coins de la partie résonnan-
te 14. Les figures 8(a) et 8(b) sont des vues latérales du résonateur correspondant à l'invention. Dans le mode de réalisation de la figure 8(a) , les masses 17 et 18 destinées
à régler la fréquence et la caractéristique f-T, représen-
tées sur la figure 7, sont déposées sur un seul côté de la partie résonnante 14, tandis que dans le mode de réalisation de la figure 8(b), les masses 17 et 18 sont déposées des
deux côtés de la partie résonnante 14.
La figure 9 est un graphique montrant la variation
de fréquence correspondant aux fréquences de mode longitudi-
nal HF et LF du petit côté et du grand côté du résonateur,
en fonction du poids des masses 17 éliminées, pour le régla-
ge de fréquence correspondant à la figure 7, avec normalisa-
tion pour chacune des fréquences avant l'élimination des -masses 17. Une courbe 19 indique la variation de fréquence du mode du petit côté et une courbe 20 indique la variation de fréquence du mode du grand côté. La fréquence HF du mode
du petit côté croit de façon presque linéaire, comme le mon-
tre la courbe 19, lorsqu'on élimine les masses 17. La fré-
quence LF du mode du grand côté diminue légèrement mais reste presque inchangée, comme le montre la courbe 20, lorsqu'on
élimine les masses 17.
La figure 10 est un graphique qui montre la varia-_ tion de fréquence du mode du petit côté et du mode du grand côté en fonction du poids des masses éliminées 18 pour
régler la caractéristique f-T, conformément à la figure 7.
La courbe 19 indique la variation de fréquence du mode du petit côté et la courbe 20 indique la variation de fréquence du mode du grand côté. La fréquence HF du mode du petit côté comme la fréquence LF du mode du grand côté croissent de façon presque linéaire lorsqu'on élimine les masses 18. La
variation de la fréquence LF du mode du grand côté est infé-
rieure à la moitié de la variation de la fréquence HF du mode du petit côté. Comme il est représenté, on peut faire varier les fréquences des deux modes longitudinaux en éliminant les masses 17 et 18. Ceci donne le même effet que le changement de'la condition de couplage des deux modes longitudinaux en changeant le rapport des côtés r(W/L) défini sur la figure 3(a). Par conséquent, on règle la caractéristique f-T du mode principal du petit côté et on règle à la valeur désirée la fréquence HF en éliminant de façon appropriée les masses
17 et 18, sans changer le rapport des côtés.
La figure 11 montre un mode de mise en oeuvre du
réglage de fréquence du résonateur conforme à l'invention.
La référence 23 désigne la valeur désirée de la fréquence du petit côté HF du mode longitudinal principal. La référence 24 désigne la valeur désirée de la fréquence de résonance du grand côté LF, dans le cas o les deux modes longitudinaux présentent une condition de couplage similaire à celle correspondant au rapport optimal des côtés donnant une excellente caractéristique f-T. La référence D désigne la
condition qui existe avant le réglage de fréquence. La réfé-
rence 21 désigne la valeur moyenne de la fréquence du mode du petit côté, et la référence 31 désigne la dispersion de cette fréquence. La référence 22 désigne la valeur moyenne de la fréquence du mode du grand côté et la référence 32 désigne la dispersion de cette fréquence. Avant le réglage de la fréquence (condition D), on dépose les masses 17 et 18 de façon que les deux fréquences soient inférieures aux valeurs désirées. On règle ensuite la fréquence LF du mode du grand côté, en l'amenant à la valeur désirée 24 par
l'élimination des masses 18 pour le réglage de la caractéris-
tique f-T, conformément à la figure 7. La référence E sur la figure 11 montre les conditions des fréquences du mode du petit côté et du mode du grand côté dans le cas o les
masses 18 sont éliminées. On règle ensuite à la valeur dési-
rée 23 la fréquence HF du mode du petit côté, en éliminant les masses 17 pour le réglage de la fréquence, conformément à la figure 7. La référence F sur la figure 11 désigne les conditions des fréquences du mode du petit côté et du mode
du grand côté dans le cas o les masses 17 sont éliminées.
Le procédé ci-dessus permet de réaliser aisément et économi-
quement un résonateur ayant une excellente caractéristique f-T. Les figures 12(a) et 12(b) montrent des coupes partielles destinées à illustrer les positions des masques supérieur et inférieur dans le cas o le résonateur à quartz conforme à l'invention est fabriqué à l'aide de la technique de photolithographie. La référence 25 désigne une lame de cristal mince, la référence 26 désigne des masques
supérieur et inférieur et la référence 27 désigne des par-
ties de la lame mince de cristal de quartz qui sont soumises à une opération d'attaque. La vitesse d'attaque du cristal de quartz est la plus grande dans la direction de l'axe Z (axe optique). Ainsi, dans le cas o les masques supérieur et inférieur sont déposés en recouvrement mutuel dans la direction normale à la lame mince de cristal de quartz, la partie attaquée 27 de la lame de cristal de quartz qu'on a
fait tourner de l'angle Y autour de l'axe Z n'est pas apla-
nie et la précision dimensionnelle est difficile à attein-
dre, comme le montre la figure 12(a). De ce fait, dans le résonateur à quartz conforme à l'invention, on décale les masques supérieur et inférieur de la distance 1 dans la direction Z', pour obtenir l'aplanissement de la partie
attaquée. La valeur du décalage 1 des masques est représen-
tée par 1 = t/tgy dans le cas o l'inclinaison de la lame mince de cristal de quartz par rapport à l'axe Z est égale
à t et o l'épaisseur de la lame est égale à t. Le résona-
teur à quartz dans lequel les masques sont décalés conformé-
ment à l'invention est fabriqué d'une manière extrêmement précise et il présente une excellente caractéristique f-T
ayant moins de dispersion.
Les figures 13 et 14 sont des vues en plan mon-
trant les déplacements du mode du petit côté et du mode du
grand côté du résonateur à quartz conforme à l'invention.
Une partie résonnante 34 et des parties de support 37 du résonateur sont fabriquées d'une seule pièce par le procédé de photogravure ou un procédé analogue, et des électrodes
d'excitation sont déposées sur la quasi-totalité des surfa-
ces supérieure et inférieure de la partie résonnante 34 (les
électrodes ne sont pas représentées) et elles sortent respec-
tivement vers les deux parties de support 37. Les parties hachurées 35 et 36 qui sont situées respectivement près des noeuds du mode longitudinal du grand côté et du mode longitu- dinal du petit côté indiquent les parties o il faut déposer
ou éliminer les masses pour le réglage de la fréquence.
La figure 13 montre le déplacement du mode longitu-
dinal du petit côté, dans lequel les parties hachurées 35 se déplacent fortement, tandis que les parties hachurées 36
proches du noeud du mode longitudinal du petit côté se dépla-
cent peu. Par conséquent, la fréquence du mode longitudinal du petit côté, Hf, est modifiée par le poids des masses situées dans les parties hachurées 35, mais est peu affectée
par les masses situées dans les parties hachurées 36.
La figure 14 montre le déplacement du mode longi-
tudinal du grand côté, dans lequel les parties hachurées 35 proches du noeud du mode longitudinal du grand côté se
déplacent peu, tandis que les parties hachurées 36 se dépla-
cent fortement. Cette figure montre que la fréquence du mode
longitudinal du grand côté, LF, est modifiée par l'augmenta-
tion ou la diminution du poids des masses situées dans les
parties hachurées 36 sur la figure 14, mais n'est pas affec-
tée par les masses situées dans les parties hachurées 35.
Les figures 15 et 16 montrent la configuration des changements des fréquences des modes longitudinaux du petit côté et du grand côté dans le cas o on élimine les masses par laser ou par une technique analogue. La figure 15 montre un mode de réalisation dans lequel on élimine les masses dans les parties hachurées 35 des figures 13 et 14, et la
figure 16 montre un mode de réalisation dans lequel on éli-
mine les masses situées dans les parties hachurées 36. Les fréquences du mode longitudinal du petit côté et du mode longitudinal du grand côté sont ainsi réglées indépendamment en augmentant ou en diminuant le poids des masses déposées sur la partie résonnante 34, ce qui change la condition de couplage entre les deux modes longitudinaux. Le procédé ci- dessus donne ainsi un effet équivalent à celui qu'on il
obtient en changeant le rapport des côtés r (W/L). Par con-
séquent, on obtient une excellente caractéristique f-T en réglant uniquement la fréquence, sans changer le rapport des côtés. Les figures 17(a) et 17(b) montrent d'autres modes de réalisation de l'invention, dans lesquels la partie résonnante 34 et les parties de support 37 sont formées d'une seule pièce, d'une manière similaire à celle des modes
de réalisation des figures 13 et 14. Dans le mode de réali-
sation de la figure 17(a), les masses 35 et 36 sont déposées le long des noeuds du mode longitudinal du grand côté et du
mode longitudinal du petit côté, grâce à quoi on peut réali-
ser un réglage de fréquence plus fin que celui du mode de réalisation décrit précédemment. Dans le mode de réalisation de la figure 17(b), les masses 35 destinées au réglage de la fréquence de l'un des modes (le mode longitudinal du petit
côté sur la figure) sont formées dans une direction perpen-
diculaire à la direction de résonance, grâce à quoi la fré-
quence de ce mode est plus fortement modifiée.
Comme le montrent les vues latérales des figures 18(a) et 18(b), on'obtient le même effet en déposant les masses sur un seul côté (figure 18(a)) ou sur les deux côtés
(figure 18(b)) de la partie résonnante.
Conformément à l'invention, on règle aisément et avec précision la caractéristique f-T et la fréquence en éliminant ou en déposant des masses, de la manière indiquée précédemment. Du fait que l'augmentation ou la diminution des masses fait varier la fréquence et la caractéristique
f-T de façon linéaire, le processus de fabrication du réso-
nateur peut 8tre plus facilement mis en oeuvre et peut être aisément automatisé. La fréquence est réglée indépendamment
après le réglage de la caractéristique f-T. La simplifica-
tion du processus de fabrication permet de fabriquer le
résonateur en coupe GT de façon économique.
En outre, le résonateur à quartz en coupe GT con-
forme à l'invention est fabriqué en grande quantité d'une manière précise par la technique de photolithographie, et on règle la fréquence et la caractéristique f-T en éliminant des masses, grâce à quoi la fabrication du résonateur en grande quantité est plus aisée et plus rapide qu'avec le procédé classique consistant à agir sur les dimensions
(rapport des c8tés).
On peut en outre aisément miniaturiser le résona-
teur en coupe GT, par le réglage précis de la caractéristi-
que f-T. La simplification du processus de fabrication
permet de fabriquer le résonateur en coupe GT de façon éco-
nomique.
Conformément à la description détaillée qui précè-
de, on envisage une large utilisation du résonateur en-coupe GT conforme à l'invention, dans de nombreux domaines dans lesquels une précision élevée est nécessaire, comme les
montres et les instruments de mesure.
Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées au dispositif décrit et représenté,
sans sortir du cadre de l'invention.
Claims (8)
1. Résonateur à quartz en coupe GT comprenant une partie résonnante et des parties de support formées dans une seule pièce à partir d'une lame mince de cristal de quartz, en faisant tourner la lame Y de 490-560 autour d'un axe de
rotation constitué par l'axe X, et en faisant tourner ensui-
te la lame de +(40 -50 ) dans le plan, caractérisé en ce qu'on dépose des masses sur les parties qui se trouvent aux extrémités des grands côtés de la partie résonnante, pour
lesquelles la caractéristique fréquence-température ne chan-
ge pas, et/ou sur les parties pour lesquelles la caractéris-
tique fréquence-température change.
2. Résonateur à quartz en coupe GT selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on dépose les masses
destinées au réglage de la fréquence ou de la caractéristi-
que fréquence-température sur au moins une partie proche du milieu du grand côté de la partie résonnante et sur au moins
une partie proche des quatre coins de la partie résonnante.
3. Résonateur à quartz en coupe GT selon la
revendication 1, caractérisé en ce qu'on dépose des élec-
trodes d'excitation sur la quasi-totalité des surfaces de la partie résonnante, et ces électrodes sont encochées au niveau des masses déposées, pour régler la fréquence et la
caractéristique fréquence-température.
4. Résonateur à quartz en coupe GT selon la revendication 1, caractérisé en ce que des masques formés par la technique de photolithographie et déposés sur les
surfaces supérieure et inférieure de la lame mince de cris-
tal de quartz sont décalés de 1 = t/tgqj, en désignant par t (49o-560) l'angle de rotation de la lame mince de cristal
de quartz et par t l'épaisseur de la lame.
5. Résonateur à quartz en coupe GT utilisant le couplage entre deux modes longitudinaux qui dépendent des petits côtés et des grands côtés de la partie résonnante, et dans lequel la partie résonnante et les parties de support sont formées en une seule pièce, caractérisé en ce que des masses destinées au réglage de fréquence sont déposées en
plusieurs emplacements de la partie résonnante, ou sont éli-
minées de ces emplacements, pour modifier la condition de
couplage des deux modes longitudinaux en changeant les fré-
quences de ces derniers, grâce à quoi on règle la caractéris-
tique fréquence-température.
6. Résonateur à quartz en coupe GT selon la reven-
dication 5, caractérisé en ce que les masses destinées au réglage de fréquence sont établies près des noeuds des deux
modes longitudinaux.
7. Résonateur à quartz en coupe GT selon l'une
quelconque des revendications 5 ou 6, caractérisé en ce que
les différentes masses destinées au réglage de fréquence sont déposées sur une seule surface principale de la partie résonnante.
8. Résonateur à quartz en coupe GT selon l'une
quelconque des revendications 5 ou 6, caractérisé en ce que
les différentes masses destinées au réglage de fréquence sont déposées sur les deux surfaces principales de la partie résonnante.
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| PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, vol. 7, no. 80 (E-168) [1225], 2 avril 1983; & JP-A-58 006 616 (DAINI SEIKOSHA K.K.) 14-01-1983 * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2511820A1 (fr) * | 1981-08-21 | 1983-02-25 | Seiko Instr & Electronics | Resonateur a quartz a couplage de modes |
| FR2596517A1 (fr) * | 1986-03-26 | 1987-10-02 | Singer Co | Transducteur de force a barreau vibrant comportant des moyens de reglage de la frequence de vibration |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CH653209GA3 (fr) | 1985-12-31 |
| US4447753A (en) | 1984-05-08 |
| FR2502867B1 (fr) | 1988-07-01 |
| GB2098395B (en) | 1985-11-20 |
| GB2098395A (en) | 1982-11-17 |
| DE3210578A1 (de) | 1982-11-04 |
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